JP6954232B2 - Ｘ線検査装置およびｘ線検査装置におけるｘ線管のターゲットの消耗度判定方法 - Google Patents

Description

この発明は、Ｘ線検査装置およびＸ線検査装置におけるＸ線管のターゲットの消耗度判定方法に関する。

Ｘ線検査装置の一種として、Ｘ線を利用して立体形状を有する検査対象物を破壊することなくその内部構造を検査するＸ線検査装置がある。このようなＸ線検査装置は、検査対象物にＸ線を出射するためのＸ線管と、このＸ線管から出射され検査対象物と透過したＸ線を検出するフラットパネルディテクタやイメージインテンシファイア（Ｉ．Ｉ．）等のＸ線検出器とを有するＸ線撮影系と、Ｘ線管とＸ線検出器との間に配置され、その上面に検査対象物が載置されるステージと、ステージとＸ線撮影系とを相対的に移動させる移動機構とを備えている。

このようなＸ線検査装置に使用されるＸ線管は、高電圧が印加されるフィラメント（陰極）とターゲット（陽極）とを備えており、高電圧が印加された状態でフィラメントから放出された熱電子からなる電子ビームをターゲットに衝突させることによってＸ線を発生させる構成を有する。

このようなＸ線管においては、ターゲットは電子ビームとの衝突を繰り返すことにより消耗する。すなわち、ターゲットは、Ｘ線の発生時間とともに徐々に消耗する。そして、ターゲットの消耗にともなって、一定の管電圧および管電流の下で発生するＸ線の強さ（Ｘ線量）が小さくなることが知られている（特許文献１参照）。このため、一定の管電圧および管電流の下で発生するＸ線の強さを測定することにより、ターゲットの消耗度を推定することができる。

国際公開ＷＯ２００３／０９２３３６号

しかし実際は、Ｘ線管から出射されるＸ線量の変動はそれほど単純ではない。図６は、Ｘ線管から出射されるＸ線のＸ線量の経時変化を示すグラフである。

図６に示すグラフは、ターゲットが消耗したＸ線管で、Ｘ線管から出射されるＸ線をＸ線検出器により検出し、３０分間の間、サンプリング周期を１秒として測定することにより得たＸ線量の測定結果を示している。なお、このグラフの横軸は時間（分）を示し、縦軸は一分当たりのＸ線量（Ｒ／ｍｉｎ）を示している。

この図に示すように、Ｘ線管から出射されるＸ線量は、経時的に増減する。例えば、このグラフに示す測定結果においては、Ｘ線管の駆動直後にＸ線量は最大値Ｉｍａｘとなり、約１０分経過後に最小値Ｉｍｉｎとなる。そして、Ｘ線量はその前後においてわずかな増減を繰り返す。これは、電子ビームの衝突にともなうターゲットやターゲットを支持する部材の熱膨張により、ターゲットにおける電子ビームの衝突位置（焦点位置）が線量測定中に変化することによるものと推定される。すなわち、ターゲットにおける劣化領域に電子ビームが衝突したときにはＸ線量が低下し、ターゲットにおける劣化していない領域に電子ビームが衝突したときにはＸ線量が増加する。このため、Ｘ線量が増加し、あるいは減少したタイミングでＸ線量を測定してターゲットの消耗度を判定したときには、正確な消耗度が反映されないという問題が生ずる。

この発明は上記課題を解決するためになされたものであり、Ｘ線量に経時的な変化が生じたときにも、ターゲットの消耗度を正確に推定することが可能なＸ線検査装置およびＸ線検査装置におけるＸ線管のターゲットの消耗度判定方法を提供することを目的とする。

請求項１に記載の発明は、電子ビームをターゲットに衝突させることによりＸ線を発生させるＸ線管と、前記Ｘ線管から出射され検査対象物を透過したＸ線を検出するＸ線検出器と、を備えたＸ線検査装置において、前記Ｘ線管から出射されたＸ線を所定の期間前記Ｘ線検出器により検出することによりその期間のＸ線量を検出し、その期間におけるＸ線量の最大値ＩｍａｘとＸ線量の最小値Ｉｍｉｎとを測定する測定部と、前記測定部により測定した前記Ｘ線量の最大値Ｉｍａｘと前記Ｘ線量の最小値Ｉｍｉｎとを利用してＸ線量の変動率を演算する演算部と、前記演算部により演算した前記Ｘ線量の変動率を表示する変動率表示部と、を備えたことを特徴とする。

請求項２に記載の発明は、電子ビームをターゲットに衝突させることによりＸ線を発生させるＸ線管と、前記Ｘ線管から出射され検査対象物を透過したＸ線を検出するＸ線検出器と、を備えたＸ線検査装置において、前記Ｘ線管から出射されたＸ線を所定の期間前記Ｘ線検出器により検出することによりその期間のＸ線量を検出し、その期間におけるＸ線量の最大値ＩｍａｘとＸ線量の最小値Ｉｍｉｎとを測定する測定部と、前記測定部により測定した前記Ｘ線量の最大値Ｉｍａｘと前記Ｘ線量の最小値Ｉｍｉｎとを利用してＸ線量の変動率を演算する演算部と、前記演算部により演算した前記Ｘ線量の変動率が予め設定した閾値を越えたときに、前記ターゲットが消耗していると判定する判定部と、を備えたことを特徴とする。

請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載のＸ線検査装置において、前記演算部は、前記Ｘ線の変動率を、［（Ｉｍａｘ−Ｉｍｉｎ）／Ｉｍａｘ］に基づいて演算する。

請求項４に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載のＸ線検査装置において、前記演算部は、前記Ｘ線の変動率を、［Ｉｍｉｎ／Ｉｍａｘ］に基づいて演算する。

請求項５に記載の発明は、請求項１から請求項４のいずれかに記載のＸ線検査装置において、前記測定部は、前記Ｘ線量の最大値Ｉｍａｘと前記Ｘ線量の最小値Ｉｍｉｎとを、前記Ｘ線検出器における一定エリアにおいて検出した検出値の平均値として測定する。

請求項６に記載の発明は、請求項１から請求項４のいずれかに記載のＸ線検査装置において、前記測定部は、前記Ｘ線量の最大値Ｉｍａｘと前記Ｘ線量の最小値Ｉｍｉｎとを、前記Ｘ線検出器における一定のエリアにおいて検出した検出値の分布のピーク値として測定する。

請求項７に記載の発明は、電子ビームをターゲットに衝突させることによりＸ線を発生するＸ線管と、前記Ｘ線管から出射され検査対象物を透過したＸ線を検出するＸ線検出器と、を備えたＸ線検査装置において、前記ターゲットの消耗度を判定するＸ線検査装置におけるＸ線管のターゲットの消耗度判定方法であって、前記Ｘ線管から出射されたＸ線を所定の期間前記Ｘ線検出器により検出することによりその期間のＸ線量を検出し、その期間におけるＸ線量の最大値ＩｍａｘとＸ線量の最小値Ｉｍｉｎとを測定し、前記Ｘ線量の最大値Ｉｍａｘと前記Ｘ線量の最小値Ｉｍｉｎとを利用してＸ線量の変動率を演算し、前記Ｘ線量の変動率から、前記ターゲットの消耗度を判定する、ことを特徴とする。

請求項１から請求項７に記載の発明によれば、一定の期間におけるＸ線量の最大値ＩｍａｘとＸ線量の最小値Ｉｍｉｎとを利用してＸ線量の変動率を演算し、この演算値に基づいてターゲットの消耗を判定することから、Ｘ線量の経時的な変化が生じたときにも、ターゲットの消耗度を正確に推定することが可能となる。

請求項５および請求項６に記載の発明によれば、Ｘ線検出器における画素欠陥によって異常値があった場合においても、一定エリアにおいて検出した検出値の平均値や輝度の分布のピーク値を使用することにより、ターゲットの消耗度を正確に推定することが可能となる。

この発明に係るＸ線検査装置をその主要な制御系とともに示す概要図である。 Ｘ線管１を備えたＸ線発生部４１の概要図である。 Ｘ線管１から出射されるＸ線のＸ線量と、そのＸ線をＸ線検出器４２により検出したときの各画素の輝度値との関係を示すグラフである。 Ｘ線量の最大値ＩｍａｘとＸ線量の最小値Ｉｍｉｎとに基づいて演算した［（Ｉｍａｘ−Ｉｍｉｎ）／Ｉｍａｘ］の値とＸ線管１の駆動時間との関係を示すグラフである。 Ｘ線量の最大値ＩｍａｘとＸ線量の最小値Ｉｍｉｎとに基づいて演算した［Ｉｍｉｎ／Ｉｍａｘ］の値とＸ線管１の駆動時間との関係を示すグラフである。 Ｘ線管から出射されるＸ線のＸ線量の経時変化を示すグラフである。

以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、この発明に係るＸ線検査装置をその主要な制御系とともに示す概要図である。

この発明に係るＸ線検査装置は、被検査物であるワークＷにＸ線を出射するための後述するＸ線管１を備えたＸ線発生部４１と、このＸ線発生部４１から出射された後、ワークＷを透過したＸ線を検出するフラットパネルディテクタやイメージインテンシファイア（Ｉ．Ｉ．）等のＸ線検出器４２と、これらのＸ線発生部４１およびＸ線検出器４２の間に配設されたワークＷを載置するためのステージ４０とを備える。ステージ４０は、図示しないモータを備えたステージ移動機構４３の作用により、水平面内において互いに直交する２方向に移動可能となっている。これらのＸ線発生部４１、Ｘ線検出器４２、ステージ４０およびステージ移動機構４３は、Ｘ線遮蔽部材より構成されるケーシング１００の内部に配設されている。

図２は、Ｘ線管１を備えたＸ線発生部４１の概要図である。

このＸ線発生部４１は、筐体３と蓋体４とから構成されるチャンバー内に、Ｘ線管１と高電圧発生部２とを収納した構成を有する。筐体３と蓋体４とから構成されるチャンバー内には、絶縁油が充填されている。なお、絶縁方法は絶縁油を使用するものに限らず、絶縁性の個体や気体を使用してもよい。

Ｘ線管１は、ガラス管体１５と、ガラス管体１５の内外に亘って配設された複数の端子２３とを備える。また、ガラス管体１５内には、フィラメント１１と、ヒータ１２と、ターゲット１３とが配設されている。ここで、フィラメント１１は、ターゲット１３に向かって電子ビームを放射するためのものである。フィラメント１１から放射された電子ビームはターゲット１３と衝突することによりＸ線を発生する。このＸ線はＸ線管１の外部に向かって出射される。また、ヒータ１２は、ゲッターとも呼称されるものであり、ガラス管体１５内のガス分子を吸着するために使用される。

ターゲット１３は、高電圧発生部２における端子２１と、ケーブル２５を介して接続されており、高電圧発生部２から電子ビームを加速するための高電圧を付与される。ケーブル２５は、筐体３の天井部に配設された支持部材２６により支持されている。また、上述したフィラメント１１およびヒータ１２に接続されたＸ線管１における端子２３は、高電圧発生部２における端子２２と、ケーブル２４を介して接続されている。フィラメント１１は、これらの端子２２、ケーブル２４および端子２３を介して、高電圧発生部２よりフィラメント電流を付与される。また、ヒータ１２は、これらの端子２２、ケーブル２４および端子２３を介して、高電圧発生部２よりヒータ電流を付与される。

なお、図２においては、フィラメント１１やターゲット１３等を密封容器であるガラス管体１５内に配置した密閉型の構成を有するＸ線管１を採用している。しかしながら、この発明を、フィラメント１１やターゲット１３等を単体として交換可能な開放型のＸ線管を備えたＸ線検査装置に適用することもできる。

再度図１を参照して、この発明に係るＸ線検査装置は、プロセッサーとしての論理演算を実行するＣＰＵ、装置の制御に必要な動作プログラムが格納されたＲＯＭ、制御時にデータ等が一時的にストアされるＲＡＭ等を備え、装置全体を制御する制御部３０を備える。この制御部３０は、ソフトウエアがインストールされたコンピュータから構成される。この制御部３０に含まれる各部の機能は、コンピュータにインストールされているソフトウエアを実行することで実現される。

この制御部３０は、Ｘ線検出器４２により検出したＸ線画像や後述するＸ線量の変動率等を表示する液晶表示パネル等の表示部４４と、各種の操作を実行するためのマウスやキーボード等を備えた操作部４５とに接続されている。また、この制御部３０は、機能的構成として、Ｘ線検出器４２により検出されたＸ線画像を画像処理して表示部４４に表示するための画像処理部３１と、ステージ移動機構４３を制御するための移動制御部３２と、Ｘ線管１を点灯制御するためのＸ線管制御部３３と、Ｘ線管１におけるターゲット１３の消耗度を判定するための消耗度判定部３４とを備える。

また、この消耗度判定部３４は、ワークＷがステージ４０上に載置されていない状態において、Ｘ線管１から出射されたＸ線を所定の期間、Ｘ線検出器４２により検出することによりその期間のＸ線量を検出し、その期間におけるＸ線量の最大値ＩｍａｘとＸ線量の最小値Ｉｍｉｎとを測定する測定部３５と、この測定部３５により測定したＸ線量の最大値ＩｍａｘとＸ線量の最小値Ｉｍｉｎとを利用してＸ線量の変動率を演算する演算部３６と、この演算部３６により演算したＸ線量の変動率が予め設定した閾値を越えたときに、Ｘ線管１のターゲット１３が消耗していると判定する判定部３７と、この判定部３７がＸ線管１のターゲット１３が消耗していると判定したときに警告表示を行う警告表示部３８と、演算部３６により演算したＸ線量の変動率を表示部４４に表示するための変動率表示部３９とを備える。

このようなＸ線検査装置に使用されるＸ線管１においては、その使用時間が長くなると、ターゲット１３は電子ビームとの衝突を繰り返すことにより消耗する。そして、ターゲット１３が消耗すると、Ｘ線管１から出射されるＸ線のＸ線量の変動が大きくなることがこの発明の発明者等により認識された。すなわち、Ｘ線管１から連続してＸ線を出射し、連続出射時間が１０００時間毎に、そのＸ線量を３０分間継続して測定するとともに、その３０分間のＸ線量の変動を測定したところ、Ｘ線管１の連続出射時間が長くなり、ターゲット１３が消耗するにつれて、Ｘ線管１から出射されるＸ線のＸ線量の変動が大きくなることが確認されている。

このため、このＸ線検査装置においては、例えば３０分程度の一定期間におけるＸ線量の最大値と最小値に基づいてＸ線量の変動を測定してＸ線量の変動率を演算することにより、ターゲット１３の消耗度を判定するとともに、その変動率が予め設定した閾値を越えたときにターゲット１３が交換を要する程度まで消耗していると判定し、Ｘ線管１もしくはターゲット１３の交換を促す警告表示を行うようにしている。

なお、このＸ線検査装置においては、エージング時にターゲット１３の消耗度が判定される。すなわち、一日の作業の開始時や、一定の期間使用しない状態が続いた後に使用を再開するときには、Ｘ線管１に低い管電圧を印加させたのち、管電圧を徐々に高くしていくことにより、電界集中の原因となるターゲット１３と同電位の高電圧印加部の突起等の異物を融解して、なだらかな等電位面を形成し、耐高電圧特性を向上させる所謂エージングと呼称される作業が実施される。この時に、所定の管電圧と管電流においてＸ線検出器４２により検出したＸ線画像の画素値を利用してターゲット１３の消耗度が判定される。ただし、ターゲット１３の消耗度の判定は、その他のタイミングで実施してもよい。

ターゲット１３の消耗度を判定するときには、最初に、消耗度判定部３４における測定部３５が、ワークＷがステージ４０上に載置されていない状態、すなわちＸ線発生部４１からＸ線検出器４２に対して均一なＸ線を出射しうる状態において、Ｘ線管１から出射されたＸ線を所定の期間、Ｘ線検出器４２により検出することにより、その期間のＸ線量を検出する。このＸ線量は、Ｘ線検出器４２により検出したＸ線強度を表す各画素の輝度値に基づいて、測定部３５により演算される。

図３は、Ｘ線管１から出射されるＸ線のＸ線量と、そのＸ線をＸ線検出器４２により検出したときの各画素の輝度値との関係を示すグラフである。

このグラフにおいては、Ｘ線管１に付与する管電圧を、例として、８０ｋＶ、６０ｋＶ、４０ｋＶとし、管電流を徐々に増加されたときのＸ線量と輝度値との関係を示している。なお、このグラフにおける縦軸はＸ線量（Ｒ／ｍｉｎ）を示し、横軸は輝度値（任意単位）を示している。このグラフに示すように、Ｘ線管１から出射されるＸ線量とＸ線検出器４２によりＸ線を検出したときの各画素の輝度値とは比例関係にある。このため、Ｘ線管１から出射されたＸ線をＸ線検出器４２により検出することで、Ｘ線検出器４２により測定した輝度値に基づいて、Ｘ線量を演算することが可能となる。

なお、このＸ線量の測定時においては、Ｘ線検出器４２における一定エリアの輝度の検出値の平均値に基づいて決定する。これにより、Ｘ線検出器４２の欠陥画素によって画素値に異常値があった場合においても、その平均値を利用することにより、その測定値の正確性を担保することが可能となる。なお、この一定のエリアは、Ｘ線検出器４２のＸ線検出エリアにおける中央付近の領域から選択することが好ましい。ただし、Ｘ線検出器４２におけるその他のエリアの平均値に基づいてＸ線量を演算してもよい。あるいは、Ｘ線検出器４２における全てのＸ線検出エリアの測定値の平均に基づいてＸ線量を演算するようにしてもよい。

このＸ線量の測定時において、Ｘ線検出器４２における一定エリアの輝度の検出値の平均値を利用するかわりに、Ｘ線量の最大値ＩｍａｘとＸ線量の最小値Ｉｍｉｎとを、Ｘ線検出器４２における一定のエリアにおいて検出した検出値の分布のピーク値として測定してもよい。すなわち、Ｘ線検出器４２における一定のエリアにおいて検出した検出値の最も大きいものをＸ線量の最大値Ｉｍａｘとし、最も小さいものをＸ線量の最小値Ｉｍｉｎとしてもよい。

Ｘ線管１から出射されたＸ線を、例えば３０分間の間、Ｘ線検出器４２により検出することにより測定されるＸ線量は、例えば、図６に示すグラフのような値をとる。このように経時的に測定されたＸ線量から、測定部３５は、この期間におけるＸ線量の最大値ＩｍａｘとＸ線量の最小値Ｉｍｉｎとを測定する。そして、演算部３６は、測定部３５により測定したＸ線量の最大値ＩｍａｘとＸ線量の最小値Ｉｍｉｎとを利用してＸ線量の変動率を演算する。

この変動率の演算結果は、変動率表示部３９により、表示部４４に表示される。これにより、オペレータは、Ｘ線の変動率を認識することができ、このＸ線の変動率に基づいてＸ線管１のターゲット１３の消耗を予測することが可能となる。

図４は、Ｘ線量の最大値ＩｍａｘとＸ線量の最小値Ｉｍｉｎとに基づいて演算した［（Ｉｍａｘ−Ｉｍｉｎ）／Ｉｍａｘ］の値とＸ線管１の運転時間との関係を示すグラフである。

この図において、縦軸は［（Ｉｍａｘ−Ｉｍｉｎ）／Ｉｍａｘ］の値を示し、横軸は運転時間（ｈ）を示している。この図において、ターゲット１３が消耗するとＸ線管１から出射されるＸ線のＸ線量の変動が大きくなることを基礎とし、演算部３６により演算された［（Ｉｍａｘ−Ｉｍｉｎ）／Ｉｍａｘ］の値が一定以上となったときに、ターゲット１３が、Ｘ線管１の交換が必要となる消耗度となったものと判定する構成を採用することができる。

すなわち、判定部３７が、［（Ｉｍａｘ−Ｉｍｉｎ）／Ｉｍａｘ］に基づいて演算されたＸ線量の変動率が予め設定した閾値を上方に越えたときに、Ｘ線管１のターゲット１３が消耗していると判定する。例えば、図４に示すグラフにおいて、［（Ｉｍａｘ−Ｉｍｉｎ）／Ｉｍａｘ］の値が０．１２より大きくなったときに、判定部３７は、Ｘ線管１のターゲット１３が消耗していると判定する。この時には、Ｘ線管１の駆動時間が８０００時間を経過したときに、判定部３７がＸ線管１のターゲット１３が消耗していると判定することになる。

そして、判定部３７がＸ線管１のターゲット１３が消耗していると判定したときには、警告表示部３８が、表示部４４に対して警告表示を行う。なお、この警告表示を、音または光により行ってもよい。

これにより、ターゲット１３の消耗が予め告知され、ターゲット１３あるいはＸ線管１の交換を促すことが可能となる。このため、ターゲット１３の消耗によりＸ線検査を実行し得なくなることを未然に防止することが可能となる。

Ｘ線量の最大値ＩｍａｘとＸ線量の最小値Ｉｍｉｎとを利用してＸ線量の変動率を演算する他の実施形態について説明する。図５は、Ｘ線量の最大値ＩｍａｘとＸ線量の最小値Ｉｍｉｎとに基づいて演算した［Ｉｍｉｎ／Ｉｍａｘ］の値とＸ線管１の運転時間との関係を示すグラフである。

この図において、縦軸は［Ｉｍｉｎ／Ｉｍａｘ］の値を示し、横軸は運転時間（ｈ）を示している。この図において、ターゲット１３が消耗するとＸ線管１から出射されるＸ線のＸ線量の変動が大きくなることを基礎とし、演算部３６により演算された［Ｉｍｉｎ／Ｉｍａｘ］の値が一定以下となったときに、ターゲット１３が、Ｘ線管１の交換が必要となる消耗度となったものと判定する構成を採用することができる。

すなわち、判定部３７が、［Ｉｍｉｎ／Ｉｍａｘ］に基づいて演算されたＸ線量の変動率が予め設定した閾値を下方に越えたときに、Ｘ線管１のターゲット１３が消耗していると判定する。例えば、図５に示すグラフにおいて、［Ｉｍｉｎ／Ｉｍａｘ］の値が０．８５より小さくなったとき、判定部３７は、Ｘ線管１のターゲット１３が消耗していると判定する。この時には、Ｘ線管１の駆動時間が８０００時間を経過したときに、判定部３７がＸ線管１のターゲット１３が消耗していると判定することになる。

そして、判定部３７がＸ線管１のターゲット１３が消耗していると判定したときには、警告表示部３８が、表示部４４に対して警告表示を行う。この実施形態においても、ターゲット１３の消耗が予め告知され、ターゲット１３あるいはＸ線管１の交換を促すことが可能となる。

なお、上述した実施形態においては、Ｘ線を利用して立体形状を有する検査対象物を破壊することなくその内部構造を検査するＸ線検査装置にこの発明を適用した場合について説明したが、例えば、被検者のＸ線画像を取得する医療用のＸ線検査装置等の、その他のＸ線検査装置にこの発明を適用してもよい。

１ Ｘ線管
２ 高電圧発生部
１１ フィラメント
１３ ターゲット
３０ 制御部
３１ 画像処理部
３２ 移動制御部
３３ Ｘ線管制御部
３４ 消耗度判定部
３５ 測定部
３６ 演算部
３７ 判定部
３８ 警告表示部
３９ 変動率表示部
４０ ステージ
４１ Ｘ線発生部
４２ Ｘ線検出器
４３ ステージ移動機構
４４ 表示部
４５ 操作部
３８ 警告表示部
３９ 変動率表示部
１００ ケーシング
Ｗ ワーク

Claims (7)

1. 電子ビームをターゲットに衝突させることによりＸ線を発生させるＸ線管と、前記Ｘ線管から出射され検査対象物を透過したＸ線を検出するＸ線検出器と、を備えたＸ線検査装置において、
   前記Ｘ線管から出射されたＸ線を所定の期間前記Ｘ線検出器により検出することによりその期間のＸ線量を検出し、その期間におけるＸ線量の最大値ＩｍａｘとＸ線量の最小値Ｉｍｉｎとを測定する測定部と、
   前記測定部により測定した前記Ｘ線量の最大値Ｉｍａｘと前記Ｘ線量の最小値Ｉｍｉｎとを利用してＸ線量の変動率を演算する演算部と、
   前記演算部により演算した前記Ｘ線量の変動率を表示する変動率表示部と、
   を備えたことを特徴とするＸ線検査装置。
2. 電子ビームをターゲットに衝突させることによりＸ線を発生させるＸ線管と、前記Ｘ線管から出射され検査対象物を透過したＸ線を検出するＸ線検出器と、を備えたＸ線検査装置において、
   前記Ｘ線管から出射されたＸ線を所定の期間前記Ｘ線検出器により検出することによりその期間のＸ線量を検出し、その期間におけるＸ線量の最大値ＩｍａｘとＸ線量の最小値Ｉｍｉｎとを測定する測定部と、
   前記測定部により測定した前記Ｘ線量の最大値Ｉｍａｘと前記Ｘ線量の最小値Ｉｍｉｎとを利用してＸ線量の変動率を演算する演算部と、
   前記演算部により演算した前記Ｘ線量の変動率が予め設定した閾値を越えたときに、前記ターゲットが消耗していると判定する判定部と、
   を備えたことを特徴とするＸ線検査装置。
3. 請求項１または請求項２に記載のＸ線検査装置において、
   前記演算部は、前記Ｘ線の変動率を、［（Ｉｍａｘ−Ｉｍｉｎ）／Ｉｍａｘ］に基づいて演算するＸ線検査装置。
4. 請求項１または請求項２に記載のＸ線検査装置において、
   前記演算部は、前記Ｘ線の変動率を、［Ｉｍｉｎ／Ｉｍａｘ］に基づいて演算するＸ線検査装置。
5. 請求項１から請求項４のいずれかに記載のＸ線検査装置において、
   前記測定部は、前記Ｘ線量の最大値Ｉｍａｘと前記Ｘ線量の最小値Ｉｍｉｎとを、前記Ｘ線検出器における一定エリアにおいて検出した検出値の平均値として測定するＸ線検査装置。
6. 請求項１から請求項４のいずれかに記載のＸ線検査装置において、
   前記測定部は、前記Ｘ線量の最大値Ｉｍａｘと前記Ｘ線量の最小値Ｉｍｉｎとを、前記Ｘ線検出器における一定のエリアにおいて検出した検出値の分布のピーク値として測定するＸ線検査装置。
7. 電子ビームをターゲットに衝突させることによりＸ線を発生するＸ線管と、前記Ｘ線管から出射され検査対象物を透過したＸ線を検出するＸ線検出器と、を備えたＸ線検査装置において、前記ターゲットの消耗度を判定するＸ線検査装置におけるＸ線管のターゲットの消耗度判定方法であって、
   前記Ｘ線管から出射されたＸ線を所定の期間前記Ｘ線検出器により検出することによりその期間のＸ線量を検出し、その期間におけるＸ線量の最大値ＩｍａｘとＸ線量の最小値Ｉｍｉｎとを測定し、
   前記Ｘ線量の最大値Ｉｍａｘと前記Ｘ線量の最小値Ｉｍｉｎとを利用してＸ線量の変動率を演算し、
   前記Ｘ線量の変動率から、前記ターゲットの消耗度を判定する、
   ことを特徴とするＸ線検査装置におけるＸ線管のターゲットの消耗度判定方法。

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