JP2014002023A - X線検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】X線管12がX線を停止してからのX線停止時間を計算する不使用時間計算部63と、X線管12の内部の真空度を検出する真空度検出部69と、不使用時間計算部63が計算したX線停止時間と真空度検出部69が検出した真空度に応じて、X線管12の真空度を回復するエージング動作のエージング条件を決定するエージング条件決定部54と、エージング条件決定部54が決定したエージング条件でエージング動作を実行する高圧電源制御部66と、を備える。
【選択図】図3
Description
2 搬送部
2a ベルト面
3 検出部
4 筐体
5 表示部(エージング残時間表示手段、真空度表示手段)
7 搬入口
8 搬出口
9 X線発生器
10 X線検出器(X線検出手段)
11 箱体
12 X線管
16 遮蔽カーテン
21 搬送路
21a 天井部
22 検査空間
40 制御回路
41 A/D変換部
42 X線画像記憶部
43 画像処理部
44 判定部(異物検出手段)
45 設定操作部
46 主制御部
51 X線管制御部
52 演算制御回路
53 受信部
54 エージング条件決定部(エージング条件決定手段)
55 X線制御部
56 エージング条件記録部
61 測定ユニット
62 X線管駆動部
63 不使用時間計算部(不使用時間計算手段)
64 送信部
65 X線管用高圧電源
66 高圧電源制御部(エージング動作実行手段)
67 オフ時刻記録部
68 不使用時間記録部
69 真空度検出部(真空度検出手段)
W 被検査物
Claims (4)
- 被検査物(W)にX線を照射するX線管(12)と、
前記被検査物を透過したX線を検出するX線検出手段(10)と、
前記X線検出手段が検出したX線透過量に基づいて前記被検査物中の異物を検出する異物検出手段(44)と、を備えたX線検査装置であって、
前記X線管がX線を停止してからのX線停止時間を計算する不使用時間計算手段(63)と、
前記X線管の内部の真空度を検出する真空度検出手段(69)と、
前記不使用時間計算手段が計算したX線停止時間と前記真空度検出手段が検出した真空度に応じて、前記X線管の真空度を回復するエージング動作のエージング条件を決定するエージング条件決定手段(54)と、
前記エージング条件決定手段が決定したエージング条件で前記エージング動作を実行するエージング動作実行手段(66)と、を備えたことを特徴とするX線検査装置。 - 前記エージング条件決定手段が、前記エージング条件として前記エージング動作を行うエージング時間を決定し、
前記エージング動作実行手段が前記エージング動作を実行しているとき、前記エージング条件決定手段が決定したエージング時間から既にエージング動作を実行した時間を減算してエージング動作の残り時間を表示するエージング残時間表示手段(5)を備えたことを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。 - 前記真空度検出手段が検出した真空度を表示する真空度表示手段(5)を備えたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のX線検査装置。
- 前記エージング条件決定手段が、エージング動作の実行後に、前記真空度検出手段が検出した真空度が所定値に満たないときは、エージング条件を再び決定し、
前記エージング動作実行手段が、前記エージング条件決定手段により再び決定されたエージング条件で前記エージング動作を再び実行することを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れかに記載のX線検査装置。
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JP2012137099A JP2014002023A (ja) | 2012-06-18 | 2012-06-18 | X線検査装置 |
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-
2012
- 2012-06-18 JP JP2012137099A patent/JP2014002023A/ja active Pending
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