JPH095500A

JPH095500A - Ｘ線顕微鏡

Info

Publication number: JPH095500A
Application number: JP7159143A
Authority: JP
Inventors: Hideo Hirose; 秀男広瀬; Kozo Ando; 剛三安藤; Katsunobu Aoyanagi; 克信青柳; Tamio Hara; 民夫原
Original assignee: Shimadzu Corp; RIKEN Institute of Physical and Chemical Research
Current assignee: Shimadzu Corp; RIKEN Institute of Physical and Chemical Research
Priority date: 1995-06-26
Filing date: 1995-06-26
Publication date: 1997-01-10
Also published as: US5832052A; EP0751533A1

Abstract

(57)【要約】【目的】試料をターゲットに接近して配置して充分な
強度のＸ線を照射することができ、ターゲットと試料と
の距離調整を容易に行うことができるＸ線顕微鏡を提供
する。また、ターゲットや試料セル等に付随する構成機
構全体を真空状態に保持するための大型の真空容器を必
要としない小型のＸ線顕微鏡を提供する。【構成】レーザビーム９をターゲット１１に集光照射
して、発生したＸ線４をレーザビームの照射側と反対側
のターゲット裏面の近傍に配置した試料セル２０内の試
料Ｓに照射して透過させ、該透過Ｘ線像を検出器２１に
よって観察するＸ線顕微鏡において、ターゲット１１、
試料セル２０、および検出器２１をＸ線顕微鏡内におい
て一体の構成単位Ａを形成する。これによって、試料Ｓ
をターゲット１１に接近して配置して充分な強度のＸ線
を照射することができ、ターゲット１１と試料Ｓとの距
離調整を容易に行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、Ｘ線顕微鏡に関し、特
に、レーザビームの照射によってターゲットから放出さ
れるＸ線を用いたＸ線顕微鏡に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】所定のターゲットにレーザビームを照射
してＸ線を発生させて試料に照射し、試料を透過したＸ
線像を観察するＸ線顕微鏡が知られている。従来から知
られているＸ線顕微鏡には、ターゲット表面からレーザ
源方向に放出されるＸ線を試料に照射する方式のＸ線顕
微鏡と、ターゲットを通過してターゲットの裏面から放
出されるＸ線を試料に照射する方式のＸ線顕微鏡とが知
られている。

【０００３】図８はターゲット表面からレーザビーム源
方向に放出されるＸ線を試料に照射するＸ線顕微鏡の概
略を説明するための図である。図８において、試料Ｓは
ターゲット６１に対してレーザビーム９の光源と同じ側
に配置されており、ターゲット６１の表面からレーザビ
ーム源側に放出されたＸ線４を受ける。該試料Ｓを透過
したＸ線像は、レジスト等の検出器によって検出され、
これによって試料Ｓの観察を行う。なお、試料Ｓは基板
６４に塗布されたレジスト６３上に配置され、試料Ｓと
ターゲット６１との間にはＸ線窓６２が設けられた試料
Ｓセル６０内に設置して構成することができる。

【０００４】また、図９はターゲットを透過してターゲ
ットの裏面から放出されるＸ線を試料に照射するＸ線顕
微鏡の概略を説明するための図である。図９において、
試料Ｓを配置した試料セル７０は前記図８の試料セル６
０とほぼ同様の構成とすることができ、この試料セル７
０をターゲット７１に対してレーザビーム９の光源の反
対側に配置する。ターゲット７１を透過して放出される
Ｘ線は試料Ｓを透過して、レジスト等の検出器上にＸ線
像を形成する。このＸ線像の検出によって試料Ｓの観察
を行う。

【０００５】Ｘ線顕微鏡では、試料Ｓに所定の波長のＸ
線を照射する必要がある。図８や図９に示した従来のＸ
線顕微鏡では、所定波長のＸ線が得られるように、該波
長に対応したターゲットを選択し、また、ターゲット以
外の物質（例えば、空気）からのＸ線の放出を防止する
ため、図９に示すようにＸ線顕微鏡に真空容器７２を設
け、該真空容器７２の真空部７３内にターゲットや試料
セル等の構成部分を収納する構成としている。なお、図
８では、真空容器を省略して示している。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
Ｘ線顕微鏡は、以下に示すような問題点がある。

【０００７】従来のターゲット表面からレーザビーム源
方向に放出されるＸ線を試料に照射する方式のＸ線顕微
鏡では、試料の観察を行うに充分な強度のＸ線を試料面
に照射することができないという問題点を有している。
図８に示すようなＸ線顕微鏡では、試料セルをターゲッ
トから距離を置いて配置する必要がある。これは、ター
ゲット表面へのレーザビームと試料セルとが干渉して、
レーザビームのターゲット表面への照射が阻害されない
ような配置を行うためである。例えば、試料はターゲッ
ト表面から１ｃｍ以上離して配置している。一般に，タ
ーゲット表面に１００μｍ以下のスポット径から放出さ
れるＸ線の強度は、距離の２乗に反比例して弱くなる。
そのため、ターゲット表面から離れた位置に配置された
試料に対して、充分な強度のＸ線を照射することが困難
となる。

【０００８】また、ターゲットを透過してターゲットの
裏面から放出されるＸ線を試料に照射する方式のＸ線顕
微鏡では、ターゲットの種類を変更する毎に試料とター
ゲットとの距離を調節する必要がある。試料に照射する
Ｘ線の波長に応じてターゲットを選択すると、該ターゲ
ットから放出されるＸ線の強度は該ターゲットに応じて
異なる。そのため、試料に照射するＸ線強度を調節する
には、ターゲットと試料との間の距離をターゲットに応
じて調節する必要がある。従来のＸ線顕微鏡では、通常
ターゲットはレーザビームの焦点位置に配置されるた
め、試料の位置をターゲット毎に調節する必要がある。

【０００９】また、ターゲット以外の物質からのＸ線の
放出を防止するに、ターゲットや試料セルと共に、それ
らの駆動機構や支持機構等の付随する構成機構全体を真
空状態に保持するための大型の真空容器を必要とし、こ
のため、Ｘ線顕微鏡も大型となる。そこで、本発明は前
記した従来のＸ線顕微鏡の問題点を解決し、試料をター
ゲットに接近して配置して充分な強度のＸ線を照射する
ことができ、ターゲットと試料との距離調整を容易に行
うことができるＸ線顕微鏡を提供することを目的とす
る。また、本発明はターゲットや試料セル等に付随する
構成機構全体を真空状態に保持するための大型の真空容
器を必要としない小型のＸ線顕微鏡を提供することを目
的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、レーザビーム
をターゲットに集光照射して、発生したＸ線をレーザビ
ームの照射側と反対側のターゲット裏面の近傍に配置し
た試料セル内の試料に照射して透過させ、該透過Ｘ線像
を検出器によって観察するＸ線顕微鏡において、ターゲ
ット、試料セル、および検出器をＸ線顕微鏡内において
一体の構成単位を形成する。これによって、試料をター
ゲットに接近して配置して充分な強度のＸ線を照射する
ことができ、ターゲットと試料との距離調整を容易に行
うことができる。

【００１１】また、ターゲット、試料セル、および検出
器を一体の構成単位とし、その構成単位のターゲットの
表面はＸ線顕微鏡内の真空部分を介してＸ線の照射を受
ける構成とすることによって、ターゲットや試料セルに
付随する構成機構全体を真空状態に保持するための大型
の真空容器を必要としない小型のＸ線顕微鏡を提供す
る。

【００１２】本発明の第１の実施態様は、前記一体構成
単位において、ターゲットを構成するスペーサの高さを
ターゲットに応じて選択可能とするものであり、これに
よって、ターゲットと試料との距離を調節可能とするこ
とができる。

【００１３】本発明の第２の実施態様は、Ｘ線顕微鏡に
おけるレーザビームの焦点位置を、一体の構成単位をＸ
線顕微鏡に取り付けたときのターゲット表面位置とする
ものであり、これによって、レーザビームとターゲット
との位置決めを容易に行うことができる。本発明の第３
の実施態様は、前記一体構成単位を複数個配列し、レー
ザビームが照射する構成単位を変換可能とするものであ
り、これによって、複数個の試料のＸ線観察を行うこと
ができる。

【００１４】

【作用】本発明のＸ線顕微鏡において、ターゲットと試
料セルと検出器は一体の構成単位として構成することが
でき、この一体の構成単位を１つのユニットとしてＸ線
顕微鏡内に取付け、試料のＸ線像を検出する。Ｘ線顕微
鏡によるＸ線露光を行う前過程では、前記構成単位は、
ターゲット部と検出器を含む試料セル部とを分離して扱
うことができる。ターゲット部は、使用するＸ線の波長
に応じたターゲットを備えており、Ｘ線の波長に応じて
選択することができる。また、試料セル部は、レジスト
等の２次元検出器を備えており、Ｘ線露光前に観察対象
の試料をセットする。

【００１５】そして、試料をセットした試料セル部とタ
ーゲット部とを合わせて一体とし、この一体の構成単位
を１つのユニットとして、Ｘ線顕微鏡に取り付ける。Ｘ
線顕微鏡において、レーザビームの焦点位置は、取り付
けられる構成単位のターゲット表面と一致するよう構成
されており、構成単位をＸ線顕微鏡に取り付けるだけで
レーザビームとターゲットとの位置決めを行うことがで
きる。

【００１６】また、ターゲット部において、ターゲット
と試料セルの検出器との間隔は使用するターゲットに応
じて定められているため、ターゲット部と試料セル部と
を一体にすることによって、ターゲットと試料との距離
は、調整を要することなく所定の値に設定することがで
きる。

【００１７】ターゲットと試料と検出器を一体とした構
成単位をＸ線顕微鏡に取り付けた後、Ｘ線露光を行って
検出器に試料のＸ線像を形成する。このＸ線露光は、Ｘ
線顕微鏡の真空部分を介してターゲットにレーザビーム
を照射し、ターゲットから放出されるＸ線を試料に照射
することによりＸ線露光を行う。Ｘ線露光の後、一体の
構成単位をＸ線顕微鏡から取り出して一体の構成単位か
ら検出器を分離し、検出器に形成されたＸ線像をＡＦＭ
や電子顕微鏡によって試料の観察を行う。

【００１８】また、一体構成単位を複数個配列し、該複
数個の構成単位をＸ−Ｙテーブル等上に配置することに
よって、レーザビームを構成単位に逐次照射する。これ
によって、一処理によって複数個の試料のＸ線露光を行
うことができる。このとき、使用するターゲットを選択
することによって、試料に対応した波長のＸ線を照射す
ることもできる。

【００１９】

【実施例】以下、本発明の実施例を図を参照しながら詳
細に説明する。（本発明の実施例の構成）図１は本発明の実施例におけ
る一体の構成単位を説明するための、一部を切り欠いた
斜視図である。図２は本発明の実施例における一体の構
成単位を説明するための、断面図であり、図３は本発明
の実施例における一体の構成単位を形成する手順を説明
するための図である。なお、図１，図２は、Ｘ線顕微鏡
においてターゲットと試料と検出器の部分を備えた一体
の構成単位のみを示している。

【００２０】図１，図２において、本発明のＸ線顕微鏡
における一体の構成単位を構成するユニットは、ターゲ
ット部１と試料セル部２とを備えており、Ｘ線露光前の
観察試料を形成する段階では、分離してあらかじめ用意
することができる。ターゲット部１は、ターゲット１１
と第１スペーサ１２とＸ線窓１３とを備え、さらに、第
３スペーサ１４を備えることができる。これらは、レー
ザビーム源に近い側から、ターゲット１１，第３スペー
サ１４，第１スペーサ１２、およびＸ線窓１３の順に層
状に形成されている。

【００２１】ターゲット１１は、レーザビームの照射を
受けてＸ線を放出する素材であり、試料Ｓに照射するＸ
線の波長に対応して選択することができる。ターゲット
１１を構成する素材としては、金属やプラスチックを用
いることができ、例えば、Ａｌ，Ａｕ，Ｍｏ，Ｔａ，カ
プトン（商品名），あるいはＴｉを用いることができ、
例えば１μｍから１００μｍ程度の厚さにより形成する
ことができる。

【００２２】第３スペーサ１４はターゲット１１と第１
スペーサ１２の間に置かれる。この第３スペーサ１４は
１〜２ｍｍ程度の厚さを持つ金属から成り立っている。
第１スペーサ１２は、ターゲット１１とＸ線窓１３との
間に間隔を形成して、ターゲットから発生する微粒子
（デブリス）がＸ線窓１３に衝突する衝撃を緩和するも
のであり、例えば０．５ｍｍ程度の厚さのＳｉ基板をエ
ッチングして形成することができる。また、Ｘ線窓１３
は、試料Ｓに照射するＸ線の波長を選択したり、ターゲ
ットから発生する微粒子（デブリス）の試料Ｓへ到達を
防止する等のために設けられる。Ｘ線窓は、例えば第１
スペーサ１２を構成するＳｉ基板の片側に窒素をドープ
したＳｉＮやポリイミド膜などの層により構成すること
ができる。

【００２３】第１スペーサ１２を挟んで対向設置される
ターゲット１１とＸ線窓１３は、第１空間部１５を形成
する。この第１空間１５内には数トール程度のＨｅ等の
Ｘ線に対する透過性が良好なガスを封入してある。この
ガスは、ターゲットから放出される微粒子（デブリス）
を散乱して、微粒子がＸ線窓１３や試料Ｓに付着するの
を防止するためのものである。

【００２４】試料セル部２は、試料セル２０と検出器２
１とを含んでいる。試料セル２０は内側に第２空間部２
５を形成する第２スペーサ２２によって構成することが
できる。この第２スペーサ２２は、Ａｕやステンレス等
の金属によって例えば１０μｍ〜５０μｍ程度の厚さで
形成することができる。一方、検出器２１はＸ線像を記
録するレジスト２３と支持部材となる基板２４とにより
構成することができる。レジスト２３は例えばＰＭＭＡ
により形成することができ、また、基板２４は例えば
０．５ｍｍ程度の厚さのＳｉ基板によって形成すること
ができる。

【００２５】Ｘ線窓１３とレジスト２３は第２スペーサ
２２を挟むことによって、大気圧の第２空間部２５を形
成する。この第２空間部２５は試料Ｓを収納する空間を
形成し、試料Ｓはレジスト２３に密着した状態で置かれ
る。レジスト２３は、試料Ｓを透過したＸ線によるＸ線
像を記憶する。

【００２６】レジスト２３上に試料Ｓを設置した後に、
ターゲット部１と試料セル部２を合わせて一体の構成単
位とし、この構成単位を１ユニットとしてＸ線顕微鏡に
取付け、Ｘ線露光を行う。次に、図３を用いて、ターゲ
ット部１と試料セル部２からなる一体の構成単位を形成
する手順を説明する。図３（ｃ）において、図３（ｃ−
１）で示されるターゲット部１と図３（ｃ−２）で示さ
れる試料セル部２を接合すると、図３（ｃ−３）で示さ
れる一体の構成単位のユニットが形成される。このと
き、試料セル部２のレジスト上に試料Ｓを設置すること
によって、Ｘ線顕微鏡観察のための試料を形成すること
ができる。

【００２７】ターゲット部１と試料セル部２は、試料を
セットする前にあらかじめ用意しておく。そして、観察
する試料を準備した後、この試料を試料セル部２のレジ
スト上に設置してＸ線顕微鏡観察のための試料を形成す
る。ターゲット部１および試料セル部２は、以下のよう
にしてあらかじめ用意しておく。図３（ｃ−１）で示さ
れるターゲット部１は、図３（ａ）で示されるＳｉ基板
１６の一方の面には窒素をドープする等の処理によって
ＳｉＮの層を形成し、他方の面はＳｉ部分にエッチング
により、周辺部の第１スペーサ１２を残して除去処理を
行って凹凸部を形成する。これによって、図３（ｂ−
２）の第１スペーサ１２およびＸ線窓１３を形成する。

【００２８】さらに、この第１スペーサ１２のＸ線窓１
３と反対側に図３（ｂ−１）のターゲット１１を設置し
て、図３（ｃ−１）のターゲット部１が形成される。こ
のターゲット１１の設置は、ターゲット１１と第１スペ
ーサ１２との間に金属からなる第３スペーサ１４を介し
て行うことができる。このとき、第１スペーサ１２内の
空間にＨｅ等のガスを封入しておく。

【００２９】また、図３（ｃ−２）で示される試料セル
部２として、図３（ｂ−３）で示されるように、Ｓｉ基
板２４上にＰＭＭＡ等のレジスト２３を塗布し、さらに
その上にＡｕやステンレス等の金属製の第２スペーサ２
２を取付けた部材を用意しておく。そして、このレジス
ト２３上に試料Ｓを密着して設置する。

【００３０】ここで、ターゲット１１の素材に応じて第
３スペーサ１４の厚さを変えてターゲット部１を形成す
ることができる。ターゲット部１に用いられるターゲッ
ト１１は、試料Ｓに照射するＸ線の波長に応じて選択さ
れる。そして、選択されるターゲット素材により、ター
ゲット裏面からＸ線窓側に放出されるＸ線や微粒子の強
度や量等が異なっている。

【００３１】そこで、ターゲット１１の素材に応じて第
３スペーサ１４の厚さを異ならせることによって、試料
ＳへのＸ線の照射条件や微粒子による影響を均一化する
ことができる。また、本発明のＸ線顕微鏡は、真空容器
を備えている。図４は、本発明のＸ線顕微鏡の真空容器
を説明するための図である。図４において、真空容器３
は、例えばステンレスやＡｌ等の金属製のレーザビーム
源の方向が開放された容器であり、該開放部はレーザの
透過性の良い真空窓３１によって閉じられている。そし
て、この真空容器３の内部は、ターゲット部１と試料セ
ル部２を備えた一体構成単位Ａを収納する収納部３３
と、前記真空窓３１と収納部３３との間の真空部３２と
を含んでいる。

【００３２】収納部３３には、真空窓３１側にターゲッ
ト１１が対向する方向で一体構成単位Ａが収納される。
これによって、、ターゲット１１のレーザビームの照射
を受ける表面は真空状態に保持される。また、レーザビ
ームの光学系や真空容器３のＸ線顕微鏡における位置を
調節しておくことによって、ターゲット１１の表面位置
とレーザビームの焦点位置とが常に一致するように設定
することができる。なお、一体の構成単位Ａの大きさ
は、例えば１０ｍｍ〜２０ｍｍ程度とすることができ、
また、真空容器３の大きさについては、一体の構成単位
Ａが収納可能な程度の大きさで充分である。

【００３３】（本発明の実施例の作用）次に、本発明の
実施例の作用について説明する。はじめに、図３で説明
したように、あらかじめ図３（ｃ−１）のターゲット部
１と図３（ｂ−３）の試料セル部２とを用意しておく。
そして、観察する試料Ｓに照射するＸ線の波長に対応し
たターゲットが取り付けられたターゲット部１を選択す
る。また、試料Ｓを試料セル部２のレジスト上に設置し
た後、ターゲット部１と試料セル部２とを合わせて一体
の構成単位Ａ（図３（ｃ−３））を構成する。

【００３４】次に、図４に示すように、この一体の構成
単位ＡをＸ線顕微鏡の真空容器３の収納部３３内にその
ターゲット１１が真空窓３１を向く方向で収納する。図
５は、一体の構成単位ＡをＸ線顕微鏡の真空容器３の収
納部３３内に収納した状態を示している。このとき、タ
ーゲット１１は、レーザビームの焦点位置に位置決めさ
れている。一体の構成単位Ａを真空容器３に収納した
後、真空部３２を吸気して１０-3トール程度の真空状態
とする。

【００３５】この状態で、レーザビームの照射を行う。
レーザビーム９は真空窓３１および真空部３２を通過し
てターゲット１１表面に照射される。ターゲット１１
は、このレーザビームの照射によって真空窓３１側およ
び第１空間部１５にＸ線４−１と微粒子を放出する。こ
のとき、真空部３２を真空に保持することによって、こ
の部分の不純物から放出されるＸ線の発生を防止して、
第１空間部１５に放出されるＸ線４−１をターゲット１
１のみから放出されるＸ線とすることができる。

【００３６】第１空間部１５側に放出されたＸ線４−１
は、Ｘ線窓１３を通過した後、レジスト２３上の試料Ｓ
をＸ線露光する。また、第１空間部１５内において、Ｘ
線４−１と共に放出される微粒子は、第１空間部１５内
のＨｅ等のガスによって散乱し、Ｘ線窓１３や試料Ｓへ
の微粒子の付着を防止する。Ｘ線露光が終了した後、検
出器２１を一体構成単位Ａと共に真空容器３から取り出
し、レジスト２３の部分を一体構成単位Ａを分離し、Ａ
ＦＭや電子顕微鏡によってそのＸ線像を観察する。他の
試料Ｓの観察を行う場合には、前記した同様の工程によ
って、一体構成単位Ａを構成して真空容器３に収納した
後Ｘ線露光を行って別のＸ線像を得る。

【００３７】したがって、一体構成単位Ａは各観察毎に
交換される。なお、真空容器３は、真空窓が微粒子等の
付着が影響しない限り使用することができる。

【００３８】（本発明のその他の実施例）図６は本発明
のその他の実施例を説明するための図である。図６に示
す実施例は、ターゲット部１および試料セル部２を円形
形状とするものであり、形状以外の構成および作用は前
記実施例と同様である。

【００３９】図７は本発明の他の実施例を説明するため
の図である。図７に示す実施例は、前記実施例の一体の
構成単位Ａを複数個配列して集合体の一体の構成単位Ｂ
を構成するものである。図７では、一体の構成単位Ｂ−
１，Ｂ−２，Ｂ−３，・・・を格子状に配列した例を示
している。そして、この一体の構成単位ＢをＸ−Ｙステ
ージ５上に設置し、レーザビーム９を照射する構成単位
を変更可能とするものである。

【００４０】試料の観察において、前記実施例と同様
に、あらかじめ用意しておいた試料セル部２に試料Ｓを
配置し、さらに該試料Ｓに照射するＸ線の波長に対応し
たターゲット部１を選択して取付け、一体の構成単位Ｂ
を形成する。したがって、一体の構成単位Ｂのターゲッ
ト部１のターゲット材は必要とするＸ線の波長に応じて
異なることになる。また、Ｘ−Ｙステージ５と基板との
間にスペーサを配置して、ターゲットの種類に応じた第
３スペーサの厚さに対応させて、レーザビームの焦点位
置とターゲット表面位置を合わせを行うことができる。

【００４１】これによって、複数個の試料ＳのＸ線像を
効率良く求めることができる。（実施例の効果）ターゲット、試料セル、および検出器
を一体の構成単位で構成することによって、レーザビー
ムに対するターゲットおよび試料セルの位置決めを容易
に行うことができる。

【００４２】ターゲット、試料セル、および検出器を一
体の構成単位で構成することによって、Ｘ線顕微鏡を小
型にすることができる。ターゲット、試料セル、および
検出器を一体の構成単位で構成することによって、Ｘ線
顕微鏡への脱着を容易に行うことができる。Ｘ線顕微鏡
において、真空とする部分をターゲットが接する部分の
みとすることにより、真空容器を小型にしてＸ線顕微鏡
を小型にすることができる。

【００４３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
試料をターゲットに接近して配置して充分な強度のＸ線
を照射することができ、ターゲットと試料との距離調整
を容易に行うことができるＸ線顕微鏡を提供することが
できる。また、ターゲットや試料セル等に付随する構成
機構全体を真空状態に保持するための大型の真空容器を
必要としない小型のＸ線顕微鏡を提供することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例における一体の構成単位を説明
するための、一部を切り欠いた斜視図である。

【図２】本発明の実施例における一体の構成単位を説明
するための、断面図である。

【図３】本発明の実施例における一体の構成単位を形成
する手順を説明するための図である。

【図４】本発明のＸ線顕微鏡の真空容器を説明するため
の図である。

【図５】本発明のＸ線顕微鏡の作用を説明するための図
である。

【図６】本発明のその他の実施例を説明するための図で
ある。

【図７】本発明の他の実施例を説明するための図であ
る。

【図８】従来のＸ線顕微鏡の概略を説明するための図で
ある。

【図９】従来のＸ線顕微鏡の概略を説明するための図で
ある。

【符号の説明】

１…ターゲット部、２…試料セル部、３…真空容器、４
…Ｘ線、５…Ｘ−Ｙステージ、９…レーザビーム、１１
…ターゲット、１２…第１スペーサ、１３…Ｘ線窓、１
４…第３スペーサ、１５…第１空間部、２０…試料セ
ル、２１…検出器、２２…第１スペーサ、２３…レジス
ト、２４…基板、２５…第２空間部、３１…真空窓、３
２…真空部、３３…収納部、Ｓ…試料、Ａ…一体の構成
単位。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者青柳克信埼玉県和光市広沢２番１号理化学研究所内 (72)発明者原民夫埼玉県和光市広沢２番１号理化学研究所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】レーザビームをターゲットに集光照射し
て、発生したＸ線をレーザビームの照射側と反対側のタ
ーゲット裏面の近傍に配置した試料セル内の試料に照射
して透過させ、該透過Ｘ線像を検出器によって観察する
Ｘ線顕微鏡において、前記ターゲット、試料セル、およ
び検出器は、Ｘ線顕微鏡内において一体の構成単位であ
ることを特徴とするＸ線顕微鏡。
【請求項２】前記一体構成単位のターゲットの表面は
Ｘ線顕微鏡内の真空部分を介してレーザビームの照射を
受けることを特徴とするＸ線顕微鏡。