JP7195341B2 - 波長分散型x線分光計 - Google Patents
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- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/36—Measuring spectral distribution of X-rays or of nuclear radiation spectrometry
Description
本願は、2018年6月4日に出願された米国仮出願第62/680,451号および2018年6月5日に出願された米国仮出願第62/680,795号に対する優先権の利益を主張し、これらの各出願の全体を本明細書に引用により援用する。
分野
本願は概してX線分光計に関する。
X線蛍光(XRF)は、弾性散乱もしくは非弾性散乱、またはX線、電子、もしくは他の粒子が打ち込まれたターゲット内のエネルギレベル間の遷移の結果であり得る。XRFスペクトルの詳細によって、ターゲット材料の化学組成情報、ならびに電子構造および/または化学状態についての洞察を得ることができる。XRFスペクトルは、理論計算との比較によって、またはモデル材料からの既知のX線放射スペクトルとの比較によって分析されることが多い。XRFスペクトルは典型的に広い角度範囲にわたって放射されるので、X線分光計は、速度データ収集に対してより大きな割合の放射X線を受光する広い角度受容を有し得る。
本明細書に開示される一局面では、X線分光計が提供され、上記X線分光計は、X線エネルギの関数として入射強度分布を有するX線を受光するように構成された少なくとも1つのX線光学部品と、上記少なくとも1つのX線光学部品からX線を受光し、上記少なくとも1つのX線光学部品からの上記X線の空間分布を記録するように構成された少なくとも1つのX線検出器とを含む。上記少なくとも1つのX線光学部品は、長手方向軸の周りに上記長手方向軸に沿って少なくとも部分的に延在する少なくとも1つの表面を含む少なくとも1つの基板を含む。上記長手方向軸と平行な少なくとも1つの断面における上記少なくとも1つの表面と上記長手方向軸との間の距離は、上記長手方向軸に沿った位置の関数として変化する。上記少なくとも1つのX線光学部品はさらに、上記少なくとも1つの表面の少なくとも一部の上または上方の少なくとも1つのモザイク結晶構造および/または複数の層を含む。上記複数の層は、第1の材料を含む第1の複数の第1の層と、第2の材料を含む第2の複数の第2の層とを含む。上記第1の層および上記第2の層は、上記少なくとも1つの表面に垂直な方向において互いに交互に位置する。
本明細書に記載される特定の実施形態は、異なる波長のX線を並列検出する波長分散型X線分光計を提供する。特定のそのような実施形態では、X線分光計は、X線分光計が受光したX線の、X線スペクトル全体、またはある範囲のX線エネルギを含むスペクトル部分を同時に記録するように構成される。
Claims (27)
- X線分光計であって、
X線エネルギの関数として入射強度分布を有するX線を受光するように構成された少なくとも1つのX線光学部品を備え、前記少なくとも1つのX線光学部品は、
少なくとも1つの表面を含む少なくとも1つの基板を備え、前記少なくとも1つの表面は、少なくとも一部分において、長手方向軸の周りに管状に対称かつ前記長手方向軸に沿って延在する形状の内面を有し、前記内面は、前記長手方向軸の周りおよび前記長手方向軸に沿って延在し、前記長手方向軸に垂直な平面内に直径を有し、前記直径は、前記長手方向軸に沿った位置の関数として変化し、前記少なくとも1つの表面は、180度~360度の角度で前記長手方向軸の周りに延在し、前記少なくとも1つのX線光学部品はさらに、
前記少なくとも1つの表面の少なくとも一部の上または上方の少なくとも1つのモザイク結晶構造および/または複数の層を含み、前記複数の層は、第1の材料を含む第1の複数の第1の層と、第2の材料を含む第2の複数の第2の層とを含み、前記第1の層および前記第2の層は、前記少なくとも1つの表面に垂直な方向において互いに交互に位置しており、前記X線分光計はさらに、
前記少なくとも1つのX線光学部品からX線を受光し、前記少なくとも1つのX線光学部品からの前記X線の空間分布を記録するように構成された少なくとも1つのX線検出器を備える、X線分光計。 - 前記少なくとも1つのX線光学部品の第1の部分は、受光された前記X線の第1の部分を前記少なくとも1つのX線検出器に向かって方向付けるように構成され、前記少なくとも1つのX線光学部品の第2の部分は、受光された前記X線の第2の部分を前記少なくとも1つのX線検出器に向かって方向付けるように構成され、前記少なくとも1つのX線光学部品の前記第2の部分は、前記長手方向軸と平行な方向に沿って前記少なくとも1つのX線光学部品の前記第1の部分から変位しており、受光された前記X線の方向付けられた前記第1の部分は、X線エネルギの関数として第1の強度分布を有し、受光された前記X線の方向付けられた前記第2の部分は、X線エネルギの関数として第2の強度分布を有し、前記第2の強度分布は前記第1の強度分布とは異なる、請求項1に記載のX線分光計。
- 受光された前記X線は、前記長手方向軸と平行な非ゼロ成分を有する少なくとも1方向に沿って伝播し、受光された前記X線の前記第1の部分は、第1のグレージング入射角で前記少なくとも1つのX線光学部品の前記第1の部分に衝突し、受光された前記X線の前記第2の部分は、前記第1のグレージング入射角とは異なる第2のグレージング入射角で前記少なくとも1つのX線光学部品の前記第2の部分に衝突する、請求項2に記載のX線分光計。
- 受光された前記X線の方向付けられた前記第1の部分は、前記少なくとも1つのX線検出器の第1の部分に伝播し、受光された前記X線の方向付けられた前記第2の部分は、前記少なくとも1つのX線検出器の第2の部分に伝播し、前記少なくとも1つのX線検出器の前記第2の部分は、前記少なくとも1つのX線検出器の前記第1の部分から空間的に変位している、請求項2に記載のX線分光計。
- 前記少なくとも1つのX線光学部品は、異なるX線エネルギ範囲内のX線を前記少なくとも1つのX線検出器の対応する異なる領域に方向付けることによって、前記異なる領域の空間位置が前記異なるX線エネルギ範囲内のX線に対応するように構成される、請求項1に記載のX線分光計。
- 前記少なくとも1つの表面は、
前記長手方向軸と平行な長さが3mm~150mmの範囲内にあり、
前記長さに垂直な幅が1mm~50mmの範囲内にあり、
前記長手方向軸に垂直な平面における内径が1mm~50mmの範囲内にあり、
表面粗さが0.1nm~1nmの範囲内にあり、および/または、
0.01ラジアン~0.4ラジアンの範囲内の、前記長手方向軸に対してある範囲内の角度を有する複数の接平面を有する、請求項1に記載のX線分光計。 - 前記少なくとも1つの表面の少なくとも一部は凹形であり、前記長手方向軸と平行な少なくとも1つの断面において湾曲しており、前記表面の少なくとも一部は前記断面において二次曲面形状を有する、請求項1に記載のX線分光計。
- 前記二次曲面形状は、少なくとも1つの楕円面、少なくとも1つの放物面、少なくとも1つの双曲面、またはそれらの2つ以上の組み合わせ、からなる群から選択される、請求項7に記載のX線分光計。
- 前記複数の層のうちの各層の厚みは0.3nm~9nmの範囲内にある、請求項1に記載のX線分光計。
- 前記第1の層および前記第2の層は、前記複数の層全体にわたって深さが勾配を有する周期で互いに交互に位置する、請求項1に記載のX線分光計。
- 前記複数の層の前記第1の材料は、ケイ素、ホウ素、および炭素のうちの少なくとも1つを含み、前記複数の層の前記第2の材料は、クロム、モリブデン、および白金のうちの少なくとも1つを含む、請求項1に記載のX線分光計。
- 前記少なくとも1つのX線検出器は、画素アレイX線検出器を含む、請求項1に記載のX線分光計。
- 前記画素アレイX線検出器は、1つの次元に沿って延在する画素アレイを含む、請求項12に記載のX線分光計。
- 前記画素アレイX線検出器は、2つの直交する次元に沿って延在する画素アレイを含む、請求項13に記載のX線分光計。
- 前記画素アレイX線検出器は、直接検出型の電荷結合素子(CCD)検出器、相補型金属酸化膜半導体(CMOS)検出器、エネルギ分解X線検出器、X線シンチレータを含む間接変換検出器、光子計数検出器、のうちの少なくとも1つを含む、請求項13に記載のX線分光計。
- 前記画素アレイX線検出器は、幅が1ミクロン~200ミクロンの範囲内の画素を含む、請求項13に記載のX線分光計。
- 少なくとも1つのビームストップをさらに備え、前記ビームストップは、前記長手方向軸に沿って伝播しているが前記少なくとも1つのX線光学部品に照射されないX線が前記少なくとも1つのX線検出器に到達するのを阻止するように構成される、請求項1に記載のX線分光計。
- 前記少なくとも1つのモザイク結晶構造は、高配向性熱分解グラファイト、高アニール化熱分解グラファイト、それらの組み合わせ、からなる群から選択される1つ以上のモザイクグラファイト結晶構造を含む、請求項1に記載のX線分光計。
- X線分光計であって、
X線エネルギの関数として入射強度分布を有するX線を受光するように構成された多層スタックを備え、前記多層スタックは、第1の材料を含む第1の複数の第1の層と、第2の材料を含む第2の複数の第2の層とを含み、前記第1の層および前記第2の層は互いに交互に位置しており、前記多層スタックの第1の部分は、受光された前記X線の第1の部分を方向付けるように構成され、前記多層スタックの第2の部分は、受光された前記X線の第2の部分を方向付けるように構成され、前記多層スタックの前記第2の部分は前記多層スタックの前記第1の部分から横方向に変位しており、受光された前記X線の方向付けられた前記第1の部分は、X線エネルギの関数として第1の強度分布を有し、受光された前記X線の方向付けられた前記第2の部分は、X線エネルギの関数として第2の強度分布を有し、前記第2の強度分布は前記第1の強度分布とは異なり、
少なくとも1つの表面を含む少なくとも1つの基板を備え、前記少なくとも1つの表面は、少なくとも一部分において、長手方向軸の周りに管状に対称かつ前記長手方向軸に沿って延在する形状の内面を有し、前記内面は、前記長手方向軸の周りおよび前記長手方向軸に沿って延在し、前記長手方向軸に垂直な平面内に直径を有し、前記直径は、前記長手方向軸に沿った位置の関数として変化し、前記少なくとも1つの表面は、180度~360度の角度で前記長手方向軸の周りに延在し、前記X線分光計はさらに、
前記少なくとも1つのX線光学部品から受光された前記X線の方向付けられた前記第1の部分および方向付けられた前記第2の部分を受光し、前記多層スタックから受光された前記X線の方向付けられた前記第1の部分および方向付けられた前記第2の部分の空間分布を記録するように構成された少なくとも1つのX線検出器を備える、X線分光計。 - X線分光計であって、
100eVよりも大きいスペクトル帯域幅を有するX線を受光するように構成された少なくとも1つのX線光学部品を備え、前記少なくとも1つのX線光学部品は、長手方向軸の周りに前記長手方向軸に沿って少なくとも部分的に延在する少なくとも1つの表面を含み、前記少なくとも1つのX線光学部品は、前記少なくとも1つの表面の少なくとも一部の上または上方の少なくとも1つのモザイク結晶構造および/または複数の層を含み、前記少なくとも1つのX線光学部品は、ブラッグ関係に従って、受光された前記X線の前記スペクトル帯域幅の少なくとも一部について、X線エネルギの関数として、受光された前記X線を回折させて前記X線の空間分離を生じさせるように構成され、
前記少なくとも1つの表面を含む少なくとも1つの基板を備え、前記少なくとも1つの表面は、少なくとも一部分において、前記長手方向軸の周りに管状に対称かつ前記長手方向軸に沿って延在する形状の内面を有し、前記内面は、前記長手方向軸の周りおよび前記長手方向軸に沿って延在し、前記長手方向軸に垂直な平面内に直径を有し、前記直径は、前記長手方向軸に沿った位置の関数として変化し、前記少なくとも1つの表面は、180度~360度の角度で前記長手方向軸の周りに延在し、前記X線分光計はさらに、
前記少なくとも1つのX線光学部品によって回折した前記X線の少なくとも一部の空間分布を記録するように構成された少なくとも1つのX線検出器を備える、X線分光計。 - 前記少なくとも1つの表面は、前記長手方向軸と平行な平面において湾曲している凹面を含む、請求項20に記載のX線分光計。
- 前記凹面は、前記長手方向軸に関して軸対称の少なくとも一部を有する、請求項21に記載のX線分光計。
- 前記凹面の曲率、前記複数の層の間の間隔および/または前記少なくとも1つのモザイク結晶構造内の隣接する原子層間の間隔、前記少なくとも1つのX線光学部品と前記少なくとも1つのX線検出器との間の距離、および/または前記少なくとも1つのX線検出器の空間分解能は、50eV未満のエネルギ分解能を提供するように構成される、請求項21に記載のX線分光計。
- 前記少なくとも1つの表面の少なくとも一部は、前記長手方向軸と平行であり前記長手方向軸を含む平面において、実質的に直線の断面形状を有する、請求項20に記載のX線分光計。
- 前記複数の層は、第1の材料を含む第1の複数の第1の層と、第2の材料を含む第2の複数の第2の層とを含み、前記第1の層および前記第2の層は互いに交互に位置する、請求項20に記載のX線分光計。
- 前記第1の層および前記第2の層は、前記複数の層全体にわたって深さが勾配を有する周期で互いに交互に位置する、請求項25に記載のX線分光計。
- 前記モザイク結晶構造は、高配向性熱分解グラファイト、高アニール化熱分解グラファイト、それらの組み合わせ、からなる群から選択される、請求項20に記載のX線分光計。
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