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用於3d nand應用中之插塞填充沉積之設備及方法
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
用來填充形成於基材表面內之凹部的循環沉積方法及設備
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
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2019-05-10 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
표면 상에 재료를 증착하는 방법 및 본 방법에 따라 형성된 구조
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ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法
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ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法
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Asm Ip Holding B.V. |
Susceptor shaft
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(ko)
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2019-06-06 |
2020-12-17 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
가스 감지기를 포함하는 기상 반응기 시스템
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(ko)
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2019-06-10 |
2026-01-28 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
석영 에피택셜 챔버를 세정하는 방법
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KR20200143254A
(ko)
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2019-06-11 |
2020-12-23 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
개질 가스를 사용하여 전자 구조를 형성하는 방법, 상기 방법을 수행하기 위한 시스템, 및 상기 방법을 사용하여 형성되는 구조
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TWI910974B
(zh)
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2019-06-26 |
2026-01-01 |
美商蘭姆研究公司 |
利用鹵化物化學品的光阻顯影
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ラム リサーチ コーポレーション |
フォトレジスト乾式蒸着のための装置
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2019-06-28 |
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램 리써치 코포레이션 |
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2019-06-28 |
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Lam Research Corporation |
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2019-06-28 |
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美商蘭姆研究公司 |
光阻膜的乾式腔室清潔
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(ko)
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2019-07-02 |
2026-06-04 |
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패턴 형성 방법, 레지스트 재료, 및 패턴 형성 장치
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(ko)
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2019-07-03 |
2026-01-12 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 처리 장치용 온도 제어 조립체 및 이를 사용하는 방법
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 처리 장치
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KR102955799B1
(ko)
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2019-07-17 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
라디칼 보조 점화 플라즈마 시스템 및 방법
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KR102860110B1
(ko)
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2019-07-17 |
2025-09-16 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
실리콘 게르마늄 구조를 형성하는 방법
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KR102903090B1
(ko)
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2019-07-19 |
2025-12-19 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
토폴로지-제어된 비정질 탄소 중합체 막을 형성하는 방법
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KR20250117739A
(ko)
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2019-07-22 |
2025-08-05 |
인프리아 코포레이션 |
유기금속성 금속 칼코게나이드 클러스터 및 리소그래피에 대한 적용
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TWI851767B
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2019-07-29 |
2024-08-11 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
用於利用n型摻雜物及/或替代摻雜物選擇性沉積以達成高摻雜物併入之方法
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KR102971074B1
(ko)
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2019-07-30 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 처리 장치 및 방법
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2019-07-30 |
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Asmip私人控股有限公司 |
基板处理设备
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(zh)
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2019-07-30 |
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Asmip私人控股有限公司 |
基板处理设备
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Asm Ip Holding B.V. |
Vertical batch furnace assembly
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Asm Ip Holding B.V. |
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Asm Ip私人控股有限公司 |
用于化学源容器的液位传感器
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Asm Ip私人控股有限公司 |
包括冷却装置的加热器组件及其使用方法
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USD965524S1
(en)
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2019-08-19 |
2022-10-04 |
Asm Ip Holding B.V. |
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USD965044S1
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2019-08-19 |
2022-09-27 |
Asm Ip Holding B.V. |
Susceptor shaft
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成膜原料混合ガス生成装置及び成膜装置
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KR102983146B1
(ko)
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2019-08-22 |
2026-06-26 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
홀을 구비한 구조체를 형성하기 위한 방법
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(en)
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2019-08-22 |
2023-02-28 |
Asm Ip Holding B.V. |
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KR102928101B1
(ko)
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2019-08-23 |
2026-02-13 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
비스(디에틸아미노)실란을 사용하여 peald에 의해 개선된 품질을 갖는 실리콘 산화물 막을 증착하기 위한 방법
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US11286558B2
(en)
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2019-08-23 |
2022-03-29 |
Asm Ip Holding B.V. |
Methods for depositing a molybdenum nitride film on a surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures including a molybdenum nitride film
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レジスト材料及びパターン形成方法
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Process for removing tin oxide deposits
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信越化学工業株式会社 |
レジスト材料及びパターン形成方法
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Asm Ip私人控股有限公司 |
用于沉积硫族化物膜的方法和设备以及包括膜的结构
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(ko)
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2019-09-04 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
희생 캡핑 층을 이용한 선택적 증착 방법
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KR102733104B1
(ko)
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2019-09-05 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 처리 장치
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US12469693B2
(en)
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Asm Ip Holding B.V. |
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(en)
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2019-09-25 |
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Asm Ip Holding B.V. |
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CN112593212B
(zh)
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2019-10-02 |
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Asm Ip私人控股有限公司 |
通过循环等离子体增强沉积工艺形成拓扑选择性氧化硅膜的方法
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TWI925822B
(zh)
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2019-10-08 |
2026-05-21 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
氣體注入系統、及將材料沉積於反應室內之基板表面上的方法
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TWI846953B
(zh)
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2019-10-08 |
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
基板處理裝置
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KR102948143B1
(ko)
|
2019-10-08 |
2026-04-07 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
활성 종을 이용하기 위한 가스 분배 어셈블리를 포함한 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법
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KR102879443B1
(ko)
|
2019-10-10 |
2025-11-03 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
포토레지스트 하부층을 형성하기 위한 방법 및 이를 포함한 구조체
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US12009241B2
(en)
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2019-10-14 |
2024-06-11 |
Asm Ip Holding B.V. |
Vertical batch furnace assembly with detector to detect cassette
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반도체 포토 레지스트용 조성물 및 이를 이용한 패턴 형성 방법
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(ko)
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2019-10-15 |
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반도체 포토 레지스트용 조성물 및 이를 이용한 패턴 형성 방법
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막을 선택적으로 에칭하기 위한 장치 및 방법
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(ko)
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 표면 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조
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(en)
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2019-10-29 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
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(en)
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반도체 포토 레지스트용 조성물 및 이를 이용한 패턴 형성 방법
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(ko)
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2019-11-20 |
2025-09-17 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판의 표면 상에 탄소 함유 물질을 증착하는 방법, 상기 방법을 사용하여 형성된 구조물, 및 상기 구조물을 형성하기 위한 시스템
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KR20210065848A
(ko)
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2019-11-26 |
2021-06-04 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
제1 유전체 표면과 제2 금속성 표면을 포함한 기판 상에 타겟 막을 선택적으로 형성하기 위한 방법
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基板处理设备
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기판 처리 장치
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조
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氣體供應總成以及閥板總成
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
채널형 리프트 핀
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用于光刻胶粘附和剂量减少的底层
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
고 종횡비 피처를 형성하는 방법
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(ko)
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2020-01-20 |
2024-06-17 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
박막 형성 방법 및 박막 표면 개질 방법
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반도체 포토 레지스트용 조성물 및 이를 이용한 패턴 형성 방법
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污染物捕集系統、及擋板堆疊
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
包括釩或銦層的裝置、結構及其形成方法、系統
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
대형 물품의 투과율 측정을 위한 방법 및 장치
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
수광 장치를 포함하는 기판 처리 장치 및 수광 장치의 교정 방법
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(zh)
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2020-02-13 |
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
氣體分配總成、噴淋板總成、及調整至反應室之氣體的傳導率之方法
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2020-02-17 |
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
用於生長磷摻雜矽層之方法
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基板処理方法及び基板処理システム
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주석계 포토레지스트 조성물 및 그 제조 방법
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用于减少euv图案化缺陷的多层硬掩模
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(zh)
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2020-02-28 |
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
專用於零件清潔的系統
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TWI914330B
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
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Asm Ip Holding B.V. |
Lockout tagout assembly and system and method of using same
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
조절성 접합부를 갖는 기판 핸들링 장치
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
타겟 토폴로지 프로파일을 갖는 층 구조를 제조하기 위한 방법
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(en)
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반도체 포토레지스트용 조성물 및 이를 이용한 패턴 형성 방법
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박막 형성 방법
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半導體裝置的製造方法
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2020-04-03 |
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朗姆研究公司 |
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
用於選擇性蝕刻氧化矽膜之設備及方法
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(ko)
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2020-04-13 |
2021-10-22 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
질소 함유 탄소 막을 형성하는 방법 및 이를 수행하기 위한 시스템
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KR102970066B1
(ko)
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2020-04-15 |
2026-05-28 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
크롬 나이트라이드 층을 형성하는 방법 및 크롬 나이트라이드 층을 포함하는 구조
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US11821078B2
(en)
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2020-04-15 |
2023-11-21 |
Asm Ip Holding B.V. |
Method for forming precoat film and method for forming silicon-containing film
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2024-05-28 |
Asm Ip Holding B.V. |
Methods of forming structures including silicon germanium and silicon layers, devices formed using the methods, and systems for performing the methods
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KR102577300B1
(ko)
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2020-04-17 |
2023-09-08 |
삼성에스디아이 주식회사 |
반도체 포토레지스트용 조성물 및 이를 이용한 패턴 형성 방법
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KR102538092B1
(ko)
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2020-04-17 |
2023-05-26 |
삼성에스디아이 주식회사 |
반도체 포토레지스트용 조성물 및 이를 이용한 패턴 형성 방법
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TW202143328A
(zh)
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2020-04-21 |
2021-11-16 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
用於調整膜應力之方法
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TWI913262B
(zh)
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2020-04-24 |
2026-02-01 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
垂直批式熔爐總成、及用於冷卻垂直批式熔爐之方法
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JP7816915B2
(ja)
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2020-04-24 |
2026-02-18 |
エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー |
窒化バナジウム含有層を形成する方法および窒化バナジウム含有層を含む構造体
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KR20210132600A
(ko)
|
2020-04-24 |
2021-11-04 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
바나듐, 질소 및 추가 원소를 포함한 층을 증착하기 위한 방법 및 시스템
|
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TWI921332B
(zh)
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2020-04-24 |
2026-04-11 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
形成包括硼化釩及磷化釩層的結構之方法、所形成之結構與裝置、及用以製造所述裝置之系統
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TWI887400B
(zh)
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2020-04-24 |
2025-06-21 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
用於穩定釩化合物之方法及設備
|
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(ko)
|
2020-04-29 |
2025-03-18 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
고체 소스 전구체 용기
|
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(ko)
|
2020-05-01 |
2021-11-11 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
Foup 핸들러를 이용한 foup의 빠른 교환
|
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TWI907417B
(zh)
|
2020-05-04 |
2025-12-11 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
半導體處理系統
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(ko)
*
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2020-05-06 |
2023-01-10 |
인프리아 코포레이션 |
중간 고정 단계가 있는 유기금속 광패턴가능 층을 사용한 다중 패터닝
|
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(ja)
|
2020-05-07 |
2025-09-09 |
エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー |
同調回路を備える反応器システム
|
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(ko)
|
2020-05-07 |
2021-11-17 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
불소계 라디칼을 이용하여 반응 챔버의 인시츄 식각을 수행하기 위한 장치 및 방법
|
|
KR102619719B1
(ko)
|
2020-05-12 |
2023-12-28 |
삼성에스디아이 주식회사 |
반도체 포토레지스트용 조성물 및 이를 이용한 패턴 형성 방법
|
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(ko)
|
2020-05-13 |
2025-03-27 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
반응기 시스템용 레이저 정렬 고정구
|
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(zh)
|
2020-05-15 |
2026-02-21 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
形成矽鍺層之方法、半導體結構、半導體裝置、形成沉積層之方法、及沉積系統
|
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(zh)
|
2020-05-19 |
2026-04-01 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
基材處理設備
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(ko)
|
2020-05-21 |
2021-12-01 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판을 처리하기 위한 플랜지 및 장치
|
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KR102795476B1
(ko)
|
2020-05-21 |
2025-04-11 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
다수의 탄소 층을 포함한 구조체 및 이를 형성하고 사용하는 방법
|
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TWI873343B
(zh)
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2020-05-22 |
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
用於在基材上形成薄膜之反應系統
|
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KR20210146802A
(ko)
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2020-05-26 |
2021-12-06 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
붕소 및 갈륨을 함유한 실리콘 게르마늄 층을 증착하는 방법
|
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TWI876048B
(zh)
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2020-05-29 |
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
基板處理方法
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Resistless patterning mask
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
處理基板之設備、形成膜之方法、及控制用於處理基板之設備之方法
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TW202618032A
(zh)
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2020-06-16 |
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
磊晶生長摻硼矽鍺層之方法和系統及包括摻硼矽鍺層之場效電晶體
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蝕刻方法、基板處理裝置及基板處理系統
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金属含有フォトレジスト堆積のための表面改質
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金属含有膜形成用化合物、金属含有膜形成用組成物、及びパターン形成方法
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スズ－酸素二重結合を含むスズ化合物、これを含むフォトレジスト組成物
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スズ化合物、スズ組成物、それらの製造方法、レジスト溶液、パターン形成方法、薄膜、パターン化された薄膜、および基板の製造方法
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三菱ケミカル株式会社 |
スズ化合物およびそれを用いたレジスト溶液、パターン形成方法、薄膜、パターン化された薄膜、並びにスズ化合物の製造方法
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レジスト下層膜形成用組成物
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金属含有膜形成用化合物、金属含有膜形成用組成物、パターン形成方法
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レジスト下層膜形成用組成物
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日产化学株式会社 |
抗蚀剂下层膜形成用组合物
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반도체 포토레지스트용 조성물 및 이를 이용한 패턴 형성 방법
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レジスト下層膜形成用組成物
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含有硅的下层膜形成用组合物
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日商日產化學股份有限公司 |
光阻下層膜形成用組成物
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日産化学株式会社 |
レジスト下層膜形成用組成物
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Inpria Corporation |
Organometallic compositions with polyene ligands, radiation sensitive coatings with bridging organic ligands and patterning
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Controlled environment processing, rest steps, and baking processes for metal oxide-based resist patterning
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Peroxide-stabilized organotin photoresist compositions and patterning
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Resist pattern forming composition and use thereof
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Merck Patent Gmbh |
Intramolecular stabilized mono alkyl metal alkoxides and their use thereof
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WO2026057672A1
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Merck Patent Gmbh |
Pattern collapse inhibiting composition, method for producing pattern, and method for manufacturing device
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2025-06-17 |
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삼성에스디아이 주식회사 |
반도체 포토레지스트용 조성물 및 이를 이용한 패턴 형성 방법
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KR102972601B1
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2025-06-17 |
2026-06-02 |
삼성에스디아이 주식회사 |
반도체 포토레지스트용 조성물 및 이를 이용한 패턴 형성 방법
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