JPH11338376A - アクティブマトリクス型液晶表示パネル及びその検査方法 - Google Patents

アクティブマトリクス型液晶表示パネル及びその検査方法

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JPH11338376A JP11072641A JP7264199A JPH11338376A JP H11338376 A JPH11338376 A JP H11338376A JP 11072641 A JP11072641 A JP 11072641A JP 7264199 A JP7264199 A JP 7264199A JP H11338376 A JPH11338376 A JP H11338376A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 不要な領域の増加やその切断にかかる工程増
加や不良増加を招くことなく、単色表示によるより精度
のよい検査を実現して不良品流出の防止や生産コストの
軽減を図り得るアクティブマトリクス型液晶表示パネル
を提供する。 【解決手段】 複数のデータ線３及び走査線２のそれぞ
れに個別に、検査用の表示信号又は検査用の走査信号の
供給をスイッチングするための検査用ＴＦＴ２６ａ・２
６ｂを接続する。そして、データ線３に接続された検査
用ＴＦＴ２６ａに検査用の表示信号を供給する検査用表
示信号線２１を、各該素子共通に接続する一方、検査用
ＴＦＴ２６ａを導通・遮断する制御信号を入力する検査
用制御信号線は、表示色に併せて２５Ｒ・２５Ｇ・２５
Ｂの３本設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、絵素電極にスイッ
チング素子を介して駆動信号を印加し、対向する電極と
の電位差によって表示を行うアクティブマトリクス型液
晶表示パネル及びその検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、液晶表示装置は、マトリクス状に
配列された複数の絵素電極とこれらの絵素電極と対向し
て配される共通電極である対向電極を備え、両電極間に
表示媒体である液晶を介在させている。表示にあたって
は、絵素電極に選択的に電位が書き込まれ、この絵素電
極と対向電極との間の電圧差により、介在する液晶の光
学的変調が行われ、表示パターンとして視認されること
となる。
【０００３】絵素電極の駆動方法としては、マトリクス
状に配された絵素電極のそれぞれにスイッチング素子を
接続し、絵素電極個々をスイッチング素子にて駆動す
る、いわゆるアクティブマトリクス駆動方式が知られて
いる。上記のスイッチング素子としては、ＴＦＴ（薄膜
トランジスタ）、ＭＩＭ（金属−絶縁膜−金属）素子等
が一般的である。
【０００４】アクティブマトリクス型液晶表示装置に備
えられるアクティブマトリクス型液晶表示パネルは、透
明な絶縁性基板上に複数の走査線と複数のデータ線とが
互いに交差して配設されると共に、各交差部ごとに、絵
素電極、該絵素電極を駆動するスイッチング素子が形成
されたアクティブマトリクス基板と、透明な絶縁性基板
上に対向電極が形成された対向基板とが、各対向面に配
向膜を備えると共に、液晶層を介して貼り合わされてい
る。
【０００５】図１４に、スイッチング素子としてＴＦＴ
を用いた前記アクティブマトリクス基板における１絵素
部分の構成を示す。走査線２は絵素ＴＦＴ１のゲート電
極に接続され、そこへ入力される走査信号によって絵素
ＴＦＴ１が駆動される。データ線３は絵素ＴＦＴ１のソ
ース電極に接続され、表示信号が入力される。絵素ＴＦ
Ｔ１のドレイン電極には、絵素電極１４及び補助容量の
一方の端子が補助容量電極２８を介して接続される。補
助容量のもう一方の端子は補助容量配線４に接続され、
液晶セルの構成とされた場合に対向基板上の対向電極と
接続される。絶縁性基板上には、上記の絵素ＴＦＴ１及
び絵素電極１４がマトリクス状に配設されている。
【０００６】図１５に、アクティブマトリクス基板の断
面構造の一例を示す。絶縁性基板７上にゲート電極８、
ゲート絶縁膜９、半導体層１０、ソース，ドレイン電極
となるｎ+ −Ｓｉ層１１、データ線３となる金属層１
２、層間絶縁膜１３、絵素電極１４となる透明導電層の
順に形成されている。絵素電極１４は層間絶縁膜１３を
貫くコンタクトホール１５を介して絵素ＴＦＴ１のドレ
イン電極に、詳細には補助容量電極２８を介して接続さ
れている。
【０００７】図１５の構造では、走査線２（ゲート電極
８と同層）及びデータ線３と絵素電極１４との間には層
間絶縁膜１３が形成されているため、データ線３に対し
て絵素電極１４をオーバーラップさせることが可能とな
る。この様な構造によると、開口率の向上、データ線３
に起因する電界をシールドすることによる液晶の配向不
良の抑制といった効果があることが知られている。
【０００８】次いで、図１６を用いてこれ以降の工程を
説明する。図１６は、従来のアクティブマトリクス型液
晶表示装置の平面模式図である。但し、図示するのは大
型の基板からそれぞれの表示装置に相当する部分ごとに
１セルずつに切り出した後の状態である。実際の工程上
はこれらが縦横に数セル並んだ状態で生産される場合が
多い。
【０００９】完成したアクティブマトリクス基板５０の
有効表示領域（二点鎖線内）１７にポリイミド系の配向
膜を成膜し、ラビングなどの処理により、配向機能を付
加する。対向基板５１においても、ＩＴＯ(Indium Tin
Oxide)などの透明な対向電極（図示せず）を成膜した
後、有効表示領域１７に当たる部分に同じ処理を施して
おく。
【００１０】液晶表示パネルの周囲部において、液晶注
入口の部分だけあけて、パネルを囲むように印刷方式な
どによりシール材（図示せず）を塗布し、さらにアクテ
ィブマトリクス基板５０上の対向基板用信号入力端子２
７の上に、導電性物質１９を付着させた後、液晶層のセ
ル厚を一定にするためのスペーサ（図示せず）を散布
し、対向基板５１と貼り合わせ、熱を加えてシール材を
硬化させる。
【００１１】その後、液晶注入口から液晶を注入し、封
止材により液晶注入口を塞ぎ、液晶表示装置のパネル部
分が完成し、これに各データ線３へ表示信号を印加する
ソースドライバ２０ａ、各走査線２に走査信号を印加す
るゲートドライバ２０ｂ、制御回路（図示せず）、バッ
クライト（図示せず）などの実装部材を取り付けること
により液晶表示装置が完成する。なお、図１６に示す液
晶表示装置においては、補助容量配線４は設けられてい
ない。
【００１２】ところで、このような液晶表示装置の検査
としては通常、工程における各過程での光学的検査、ア
クティブマトリクス基板が完成した段階での電気的検
査、ドライバなどの実装部材を取り付ける前のパネル部
分が完成した時点での点灯検査、電気的検査が行われ
る。
【００１３】これは、不良部分を後工程に流すことによ
って材料や作業の無駄が生じることを防ぐためであっ
て、不具合がある場合はこの時点で廃棄されるか、もし
くはレーザなどの手段によって修正が施される。
【００１４】ところが、近年の生産技術の向上により、
液晶表示パネルはますます高精細化が進んでおり、それ
に伴って検査工程においても高度な技術が要求されるよ
うになってきている。
【００１５】すなわち、データ線３や走査線２に信号を
入力するための端子はますます狭ピッチになっており、
このそれぞれにピンで電気的にコンタクトをとって信号
を供給しようとする場合には、極めて精細な高価なプロ
ーバを用意せねばならず、また、検査時に端子上に微細
なダストが存在しても正常な点灯ができず、検査不良を
パネルの不具合と誤認識する場合があり、これを防止す
るためには検査そのものを極めてクリーン度の高い環境
で行わねばならないなど、トータル的にコストアップを
余儀なくされることになっていた。
【００１６】そこで、より容易な検査を可能とするため
に、図１６に示す液晶表示装置では、検査時に同一の信
号を供給するデータ線３，走査線２を、検査用表示信号
線５２ａ・５２ｂ・５２ｃ，検査用走査信号線５３ａ・
５３ｂで短絡しておき、検査後にこれをダイシングで切
断線Ｌに沿って基板ごと切り離したり、レーザ切断など
の手段で電気的に切り離すなどの手段を用いるのが一般
的である（例えば、特開平０７−００５４８１号公報に
開示）。
【００１７】ところが、この方法によると、切断にかか
る工程数の増加という新たな問題が生じるほか、切断に
よって生じた配線パターンの破片やガラス屑などによっ
て新たな不良を発生する可能性があるという問題もあ
る。さらに、ダイシングの場合には切断されるべき領域
が大判の基板上では無駄な領域となり、パネルの取れ数
の上で不利になるという問題もあった。
【００１８】また、上記基板の切断時には静電気が発生
し、これによりスイッチング素子が静電破壊される虞が
あるなどの問題もあった。
【００１９】そこで、切断にかかる工程数の増加を回避
する一例として、同一の信号を供給すべき線を電気的に
完全に導通しておくのではなく、その部分にＴＦＴなど
のスイッチング素子を配置しておき、検査時に必要に応
じてこのスイッチング素子を導通させる信号を供給し
て、予め短絡させておいたのと同様の効果を得る方法が
考えられた。
【００２０】このようなスイッチング素子を介して走査
線やデータ線に信号を供給するものとして、例えば特開
平０３−１４２４９９号公報には、大判の基板状態でこ
のスイッチング素子を介して次々と信号を供給し、各絵
素を充電させた後、さらにスイッチング素子を介して信
号を次々と読み出して画面内の欠陥情報を電気的に得る
方法が示されている。
【００２１】この方法では、対向基板を貼り付けるより
前の工程で不良のアクティブマトリクス基板を検出でき
るため、より工程数の無駄を省けるというメリットがあ
る。しかしながら、特にこの方法で点欠陥を検出しよう
とした場合、極めて微少な電気信号を制度よく読み出す
必要があるため、読み出しアンプの設計や回路シーケン
ス、絵素ＴＦＴの時定数と読み出し時間のバランスの最
適化など困難な問題が大きいのみならず、特に表示ムラ
や低輝点の検出においては、電気的検査によって得た結
果と実際に表示してみた場合の検査結果との間の隔たり
が大きいといった問題があった。
【００２２】そこで、同じくスイッチング素子を介して
信号を供給するものであって、従来どおりの点灯検査を
行えるように考えられたのが、特開平０７−３３３２７
５号公報に記載されている液晶表示パネルであった。
【００２３】図１７に、特開平０７−３３３２７５号公
報に開示されている液晶表示パネルの構成を示す。これ
においては、周縁部近傍表面に近接して設けられた５つ
の端子ｚ１〜ｚ５に、検査用の信号線ｘ１〜ｘ７が接続
されている。さらに、信号線ｘ１・ｘ２・ｘ３と走査線
２との間にスイッチング素子であるＴＦＴ６６が走査線
２ごとに個別に形成される一方、信号線ｘ４・ｘ５とデ
ータ線３との間にはＴＦＴ６７がデータ線３ごとに個別
に形成されている。端子ｚ１〜ｚ５から入力された信号
は、各ＴＦＴ６７・６６を経て絵素部６０へと送られ
る。
【００２４】したがって、液晶表示パネルの検査を行う
際、走査線２の端子ｐやデータ線３の端子ｑなどの端子
に１本ずつ検査信号を供給しなくとも、端子ｚ１〜ｚ５
に検査信号を入力するだけで駆動させることができるの
で、検査の際の手間を省くことができる。
【００２５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
特開平０７−３３３２７５号公報の構造では、検査にお
いて次のような欠点がある。
【００２６】すなわち、図１７に示すように、各データ
線３に信号を供給すべき検査用の信号線がｘ４の１本で
あるため、この検査においては黒または白の単色表示を
行って、線欠陥および点欠陥を検知することとなる。
【００２７】ところが、近年、生産技術の向上によって
表示装置により高い表示品位が求められており、輝点は
もちろんのこと、黒点についても厳しい基準が設けられ
つつある。黒点には数種類あるが、ノーマリーホワイト
方式で最も多いのが、絵素電極とそれに信号を供給すべ
きでないデータ線３（一般には隣接絵素に信号を供給す
るデータ線３）とのリークがあった場合の欠陥であり、
単色表示を行った場合に現われるものである。上記した
従来公報の構成では、隣接するデータ線に異なる信号を
流すことができないので、このような黒点を検出できな
い。表示装置の高精細化が進む昨今、パターンの高密度
化と絵素数の増加によって、このタイプの欠陥はますま
す無視できなくなってきている。
【００２８】また、上記した従来公報の構成では、隣接
するデータ線に異なる信号を流すことができないので、
データ線３・３同士のリークを検出できない。
【００２９】そして、データ線３・３同士のリーク欠陥
は、目視検査のみならず電気的検査も行わなければなら
ない。それは、線欠陥が点欠陥より極めて重大な欠陥で
あるのに加え、リーク部分の経時変化やリーク電流の温
度特性によって、目視検査でみつからなかった欠陥が市
場で問題をおこすという危険をはらんでいるためであ
る。
【００３０】また、上記特開平０７−３３３２７５号公
報に開示されている液晶表示パネルのように、データ線
または走査線にスイッチング素子を介して検査用信号を
供給する場合、液晶表示パネルの完成後は上記データ線
や走査線はそれぞれ電気的に独立したものである必要が
あるため、上記スイッチング素子においてリークが生じ
ると、表示上の不具合や誤作動が生じる虞がある。
【００３１】また、上記スイッチング素子を介してデー
タ線や走査線に検査用の信号を供給する配線に静電気が
入り込むと、該スイッチング素子のゲート−ドレイン間
やゲート−ソース間に高電圧がかかって絶縁破壊が起こ
り、上述のリーク欠陥をおこす虞がある。
【００３２】さらに、基板の静電破壊を防止する方法と
しては、データ線間または走査線間を抵抗素子で接続
し、特定のラインに発生した静電気を他のラインに逃が
すようにして電荷の分散を図ったアクティブマトリクス
基板が従来よりある。しかしながら、このようなアクテ
ィブマトリクス基板では、その検査時において、検査用
配線を通じてデータ線または走査線に信号を供給する時
に、該検査用配線での電圧降下によりデータ線または走
査線にかかる電圧が低下するといった問題が生じる。
【００３３】また、上記検査は、複数枚の液晶表示パネ
ルを大判の基板にて作成したのち、これを１枚ずつに切
断して得られる各液晶表示パネルにおいて行なわれるも
のであるため、その検査効率が低いという問題がある。
【００３４】本発明は、上記３つの公開特許公報にみら
れるような先行技術の問題点を同時に解決するものであ
り、不要な領域の増加やその切断にかかる工程増加や不
良増加を招くことなく、単色表示によるより精度のよい
検査を実現して不良品流出の防止や生産コストの軽減を
図るものである。
【００３５】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
のアクティブマトリクス型液晶表示パネルは、上記の課
題を解決するために、絶縁性基板上に、複数の絵素電
極、該絵素電極に個別に接続される絵素スイッチング素
子、該絵素スイッチング素子を介して絵素電極を駆動す
る、格子状に配設された複数の走査線及びデータ線を有
するアクティブマトリクス基板と、共通電極を有する対
向基板とが、液晶層を介して貼り合わされてなるアクテ
ィブマトリクス型液晶表示パネルにおいて、複数のデー
タ線に、検査用の表示信号の供給をスイッチングするた
めの検査用スイッチング素子が個別に接続されており、
各検査用スイッチング素子には、検査用スイッチング素
子を介してデータ線に検査用の表示信号を供給する検査
用表示信号線が共通に配設されると共に、検査用スイッ
チング素子を導通・遮断する制御信号を入力する制御信
号線が、隣接するデータ線に異なる制御信号が入力され
るように複数本配設されていることを特徴としている。
【００３６】これによれば、まず、複数のデータ線に個
別に、検査用の表示信号の供給をスイッチングするため
の検査用スイッチング素子が接続されているので、検査
後に、検査用の該配線を切り離す必要がなく、工程数は
増加しない。なお、検査用スイッチング素子も、絵素ス
イッチング素子と同工程で作製できるので、工程数の増
加はない。
【００３７】この場合、走査線側にも検査用の走査信号
の入力をスイッチングする検査用スイッチング素子を設
けておく構成が望ましいが、例えば、検査用の走査信号
の入力は、従来の図１６に示した構成と同じにしてお
き、検査後の基板分断工程で、走査線側の検査用の配線
を切断してもよく、また、このことによる工程数の増加
が許されない場合は、走査線方向に複数枚パネルが連結
された状態で検査工程を行って、検査後個々のパネルに
分断する際に該検査用配線を同時に切断できるようにし
ておくことも有効である。
【００３８】次に、上記の構成では、データ線に接続さ
れた検査用スイッチング素子を導通・遮断する制御信号
を入力する制御信号線が、隣接するデータ線に異なる制
御信号が入力されるように複数本配設されているので、
信号系統間のリークを電気的に検出できるのみならず、
データ線間のリークの目視検査もできる。
【００３９】また、特に上記の構成では、データ線に接
続された検査用スイッチング素子に検査用の表示信号を
供給する検査用表示信号線は、各検査用スイッチング素
子共通に配設されているので、各データ線に検査用の表
示信号を供給する際の信号遅延を考慮しなければならな
い配線は１本となり、設計が容易である。
【００４０】本発明の請求項２に記載のアクティブマト
リクス型液晶表示パネルは、請求項１に記載の構成にお
いて、データ線に接続された検査用スイッチング素子に
複数本配設された前記制御信号線は、検査用スイッチン
グ素子を介して絵素における複数の表示色にそれぞれ相
当するデータ線ごとに接続されていることを特徴として
いる。
【００４１】また、本発明の請求項３２に記載のアクテ
ィブマトリクス型液晶表示パネルの検査方法は、請求項
２に記載のアクティブマトリクス型液晶表示パネルにお
いて、検査用表示信号線に検査用の表示信号を供給しつ
つ、複数本配設されたデータ線検査用制御信号線に供給
する制御信号を順次切り替えて色表示することを特徴と
している。
【００４２】これによれば、請求項１に記載の構成によ
る作用に加えて、複数の制御信号線が、検査用スイッチ
ング素子を介して絵素における複数の表示色にそれぞれ
相当するデータ線ごとに接続されているので、請求項３
２に記載したように点灯検査することで、検査時に色表
示が可能となり、データ線間のリークや隣接絵素間のリ
ーク欠陥を目視で容易に検出することができる。
【００４３】本発明の請求項３記載のアクティブマトリ
クス型液晶表示パネルは、上記の課題を解決するため
に、絶縁性基板上に、複数の絵素電極、該絵素電極に個
別に接続される絵素スイッチング素子、該絵素スイッチ
ング素子を介して絵素電極を駆動する、格子状に配設さ
れた複数の走査線及びデータ線を有するアクティブマト
リクス基板と、共通電極を有する対向基板とが、液晶層
を介して貼り合わされてなるアクティブマトリクス型液
晶表示パネルにおいて、複数のデータ線に、検査用の表
示信号の供給をスイッチングするための検査用スイッチ
ング素子が個別に接続されており、各検査用スイッチン
グ素子には、検査用スイッチング素子を導通・遮断する
制御信号を入力する制御信号線が共通に配設されると共
に、検査用スイッチング素子に検査用の表示信号を供給
する検査用表示信号線が、隣接するデータ線に異なる表
示信号が入力されるように複数本配設されていることを
特徴としている。
【００４４】これによれば、請求項１に記載の構成と同
様に、検査後に、検査用の配線を切り離す必要がなく、
工程数は増加しない。そして、データ線に接続された検
査用スイッチング素子に検査用の表示信号を供給する検
査用表示信号線が隣接するデータ線に異なる表示信号が
入力されるように複数本配設されているので、請求項１
に記載の構成と同様に、信号系統間のリークを電気的に
検出できるのみならず、データ線間のリークも目視検査
できる。
【００４５】しかもこの場合、点灯検査後、検査用表示
信号線間の電気抵抗を測定することで、目視では検出で
きないようなリーク量（後に欠陥として視認される虞れ
のある欠陥予備群）の信号系統間、データ線間のリーク
も検出できる。
【００４６】本発明の請求項４に記載のアクティブマト
リクス型液晶表示パネルは、請求項３の構成において、
データ線に接続された検査用スイッチング素子に複数本
配設された前記検査用表示信号線は、検査用スイッチン
グ素子を介して絵素における複数の表示色にそれぞれ相
当するデータ線ごとに接続されていることを特徴として
いる。
【００４７】また、本発明の請求項３３に記載のアクテ
ィブマトリクス型液晶表示パネルの検査方法は、請求項
４に記載のアクティブマトリクス型液晶表示パネルにお
いて、データ線検査用制御信号線に制御信号を供給しつ
つ、複数本配設された検査用表示信号線に供給する検査
用の表示信号を順次切り替えて色表示することを特徴と
している。
【００４８】これによれば、請求項３に記載の構成によ
る作用に加えて、複数本設けられた前記検査用表示信号
線が、検査用スイッチング素子を介して絵素における複
数の表示色にそれぞれ相当するデータ線ごとに接続され
ているので、請求項３３に記載したように点灯検査する
ことで、検査時に色表示が可能となり、請求項３と同様
に、データ線間のリークや隣接絵素間のリーク欠陥を目
視で容易に検出することができる。
【００４９】しかもこの場合、点灯検査後、検査用表示
信号線間の電気抵抗を測定することで、目視では検出で
きないようなリーク量（後に欠陥として視認される虞れ
のある欠陥予備群）の信号系統間、データ線間のリーク
も検出できる。
【００５０】本発明の請求項５に記載のアクティブマト
リクス型液晶表示パネルは、請求項１ないし４の何れか
１項に記載の構成において、複数の走査線に、検査用の
表示信号の供給をスイッチングするための検査用スイッ
チング素子が個別に接続されており、走査線に接続され
た各検査用スイッチング素子には、該検査用スイッチン
グ素子を導通・遮断する制御信号を入力する制御信号
線、及び該検査用スイッチング素子に検査用の走査信号
を供給する検査用走査信号線が配設されていることを特
徴としている。
【００５１】これによれば、走査線側にも検査用の走査
信号の入力をスイッチングする検査用スイッチング素子
が設けられているので、走査線側の検査用の配線も切断
する必要がない。したがって、液晶表示パネルを個々に
分割した後で検査を実施しても、工程数の増加は一切な
い。
【００５２】本発明の請求項６に記載のアクティブマト
リクス型液晶表示パネルは、請求項５に記載の構成にお
いて、走査線に接続された各検査用スイッチング素子に
検査用の走査信号を供給する検査用走査信号線が、隣接
する走査線に異なる検査用の走査信号が入力されるよう
に複数本配設されていることを特徴としている。
【００５３】これによれば、走査線に接続された検査用
スイッチング素子に検査用の走査信号を供給する検査用
走査信号線が、隣接する走査線に該検査用スイッチング
素子を介して接続される検査用走査信号線が異なるよう
に接続されているので、上記した請求項５に記載の構成
による作用に加え、隣接する走査線を絵素電極の補助容
量として使う、いわゆるＣｓ ｏｎ Ｇａｔｅ構造の場
合にも、支障無く点灯検査が可能である。
【００５４】本発明の請求項７に記載のアクティブマト
リクス型液晶表示パネルは、請求項５又は６に記載の構
成において、データ線に接続された検査用スイッチング
素子に制御信号を入力する前記制御信号線と、走査線に
接続された検査用スイッチング素子に制御信号を入力す
る前記制御信号線とが、前記絶縁性基板上で電気的に接
続されていることを特徴としている。
【００５５】これによれば、両制御信号線が共通化する
ので、請求項５又は６に記載した構成による作用に加え
て、検査用配線の形成にかかる領域を小さくでき、ま
た、検査時と実装後の点灯時の制御信号の入力を容易に
できる。
【００５６】本発明の請求項８に記載のアクティブマト
リクス型液晶表示パネルは、請求項３または４に記載の
構成において、前記データ線検査用スイッチング素子が
導通状態にある時の、該データ線検査用スイッチング素
子のソース−ドレイン間の抵抗値が、隣接するデータ線
間のリーク抵抗値、もしくは、走査線−データ線間のリ
ーク抵抗値の５％以下であることを特徴としている。
【００５７】本発明の請求項９に記載のアクティブマト
リクス型液晶表示パネルは、請求項３または４に記載の
構成において、前記複数の走査線に、検査用の走査信号
の供給をスイッチングするための走査線検査用スイッチ
ング素子が個別に接続されており、各走査線検査用スイ
ッチング素子には、走査線検査用スイッチング素子を導
通・遮断する制御信号を入力する走査線検査用制御信号
線が共通に配設されると共に、走査線検査用スイッチン
グ素子に検査用の走査信号を供給する検査用走査信号線
が、隣接する走査線に異なる走査信号が入力されるよう
に複数本配設されていると共に、前記データ線検査用ス
イッチング素子および前記走査線検査用スイッチング素
子が導通状態にある時の、これらの検査用スイッチング
素子のソース−ドレイン間の抵抗値が、隣接する走査線
間のリーク抵抗値、隣接するデータ線間のリーク抵抗
値、もしくは、走査線−データ線間のリーク抵抗値の５
％以下であることを特徴としている。
【００５８】本発明の請求項１０に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、請求項３または４に記載
の構成において、前記複数の走査線に、検査用の走査信
号の供給をスイッチングするための走査線検査用スイッ
チング素子が個別に接続されており、各走査線検査用ス
イッチング素子には、該走査線検査用スイッチング素子
を導通・遮断する制御信号を入力する走査線検査用制御
信号線、及び該走査線検査用スイッチング素子を介して
走査線に検査用の走査信号を供給する検査用走査信号線
が配設されていると共に、隣接する各走査線間に補助容
量配線が走査線と並行に配設されており、前記データ線
検査用スイッチング素子および前記走査線検査用スイッ
チング素子が導通状態にある時の、これらの検査用スイ
ッチング素子のソース−ドレイン間の抵抗値が、隣接す
るデータ線間のリーク抵抗値、走査線−補助容量配線間
のリーク抵抗値、データ線−補助容量配線間のリーク抵
抗値、もしくは、走査線−データ線間のリーク抵抗値の
５％以下であることを特徴としている。
【００５９】本発明の請求項１１に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、請求項３または４に記載
の構成において、前記データ線検査用スイッチング素子
が導通状態にある時の、該データ線検査用スイッチング
素子のソース−ドレイン間の抵抗値が５００ｋΩ以下で
あることを特徴としている。
【００６０】本発明の請求項１２に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、請求項３または４に記載
の構成において、前記複数の走査線に、検査用の走査信
号の供給をスイッチングするための走査線検査用スイッ
チング素子が個別に接続されており、各走査線検査用ス
イッチング素子には、走査線検査用スイッチング素子を
導通・遮断する制御信号を入力する走査線検査用制御信
号線が共通に配設されると共に、走査線検査用スイッチ
ング素子に検査用の走査信号を供給する検査用走査信号
線が、隣接する走査線に異なる走査信号が入力されるよ
うに複数本配設されていると共に、前記データ線検査用
スイッチング素子および前記走査線検査用スイッチング
素子が導通状態にある時の、これらの検査用スイッチン
グ素子のソース−ドレイン間の抵抗値が５００ｋΩ以下
であることを特徴としている。
【００６１】本発明の請求項１３に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、請求項３または４に記載
の構成において、前記複数の走査線に、検査用の走査信
号の供給をスイッチングするための走査線検査用スイッ
チング素子が個別に接続されており、各走査線検査用ス
イッチング素子には、該走査線検査用スイッチング素子
を導通・遮断する制御信号を入力する走査線検査用制御
信号線、及び該走査線検査用スイッチング素子を介して
走査線に検査用の走査信号を供給する検査用走査信号線
が配設されていると共に、隣接する各走査線間に補助容
量配線が走査線と並行に配設されており、前記データ線
検査用スイッチング素子および前記走査線検査用スイッ
チング素子が導通状態にある時の、これらの検査用スイ
ッチング素子のソース−ドレイン間の抵抗値が５００ｋ
Ω以下であることを特徴としている。
【００６２】これによれば、上記検査用スイッチング素
子の導通状態における抵抗値が、電気的検査において検
出しようとする表示上視認されうるリーク抵抗値と比べ
て十分に小さなものとなり、データ線間もしくは走査線
間のリーク検出が確実に行なえる。
【００６３】本発明の請求項１４に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、絶縁性基板上に、複数の
絵素電極、該絵素電極に個別に接続される絵素スイッチ
ング素子、該絵素スイッチング素子を介して絵素電極を
駆動する、格子状に配設された複数の走査線及びデータ
線を有するアクティブマトリクス基板と、共通電極を有
する対向基板とが、液晶層を介して貼り合わされてなる
アクティブマトリクス型液晶表示パネルにおいて、前記
複数のデータ線に、検査用の表示信号の供給を制御する
ためのデータ線検査用スイッチング素子が個別に接続さ
れており、各データ線検査用スイッチング素子には、該
データ線検査用スイッチング素子を介してデータ線に検
査用の表示信号を供給する検査用表示信号線と、データ
線検査用スイッチング素子を導通・遮断する制御信号を
入力するデータ線検査用制御信号線とが配設されてお
り、または、前記複数の走査線に、検査用の走査信号の
供給を制御するための走査線検査用スイッチング素子が
個別に接続されており、各走査線検査用スイッチング素
子には、該走査線検査用スイッチング素子を介して走査
線に検査用の走査信号を供給する検査用走査信号線と、
走査線検査用スイッチング素子を導通・遮断する制御信
号を入力する走査線検査用制御信号線とが配設されてい
ると共に、液晶表示パネル駆動時には、前記データ線検
査用制御信号線または走査線検査用制御信号線に、前記
データ線検査用スイッチング素子または走査線検査用ス
イッチング素子を遮断する電圧がそれぞれ印加されるこ
とを特徴としている。
【００６４】これによれば、液晶表示パネルの駆動時、
制御信号線には検査用スイッチング素子を遮断する電圧
が印加されているので、駆動時の誤動作を防止できる。
【００６５】本発明の請求項１５に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、請求項１４に記載の構成
において、前記絶縁性基板上に液晶表示パネルを駆動す
るための外部回路と、該外部回路を駆動するための配線
が形成され、データ線に接続された検査用スイッチング
素子に制御信号を入力する前記制御信号線及び／又は走
査線に接続された検査用スイッチング素子に制御信号を
入力する前記制御信号線が、前記外部回路を駆動するた
めの前記配線の内、接地電位を加える配線、外部回路の
ロジック内のスイッチング素子をオフする電圧が加えら
れる配線、又は外部回路の出力電圧の内のローレベルを
規定する電圧が加えられる配線に接続されていることを
特徴としている。
【００６６】これは、請求項１４に記載した構成の１具
体案であり、制御信号線を、外部回路を駆動するための
前記配線の内、接地電位を加える配線、外部回路のロジ
ック内のスイッチング素子をオフする電圧が加えられる
配線、又は外部回路の出力電圧の内のローレベルを規定
する電圧が加えられる配線に接続しておくことで、新た
に別系統の電源を設けることなく、液晶表示パネル駆動
時の誤動作を防止できる。
【００６７】本発明の請求項１６に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、絶縁性基板上に、複数の
絵素電極、該絵素電極に個別に接続される絵素スイッチ
ング素子、該絵素スイッチング素子を介して絵素電極を
駆動する、格子状に配設された複数の走査線及びデータ
線を有するアクティブマトリクス基板と、共通電極を有
する対向基板とが、液晶層を介して貼り合わされてなる
アクティブマトリクス型液晶表示パネルにおいて、前記
複数のデータ線に、検査用の表示信号の供給を制御する
ためのデータ線検査用スイッチング素子が個別に接続さ
れており、各データ線検査用スイッチング素子には、該
データ線検査用スイッチング素子を介してデータ線に検
査用の表示信号を供給する検査用表示信号線と、データ
線検査用スイッチング素子を導通・遮断する制御信号を
入力するデータ線検査用制御信号線とが配設されてお
り、または、前記複数の走査線に、検査用の走査信号の
供給を制御するための走査線検査用スイッチング素子が
個別に接続されており、各走査線検査用スイッチング素
子には、該走査線検査用スイッチング素子を介して走査
線に検査用の走査信号を供給する検査用走査信号線と、
走査線検査用スイッチング素子を導通・遮断する制御信
号を入力する走査線検査用制御信号線とが配設されてい
ると共に、前記データ線検査用制御信号線または前記走
査線検査用制御信号線の信号入力点と、該データ線検査
用制御信号線または走査線検査用制御信号線が接続され
ているデータ線検査用スイッチング素子群または走査線
検査用スイッチング素子との間に、抵抗素子が設けられ
ていることを特徴としている。
【００６８】これによれば、制御信号線の信号入力点
と、該制御信号線が接続されている検査用スイッチング
素子群との間に、抵抗素子が設けられているので、該制
御信号線に流れる静電気による検査用スイッチング素子
の破壊を、検査に支障なく防止できる。
【００６９】本発明の請求項１７に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、請求項１５記載の構成に
おいて、制御信号線と接続された、前記の接地電位を加
える配線、外部回路のロジック内のスイッチング素子を
オフする電圧が加えられる配線、又は外部回路の出力電
圧の内のローレベルを規定する電圧が加えられる配線
と、該制御信号線が接続されている検査用スイッチング
素子群との間に、抵抗素子が設けられていることを特徴
としている。
【００７０】これは、請求項１５に記載した構成におい
て静電気対策を講じたもので、該制御信号線に流れる静
電気による検査用スイッチング素子の破壊を、検査に支
障なく防止できる。
【００７１】本発明の請求項１８に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、請求項１６又は１７に記
載の構成において、抵抗素子は絵素スイッチング素子と
同工程で作製された非線形素子であることを特徴として
いる。
【００７２】線形素子からなる抵抗素子の場合、静電気
が加わった際の過電流によてジュール熱が発生して抵抗
素子が融解されると、導電性を失い、後に検査用スイッ
チング素子をオフする電圧を加えることができなくな
る。しかしながら、非線形素子の場合、たとえ過電流に
よって該素子が破壊されても、導電性であることには変
わりなく、検査用スイッチング素子をオフする電圧を加
えることができる。
【００７３】本発明の請求項１９に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、請求項１８に記載の構成
において、非線形素子が複数個直列に接続されているこ
とを特徴としている。
【００７４】これによれば、請求項１８に記載の構成に
よる作用に加えて、たとえ上記のように過電流が加わっ
て非線形素子の１つが破壊されたとしても、次段の非線
形素子で、静電気対策の抵抗素子としての機能を確保で
きる。
【００７５】本発明の請求項２０に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、絶縁性基板上に、複数の
絵素電極、該絵素電極に個別に接続される絵素スイッチ
ング素子、該絵素スイッチング素子を介して絵素電極を
駆動する、格子状に配設された複数の走査線及びデータ
線を有するアクティブマトリクス基板と、共通電極を有
する対向基板とが、液晶層を介して貼り合わされてなる
アクティブマトリクス型液晶表示パネルにおいて、前記
複数のデータ線に、検査用の表示信号の供給を制御する
ためのデータ線検査用スイッチング素子が個別に接続さ
れており、各データ線検査用スイッチング素子には、該
データ線検査用スイッチング素子を介してデータ線に検
査用の表示信号を供給する検査用表示信号線と、データ
線検査用スイッチング素子を導通・遮断する制御信号を
入力するデータ線検査用制御信号線とが配設されてお
り、または、前記複数の走査線に、検査用の走査信号の
供給を制御するための走査線検査用スイッチング素子が
個別に接続されており、各走査線検査用スイッチング素
子には、該走査線検査用スイッチング素子を介して走査
線に検査用の走査信号を供給する検査用走査信号線と、
走査線検査用スイッチング素子を導通・遮断する制御信
号を入力する走査線検査用制御信号線とが配設されてい
ると共に、前記絶縁性基板上に液晶表示パネルを駆動す
るための外部回路と、該外部回路を駆動するための配線
が形成され、前記データ線検査用スイッチング素子また
は走査線検査用スイッチング素子が、該外部回路の反対
側の辺に設けられていることを特徴としている。
【００７６】これによれば、検査用スイッチング素子
が、該外部回路の反対側の辺に設けられているので、ド
ライバ回路周辺のパターン形成に領域的な余裕ができる
ほか、検査用スイッチング素子が破壊されてしまった場
合など、必要に応じて検査用スイッチング素子を切断す
ることができる。
【００７７】本発明の請求項２１に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、絶縁性基板上に、複数の
絵素電極、該絵素電極に個別に接続される絵素スイッチ
ング素子、該絵素スイッチング素子を介して絵素電極を
駆動する、格子状に配設された複数の走査線及びデータ
線を有するアクティブマトリクス基板と、共通電極を有
する対向基板とが、液晶層を介して貼り合わされてなる
アクティブマトリクス型液晶表示パネルにおいて、前記
複数のデータ線に、検査用の表示信号の供給を制御する
ためのデータ線検査用スイッチング素子が個別に接続さ
れており、各データ線検査用スイッチング素子には、該
データ線検査用スイッチング素子を介してデータ線に検
査用の表示信号を供給する検査用表示信号線と、データ
線検査用スイッチング素子を導通・遮断する制御信号を
入力するデータ線検査用制御信号線とが配設されてお
り、または、前記複数の走査線に、検査用の走査信号の
供給を制御するための走査線検査用スイッチング素子が
個別に接続されており、各走査線検査用スイッチング素
子には、該走査線検査用スイッチング素子を介して走査
線に検査用の走査信号を供給する検査用走査信号線と、
走査線検査用スイッチング素子を導通・遮断する制御信
号を入力する走査線検査用制御信号線とが配設されてい
ると共に、前記データ線検査用スイッチング素子または
走査線検査用スイッチング素子が遮光されていることを
特徴としている。
【００７８】これによれば、検査用スイッチング素子が
遮光されているので、該素子を遮断した際の漏れ電流を
抑えることができ、液晶表示パネル駆動時の誤動作を防
ぎ信頼性上の問題をなくすることができる。
【００７９】本発明の請求項２２に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、請求項２１に記載の構成
において、検査用スイッチング素子が、対向基板上に形
成された遮光膜に相対して設置されていることを特徴と
している。
【００８０】これによれば、検査用スイッチング素子が
対向基板上に形成された遮光膜に相対して設置されてい
るので、請求項１７に記載の構成と同じ作用を奏する。
【００８１】本発明の請求項２３に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、請求項１ないし２２の何
れかに記載の構成において、前記データ線検査用制御信
号線、前記走査線検査用制御信号線、前記検査用表示信
号線、および前記検査用走査信号線のうち、該液晶表示
パネルに含まれているもの全ての入力端子と、液晶表示
パネルの検査時に前記共通電極への信号入力を行なうた
めの入力端子とが、前記アクティブマトリクス基板上の
１辺もしくは対向する２辺に設置されていることを特徴
としている。
【００８２】また、本発明の請求項３９に記載のアクテ
ィブマトリクス型液晶表示パネルの検査方法は、絶縁性
基板上に、複数の絵素電極、該絵素電極に個別に接続さ
れる絵素スイッチング素子、該絵素スイッチング素子を
介して絵素電極を駆動する、格子状に配設された複数の
走査線及びデータ線を有するアクティブマトリクス基板
と、共通電極を有する対向基板とが、液晶層を介して貼
り合わされてなるアクティブマトリクス型液晶表示パネ
ルの検査方法において、前記アクティブマトリクス型液
晶表示パネルには、前記複数のデータ線に、検査用の表
示信号の供給を制御するためのデータ線検査用スイッチ
ング素子が個別に接続され、各データ線検査用スイッチ
ング素子には、該データ線検査用スイッチング素子を介
してデータ線に検査用の表示信号を供給する検査用表示
信号線と、データ線検査用スイッチング素子を導通・遮
断する制御信号を入力するデータ線検査用制御信号線と
が配設され、または、前記複数の走査線に、検査用の走
査信号の供給を制御するための走査線検査用スイッチン
グ素子が個別に接続され、各走査線検査用スイッチング
素子には、該走査線検査用スイッチング素子を介して走
査線に検査用の走査信号を供給する検査用走査信号線
と、走査線検査用スイッチング素子を導通・遮断する制
御信号を入力する走査線検査用制御信号線とが配設され
ていると共に、前記データ線検査用制御信号線、前記検
査用表示信号線、前記走査線検査用制御信号線、および
前記検査用走査信号線のうち、該液晶表示パネルに含ま
れているもの全ての入力端子と、液晶表示パネルの検査
時に前記共通電極への信号入力を行なうための入力端子
とが、前記アクティブマトリクス基板上の１辺もしくは
対向する２辺に設置されており、複数の前記アクティブ
マトリクス型液晶表示パネルが、前記各入力端子が配置
される辺と同一の方向に列状に配置してなる母基板に対
して、前記母基板を個々のアクティブマトリクス型液晶
表示パネルに分断する前の段階で、該母基板に検査用治
具を取り付けて検査を行なうことを特徴としている。
【００８３】これによれば、複数の液晶表示パネルが列
状の連なった状態である母基板に関し、上記入力端子が
設置された辺のみ対向基板を取り除き、ここに検査用治
具を取り付ければ、これら複数の液晶表示パネルに対し
同時に検査を行なうことが可能となり、生産性が向上す
る。また、検査用の入力端子を同じ辺に配設すること
で、検査用治具とのコンタクト不良が抑えられる。
【００８４】本発明の請求項２４に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、請求項２３に記載の構成
において、前記データ線検査用制御信号線、前記走査線
検査用制御信号線、前記検査用表示信号線、および前記
検査用走査信号線のそれぞれの入力端子と、液晶表示パ
ネルの検査時に前記共通電極への信号入力を行なうため
の入力端子とが、前記アクティブマトリクス基板上の１
辺の特定領域内で近接して設置されていることを特徴と
している。
【００８５】これによれば、検査用治具への設置時の位
置合わせが、検査端子を液晶表示パネルの１辺に配置す
る場合よりもさらに容易になり、また、実装後に検査端
子から静電気が入ったり、不要な信号が入るのを防ぐた
めに検査端子に絶縁テープなどを施す際の作業性も向上
する。
【００８６】本発明の請求項２５に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、請求項２３または２４に
記載の構成において、液晶表示パネルが完成した段階に
おいては、前記データ線検査用制御信号線、前記走査線
検査用制御信号線、前記検査用表示信号線、および前記
検査用走査信号線のそれぞれの入力端子の導電部分と、
液晶表示パネルの検査時に前記共通電極への信号入力を
行なうための入力端子の導電部分とが絶縁体によって覆
われていることを特徴としている。
【００８７】これによれば、実装後に検査端子から静電
気が入ったり、不要な信号が入るのを防ぐことができ
る。
【００８８】本発明の請求項２６に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、絶縁性基板上に、複数の
絵素電極、該絵素電極に個別に接続される絵素スイッチ
ング素子、該絵素スイッチング素子を介して絵素電極を
駆動する、格子状に配設された複数の走査線及びデータ
線を有するアクティブマトリクス基板と、共通電極を有
する対向基板とが、液晶層を介して貼り合わされてなる
アクティブマトリクス型液晶表示パネルにおいて、前記
複数のデータ線に、検査用の表示信号の供給を制御する
ためのデータ線検査用スイッチング素子が個別に接続さ
れており、各データ線検査用スイッチング素子には、該
データ線検査用スイッチング素子を介してデータ線に検
査用の表示信号を供給する検査用表示信号線と、データ
線検査用スイッチング素子を導通・遮断する制御信号を
入力するデータ線検査用制御信号線とが配設されてお
り、または、前記複数の走査線に、検査用の走査信号の
供給を制御するための走査線検査用スイッチング素子が
個別に接続されており、各走査線検査用スイッチング素
子には、該走査線検査用スイッチング素子を介して走査
線に検査用の走査信号を供給する検査用走査信号線と、
走査線検査用スイッチング素子を導通・遮断する制御信
号を入力する走査線検査用制御信号線とが配設されてい
ると共に、前記データ線検査用スイッチング素子または
走査線検査用スイッチング素子は、その閾値が、液晶表
示パネルの駆動時において絵素スイッチング素子の閾値
よりも高くなるように、液晶パネルの検査後に該データ
線検査用スイッチング素子または走査線検査用スイッチ
ング素子の閾値を正極側にシフトさせる処理が施されて
いることを特徴としている。
【００８９】これによれば、実装終了後の液晶表示パネ
ルの実駆動時において、上記検査用スイッチング素子の
閾値を絵素スイッチング素子の閾値よりも高くすること
によって、検査用スイッチングにおけるリークを防止で
きる。また、この時、上記検査用スイッチング素子の閾
値は、液晶表示パネルの検査終了後において、上記検査
用スイッチング素子のゲート電極に正極の電圧を与える
ことで正方向にシフトさせることができる。尚、この
時、正極の電圧を与えると同時に熱を加えると、閾値の
シフトが促進され、好ましい。
【００９０】本発明の請求項２７に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、絶縁性基板上に、複数の
絵素電極、該絵素電極に個別に接続される絵素スイッチ
ング素子、該絵素スイッチング素子を介して絵素電極を
駆動する、格子状に配設された複数の走査線及びデータ
線を有するアクティブマトリクス基板と、共通電極を有
する対向基板とが、液晶層を介して貼り合わされてなる
アクティブマトリクス型液晶表示パネルにおいて、前記
複数のデータ線には、検査用の表示信号を供給する検査
用表示信号線が、隣接するデータ線に異なる表示信号が
入力されるように複数本配設され、隣接するデータ線間
には抵抗素子が配置されており、または、前記複数の走
査線には、検査用の走査信号を供給する検査用走査信号
線が、隣接する走査線に異なる走査信号が入力されるよ
うに複数本配設され、隣接する走査線間には抵抗素子が
配置されていると共に、前記各抵抗素子の抵抗値をｒ
ｄ、前記データ線の本数をｎ、前記検査用表示信号線の
本数をｋ、前記検査用表示信号線の抵抗値をＲとした場
合と、前記各抵抗素子の抵抗値をｒｄ、前記走査線の本
数をｎ、前記検査用走査信号線の本数をｋ、前記検査用
走査信号線の抵抗値をＲとした場合との何れにおいて
も、 Ｒ＜（ｒｄ／８）／（ｎ／ｋ） を満たすことを特徴としている。
【００９１】本発明の請求項２８に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、絶縁性基板上に、複数の
絵素電極、該絵素電極に個別に接続される絵素スイッチ
ング素子、該絵素スイッチング素子を介して絵素電極を
駆動する、格子状に配設された複数の走査線及びデータ
線を有するアクティブマトリクス基板と、共通電極を有
する対向基板とが、液晶層を介して貼り合わされてなる
アクティブマトリクス型液晶表示パネルにおいて、前記
複数のデータ線に、検査用の表示信号の供給を制御する
ためのデータ線検査用スイッチング素子が個別に接続さ
れ、各データ線検査用スイッチング素子には、該データ
線検査用スイッチング素子を導通・遮断する制御信号を
入力するデータ線検査用制御信号線が共通に配設され、
データ線検査用スイッチング素子を介してデータ線に検
査用の表示信号を供給する検査用表示信号線が隣接する
データ線に異なる表示信号が入力されるように複数本配
設され、隣接するデータ線間には抵抗素子が配置されて
おり、または、前記複数の走査線に、検査用の走査信号
の供給を制御するための走査線検査用スイッチング素子
が個別に接続され、各走査線検査用スイッチング素子に
は、該走査線検査用スイッチング素子を導通・遮断する
制御信号を入力する走査線検査用制御信号線が共通に配
設され、走査線検査用スイッチング素子を介して走査線
に検査用の走査信号を供給する検査用走査信号線が隣接
する走査線に異なる走査信号が入力されるように複数本
配設され、隣接する走査線間には抵抗素子が配置されて
いると共に、前記各抵抗素子の抵抗値をｒｄ、各データ
線検査用スイッチング素子の抵抗値をｒｔｒ、前記デー
タ線の本数をｎ、前記検査用表示信号線の本数をｋ、前
記検査用表示信号線の抵抗値をＲとした場合と、前記各
抵抗素子の抵抗値をｒｄ、各走査線検査用スイッチング
素子の抵抗値をｒｔｒ、前記走査線の本数をｎ、前記検
査用走査信号線の本数をｋ、前記検査用走査信号線の抵
抗値をＲとした場合との何れにおいても、 Ｒ＜（ｒｄ／８−２ｒｔｒ）／（ｎ／ｋ） を満たすことを特徴としている。
【００９２】これによれば、検査用表示信号線および／
または検査用走査信号線によって生じる電圧降下の影響
を低減し、検査用配線の入力端子に印加される電圧の８
割以上をデータ線または走査線に印加することができ、
十分な印加電圧が得られる。
【００９３】本発明の請求項２９に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、絶縁性基板上に、複数の
絵素電極、該絵素電極に個別に接続される絵素スイッチ
ング素子、該絵素スイッチング素子を介して絵素電極を
駆動する、格子状に配設された複数の走査線及びデータ
線を有するアクティブマトリクス基板と、共通電極を有
する対向基板とが、液晶層を介して貼り合わされてなる
アクティブマトリクス型液晶表示パネルにおいて、前記
複数のデータ線には、検査用の表示信号を供給する検査
用表示信号線が、隣接するデータ線に異なる表示信号が
入力されるように複数本配設されており、または、前記
複数の走査線には、検査用の走査信号を供給する検査用
走査信号線が、隣接する走査線に異なる走査信号が入力
されるように複数本配設されていると共に、同一の検査
用表示信号線に共通に接続されたデータ線間、または同
一の検査用走査信号線に共通に接続された走査線間に抵
抗素子が配置されていることを特徴としている。
【００９４】本発明の請求項３０に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、絶縁性基板上に、複数の
絵素電極、該絵素電極に個別に接続される絵素スイッチ
ング素子、該絵素スイッチング素子を介して絵素電極を
駆動する、格子状に配設された複数の走査線及びデータ
線を有するアクティブマトリクス基板と、共通電極を有
する対向基板とが、液晶層を介して貼り合わされてなる
アクティブマトリクス型液晶表示パネルにおいて、前記
複数のデータ線に、検査用の表示信号の供給を制御する
ためのデータ線検査用スイッチング素子が個別に接続さ
れており、各データ線検査用スイッチング素子には、デ
ータ線検査用スイッチング素子を導通・遮断する制御信
号を入力するデータ線検査用制御信号線が共通に配設さ
れると共に、データ線検査用スイッチング素子に検査用
の表示信号を供給する検査用表示信号線が、隣接するデ
ータ線に異なる表示信号が入力されるように複数本配設
されており、または、前記複数の走査線に、検査用の走
査信号の供給を制御するための走査線検査用スイッチン
グ素子が個別に接続されており、各走査線検査用スイッ
チング素子には、走査線検査用スイッチング素子を導通
・遮断する制御信号を入力する走査線検査用制御信号線
が共通に配設されると共に、走査線検査用スイッチング
素子に検査用の走査信号を供給する検査用走査信号線
が、隣接する走査線に異なる走査信号が入力されるよう
に複数本配設されていると共に、前記データ線検査用ス
イッチング素子を介して同一の検査用表示信号線に共通
に接続されたデータ線間、または前記走査線検査用スイ
ッチング素子を介して同一の検査用走査信号線に共通に
接続された走査線間に抵抗素子が配置されていることを
特徴としている。
【００９５】これによれば、同一の抵抗素子で接続され
たデータ線または走査線は、共通の検査用表示信号線ま
たは検査用走査信号線に接続される。このため、上記抵
抗素子は、静電気を逃がす構造を維持しつつも、検査中
には電圧がかからず電流が流れないため、検査用表示信
号線または検査用走査信号線での電圧降下がなく検査精
度がさらに向上する。
【００９６】本発明の請求項３１に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、請求項２７ないし３０の
何れかに記載の構成において、前記抵抗素子は絵素スイ
ッチング素子と同工程で作製された非線形素子であるこ
とを特徴としている。
【００９７】これによれば、上記抵抗素子を作製するに
あたって、工程の増加を招くことがない。
【００９８】本発明の請求項３４に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルの検査方法は、請求項５ない
し７の何れか１項に記載のアクティブマトリクス型液晶
表示パネルにおいて、前記検査用表示信号線と、検査用
走査信号線、および対向基板への信号入力端子との間の
電気抵抗を測定しつつ、データ線検査用制御信号線およ
び走査線検査用制御信号線に供給する制御信号を順次切
り替えることを特徴としている。
【００９９】別の検査方法を提案するもので、請求項５
ないし７に記載のアクティブマトリクス型液晶表示パネ
ルにおいては、上記のように検査することで、データ線
統間のリーク欠陥を検出することができる。
【０１００】本発明の請求項３５に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルの検査方法は、請求項３また
は４に記載のアクティブマトリクス型液晶表示パネルに
おいて、データ線検査用制御信号線に、データ線検査用
スイッチング素子を導通するための制御信号を与えつ
つ、複数の検査用表示信号線間、または検査用表示信号
線−共通電極間の電気抵抗を測定することを特徴として
いる。
【０１０１】本発明の請求項３６に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルの検査方法は、請求項５また
は７に記載のアクティブマトリクス型液晶表示パネルに
おいて、データ線検査用制御信号線および走査線検査用
制御信号線に、データ線検査用スイッチング素子および
走査線検査用スイッチング素子のそれぞれを導通するた
めの制御信号を与えつつ、複数の検査用表示信号線間、
および／または、検査用表示信号線、検査用走査信号
線、および共通電極のうちの任意の配線間の電気抵抗を
測定することを特徴としている。
【０１０２】本発明の請求項３７に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルの検査方法は、請求項６に記
載のアクティブマトリクス型液晶表示パネルにおいて、
データ線検査用制御信号線および走査線検査用制御信号
線に、データ線検査用スイッチング素子および走査線検
査用スイッチング素子のそれぞれを導通するための制御
信号を与えつつ、複数の検査用表示信号線間、複数の検
査用走査信号線間、ないし／または、検査用表示信号
線、検査用走査信号線、および共通電極のうちの任意の
配線間の電気抵抗を測定することを特徴としている。
【０１０３】別の検査方法を提案するもので、請求３な
いし７に記載のアクティブマトリクス型液晶表示パネル
においては、上記請求項３５ないし３７のように検査す
ることで、任意の配線間のリーク欠陥を検出することが
できる。
【０１０４】本発明の請求項３８に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルの検査方法は、絶縁性基板上
に、複数の絵素電極、該絵素電極に個別に接続される絵
素スイッチング素子、該絵素スイッチング素子を介して
絵素電極を駆動する、格子状に配設された複数の走査線
及びデータ線を有するアクティブマトリクス基板と、共
通電極を有する対向基板とが、液晶層を介して貼り合わ
されてなるアクティブマトリクス型液晶表示パネルの検
査方法において、前記複数のデータ線に、検査用の表示
信号の供給を制御するためのデータ線検査用スイッチン
グ素子が個別に接続されており、各データ線検査用スイ
ッチング素子には、該データ線検査用スイッチング素子
を介してデータ線に検査用の表示信号を供給する検査用
表示信号線と、データ線検査用スイッチング素子を導通
・遮断する制御信号を入力するデータ線検査用制御信号
線とが配設されており、または、前記複数の走査線に、
検査用の走査信号の供給を制御するための走査線検査用
スイッチング素子が個別に接続されており、各走査線検
査用スイッチング素子には、該走査線検査用スイッチン
グ素子を介して走査線に検査用の走査信号を供給する検
査用走査信号線と、走査線検査用スイッチング素子を導
通・遮断する制御信号を入力する走査線検査用制御信号
線とが配設されていると共に、前記液晶表示パネルの検
査時には、データ線検査用スイッチング素子または走査
線検査用スイッチング素子に光を当てながら検査するこ
とを特徴としている。
【０１０５】このように、検査時に検査用スイッチング
素子に光を当てることにより、検査用スイッチング素子
の電気抵抗を下げつつ検査用スイッチング素子自体の大
型化を防止することができ、良品率の低下を防ぐことが
できる。
【０１０６】本発明の請求項４０に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルの検査方法は、請求項３９に
記載の構成において、上記母基板において、隣接する液
晶表示パネルの同一種類の検査用配線同士が電気的に接
続されていることを特徴としている。
【０１０７】これによれば、アライメント後や検査信号
入力ピンのずれ等によって検査端子の何カ所において入
力のコンタクトが悪くても、同一種類の検査用配線同士
が電気的に接続されているため、この接続部分を介して
検査用信号が供給され、検査が可能となる。また、間の
セルの検査信号入力ピンを省略したり、信号入力端子の
ピッチが小さい場合には、隣接セルと交互に入力端子を
設けることにより、検査用治具の製作コストを削減する
こともできる。
【０１０８】本発明の請求項４１に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルの検査方法は、絶縁性基板上
に、複数の絵素電極、該絵素電極に個別に接続される絵
素スイッチング素子、該絵素スイッチング素子を介して
絵素電極を駆動する、格子状に配設された複数の走査線
及びデータ線を有するアクティブマトリクス基板と、共
通電極を有する対向基板とが、液晶層を介して貼り合わ
されてなるアクティブマトリクス型液晶表示パネルの検
査方法において、前記アクティブマトリクス型液晶表示
パネルには、前記複数のデータ線に、検査用の表示信号
の供給を制御するためのデータ線検査用スイッチング素
子が個別に接続され、各データ線検査用スイッチング素
子には、該データ線検査用スイッチング素子を介してデ
ータ線に検査用の表示信号を供給する検査用表示信号線
と、データ線検査用スイッチング素子を導通・遮断する
制御信号を入力するデータ線検査用制御信号線とが配設
され、または、前記複数の走査線に、検査用の走査信号
の供給を制御するための走査線検査用スイッチング素子
が個別に接続され、各走査線検査用スイッチング素子に
は、該走査線検査用スイッチング素子を介して走査線に
検査用の走査信号を供給する検査用走査信号線と、走査
線検査用スイッチング素子を導通・遮断する制御信号を
入力する走査線検査用制御信号線とが配設されていると
共に、複数の前記アクティブマトリクス型液晶表示パネ
ルが列状に配置してなる母基板に対して、隣接する液晶
表示パネルの同一種類の検査用配線同士が電気的に接続
されており、前記データ線検査用制御信号線、前記検査
用表示信号線、前記走査線検査用制御信号線、および前
記検査用走査信号線のうち、該液晶表示パネルに含まれ
ているもの全ての入力端子と、液晶表示パネルの検査時
に前記共通電極への信号入力を行なうための入力端子と
が、隣接パネルの接続方向であって何れの液晶表示パネ
ルにも属しない領域に形成されると共に、前記母基板を
個々のアクティブマトリクス型液晶表示パネルに分断す
る前の段階で、該母基板に検査用治具を取り付けて検査
を行なうことを特徴としている。
【０１０９】これによれば、複数枚のアクティブマトリ
クス型液晶表示パネルが列状に配置してなる母基板に対
して検査が行なえるため、検査効率が向上する。さら
に、検査される液晶表示パネルのサイズ等の規格が異な
っても、上記領域に形成される検査用の入力端子の配置
位置を同一にすれば、共通の検査用治具を用いて検査を
行なうことができ、多機種小量生産の場合に好適であ
る。
【０１１０】本発明の請求項４２に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルの検査方法は、絶縁性基板上
に、複数の絵素電極、該絵素電極に個別に接続される絵
素スイッチング素子、該絵素スイッチング素子を介して
絵素電極を駆動する、格子状に配設された複数の走査線
及びデータ線を有するアクティブマトリクス基板と、共
通電極を有する対向基板とが、液晶層を介して貼り合わ
されてなるアクティブマトリクス型液晶表示パネルの検
査方法において、前記複数のデータ線に、検査用の表示
信号を供給する検査用表示信号線が配設されており、複
数の前記アクティブマトリクス型液晶表示パネルが、デ
ータ線方向に列状に配置してなる母基板に対して、複数
のデータ線が隣接する液晶表示パネルの領域を経由し
て、自パネルの検査用表示信号線に接続されているか、
または、前記複数の走査線に、検査用の走査信号を供給
する検査用走査信号線が配設されており、複数の前記ア
クティブマトリクス型液晶表示パネルが、走査線方向に
列状に配置してなる母基板に対して、複数の走査線が隣
接する液晶表示パネルの領域を経由して、自パネルの検
査用走査信号線に接続されていると共に、前記母基板を
個々のアクティブマトリクス型液晶表示パネルに分断す
る前の段階で、該母基板に検査用治具を取り付けて検査
を行なうことを特徴としている。
【０１１１】これによれば、複数枚のアクティブマトリ
クス型液晶表示パネルが列状に配置してなる母基板に対
して検査が行なえるため、検査効率が向上する。さら
に、液晶表示パネルの検査後、上記母基板を個々のパネ
ルに切断することにより、隣接する液晶表示パネルの領
域を経由して自パネルの検査用表示信号線（および／ま
たは検査用走査信号線）に接続されるデータ線（および
／または走査線）が分断される。このため、分断される
データ線（および／または走査線）に対しては検査用ス
イッチング素子が不要となり、信頼性上の都合がよい。
【０１１２】
【発明の実施の形態】〔実施の形態１〕本発明に係る実
施の一形態を、図１、図２、図１４、図１５、図１８に
基づいて説明すれば、以下の通りである。尚、説明の便
宜上、前述の従来技術の説明にて示した部材と同一の機
能を有する部材には、同一の符号を付記し、その説明を
省略する。
【０１１３】図１は、本発明の一実施の形態であるアク
ティブマトリクス型液晶表示装置の平面模式図である。
本実施の形態を含め以下に記すその他の実施の形態とも
に、アクティブマトリクス型液晶表示装置は、ノーマリ
ーホワイトモードで駆動されるものとする。
【０１１４】ここでも、まず、前述の図１４及び図１５
に示すように、絶縁性基板７上にゲート電極８、ゲート
絶縁膜９、半導体層１０、ソース，ドレイン電極となる
ｎ+−Ｓｉ層１１、データ線３を構成する金属層１２を
順に形成して、アクティブマトリクス基板１６を作製す
る。この作製工程及び有効表示領域１７の構造は従来技
術の項で説明したのと同じであるので、ここではその説
明を省略する。
【０１１５】図１６に示した従来のアクティブマトリク
ス型液晶表示装置のアクティブマトリクス基板５０で
は、走査線２，データ線３と、検査用表示信号線５２ａ
・５２ｂ・５２ｃ，検査用走査信号線５３ａ・５３ｂと
は、単なる電気的接続となっており、その接続点はそれ
ぞれの配線の交差部におけるゲート絶縁膜９（図１５参
照）などの絶縁性薄膜にあけられたコンタクトホールに
よるに過ぎなかった。
【０１１６】これに対し、図１に示す本実施の形態のア
クティブマトリクス基板１６では、データ線３と検査用
表示信号線２１は検査用ＴＦＴ（データ線検査用スイッ
チング素子）２６ａを、走査線２と検査用走査信号線２
２とは検査用ＴＦＴ（走査線検査用スイッチング素子）
２６ｂを介して接続されている。検査用ＴＦＴ２６ａ・
２６ｂは、有効表示領域１７における絵素ＴＦＴ１（図
１４参照）と導光ＴＦＴで作製されるため、工程の増加
はない。
【０１１７】検査用ＴＦＴ２６ａのドレインはそれぞれ
データ線３に接続されており、そのソースはいずれも共
通の検査用表示信号線２１に接続されている。そして、
検査用ＴＦＴ２６ａのゲートは、該検査用ＴＦＴ２６ａ
が接続されているデータ線３の該当する色ごとに、デー
タ線検査用制御信号線として、赤の検査用制御信号線２
５Ｒ、緑の検査用制御信号線２５Ｇ、青の検査用制御信
号線２５Ｂに接続されている。各データ線検査用制御信
号線２５Ｒ・２５Ｇ・２５Ｂには、検査用の入力端子
（以下、検査端子と略記）３０Ｒ・３０Ｇ・３０Ｂより
信号が入力され、検査用表示信号線２１には検査端子３
２から信号が入力される。
【０１１８】また、検査用ＴＦＴ２６ｂのドレインはそ
れぞれ走査線２に接続されており、そのソースはいずれ
も共通の検査用走査信号線２２に接続されている。そし
て、検査用ＴＦＴ２６ｂのゲートは、走査線検査用制御
信号線２４に接続されている。走査線検査用制御信号線
２４には、検査端子４１より信号が入力され、検査用走
査信号線２２には検査端子３９から信号が入力される。
【０１１９】ここで、上記検査用ＴＦＴ２６ａは、液晶
表示装置の正規のデータ線３の入力端子ｑの対辺側に設
けられている。これは次の理由による。
【０１２０】すなわち、例えば図１に示すように、アク
ティブマトリクス基板１６上に直接ソースドライバ２０
ａを装着するＣＯＧ方式（Ｃｈｉｐ ｏｎ Ｇａｔｅ）
は、従来のＴＡＢ（Ｔａｐｅ Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｂ
ｏｎｄｉｎｇ）方式よりドライバ実装にかかる加工精度
はより高度なものが求められるものの、フィルム加工に
かかる工程数や材料費がより小さくて済むため、絵素数
が少なく低コストが求められる小型の液晶表示装置には
好んで用いられる。
【０１２１】ところが、この方式では液晶表示パネルの
有効表示領域１７にあるデータ線３を、これより格段に
小型であるソースドライバ２０ａまで引き出してこなけ
ればならないため、そのパターン形成領域はおのずと高
密度となり、額縁部分が非常に広く設計されている場合
を除いては、上記検査用ＴＦＴ２６ａを、この引出し領
域に形成することは困難な場合が殆どである。しかも、
これを無理に配置したとしても、検査用表示信号線２１
とデータ線３との間の電気容量が問題になる場合が多
い。
【０１２２】すなわち、図１では、データ線３は走査線
２および補助容量配線４と交差しているに過ぎないが、
もし検査用表示信号線２１などをソースドライバ２０ａ
側に配置したとすると、これら配線と検査用表示信号線
２１とデータ線３との間に電気容量が形成され、その大
きさによっては信号遅延によって表示上不具合が生ずる
ことが考えられる。
【０１２３】特に、後に述べるように検査用表示信号線
２１は、同時に多数のデータ線３を駆動する必要がある
ことから、その抵抗を極力小さくするために線幅を広く
とる場合が多いため、その静電容量は大きく、データ線
３に悪影響を与えるのみならず、検査用表示信号線２１
の遅延も極めて大きくなって検査に支障をきたすことが
懸念される。
【０１２４】このような問題点が、検査用ＴＦＴ２６ａ
を対辺側に設けることによって回避できるほか、仮に検
査用ＴＦＴ２６ａに不具合があって表示に悪影響を与え
る事態が生じた場合にも、レーザ切断などによって容易
に検査用ＴＦＴ２６ａと表示部とを電気的に切り離すこ
とができる。
【０１２５】つまり、検査用ＴＦＴ２６ａは、その抵抗
値と静電容量の積からなる時定数で決定される配線遅延
を、極力小さくするためにチャネル幅を大きくするよう
に設計されているが、このことによって不良発生率も同
時に増加することは避けることができない。
【０１２６】本来、この検査用ＴＦＴ２６ａは表示装置
完成後は表示になんら寄与しないものであるから、これ
ら素子によって良品率が左右されることは許されない。
つまり、万一検査用ＴＦＴ２６ａに不良があっても良品
として表示装置を出荷することが求められており、その
為に検査用ＴＦＴ２６ａは容易に切り離すことができる
ように設計しておかなければならず、検査用ＴＦＴ２６
ａをソースドライバ２０ａの対辺側に設けることが有効
となる。
【０１２７】そして、望ましい形態としては、検査用Ｔ
ＦＴ２６ａの近傍の有効表示領域１７に程近い位置に、
レーザなどによって切断しやすいよう、パターンのくび
れた部分を形成しておくことであり、また、仮に検査用
ＴＦＴ２６ａが何らかの理由でソースドライバ２０ａの
ある側に設けざるをえない場合も、切り離せることを考
えてデータ線３に支線を設け、そこに検査用ＴＦＴ２６
ａを設けることが望ましい。
【０１２８】尚、ここではデータ線３側について説明し
たが、走査線２側についても同様であることは当然であ
り、図１では走査線２側の走査線検査用制御信号線２４
と走査線２との間に交差部があるが、これらの間の静電
容量の大小によっては、これらが交差しないように配線
することが有効である。
【０１２９】次いで、上記のようにしてデータ線３まで
形成されたアクティブマトリクス基板１６に対して、層
間絶縁膜１３として感光性のアクリル樹脂をスピン塗布
法によって３μｍの膜厚で形成し、所望のパターンに従
って露光し、アルカリ性の溶液によって処理することに
よって、層間絶縁膜１３を貫通するコンタクトホール１
５を形成する（図１５参照）。
【０１３０】この際、データ線３及び走査線２の端子ｑ
・ｐ上は、ＴＡＢを介した外部回路と電気的接触がとれ
るように、層間絶縁膜１３が形成されないようにする
が、検査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂの上層には、層間絶縁
膜１３が配置されるようにしておく。これは、検査用Ｔ
ＦＴ２６ａ・２６ｂ上のソース−ドレイン間に何らかの
物質の付着などによってリークがおこり、表示に悪影響
を与えるのを防ぐためである。
【０１３１】さらに、絵素電極１４となる透明導電膜を
スパッタ法によって形成し、パターニングする。この絵
素電極１４は層間絶縁膜１３を貫くコンタクトホール１
５を介して絵素ＴＦＴ１のドレイン電極と接続される
（図１５参照）。
【０１３２】このようにして完成したアクティブマトリ
クス基板１６の有効表示領域１７にポリイミド系の配向
膜を成膜し、ラビングなどの処理により、配向機能を付
加する。対向基板１８においても、ＩＴＯ(Indium Tin
Oxide)などの透明な対向電極を成膜した後、有効表示領
域１７に当たる部分に同じ処理を施しておく。
【０１３３】次いで、液晶表示パネルの周囲部におい
て、液晶注入口の部分だけあけて、パネルを囲むように
印刷方式などによりシール材（図示せず）を塗布し、さ
らにアクティブマトリクス基板１６上の対向基板用信号
入力端子と接続された配線の上に、導電性物質１９を付
着させた後、液晶層のセル厚を一定にするためのスペー
サ（図示せず）を散布し、対向基板１８と貼り合わせ、
熱を加えてシール材を硬化させる。これにより、上記導
電性物質を介して対向基板用信号入力端子と対向基板１
８の共通電極とが電気的に接続される。尚、ここでは、
上記対向基板用信号入力端子として、液晶表示パネルの
実駆動時に使用される入力端子ｐと、液晶表示パネルの
検査時に使用される検査端子２７とが形成されている。
【０１３４】その後、液晶注入口から液晶を注入し、封
止材により液晶注入口を塞ぎ、液晶表示装置のパネル部
分を完成させる。
【０１３５】このようにして完成した液晶表示パネルに
対して、以下のようにして点灯検査を行う。図２に、点
灯検査時に与える信号のタイミングを示す。
【０１３６】走査線２側の走査線検査用制御信号線２４
に、＋２０Ｖを印加しつつ（図２（ａ）参照）、検査用
走査信号線２２に信号を供給する。この信号は表示装置
完成後に任意の走査線２に供給される走査信号に近いも
のを供給することが望ましく、ここでは−１０Ｖにバイ
アスしつつ周期１６．７ｍｓでパルス幅５０μｓの＋１
５Ｖのパルス電圧を供給した（図２（ｂ）参照）。
【０１３７】また、対向基板用信号入力端子２７に、−
１Ｖの直流電圧を加え（図２（ｃ）参照）、検査用表示
信号線２１には、１６．７ｍｓごとに極性が反転する±
３．５Ｖの信号を供給した（図２（ｄ）参照）。
【０１３８】この状態で例えば、検査端子３０Ｒ・３０
Ｇ・３０Ｂから、赤緑青のデータ線検査用制御信号線２
５Ｒ・２５Ｇ・２５Ｂにすべて＋２０Ｖを供給すると、
データ線３側の検査用ＴＦＴ２６ａはすべて導通し、す
べてのデータ線３に電圧が印加されるため、ノーマリー
ホワイトの本液晶表示装置の場合、画面は黒表示にな
る。
【０１３９】次に、赤のデータ線検査用制御信号線２５
Ｒのみ−１０Ｖ印加してしばらくすると、赤のデータ線
３の電荷が抜けてゆくにしたがって徐々に画面は赤表示
になる。これは、赤に相当する検査用ＴＦＴ２６ａが非
導通であるため、赤のデータ線３に信号が供給されない
上、赤のデータ線検査用制御信号線２５Ｒにはまだ＋２
０Ｖだったときに供給されていた電圧が、表示装置内の
薄膜や検査用ＴＦＴ２６ａの漏れ電流によって徐々に抜
けて行くためである。この徐々に抜けて行く速度は、漏
れ電流の量とデータ線３の静電容量による時定数によっ
て決定されるが、これは検査用表示信号線２１の反転周
期よりも十分大きい為、最終的に到達する電圧は検査用
表示信号線２１に印加される信号の平均値となるように
落ち着く。
【０１４０】なお、電荷の抜ける時間が長すぎて検査に
支障を来すようであれば、例えば−１０Ｖではなく０Ｖ
や＋５Ｖなどを印加して、適度に大きな抵抗値で検査用
ＴＦＴ２６ａが動作するようにしてもよい。
【０１４１】このように、赤緑青のそれぞれの色表示を
行いつつ点灯検査することによって、輝点のみならず、
絵素電極１４とそれに信号を供給すべきでないデータ線
３（一般には隣接絵素に信号を供給するデータ線３）と
のリークがあった場合の欠陥である黒点の検出、及び隣
接絵素どうしのリーク欠陥、並びに隣接するデータ線３
・３間のリーク欠陥の検出も目視によって容易に行え
る。
【０１４２】また、本実施の形態のアクティブマトリク
ス基板１６の構造では、検査用表示信号を供給するの
は、共通の検査用表示信号線２１のみであるため、検査
時の信号遅延を考慮しなければならない検査用配線はこ
の２１の１本だけであり、このことはパターン配置をす
る上で有利である。
【０１４３】つまり、後述する実施の形態２のように、
赤緑青のそれぞれの検査用表示信号を別々に供給する方
式の場合には、それぞれについて信号遅延を考慮しなけ
ればならず、抵抗値を下げるために線幅を大きくとると
すると、全体としては検査に要するパターン領域の面積
が大きくなってしまい、不要領域の縮小という仕様上の
制約に反することになってしまうが、この点で本方式は
優れている。また、信号系も少なくて済み、色の切り替
えは、表示したい色のデータ線検査用制御信号線２５Ｒ
・２５Ｇ・２５Ｂのハイ／ローの切り替えだけで行われ
るため、極めて容易である。
【０１４４】また、本実施の形態では、検査用表示信号
線２１は１本のみとしたが、液晶表示装置が大型である
場合など、全体を同時に表示したときに検査用表示信号
線２１にかかる負荷が大きくなり過ぎて、検査上不具合
を生じる場合などは、点灯すべきブロックを複数個に分
割しておいて、それぞれに検査用表示信号線２１を設け
ておくことも考えられる。この場合、配線数が増加する
ものの、上記の目的に加えて、次に述べる電気的検査に
おいて、欠陥箇所を特定する上でも都合がよい場合があ
る。
【０１４５】次に、線欠陥を検出するための電気的検査
を行う。例えば、データ線３と走査線２との間のリーク
などでは、そのリークの量によって点灯検査時には視認
されないが、実装後に複雑な信号が供給された際に不良
が視認されたり、長時間使用しているうちに徐々にリー
ク電流が増大して不良が明確化してくることがある。
【０１４６】このような欠陥は先に述べた点灯検査では
発見されないため、電気的に抵抗検査を行って判別する
ことが求められる。そして不良があった場合、修正でき
るものは修正し、できないものは廃棄するのであるが、
この際重要なのがどの信号系とどの信号系がリークして
いるかということである。
【０１４７】例えば、データ線３と対向電極との間での
リークなどは、力学的に力を加えるなどの比較的容易な
方法で修正することができるが、走査線２と補助容量配
線４との間のリークは、膜残りが巨大である場合が殆ど
であるため、修正が困難であるといった具合である。
【０１４８】従来の液晶表示パネルの場合、それぞれの
信号系の間の電気抵抗を測定して判別していたが、量産
性を考えるとこのような測定は時間がかかりすぎて実用
的でない。
【０１４９】これに対し、本実施の形態の液晶表示パネ
ルでは、例えば補助容量配線４と対向電極を短絡してマ
イナス電圧を、検査用表示信号線２１と検査用走査信号
線２２を短絡してプラス電圧をそれぞれ与えつつ、電流
をモニターしておき、データ線検査用制御信号線２５Ｒ
・２５Ｇ・２５Ｂ、および走査線検査用制御信号線２４
にそれぞれ制御信号を加えた際の電流の変化で、どの系
統間にリークがあるのかを判断することができる。
【０１５０】前述の場合、例えば走査線２側の検査用Ｔ
ＦＴ２６ｂを導通させて電流が検出されれば、図１５の
様な断面構造における走査線２（ゲート電極８と同層）
と対向電極との間のリークは殆どないため、走査線２と
補助容量配線４との間のリークであると判断できる。
【０１５１】また、データ線３側の検査用ＴＦＴ２６ａ
を導通させた際に電流が検出されたとすると、データ線
３と対向電極との間のリークか、データ線３と補助容量
配線４との間のリークかが判断できない。
【０１５２】そこで、次に検査用表示信号線２１と対向
電極を短絡してプラス電圧を、検査用走査信号線２２と
補助容量配線４を短絡してマイナス電圧をそれぞれ印加
する。そして、データ線３の検査用ＴＦＴ２６ａを導通
させたときに電流が検出されれば、データ線３と補助容
量配線４との間のリークであることが判断できる。ま
た、データ線３側と走査線２側の両方の検査用ＴＦＴ２
６ａ・２６ｂを導通させたときの電流の有無によって、
データ線３と走査線２との間のリークも検知することが
できる。
【０１５３】以上に述べたように、この電気的検査の利
点は、電源の供給系統を２通り切り替えて、後はスイッ
チングの動作だけで全抵抗検査が完了することであり、
従来の図１６に示したアクティブマトリクス基板５０の
構造の検査の様に、検査したい端子間の電圧を一回ずつ
切り替えるための複雑なリレー回路等を外部に要しな
い。
【０１５４】また、本実施の形態のアクティブマトリク
ス基板１６の構成では、データ線３にリークがあった場
合には、それが赤、緑、青のいずれのデータ線３にある
かが電気的にも判断できるため、修正を施す際には有利
である。
【０１５５】さらに、走査線検査用制御信号線２４、デ
ータ線検査用制御信号線２５Ｒ・２５Ｇ・２５Ｂをいく
つかのブロックごとに設けるなどの構造をとれば、リー
ク箇所の位置を特定することができ、さらに有利であ
る。
【０１５６】また、本実施の形態のアクティブマトリク
ス基板１６を備えた液晶表示パネルを検査する際の応用
例としては、以上に述べた順序に限らず、また、例えば
検査用表示信号線２１、検査用走査信号線２２、対向電
極および補助容量配線４にそれぞれ異なる電圧を与え
て、検査用表示信号線２１と補助容量配線４の電流をモ
ニターしておき、検査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂをそれぞ
れ導通／遮断するようにしてもよい。この方法では、電
源系統は余分に要るものの全抵抗検査を検査用ＴＦＴ２
６ａ・２６ｂのスイッチング動作だけで行うことができ
るため、さらに高速な検査が実現できる。
【０１５７】その後、このように検査して良品と判定さ
れた液晶表示パネルに対して、走査線２を駆動するゲー
トドライバ２０ｂ、およびデータ線３を駆動するソース
ドライバ２０ａをそれぞれ必要数実装し、最後にこれら
ドライバ２０を駆動するのに必要な信号を供給するため
のＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒ
ｃｕｉｔ)(図示せず）を、アクティブマトリクス基板１
６を構成する絶縁性基板の端に実装することで、アクテ
ィブマトリクス型液晶表示装置が完成する。
【０１５８】ところで、すでに述べたように、検査用Ｔ
ＦＴ２６ａ・２６ｂは、表示装置完成後は表示になんら
寄与しないものであるばかりでなく、各データ線３や各
走査線２がそれぞれ電気的に独立したものである必要を
考えるとむしろ有害なものである。すなわち、これが悪
影響を与えないためには、検査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂ
は表示装置完成後は十分に高い抵抗であることが必須で
ある。
【０１５９】ところが、ＴＦＴは半導体素子であるた
め、これに光があたると真性半導体中に電子・正孔対が
発生し、漏れ電流が増加する。すなわち外部からの入射
光の強度によっては、表示装置の性能に悪影響を与えか
ねず、また信頼性上の問題も懸念される。
【０１６０】したがって、検査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂ
は、十分に遮光されていることが望ましく、ここでは、
図１に示すように、対向基板１８のブラックマトリクス
（図中、クロスハッチングにて示す）に相対する場所
に、検査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂを設けている。
【０１６１】このような構成により、有効表示領域１７
の外周の無駄な領域を有効利用することができ、完全な
遮光を期することができる。ただし、ブラックマトリク
スの領域に十分な余分領域がない場合や、ブラックマト
リクスそのものがない場合などは、実装部材などで遮光
すればよい。
【０１６２】また、検査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂの閾値
を高くすることによって、実装終了後のアクティブマト
リクス１６において、該検査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂが
導通状態となることを防ぐ方法もある。すなわち、上述
したように、液晶パネルの検査終了後の実駆動時におい
ては、上記検査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂが導通状態とな
ることは、表示に悪影響を与えるため避けるべきであ
り、上記検査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂの閾値をあげるこ
とによって、検査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂが表示に悪影
響を与えない条件を広げることができる。
【０１６３】上記検査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂの閾値を
高くするためには、例えば、以下の方法がある。例とし
て、図１に示す液晶表示パネルにおいて検査用制御信号
線２４・２５Ｂ・２５Ｇ・２５Ｒ（すなわち、検査用Ｔ
ＦＴ２６ａ・２６ｂのゲート電極）に＋５０Ｖの正バイ
アスを与え、６０℃のプレートの上に約１分置いたとこ
ろ、図１８に表すように、ＴＦＴ２６ａ・２６ｂの特性
は大きくシフトし、初期特性Ａに対して閾値が大きくプ
ラス側に動き、上記検査用制御信号線２４・２５に仮に
＋２０Ｖが印加されてもＴＦＴ２６ａ・２６ｂは導通状
態にならなくなった（図１８における特性Ｂ）。ちなみ
に、上記検査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂのゲート電極に過
大なプラスバイアスを加えるだけでも閾値のシフトは起
こるが、熱を加えることによってそれが促進されるた
め、より好ましい。
【０１６４】〔実施の形態２〕本発明に係る他の実施の
形態を、図３〜図５、図１４、図１５に基づいて説明す
れば、以下の通りである。尚、説明の便宜上、前記の従
来技術の説明、及び実施の形態１にて示した部材と同一
の機能を有する部材には、同一の符号を付記し、その説
明を省略する。
【０１６５】図３は、本実施の形態のアクティブマトリ
クス型液晶表示装置の平面模式図である。
【０１６６】実施の形態１の図１に示したアクティブマ
トリクス基板１６と異なり、図３に示す液晶表示装置の
アクティブマトリクス基板３１では、検査用ＴＦＴ２６
ａのゲートはいずれもデータ線検査用制御信号線２５に
共通に接続され、検査用ＴＦＴ２６ａのソースが、２本
の検査用表示信号線２１ａ・２１ｂに交互に接続されて
いる。また、走査線２側の検査用ＴＦＴ２６ｂのソース
も、２本の検査用走査信号線２２ａ・２２ｂに交互に接
続されている。
【０１６７】データ線検査用制御信号線２５には検査端
子４０より信号が入力され、検査用表示信号線２１ａ・
２１ｂには、検査端子３２ａ・３２ｂより信号が入力さ
れる。検査用走査信号線２２ａ・２２ｂには、検査端子
３９ａ・３９ｂより信号が入力される。
【０１６８】また、図１に示したアクティブマトリクス
基板１６は、補助容量配線４を有したＣｓ ｏｎ Ｃｏ
ｍｍｏｎ構造であったが、アクティブマトリクス基板３
１は、ある絵素の上方または下方の絵素の絵素ＴＦＴ１
（図１４参照）を駆動する走査線２を、補助容量の代わ
りとして用いることによって開口率の向上を図る、いわ
ゆるＣｓ ｏｎ Ｇａｔｅ構造である。
【０１６９】このようなアクティブマトリクス基板３１
からなる液晶表示パネルに対しては、以下のようにして
点灯検査を行う。図４に、点灯検査時に与える信号のタ
イミングを示す。
【０１７０】走査線検査用制御信号線２４、及びデータ
線検査用制御信号線２５のそれぞれに、＋２０Ｖを印加
しつつ（図４（ａ)(ｂ）参照）、検査用表示信号線２１
ａ・２１ｂに実施の形態１と同じ信号を入力し（図４
（ｃ）参照）、検査用走査信号線２２ａ・２２ｂには、
実施の形態１と同じ信号をタイミングをずらして入力す
る（図４（ｄ)(ｅ）参照）。また、対向基板用信号入力
端子２７には、−１Ｖの直流電圧を加える（図４（ｆ）
参照）。
【０１７１】アクティブマトリクス基板３１の構造で
は、実施の形態１のアクティブマトリクス基板１６のよ
うに、検査用の配線が赤緑青に対応していないため、色
表示を行うことはできないが、点灯検査の後、表示装置
内のデータ線３・３間のリーク欠陥を電気的に検出でき
る。
【０１７２】すなわち、データ線検査用制御信号線２５
に＋２０Ｖを印加することで、検査用ＴＦＴ２６ａを導
通状態にしておき、検査用表示信号線２１ａ・２１ｂの
各検査端子３２ａ・３２ｂ間の電気抵抗を測定する。
【０１７３】一般にデータ線３・３間のリークは、隣接
ライン間で生ずるため、該検査用ＴＦＴ２６ａを交互に
２本の検査用表示信号線２１ａ・２１ｂ間に接続するこ
とで、これが可能となる。
【０１７４】そのため、検査用ＴＦＴ２６ａに求められ
る導通状態における抵抗値は検出しようとするリークの
抵抗値と比べて十分に小さなものでなければならない。
具体的には、一般にデータ線３・３間に１０ＭΩ以下の
リークがあった場合には、その表示装置の置かれる環境
の如何および使用時間によって視認される虞れがあるた
め、不良として排除する必要がある。検査用ＴＦＴ２６
ａの特性のばらつきを考えると、導通時の抵抗はトータ
ルで検出抵抗値（リーク抵抗値）の１０％以下であるこ
とが妥当であり、両検査端子３２ａ・３２ｂの間には、
検査用ＴＦＴ２６ａが２個直列に存在するため、１個当
たりの抵抗値は５００ｋΩ（リーク抵抗値の５％）以下
である必要がある。
【０１７５】本実施の形態ではこれを満たすため、検査
用ＴＦＴ２６ａのチャネル幅、チャネル長をそれぞれ２
００（μｍ），５（μｍ）とした。これは絶縁膜の単位
面積当たりの静電容量と半導体中の電子の移動度から算
出して１７０ｋΩとなるような設計にしたものである
が、検査用ＴＦＴ２６ａの構成によってはチャネルのサ
イズはそれぞれ設計し直す必要があるのは当然である。
【０１７６】また、検査用ＴＦＴ２６ａが破壊されない
程度であれば、データ線検査用制御信号線２５に供給さ
れる制御信号の電圧は高いほうが導通時の抵抗値が低く
なって有利であるため、上述した＋２０Ｖに限定される
ものではない。
【０１７７】ところで、図３のアクティブマトリクス基
板３１の構成では色表示ができないことは既に述べた
が、図５に示すアクティブマトリクス基板３３の構成と
すると、この問題は解決される。
【０１７８】すなわち、このアクティブマトリクス基板
３３では、検査用ＴＦＴ２６ａのソースは、検査用ＴＦ
Ｔ２６ａが接続されているデータ線３の該当する色ごと
に、赤の検査用表示信号線２１Ｒ、緑の検査用表示信号
線２１Ｇ、青の検査用表示信号線２１Ｂに接続されてい
る。
【０１７９】したがって、データ線検査用制御信号線２
５に検査用ＴＦＴ２６ａを導通させる信号を供給した上
で、３本の検査用表示信号線２１Ｒ・２１Ｇ・２１Ｂの
それぞれに独立して信号を供給することによって色表示
が可能になる。もちろん、図３の場合と同様に、検査端
子３２Ｒ・３２Ｇ・３２Ｂの抵抗を測定することで、デ
ータ線３・３間のリークを検出できる。
【０１８０】そしてまた、図３のアクティブマトリクス
基板３１も、図５のアクティブマトリクス基板３３も、
検査用走査信号線が２２ａ・２２ｂの２本設けられ、偶
数番目の走査線２と奇数番目の走査線２のそれぞれが交
互に、各検査用走査信号線２２ａ・２２ｂに接続されて
いる。
【０１８１】これは、Ｃｓ ｏｎ Ｇａｔｅ構造の場
合、上下の隣り合う走査線２・２には異なるタイミング
で絵素ＴＦＴ１を導通させる信号を供給しなければなら
ず、これに対応するためである。
【０１８２】また、このように走査線２のそれぞれが交
互に２本の検査用走査信号線２２ａ・２２ｂに接続され
ている構造では、上述したデータ線３・３のリークの抵
抗検査と同じ原理で、点灯検査後に、検査端子３９ａ・
３９ｂの抵抗を測定することで、走査線２・２同士のリ
ークを検出できる。尚、この場合の検査用ＴＦＴ２６ｂ
の抵抗値も５００ｋΩ（リーク抵抗値の５％）以下とす
るのが好ましい。
【０１８３】また、本実施の形態では、検査用制御信号
線２４・２５は、データ線側及び走査線側においてそれ
ぞれ１本ずつとしたが、実施の形態１で述べたのと同じ
理由で、全体表示時の検査用表示信号線や走査信号線、
もしくは対向電極や補助電極にかかる負荷が大きくなり
過ぎて検査上不具合を生じる場合などは、これらを複数
本に分割して、ブロック毎に点灯することで、解決を図
ることができる。
【０１８４】〔実施の形態３〕本発明に係る他の実施の
形態を、図６、図１９〜図２４に基づいて説明すれば、
以下の通りである。尚、説明の便宜上、前記の従来技術
の説明、及び実施の形態１，２にて示した部材と同一の
機能を有する部材には、同一の符号を付記し、その説明
を省略する。
【０１８５】図６は、本実施の形態のアクティブマトリ
クス型液晶表示装置の平面模式図である。
【０１８６】図６に示すアクティブマトリクス基板３４
は、実施の形態２の図５に示したアクティブマトリクス
基板３３とは、検査に必要な信号の供給をすべて１辺か
ら行っている点が異なる。つまり、検査用走査信号線２
２ａ・２２ｂがゲートドライバ２０ｂが配設されている
辺にまで周回されており、検査端子３９ａ・３９ｂが該
辺に形成されている。また、走査線検査用制御信号線２
４においては、データ線３側のデータ線検査用制御信号
線２５とパネル内部で電気的に接続されており、検査端
子４０より信号供給される。またこの時、検査時におい
て対向基板１８にも信号入力可能となるように対向基板
信号入力用の検査端子２７も上記各検査端子（３９ａ・
３９ｂ・３２Ｒ・３２Ｇ・３２Ｂ・４０）と同一辺に配
置されている。
【０１８７】このように検査端子（３９ａ・３９ｂ・３
２Ｒ・３２Ｇ・３２Ｂ・４０・２７）を同じ辺に配設す
ることで、検査用の治具の設計が容易かつ安価になり、
また治具への設置時の液晶表示パネルの回転方向のずれ
に対するコンタクト不良の発生率が、２辺以上に検査端
子がある場合と比べて抑えられる。
【０１８８】さらに、図における縦方向に多数の液晶表
示パネルが連なった状態でも、点灯検査することができ
るため、小型パネルを大量に検査する場合でもこれらを
まとめて検査することが可能となり、生産性が向上す
る。
【０１８９】すなわち、基板を大判にて生産した後、点
灯検査する前に図の縦長方向に分断した後、検査端子
（３９ａ・３９ｂ・３２Ｒ・３２Ｇ・３２Ｂ・４０・２
７）がある方の辺だけ対向基板１８をさらに切断して、
端子へのコンタクトが可能となるようにする。こうして
点灯検査を行ったあと、個々の液晶表示パネルに分断
し、そのそれぞれに対してさらに対向基板１８を切断し
てソースドライバ２０ａの実装領域のあたりの対向基板
１８を取り除く。
【０１９０】この構造によると、例えば実装後に検査端
子から静電気が入ったり、不要な信号が入るのを防ぐた
めに検査端子（３９ａ・３９ｂ・３２Ｒ・３２Ｇ・３２
Ｂ・４０・２７）に絶縁テープ等を施そうとした場合で
も、これを施すべき領域が一辺に限定されているため、
作業性がよくなる。
【０１９１】さらに、これらの検査端子（３９ａ・３９
ｂ・３２Ｒ・３２Ｇ・３２Ｂ・４０・２７）を、図１９
に示すように、液晶表示パネルの何れか１カ所に集中し
て配置すれば、すなわち、アクティブマトリクス基板の
３４−１の１辺における特定領域内で近接して配置され
れば、さらに検査用治具への設置時の位置合わせが容易
になり、また、絶縁テープなどを施す際の作業性も向上
する。
【０１９２】また、図６のアクティブマトリクス基板３
４では、データ線検査用制御信号線２５と走査線検査用
制御信号線２４とを、パネル内部で電気的に接続したた
め、これによって余分な配線領域の確保が不要になるば
かりでなく、この１本の制御信号線に加える信号のハイ
／ローの切り替えのみで、全ての検査用ＴＦＴ２６ａ・
２６ｂのオン／オフが切り替わり、検査モードと実表示
モードの切り替えが可能になる。
【０１９３】ここで、上記アクティブマトリクス基板３
４を大判にて生産した後、縦長方向に分断し、複数枚連
なった状態の液晶表示パネルに対して検査を行なう場合
の構成を図２０に示す。尚、図２０において、アクティ
ブマトリクス型液晶表示パネルがデータ線方向に複数枚
連なったものを母基板と称する。従来では、マザーガラ
スに縦横多数枚のアクティブマトリクスセルを配置して
形成し、これと対向基板とを貼り合わせた後、それぞれ
のセルに分断するのが通常であるが、本実施の形態で
は、検査前の段階では個々のセルに分断するのではな
く、図のように短冊状に分断する。但し、プロセスによ
っては、アクティブマトリクス基板３４に対向基板１８
を貼り合わせてから分断するのではなく、先に予めアク
ティブマトリクス基板３４および対向基板１８を所定の
形状（すなわち、短冊状）に分断してから貼り合わせる
場合もある。
【０１９４】図２０は検査段階での状態であり、アクテ
ィブマトリクス基板３４の分断線７１と対向基板１８の
分断線７２とがずれて形成されている。これは、検査端
子（３９ａ・３９ｂ・３２Ｒ・３２Ｇ・３２Ｂ・４０・
２７）の配置領域が検査用治具とコンタクトできるよう
に、該領域を露出させるためであり、この部分はそのま
ま液晶表示パネル完成時の走査線側実装領域となる。す
なわち、上記構成では、それぞれのセルにおける全ての
検査端子が、走査線側実装領域に対応する１辺に配置さ
れているため、データ線側実装領域が対向基板１８によ
ってカバーされている図２０の状態でも、点灯検査およ
び電気的検査を通常通り行なうことができる。尚、ここ
での検査の行い方については、既に述べたのと同様であ
る。
【０１９５】検査が終わった後は、分断線７３において
個々のセルに分断した後、対向基板１８を分断線７４に
おいて切り離し、データ線側実装領域を露出させる。ち
なみに図の７０ａ、７０ｂはそれぞれソースドライバ、
ゲートドライバが装着される部分であり、７５はセルの
分断後において廃棄される不要部分である。
【０１９６】このように、上記図２０の構成では、複数
枚のセルを一度に検査できるため、検査効率がよく、検
査にかかるコストを削減できる。また、上記母基板の状
態で検査を行なう場合には、もとのマザーガラスの端面
７６を基準にして検査用治具に装着されるが、上記端面
７６の寸法精度は十分良好であるため、分断されたセル
を検査用治具に装着する場合と比べてアライメントが取
りやすい。
【０１９７】次に、隣接するセルにおいて、同一信号を
供給すべき配線を相互に結線した場合の構成を図２１に
示す。図２１における母基板は、アクティブマトリクス
基板３４とほぼ類似した構成のアクティブマトリクス基
板３４−２がデータ線方向に複数枚連なった状態のもの
である。但し、上記母基板におけるアクティブマトリク
ス基板３４−２では、検査端子（３９ａ・３９ｂ・３２
Ｒ・３２Ｇ・３２Ｂ・４０）に接続される各配線（２２
ａ、２２ｂ、２４、２５、２１Ｂ、２１Ｇ、２１Ｒ）が
各セル間において相互に結線されている。但し、データ
線検査用制御信号線２５は、走査線検査用制御信号線２
４に接続されているため、走査線検査用制御信号線２４
を介して結線されることとなる。
【０１９８】この場合、アライメント後や検査信号入力
ピンのずれ等によって検査端子の何カ所において入力の
コンタクトが悪くても、上記結線部分を介して隣接セル
から信号が供給されるため、検査が可能となる。また、
治具の製作コストを削減するために、間のセルの検査信
号入力ピンを省略したり、信号入力端子のピッチが小さ
い場合には、隣接セルと交互に入力端子を設けても良
い。例えば、図２１の場合では、第１のセルにおいて３
９ａ、３２Ｇ、４０、２７の検査端子を設け、第２のセ
ルにおいて３９ｂ、３２Ｂ、３２Ｒ、２７の検査端子を
設けることができる。これにより、検査信号の入力をし
やすくしたり、あるいは検査用治具の製作コストを下げ
ることができる。
【０１９９】また、図２１の構成では、同一信号を供給
すべき配線を相互に結線したことにより、各検査用信号
配線（２２ａ、２２ｂ、２４、２５、２１Ｂ、２１Ｇ、
２１Ｒ）には、個々のセルにおいて検査信号を入力する
必要が無くなる。このため、各セル上部の検査用信号配
線近傍に十分な空き領域が無い場合や、検査端子の配置
領域が十分に確保されない場合等には、上記各検査端子
を走査線側実装領域に配置するのではなく、マザーガラ
スの余白領域７５に配置することもできる。
【０２００】但し、この場合、上記余白領域７５におい
て各検査端子に信号入力できるように、検査前の段階で
上記余白領域７５に対向する部分の対向基板１８を切断
して取り除く必要がある。
【０２０１】上記各検査端子をマザーガラスの余白領域
７５に配置した構成の母基板を図２２に示す。上記図２
２における母基板は、アクティブマトリクス基板３４と
ほぼ類似した構成のアクティブマトリクス基板３４−３
がデータ線方向に複数枚連なった状態のものである。
【０２０２】上記母基板においては、対向基板１８側の
共通電極への対向基板用信号入力端子２７は、上記各検
査端子と同様に余白領域７５に設けられており、コモン
移転部１９ａ・１９ｂを介して隣接セルの共通電極同士
をアクティブマトリクス基板３４−３側の配線を通じて
接続する形状となっている。すなわち、上記コモン移転
部１９ａ・１９ｂは、隣接する２枚のセルにおける各対
向基板１８の下端部付近および上端部付近にそれぞれ設
けられており、コモン移転部１９ａと１９ｂとがアクテ
ィブマトリクス基板３４−３側の配線を通じて接続され
ている。また、上記アクティブマトリクス基板３４−３
側の配線部分には、液晶表示パネルの実駆動時に対向基
板１８に電圧を印加するための端子ｐが形成されてい
る。これにより、セルの分断後における液晶表示パネル
の実駆動時には、上記端子ｐからコモン移転部１９ａを
介して対向基板１８に電圧が印加される。
【０２０３】さらにここでは、検査端子のそれぞれの配
置とマザーガラスの端面７６との位置関係を他の全ての
機種と共通にしており、これによって、各セルのサイズ
など規格が異なっても、全て共通の治具で検査を行なう
ことができる。このため、多機種少量生産の液晶表示パ
ネルであっても、単一機種大量生産の場合と同様の検査
を行なうことができ、生産性がよくなる。また、もとの
マザーガラスの端面７６に機械的にアライメントを取る
ことになるが、マザーガラスの寸法精度が十分良好であ
るので、信号入力の位置合わせが容易である上、該構造
では入力端子の大きさを十分大きくすることができる。
【０２０４】また、図１１の例では、隣接セル間の各検
査用配線の結線は単純な電気的接続としたが、配置的に
十分な余裕がある場合は、スイッチング素子を介して接
続した方が望ましい場合もある。この場合、上記スイッ
チング素子のオンオフを切り替えるのみで非検査セルを
選択できることになり、全セルを同時に検査する際に検
査用配線の負荷が大きくなりすぎて不都合を生ずる場合
や、何れかのセルに重大なリーク欠陥があって、このリ
ーク電流が大きすぎて検査用配線に十分電圧がかから
ず、他のセルの検査にまで悪影響を及ぼす場合等に都合
がよい。また、前述の電気的検査を行なう場合には、こ
れらセル間の切り替えを行ないつつ検査することによっ
て、不良セルの特定が容易になる。
【０２０５】尚、上記の説明では、複数のアクティブマ
トリクスセルをデータ線方向に連結したものを母基板と
したが、走査線方向であっても手段方向ともに同様であ
り、したがって特許請求の範囲において記載の列状とい
う表現もセルの連結の方向を規定するものではない。
【０２０６】上記図２０ないし図２２の構成では、各デ
ータ線３は、検査用ＴＦＴ２６ａを介してデータ線検査
用制御信号線２５と検査用表示信号線、２１Ｂ、２１
Ｇ、および２１Ｒとに接続されている。しかしながら、
液晶表示パネルの実駆動時において各データ線３と検査
用表示信号線２１Ｂ、２１Ｇ、２１Ｒとが導通すること
は、表示に悪影響を与える。このため、液晶表示パネル
の実駆動時では、データ線検査用制御信号線２５にオフ
電位が与えられ、検査用ＴＦＴ２６ａは常にオフ状態と
なっている。
【０２０７】これに対し、図２３の構成では、各データ
線３は検査用ＴＦＴ２６ａを介してデータ線検査用制御
信号線２５、および検査用表示信号線２１Ｂ、２１Ｇ、
２１Ｒに接続されるのではなく、一旦隣接セルまで延長
してから折り返し、自セルの検査用表示信号線２１Ｂ、
２１Ｇ、２１Ｒに直接接続される。なお、この場合、検
査用ＴＦＴ２６ａが形成されないため、データ線検査用
制御信号線２５も不要となる。
【０２０８】上記構造によると、母基板の状態では各デ
ータ線３は常に検査用表示信号線２１Ｂ、２１Ｇ、２１
Ｒと接続されているため、各走査線２のみ前述と同様に
検査用ＴＦＴ２６ｂを介して信号を供給し、検査用表示
信号線２１Ｂ、２１Ｇ、２１Ｒには通常の点灯検査と同
様のデータ信号を与えれば、検査を行なうことができ
る。検査後、個々のセルに分断する際に、各データ線３
の延長部はこの折り返し部分において切断されるので、
各データ線３は検査用データ線から切り離され、個々の
独立した配線となる。
【０２０９】上記構造によると、検査用のスイッチング
素子が大幅に減るため、検査用ＴＦＴ部におけるデータ
線間のリーク欠陥による歩留まり低下の懸念が大幅に減
少し、また、信頼性上も都合がよい。また、検査用ＴＦ
Ｔ２６ａにかかる領域上の制約も改善される上、データ
線３への検査信号の入力抵抗が大幅に減少するため、よ
り少ない書き込み時間での検査ができるなど、検査精度
の向上にも貢献する。ちなみに該折り返し部は隣接セル
に残留するが、これは電気的になんら不具合を与えるも
のではなく、必要とあらば面取り等で取り除くこともで
きる。また、データ線方向でなく走査線方向にセルが連
なる母基板構造とする場合には、隣接セルから折り返す
のはデータ線でなく走査線であることは言うまでもな
い。
【０２１０】また、上記図２０および図２１の構成で
は、それぞれのセルにおける全ての検査端子（３９ａ・
３９ｂ・３２Ｒ・３２Ｇ・３２Ｂ・４０・２７）が、走
査線側実装領域に対応する１辺に配置されているが、図
２４に示すように、対向する２辺に分けて配置すること
もできる。すなわち、図２４に示す構成では、アクティ
ブマトリクス基板３４−４において検査端子３２Ｒ・３
２Ｇ・３２Ｂ・４０・２７が走査線側実装領域に対応す
る辺に配置されているが、検査端子３９ａ・３９ｂはこ
れと対向する辺に配置されている。このような場合にお
いても、データ線側実装領域が対向基板１８によってカ
バーされている状態で点灯検査および電気的検査を通常
通り行なうことができ、アクティブマトリクス型液晶表
示パネルがデータ線方向に複数枚連なった母基板に対し
て検査が可能となる。
【０２１１】〔実施の形態４〕本発明に係る他の実施の
形態を、図７、図８に基づいて説明すれば、以下の通り
である。尚、説明の便宜上、前記の従来技術の説明、及
び実施の形態１〜３にて示した部材と同一の機能を有す
る部材には、同一の符号を付記し、その説明を省略す
る。
【０２１２】すでに述べたように検査用ＴＦＴ２６ａ・
２６ｂは、表示装置完成後は表示になんら寄与しないも
のであるばかりでなく、データ線３や走査線２はそれぞ
れ電気的に独立したものである必要があることから、検
査用ＴＦＴ２６ａ，２６ｂは表示装置完成後は十分に高
い抵抗であることが必須である。
【０２１３】これを実現するため、表示中にはこれら検
査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂを非導通にする信号を与えて
おくことが望ましく、検査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂがｎ
型である場合には、表示中はゲートにマイナスの電圧が
与えられていることが望ましい。
【０２１４】そこで、図７に示す本実施の形態のアクテ
ィブマトリクス型液晶表示装置のアクティブマトリクス
基板３５では、パネル内部で接続された１本の検査用制
御信号線２５（２４）の端が、アクティブマトリクス基
板３５における下端（図において）にまで延設されてい
る。その他の構成は、実施の形態３の図６に示したアク
ティブマトリクス基板３４と同じである。
【０２１５】この下端は、ドライバ２０ヘの信号を供給
するＦＰＣを接続する領域であり、ここに１本の検査用
制御信号線２５（２４）に信号を供給する端子４３を設
けて、これをＦＰＣと接続しておき、外部から検査用Ｔ
ＦＴ２６ａ・２６ｂにマイナスの電圧を加えている。こ
れにより、液晶表示装置の駆動時には必ず検査用ＴＦＴ
２６ａ・２６ｂが遮断されている状態にあり、表示上不
具合を生じない。
【０２１６】さらに、図８に示すアクティブマトリクス
基板３６のように、ゲートドライバ２０ｂの駆動用電源
の内のマイナス側の電源と検査用制御信号線２５（２
４）を接続する構成ともできる。
【０２１７】これは、ゲートドライバ２０ｂやソースド
ライバ２０ａ等のドライバ２０のＩＣには、このＩＣの
内部のロジック回路内のスイッチング素子をオン／オフ
するための電源が必要であることを利用したもので、図
７のアクティブマトリクス基板３５の構成のように外部
から別に電圧を印加する必要がなく、かつ表示上不具合
を生じない。
【０２１８】このパネル内の接続は、ドライバ２０の駆
動用電源の内のマイナス側の電源のほか、ドライバ２０
からの出力の電圧レベルを外部から与える電源でもよ
く、また検査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂの特性によっては
ドライバ２０に接地電位を与える配線と接続してもよ
い。
【０２１９】〔実施の形態５〕本発明に係る他の実施の
形態を、図９に基づいて説明すれば、以下の通りであ
る。尚、説明の便宜上、前記の従来技術の説明、及び実
施の形態１〜４にて示した部材と同一の機能を有する部
材には、同一の符号を付記し、その説明を省略する。
【０２２０】前述の実施の形態１〜４においては、検査
用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂは、対向基板１８上のブラック
マトリクスに相当する部分に設けられていたのに対し、
本実施の形態のアクティブマトリクス型液晶表示装置で
は、検査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂの上には対向基板４２
のブラックマトリクス（図中、クロスハッチングにて示
す）がなく、検査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂに光を照射す
ることができるようになっている。
【０２２１】この構造は以下ような利点がある。つま
り、前述したように検査時には検査用ＴＦＴ２６ａ・２
６ｂの抵抗値は低ければ低いほどよく、そのため検査用
ＴＦＴ２６ａ・２６ｂのチャネル幅Ｗをチャネル長Ｌで
除した値は大きくする必要がある。具体的にはデータ線
３・３間のリーク抵抗を検知するには５００ｋΩ以下に
する必要があり、これを実現するために前述の実施の形
態２では、Ｗ／Ｌを２００／５とした。このように大き
な検査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂでは、これを設置したこ
とによる不良の発生が懸念され、また、これによって良
品率が低下することが許されないことは前述した通りで
ある。
【０２２２】また、例えば大型機種のＣｓ ｏｎ Ｇａ
ｔｅの場合の様に、走査線容量が大きい場合を例に考察
してみると、検査用ＴＦＴ２６ｂが６００ｐＦの走査線
容量をスイッチングするとして、実駆動時のパルス幅２
５μｓに対して時定数が十分小さい３μｓとなるように
検査用ＴＦＴ２６ｂの抵抗値を設定すると、５ｋΩ以下
でなければならない。これをＭＯＳＴＦＴの一般的な電
流の近似式である以下の式に従って導くとＷ／Ｌは１５
００以上でなければならない。
【０２２３】Ｉｄ＝（Ｗ／Ｌ）μＣ｛（Ｖｇ−Ｖｔｈ）
Ｖｄｓ−Ｖｄｓ2 ／２｝ ただし、ここでμは電子の移動度で０．５ｃｍ2 ／Ｖ
ｓ、Ｃは単位面積当たりのゲート絶縁膜９の容量で１．
６×１０-8Ｆ／ｍ2 とした。
【０２２４】また、走査線２の電圧を−１０Ｖおよび＋
１５Ｖとし、検査用制御信号線２４（２５）の印加電圧
を２０Ｖとして電圧固定で抵抗値計算した。現実として
はＬは最小で５μｍ程度が限界であり、この場合Ｗは７
５００μｍ以上となり、これは歩留りまで考慮すると実
現は困難であると言わざるを得ない。
【０２２５】そこで、検査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂに検
査時だけ光を照射して電流値を増大させることによっ
て、Ｗ／Ｌが小さくても必要な書き込み特性が得られる
ようにしたのである。
【０２２６】すなわち、検査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂは
半導体素子であり、これに光が当たると真性半導体中に
電子・正孔対が発生する。ＴＦＴがオンされた状態にお
いては、真性半導体は十分に反転しているため、オフの
場合の漏れ電流ほどの光感度は得られないが、それでも
光の強度によっては５倍から１０倍程度の電流増加があ
ることが実験的に確認された。
【０２２７】アクティブマトリクス基板３４では、検査
用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂは一様にオン状態としており、
検査用表示信号線２１Ｒ・２１Ｇ・２１Ｂや検査用走査
信号線２２ａ・２２ｂの信号の切り替えで点灯状態を変
化させる方式であるため、検査が終わるまでの間は検査
用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂをスイッチングする必要がな
く、検査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂに一様に強い光を照射
し続けるだけでよい。
【０２２８】但し、検査時に検査用ＴＦＴ２６ａ・２６
ｂに光を当てるべく、対向基板４２においてはブラック
マトリクスをこれら検査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂに重な
らないように設けているので、実装後は遮光を考慮にい
れて外装部材を設計しておく必要がある。
【０２２９】〔実施の形態６〕本発明に係る他の実施の
形態を、図１０に基づいて説明すれば、以下の通りであ
る。尚、説明の便宜上、前記の従来技術の説明、及び実
施の形態１〜５にて示した部材と同一の機能を有する部
材には、同一の符号を付記し、その説明を省略する。
【０２３０】図１０は、本実施の形態のアクティブマト
リクス型液晶表示装置の平面模式図である。
【０２３１】図１０に示すアクティブマトリクス基板３
７は、実施の形態４の図７に示したアクティブマトリク
ス基板３５とほぼ同じ構成を有しているが、ＦＰＣと接
続される前述の端子４３が検査端子４０としての機能も
有し、かつ、この端子４３と、検査用ＴＦＴ２６ａ・２
６ｂとの間に、入力保護用の抵抗素子４４が設けられて
いる構成である。
【０２３２】これは、次のような理由による。すなわ
ち、検査用制御信号線２４（２５）は、検査用ＴＦＴ２
６ａ・２６ｂのゲート電極とつながれているのみで他に
電荷の逃げる経路がないため、一般のＭＯＳトランジス
タのゲートと同様にインピーダンスが非常に高い。した
がって、この配線に静電気が入り込んだ場合、検査用Ｔ
ＦＴ２６ａ・２６ｂのゲート−ドレイン間やゲート−ソ
ース間に高電圧がかかることとなり、絶縁破壊が起こ
り、リーク欠陥をおこす恐れがある。
【０２３３】そこで、実施の形態３で述べたように、不
要な信号が入るのを防ぐために各検査端子に絶縁テープ
等を施す絶縁処理が有効であるが、図１０の構成では、
この端子４３は検査後、検査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂに
遮断電圧を与えるべくＦＰＣを通じて外部に導通され
る。
【０２３４】したがって、この液晶表示装置を外部の装
置に装着したり取り扱う際に帯電した物体に触れる機会
が多くなり、静電気不良の確率が高くなる。そして、こ
の不良は液晶表示装置が実際に使用されるユーザの手元
で発生する可能性があるため、出荷前の検査などで選別
することができず極めて不都合であり、表示装置の構造
面で何らかの対策を講じておく必要がある。
【０２３５】そこで、従来の表示装置における配線間の
入力保護回路のように、トランジスタのゲートとソース
を短絡して構成したダイオードを双方向につないで隣接
配線に静電気を逃がすことが有効であり、図１０に示す
ように、このアクティブマトリクス基板３７では、検査
用走査信号線２２ａ・２２ｂ間、及び検査用表示信号線
２１Ｒ・２１Ｇ・２１Ｂ間に、該ダイオード型のＴＦＴ
からなる入力保護回路４５をつないで静電気対策として
いる。
【０２３６】しかしながら、検査用制御信号線２４（２
５）と、これら検査用走査信号線２２ａ・２２ｂ、及び
検査用表示信号線２１Ｒ・２１Ｇ・２１Ｂの間には入力
保護回路４５を設けず、検査用制御信号線２４（２５）
においては、端子４３と検査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂと
の間に入力保護用の抵抗素子４４を設けている。
【０２３７】これは、検査時に検査用制御信号線２４
（２５）にはプラスのバイアスを加えるため、ダイオー
ド間に閾値を大きく越える電圧が印加されることによっ
て、入力保護回路４５を経路として電流が流れるため、
検査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂの各端子に所望の電圧がか
からず、検査上不具合が生じる可能性が高いためであ
る。
【０２３８】この入力保護用の抵抗素子４４の構造は、
配線の一部を金属膜のかわりに半導体のｎ+ 層で置き換
えたもので、比抵抗が高いことによって高抵抗部を設け
ている。ｎ+ 層の比抵抗は、１ｋΩｃｍ程度であり膜厚
３００Åとすると、パターンの長さと幅の比を３：１と
することで、抵抗は１ＭΩとなる。このｎ+ 層は、絵素
ＴＦＴ１や検査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂを形成する工程
で同時に形成されるため、工程数の増加はない。
【０２３９】このようにして入力部に高抵抗を接続して
おくことで、静電気の経路の時定数を大きくしておき、
検査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂの破壊を防ぐことができ
る。
【０２４０】ここでは、検査用制御信号線２４（２５）
の静電容量は数百ｐＦ程度であるため、時定数は数百μ
ｓであり、抵抗素子４４を設けない場合のように一瞬の
うちに静電気が検査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂに達する場
合とくらべて、破壊は極端に少なくなる。
【０２４１】なお、図１０においては、走査線検査用制
御信号線２４とデータ線検査用制御信号線２５を基板上
で導通しており、かつこれに電圧を印加する検査端子と
しての機能も有する端子４３がＦＰＣ部に延長されて形
成されているため、入力保護用の抵抗素子４４はＦＰＣ
のすぐ内側に設けているが、ＦＰＣ部ではなく空き領域
に検査端子が設けられている場合には、その検査端子と
検査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂの間に入力保護用の抵抗素
子４４を設けるべきである。
【０２４２】また、図１、図３、図５に示した構成のよ
うに、走査線検査用制御信号線２４とデータ線検査用制
御信号線２５とが導通していない別々の場合は、それぞ
れの検査端子４１・４０と検査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂ
との間に入力保護用の抵抗素子４４を設けることが有効
である。
【０２４３】また、それら検査用制御信号線２４・２５
同士の間も前述のダイオード型のＴＦＴを用いた入力保
護回路４５を介して接続しておくことで、どちらか１本
の配線に入った静電気を他方に逃がすことができるの
で、より有効な静電気対策となる。なお、このようなダ
イオード型のＴＦＴを用いた入力保護回路４５は、絵素
ＴＦＴ１の作製工程で同時に作製できるので、工程数の
増加はない。
【０２４４】また、図７の構成のように、検査用の制御
信号を入力する検査端子４０と、実装後に検査用ＴＦＴ
２６ａ・２６ｂを遮断するための電圧を印加するべき端
子４３が別々に設けられている場合には、そのそれぞれ
入力部と検査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂとの問に入力保護
用の抵抗素子４４を設けることが望ましい。
【０２４５】そして、以上のような構成では、検査の
際、検査用制御信号の入力は抵抗素子４４を介して行わ
れるが、既に述べたように制御信号はプラスの直流電圧
が与えられるため、該抵抗素子４４があることによる不
具合は発生しない。また、検査後のドライバ２０が実装
された段階においても、該抵抗素子４４を介して端子４
３からマイナスの電圧が与えられるが、これも直流であ
るため時定数などは考慮する必要がないので、抵抗素子
４４による不具合は生じない。
【０２４６】〔実施の形態７〕本発明に係る他の実施の
形態を、図１１〜図１３に基づいて説明すれば、以下の
通りである。尚、説明の便宜上、前記の従来技術の説
明、及び実施の形態１〜６にて示した部材と同一の機能
を有する部材には、同一の符号を付記し、その説明を省
略する。
【０２４７】図１１は、本実施の形態のアクティブマト
リクス型液晶表示装置の平面模式図である。
【０２４８】図１１に示すアクティブマトリクス基板３
８は、実施の形態４の図８に示したアクティブマトリク
ス基板３６とほぼ同じ構成を有しているが、検査用制御
信号線２４（２５）がゲートドライバ２０ｂの駆動用電
源の内のマイナス側の電源と接続される配線に、入力保
護回路４６が設けられた構成である。静電気はこの保護
回路４６の抵抗値と検査用制御信号線２４（２５）の静
電容量と、外部回路における電源系統の静電容量からな
る時定数によって遅延し、破壊が防止される。
【０２４９】そして、この入力保護回路４６は、前述の
入力保護用の抵抗素子４４のような単純な線形素子のか
わりに非線形素子であるダイオードからなる。
【０２５０】図１２に、入力保護回路４６の回路図を示
す。入力保護回路４６は、順方向をそれぞれ逆の方向に
もつダイオードＤ1 ・Ｄ2 を並列に配置してなる抵抗回
路４６ａを構成単位として複数個直列につなげた構成で
ある。該ダイオードＤ1 ・Ｄ2 を用いた入力保護回路４
６のような回路は、実施の形態６で前述した入力保護回
路４５ように配線の静電気対策として一般に用いられて
いるもので、絵素ＴＦＴ１と同工程で、ゲートとソース
を短絡して２端子素子としたダイオード型ＴＦＴを用い
る。図１３に、図１２の回路図を、トランジスタレベル
で表わした回路図を示す。
【０２５１】前述の実施の形態６のアクティブマトリク
ス基板３７に備えられた入力保護用の抵抗素子４４の場
合、静電気の電圧によらず抵抗値が一定であるため、設
計しやすいという利点があるが、工程数の低減を目的と
してｎ+ 層の形成にかかるフォト工程を削減し、その上
層のソース、ドレイン電極を構成する金属膜をフォトレ
ジストの代わりとする場合等のように、高抵抗の配線を
形成することが困難な場合には実現できない。
【０２５２】さらに、このような工程上の都合を無視し
たとしても、次の点から本実施の形態のような非線形素
子からなる構造は利点がある。
【０２５３】すなわち、抵抗素子４４のような高抵抗素
子の場合には、静電気が加わって過電流が該抵抗素子４
４を流れた場合、ここで発生するジュール熱によって抵
抗素子４４が融解され、電気的に離れた状態となる。こ
のような状態となると、検査用ＴＦＴ２６ａ，２６ｂを
遮断する電圧を印加することができず、信頼性を保証す
る上で問題である。
【０２５４】ところが、本実施の形態のように、ダイオ
ードＤ1 ・Ｄ2 でこれを構成した場合は、ダイオードＤ
1 ・Ｄ2 に高電圧が加わった段階で、半導体層が劣化す
ると同時にダイオードＤ1 ・Ｄ2 のゲート絶縁膜が破壊
され、ダイオードＤ1 ・Ｄ2の両端は短絡状態となりや
すい。すなわち、仮に静電気によって入力保護回路４６
が破壊されたとしても、実装後に外部回路を駆動するた
めの基板上の配線の内の出力電圧のローレベルを規定す
る電圧が加えられる配線と検査用制御信号線２４（２
５）は電気的に接続されており、検査用ＴＦＴ２６ａ・
２６ｂが及ぼす悪影響の心配はなくなる。
【０２５５】ちなみに、本実施の形態の入力保護回路４
６では、一対のダイオードＤ1 ・Ｄ2 からなる抵抗回路
４６ａを複数個直列につなげた状態に設置しているの
は、仮に静電気で一段目の抵抗回路４６ａのダイオード
Ｄ1 ・Ｄ2 が破壊されても、次段目の抵抗回路４６ａに
よって保護抵抗としての機能を維持するための構造であ
る。
【０２５６】このような入力保護回路４６を、図１０に
示した実施の形態６のアクティブマトリクス基板３７に
おける抵抗素子４４の代わりに設けることもできる。
【０２５７】この場合、検査の際に検査用の制御信号の
入力は入力保護回路４６を介して行われるが、既に述べ
たように制御信号はプラスの直流電圧が与えられ、ま
た、検査後のドライバ２０が実装された段階において
も、入力保護回路４６を介して端子４３からマイナスの
電圧が与えられ、これも直流であるため時定数などは考
慮する必要がないので、入力保護回路４６による不具合
は生じない。
【０２５８】但し、１段の抵抗回路４６ａあたりダイオ
ードＤ1 ・Ｄ2 の閾値に相当する電圧が入力保護回路４
６にかかるため、検査用ＴＦＴ２６ａ・２６ｂを十分に
機能させるためには、入力保護回路４６は多くとも５段
程度以下におさめておくべきである。
【０２５９】〔実施の形態８〕本発明に係る他の実施の
形態を、図２５〜図２９に基づいて説明すれば、以下の
通りである。尚、説明の便宜上、前記の従来技術の説
明、及び実施の形態１〜７にて示した部材と同一の機能
を有する部材には、同一の符号を付記し、その説明を省
略する。
【０２６０】アクティブマトリクス基板においては、各
バスラインや絵素スイッチング素子を静電気から守る目
的で、ある特定ラインにかかった静電気を他のバスライ
ンに逃がし、パネル全体に電荷を分散させることによ
り、特定箇所の静電破壊を防ぐ構造がある。もちろん、
バスラインにまたがる電流パスは、ある程度高抵抗でな
ければ表示上不具合を生じるため、各バスラインは通常
数ＭΩ以上の抵抗素子で接続されている。ところが、上
記構造では、検査時には複数本のバスラインを束ねて信
号を供給するため、これらの抵抗素子は複数個並列に並
ぶことになり、実質の抵抗値が低下して検査上不具合を
生じることがある。
【０２６１】図２５は、本実施の形態における走査線２
と検査用走査信号線２２ａ・２２ｂの一部を示したもの
である。走査線２は偶数ライン、奇数ラインごとにそれ
ぞれ検査用走査信号線２２ａ・２２ｂに接続されてい
る。また、各走査線間は抵抗素子７８で接続されてお
り、これを流れる電流をｉ／２とする。この場合、１本
の走査線に流れ込む電流はｉとなり、検査用走査信号線
全体を流れる電流はｎｉ／ｋとなる。但し、ｎは走査線
２の本数、ｋは検査用走査信号線の本数であって本実施
の形態の場合はｋ＝２である。このｎｉ／ｋの電流によ
って、検査用走査信号線での電圧降下が発生し、走査線
に所定の電圧がかからなくなる。尚、上記検査用走査信
号線２２ａ・２２ｂは、検査後において分断線７７で分
断される。
【０２６２】図２５において１対の走査線２・２に注目
した場合の等価回路を図２６に示す。ただし、ここでは
検査用走査信号線の抵抗値をＲとし、入力端（図では、
Ｖｇｈ、Ｖｇｌと記述、これはこの部分の印加電圧でも
ある）近傍にＲ／２の抵抗値を置いた。また、全ての走
査線２は検査用走査信号線２２ａ・２２ｂの中間点に集
中して配置されていると近似した。この近似は後に述べ
る試作結果によって、妥当であることが確認された。
【０２６３】図２６において各抵抗を流れる電流から、
各部の電圧を容易に求めることができ、各走査線２に実
際にかかる電圧は入力をＶｇｈ、Ｖｇｌとした時、
【０２６４】
【数１】
【０２６５】であることが求まる。但し、ｖo 、ｖe は
上記図２６に示された一対の走査線のそれぞれにかかる
電圧、ｒｄは抵抗素子７８の１個あたりの抵抗値であ
る。数１より明らかなように、これら一対の走査線間に
おける電位差（ｖo −ｖe ）は、検査用走査信号線２２
ａ・２２ｂの入力端子に与えられる印加電圧Ｖｇｈ、Ｖ
ｇｌの電位差よりも小さくなる。但し、最低でも印加電
圧の８割は走査線にかかることが望ましい。走査線にか
かる電圧がこれより小さい場合、絵素スイッチング素子
が十分に導通せず、オン不良画素の見極めに不具合を生
じ、検査の精度を著しく低下させる。このことから以下
の式を満たすことが必要である。
【０２６６】
【数２】
【０２６７】これら２式から関係を導くと、以下の式を
満たす必要があることがわかる。
【０２６８】
【数３】
【０２６９】尚、上記説明は走査線について考察したも
のであるが、これはデータ線についても同様のことが言
える。すなわち、隣接するデータ線３・３間に抵抗素子
を配置し、前記各抵抗素子の抵抗値をｒｄ、データ線３
の本数をｎ、検査用表示信号線の本数をｋ、検査用表示
信号線の抵抗値をＲとした場合、これらの値は数３を満
たす必要がある。
【０２７０】ところで、上記抵抗素子７８は図２７に示
すように、トランジスタのゲートとドレインとを接続し
てダイオード特性を示す非線形素子を双方向に並列に配
置したものとすることが多い。これは、該抵抗素子７８
を絵素トランジスタと同工程で作成することができ、工
程数の増加を防ぐことができるという効果が得られる以
外に、弱電圧に対しては高抵抗で、静電破壊を起こすよ
うな強電圧に対しては低抵抗になるという特性が、保護
用の抵抗素子としては好都合であることによる。
【０２７１】この場合でも、検査用走査信号線２２ａ・
２２ｂの電圧降下まで考慮して、実際に非線形素子にか
かる電圧とそのときの電流を計算して設計すれば、上記
と同様の考え方が通用する。具体的には、移動度０．
５、Ｖｔｈ＝１Ｖのトランジスタで抵抗素子７８を形成
し、Ｖｇｈ＝１５Ｖ、Ｖｇｌ＝−１０Ｖ、検査用走査信
号線の全抵抗値５ｋΩ、走査線数２２０本で計算したと
ころ、抵抗素子７８のトランジスタにおけるチャネル幅
およびチャネル長さの比は３．２５以下でなければなら
ないことが算出された。逆に抵抗素子７８のトランジス
タにおけるチャネル幅およびチャネル長さの比が３．２
５のとき、この抵抗素子を流れる電流の大きさに応じて
おこる検査用走査信号線での電圧降下は、Ｖｇｈ側Ｖｇ
ｌ側それぞれ２．５Ｖずつであり、各走査線２にかかる
電圧（抵抗素子の両端にかかる電圧）は それぞれ１
２．５Ｖ、−７．５Ｖ（ＨｉｇｈとＬｏｗの差は印加電
圧の８割）である。したがって抵抗素子７８には２０Ｖ
かかることになり、この電圧における抵抗値は４．４Ｍ
Ωである（この時、抵抗素子１本あたりの電流量ｉ／２
は４．５μＡであり、検査用走査信号線には１１０×ｉ
＝１ｍＡ流れる。したがって、検査用走査信号線での電
圧降下は１ｍＡ×５ｋΩ／２＝２．５Ｖとなり、上述の
電圧降下量と一致しているのがわかる）。抵抗素子７８
の抵抗値がこの４．４ＭΩより小さい場合には、検査用
走査信号線にはより大きな電流が流れ、結果的に検査用
走査信号線での電圧降下がさらに大きくなるため、各走
査線にかかる電圧はさらに小さくなり（印加電圧の８割
未満）、検査上の不具合を生ずる。したがって、このｒ
ｄ＝４．４ＭΩとｎ＝１１０、ｋ＝２という値を数３の
右辺に代入すると、５ｋΩとなっており、検査用走査信
号線Ｒの満たすべき値の最小値であるという上記計算結
果と一致する。
【０２７２】実際にこのような液晶表示パネルを作成し
たところ、検査用配線を用いて検査をおこなったときの
結果と、実装部材を実装して実駆動した時の見え方とは
よく一致した。さらに、検査用配線を用いて検査する
際、わざと抵抗素子７８の部分に光をあてて抵抗値を下
げてみたところ、パネルによっては点欠陥が実駆動のと
きより多く視認されるものがあり、検査の精度が悪くな
ることが分かった。
【０２７３】図２８は、各走査線２に対して検査用ＴＦ
Ｔ２６ｂを介して検査用走査信号線２２ａ・２２ｂから
検査用信号が供給される場合である。また、図２８にお
いて１対の走査線２・２に注目した場合の等価回路を図
２９に示す。この場合、検査用ＴＦＴ２６ｂの抵抗値も
考慮に入れなければならず、上記と同様の考え方によ
り、ｖo およびｖe は次式のようになる。
【０２７４】
【数４】
【０２７５】但し、ここでは検査用ＴＦＴ２６ｂの抵抗
値をｒｔｒとしている。したがって、抵抗素子７８の抵
抗値の満たすべき条件は以下のようになる。
【０２７６】
【数５】
【０２７７】具体的には、移動度０．５、Ｖｔｈ＝１Ｖ
のトランジスタで抵抗素子７８および検査用ＴＦＴ２６
ｂを形成し、検査用ＴＦＴ２６ｂのチャネル幅およびチ
ャネル長さをそれぞれ２００μｍ、７μｍ検査用スイッ
チング素子を導通させるために走査線検査用制御信号線
に与える電圧２５Ｖとし、Ｖｇｈ＝１５Ｖ、Ｖｇｌ＝−
１０Ｖ、検査用走査信号線の抵抗値５ｋΩ、走査線数２
２０本で計算したところ、抵抗素子７８のトランジスタ
のチャネル幅、チャネル長さの比は１．６以下でなけれ
ばならないことが算出された。逆に抵抗素子７８のトラ
ンジスタにおけるチャネル幅およびチャネル長さの比が
１．６のとき、この抵抗素子を流れる電流の大きさに応
じておこる検査用走査信号線および検査用スイッチング
素子２６ｂでの電圧降下は、Ｖｇｈ側Ｖｇｌ側それぞれ
３．１Ｖ、１．９Ｖであり、各走査線２にかかる電圧
（抵抗素子の両端にかかる電圧）は それぞれ１１．９
Ｖ、−８．１Ｖ（ＨｉｇｈとＬｏｗの差は印加電圧の８
割）である。したがって抵抗素子７８には２０Ｖかかる
ことになり、この電圧における抵抗値は８．７ＭΩであ
る（この時、抵抗素子１本あたりの電流量ｉ／２は２．
３μＡであり、検査用走査信号線には１１０×ｉ＝０．
５１ｍＡ流れる。したがって、検査用走査信号線での電
圧降下は０．５１ｍＡ×５ｋΩ／２＝１．３Ｖとなる。
またこの条件における検査用スイッチング素子２６ｂの
ソース−ドレイン間抵抗はＶｇｈ側Ｖｇｌ側でそれぞれ
３９６ｋΩ、１３６ｋΩであり、これらによる電圧降下
量はそれぞれ３９６ｋΩ×ｉ＝１．８Ｖ、１３６ｋΩ×
ｉ＝０．６Ｖであり、検査用走査信号線での電圧降下と
検査用スイッチング素子での電圧降下の和は、Ｖｇｈ側
Ｖｇｌ側ともに上述の電圧降下量と一致していることが
わかる）。抵抗素子７８の抵抗値がこの８．７ＭΩより
小さい場合には、検査用走査信号線にはより大きな電流
が流れ、結果的に検査用走査信号線および検査用スイッ
チング素子での電圧降下がさらに大きくなるため、各走
査線にかかる電圧はさらに小さくなり（印加電圧の８割
未満）、検査上の不具合を生ずる。したがって、このｒ
ｄ＝８．７ＭΩ、ｒｔｒ＝（３９６ｋΩ＋１３６ｋΩ）
／２＝０．２７ＭΩ、ｎ＝１１０、ｋ＝２という値を数
５の右辺に代入すると、５ｋΩとなっており、検査用走
査信号線Ｒの満たすべき値の最小値であるという上記計
算結果と一致する。
【０２７８】実際にこのような液晶表示パネルを作成し
たところ、検査用配線を用いて検査をおこなったときの
結果と、実装部材を実装して実駆動した時の見え方とは
よく一致した。さらに、検査用配線を用いて検査する
際、わざと抵抗素子７８の部分に光をあてて抵抗値を下
げてみたところ、パネルによっては点欠陥が実駆動のと
きより多く視認されるものがあり、検査の精度が悪くな
ることが分かった。
【０２７９】尚、上記説明は検査用ＴＦＴを設けた場合
に走査線について考察したものであるが、これはデータ
線についても同様のことが言える。すなわち、隣接する
データ線３・３間に抵抗素子を配置し、前記各抵抗素子
の抵抗値をｒｄ、各データ線検査用スイッチング素子２
２ａの抵抗値をｒｔｒ、データ線３の本数をｎ、検査用
表示信号線の本数をｋ、検査用表示信号線の抵抗値をＲ
とした場合、これらの値は数５を満たす必要がある。
【０２８０】〔実施の形態９〕本発明に係る他の実施の
形態を、図３０、図３１に基づいて説明すれば、以下の
通りである。尚、説明の便宜上、前記の従来技術の説
明、及び実施の形態１〜８にて示した部材と同一の機能
を有する部材には、同一の符号を付記し、その説明を省
略する。
【０２８１】図３０は、本実施の形態における走査線２
と検査用走査信号線２２ａ・２２ｂの一部を示したもの
である。走査線２は偶数ライン、奇数ラインごとにそれ
ぞれ検査用走査信号線２２ａ・２２ｂに接続されてい
る。また、各走査線間は静電気からパネルを守る目的で
抵抗素子７８で接続されているが、図２５の場合と異な
り隣接走査線間ではなく、同一の検査用走査信号線に接
続されている走査線ごとに抵抗素子７８で結ばれてい
る。この構造により、抵抗素子７８には、検査中に電圧
がかからず電流が流れないため、静電気を逃す構造を維
持しつつも、抵抗素子７８を電流が流れることによる検
査用走査信号線での電圧降下がなく、検査精度が更に向
上する。また、上記検査用走査信号線２２ａ・２２ｂ
は、検査後において分断線７７で分断される。
【０２８２】図３１は、同様の構成を検査用表示信号線
２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂに当てはめた場合の図である。
図３１の構成では、検査用ＴＦＴ２６ａを用いて検査す
る場合の構造を図示しているが、抵抗素子７８を同一の
検査用表示信号線に接続されたデータ線ごとに接続する
点では同じである。ただし、検査用ＴＦＴ２６a におけ
る電圧降下がある分、検査後分断して検査用配線から開
放する場合より、さらに、本形態の効果が大きくなる。
【０２８３】尚、図３１の構成では、検査用表示信号線
は３本設けられているので、抵抗素子７８もおのずと３
本ごとに接続されることになる。また、ＲＧＢ各色ごと
に抵抗素子７８で結ばれているので、例えば抵抗素子７
８が前述の非線形素子で形成されている場合などで、使
用しているうちに微小なリークが発生した場合でも、同
色間での隣接リークであるため表示上視認されにくく都
合がよい。
【０２８４】
【発明の効果】本発明の請求項１に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、以上のように、複数のデ
ータ線に、検査用の表示信号の供給をスイッチングする
ための検査用スイッチング素子が個別に接続されてお
り、各検査用スイッチング素子には、検査用スイッチン
グ素子を介してデータ線に検査用の表示信号を供給する
検査用表示信号線が共通に配設されると共に、検査用ス
イッチング素子を導通・遮断する制御信号を入力する制
御信号線が、隣接するデータ線に異なる制御信号が入力
されるように複数本配設されている構成である。
【０２８５】これにより、工程数を増やすことなく、信
号系統間のリーク欠陥を識別可能で、かつデータ線間の
リークも目視にて検出可能な液晶表示パネルを提供する
ことができるという効果を奏する。
【０２８６】本発明の請求項２記載のアクティブマトリ
クス型液晶表示パネルは、請求項１に記載の構成におい
て、データ線に接続された検査用スイッチング素子に複
数本配設された前記制御信号線は、検査用スイッチング
素子を介して絵素における複数の表示色にそれぞれ相当
するデータ線ごとに接続されている構成である。
【０２８７】また、本発明の請求項３２に記載のアクテ
ィブマトリクス型液晶表示パネルの検査方法は、請求項
２に記載のアクティブマトリクス型液晶表示パネルにお
いて、検査用表示信号線に検査用の表示信号を供給しつ
つ、複数本配設されたデータ線検査用制御信号線に供給
する制御信号を順次切り替えて色表示するものである。
【０２８８】これにより、工程数を増やすことなく、検
査時の色表示が可能となり、信号系統間のリーク欠陥に
加えて、データ線間のリークや隣接絵素間のリーク欠陥
をも目視で容易に検出可能な液晶表示パネルを提供する
ことができるという効果を奏する。
【０２８９】本発明の請求項３に記載のアクティブマト
リクス型液晶表示パネルは、以上のように、複数のデー
タ線に、検査用の表示信号の供給をスイッチングするた
めの検査用スイッチング素子が個別に接続されており、
各検査用スイッチング素子には、検査用スイッチング素
子を導通・遮断する制御信号を入力する制御信号線が共
通に配設されると共に、検査用スイッチング素子に検査
用の表示信号を供給する検査用表示信号線が、隣接する
データ線に異なる表示信号が入力されるように複数本配
設されている構成である。
【０２９０】これにより、工程数を増やすことなく、信
号系統間のリーク欠陥を識別可能で、かつデータ線間の
リークも目視にて検出可能で、かつ、目視では検出でき
ないような信号系統間のリーク欠陥をも電気的に検出可
能な液晶表示パネルを提供することができるという効果
を奏する。
【０２９１】本発明の請求項４に記載のアクティブマト
リクス型液晶表示パネルは、請求項３に記載の構成にお
いて、データ線に接続された検査用スイッチング素子に
複数本配設された前記検査用表示信号線は、検査用スイ
ッチング素子を介して絵素における複数の表示色にそれ
ぞれ相当するデータ線ごとに接続されている構成であ
る。
【０２９２】また、本発明の請求項３３に記載のアクテ
ィブマトリクス型液晶表示パネルの検査方法は、請求項
４に記載のアクティブマトリクス型液晶表示パネルにお
いて、データ線検査用制御信号線に制御信号を供給しつ
つ、複数本配設された検査用表示信号線に供給する検査
用の表示信号を順次切り替えて色表示するものである。
【０２９３】これにより、工程数を増やすことなく、検
査時の色表示が可能となり、データ線間のリークや隣接
絵素間のリーク欠陥を目視で容易に検出することがで
き、かつ、目視では検出できないような信号系統間のリ
ーク欠陥やデータ線間のリーク欠陥をも電気的に検出可
能な液晶表示パネルを提供することができるという効果
を奏する。
【０２９４】本発明の請求項５に記載のアクティブマト
リクス型液晶表示パネルは、請求項１ないし４の何れか
１項に記載の構成において、複数の走査線に、検査用の
表示信号の供給をスイッチングするための検査用スイッ
チング素子が個別に接続されており、走査線に接続され
た各検査用スイッチング素子には、該検査用スイッチン
グ素子を導通・遮断する制御信号を入力する制御信号
線、及び該検査用スイッチング素子に検査用の走査信号
を供給する検査用走査信号線が配設されている構成であ
る。
【０２９５】これにより、走査線側の検査用の配線も切
断する必要がなくなるので、たとえパネルを個々に分割
した後で検査を実施しても、工程数の増加は一切なく、
より優れた構成の液晶表示パネルを提供できるという効
果を奏する。
【０２９６】本発明の請求項６記載のアクティブマトリ
クス型液晶表示パネルは、請求項５に記載の構成におい
て、走査線に接続された各検査用スイッチング素子に検
査用の走査信号を供給する検査用走査信号線が、隣接す
る走査線に異なる検査用の走査信号が入力されるように
複数本配設されている構成である。
【０２９７】これにより、上記した請求項５に記載した
構成による効果に加え、隣接する走査線を絵素電極の補
助容量として使う、いわゆるＣｓ ｏｎ Ｇａｔｅ構造
の場合にも、支障無く点灯検査することができるという
効果を奏する。
【０２９８】本発明の請求項７に記載のアクティブマト
リクス型液晶表示パネルは、請求項５又は６に記載の構
成において、データ線に接続された検査用スイッチング
素子に制御信号を入力する前記制御信号線と、走査線に
接続された検査用スイッチング素子に制御信号を入力す
る前記制御信号線とが、前記絶縁性基板上で電気的に接
続されている構成である。
【０２９９】これにより、上記請求項５又は６に記載の
構成による効果に加えて、検査用配線の形成にかかる領
域を小さくでき、また、検査時と実装後の点灯時の制御
信号の入力を容易にできるという効果を奏する。
【０３００】本発明の請求項８に記載のアクティブマト
リクス型液晶表示パネルは、請求項３または４に記載の
構成において、前記データ線検査用スイッチング素子が
導通状態にある時の、該データ線検査用スイッチング素
子のソース−ドレイン間の抵抗値が、隣接するデータ線
間のリーク抵抗値、もしくは、走査線−データ線間のリ
ーク抵抗値の５％以下である構成である。
【０３０１】本発明の請求項９に記載のアクティブマト
リクス型液晶表示パネルは、請求項３または４に記載の
構成において、前記複数の走査線に、検査用の走査信号
の供給をスイッチングするための走査線検査用スイッチ
ング素子が個別に接続されており、各走査線検査用スイ
ッチング素子には、走査線検査用スイッチング素子を導
通・遮断する制御信号を入力する走査線検査用制御信号
線が共通に配設されると共に、走査線検査用スイッチン
グ素子に検査用の走査信号を供給する検査用走査信号線
が、隣接する走査線に異なる走査信号が入力されるよう
に複数本配設されていると共に、前記データ線検査用ス
イッチング素子および前記走査線検査用スイッチング素
子が導通状態にある時の、これらの検査用スイッチング
素子のソース−ドレイン間の抵抗値が、隣接する走査線
間のリーク抵抗値、隣接するデータ線間のリーク抵抗
値、もしくは、走査線−データ線間のリーク抵抗値の５
％以下である構成である。
【０３０２】本発明の請求項１０に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、請求項３または４に記載
の構成において、前記複数の走査線に、検査用の走査信
号の供給をスイッチングするための走査線検査用スイッ
チング素子が個別に接続されており、各走査線検査用ス
イッチング素子には、該走査線検査用スイッチング素子
を導通・遮断する制御信号を入力する走査線検査用制御
信号線、及び該走査線検査用スイッチング素子を介して
走査線に検査用の走査信号を供給する検査用走査信号線
が配設されていると共に、隣接する各走査線間に補助容
量配線が走査線と並行に配設されており、前記データ線
検査用スイッチング素子および前記走査線検査用スイッ
チング素子が導通状態にある時の、これらの検査用スイ
ッチング素子のソース−ドレイン間の抵抗値が、隣接す
るデータ線間のリーク抵抗値、走査線−補助容量配線間
のリーク抵抗値、データ線−補助容量配線間のリーク抵
抗値、もしくは、走査線−データ線間のリーク抵抗値の
５％以下である構成である。
【０３０３】本発明の請求項１１に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、請求項３または４に記載
の構成において、前記データ線検査用スイッチング素子
が導通状態にある時の、該データ線検査用スイッチング
素子のソース−ドレイン間の抵抗値が５００ｋΩ以下で
ある構成である。
【０３０４】本発明の請求項１２に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、請求項３または４に記載
の構成において、前記複数の走査線に、検査用の走査信
号の供給をスイッチングするための走査線検査用スイッ
チング素子が個別に接続されており、各走査線検査用ス
イッチング素子には、走査線検査用スイッチング素子を
導通・遮断する制御信号を入力する走査線検査用制御信
号線が共通に配設されると共に、走査線検査用スイッチ
ング素子に検査用の走査信号を供給する検査用走査信号
線が、隣接する走査線に異なる走査信号が入力されるよ
うに複数本配設されていると共に、前記データ線検査用
スイッチング素子および前記走査線検査用スイッチング
素子が導通状態にある時の、これらの検査用スイッチン
グ素子のソース−ドレイン間の抵抗値が５００ｋΩ以下
である構成である。
【０３０５】本発明の請求項１３に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、請求項３または４に記載
の構成において、前記複数の走査線に、検査用の走査信
号の供給をスイッチングするための走査線検査用スイッ
チング素子が個別に接続されており、各走査線検査用ス
イッチング素子には、該走査線検査用スイッチング素子
を導通・遮断する制御信号を入力する走査線検査用制御
信号線、及び該走査線検査用スイッチング素子を介して
走査線に検査用の走査信号を供給する検査用走査信号線
が配設されていると共に、隣接する各走査線間に補助容
量配線が走査線と並行に配設されており、前記データ線
検査用スイッチング素子および前記走査線検査用スイッ
チング素子が導通状態にある時の、これらの検査用スイ
ッチング素子のソース−ドレイン間の抵抗値が５００ｋ
Ω以下である構成である。
【０３０６】これにより、上記請求項３または４に記載
の構成による効果に加えて、上記検査用スイッチング素
子の導通状態における抵抗値が、電気的検査において検
出しようとする抵抗値と比べて十分に小さなものとな
り、データ線間もしくは走査線間のリーク検出が確実に
行なえるという効果を奏する。
【０３０７】本発明の請求項１４に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、前記複数のデータ線に、
検査用の表示信号の供給を制御するためのデータ線検査
用スイッチング素子が個別に接続されており、各データ
線検査用スイッチング素子には、該データ線検査用スイ
ッチング素子を介してデータ線に検査用の表示信号を供
給する検査用表示信号線と、データ線検査用スイッチン
グ素子を導通・遮断する制御信号を入力するデータ線検
査用制御信号線とが配設されており、または、前記複数
の走査線に、検査用の走査信号の供給を制御するための
走査線検査用スイッチング素子が個別に接続されてお
り、各走査線検査用スイッチング素子には、該走査線検
査用スイッチング素子を介して走査線に検査用の走査信
号を供給する検査用走査信号線と、走査線検査用スイッ
チング素子を導通・遮断する制御信号を入力する走査線
検査用制御信号線とが配設されていると共に、液晶表示
パネル駆動時には、前記データ線検査用制御信号線また
は走査線検査用制御信号線に、前記データ線検査用スイ
ッチング素子または走査線検査用スイッチング素子を遮
断する電圧がそれぞれ印加される構成である。
【０３０８】これにより、液晶表示パネルの駆動時、制
御信号線には検査用スイッチング素子を遮断する電圧が
印加されているので、駆動時の誤動作を防止できるとい
う効果を奏する。
【０３０９】本発明の請求項１５に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、請求項１４に記載の構成
において、前記絶縁性基板上に液晶表示パネルを駆動す
るための外部回路と、該外部回路を駆動するための配線
が形成され、データ線に接続された検査用スイッチング
素子に制御信号を入力する前記制御信号線、及び走査線
に接続された検査用スイッチング素子に制御信号を入力
する前記制御信号線の少なくとも一方が、前記外部回路
を駆動するための前記配線の内、接地電位を加える配
線、外部回路のロジック内のスイッチング素子をオフす
る電圧が加えられる配線、又は外部回路の出力電圧の内
のローレベルを規定する電圧が加えられる配線に接続さ
れている構成である。
【０３１０】これは、請求項１４に記載した構成を具体
的に提案するものであり、新たに別系統の電源を設ける
ことなく、液晶表示パネル駆動時の誤動作を防止できる
という効果を奏する。
【０３１１】本発明の請求項１６に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、前記複数のデータ線に、
検査用の表示信号の供給を制御するためのデータ線検査
用スイッチング素子が個別に接続されており、各データ
線検査用スイッチング素子には、該データ線検査用スイ
ッチング素子を介してデータ線に検査用の表示信号を供
給する検査用表示信号線と、データ線検査用スイッチン
グ素子を導通・遮断する制御信号を入力するデータ線検
査用制御信号線とが配設されており、または、前記複数
の走査線に、検査用の走査信号の供給を制御するための
走査線検査用スイッチング素子が個別に接続されてお
り、各走査線検査用スイッチング素子には、該走査線検
査用スイッチング素子を介して走査線に検査用の走査信
号を供給する検査用走査信号線と、走査線検査用スイッ
チング素子を導通・遮断する制御信号を入力する走査線
検査用制御信号線とが配設されていると共に、前記デー
タ線検査用制御信号線または前記走査線検査用制御信号
線の信号入力点と、該データ線検査用制御信号線または
走査線検査用制御信号線が接続されているデータ線検査
用スイッチング素子群または走査線検査用スイッチング
素子との間に、抵抗素子が設けられている構成である。
【０３１２】これにより、制御信号線に流れる静電気に
よる検査用スイッチング素子の破壊を、検査に支障なく
防止できるという効果を奏する。
【０３１３】本発明の請求項１７に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、請求項１５に記載の構成
において、制御信号線と接続された、前記の接地電位を
加える配線、外部回路のロジック内のスイッチング素子
をオフする電圧が加えられる配線、又は外部回路の出力
電圧の内のローレベルを規定する電圧が加えられる配線
と、該制御信号線が接続されている検査用スイッチング
素子群との間に、抵抗素子が設けられている構成であ
る。
【０３１４】これは、請求項１５に記載した構成におい
て静電気対策を講じたもので、該制御信号線に流れる静
電気による検査用スイッチング素子の破壊を、検査に支
障なく防止できるという効果を併せて奏する。
【０３１５】本発明の請求項１８に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、請求項１６又は１７に記
載の構成において、抵抗素子は絵素スイッチング素子と
同工程で作製された非線形素子である構成である。
【０３１６】これにより、請求項１６又は１７に記載の
構成による効果に加えて、たとえ過電流によって該抵抗
素子が破壊されても、配線自体は同通状態を維持するの
で、検査用スイッチング素子をオフする電圧を加えるこ
とが可能で、検査用スイッチング素子の誤動作を防止し
て、信頼性の向上が図れる。
【０３１７】本発明の請求項１９に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、請求項１８に記載の構成
において、非線形素子が複数個直列に接続されている構
成である。
【０３１８】これにより、たとえ上記のように過電流が
加わって非線形素子の１つが破壊されたとしても、次段
のもので保護抵抗素子としての機能が確保されるので、
より確実に検査用スイッチング素子の破壊を防止し、請
求項１８に記載の構成によるよりもさらに信頼性の向上
が図れるという効果を奏する。
【０３１９】本発明の請求項２０に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、前記複数のデータ線に、
検査用の表示信号の供給を制御するためのデータ線検査
用スイッチング素子が個別に接続されており、各データ
線検査用スイッチング素子には、該データ線検査用スイ
ッチング素子を介してデータ線に検査用の表示信号を供
給する検査用表示信号線と、データ線検査用スイッチン
グ素子を導通・遮断する制御信号を入力するデータ線検
査用制御信号線とが配設されており、または、前記複数
の走査線に、検査用の走査信号の供給を制御するための
走査線検査用スイッチング素子が個別に接続されてお
り、各走査線検査用スイッチング素子には、該走査線検
査用スイッチング素子を介して走査線に検査用の走査信
号を供給する検査用走査信号線と、走査線検査用スイッ
チング素子を導通・遮断する制御信号を入力する走査線
検査用制御信号線とが配設されていると共に、前記絶縁
性基板上に液晶表示パネルを駆動するための外部回路
と、該外部回路を駆動するための配線が形成され、前記
データ線検査用スイッチング素子または走査線検査用ス
イッチング素子が、該外部回路の反対側の辺に設けられ
ている構成である。
【０３２０】これにより、ドライバ回路周辺のパターン
形成に領域的な余裕ができるほか、必要に応じて検査用
スイッチング素子を切断することができるという効果を
奏する。
【０３２１】本発明の請求項２１に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、前記複数のデータ線に、
検査用の表示信号の供給を制御するためのデータ線検査
用スイッチング素子が個別に接続されており、各データ
線検査用スイッチング素子には、該データ線検査用スイ
ッチング素子を介してデータ線に検査用の表示信号を供
給する検査用表示信号線と、データ線検査用スイッチン
グ素子を導通・遮断する制御信号を入力するデータ線検
査用制御信号線とが配設されており、または、前記複数
の走査線に、検査用の走査信号の供給を制御するための
走査線検査用スイッチング素子が個別に接続されてお
り、各走査線検査用スイッチング素子には、該走査線検
査用スイッチング素子を介して走査線に検査用の走査信
号を供給する検査用走査信号線と、走査線検査用スイッ
チング素子を導通・遮断する制御信号を入力する走査線
検査用制御信号線とが配設されていると共に、前記デー
タ線検査用スイッチング素子または走査線検査用スイッ
チング素子が遮光されている構成である。
【０３２２】本発明の請求項２２に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、請求項２１に記載の構成
において、検査用スイッチング素子が、対向基板上に形
成された遮光膜に相対して設置されている構成である。
【０３２３】これにより、検査用スイッチング素子が遮
光されているので、該素子を遮断した際の漏れ電流を抑
えることができ、液晶表示パネル駆動時の誤動作を防ぎ
信頼性上の問題をなくすることができるという効果を奏
する。
【０３２４】本発明の請求項２３に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、請求項１ないし２２の何
れかに記載の構成において、前記データ線検査用制御信
号線、前記走査線検査用制御信号線、前記検査用表示信
号線、および前記検査用走査信号線のうち、該液晶表示
パネルに含まれているもの全ての入力端子と、液晶表示
パネルの検査時に前記共通電極への信号入力を行なうた
めの入力端子とが、前記アクティブマトリクス基板上の
１辺もしくは対向する２辺に設置されている構成であ
る。
【０３２５】また、本発明の請求項３９に記載のアクテ
ィブマトリクス型液晶表示パネルの検査方法は、前記ア
クティブマトリクス型液晶表示パネルには、前記複数の
データ線に、検査用の表示信号の供給を制御するための
データ線検査用スイッチング素子が個別に接続され、各
データ線検査用スイッチング素子には、該データ線検査
用スイッチング素子を介してデータ線に検査用の表示信
号を供給する検査用表示信号線と、データ線検査用スイ
ッチング素子を導通・遮断する制御信号を入力するデー
タ線検査用制御信号線とが配設され、または、前記複数
の走査線に、検査用の走査信号の供給を制御するための
走査線検査用スイッチング素子が個別に接続され、各走
査線検査用スイッチング素子には、該走査線検査用スイ
ッチング素子を介して走査線に検査用の走査信号を供給
する検査用走査信号線と、走査線検査用スイッチング素
子を導通・遮断する制御信号を入力する走査線検査用制
御信号線とが配設されていると共に、前記データ線検査
用制御信号線、前記検査用表示信号線、前記走査線検査
用制御信号線、および前記検査用走査信号線のうち、該
液晶表示パネルに含まれているもの全ての入力端子と、
液晶表示パネルの検査時に前記共通電極への信号入力を
行なうための入力端子とが、前記アクティブマトリクス
基板上の１辺もしくは対向する２辺に設置されており、
複数の前記アクティブマトリクス型液晶表示パネルが、
前記各入力端子が配置される辺と同一の方向に列状に配
置してなる母基板に対して、前記母基板を個々のアクテ
ィブマトリクス型液晶表示パネルに分断する前の段階
で、該母基板に検査用治具を取り付けて検査を行なう構
成である。
【０３２６】これにより、複数の液晶表示パネルが列状
の連なった状態である母基板に関し、上記入力端子が設
置された辺のみ対向基板を取り除き、ここに検査用治具
を取り付ければ、これら複数の液晶表示パネルに対し同
時に検査を行なうことが可能となり、生産性が向上する
という効果を奏する。また、検査用の入力端子を同じ辺
に配設することで、検査用治具とのコンタクト不良が抑
えられるという効果を併せて奏する。
【０３２７】本発明の請求項２４に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、請求項２３に記載の構成
において、前記データ線検査用制御信号線、前記走査線
検査用制御信号線、前記検査用表示信号線、および前記
検査用走査信号線のそれぞれの入力端子と、液晶表示パ
ネルの検査時に前記共通電極への信号入力を行なうため
の入力端子とが、前記アクティブマトリクス基板上の１
辺の特定領域内で近接して設置されている構成である。
【０３２８】これにより、請求項２３の構成による効果
に加えて、検査用治具への設置時の位置合わせが、検査
端子を液晶表示パネルの１辺に配置する場合よりもさら
に容易になり、また、実装後に検査端子から静電気が入
ったり、不要な信号が入るのを防ぐために検査端子に絶
縁テープなどを施す際の作業性も向上するという効果を
奏する。
【０３２９】本発明の請求項２５に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、請求項２３または２４に
記載の構成において、液晶表示パネルが完成した段階に
おいては、前記データ線検査用制御信号線、前記走査線
検査用制御信号線、前記検査用表示信号線、および前記
検査用走査信号線のそれぞれの入力端子の導電部分と、
液晶表示パネルの検査時に前記共通電極への信号入力を
行なうための入力端子の導電部分とが絶縁体によって覆
われている構成である。
【０３３０】これにより、請求項２３または２４の構成
による効果に加えて、実装後に検査端子から静電気が入
ったり、不要な信号が入るのを防ぐことができるという
効果を奏する。
【０３３１】本発明の請求項２６に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、前記複数のデータ線に、
検査用の表示信号の供給を制御するためのデータ線検査
用スイッチング素子が個別に接続されており、各データ
線検査用スイッチング素子には、該データ線検査用スイ
ッチング素子を介してデータ線に検査用の表示信号を供
給する検査用表示信号線と、データ線検査用スイッチン
グ素子を導通・遮断する制御信号を入力するデータ線検
査用制御信号線とが配設されており、または、前記複数
の走査線に、検査用の走査信号の供給を制御するための
走査線検査用スイッチング素子が個別に接続されてお
り、各走査線検査用スイッチング素子には、該走査線検
査用スイッチング素子を介して走査線に検査用の走査信
号を供給する検査用走査信号線と、走査線検査用スイッ
チング素子を導通・遮断する制御信号を入力する走査線
検査用制御信号線とが配設されていると共に、前記デー
タ線検査用スイッチング素子または走査線検査用スイッ
チング素子は、その閾値が、液晶表示パネルの駆動時に
おいて絵素スイッチング素子の閾値よりも高くなるよう
に、液晶パネルの検査後に該データ線検査用スイッチン
グ素子または走査線検査用スイッチング素子の閾値を正
極側にシフトさせる処理が施されている構成である。
【０３３２】これにより、実装終了後の液晶表示パネル
の実駆動時において、上記検査用スイッチング素子の閾
値を絵素スイッチング素子の閾値よりも高くすることに
よって、検査用スイッチングにおけるリークを防止でき
るという効果を奏する。
【０３３３】本発明の請求項２７に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、前記複数のデータ線に
は、検査用の表示信号を供給する検査用表示信号線が、
隣接するデータ線に異なる表示信号が入力されるように
複数本配設され、隣接するデータ線間には抵抗素子が配
置されており、または、前記複数の走査線には、検査用
の走査信号を供給する検査用走査信号線が、隣接する走
査線に異なる走査信号が入力されるように複数本配設さ
れ、隣接する走査線間には抵抗素子が配置されていると
共に、前記各抵抗素子の抵抗値をｒｄ、前記データ線の
本数をｎ、前記検査用表示信号線の本数をｋ、前記検査
用表示信号線の抵抗値をＲとした場合と、前記各抵抗素
子の抵抗値をｒｄ、前記走査線の本数をｎ、前記検査用
走査信号線の本数をｋ、前記検査用走査信号線の抵抗値
をＲとした場合との何れにおいても 、 Ｒ＜（ｒｄ／８）／（ｎ／ｋ） を満たす構成である。
【０３３４】本発明の請求項２８に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、前記複数のデータ線に、
検査用の表示信号の供給を制御するためのデータ線検査
用スイッチング素子が個別に接続され、各データ線検査
用スイッチング素子には、該データ線検査用スイッチン
グ素子を導通・遮断する制御信号を入力するデータ線検
査用制御信号線が共通に配設され、データ線検査用スイ
ッチング素子を介してデータ線に検査用の表示信号を供
給する検査用表示信号線が隣接するデータ線に異なる表
示信号が入力されるように複数本配設され、隣接するデ
ータ線間には抵抗素子が配置されており、または、前記
複数の走査線に、検査用の走査信号の供給を制御するた
めの走査線検査用スイッチング素子が個別に接続され、
各走査線検査用スイッチング素子には、該走査線検査用
スイッチング素子を導通・遮断する制御信号を入力する
走査線検査用制御信号線が共通に配設され、走査線検査
用スイッチング素子を介して走査線に検査用の走査信号
を供給する検査用走査信号線が隣接する走査線に異なる
走査信号が入力されるように複数本配設され、隣接する
走査線間には抵抗素子が配置されていると共に、前記各
抵抗素子の抵抗値をｒｄ、各データ線検査用スイッチン
グ素子の抵抗値をｒｔｒ、前記データ線の本数をｎ、前
記検査用表示信号線の本数をｋ、前記検査用表示信号線
の抵抗値をＲとした場合と、前記各抵抗素子の抵抗値を
ｒｄ、各走査線検査用スイッチング素子の抵抗値をｒｔ
ｒ、前記走査線の本数をｎ、前記検査用走査信号線の本
数をｋ、前記検査用走査信号線の抵抗値をＲとした場合
との何れにおいても、 Ｒ＜（ｒｄ／８−２ｒｔｒ）／（ｎ／ｋ） を満たす構成である。
【０３３５】これにより、検査用表示信号線および／ま
たは検査用走査信号線によって生じる電圧降下の影響を
低減し、検査用配線の入力端子に印加される電圧の８割
以上をデータ線または走査線に印加することができ、十
分な印加電圧が得られるという効果を奏する。
【０３３６】本発明の請求項２９に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、前記複数のデータ線に
は、検査用の表示信号を供給する検査用表示信号線が、
隣接するデータ線に異なる表示信号が入力されるように
複数本配設されており、または、前記複数の走査線に
は、検査用の走査信号を供給する検査用走査信号線が、
隣接する走査線に異なる走査信号が入力されるように複
数本配設されていると共に、同一の検査用表示信号線に
共通に接続されたデータ線間、または同一の検査用走査
信号線に共通に接続された走査線間に抵抗素子が配置さ
れている構成である。
【０３３７】本発明の請求項３０に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、前記複数のデータ線に、
検査用の表示信号の供給を制御するためのデータ線検査
用スイッチング素子が個別に接続されており、各データ
線検査用スイッチング素子には、データ線検査用スイッ
チング素子を導通・遮断する制御信号を入力するデータ
線検査用制御信号線が共通に配設されると共に、データ
線検査用スイッチング素子に検査用の表示信号を供給す
る検査用表示信号線が、隣接するデータ線に異なる表示
信号が入力されるように複数本配設されており、また
は、前記複数の走査線に、検査用の走査信号の供給を制
御するための走査線検査用スイッチング素子が個別に接
続されており、各走査線検査用スイッチング素子には、
走査線検査用スイッチング素子を導通・遮断する制御信
号を入力する走査線検査用制御信号線が共通に配設され
ると共に、走査線検査用スイッチング素子に検査用の走
査信号を供給する検査用走査信号線が、隣接する走査線
に異なる走査信号が入力されるように複数本配設されて
いると共に、前記データ線検査用スイッチング素子を介
して同一の検査用表示信号線に共通に接続されたデータ
線間、または前記走査線検査用スイッチング素子を介し
て同一の検査用走査信号線に共通に接続された走査線間
に抵抗素子が配置されている構成である。
【０３３８】これにより、同一の抵抗素子で接続された
データ線または走査線は、共通の検査用表示信号線また
は検査用走査信号線に接続される。このため、上記抵抗
素子は、静電気を逃がす構造を維持しつつも、検査中に
は電圧がかからず電流が流れないため、検査用表示信号
線または検査用走査信号線での電圧降下がなく検査精度
がさらに向上するという効果を奏する。
【０３３９】本発明の請求項３１に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルは、請求項２７ないし３０の
何れかに記載の構成において、前記抵抗素子は絵素スイ
ッチング素子と同工程で作製された非線形素子である構
成である。
【０３４０】これによれば、上記抵抗素子を作製するに
あたって、工程の増加を回避することができるという効
果を奏する。
【０３４１】本発明の請求項３４に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルの検査方法は、請求項５ない
し７の何れか１項に記載のアクティブマトリクス型液晶
表示パネルにおいて、前記検査用表示信号線と、検査用
走査信号線、および対向基板への信号入力端子との間の
電気抵抗を測定しつつ、データ線検査用制御信号線およ
び走査線検査用制御信号線に供給する制御信号を順次切
り替えるもので、これにより、データ線統間のリーク欠
陥を検出することができる。
【０３４２】本発明の請求項３５に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルの検査方法は、請求項３また
は４に記載のアクティブマトリクス型液晶表示パネルに
おいて、データ線検査用制御信号線に、データ線検査用
スイッチング素子を導通するための制御信号を与えつ
つ、複数の検査用表示信号線間、または検査用表示信号
線−共通電極間の電気抵抗を測定する構成である。
【０３４３】本発明の請求項３６に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルの検査方法は、請求項５また
は７に記載のアクティブマトリクス型液晶表示パネルに
おいて、データ線検査用制御信号線および走査線検査用
制御信号線に、データ線検査用スイッチング素子および
走査線検査用スイッチング素子のそれぞれを導通するた
めの制御信号を与えつつ、複数の検査用表示信号線間、
および／または、検査用表示信号線、検査用走査信号
線、および共通電極のうちの任意の配線間の電気抵抗を
測定する構成である。
【０３４４】本発明の請求項３７に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルの検査方法は、請求項６に記
載のアクティブマトリクス型液晶表示パネルにおいて、
データ線検査用制御信号線および走査線検査用制御信号
線に、データ線検査用スイッチング素子および走査線検
査用スイッチング素子のそれぞれを導通するための制御
信号を与えつつ、複数の検査用表示信号線間、複数の検
査用走査信号線間、ないし／または、検査用表示信号
線、検査用走査信号線、および共通電極のうちの任意の
配線間の電気抵抗を測定する構成である。
【０３４５】これにより、任意の配線間のリーク欠陥を
検出することができる。
【０３４６】本発明の請求項３８に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルの検査方法は、前記複数のデ
ータ線に、検査用の表示信号の供給を制御するためのデ
ータ線検査用スイッチング素子が個別に接続されてお
り、各データ線検査用スイッチング素子には、該データ
線検査用スイッチング素子を介してデータ線に検査用の
表示信号を供給する検査用表示信号線と、データ線検査
用スイッチング素子を導通・遮断する制御信号を入力す
るデータ線検査用制御信号線とが配設されており、また
は、前記複数の走査線に、検査用の走査信号の供給を制
御するための走査線検査用スイッチング素子が個別に接
続されており、各走査線検査用スイッチング素子には、
該走査線検査用スイッチング素子を介して走査線に検査
用の走査信号を供給する検査用走査信号線と、走査線検
査用スイッチング素子を導通・遮断する制御信号を入力
する走査線検査用制御信号線とが配設されていると共
に、前記液晶表示パネルの検査時には、データ線検査用
スイッチング素子または走査線検査用スイッチング素子
に光を当てながら検査する構成である。
【０３４７】これにより、検査時に検査用スイッチング
素子に光を当てることにより、該素子の電気抵抗を下げ
つつ検査用スイッチング素子自体が大型化することを防
止することができ、良品率の低下を防ぐことができると
いう効果を奏する。
【０３４８】本発明の請求項４０に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルの検査方法は、請求項３９に
記載の構成において、上記母基板において、隣接する液
晶表示パネルの同一種類の検査用配線同士が電気的に接
続されている構成である。
【０３４９】これにより、請求項３９の構成による効果
に加えて、アライメント後や検査信号入力ピンのずれ等
によって検査端子の何カ所において入力のコンタクトが
悪くても、同一種類の検査用配線同士が電気的に接続さ
れているため、この接続部分を介して検査用信号が供給
され、検査が可能となるという効果を奏する。また、間
のセルの検査信号入力ピンを省略したり、信号入力端子
のピッチが小さい場合には、隣接セルと交互に入力端子
を設けることにより、検査用治具の製作コストを削減す
ることもできるという効果を併せて奏する。
【０３５０】本発明の請求項４１に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルの検査方法は、前記アクティ
ブマトリクス型液晶表示パネルには、前記複数のデータ
線に、検査用の表示信号の供給を制御するためのデータ
線検査用スイッチング素子が個別に接続され、各データ
線検査用スイッチング素子には、該データ線検査用スイ
ッチング素子を介してデータ線に検査用の表示信号を供
給する検査用表示信号線と、データ線検査用スイッチン
グ素子を導通・遮断する制御信号を入力するデータ線検
査用制御信号線とが配設され、または、前記複数の走査
線に、検査用の走査信号の供給を制御するための走査線
検査用スイッチング素子が個別に接続され、各走査線検
査用スイッチング素子には、該走査線検査用スイッチン
グ素子を介して走査線に検査用の走査信号を供給する検
査用走査信号線と、走査線検査用スイッチング素子を導
通・遮断する制御信号を入力する走査線検査用制御信号
線とが配設されていると共に、複数の前記アクティブマ
トリクス型液晶表示パネルが列状に配置してなる母基板
に対して、隣接する液晶表示パネルの同一種類の検査用
配線同士が電気的に接続されており、前記データ線検査
用制御信号線、前記検査用表示信号線、前記走査線検査
用制御信号線、および前記検査用走査信号線のうち、該
液晶表示パネルに含まれているもの全ての入力端子と、
液晶表示パネルの検査時に前記共通電極への信号入力を
行なうための入力端子とが、隣接パネルの接続方向であ
って何れの液晶表示パネルにも属しない領域に形成され
ると共に、前記母基板を個々のアクティブマトリクス型
液晶表示パネルに分断する前の段階で、該母基板に検査
用治具を取り付けて検査を行なう構成である。
【０３５１】これにより、複数枚のアクティブマトリク
ス型液晶表示パネルが列状に配置してなる母基板に対し
て検査が行なえるため、検査効率が向上すると共に、検
査される液晶表示パネルのサイズ等の規格が異なって
も、上記領域に形成される検査用の入力端子の配置位置
を同一にすれば、共通の検査用治具を用いて検査を行な
うことができるという効果を奏する。
【０３５２】本発明の請求項４２に記載のアクティブマ
トリクス型液晶表示パネルの検査方法は、前記複数のデ
ータ線に、検査用の表示信号を供給する検査用表示信号
線が配設されており、複数の前記アクティブマトリクス
型液晶表示パネルが、データ線方向に列状に配置してな
る母基板に対して、複数のデータ線が隣接する液晶表示
パネルの領域を経由して、自パネルの検査用表示信号線
に接続されているか、または、前記複数の走査線に、検
査用の走査信号を供給する検査用走査信号線が配設され
ており、複数の前記アクティブマトリクス型液晶表示パ
ネルが、走査線方向に列状に配置してなる母基板に対し
て、複数の走査線が隣接する液晶表示パネルの領域を経
由して、自パネルの検査用走査信号線に接続されている
と共に、前記母基板を個々のアクティブマトリクス型液
晶表示パネルに分断する前の段階で、該母基板に検査用
治具を取り付けて検査を行なう構成である。
【０３５３】これにより、複数枚のアクティブマトリク
ス型液晶表示パネルが列状に配置してなる母基板に対し
て検査が行なえるため、検査効率が向上すると共に、液
晶表示パネルの検査後、上記母基板を個々のパネルに切
断することにより、隣接する液晶表示パネルの領域を経
由して自パネルの検査用表示信号線（および／または検
査用走査信号線）に接続されるデータ線（および／また
は走査線）が分断される。このため、分断されるデータ
線（および／または走査線）に対しては検査用スイッチ
ング素子が不要となり、信頼性上の都合がよくなるとい
う効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の一形態であるアクティブマトリ
クス型液晶表示装置の平面模式図である。
【図２】（ａ）〜（ｄ）は、図１のアクティブマトリク
ス型液晶表示装置に備えられる液晶表示パネルの点灯検
査時に印加される各信号のタイミングチャートである。
【図３】本発明の実施の他の形態であるアクティブマト
リクス型液晶表示装置の平面模式図である。
【図４】（ａ）〜（ｆ）は、図３のアクティブマトリク
ス型液晶表示装置に備えられる液晶表示パネルの点灯検
査時に印加される各信号のタイミングチャートである。
【図５】本発明の実施の他の形態であるアクティブマト
リクス型液晶表示装置の平面模式図である。
【図６】本発明の実施の他の形態であるアクティブマト
リクス型液晶表示装置の平面模式図である。
【図７】本発明の実施の他の形態であるアクティブマト
リクス型液晶表示装置の平面模式図である。
【図８】本発明の実施の他の形態であるアクティブマト
リクス型液晶表示装置の平面模式図である。
【図９】本発明の実施の他の形態であるアクティブマト
リクス型液晶表示装置の平面模式図である。
【図１０】本発明の実施の他の形態であるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置の平面模式図である。
【図１１】本発明の実施の他の形態であるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置の平面模式図である。
【図１２】図１１に示すアクティブマトリクス型液晶表
示装置における入力保護回路の回路図である。
【図１３】図１１に示すアクティブマトリクス型液晶表
示装置における入力保護回路の回路図である。
【図１４】アクティブマトリクス型液晶表示装置を構成
するアクティブマトリクス基板の１絵素部の平面図であ
る。
【図１５】アクティブマトリクス型液晶表示装置を構成
するアクティブマトリクス基板の要部断面図である。
【図１６】従来のアクティブマトリクス型液晶表示装置
の平面模式図である。
【図１７】従来の他のアクティブマトリクス型液晶表示
装置の等価回路図である。
【図１８】スイッチング素子の特性を示すグラフであ
る。
【図１９】本発明の実施の他の形態であるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置の平面模式図である。
【図２０】本発明の実施の他の形態であるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置の母基板の平面模式図である。
【図２１】本発明の実施の他の形態であるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置の母基板の平面模式図である。
【図２２】本発明の実施の他の形態であるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置の母基板の平面模式図である。
【図２３】本発明の実施の他の形態であるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置の母基板において、隣接する液
晶パネルの接続部を示す平面模式図である。
【図２４】本発明の実施の他の形態であるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置の母基板の平面模式図である。
【図２５】本発明の実施の他の形態であるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置において、走査線、検査用走査
信号線、および走査線間に接続される抵抗素子の関係を
示す説明図である。
【図２６】上記図２５の一部を示す等価回路図である。
【図２７】上記図２１の抵抗素子を非線形素子で構成し
た場合の一例を示す回路図である。
【図２８】本発明の実施の他の形態であるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置において、走査線、走査線検査
用スイッチング素子、検査用走査信号線、および走査線
間に接続される抵抗素子の関係を示す説明図である。
【図２９】上記図２８の一部を示す等価回路図である。
【図３０】本発明の実施の他の形態であるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置において、走査線、検査用走査
信号線、および走査線間に接続される抵抗素子の関係を
示す説明図である。
【図３１】本発明の実施の他の形態であるアクティブマ
トリクス型液晶表示装置において、データ線、データ線
検査用スイッチング素子、検査用表示信号線、およびデ
ータ線間に接続される抵抗素子の関係を示す説明図であ
る。
【符号の説明】
１ 絵素ＴＦＴ（絵素スイッチング素子） ２ 走査線 ３ データ線 ４ 補助容量配線 ７ 絶縁性基板 １４ 絵素電極 １６ アクティブマトリクス基板 １８ 対向基板 ２０ ドライバ（外部回路） ２１ 検査用表示信号線 ２１Ｒ 検査用表示信号線 ２１Ｇ 検査用表示信号線 ２１Ｂ 検査用表示信号線 ２２ 検査用走査信号線 ２２ａ 検査用走査信号線 ２２ｂ 検査用走査信号線 ２４ 走査線検査用制御信号線 ２５ データ線検査用制御信号線 ２５Ｒ データ線検査用制御信号線 ２５Ｇ データ線検査用制御信号線 ２５Ｂ データ線検査用制御信号線 ２６ａ 検査用ＴＦＴ（データ線検査用スイッチング素
子） ２６ｂ 検査用ＴＦＴ（走査線検査用スイッチング素
子） ３２Ｂ、３２Ｇ、３２Ｒ、３９ａ、３９ｂ、４０、２７
検査端子 ４４ 抵抗素子 ４６ 入力保護回路（抵抗素子） ７８ 抵抗素子
フロントページの続き (72)発明者 橘 誠 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内

Claims (42)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】絶縁性基板上に、複数の絵素電極、該絵素
    電極に個別に接続される絵素スイッチング素子、該絵素
    スイッチング素子を介して絵素電極を駆動する、格子状
    に配設された複数の走査線及びデータ線を有するアクテ
    ィブマトリクス基板と、共通電極を有する対向基板と
    が、液晶層を介して貼り合わされてなるアクティブマト
    リクス型液晶表示パネルにおいて、 前記複数のデータ線に、検査用の表示信号の供給をスイ
    ッチングするためのデータ線検査用スイッチング素子が
    個別に接続されており、 各データ線検査用スイッチング素子には、データ線検査
    用スイッチング素子を介してデータ線に検査用の表示信
    号を供給する検査用表示信号線が共通に配設されると共
    に、検査用スイッチング素子を導通・遮断する制御信号
    を入力するデータ線検査用制御信号線が、隣接するデー
    タ線に異なる制御信号が入力されるように複数本配設さ
    れていることを特徴とするアクティブマトリクス型液晶
    表示パネル。
  2. 【請求項２】データ線に接続されたデータ線検査用スイ
    ッチング素子に複数本配設された前記データ線検査用制
    御信号線は、データ線検査用スイッチング素子を介して
    絵素における複数の表示色にそれぞれ相当するデータ線
    ごとに接続されていることを特徴とする請求項１に記載
    のアクティブマトリクス型液晶表示パネル。
  3. 【請求項３】絶縁性基板上に、複数の絵素電極、該絵素
    電極に個別に接続される絵素スイッチング素子、該絵素
    スイッチング素子を介して絵素電極を駆動する、格子状
    に配設された複数の走査線及びデータ線を有するアクテ
    ィブマトリクス基板と、共通電極を有する対向基板と
    が、液晶層を介して貼り合わされてなるアクティブマト
    リクス型液晶表示パネルにおいて、 前記複数のデータ線に、検査用の表示信号の供給をスイ
    ッチングするためのデータ線検査用スイッチング素子が
    個別に接続されており、 各データ線検査用スイッチング素子には、データ線検査
    用スイッチング素子を導通・遮断する制御信号を入力す
    るデータ線検査用制御信号線が共通に配設されると共
    に、データ線検査用スイッチング素子に検査用の表示信
    号を供給する検査用表示信号線が、隣接するデータ線に
    異なる表示信号が入力されるように複数本配設されてい
    ることを特徴とするアクティブマトリクス型液晶表示パ
    ネル。
  4. 【請求項４】データ線に接続されたデータ線検査用スイ
    ッチング素子に複数本配設された前記検査用表示信号線
    は、データ線検査用スイッチング素子を介して絵素にお
    ける複数の表示色にそれぞれ相当するデータ線ごとに接
    続されていることを特徴とする請求項３に記載のアクテ
    ィブマトリクス型液晶表示パネル。
  5. 【請求項５】前記複数の走査線に、検査用の走査信号の
    供給をスイッチングするための走査線検査用スイッチン
    グ素子が個別に接続されており、 走査線に接続された各走査線検査用スイッチング素子に
    は、該走査線検査用スイッチング素子を導通・遮断する
    制御信号を入力する走査線検査用制御信号線、及び該走
    査線検査用スイッチング素子に検査用の走査信号を供給
    する検査用走査信号線が配設されていることを特徴とす
    る請求項１ないし４の何れか１項に記載のアクティブマ
    トリクス型液晶表示パネル。
  6. 【請求項６】走査線に接続された各走査線検査用スイッ
    チング素子に検査用の走査信号を供給する検査用走査信
    号線が、隣接する走査線に異なる検査用の走査信号が入
    力されるように複数本配設されていることを特徴とする
    請求項５に記載のアクティブマトリクス型液晶表示パネ
    ル。
  7. 【請求項７】データ線に接続されたデータ線検査用スイ
    ッチング素子に制御信号を入力する前記データ線検査用
    制御信号線と、走査線に接続された走査線検査用スイッ
    チング素子に制御信号を入力する前記走査線検査用制御
    信号線とが、前記絶縁性基板上で電気的に接続されてい
    ることを特徴とする請求項５又は６に記載のアクティブ
    マトリクス型液晶表示パネル。
  8. 【請求項８】前記データ線検査用スイッチング素子が導
    通状態にある時の、該データ線検査用スイッチング素子
    のソース−ドレイン間の抵抗値が、隣接するデータ線間
    のリーク抵抗値、もしくは、走査線−データ線間のリー
    ク抵抗値の５％以下であることを特徴とする請求項３ま
    たは４に記載のアクティブマトリクス型液晶表示パネ
    ル。
  9. 【請求項９】前記複数の走査線に、検査用の走査信号の
    供給をスイッチングするための走査線検査用スイッチン
    グ素子が個別に接続されており、 各走査線検査用スイッチング素子には、走査線検査用ス
    イッチング素子を導通・遮断する制御信号を入力する走
    査線検査用制御信号線が共通に配設されると共に、走査
    線検査用スイッチング素子に検査用の走査信号を供給す
    る検査用走査信号線が、隣接する走査線に異なる走査信
    号が入力されるように複数本配設されていると共に、 前記データ線検査用スイッチング素子および前記走査線
    検査用スイッチング素子が導通状態にある時の、これら
    の検査用スイッチング素子のソース−ドレイン間の抵抗
    値が、隣接する走査線間のリーク抵抗値、隣接するデー
    タ線間のリーク抵抗値、もしくは、走査線−データ線間
    のリーク抵抗値の５％以下であることを特徴とする請求
    項３または４に記載のアクティブマトリクス型液晶表示
    パネル。
  10. 【請求項１０】前記複数の走査線に、検査用の走査信号
    の供給をスイッチングするための走査線検査用スイッチ
    ング素子が個別に接続されており、 各走査線検査用スイッチング素子には、該走査線検査用
    スイッチング素子を導通・遮断する制御信号を入力する
    走査線検査用制御信号線、及び該走査線検査用スイッチ
    ング素子を介して走査線に検査用の走査信号を供給する
    検査用走査信号線が配設されていると共に、 隣接する各走査線間に補助容量配線が走査線と並行に配
    設されており、 前記データ線検査用スイッチング素子および前記走査線
    検査用スイッチング素子が導通状態にある時の、これら
    の検査用スイッチング素子のソース−ドレイン間の抵抗
    値が、隣接するデータ線間のリーク抵抗値、走査線−補
    助容量配線間のリーク抵抗値、データ線−補助容量配線
    間のリーク抵抗値、もしくは、走査線−データ線間のリ
    ーク抵抗値の５％以下であることを特徴とする請求項３
    または４に記載のアクティブマトリクス型液晶表示パネ
    ル。
  11. 【請求項１１】前記データ線検査用スイッチング素子が
    導通状態にある時の、該データ線検査用スイッチング素
    子のソース−ドレイン間の抵抗値が５００ｋΩ以下であ
    ることを特徴とする請求項３または４に記載のアクティ
    ブマトリクス型液晶表示パネル。
  12. 【請求項１２】前記複数の走査線に、検査用の走査信号
    の供給をスイッチングするための走査線検査用スイッチ
    ング素子が個別に接続されており、 各走査線検査用スイッチング素子には、走査線検査用ス
    イッチング素子を導通・遮断する制御信号を入力する走
    査線検査用制御信号線が共通に配設されると共に、走査
    線検査用スイッチング素子に検査用の走査信号を供給す
    る検査用走査信号線が、隣接する走査線に異なる走査信
    号が入力されるように複数本配設されていると共に、 前記データ線検査用スイッチング素子および前記走査線
    検査用スイッチング素子が導通状態にある時の、これら
    の検査用スイッチング素子のソース−ドレイン間の抵抗
    値が５００ｋΩ以下であることを特徴とする請求項３ま
    たは４に記載のアクティブマトリクス型液晶表示パネ
    ル。
  13. 【請求項１３】前記複数の走査線に、検査用の走査信号
    の供給をスイッチングするための走査線検査用スイッチ
    ング素子が個別に接続されており、 各走査線検査用スイッチング素子には、該走査線検査用
    スイッチング素子を導通・遮断する制御信号を入力する
    走査線検査用制御信号線、及び該走査線検査用スイッチ
    ング素子を介して走査線に検査用の走査信号を供給する
    検査用走査信号線が配設されていると共に、 隣接する各走査線間に補助容量配線が走査線と並行に配
    設されており、 前記データ線検査用スイッチング素子および前記走査線
    検査用スイッチング素子が導通状態にある時の、これら
    の検査用スイッチング素子のソース−ドレイン間の抵抗
    値が５００ｋΩ以下であることを特徴とする請求項３ま
    たは４に記載のアクティブマトリクス型液晶表示パネ
    ル。
  14. 【請求項１４】絶縁性基板上に、複数の絵素電極、該絵
    素電極に個別に接続される絵素スイッチング素子、該絵
    素スイッチング素子を介して絵素電極を駆動する、格子
    状に配設された複数の走査線及びデータ線を有するアク
    ティブマトリクス基板と、共通電極を有する対向基板と
    が、液晶層を介して貼り合わされてなるアクティブマト
    リクス型液晶表示パネルにおいて、 前記複数のデータ線に、検査用の表示信号の供給を制御
    するためのデータ線検査用スイッチング素子が個別に接
    続されており、 各データ線検査用スイッチング素子には、該データ線検
    査用スイッチング素子を介してデータ線に検査用の表示
    信号を供給する検査用表示信号線と、データ線検査用ス
    イッチング素子を導通・遮断する制御信号を入力するデ
    ータ線検査用制御信号線とが配設されており、 または、 前記複数の走査線に、検査用の走査信号の供給を制御す
    るための走査線検査用スイッチング素子が個別に接続さ
    れており、 各走査線検査用スイッチング素子には、該走査線検査用
    スイッチング素子を介して走査線に検査用の走査信号を
    供給する検査用走査信号線と、走査線検査用スイッチン
    グ素子を導通・遮断する制御信号を入力する走査線検査
    用制御信号線とが配設されていると共に、 液晶表示パネル駆動時には、前記データ線検査用制御信
    号線または走査線検査用制御信号線に、前記データ線検
    査用スイッチング素子または走査線検査用スイッチング
    素子を遮断する電圧がそれぞれ印加されることを特徴と
    するアクティブマトリクス型液晶表示パネル。
  15. 【請求項１５】前記絶縁性基板上に液晶表示パネルを駆
    動するための外部回路と、該外部回路を駆動するための
    配線が形成され、 前記データ線検査用制御信号線及び／又は前記走査線検
    査用制御信号線が、前記外部回路を駆動するための前記
    配線の内、接地電位を加える配線、外部回路のロジック
    内のスイッチング素子をオフする電圧が加えられる配
    線、又は外部回路の出力電圧の内のローレベルを規定す
    る電圧が加えられる配線に接続されていることを特徴と
    する請求項１４に記載のアクティブマトリクス型液晶表
    示パネル。
  16. 【請求項１６】絶縁性基板上に、複数の絵素電極、該絵
    素電極に個別に接続される絵素スイッチング素子、該絵
    素スイッチング素子を介して絵素電極を駆動する、格子
    状に配設された複数の走査線及びデータ線を有するアク
    ティブマトリクス基板と、共通電極を有する対向基板と
    が、液晶層を介して貼り合わされてなるアクティブマト
    リクス型液晶表示パネルにおいて、 前記複数のデータ線に、検査用の表示信号の供給を制御
    するためのデータ線検査用スイッチング素子が個別に接
    続されており、 各データ線検査用スイッチング素子には、該データ線検
    査用スイッチング素子を介してデータ線に検査用の表示
    信号を供給する検査用表示信号線と、データ線検査用ス
    イッチング素子を導通・遮断する制御信号を入力するデ
    ータ線検査用制御信号線とが配設されており、 または、 前記複数の走査線に、検査用の走査信号の供給を制御す
    るための走査線検査用スイッチング素子が個別に接続さ
    れており、 各走査線検査用スイッチング素子には、該走査線検査用
    スイッチング素子を介して走査線に検査用の走査信号を
    供給する検査用走査信号線と、走査線検査用スイッチン
    グ素子を導通・遮断する制御信号を入力する走査線検査
    用制御信号線とが配設されていると共に、 前記データ線検査用制御信号線または前記走査線検査用
    制御信号線の信号入力点と、該データ線検査用制御信号
    線または走査線検査用制御信号線が接続されているデー
    タ線検査用スイッチング素子群または走査線検査用スイ
    ッチング素子との間に、抵抗素子が設けられていること
    を特徴とするアクティブマトリクス型液晶表示パネル。
  17. 【請求項１７】前記データ線検査用制御信号線及び／ま
    たは前記走査線検査用制御信号線と接続された、前記の
    接地電位を加える配線、外部回路のロジック内のスイッ
    チング素子をオフする電圧が加えられる配線、又は外部
    回路の出力電圧の内のローレベルを規定する電圧が加え
    られる配線と、該データ線検査用制御信号線及び／また
    は走査線検査用制御信号線が接続されているデータ線検
    査用スイッチング素子群及び／または走査線検査用スイ
    ッチング素子群との間に、抵抗素子が設けられているこ
    とを特徴とする請求項１５に記載のアクティブマトリク
    ス型液晶表示パネル。
  18. 【請求項１８】前記抵抗素子は絵素スイッチング素子と
    同工程で作製された非線形素子であることを特徴とする
    請求項１６又は１７に記載のアクティブマトリクス型液
    晶表示パネル。
  19. 【請求項１９】前記非線形素子が複数個直列に接続され
    ていることを特徴とする請求項１８に記載のアクティブ
    マトリクス型液晶表示パネル。
  20. 【請求項２０】絶縁性基板上に、複数の絵素電極、該絵
    素電極に個別に接続される絵素スイッチング素子、該絵
    素スイッチング素子を介して絵素電極を駆動する、格子
    状に配設された複数の走査線及びデータ線を有するアク
    ティブマトリクス基板と、共通電極を有する対向基板と
    が、液晶層を介して貼り合わされてなるアクティブマト
    リクス型液晶表示パネルにおいて、 前記複数のデータ線に、検査用の表示信号の供給を制御
    するためのデータ線検査用スイッチング素子が個別に接
    続されており、 各データ線検査用スイッチング素子には、該データ線検
    査用スイッチング素子を介してデータ線に検査用の表示
    信号を供給する検査用表示信号線と、データ線検査用ス
    イッチング素子を導通・遮断する制御信号を入力するデ
    ータ線検査用制御信号線とが配設されており、 または、 前記複数の走査線に、検査用の走査信号の供給を制御す
    るための走査線検査用スイッチング素子が個別に接続さ
    れており、 各走査線検査用スイッチング素子には、該走査線検査用
    スイッチング素子を介して走査線に検査用の走査信号を
    供給する検査用走査信号線と、走査線検査用スイッチン
    グ素子を導通・遮断する制御信号を入力する走査線検査
    用制御信号線とが配設されていると共に、 前記絶縁性基板上に液晶表示パネルを駆動するための外
    部回路と、該外部回路を駆動するための配線が形成さ
    れ、 前記データ線検査用スイッチング素子または走査線検査
    用スイッチング素子が、該外部回路の反対側の辺に設け
    られていることを特徴とするアクティブマトリクス型液
    晶表示パネル。
  21. 【請求項２１】絶縁性基板上に、複数の絵素電極、該絵
    素電極に個別に接続される絵素スイッチング素子、該絵
    素スイッチング素子を介して絵素電極を駆動する、格子
    状に配設された複数の走査線及びデータ線を有するアク
    ティブマトリクス基板と、共通電極を有する対向基板と
    が、液晶層を介して貼り合わされてなるアクティブマト
    リクス型液晶表示パネルにおいて、 前記複数のデータ線に、検査用の表示信号の供給を制御
    するためのデータ線検査用スイッチング素子が個別に接
    続されており、 各データ線検査用スイッチング素子には、該データ線検
    査用スイッチング素子を介してデータ線に検査用の表示
    信号を供給する検査用表示信号線と、データ線検査用ス
    イッチング素子を導通・遮断する制御信号を入力するデ
    ータ線検査用制御信号線とが配設されており、 または、 前記複数の走査線に、検査用の走査信号の供給を制御す
    るための走査線検査用スイッチング素子が個別に接続さ
    れており、 各走査線検査用スイッチング素子には、該走査線検査用
    スイッチング素子を介して走査線に検査用の走査信号を
    供給する検査用走査信号線と、走査線検査用スイッチン
    グ素子を導通・遮断する制御信号を入力する走査線検査
    用制御信号線とが配設されていると共に、 前記データ線検査用スイッチング素子または走査線検査
    用スイッチング素子が遮光されていることを特徴とする
    アクティブマトリクス型液晶表示パネル。
  22. 【請求項２２】前記データ線検査用スイッチング素子お
    よび走査線検査用スイッチング素子が、対向基板上に形
    成された遮光膜に相対して設置されていることを特徴と
    する請求項２１に記載のアクティブマトリクス型液晶表
    示パネル。
  23. 【請求項２３】前記データ線検査用制御信号線、前記走
    査線検査用制御信号線、前記検査用表示信号線、および
    前記検査用走査信号線のうち、該液晶表示パネルに含ま
    れているもの全ての入力端子と、液晶表示パネルの検査
    時に前記共通電極への信号入力を行なうための入力端子
    とが、前記アクティブマトリクス基板上の１辺もしくは
    対向する２辺に設置されていることを特徴とする請求項
    １ないし２２の何れかに記載のアクティブマトリクス型
    液晶表示パネル。
  24. 【請求項２４】前記データ線検査用制御信号線、前記走
    査線検査用制御信号線、前記検査用表示信号線、および
    前記検査用走査信号線のそれぞれの入力端子と、液晶表
    示パネルの検査時に前記共通電極への信号入力を行なう
    ための入力端子とが、前記アクティブマトリクス基板上
    の１辺の特定領域内で近接して設置されていることを特
    徴とする請求項２３に記載のアクティブマトリクス型液
    晶表示パネル。
  25. 【請求項２５】液晶表示パネルが完成した段階において
    は、前記データ線検査用制御信号線、前記走査線検査用
    制御信号線、前記検査用表示信号線、および前記検査用
    走査信号線のそれぞれの入力端子の導電部分と、液晶表
    示パネルの検査時に前記共通電極への信号入力を行なう
    ための入力端子の導電部分とが絶縁体によって覆われて
    いることを特徴とする請求項２３または２４に記載のア
    クティブマトリクス型液晶表示パネル。
  26. 【請求項２６】絶縁性基板上に、複数の絵素電極、該絵
    素電極に個別に接続される絵素スイッチング素子、該絵
    素スイッチング素子を介して絵素電極を駆動する、格子
    状に配設された複数の走査線及びデータ線を有するアク
    ティブマトリクス基板と、共通電極を有する対向基板と
    が、液晶層を介して貼り合わされてなるアクティブマト
    リクス型液晶表示パネルにおいて、 前記複数のデータ線に、検査用の表示信号の供給を制御
    するためのデータ線検査用スイッチング素子が個別に接
    続されており、 各データ線検査用スイッチング素子には、該データ線検
    査用スイッチング素子を介してデータ線に検査用の表示
    信号を供給する検査用表示信号線と、データ線検査用ス
    イッチング素子を導通・遮断する制御信号を入力するデ
    ータ線検査用制御信号線とが配設されており、 または、 前記複数の走査線に、検査用の走査信号の供給を制御す
    るための走査線検査用スイッチング素子が個別に接続さ
    れており、 各走査線検査用スイッチング素子には、該走査線検査用
    スイッチング素子を介して走査線に検査用の走査信号を
    供給する検査用走査信号線と、走査線検査用スイッチン
    グ素子を導通・遮断する制御信号を入力する走査線検査
    用制御信号線とが配設されていると共に、 前記データ線検査用スイッチング素子または走査線検査
    用スイッチング素子は、その閾値が、液晶表示パネルの
    駆動時において絵素スイッチング素子の閾値よりも高く
    なるように、液晶パネルの検査後に該データ線検査用ス
    イッチング素子または走査線検査用スイッチング素子の
    閾値を正極側にシフトさせる処理が施されていることを
    特徴とするアクティブマトリクス型液晶表示パネル。
  27. 【請求項２７】絶縁性基板上に、複数の絵素電極、該絵
    素電極に個別に接続される絵素スイッチング素子、該絵
    素スイッチング素子を介して絵素電極を駆動する、格子
    状に配設された複数の走査線及びデータ線を有するアク
    ティブマトリクス基板と、共通電極を有する対向基板と
    が、液晶層を介して貼り合わされてなるアクティブマト
    リクス型液晶表示パネルにおいて、 前記複数のデータ線には、検査用の表示信号を供給する
    検査用表示信号線が、隣接するデータ線に異なる表示信
    号が入力されるように複数本配設され、隣接するデータ
    線間には抵抗素子が配置されており、 または、 前記複数の走査線には、検査用の走査信号を供給する検
    査用走査信号線が、隣接する走査線に異なる走査信号が
    入力されるように複数本配設され、隣接する走査線間に
    は抵抗素子が配置されていると共に、 前記各抵抗素子の抵抗値をｒｄ、前記データ線の本数を
    ｎ、前記検査用表示信号線の本数をｋ、前記検査用表示
    信号線の抵抗値をＲとした場合と、前記各抵抗素子の抵
    抗値をｒｄ、前記走査線の本数をｎ、前記検査用走査信
    号線の本数をｋ、前記検査用走査信号線の抵抗値をＲと
    した場合との何れにおいても、 Ｒ＜（ｒｄ／８）／（ｎ／ｋ） を満たすことを特徴とするアクティブマトリクス型液晶
    表示パネル。
  28. 【請求項２８】絶縁性基板上に、複数の絵素電極、該絵
    素電極に個別に接続される絵素スイッチング素子、該絵
    素スイッチング素子を介して絵素電極を駆動する、格子
    状に配設された複数の走査線及びデータ線を有するアク
    ティブマトリクス基板と、共通電極を有する対向基板と
    が、液晶層を介して貼り合わされてなるアクティブマト
    リクス型液晶表示パネルにおいて、 前記複数のデータ線に、検査用の表示信号の供給を制御
    するためのデータ線検査用スイッチング素子が個別に接
    続され、各データ線検査用スイッチング素子には、該デ
    ータ線検査用スイッチング素子を導通・遮断する制御信
    号を入力するデータ線検査用制御信号線が共通に配設さ
    れ、データ線検査用スイッチング素子を介してデータ線
    に検査用の表示信号を供給する検査用表示信号線が隣接
    するデータ線に異なる表示信号が入力されるように複数
    本配設され、隣接するデータ線間には抵抗素子が配置さ
    れており、 または、 前記複数の走査線に、検査用の走査信号の供給を制御す
    るための走査線検査用スイッチング素子が個別に接続さ
    れ、各走査線検査用スイッチング素子には、該走査線検
    査用スイッチング素子を導通・遮断する制御信号を入力
    する走査線検査用制御信号線が共通に配設され、走査線
    検査用スイッチング素子を介して走査線に検査用の走査
    信号を供給する検査用走査信号線が隣接する走査線に異
    なる走査信号が入力されるように複数本配設され、隣接
    する走査線間には抵抗素子が配置されていると共に、 前記各抵抗素子の抵抗値をｒｄ、各データ線検査用スイ
    ッチング素子の抵抗値をｒｔｒ、前記データ線の本数を
    ｎ、前記検査用表示信号線の本数をｋ、前記検査用表示
    信号線の抵抗値をＲとした場合と、前記各抵抗素子の抵
    抗値をｒｄ、各走査線検査用スイッチング素子の抵抗値
    をｒｔｒ、前記走査線の本数をｎ、前記検査用走査信号
    線の本数をｋ、前記検査用走査信号線の抵抗値をＲとし
    た場合との何れにおいても、 Ｒ＜（ｒｄ／８−２ｒｔｒ）／（ｎ／ｋ） を満たすことを特徴とするアクティブマトリクス型液晶
    表示パネル。
  29. 【請求項２９】絶縁性基板上に、複数の絵素電極、該絵
    素電極に個別に接続される絵素スイッチング素子、該絵
    素スイッチング素子を介して絵素電極を駆動する、格子
    状に配設された複数の走査線及びデータ線を有するアク
    ティブマトリクス基板と、共通電極を有する対向基板と
    が、液晶層を介して貼り合わされてなるアクティブマト
    リクス型液晶表示パネルにおいて、 前記複数のデータ線には、検査用の表示信号を供給する
    検査用表示信号線が、隣接するデータ線に異なる表示信
    号が入力されるように複数本配設されており、 または、 前記複数の走査線には、検査用の走査信号を供給する検
    査用走査信号線が、隣接する走査線に異なる走査信号が
    入力されるように複数本配設されていると共に、 同一の検査用表示信号線に共通に接続されたデータ線
    間、または同一の検査用走査信号線に共通に接続された
    走査線間に抵抗素子が配置されていることを特徴とする
    アクティブマトリクス型液晶表示パネル。、に抵抗素子
    が配置されている構成、
  30. 【請求項３０】絶縁性基板上に、複数の絵素電極、該絵
    素電極に個別に接続される絵素スイッチング素子、該絵
    素スイッチング素子を介して絵素電極を駆動する、格子
    状に配設された複数の走査線及びデータ線を有するアク
    ティブマトリクス基板と、共通電極を有する対向基板と
    が、液晶層を介して貼り合わされてなるアクティブマト
    リクス型液晶表示パネルにおいて、 前記複数のデータ線に、検査用の表示信号の供給を制御
    するためのデータ線検査用スイッチング素子が個別に接
    続されており、 各データ線検査用スイッチング素子には、データ線検査
    用スイッチング素子を導通・遮断する制御信号を入力す
    るデータ線検査用制御信号線が共通に配設されると共
    に、データ線検査用スイッチング素子に検査用の表示信
    号を供給する検査用表示信号線が、隣接するデータ線に
    異なる表示信号が入力されるように複数本配設されてお
    り、 または、 前記複数の走査線に、検査用の走査信号の供給を制御す
    るための走査線検査用スイッチング素子が個別に接続さ
    れており、 各走査線検査用スイッチング素子には、走査線検査用ス
    イッチング素子を導通・遮断する制御信号を入力する走
    査線検査用制御信号線が共通に配設されると共に、走査
    線検査用スイッチング素子に検査用の走査信号を供給す
    る検査用走査信号線が、隣接する走査線に異なる走査信
    号が入力されるように複数本配設されていると共に、 前記データ線検査用スイッチング素子を介して同一の検
    査用表示信号線に共通に接続されたデータ線間、または
    前記走査線検査用スイッチング素子を介して同一の検査
    用走査信号線に共通に接続された走査線間に抵抗素子が
    配置されていることを特徴とするアクティブマトリクス
    型液晶表示パネル。
  31. 【請求項３１】前記抵抗素子は絵素スイッチング素子と
    同工程で作製された非線形素子であることを特徴とする
    請求項２７ないし３０の何れかに記載のアクティブマト
    リクス型液晶表示パネル。
  32. 【請求項３２】請求項２に記載のアクティブマトリクス
    型液晶表示パネルにおいて、検査用表示信号線に検査用
    の表示信号を供給しつつ、複数本配設されたデータ線検
    査用制御信号線に供給する制御信号を順次切り替えて色
    表示することを特徴とするアクティブマトリクス型液晶
    表示パネルの検査方法。
  33. 【請求項３３】請求項４に記載のアクティブマトリクス
    型液晶表示パネルにおいて、データ線検査用制御信号線
    に制御信号を供給しつつ、複数本配設された検査用表示
    信号線に供給する検査用の表示信号を順次切り替えて色
    表示することを特徴とするアクティブマトリクス型液晶
    表示パネルの検査方法。
  34. 【請求項３４】請求項５ないし７の何れか１項に記載の
    アクティブマトリクス型液晶表示パネルにおいて、前記
    検査用表示信号線と、検査用走査信号線、および対向基
    板への信号入力端子との間の電気抵抗を測定しつつ、デ
    ータ線検査用制御信号線および走査線検査用制御信号線
    に供給する制御信号を順次切り替えることを特徴とする
    アクティブマトリクス型液晶表示パネルの検査方法。
  35. 【請求項３５】請求項３または４に記載のアクティブマ
    トリクス型液晶表示パネルにおいて、データ線検査用制
    御信号線に、データ線検査用スイッチング素子を導通す
    るための制御信号を与えつつ、複数の検査用表示信号線
    間、または検査用表示信号線−共通電極間の電気抵抗を
    測定することを特徴とするアクティブマトリクス型液晶
    表示パネルの検査方法。
  36. 【請求項３６】請求項５または７に記載のアクティブマ
    トリクス型液晶表示パネルにおいて、データ線検査用制
    御信号線および走査線検査用制御信号線に、データ線検
    査用スイッチング素子および走査線検査用スイッチング
    素子のそれぞれを導通するための制御信号を与えつつ、
    複数の検査用表示信号線間、および／または、検査用表
    示信号線、検査用走査信号線、および共通電極のうちの
    任意の配線間の電気抵抗を測定することを特徴とするア
    クティブマトリクス型液晶表示パネルの検査方法。
  37. 【請求項３７】請求項６に記載のアクティブマトリクス
    型液晶表示パネルにおいて、データ線検査用制御信号線
    および走査線検査用制御信号線に、データ線検査用スイ
    ッチング素子および走査線検査用スイッチング素子のそ
    れぞれを導通するための制御信号を与えつつ、複数の検
    査用表示信号線間、複数の検査用走査信号線間、ないし
    ／または、検査用表示信号線、検査用走査信号線、およ
    び共通電極のうちの任意の配線間の電気抵抗を測定する
    ことを特徴とするアクティブマトリクス型液晶表示パネ
    ルの検査方法。
  38. 【請求項３８】絶縁性基板上に、複数の絵素電極、該絵
    素電極に個別に接続される絵素スイッチング素子、該絵
    素スイッチング素子を介して絵素電極を駆動する、格子
    状に配設された複数の走査線及びデータ線を有するアク
    ティブマトリクス基板と、共通電極を有する対向基板と
    が、液晶層を介して貼り合わされてなるアクティブマト
    リクス型液晶表示パネルの検査方法において、 前記複数のデータ線に、検査用の表示信号の供給を制御
    するためのデータ線検査用スイッチング素子が個別に接
    続されており、 各データ線検査用スイッチング素子には、該データ線検
    査用スイッチング素子を介してデータ線に検査用の表示
    信号を供給する検査用表示信号線と、データ線検査用ス
    イッチング素子を導通・遮断する制御信号を入力するデ
    ータ線検査用制御信号線とが配設されており、 または、 前記複数の走査線に、検査用の走査信号の供給を制御す
    るための走査線検査用スイッチング素子が個別に接続さ
    れており、 各走査線検査用スイッチング素子には、該走査線検査用
    スイッチング素子を介して走査線に検査用の走査信号を
    供給する検査用走査信号線と、走査線検査用スイッチン
    グ素子を導通・遮断する制御信号を入力する走査線検査
    用制御信号線とが配設されていると共に、 前記液晶表示パネルの検査時には、データ線検査用スイ
    ッチング素子または走査線検査用スイッチング素子に光
    を当てながら検査することを特徴とするアクティブマト
    リクス型液晶表示パネルの検査方法。
  39. 【請求項３９】絶縁性基板上に、複数の絵素電極、該絵
    素電極に個別に接続される絵素スイッチング素子、該絵
    素スイッチング素子を介して絵素電極を駆動する、格子
    状に配設された複数の走査線及びデータ線を有するアク
    ティブマトリクス基板と、共通電極を有する対向基板と
    が、液晶層を介して貼り合わされてなるアクティブマト
    リクス型液晶表示パネルの検査方法において、 前記アクティブマトリクス型液晶表示パネルには、 前記複数のデータ線に、検査用の表示信号の供給を制御
    するためのデータ線検査用スイッチング素子が個別に接
    続され、各データ線検査用スイッチング素子には、該デ
    ータ線検査用スイッチング素子を介してデータ線に検査
    用の表示信号を供給する検査用表示信号線と、データ線
    検査用スイッチング素子を導通・遮断する制御信号を入
    力するデータ線検査用制御信号線とが配設され、 または、 前記複数の走査線に、検査用の走査信号の供給を制御す
    るための走査線検査用スイッチング素子が個別に接続さ
    れ、各走査線検査用スイッチング素子には、該走査線検
    査用スイッチング素子を介して走査線に検査用の走査信
    号を供給する検査用走査信号線と、走査線検査用スイッ
    チング素子を導通・遮断する制御信号を入力する走査線
    検査用制御信号線とが配設されていると共に、 前記データ線検査用制御信号線、前記検査用表示信号
    線、前記走査線検査用制御信号線、および前記検査用走
    査信号線のうち、該液晶表示パネルにふくまれているも
    の全ての入力端子と、液晶表示パネルの検査時に前記共
    通電極への信号入力を行なうための入力端子とが、前記
    アクティブマトリクス基板上の１辺もしくは対向する２
    辺に設置されており、 複数の前記アクティブマトリクス型液晶表示パネルが、
    前記各入力端子が配置される辺と同一の方向に列状に配
    置してなる母基板に対して、前記母基板を個々のアクテ
    ィブマトリクス型液晶表示パネルに分断する前の段階
    で、該母基板に検査用治具を取り付けて検査を行なうこ
    とを特徴とするアクティブマトリクス型液晶表示パネル
    の検査方法。
  40. 【請求項４０】上記母基板において、隣接する液晶表示
    パネルの同一種類の検査用配線同士が電気的に接続され
    ていることを特徴とする請求項３９に記載のアクティブ
    マトリクス型液晶表示パネルの検査方法。
  41. 【請求項４１】絶縁性基板上に、複数の絵素電極、該絵
    素電極に個別に接続される絵素スイッチング素子、該絵
    素スイッチング素子を介して絵素電極を駆動する、格子
    状に配設された複数の走査線及びデータ線を有するアク
    ティブマトリクス基板と、共通電極を有する対向基板と
    が、液晶層を介して貼り合わされてなるアクティブマト
    リクス型液晶表示パネルの検査方法において、 前記アクティブマトリクス型液晶表示パネルには、 前記複数のデータ線に、検査用の表示信号の供給を制御
    するためのデータ線検査用スイッチング素子が個別に接
    続され、各データ線検査用スイッチング素子には、該デ
    ータ線検査用スイッチング素子を介してデータ線に検査
    用の表示信号を供給する検査用表示信号線と、データ線
    検査用スイッチング素子を導通・遮断する制御信号を入
    力するデータ線検査用制御信号線とが配設され、 または、 前記複数の走査線に、検査用の走査信号の供給を制御す
    るための走査線検査用スイッチング素子が個別に接続さ
    れ、各走査線検査用スイッチング素子には、該走査線検
    査用スイッチング素子を介して走査線に検査用の走査信
    号を供給する検査用走査信号線と、走査線検査用スイッ
    チング素子を導通・遮断する制御信号を入力する走査線
    検査用制御信号線とが配設されていると共に、 複数の前記アクティブマトリクス型液晶表示パネルが列
    状に配置してなる母基板に対して、隣接する液晶表示パ
    ネルの同一種類の検査用配線同士が電気的に接続されて
    おり、前記データ線検査用制御信号線、前記検査用表示
    信号線、前記走査線検査用制御信号線、および前記検査
    用走査信号線のうち、該液晶表示パネルにふくまれてい
    るもの全ての入力端子と、液晶表示パネルの検査時に前
    記共通電極への信号入力を行なうための入力端子とが、
    隣接パネルの接続方向であって何れの液晶表示パネルに
    も属しない領域に形成されると共に、 前記母基板を個々のアクティブマトリクス型液晶表示パ
    ネルに分断する前の段階で、該母基板に検査用治具を取
    り付けて検査を行なうことを特徴とするアクティブマト
    リクス型液晶表示パネルの検査方法。
  42. 【請求項４２】絶縁性基板上に、複数の絵素電極、該絵
    素電極に個別に接続される絵素スイッチング素子、該絵
    素スイッチング素子を介して絵素電極を駆動する、格子
    状に配設された複数の走査線及びデータ線を有するアク
    ティブマトリクス基板と、共通電極を有する対向基板と
    が、液晶層を介して貼り合わされてなるアクティブマト
    リクス型液晶表示パネルの検査方法において、 前記複数のデータ線に、検査用の表示信号を供給する検
    査用表示信号線が配設されており、複数の前記アクティ
    ブマトリクス型液晶表示パネルが、データ線方向に列状
    に配置してなる母基板に対して、複数のデータ線が隣接
    する液晶表示パネルの領域を経由して、自パネルの検査
    用表示信号線に接続されているか、 または、 前記複数の走査線に、検査用の走査信号を供給する検査
    用走査信号線が配設されており、複数の前記アクティブ
    マトリクス型液晶表示パネルが、走査線方向に列状に配
    置してなる母基板に対して、複数の走査線が隣接する液
    晶表示パネルの領域を経由して、自パネルの検査用走査
    信号線に接続されていると共に、 前記母基板を個々のアクティブマトリクス型液晶表示パ
    ネルに分断する前の段階で、該母基板に検査用治具を取
    り付けて検査を行なうことを特徴とするアクティブマト
    リクス型液晶表示パネルの検査方法。
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