CN110646446A - X射线检查装置及其x射线管的靶的消耗度判定方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种X射线检查装置及其X射线管的靶的消耗度判定方法，当在X射线量产生了经时的变化时，也可以正确地推测靶的消耗度。消耗度判定部(34)包括：测定部(35)，通过在规定的期间内利用X射线检测器(42)检测从X射线管(1)射出的X射线来检测所述期间的X射线量，并测定所述期间内的X射线量的最大值Imax与X射线量的最小值Imin；运算部(36)，利用由所述测定部(35)所测定的X射线量的最大值Imax与X射线量的最小值Imin对X射线量的变动率进行运算；判定部(37)，当通过所述运算部(36)所运算的X射线量的变动率已超过事先设定的阈值时，判定X射线管(1)的靶(13)正在消耗；以及警告显示部(38)，当所述判定部(37)判定X射线管(1)的靶(13)正在消耗时进行警告显示。

Description

X射线检查装置及其X射线管的靶的消耗度判定方法
技术领域
本发明涉及一种X射线检查装置及X射线检查装置中的X射线管的靶(target)的消耗度判定方法。
背景技术
作为X射线检查装置的一种，有不破坏具有立体形状的检查对象物而利用X射线检查其内部结构的X射线检查装置。此种X射线检查装置包括：X射线摄影系统，具有用于将X射线射出至检查对象物的X射线管、及检测从所述X射线管射出并透过了检查对象物的X射线的平板探测器(flat panel detector)或影像增强器(image intensifier)(I.I.)等的X射线检测器；平台，配置在X射线管与X射线检测器之间，在其上表面载置检查对象物；以及移动机构，使平台与X射线摄影系统相对地移动。
此种X射线检查装置所使用的X射线管包括被施加高电压的灯丝(filament)(阴极)与靶(阳极)，具有在施加有高电压的状态下使从灯丝放出的包含热电子的电子束碰撞靶由此产生X射线的结构。
在此种X射线管中，靶因重复与电子束的碰撞而消耗。即，靶随着X射线的产生时间而逐渐地消耗。而且，已知伴随靶的消耗，在固定的管电压及管电流下产生的X射线的强度(X射线量)变小(参照专利文献1)。因此，通过测定在固定的管电压及管电流下产生的X射线的强度，可推测靶的消耗度。
[现有技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]国际公开WO2003/092336号
发明内容
[发明所要解决的问题]
但是，实际上从X射线管射出的X射线量的变动并不那么简单。图6是表示从X射线管中射出的X射线的X射线量的经时变化的图表。
图6中所示的图表表示在靶已消耗的X射线管中，利用X射线检测器检测从X射线管射出的X射线，并在30分钟的期间内，将采样周期设为1秒来进行测定，由此获得的X射线量的测定结果。另外，所述图表的横轴表示时间(分钟)，纵轴表示每一分钟的X射线量(R/min)。
如此图所示，从X射线管射出的X射线量经时地增减。例如，在此图表中所示的测定结果中，在刚驱动X射线管之后X射线量变成最大值Imax，经过约10分钟后变成最小值Imin。接着，X射线量在最小值Imin的前后重复略微的增减。推测其原因在于：因伴随电子束的碰撞的靶或支撑靶的构件的热膨胀，而导致靶中的电子束的碰撞位置(焦点位置)在射线量测定中变化。即，当电子束碰撞在靶中的劣化区域时X射线量下降，当电子束碰撞在靶中的未劣化的区域时X射线量增加。因此，当在X射线量增加或减少的时机测定X射线量来判定靶的消耗度时，产生不反映正确的消耗度这一问题。
本发明是为了解决所述课题而成者，其目的在于提供一种当在X射线量产生经时的变化时，也可以正确地推测靶的消耗度的X射线检查装置及X射线检查装置中的X射线管的靶的消耗度判定方法。
[解决问题的技术手段]
技术方案1中记载的发明是一种X射线检查装置，其是包括通过使电子束碰撞靶来产生X射线的X射线管、及检测从所述X射线管射出并透过了检查对象物的X射线的X射线检测器的X射线检查装置，其特征在于包括：测定部，通过在规定的期间内利用所述X射线检测器检测从所述X射线管射出的X射线来检测所述期间的X射线量，并测定所述期间内的X射线量的最大值Imax与X射线量的最小值Imin；运算部，利用由所述测定部所测定的所述X射线量的最大值Imax与所述X射线量的最小值Imin对X射线量的变动率进行运算；以及变动率显示部，显示通过所述运算部所运算的所述X射线量的变动率。
技术方案2中记载的发明是一种X射线检查装置，其是包括通过使电子束碰撞靶来产生X射线的X射线管、及检测从所述X射线管射出并透过了检查对象物的X射线的X射线检测器的X射线检查装置，其特征在于包括：测定部，通过在规定的期间内利用所述X射线检测器检测从所述X射线管射出的X射线来检测所述期间的X射线量，并测定所述期间内的X射线量的最大值Imax与X射线量的最小值Imin；运算部，利用由所述测定部所测定的所述X射线量的最大值Imax与所述X射线量的最小值Imin对X射线量的变动率进行运算；以及判定部，当通过所述运算部所运算的所述X射线量的变动率超过事先设定的阈值时，判定所述靶正在消耗。
技术方案3中记载的发明是在技术方案1或技术方案2中记载的X射线检查装置中，所述运算部根据[(Imax－Imin)/Imax]来对所述X射线的变动率进行运算。
技术方案4中记载的发明是在技术方案1或技术方案2中记载的X射线检查装置中，所述运算部根据[Imin/Imax]来对所述X射线的变动率进行运算。
技术方案5中记载的发明是在技术方案1至技术方案4的任一方案中记载的X射线检查装置中，所述测定部将所述X射线量的最大值Imax与所述X射线量的最小值Imin作为在所述X射线检测器中的固定区域中所检测到的检测值的平均值来测定。
技术方案6中记载的发明是在技术方案1至技术方案4的任一方案中记载的X射线检查装置中，所述测定部将所述X射线量的最大值Imax与所述X射线量的最小值Imin作为在所述X射线检测器中的固定区域中所检测到的检测值的分布的峰值来测定。
技术方案7中记载的发明是一种X射线检查装置中的X射线管的靶的消耗度判定方法，其是在包括通过使电子束碰撞靶来产生X射线的X射线管、及检测从所述X射线管射出并透过了检查对象物的X射线的X射线检测器的X射线检查装置中，判定所述靶的消耗度的X射线检查装置中的X射线管的靶的消耗度判定方法，其特征在于：通过在规定的期间内利用所述X射线检测器检测从所述X射线管射出的X射线来检测所述期间的X射线量，并测定所述期间内的X射线量的最大值Imax与X射线量的最小值Imin，利用所述X射线量的最大值Imax与所述X射线量的最小值Imin对X射线量的变动率进行运算，且根据所述X射线量的变动率来判定所述靶的消耗度。
[发明的效果]
根据技术方案1至技术方案7中记载的发明，利用固定的期间内的X射线量的最大值Imax与X射线量的最小值Imin运算X射线量的变动率，并根据此运算值来判定靶的消耗，因此当产生了X射线量的经时的变化时，也可以正确地推测靶的消耗度。
根据技术方案5及技术方案6中记载的发明，即便在因X射线检测器中的像素缺陷而存在异常值的情况下，通过使用在固定区域中所检测到的检测值的平均值或亮度的分布的峰值，也可以正确地推测靶的消耗度。
附图说明
图1是将本发明的X射线检查装置与其主要的控制系统一同表示的概要图。
图2是包括X射线管1的X射线产生部41的概要图。
图3是表示从X射线管1射出的X射线的X射线量与利用X射线检测器42检测所述X射线时的各像素的亮度值的关系的图表。
图4是表示根据X射线量的最大值Imax与X射线量的最小值Imin进行运算的[(Imax－Imin)/Imax]的值与X射线管1的驱动时间的关系的图表。
图5是表示根据X射线量的最大值Imax与X射线量的最小值Imin进行运算的[Imin/Imax]的值与X射线管1的驱动时间的关系的图表。
图6是表示从X射线管射出的X射线的X射线量的经时变化的图表。
[符号的说明]
1：X射线管
2：高电压产生部
11：灯丝
13：靶
30：控制部
31：图像处理部
32：移动控制部
33：X射线管控制部
34：消耗度判定部
35：测定部
36：运算部
37：判定部
38：警告显示部
39：变动率显示部
40：平台
41：X射线产生部
42：X射线检测器
43：平台移动机构
44：显示部
45：操作部
100：外壳
W：工件。
具体实施方式
以下，根据图式对本发明的实施方式进行说明。图1是将本发明的X射线检查装置与其主要的控制系统一同表示的概要图。
本发明的X射线检查装置包括：X射线产生部41，包含用于将X射线射出至作为被检查物的工件W的后述的X射线管1；平板探测器或影像增强器(I.I.)等的X射线检测器42，检测从所述X射线产生部41射出后透过了工件W的X射线；以及平台40，用于载置工件W，所述工件W配设在所述X射线产生部41及X射线检测器42之间。平台40通过包括未图示的马达的平台移动机构43的作用，可在水平面内在相互正交的两个方向上移动。所述X射线产生部41、X射线检测器42、平台40及平台移动机构43配设在包含X射线遮蔽构件的外壳100的内部。
图2是包括X射线管1的X射线产生部41的概要图。
此X射线产生部41具有在包含框体3与盖体4的腔室内收纳有X射线管1与高电压产生部2的结构。在包含框体3与盖体4的腔室内填充有绝缘油。另外，绝缘方法并不限定于使用绝缘油的方法，也可以使用绝缘性的固体或气体。
X射线管1包括玻璃管体15、及横跨玻璃管体15的内外来配设的多个端子23。另外，在玻璃管体15内配设有灯丝11、热丝(heater)12、及靶13。此处，灯丝11是用于朝靶13放射电子束者。通过从灯丝11放射的电子束与靶13碰撞来产生X射线。此X射线朝X射线管1的外部射出。另外，热丝12是也被称为吸气剂(getter)者，用于吸附玻璃管体15内的气体分子。
靶13经由电缆25而与高电压产生部2中的端子21连接，被从高电压产生部2赋予用于对电子束进行加速的高电压。电缆25由配设在框体3的顶部的支撑构件26支撑。另外，连接在所述灯丝11及热丝12的X射线管1中的端子23经由电缆24而与高电压产生部2中的端子22连接。从高电压产生部2经由所述端子22、电缆24及端子23而对灯丝11赋予灯丝电流。另外，从高电压产生部2经由所述端子22、电缆24及端子23而对热丝12赋予热丝电流。
另外，在图2中，采用具有将灯丝11或靶13等配置在作为密封容器的玻璃管体15内的密闭型的结构的X射线管1。但是，也可以将本发明应用于包括可将灯丝11或靶13等作为单体进行更换的开放型的X射线管的X射线检查装置。
再次参照图1，本发明的X射线检查装置包括控制部30，所述控制部30包含作为处理器的执行逻辑运算的中央处理器(Central Processing Unit，CPU)、存储有装置的控制所需的动作程序的只读存储器(Read Only Memory，ROM)、在控制时暂时地存储数据等的随机存取存储器(Random Access Memory，RAM)等，并对装置整体进行控制。所述控制部30包含安装有软件的计算机。所述控制部30所包含的各部的功能通过执行安装在计算机的软件来实现。
所述控制部30与显示由X射线检测器42所检测到的X射线图像或后述的X射线量的变动率等的液晶显示面板等的显示部44、及包括用于执行各种操作的鼠标或键盘等的操作部45连接。另外，所述控制部30包括用于对由X射线检测器42所检测到的X射线图像进行图像处理并显示在显示部44的图像处理部31、用于对平台移动机构43进行控制的移动控制部32、用于对X射线管1进行点灯控制的X射线管控制部33、及用于判定X射线管1中的靶13的消耗度的消耗度判定部34作为功能结构。
另外，所述消耗度判定部34包括：测定部35，在工件W未被载置在平台40上的状态下，通过在规定的期间内利用X射线检测器42检测从X射线管1射出的X射线来检测所述期间的X射线量，并测定所述期间内的X射线量的最大值Imax与X射线量的最小值Imin；运算部36，利用由所述测定部35所测定的X射线量的最大值Imax与X射线量的最小值Imin对X射线量的变动率进行运算；判定部37，当通过所述运算部36所运算的X射线量的变动率超过事先设定的阈值时，判定X射线管1的靶13正在消耗；警告显示部38，当所述判定部37判定X射线管1的靶13正在消耗时进行警告显示；以及变动率显示部39，用于将通过运算部36所运算的X射线量的变动率显示在显示部44。
在此种X射线检查装置所使用的X射线管1中，若其使用时间变长，则靶13因重复与电子束的碰撞而消耗。而且，通过本发明的发明者等而认识到若靶13消耗，则从X射线管1射出的X射线的X射线量的变动变大。即，从X射线管1连续射出X射线，在每1000小时的连续射出时间内，持续30分钟测定X射线的X射线量，并且测定所述30分钟的X射线量的变动的结果，确认随着X射线管1的连续射出时间变长且靶13消耗，从X射线管1射出的X射线的X射线量的变动变大。
因此，在所述X射线检查装置中，例如根据30分钟左右的固定期间内的X射线量的最大值与最小值来测定X射线量的变动，并对X射线量的变动率进行运算，由此判定靶13的消耗度，并且当所述变动率超过事先设定的阈值时，判定靶13正消耗至需要更换的程度，并进行催促X射线管1或靶13的更换的警告显示。
另外，在所述X射线检查装置中，在老化(aging)时判定靶13的消耗度。即，在一日的作业的开始时、或持续在固定的期间内不使用的状态后重新使用时，实施如下的被称为所谓的老化的作业：在对X射线管1施加了低的管电压后，逐渐地提高管电压，由此将成为电场集中的原因的与靶13同电位的高电压施加部的突起等的异物熔解，形成平稳的等电位面，并提升耐高电压特性。此时，利用在规定的管电压与管电流下通过X射线检测器42所检测到的X射线图像的像素值来判定靶13的消耗度。但是，靶13的消耗度的判定也可以在其他时机实施。
当判定靶13的消耗度时，首先，消耗度判定部34中的测定部35在工件W未被载置在平台40上的状态，即可从X射线产生部41对X射线检测器42射出均匀的X射线的状态下，通过在规定的期间内利用X射线检测器42检测从X射线管1射出的X射线来检测所述期间的X射线量。所述X射线量通过测定部35，根据表示由X射线检测器42所检测到的X射线强度的各像素的亮度值来进行运算。
图3是表示从X射线管1射出的X射线的X射线量与利用X射线检测器42检测所述X射线时的各像素的亮度值的关系的图表。
在此图表中，表示将赋予至X射线管1的管电压例如设为80kV、60kV、40kV，并逐渐地增加管电流时的X射线量与亮度值的关系。另外，所述图表中的纵轴表示X射线量(R/min)，横轴表示亮度值(任意单位)。如所述图表所示，从X射线管1射出的X射线量与利用X射线检测器42检测X射线时的各像素的亮度值处于比例关系。因此，通过利用X射线检测器42检测从X射线管1射出的X射线，可根据由X射线检测器42所测定的亮度值来对X射线量进行运算。
另外，在所述X射线量的测定时，根据X射线检测器42中的固定区域的亮度的检测值的平均值来决定。由此，即便在因X射线检测器42的缺陷像素而在像素值存在异常值的情况下，通过利用所述平均值，也可以保证其测定值的正确性。另外，所述固定区域优选从X射线检测器42的X射线检测区域中的中央附近的区域选择。但是，也可以根据X射线检测器42中的其他区域的平均值来对X射线量进行运算。或者，也可以根据X射线检测器42中的所有X射线检测区域的测定值的平均来对X射线量进行运算。
在所述X射线量的测定时，也可以将X射线量的最大值Imax与X射线量的最小值Imin作为在X射线检测器42中的固定区域中所检测到的检测值的分布的峰值来测定，而代替利用X射线检测器42中的固定区域的亮度的检测值的平均值。即，也可以将在X射线检测器42中的固定区域中所检测到的检测值的最大者设为X射线量的最大值Imax，将最小者设为X射线量的最小值Imin。
通过在例如30分钟的期间内，利用X射线检测器42检测从X射线管1射出的X射线所测定的X射线量，例如取得如图6中所示的图表那样的值。测定部35根据如所述那样经时地测定的X射线量，测定所述期间内的X射线量的最大值Imax与X射线量的最小值Imin。而且，运算部36利用由测定部35所测定的X射线量的最大值Imax与X射线量的最小值Imin对X射线量的变动率进行运算。
所述变动率的运算结果通过变动率显示部39而显示在显示部44。由此，操作员可了解X射线的变动率，并可根据所述X射线的变动率来预测X射线管1的靶13的消耗。
图4是表示根据X射线量的最大值Imax与X射线量的最小值Imin进行运算的[(Imax－Imin)/Imax]的值与X射线管1的运转时间的关系的图表。
在此图中，纵轴表示[(Imax－Imin)/Imax]的值，横轴表示运转时间(h)。在此图中，可采用如下的结构：将若靶13消耗，则从X射线管1射出的X射线的X射线量的变动变大作为基础，当通过运算部36所运算的[(Imax－Imin)/Imax]的值变成一定以上时，判定靶13为已达到需要更换X射线管1的消耗度者。
即，当根据[(Imax－Imin)/Imax]所运算的X射线量的变动率朝上方超过事先设定的阈值时，判定部37判定X射线管1的靶13正在消耗。例如，在图4中所示的图表中，当[(Imax－Imin)/Imax]的值大于0.12时，判定部37判定X射线管1的靶13正在消耗。此时，当X射线管1的驱动时间已经过8000小时时，判定部37判定X射线管1的靶13正在消耗。
而且，当判定部37已判定X射线管1的靶13正在消耗时，警告显示部38对显示部44进行警告显示。另外，也可以通过声音或光来进行此警告显示。
由此，可事先告知靶13的消耗，而催促靶13或X射线管1的更换。因此，可将因靶13的消耗而无法执行X射线检查的状况防止于未然。
对利用X射线量的最大值Imax与X射线量的最小值Imin而对X射线量的变动率进行运算的另一实施方式进行说明。图5是表示根据X射线量的最大值Imax与X射线量的最小值Imin进行运算的[Imin/Imax]的值与X射线管1的运转时间的关系的图表。
在此图中，纵轴表示[Imin/Imax]的值，横轴表示运转时间(h)。在此图中，可采用如下的结构：将若靶13消耗，则从X射线管1射出的X射线的X射线量的变动变大作为基础，当通过运算部36所运算的[Imin/Imax]的值变成一定以下时，判定靶13为已达到需要更换X射线管1的消耗度者。
即，当根据[Imin/Imax]所运算的X射线量的变动率朝下方超过事先设定的阈值时，判定部37判定X射线管1的靶13正在消耗。例如，在图5中所示的图表中，当[Imin/Imax]的值小于0.85时，判定部37判定X射线管1的靶13正在消耗。此时，当X射线管1的驱动时间已经过8000小时时，判定部37判定X射线管1的靶13正在消耗。
而且，当判定部37已判定X射线管1的靶13正在消耗时，警告显示部38对显示部44进行警告显示。在此实施方式中，也可以事先告知靶13的消耗，而催促靶13或X射线管1的更换。
另外，在所述实施方式中，对将本发明应用于不破坏具有立体形状的检查对象物而利用X射线检查其内部结构的X射线检查装置的情况进行了说明，但例如也可以将本发明应用于取得被检查者的X射线图像的医疗用的X射线检查装置等的其他X射线检查装置。

Claims (8)

1.一种X射线检查装置，其特征在于包括：
X射线管，通过使电子束碰撞靶来产生X射线；
X射线检测器，检测从所述X射线管射出并透过了检查对象物的X射线；
测定部，通过在规定的期间内利用所述X射线检测器检测从所述X射线管射出的X射线来检测所述期间的X射线量，并测定所述期间内的X射线量的最大值Imax与X射线量的最小值Imin；以及
运算部，利用由所述测定部所测定的所述X射线量的最大值Imax与所述X射线量的最小值Imin对X射线量的变动率进行运算。
2.根据权利要求1所述的X射线检查装置，其特征在于还包括：
变动率显示部，显示通过所述运算部所运算的所述X射线量的变动率。
3.根据权利要求1所述的X射线检查装置，其特征在于还包括：
判定部，当通过所述运算部所运算的所述X射线量的变动率超过事先设定的阈值时，判定所述靶正在消耗。
4.根据权利要求1所述的X射线检查装置，其特征在于，
所述运算部根据[(Imax－Imin)/Imax]来对所述X射线的变动率进行运算。
5.根据权利要求1所述的X射线检查装置，其特征在于，
所述运算部根据[Imin/Imax]来对所述X射线的变动率进行运算。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的X射线检查装置，其特征在于，
所述测定部将所述X射线量的最大值Imax与所述X射线量的最小值Imin，作为在所述X射线检测器中的固定区域中所检测到的检测值的平均值来进行测定。
7.根据权利要求1至5中任一项所述的X射线检查装置，其特征在于，
所述测定部将所述X射线量的最大值Imax与所述X射线量的最小值Imin，作为在所述X射线检测器中的固定区域中所检测到的检测值的分布的峰值来进行测定。
8.一种X射线检查装置中的X射线管的靶的消耗度判定方法，其是在包括通过使电子束碰撞靶来产生X射线的X射线管、及检测从所述X射线管射出并透过了检查对象物的X射线的X射线检测器的X射线检查装置中，判定其所述X射线管的所述靶的消耗度的消耗度判定方法，其特征在于，
通过在规定的期间内利用所述X射线检测器检测从所述X射线管射出的X射线来检测所述期间的X射线量，并测定所述期间内的X射线量的最大值Imax与X射线量的最小值Imin，
利用所述X射线量的最大值Imax与所述X射线量的最小值Imin对X射线量的变动率进行运算，且
根据所述X射线量的变动率来判定所述靶的消耗度。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10295485B2 (en) 2013-12-05 2019-05-21 Sigray, Inc. X-ray transmission spectrometer system
USRE48612E1 (en) 2013-10-31 2021-06-29 Sigray, Inc. X-ray interferometric imaging system
US10845491B2 (en) 2018-06-04 2020-11-24 Sigray, Inc. Energy-resolving x-ray detection system
GB2591630B (en) 2018-07-26 2023-05-24 Sigray Inc High brightness x-ray reflection source
US10656105B2 (en) 2018-08-06 2020-05-19 Sigray, Inc. Talbot-lau x-ray source and interferometric system
US10962491B2 (en) 2018-09-04 2021-03-30 Sigray, Inc. System and method for x-ray fluorescence with filtering
DE112019004478T5 (de) 2018-09-07 2021-07-08 Sigray, Inc. System und verfahren zur röntgenanalyse mit wählbarer tiefe
WO2021011209A1 (en) 2019-07-15 2021-01-21 Sigray, Inc. X-ray source with rotating anode at atmospheric pressure
WO2023126364A1 (en) * 2021-12-28 2023-07-06 Koninklijke Philips N.V. Method and apparatus for predicting failure of an x-ray tube
EP4205654A1 (en) * 2021-12-28 2023-07-05 Koninklijke Philips N.V. Method and apparatus for predicting failure of an x-ray tube
GB2619108A (en) * 2022-11-22 2023-11-29 3Dx Ray Ltd A method, apparatus, system and computer program for generating a radiographic X-ray beam

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003090808A (ja) * 2002-07-23 2003-03-28 Hamamatsu Photonics Kk Ｘ線検査装置
JP2007242287A (ja) * 2006-03-06 2007-09-20 Nagoya Electric Works Co Ltd Ｘ線出力器診断装置およびｘ線出力器診断方法
CN101266218A (zh) * 2007-03-15 2008-09-17 欧姆龙株式会社 X射线检查装置及使用x射线检查装置的x射线检查方法
CN102772218A (zh) * 2011-05-13 2012-11-14 西门子公司 在计算机断层造影仪中的误差识别
WO2017060814A1 (en) * 2015-10-06 2017-04-13 Koninklijke Philips N.V. Device for determining spatially dependent x-ray flux degradation and photon spectral change

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2594200B2 (ja) 1992-01-12 1997-03-26 株式会社堀場製作所 蛍光ｘ線分析装置
EP1528845A1 (en) 2002-04-24 2005-05-04 Hamamatsu Photonics K.K. X-ray tube operation status acquiring unit, x-ray tube operation status acquiring system and x-ray tube operation status acquiring method
JP2015150054A (ja) 2014-02-12 2015-08-24 株式会社島津製作所 Ｘ線透視撮影台

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003090808A (ja) * 2002-07-23 2003-03-28 Hamamatsu Photonics Kk Ｘ線検査装置
JP2007242287A (ja) * 2006-03-06 2007-09-20 Nagoya Electric Works Co Ltd Ｘ線出力器診断装置およびｘ線出力器診断方法
CN101266218A (zh) * 2007-03-15 2008-09-17 欧姆龙株式会社 X射线检查装置及使用x射线检查装置的x射线检查方法
CN102772218A (zh) * 2011-05-13 2012-11-14 西门子公司 在计算机断层造影仪中的误差识别
WO2017060814A1 (en) * 2015-10-06 2017-04-13 Koninklijke Philips N.V. Device for determining spatially dependent x-ray flux degradation and photon spectral change

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