JP5896999B2 - X線装置 - Google Patents
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Description
(i)非常に大きなアスペクト比を有する回折格子を形成することができ、この方法は高いX線エネルギーに対して特に有用なものとなる;
(ii)発散ビーム形状に適合した回折格子形状を実現するために用いることができる。回折格子のこの構成は、1つ以上のライン式検出器を用いる、像取得の間に試料を並進移動させるX線位相コントラストイメージングのスキャン方式に特に適している。
1.高いX線エネルギーのために非常に高いアスペクト比を形成可能とする、
2.任意の形状、特にファンビームの形状に適合する回折格子の形成を可能とする、
3.試料以外の全ての構成要素を動かすこと無く位相ステッピングが実行可能であるように回折格子を配置可能とする、
という課題を有する。
試料から定量的X線像を取得するためのX線装置、特に硬X線装置であって、
X線源(X線)と、
少なくとも2つの回折格子(G0、G1とG2の両方、G1とG2の一方)の組と、
複数の個別のピクセルを有し、空間的に増幅される検出感度を有する位置敏感検出器(PSD)と、
検出器(PSD)の像を記録する手段と、
吸収を主とするピクセルとしてのおよび/または微分位相コントラストを主とするピクセルとしてのおよび/またはX線散乱を主とするピクセルとしての、各個別のピクセルについて対象の特徴を同定するために、一連の像中の各ピクセルに関する強度を評価する手段と、
を有し、
一連の像は、0からπまたは2πまで、連続的にまたは段階的に、試料を回転させるか、または、試料に対して装置と線源を回転させることにより収集され、
回折格子(G0(必要な場合)、G1とG2)は、または、このような回折格子の組の一部は、X線が基体に対して平行に当該回折格子を通る、新規な平面形状にしたがって形成されており、
回折格子構造体は、位相シフトと減衰とを決定する、X線のパスに沿って延在しており、
当該回折格子構造体は、当該回折構造体の厚さではなく、当該回折格子構造体の長さによってX線に作用する、
装置により解決される。
回折格子に基づくイメージングのための新規な平面形状。X線はこれらを、従来のように垂直では無く、基体に平行に通過する。回折格子構造体は、位相シフトと減衰とを決定するX線のパスに沿って延在しており、回折格子構造体は、回折格子構造体の厚さではなく、回折格子構造体の長さによってX線に作用する。この新規な形状のために、プレーナ技術を用いることができ、任意のアスペクト比が得られる。
上記製造アプローチおよび照射スキームによって、回折格子構造体は以下の任意の形状に設計および実現できる。特に、これは一般的なX線源から発せられるビームの発散に適合させることができ、その結果、
(i)非常に広い視野への鮮明度の向上
(ii)全視野にわたる感度の向上
が得られる。
平面形状を前提として、本発明者らは、異なる回折格子の設計を提案するものであり、これは回折格子を物理的に動かす必要なく位相ステッピングを実行するために用いることができる。
(a)G1とG2の間の位相関係が、「1ステップ」アプローチにしたがう、強度曲線が一次テイラー級数展開される値に正確に対応するように、G1とG2は配置される(G1とG2が2つの異なる支持体上にある場合には、リソグラフィ処理または機械的により同じウェハ上にいずれかが直接配置される)。
Claims (17)
- 試料から定量的X線像を取得するためのX線装置であって、
X線源(X線)と、
単一の平面形状の基体上に形成された少なくとも2つの回折格子(G0、G1とG2の両方、G1とG2の一方)の組と、
複数の個別のピクセルを有し、空間的に増幅される検出感度を有する位置敏感検出器(PSD)と、
前記検出器(PSD)の像を記録する手段と、
吸収を主とするピクセルとしてのおよび/または微分位相コントラストを主とするピクセルとしてのおよび/またはX線散乱を主とするピクセルとしての、各個別のピクセルについて対象の特徴を同定するために、一連の像中の各ピクセルに関する強度を評価する手段と、
を有し、
前記一連の像は、0からπまたは2πまで、連続的にまたは段階的に、前記試料を回転させるか、または、前記試料に対して前記装置と前記X線源を回転させることにより収集され、
前記回折格子(G0、G1とG2)は、または、このような回折格子の組の一部は、X線が前記基体に対して平行に前記回折格子を前記回折格子の長さ方向に通る、新規な平面形状にしたがって形成されており、
前記回折格子は、前記回折格子の光軸方向の長さによってX線に作用する位相シフトと減衰とを決定する、X線のパスに沿って延在しており、
前記回折格子の形状は、X線ビームの拡散に適合されている、
ことを特徴とするX線装置。 - 近接場レジームまたはタルボレジームにおいて作動される、
請求項1記載の装置。 - G1は、吸収回折格子または位相回折格子のライン式回折格子(G1)であり、前記ライン式回折格子は、重金属より低い吸収特性を有する吸収回折格子であり、かつ、πまたはその奇数倍のX線の位相シフトを生じさせる、
請求項1または2記載の装置。 - G2は,G1の自己像の周期と同じ周期を有する、高いX線吸収コントラストを示すライン式回折格子であり、G2は、前記検出器(PSD)の直前に、G2のラインがG1のラインと平行であるよう配置されている、
請求項1記載の装置。 - 前記回折格子はプレーナ技術によって形成されている、
請求項1から5のいずれか1項記載の装置。 - 吸収回折格子および位相シフト回折格子のいずれか一方または両方が、プレーナアプローチにより形成されている、
請求項1から6のいずれか1項記載の装置。 - 前記回折格子は、互いに直列に、前記回折格子の長さ方向に配置されている、
請求項1から7のいずれか1項記載の装置。 - 前記検出器が、G2と同じ基体上に形成されているか、または、G1およびG2と同じ基体上に形成されている、
請求項1から8のいずれか1項記載の装置。 - 前記回折格子は傾き、前記X線源に対してファン形状に整列している、
請求項1から9のいずれか1項記載の装置。 - プレーナ製造技術により形成された複数の構造体が、相互に面状に積層されている、
請求項1から10のいずれか1項記載の装置。 - 複数の前記回折格子構造体が、ノッチおよび溝を含む、機械的配列または光学的配列により、相互に積層されている、
請求項1から11のいずれか1項記載の装置。 - 前記X線源と前記回折格子G1との間に配列されたコリメータがX線の空間的拡がりをファンビームに制限し、ラインアレイ式検出器が用いられ、機構部により前記試料を前記装置の他の部分に対して回転させ、その回転軸は前記ファンの開放角に垂直であり、かつ、前記機構部は前記回転軸に平行な方向に沿って前記装置の他の部分に対して前記試料を並進移動させる、
請求項1から12のいずれか1項記載の装置。 - 1つのスリットまたは連続したn個のスリットが投与線量を最少化するように対象の上流に配置されている、
請求項1から13のいずれか1項記載の装置。 - 1つの回折格子(G0、G1またはG2)の他の部分に対する機械的シフトにより、位相ステッピングが行われる、
請求項1から14のいずれか1項記載の装置。 - 1組のn個の位相ステップが、n組の平面回折格子とn個のライン式検出器により得られ、各前記n組の平面回折格子は異なる位相ステップ位置で配列され、対象を除いて機械部分を全く動かすことなくn個の位相ステップ位置で対象がスキャンされる、
請求項1から15のいずれか1項記載の装置。 - G1とG2との間の位相関係は、強度曲線が一次テイラー級数で展開される値に正確に対応する、
請求項1から16のいずれか1項記載の装置。
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