JPH0674879A - Ｘ線顕微鏡用試料容器 - Google Patents
Ｘ線顕微鏡用試料容器Info
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- JPH0674879A JPH0674879A JP22895192A JP22895192A JPH0674879A JP H0674879 A JPH0674879 A JP H0674879A JP 22895192 A JP22895192 A JP 22895192A JP 22895192 A JP22895192 A JP 22895192A JP H0674879 A JPH0674879 A JP H0674879A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 Ｘ線顕微鏡用試料容器の入射窓薄膜に可視
光、紫外光を反射若しくは吸収し、Ｘ線のみを透過する
金属をコーティングして、軟Ｘ線による顕微鏡像を得る
とともに、入射窓の力学的強度の向上を目的とする。 【構成】 一方のシリコン基板２に光源側のＣＶＤ窒化
シリコン薄膜１を形成し、この窒化シリコン薄膜１にア
ルミニウム薄膜４を蒸着した一体構造体を構成する。ま
た、他方のシリコン基板２に検出器側のＣＶＤ窒化シリ
コン薄膜３を形成した一体構造体を構成する。これらの
一体構造体が形成する空間６に、湿った状態の生体試料
をセットしてから、シリコン系接着剤等でスペーサ４と
これらの一体構造体を接合することにより、このＸ線顕
微鏡用試料容器を構成する。
光、紫外光を反射若しくは吸収し、Ｘ線のみを透過する
金属をコーティングして、軟Ｘ線による顕微鏡像を得る
とともに、入射窓の力学的強度の向上を目的とする。 【構成】 一方のシリコン基板２に光源側のＣＶＤ窒化
シリコン薄膜１を形成し、この窒化シリコン薄膜１にア
ルミニウム薄膜４を蒸着した一体構造体を構成する。ま
た、他方のシリコン基板２に検出器側のＣＶＤ窒化シリ
コン薄膜３を形成した一体構造体を構成する。これらの
一体構造体が形成する空間６に、湿った状態の生体試料
をセットしてから、シリコン系接着剤等でスペーサ４と
これらの一体構造体を接合することにより、このＸ線顕
微鏡用試料容器を構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ｘ線顕微鏡観察に用い
る試料容器に関するものである。
る試料容器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、Ｘ線光源やＸ線光学素子の研究開
発が進み、その応用システムの一つとして、Ｘ線顕微鏡
が提案されている。図３に示すように、Ｘ線顕微鏡には
いろいろなタイプがある。すなわち、ウォルター型など
の斜入射光学系〔図３（ａ）〕、回折を利用したフレネ
ルゾーンプレート〔図３（ｂ）〕、２枚の球面鏡に多層
膜をコーティングした直入射型のシュワルツシルド型光
学系〔図３（ｃ）〕などの結像素子を利用したＸ線顕微
鏡システムが提案されている。
発が進み、その応用システムの一つとして、Ｘ線顕微鏡
が提案されている。図３に示すように、Ｘ線顕微鏡には
いろいろなタイプがある。すなわち、ウォルター型など
の斜入射光学系〔図３（ａ）〕、回折を利用したフレネ
ルゾーンプレート〔図３（ｂ）〕、２枚の球面鏡に多層
膜をコーティングした直入射型のシュワルツシルド型光
学系〔図３（ｃ）〕などの結像素子を利用したＸ線顕微
鏡システムが提案されている。
【０００３】特に、軟Ｘ線は電子線に比較して生体試料
に与えるダメージが少なく、最近は生体を生きたまま高
解像度、無染色で観察できる生体観察用顕微鏡への応用
が注目されている。また、Ｘ線顕微鏡の回折限界は、Ｘ
線の波長に比例して小さくなるので、可視光を用いた一
般の光学顕微鏡と比較すると、空間分解能が１桁以上高
くなる。例えば、数百Åの波長を用いたＸ線顕微鏡で
は、５０ｎｍ前後の分解能が期待できる。加えて、小型
で高輝度のレーザープラズマ光源の出現は、ラボラトリ
ーユースのＸ線顕微鏡の開発を促進させた。このように
Ｘ線顕微鏡は、次世代の優れた顕微鏡として期待でき
る。
に与えるダメージが少なく、最近は生体を生きたまま高
解像度、無染色で観察できる生体観察用顕微鏡への応用
が注目されている。また、Ｘ線顕微鏡の回折限界は、Ｘ
線の波長に比例して小さくなるので、可視光を用いた一
般の光学顕微鏡と比較すると、空間分解能が１桁以上高
くなる。例えば、数百Åの波長を用いたＸ線顕微鏡で
は、５０ｎｍ前後の分解能が期待できる。加えて、小型
で高輝度のレーザープラズマ光源の出現は、ラボラトリ
ーユースのＸ線顕微鏡の開発を促進させた。このように
Ｘ線顕微鏡は、次世代の優れた顕微鏡として期待でき
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、軟Ｘ線のメリ
ットを生かして、生体観察用顕微鏡を開発する場合、幾
つかの技術的問題がある。その一つは、軟Ｘ線が大気中
では透過率が非常に低いので、Ｘ線顕微鏡の全光学系を
真空容器内に収納することの必要である。したがって、
生きた生体を湿った状態で観察するには、生体が真空乾
燥されず、また、真空系の真空度が低下しないように、
生体を観察用の特別な試料容器に入れて真空環境から隔
離しなければならない。
ットを生かして、生体観察用顕微鏡を開発する場合、幾
つかの技術的問題がある。その一つは、軟Ｘ線が大気中
では透過率が非常に低いので、Ｘ線顕微鏡の全光学系を
真空容器内に収納することの必要である。したがって、
生きた生体を湿った状態で観察するには、生体が真空乾
燥されず、また、真空系の真空度が低下しないように、
生体を観察用の特別な試料容器に入れて真空環境から隔
離しなければならない。
【０００５】提案されているこの種の試料容器の一つを
図２の説明図で示す（特開昭６３−２９８２００号公
報）。１１はシリコン基板１２表面に形成した厚さ０．
３μｍ程度の窒化シリコン薄膜、１３は材質がシリコン
系のスペーサ、１４は観察する生体試料を収納する内部
の空間、１１ａは窒化シリコン薄膜１１の一部を占める
入射窓又は射出窓である。
図２の説明図で示す（特開昭６３−２９８２００号公
報）。１１はシリコン基板１２表面に形成した厚さ０．
３μｍ程度の窒化シリコン薄膜、１３は材質がシリコン
系のスペーサ、１４は観察する生体試料を収納する内部
の空間、１１ａは窒化シリコン薄膜１１の一部を占める
入射窓又は射出窓である。
【０００６】試料容器の製法を概略述べれば、ＣＶＤ法
により窒化シリコン薄膜１１をシリコン基板表面にコー
ティングし、次に、異方性エッチング処理をして、入射
窓又は射出窓１１ａとなる部分のシリコン基板を取り除
いて、一対のシリコン基板１２−窒化シリコン薄膜１１
よりなる一体構造体を構成する。このようにして構成し
た一対のシリコン基板１２−窒化シリコン薄膜１１の一
体構造体の空間１４部分に生体試料を含む水溶液を入れ
た後、シリコン系接着剤等でスペーサ１３とこの一対の
一体構造体を接合し、生体試料を含む水溶液を試料容器
内に密封する。紙面に平行な端面については、必要があ
ればシリコン系密封剤で密封処置する。
により窒化シリコン薄膜１１をシリコン基板表面にコー
ティングし、次に、異方性エッチング処理をして、入射
窓又は射出窓１１ａとなる部分のシリコン基板を取り除
いて、一対のシリコン基板１２−窒化シリコン薄膜１１
よりなる一体構造体を構成する。このようにして構成し
た一対のシリコン基板１２−窒化シリコン薄膜１１の一
体構造体の空間１４部分に生体試料を含む水溶液を入れ
た後、シリコン系接着剤等でスペーサ１３とこの一対の
一体構造体を接合し、生体試料を含む水溶液を試料容器
内に密封する。紙面に平行な端面については、必要があ
ればシリコン系密封剤で密封処置する。
【０００７】しかし、このような試料容器の採用にも問
題がある。まず、Ｘ線顕微鏡の光源が白色で、しかも検
出器としてＣＣＤ等の固体検出器を利用する場合、試料
容器を構成するシリコン系の超薄膜は可視光も透過する
ため、軟Ｘ線以外の可視光も検出され、目的とする軟Ｘ
線による顕微鏡像が得られない。また、Ｘ線光源がレー
ザープラズマ光源の場合、光源からの飛散粒子により、
試料容器の破損を生ずる虞れがある。
題がある。まず、Ｘ線顕微鏡の光源が白色で、しかも検
出器としてＣＣＤ等の固体検出器を利用する場合、試料
容器を構成するシリコン系の超薄膜は可視光も透過する
ため、軟Ｘ線以外の可視光も検出され、目的とする軟Ｘ
線による顕微鏡像が得られない。また、Ｘ線光源がレー
ザープラズマ光源の場合、光源からの飛散粒子により、
試料容器の破損を生ずる虞れがある。
【０００８】本発明は、上記の事情に鑑みてなされたも
のであり、試料容器において光源側の超薄膜に金属薄膜
をコーティングし、検出器の手前で可視光を含め軟Ｘ線
より波長の長い光を除去するとともに、試料容器の超薄
膜部分を補強したＸ線顕微鏡用試料容器の提供を目的と
している。
のであり、試料容器において光源側の超薄膜に金属薄膜
をコーティングし、検出器の手前で可視光を含め軟Ｘ線
より波長の長い光を除去するとともに、試料容器の超薄
膜部分を補強したＸ線顕微鏡用試料容器の提供を目的と
している。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明のＸ線顕微鏡用試
料容器は、少なくとも入射窓と射出窓を有し、観察する
生体試料を内部に収納する空間を構成してあるＸ線顕微
鏡用試料容器において、前記窓に金属をコーティングし
てあることを特徴としている。
料容器は、少なくとも入射窓と射出窓を有し、観察する
生体試料を内部に収納する空間を構成してあるＸ線顕微
鏡用試料容器において、前記窓に金属をコーティングし
てあることを特徴としている。
【００１０】
【実施例】図１は、本発明のＸ線顕微鏡用試料容器の一
実施例についての説明図である。図中、１は一方のシリ
コン基板２表面にＣＶＤ形成した光源側の厚さ０．３μ
ｍの窒化シリコン薄膜で、シリコン基板２に接しない部
分は入射窓１ａである。３は他方のシリコン基板２表面
にＣＶＤ形成した検出器側の厚さ０．３μｍの窒化シリ
コン薄膜で、シリコン基板２に接しない部分は射出窓１
ｂである。４は光源側の窒化シリコン薄膜１上に積層し
た厚さ０．１μｍのアルミニウム薄膜である。５は材質
がシリコン系のスペーサ、６は観察する生体試料を封入
する内部の空間である。
実施例についての説明図である。図中、１は一方のシリ
コン基板２表面にＣＶＤ形成した光源側の厚さ０．３μ
ｍの窒化シリコン薄膜で、シリコン基板２に接しない部
分は入射窓１ａである。３は他方のシリコン基板２表面
にＣＶＤ形成した検出器側の厚さ０．３μｍの窒化シリ
コン薄膜で、シリコン基板２に接しない部分は射出窓１
ｂである。４は光源側の窒化シリコン薄膜１上に積層し
た厚さ０．１μｍのアルミニウム薄膜である。５は材質
がシリコン系のスペーサ、６は観察する生体試料を封入
する内部の空間である。
【００１１】本発明のＸ線顕微鏡用試料容器の製法を概
略述べれば、光源側の窒化シリコン薄膜１及び検出器側
の窒化シリコン薄膜３は、ＣＶＤ法によりそれぞれ別の
シリコン基板表面に厚さ０．３μｍのコーティングによ
り形成される。次に、異方性エッチング処理をして、入
射窓１ａと射出窓１ｂとなる部分のシリコン基板をそれ
ぞれ取り除いて、窒化シリコン薄膜１−シリコン基板
２，窒化シリコン薄膜３−シリコン基板２よりなる一対
の一体構造体を形成する。更に、光源側の窒化シリコン
薄膜１−シリコン基板２の一体構造体に対して、窒化シ
リコン薄膜１上にアルミニウムを蒸着し、厚さ０．１μ
ｍのアルミニウム薄膜を積層する。そうして、生体試料
を封入する内部の空間６に相当する部分に湿った生体試
料を配してから、シリコン系接着剤等でスペーサ５とこ
れらの一体構造体を接合する。紙面に平行な端面につい
ては、必要があればシリコン系密封剤で密封処置する。
略述べれば、光源側の窒化シリコン薄膜１及び検出器側
の窒化シリコン薄膜３は、ＣＶＤ法によりそれぞれ別の
シリコン基板表面に厚さ０．３μｍのコーティングによ
り形成される。次に、異方性エッチング処理をして、入
射窓１ａと射出窓１ｂとなる部分のシリコン基板をそれ
ぞれ取り除いて、窒化シリコン薄膜１−シリコン基板
２，窒化シリコン薄膜３−シリコン基板２よりなる一対
の一体構造体を形成する。更に、光源側の窒化シリコン
薄膜１−シリコン基板２の一体構造体に対して、窒化シ
リコン薄膜１上にアルミニウムを蒸着し、厚さ０．１μ
ｍのアルミニウム薄膜を積層する。そうして、生体試料
を封入する内部の空間６に相当する部分に湿った生体試
料を配してから、シリコン系接着剤等でスペーサ５とこ
れらの一体構造体を接合する。紙面に平行な端面につい
ては、必要があればシリコン系密封剤で密封処置する。
【００１２】特願平４−５８０４０号公報によれば、厚
さ０．１μｍのアルミニウム薄膜に対する波長３９．８
Åの光の透過率は０．５３である。一方、厚さ０．１μ
ｍのアルミニウム薄膜に対する可視光の透過率は２．３
×１０-7であるので、Ｘ線顕微鏡の検出器としてＣＣＤ
等の固体検出器を利用する場合の、理想的なフィルター
になっている。本実施例の試料容器は、射出窓１ｂ（検
出器側の窓）が可視光に対して透明であるので、検出器
側から照明し、可視光で生体試料の観察が可能である。
なお、本実施例では、光源側の窒化シリコン薄膜１−シ
リコン基板２の一体構造体に対して、窒化シリコン薄膜
１上にアルミニウムを蒸着し、厚さ０．１μｍのアルミ
ニウム薄膜を積層したが、コーティングする金属はアル
ミニウムに限られることはなく、可視光、紫外光を反射
若しくは吸収し、Ｘ線を透過するものであればよい。
さ０．１μｍのアルミニウム薄膜に対する波長３９．８
Åの光の透過率は０．５３である。一方、厚さ０．１μ
ｍのアルミニウム薄膜に対する可視光の透過率は２．３
×１０-7であるので、Ｘ線顕微鏡の検出器としてＣＣＤ
等の固体検出器を利用する場合の、理想的なフィルター
になっている。本実施例の試料容器は、射出窓１ｂ（検
出器側の窓）が可視光に対して透明であるので、検出器
側から照明し、可視光で生体試料の観察が可能である。
なお、本実施例では、光源側の窒化シリコン薄膜１−シ
リコン基板２の一体構造体に対して、窒化シリコン薄膜
１上にアルミニウムを蒸着し、厚さ０．１μｍのアルミ
ニウム薄膜を積層したが、コーティングする金属はアル
ミニウムに限られることはなく、可視光、紫外光を反射
若しくは吸収し、Ｘ線を透過するものであればよい。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように本発明のＸ線顕微鏡
用試料容器は、軟Ｘ線より長波長領域の光を検出器手前
で除去し、軟Ｘ線による顕微鏡像を確実に得ることがで
きる。Ｘ線光源がレーザープラズマ光源の場合、光源か
ら放出される飛散粒子による容器破損の虞れがある。入
射窓１ａ（光源側の窓）を金属コーティングした結果、
その部分の力学的強度が向上し、この種の破損を避ける
ことができる。更に、圧力差による窓の破損も軽減され
る。
用試料容器は、軟Ｘ線より長波長領域の光を検出器手前
で除去し、軟Ｘ線による顕微鏡像を確実に得ることがで
きる。Ｘ線光源がレーザープラズマ光源の場合、光源か
ら放出される飛散粒子による容器破損の虞れがある。入
射窓１ａ（光源側の窓）を金属コーティングした結果、
その部分の力学的強度が向上し、この種の破損を避ける
ことができる。更に、圧力差による窓の破損も軽減され
る。
【図１】本発明のＸ線顕微鏡用試料容器の一実施例につ
いての説明図である。
いての説明図である。
【図２】Ｘ線顕微鏡用試料容器における従来の構造につ
いての説明図である。
いての説明図である。
【図３】（ａ）結像素子であるウォルター型斜入射光学
系の基本構成を示す図である。 （ｂ）結像素子であるフレネルゾーンプレートの基本構
成を示す図である。 （ｃ）結像素子である直入射型のシュワルツシルド型光
学系の基本構成を示す図である。
系の基本構成を示す図である。 （ｂ）結像素子であるフレネルゾーンプレートの基本構
成を示す図である。 （ｃ）結像素子である直入射型のシュワルツシルド型光
学系の基本構成を示す図である。
１ 光源側の窒化シリコン薄膜 １ａ 入射窓（光源側の窓） １ｂ 射出窓（検出器側の窓） ２ シリコン基板 ３ 検出器側の窒化シリコン薄膜 ４ アルミニウム薄膜 ５ スペーサ ６ 観察する生体試料を封入する空間
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年１０月５日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、軟Ｘ線のメリ
ットを生かして、生体観察用顕微鏡を開発する場合、幾
つかの技術的問題がある。その一つとしては、軟Ｘ線は
大気中では透過率が非常に低いので、Ｘ線顕微鏡の全光
学系を真空容器内に収納することが必要である。したが
って、生きた生体を湿った状態で観察するには、生体が
真空乾燥されず、また、真空系の真空度が低下しないよ
うに、生体を観察用の特別な試料容器に入れて真空環境
から隔離しなければならない。
ットを生かして、生体観察用顕微鏡を開発する場合、幾
つかの技術的問題がある。その一つとしては、軟Ｘ線は
大気中では透過率が非常に低いので、Ｘ線顕微鏡の全光
学系を真空容器内に収納することが必要である。したが
って、生きた生体を湿った状態で観察するには、生体が
真空乾燥されず、また、真空系の真空度が低下しないよ
うに、生体を観察用の特別な試料容器に入れて真空環境
から隔離しなければならない。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１２】特願平４−５８０４０号公報によれば、厚
さ０．１μｍのアルミニウム薄膜に対する波長３９．８
Åの光の透過率は０．５３である。一方、厚さ０．１μ
ｍのアルミニウム薄膜に対する可視光の透過率は２．３
×１０-7であるので、Ｘ線顕微鏡の検出器としてＣＣＤ
等の固体検出器を利用する場合の、理想的なフィルター
になっている。本実施例の試料容器は、射出窓１ｂ（検
出器側の窓）が可視光に対して透明であるので、検出器
側から照明し、可視光で生体試料の観察が可能である。
本実施例では、光源側の窒化シリコン薄膜１−シリコン
基板２の一体構造体に対して、窒化シリコン薄膜１上に
アルミニウムを蒸着し、厚さ０．１μｍのアルミニウム
薄膜を積層したが、コーティングする金属はアルミニウ
ムに限られることはなく、可視光、紫外光を反射若しく
は吸収し、Ｘ線を透過するものであればよい。なお、本
実施例では従来技術に合わせて、シリコン系のスペーサ
５を用いてＸ線顕微鏡用試料容器を構成したが、特にシ
リコン系に限るものではなく、真空度に影響されないも
のならば、ズペーサ５の材質はいかなるものでも差し支
えない。
さ０．１μｍのアルミニウム薄膜に対する波長３９．８
Åの光の透過率は０．５３である。一方、厚さ０．１μ
ｍのアルミニウム薄膜に対する可視光の透過率は２．３
×１０-7であるので、Ｘ線顕微鏡の検出器としてＣＣＤ
等の固体検出器を利用する場合の、理想的なフィルター
になっている。本実施例の試料容器は、射出窓１ｂ（検
出器側の窓）が可視光に対して透明であるので、検出器
側から照明し、可視光で生体試料の観察が可能である。
本実施例では、光源側の窒化シリコン薄膜１−シリコン
基板２の一体構造体に対して、窒化シリコン薄膜１上に
アルミニウムを蒸着し、厚さ０．１μｍのアルミニウム
薄膜を積層したが、コーティングする金属はアルミニウ
ムに限られることはなく、可視光、紫外光を反射若しく
は吸収し、Ｘ線を透過するものであればよい。なお、本
実施例では従来技術に合わせて、シリコン系のスペーサ
５を用いてＸ線顕微鏡用試料容器を構成したが、特にシ
リコン系に限るものではなく、真空度に影響されないも
のならば、ズペーサ５の材質はいかなるものでも差し支
えない。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 持丸 象一郎 東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オリ ンパス光学工業株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 少なくとも入射窓と射出窓を有し、観察
する生体試料を内部に収納する空間を構成してあるＸ線
顕微鏡用試料容器において、前記窓に金属をコーティン
グしてあることを特徴とするＸ線顕微鏡用試料容器。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22895192A JPH0674879A (ja) | 1992-08-27 | 1992-08-27 | Ｘ線顕微鏡用試料容器 |
| US08/425,233 US5528646A (en) | 1992-08-27 | 1995-04-18 | Sample vessel for X-ray microscopes |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22895192A JPH0674879A (ja) | 1992-08-27 | 1992-08-27 | Ｘ線顕微鏡用試料容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0674879A true JPH0674879A (ja) | 1994-03-18 |
Family
ID=16884419
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22895192A Withdrawn JPH0674879A (ja) | 1992-08-27 | 1992-08-27 | Ｘ線顕微鏡用試料容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0674879A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0751533A1 (en) * | 1995-06-26 | 1997-01-02 | Shimadzu Corporation | X-ray microscope |
| JPH11160500A (ja) * | 1997-11-28 | 1999-06-18 | Japan Science & Technology Corp | Ｘ線顕微鏡 |
| WO2010134282A1 (ja) * | 2009-05-22 | 2010-11-25 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | Ｘ線顕微鏡用試料支持部材、試料収容セル、ｘ線顕微鏡、およびｘ線顕微鏡像の観察方法 |
| JP2015530561A (ja) * | 2012-07-09 | 2015-10-15 | 財團法人國家衛生研究院Ｎａｔｉｏｎａｌ Ｈｅａｌｔｈ Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅｓ | 透過型電子顕微鏡のための標本調製 |
| JP2016177915A (ja) * | 2015-03-19 | 2016-10-06 | 大日本印刷株式会社 | 試料収容セル |
-
1992
- 1992-08-27 JP JP22895192A patent/JPH0674879A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0751533A1 (en) * | 1995-06-26 | 1997-01-02 | Shimadzu Corporation | X-ray microscope |
| JPH11160500A (ja) * | 1997-11-28 | 1999-06-18 | Japan Science & Technology Corp | Ｘ線顕微鏡 |
| WO2010134282A1 (ja) * | 2009-05-22 | 2010-11-25 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | Ｘ線顕微鏡用試料支持部材、試料収容セル、ｘ線顕微鏡、およびｘ線顕微鏡像の観察方法 |
| JP2011007766A (ja) * | 2009-05-22 | 2011-01-13 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | Ｘ線顕微鏡用試料支持部材、試料収容セル、ｘ線顕微鏡、およびｘ線顕微鏡像の観察方法 |
| JP2015530561A (ja) * | 2012-07-09 | 2015-10-15 | 財團法人國家衛生研究院Ｎａｔｉｏｎａｌ Ｈｅａｌｔｈ Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅｓ | 透過型電子顕微鏡のための標本調製 |
| JP2016177915A (ja) * | 2015-03-19 | 2016-10-06 | 大日本印刷株式会社 | 試料収容セル |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991102 |