CN101266218A - X射线检查装置及使用x射线检查装置的x射线检查方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种能够高效地使用靶材面的X射线检查装置。X射线检查装置(100)使传感器基座(22)旋转，从而变更各X射线传感器(23)的位置，并以使X射线入射到位置变更之后的各X射线传感器(23)的方式，重新设定成为X射线焦点位置的X射线放射的起点位置。扫描型X射线源(10)通过使电子束偏转，能够将电子束撞击X射线源的靶材的位置容易地变更到任意的位置。由此，根据向靶材的累计照射时间，能够容易地移动电子束的照射位置。因此，在未中断X射线检查的情况下，能够进行靶材的维护。

Description

X射线检查装置及使用X射线检查装置的X射线检查方法
技术领域
本发明涉及一种X射线检查装置以及使用X射线检查装置的X射线检查方法。
背景技术
近年来，借助于亚微米级的微细加工技术，LSI(Large-Scale Integration：大规模集成电路)的集成度变高，因此能够将以往分割为多个封装的功能汇集到一个LSI中。在以往的QFP(Quad Flat Package：四侧引脚扁平封装)或PGA(Pin Grid Array：引脚网格阵列封装)中，无法解决将所需功能编入到一个封装时增加引脚数目的问题，因此，最近特别是使用着BGA(Ball GridArray：球栅阵列封装)或CSP(Chip Size Package：芯片尺寸)封装的LSI。另外，移动电话机等需要实现超小型化的设备中，即使不需要那么多的引脚数目，也会使用BGA封装。
LSI的BGA或CSP封装的特征是，虽对超小型化的贡献很大，但组装后从外观看不到焊接部分等。因此，在检查安装有BGA或CSP封装的印刷电路板等时，对于向检查对象品照射X射线所获取的透射图像进行分析，从而判断品质的合格与否。例如，在专利文献1中公开了一种X射线断层检查装置，该X射线断层检查装置检测透射X射线时采用X射线平面传感器，从而能够获得鲜明的X射线图像。
在这种X射线检查装置中，使电子束撞击在钨等靶材上，从而放射X射线。若使电子束撞击靶材，则靶材会受到损伤。因此，若使电子束撞击靶材的相同位置规定时间以上，则会发生靶材的劣化。
X射线检查装置的X射线源采用电子束撞击靶材的位置固定的方式(固定焦点方式)以及电子束离散地反复撞击规定位置的方式。虽后一个方式与固定焦点方式相比可期待长的寿命，但同样发生靶材的劣化。
若靶材发生劣化，则X射线的照射量减少，从而会使X射线图像变暗，或使画质降低，进而使检查效率变坏，因此需要进行靶材的维护。由于靶材的劣化局限于电子束所接触的极小的部分，因此用户通过旋转靶材面来进行靶材的维护。由此，能够使电子束的撞击位置错开劣化位置，从而能够获得与新的靶材同等的特性。
例如，在使用Hamamatsu Photonics株式会社制造的微焦点X射线源L9191来进行X射线检查时，用户通过以手动旋转靶材面来进行靶材的维护。
专利文献1：JP特开2000-46760号公报
一般地，透射型X射线源的靶材寿命为300小时到500小时左右。若如分析装置那样使用频度低，则发生靶材的劣化为止的期间变长，因此维护靶材所需的劳力和时间不成问题。然而，在如在线检查装置那样长时间工作的情况下，由于发生靶材的劣化为止的期间会缩短，因此靶材的维护简便是很重要的。
在手动旋转靶材面来进行维护的方法中，要求维护员熟练，而且作业需要时间。另外，还需要管理用于维护的信息，如向靶材的哪一位置照射X射线什么程度等。
另外，在扫描型X射线源中离散地反复使用靶材的规定位置的方式中，由于使电子束撞击多个位置上，因此如上所述的用于维护的信息变成庞大的量，从而用户很难进行管理。
发明内容
本发明是为了解决如上所述的问题而提出的，其目的在于，提供一种能够高效地使用靶材面的X射线检查装置以及应用了该X射线检查装置的X射线拍摄方法的使用X射线检查装置的X射线检查方法。
本发明的其他目的在于，提供一种通过均匀地使用同一个靶材的靶材面来能够减少维护X射线源所需的劳力和时间的X射线检查装置以及应用了该X射线检查装置的X射线拍摄方法的使用X射线检查装置的X射线检查方法。
若根据本发明的一个方面，则本发明是一种X射线检查方法，使用通过照射X射线来检查对象物的检查部分的X射线检查装置，该X射线检查装置具有检测面、X射线源以及存储装置，其中，该检测面设定在从规定位置中指定的位置，用于检测所入射X射线的强度分布，该X射线源使位于靶材面上的X射线焦点位置移动，由此能够产生X射线，该存储装置关于靶材面上的位置，存储产生X射线的履历信息而作为X射线焦点位置，该X射线检查方法包括：设定从多个第一规定位置中指定的检测面的位置和与检查部分对应的X射线焦点位置的步骤；基于存储装置的履历信息，检测在所设定的X射线焦点位置所产生的X射线量超出规定量的步骤；根据检测结果，将检测面的指定位置变更设定为多个第二规定位置中的任一处的步骤，其中，上述多个第二规定位置与多个第一规定位置不同；使X射线焦点位置移动到根据所变更的检测面重新设定的位置，由此产生X射线的步骤；在检测面上，检测透过了检查部分的X射线的强度分布的步骤。
优选地，设定X射线焦点位置的步骤包括：以使X射线透过检查部分并入射到检测面的方式，决定靶材面上的X射线焦点位置的步骤。
优选地，变更设定指定位置的步骤包括：从多个第二规定位置中分别指定用于检测X射线的多个检测面的步骤；产生X射线的步骤包括：关于多个检测面，以使X射线透过检查部分并分别入射到多个检测面的方式，分别决定靶材面上的多个X射线焦点位置的步骤；使X射线源的照射电子束的照射位置移动到所决定的各X射线焦点位置，由此产生X射线的步骤，而且X射线检查方法还包括：基于所检测到的强度分布的数据，重建检查部分的图像数据的步骤。
优选地，检测X射线量超出规定量的步骤包括：关于所设定的X射线焦点位置，至少检测产生X射线的累计时间超过了规定时间的步骤。
优选地，分别决定多个X射线焦点位置的步骤包括：在排除电子束的照射超过规定时间的位置之后，决定X射线焦点位置的步骤。
优选地，分别决定多个X射线焦点位置的步骤包括：在从电子束的照射超过规定时间的位置排除基于与X射线焦点的尺寸对应的区域系数来决定的范围之后，决定X射线焦点位置的步骤。
优选地，产生X射线的步骤包括：使电子束偏转，由此变更电子束照射到靶材面上的照射位置，从而使X射线焦点位置移动的步骤。
若根据本发明的另一个方面，则本发明是一种X射线检查装置，利用X射线检查对象物的检查部分，X射线检查装置具有X射线检测装置，该X射线检测装置具有用于检测X射线的多个检测面，X射线检测装置具有检测位置变更装置，该检测位置变更装置将多个检测面的位置，从多个第一规定位置分别变更为多个第二规定位置，其中，上述多个第二规定位置与多个第一规定位置不同，X射线检查装置还具有输出控制装置，该输出控制装置用于控制X射线的输出处理，输出控制装置具有：起点设定装置，其关于多个检测面，以使X射线透过对象物的检查部分并入射到各检测面的方式，分别设定X射线的放射起点位置；存储装置，其对于各起点位置和在各起点位置放射X射线的履历信息建立对应关系并进行存储；检测装置，其基于存储装置的履历信息，若关于所设定的起点位置检测到累计照射时间超过了规定时间，则为了使检测位置变更装置进行变更操作而输出检测结果，而且在检测位置变更装置进行了变更操作的情况下，起点设定装置重新设定各个起点位置，X射线检查装置还具有：X射线输出装置，其使X射线源的X射线焦点位置移动到各起点位置，由此产生X射线；重建装置，其基于在多个检测面上所检测到的透过检查部分的X射线的强度分布的数据，重建检查部分的图像数据。
优选地，X射线输出装置具有：使电子束偏转，由此使靶材面上的照射位置移动，从而使X射线焦点位置移动的装置。
优选地，检测位置变更装置具有：旋转台，其在以规定的轴为中心的圆周上配置有多个检测面；旋转装置，其使旋转台以轴为中心旋转，而且根据检测装置的检测结果，使旋转台只旋转一定角度，从而使多个检测面的位置从多个第一规定位置分别变更为多个第二规定位置。
优选地，起点设定装置基于履历信息，在排除与超过了规定时间的照射时间建立有对应关系的位置之后，设定各个起点位置。
优选地，输出装置还具有指定装置，该指定装置用于指定对象物的检查部分。
若采用本发明的X射线检查装置以及X射线检查装置的检查方法，则能够高效地使用靶材面。
附图说明
图1是本发明的X射线检查装置100的概略框图。
图2是示出了扫描型X射线源10的结构的剖视图。
图3A、图3B是从扫描型X射线源10一侧观察了传感器基座22的图。
图4是示出了X射线传感器模块25的侧视图。
图5是从侧面观察了拍摄系统的示意图。
图6A、图6B是用于说明传感器配置角和传感器基座基准角的图。
图7A、图7B是用于说明靶材维护角的图。
图8是从上以及从侧面观察了拍摄系统的示意图，该图示出了使传感器基座22旋转时的情形。
图9是示出了当前使用的靶材信息的图。
图10是示出了过去使用过的靶材维护信息的图。
图11是示出了NG靶材维护信息的图。
图12是示出了X射线检查装置100的X射线检查处理概略的流程图。
图13是用于说明图12的步骤S100中的处理的流程图。
图14是用于说明图12的步骤S102中的处理的流程图。
图15是用于说明图12的步骤S104中的处理的流程图。
图16是用于说明反投影的图。
图17是用于说明图12的步骤S112中的处理的流程图。
图18是用于说明图17的步骤S188中的处理的流程图。
具体实施方式
下面，参照附图说明本发明的实施方式。在以下说明中，对同一个元件赋予相同的附图标记。它们的名称以及功能也相同。因此，不再重复对它们的详细说明。
(1.本发明的结构)
图1是本发明的X射线检查装置100的概略框图。
参照图1，对本发明的X射线检查装置100进行说明。但是，若没有特别地记载，则本发明的范围并不仅限定于以下所记载的结构、尺寸、形状、其他的相对配置等。
X射线检查装置100具有扫描型X射线源10和传感器基座22，该扫描型X射线源10用于输出X射线，该感器基座22是以旋转轴21为中心旋转的旋转台，安装有多个X射线传感器23。另外，在扫描型X射线源10和传感器基座22之间配置有检查对象20。进而，X射线检查装置100具有：图像获取控制机构30，其用于控制传感器基座22绕着旋转轴的旋转角以及获取来自X射线传感器23的图像数据；输入部40，其用于接收用户所输入的指示等；输出部50，其用于向外部输出测定结果等。另外，X射线检查装置100还具有扫描X射线源控制机构60、运算部70以及存储器90。在这种结构中，运算部70通过执行存储在存储器90中的未图示的程序来控制各部，另外实施规定的运算处理。
扫描型X射线源10在扫描X射线源控制机构60的控制下，向检查对象20X照射射线。
图2是示出了扫描型X射线源10的结构的剖视图。
参照图2，在扫描型X射线源10中，在电子束控制部62的控制下，电子枪15向钨等靶材11照射电子束16。然后，在电子束16撞击靶材的位置(X射线焦点位置17)产生X射线18，从而放射(输出)X射线18。此外，电子束系统内置于真空容器9中。通过真空泵14，真空容器9的内部保持真空，而且，从电子枪15发射被高压电源13加速的电子束16。
另外，在扫描型X射线源10中，电子束16被偏转轭12偏转，从而能够任意地变更电子束16撞击靶材11的位置。例如，被偏转轭12偏转的电子束16a撞击靶材11，从而从X射线焦点位置17a输出X射线18a。另外，同样地，被偏转轭12偏转的电子束16b撞击靶材11，从而从X射线焦点位置17b输出X射线18b。此外，在本申请发明中，扫描型X射线源10是透射型，另外，如后所说明那样，使X射线在应成为根据检查对象物的检查对象部分所设定的X射线的放射起点的位置(下面，称之为“X射线的放射起点位置”)处产生时，优先采用连续面的靶材而不是环状靶材，从而能够提高该位置的设定自由度。另外，在以下说明中，在没有特别区分位置来进行记载的情况下，简单统称为X射线焦点位置17。
此外，若要将X射线焦点位置移动到上述X射线放射的各起点位置，例如，也可以每到那时候机械地移动X射线源本身的位置。但在采用图2所示的结构的情况下，在将X射线焦点位置移动到X射线的放射起点位置时，若在一定的范围内，则能够实现无需机械地移动X射线源、且维护性以及可靠性优异的X射线检查装置。此外，设置多个X射线源，并根据起点位置来切换使用也可。
另外，电子束16撞击靶材11的X射线焦点的尺寸一般是亚微米级到几百微米。因此，若电子束撞击靶材11的同一个位置规定时间以上，则由于热损伤等，该位置以及以该位置为中心的规定范围内会劣化。若X射线焦点位置劣化，则照射X射线量减少，从而X射线图像变暗，或者画质降低，因此检查效率变差。
为了防止画质的降低等，在以往的方法中，通过使靶材11本身旋转等，使X射线焦点位置的靶材具有与新的靶材同等的特性。
然而，在该方法中，旋转的操作花费时间，因此必须要中断X射线检查。
因此，在本发明中，变更各X射线传感器23的位置，并以使X射线入射到变更位置之后的各X射线传感器23中的方式，重新设定成为X射线焦点位置17的X射线的放射起点位置。本发明的扫描型X射线源10通过使电子束16偏转，能够将电子束16撞击靶材11的位置容易地变更到任意位置，因此，根据对于靶材11的累计照射时间来使电子束的照射位置移动，从而无需中断就能够进行靶材的维护。
返回到图1，扫描X射线源控制机构60包括用于控制电子束输出的电子束控制部62。电子束控制部62从运算部70接收对于X射线焦点位置、X射线能量(管电压、管电流)的指定。X射线能量根据检查对象的结构而异。
检查对象20配置在扫描型X射线源10和X射线传感器23(传感器基座22)之间。可以使检查对象20通过X-Y-Z载物台向任意位置移动，也可以使检查对象20如带式输送机那样向一个方向移动，从而使其配置在检查位置上。在检查对象如印刷电路板那样小的情况下，以固定扫描型X射线源10和传感器基座22的状态移动检查对象，但如玻璃基板等检查对象那样大面积且很难任意地移动检查对象侧的情况下，以固定扫描型X射线源10和传感器基座22之间的相对位置的状态移动扫描型X射线源10以及传感器基座22也可。
X射线传感器23是一种二维传感器，用于检测从扫描型X射线源10输出并透过检查对象20的X射线，并将该X射线转换为图像。例如，CCD(ChargeCoupled Device：电荷耦合器件)照相机、I.I.(Image Intensifier：图像增强)管等。在本申请的发明中，由于在传感器基座22上配置多个X射线传感器，因此优选空间效率高的FPD(Flat Panel Detector：平板探测器)。另外，优先采用能够在线检查中使用的高灵敏度的传感器，尤其优先采用利用CdTe的直接转换方式的FPD。此外，在以下的说明中，在没有特别区分记载传感器的情况下，简单统称为X射线传感器23。
在传感器基座22中的扫描型X射线源10侧的旋转台的圆周上安装有多个X射线传感器23。另外，传感器基座22能够以旋转台的旋转轴21为中心旋转。实际上，可旋转的范围只要在1圈以内即可，例如，在传感器基座22的圆周上配置有N个X射线传感器的情况下，相邻的X射线传感器和传感器基座旋转中心所成的角度只旋转360/N左右即可。理所当然地，上述式子只不过是一个具体例子而已，而旋转角度并不受限于该式子。通过传感器(未图示)能够获知传感器基座22的旋转角，从而能够通过输入部40读入到运算部70中。
另外，为了调整放大率，传感器基座22优先能够上下升降。在此情况下，通过传感器(未图示)能够获知传感器基座22在上下方向上的位置，从而能够通过输入部40读入到运算部70中。另外，若传感器基座22上下升降，则入射到X射线传感器23中的X射线的角度变化，因此优先设定为能够控制X射线传感器23相对传感器基座22的倾斜角度。
图像获取控制机构30包括：旋转角控制部32，其用于控制传感器基座旋转到运算部70所指定的角度处；图像数据获取部34，其用于获取运算部70所指定的X射线传感器23的图像数据。此外，运算部70所指定的X射线传感器为1个或多个均可。
输入部40是用于接收用户的输入的操作输入设备。
输出部50是用于显示在运算部70中所构成的X射线图像以及用于维护靶材的信息的显示器。
即，用户通过输入部40能够执行各种各样的输入，而且，在输出部50显示通过运算部70的处理而得到的各种各样的运算结果。显示在输出部50的图像是，为了用户通过肉眼判定合格与否而输出的也可，或者，作为如后所说明的合格与否判定部78的合格与否判定结果来输出的也可。
运算部70包括扫描X射线源控制部72、图像获取控制部74、3D图像重建部76、合格与否判定部78、载物台控制部80、X射线焦点位置计算部82、拍摄条件设定部84以及维护信息管理部86。
扫描X射线源控制部72用于决定X射线焦点位置和X射线能量，并向扫描X射线源控制机构60发送指令。
图像获取控制部74用于决定传感器基座22的旋转角、获取图像的X射线传感器23，并向图像获取控制机构30发送指令。另外，从图像获取控制机构30获取图像数据。
3D图像重建部76根据图像获取控制部74所获取的多个图像数据重建三维数据。
合格与否判定部78基于3D图像重建部76重建的3D图像数据、或者透视数据，判定检查对象的合格与否。例如，识别焊球的形状，判定该形状是否在预先决定的允许范围内等，从而判定合格与否。此外，由于判定合格与否的算法、或者向算法的输入信息因检查对象而异，因此从拍摄条件信息94获取。
载物台控制部80用于控制使检查对象20移动的机构(未图示)。
在对于检查对象物20的某一检查区域进行检查时，X射线焦点位置计算部82计算对于该检查区域的X射线焦点位置以及照射角等。此外，以后叙述详细内容。
拍摄条件设定部84根据检查对象20，设定从扫描型X射线源10输出X射线时的条件。例如，设定对于X射线管的施加电压、拍摄时间等。
维护信息管理部86对于向靶材面照射电子束的时间进行累计，并将所累计的照射时间超过规定阈值(表示靶材寿命的时间)的X射线焦点位置，判断为不能作为X射线的放射起点位置来使用的焦点位置。在此情况下，输出部50通过报警显示等向用户通知靶材的寿命。
在本实施方式中，举了通过电子束的照射时间来判断靶材寿命的一个例子，但也可以由用户观察透视像来进行判断，更一般地，根据X射线发生量来判断也可。
根据X射线发生量来判断靶材寿命的方法例如有将X射线的强度作为X射线的光子集团来捕捉的方法以及分析X射线光子数及其能量的方法。
在将X射线的强度作为光子集团来捕捉的方法中，采用电离室等剂量仪，根据剂量(累计剂量μSV、单位时间的剂量μSv/h)的减少率来进行判定即可。
另外，在分析X射线光子数和能量的方法中，采用半导体X射线检测仪等，求出理想(还未到寿命)靶材状态下的X射线发生量的曲线图(例如，横轴为X射线的光子能量，纵轴为光子数)，并根据该曲线图的变化来进行判定即可。例如，在偏离量超过了某一阈值的情况下，或者，在对检查重要的X射线能量的强度(光子数)的减少率超过了阈值的情况下，判断为已耗尽了寿命。
存储器90包括：X射线靶材维护信息91，其存储维护信息管理部86所提供的信息；X射线焦点位置信息92，其存储X射线焦点位置计算部82所计算的X射线焦点位置；拍摄条件信息94，其存储拍摄条件设定部84所设定的拍摄条件、用于判定合格与否的算法等。
X射线靶材维护信息91包括：当前使用靶材维护信息，其对于当前的拍摄所使用的X射线焦点位置和累计了向该X射线焦点位置照射电子束的时间的累计X射线照射时间建立对应关系；过去使用靶材维护信息，其对于过去的拍摄所使用的X射线焦点位置和向该X射线焦点位置的累计X射线照射时间建立对应关系；NG靶材维护信息，其表示不能作为X射线焦点位置来使用的靶材面的位置。
另外，X射线靶材维护信息91包括与X射线焦点的尺寸对应的区域系数D。如上所述那样，X射线焦点的尺寸一般为亚微米到几百微米，但实际上，在焦点尺寸的周围也会受到热损伤等损坏。因此设定区域系数D。由此，维护信息管理部86将以X射线焦点位置为中心的直径为D的范围、或者对角线为D的范围，判断为在靶材上受到损坏的部分，并判断为不能作为X射线的焦点位置来使用(已到寿命)。
在X射线焦点位置信息92中，关于各检查区域，有X射线焦点位置计算部82所计算的计算结果(针对各X射线传感器23的焦点位置、照射角、传感器拍摄角、传感器配置角、传感器倾斜角等)建立对应关系。关于详细内容，以后再叙述。
另外，存储器90只要能够积蓄数据即可，由RAM(Random AccessMemory：随机存取存储器)或EEPROM(Electrically Erasable and ProgrammableRead-Only Memory：电可擦除可编程只读存储器)等存储装置构成。
图3A、图3B是从扫描型X射线源10侧观察传感器基座22的图。尤其是，图3A是以相同半径配置了X射线传感器23的图，图3B是以不同半径配置了X射线传感器23的图。
参照图3A、图3B，对传感器基座22进行说明。
在传感器基座22上安装有多个X射线传感器模块25，该X射线传感器模块25是在X射线传感器23上复合用于进行数据处理等的机构元件的模块。例如，如图3A所示，以使X射线传感器23位于将传感器基座旋转中心作为中心的圆的同一半径的圆周上的方式配置X射线传感器模块25也可，或者，如图3B所示，也可以将其配置在不同半径的圆周上也可。另外，优先在传感器基座22的中心也配置传感器模块25。进而，优先控制X射线传感器模块25在滑轨24上沿着半径方向自由移动。由此，能够获取从各种各样的角度观察的检查对象的拍摄数据。
图4是示出了X射线传感器模块25的侧视图。此外，针对X射线传感器23，也一并示出从X射线受光部26侧观察的图。
参照图4，对于X射线传感器模块25进行说明。
X射线传感器模块25具有：X射线受光部26，其将X射线转换为电信号；数据处理部29，其对电信号进行数据化，并通过数据电缆27向图像数据获取部34发送数据。此外，通过电源电缆28，从外部向X射线传感器模块25供给电力。另外，X射线传感器模块25虽能够在滑轨24上沿着半径方向自由移动，但固定位置也可。
X射线传感器23相对传感器基座22倾斜一定角度(传感器倾斜角α)。在图4中，固定了传感器倾斜角α，但也可以采用通过图像获取控制机构30的控制来调整角度的结构。
X射线传感器模块25在传感器基座22上安装有多个，而且各个都能够装卸。因此，能够只交换故障的X射线传感器模块。
图5是从侧面观察拍摄系统的示意图。
参照图5，对拍摄系统进行说明。此外，在图5中，只要X射线传感器23a、23b具有相对置的位置关系，则是哪一个X射线传感器23都无妨。另外，在图5中，X射线传感器23a、23b相对传感器基座22分别倾斜一定角度(传感器倾斜角αA，αB)。此外，将从扫描型X射线源10的靶材面到检查对象20为止的距离设定为Z1，将从检查对象20到X射线传感器23的中心140为止的距离设定为Z2。
在图5中，工件130位于传感器基座22的旋转轴上。在拍摄工件130时，应设定为扫描型X射线源10向X射线传感器23输出的X射线的焦点位置(电子束的照射位置)的位置(X射线的放射起点位置)被决定。例如，针对X射线传感器23a的X射线焦点位置17a设定在连接X射线传感器23a的传感器中心140与工件(检查区域)130的中心的直线和扫描型X射线源10的靶材面之间的交点处。此外，在传感器中心140可检测出工件的透视像142。即，针对对应的X射线传感器的检测面，以X射线透过工件并入射到该检测面的方式设定X射线的放射起点位置。因此，优选X射线传感器23a的传感器中心140、工件130的中心和X射线焦点位置17a排列在一条直线上，但只要X射线入射到检测面的一定范围内，则并不仅限定于这种配置。
在此，连接X射线传感器23与X射线焦点位置17之间的直线和扫描型X射线源10的靶材面所成的角称为照射角θ。例如，针对X射线传感器23a、23b，称之为照射角θA、θB。此外，在没有特别区分各照射角的情况下，简单称之为照射角θ。
如图5所示，在工件位于传感器基座的旋转中心的铅垂线上的情况下，关于所有X射线传感器23的照射角θ全都相等。在本发明中，无需使工件位于传感器基座的旋转中心，因此各照射角并不一定都相等。
图6A、图6B是用于说明传感器配置角和传感器基座基准角的图。尤其是，图6A是示出了传感器基座的旋转前情形的图，图6B是示出了将传感器基座旋转了θs之后的情形的图。
参照图6A、图6B，对于传感器配置角和传感器基座基准角进行说明。此外，此外，在图6A、图6B中，在X射线传感器23a、23b、23c中，只要X射线传感器23a、23b处于以与X射线传感器23b相邻的方式配置在传感器基座22的圆周上的关系，则是哪一个X射线传感器23都无妨。
如图6A所示，在传感器基座22上确定了传感器基座基准轴140，该传感器基座基准轴140在表示X射线传感器23之间的位置关系时将成为基准。在此，将连接X射线传感器23a和传感器基座22的轴作为传感器基座基准轴140。
在此，将X射线传感器23和传感器基座基准轴140所成的角设定为传感器配置角γ。例如，针对X射线传感器23b、23c而言，分别为传感器配置角γB、γC。此外，在未特别指定各传感器配置角的情况下，简单表示为传感器配置角γ。
如图6B所示，将与在图6A中的传感器基座基准轴140的位置对应的轴设定为基准坐标轴142。基准坐标轴142是为拍摄而使传感器基座22旋转时成为基准的轴。在此，将基准坐标轴142和传感器基座基准轴140所成的角设定为传感器基座基准角θs。此外，在图6A所示的情况下，传感器基座基准角为0度。
图7A、图7B是用于说明靶材维护角的图。尤其是，图7A是示出了使基准坐标轴相对机械坐标系旋转了θm之后的情形的图，图7B是示出了使传感器基座基准轴相对基准坐标轴旋转了θs之后的情形的图。
参照图7A、图7B，对于靶材维护角进行说明。
图7A所示，在传感器基座22上建立有机械坐标系141，该机械坐标系141在表示各X射线传感器23的绝对位置时被使用，是一种固定在传感器基座22上的坐标系。在为了错开靶材11上的X射线焦点位置而使传感器基座22旋转时，将机械坐标系141作为基准。此时，将基准坐标轴142和机械坐标系141所成的角设定为靶材维护角θm。
如图7B所示，在旋转了靶材维护角θm之后为了拍摄而使传感器基座22旋转时，传感器基座基准轴140相对基准坐标轴142旋转。如上所述那样，基准坐标轴142和传感器基座基准轴140所成的角为传感器基座基准角θs。
图8是从上方以及侧面观察拍摄系统的示意图，该图示出了使传感器基座22旋转时的情形。此外，关于扫描型X射线源10，也一并示出了从侧面观察传感器基座22的图。
参照图8，对于使传感器基座22旋转时的X射线传感器的位置和X射线焦点位置之间的关系进行说明。
如图8所示，在使传感器基座22旋转之前的针对X射线传感器23a的X射线焦点位置设定为A0，将针对X射线传感器23b的X射线焦点位置设定为B0。在此情况下，若从上方观察传感器基座22，则X射线传感器23a、23b位于AP0、BP0的位置。
在传感器基座22旋转了靶材维护角θm的情况下，若从上方观察传感器基座22，则X射线传感器23a、23b位于AP1、BP1的位置。
在此，在传感器基座22旋转之后，针对位于AP1位置的X射线传感器23a，在图5中所说明那样，重新所设定的X射线焦点位置为A1，针对位于BP1位置的X射线传感器23b，重新所设定的X射线焦点位置为B1。
如上所述，通过使传感器基座22旋转，X射线传感器23的位置改变，从而针对X射线传感器23的X射线焦点位置也改变。
图9是示出了当前使用靶材信息的图。
参照图9，对于包含在X射线靶材维护信息91中的当前使用靶材维护信息进行说明。
在当前使用靶材维护信息200中，在当前表示拍摄所使用的X射线的焦点位置的X射线焦点位置202和表示向该X射线焦点位置照射电子束的时间累计的累计X射线照射时间204之间建立有对应关系。
图10是示出了过去使用靶材维护信息的图。
参照图10，对于包含在X射线靶材维护信息91中的过去使用靶材维护信息进行说明。
在过去使用靶材维护信息210中，在过去表示拍摄所使用的X射线的焦点位置的X射线焦点位置212和表示向该X射线焦点位置照射电子束的时间累计的累计X射线照射时间214之间建立有对应关系。
在变更了检查对象或者检查区域的情况下，以当前使用靶材维护信息示出的当前的X射线焦点位置的信息会存储在过去使用靶材信息中。
图11是示出了NG靶材维护信息的图。
参照图11，对于NG靶材维护信息进行说明。
在NG靶材维护信息220中，在表示靶材面上不能作为X射线焦点位置来使用的位置的X射线焦点位置222、表示向该X射线焦点位置照射电子束的时间累计的累计X射线照射时间224以及表示是否自动判断了NG靶材的自动判定标志226之间建立有对应关系。
在自动判定标志226中，针对因累计X射线照射时间超过了规定的阈值，运算部70的维护信息管理部86判断为已到寿命的X射线焦点位置，表示为「ON」。另一方面，针对用户例如基于透视像等判断为已到寿命的X射线焦点位置，表示为「OFF」。
使用如上所述结构的X射线检查装置100，进行在下一节所述的X射线检查处理。
(2.X射线检查处理的流程)
本实施方式的X射线检查装置100在进行如下所述的X射线检查处理时，还进行对于靶材面的焦点位置的寿命判定。
图12是示出了X射线检查装置100的X射线检查处理的概略的流程图。
参照图12，对于X射线检查处理的概略进行说明。此外，关于步骤S100、102、104、112的详细内容，以后再叙述。另外，该流程图只不过是对于X射线检查处理的一个例子而已，例如，替换步骤来执行等也可。
首先，在步骤S100中，对于检查对象设定检查区域，并算出X射线焦点位置信息。关于检查区域，用户可以通过输入部40任意地设定，也可以参照预先设定的检查区域的信息。在此，能够设定多个检查区域。然后，运算部70算出X射线焦点位置信息。
接下来，在步骤S102中，基于X射线焦点位置信息进行拍摄。此时有两种情况：在结束了对于各X射线传感器23的所有拍摄处理之后，进入到步骤S104的处理的情况；并行进行步骤S102和104的情况，此时，使拍摄到的图像数据依次进入到步骤S104的处理。
接着，在步骤S104中，按照CT算法，将拍摄到的多个数据反投影到三维重建空間，从而生成重建数据，由此得到CT图像。
然后，在步骤S106中，基于重建数据进行检查。此外，检查分两种情形：将重建数据显示在显示器等上，并由用户判断的情形；根据重建数据自动判断的情形等。
接着，在步骤S108中，运算部70判定是否结束对于在步骤S100中设定的所有检查区域的拍摄。若判断为还未结束对于所有检查区域的拍摄(在步骤S108中为“否”)，则在步骤S110中，将要拍摄的检查区域变更为所设定的下一个检查区域，并返回到步骤S102的处理。
若判断为结束了对于所有检查区域的拍摄(在步骤S108中为“是”)，则在步骤S112中，运算部70判断当前的拍摄所使用的X射线焦点位置的靶材寿命，并结束处理。
此外，只要是正在使用X射线检查装置，则判断靶材寿命的时机为任何时刻都可，并不一定在步骤S108之后进行。
图13是用于说明图12的步骤S100中的处理的流程图。
参照图13，对于图12的步骤S100中处理的详细内容进行说明。
在步骤S120中，输入部40接收用户对检查区域的设定。然后，向X射线焦点位置计算部82提供检查区域的位置(例如，位置坐标)。
接下来，在步骤S122中，输入部40接收用户对拍摄张数的设定。然后，向X射线焦点位置计算部82提供拍摄张数。拍摄张数可分以下两种情形：根据检查对象、检查项目，拍摄条件设定部84自动进行设定的情形；用户任意设定的情形。此外，在本实施方式中，拍摄张数是安装在传感器基座的圆周上的X射线传感器数目的整数倍。
接着，在步骤S124中，X射线焦点位置计算部82判定所设定的拍摄张数是否多于安装在传感器基座的圆周上的X射线传感器数目。
若判断为拍摄张数多于X射线传感器数目(在步骤S124中为“是”)，则在步骤S126中，X射线焦点位置计算部82计算旋转传感器基座时的传感器基座基准角。
在此，在X射线传感器23为n个且拍摄张数为n×m(其中，m为2以上的整数)张的情况下，计算m个传感器基座基准角。具体而言，传感器基座基准角为0度、360/n/m度、…、(360/n/m)×x度(x＝1、…、m-1)。
例如，举例n＝18、m＝10的情况。在此情况下，拍摄张数为18×10＝180张。另外，第二个传感器基座基准角为360/18/10＝2度，最后的传感器基座基准角为(360/18/10)×9＝18度。
另一方面，若判断为拍摄张数少于X射线传感器数目(在步骤S124中为“否”)，则进入到步骤S128的处理。
在步骤S128中，X射线焦点位置计算部82计算对于传感器基座基准角的与各X射线传感器有关的信息(X射线焦点位置、传感器照射角、传感器拍摄角)。具体而言，进行如下计算。
X射线焦点位置计算部82计算与各X射线传感器对应的X射线焦点位置。例如，将连接X射线传感器中心与检查区域中心的直线和靶材面之间的交点，设定为X射线焦点位置。
X射线焦点位置计算部82基于X射线焦点位置，计算传感器照射角。
X射线焦点位置计算部82基于X射线焦点位置，计算传感器拍摄角β。此外，传感器拍摄角β是指，连接工件130与X射线传感器23的中心的直线和X射线传感器23所成的角度。
通过如上所述的步骤，计算出X射线焦点位置信息。此外，在本实施方式中，由于预先设定有传感器倾斜角α、传感器配置角γ，因此无需对于每个X射线焦点位置重新计算传感器倾斜角α、传感器配置角γ。
接着，在步骤S130中，X射线焦点位置计算部82判定对于所有传感器基座基准角是否结束了计算。
若判断为对于所有传感器基座基准角还未结束计算(在步骤S130中为“否”)，则返回到步骤S128的处理。
另一方面，若判断为对于所有传感器基座基准角结束了计算(在步骤S130中为“是”)，则在步骤S131中，X射线焦点位置计算部82判定在步骤S128中所计算的X射线焦点位置与存储在NG靶材维护信息中的X射线焦点位置是否在区域系数D的范围内重叠。
若判断为重叠(在步骤S131中为“是”)，则在步骤S134中，X射线焦点位置计算部82判断是否超出了基准坐标轴的旋转极限。例如，在传感器基座22的圆周上配置有N个X射线传感器的情况下，旋转极限为360/N左右，但旋转极限并不仅限定于此，可以由其他式子来表示，也可以预先设定。
若判断为未超出旋转极限(在步骤S134中为“否”)，则在步骤S136中，旋转角控制部32使传感器基座22旋转小于等于旋转极限的规定角度(传感器基座维护角θm)，从而使X射线传感器23的位置变更，并返回到步骤S128的处理。关于传感器基座维护角θm，可以预先设定，也可以基于传感器配置角γ来决定。
若判断为超出了旋转极限(在步骤S134中为“是”)，则结束处理。
另一方面，若判断为所计算的X射线焦点位置未与NG靶材维护信息重叠(在步骤S131中为“否”)，则在步骤S132中，X射线焦点位置计算部82将关于焦点位置的计算结果存储记忆在X射线焦点位置信息92中。也就是说，关于所设定的检查区域，存储在步骤S128中X射线焦点位置计算部82所计算的针对各X射线传感器23的X射线焦点位置、照射角θ、传感器倾斜角α、传感器拍摄角β、传感器配置角γ而作为X射线焦点位置信息。
通过如上所述的步骤，X射线焦点位置计算部82进行计算X射线焦点位置信息的处理(图12的步骤S100)。
图14是用于说明图12的步骤S102中处理的流程图。
参照图14，对于图12的步骤S102中处理的详细内容进行说明。首先，在步骤S150中，扫描X射线源控制部72参照X射线焦点位置信息92。
接下来，在步骤S152中，扫描X射线源控制部72向扫描型X射线源10下达指示，以使电子束控制部62进行如下控制：将电子束的照射位置变更为对应于X射线传感器的X射线焦点位置。
接着，在步骤S154中，图像获取控制部74向图像数据获取部34下达指示，以使图像数据获取部34从检测出透过检查区域的X射线的X射线传感器获取拍摄数据。
然后，在步骤S156中，图像获取控制部74判定是否获取了对应于传感器基座基准角的所有拍摄数据。
若判断为未获取所有拍摄数据(在步骤S156中为“否”)，则返回到步骤S152的处理中。
若判断为获取了所有拍摄数据(在步骤S156中为“是”)，则在步骤S158中，图像获取控制部76判定是否获取了对于所有传感器基座基准角的拍摄数据。
若判断为对于所有传感器基座基准角还未获取拍摄数据(在步骤S158中为“否”)，则在步骤S160中，图像获取控制部74对于旋转角控制部32下达指示，以使其控制传感器基座22旋转至还未旋转的传感器基座基准角，并进入到步骤S152的处理中。
另一方面，若判断为对于所有传感器基座基准角获取了拍摄数据(在步骤S158中为“是”)，则结束拍摄处理。
通过如上所述的步骤，进行拍摄处理(图12的步骤S102)。
图15是用于说明图12的步骤S104中的处理的流程图。
参照图15，对于图12的步骤S104中处理(CT算法)的详细内容进行说明。
首先，在步骤S170中，3D图像重建部76根据所获取的拍摄数据，计算投影数据(吸收系数图像)。
在此，简单说明投影数据。一般地，在X射线透过检查对象物的情况下，如以下的式(1)所示的指数函数所示那样，X射线量衰减相当于构成检查对象物的元件等的每一个所具有的固有X射线吸收系数的量。
I＝I0Exp(-μL)…(1)
其中，L为透过路径长、μ为X射线吸收系数、I0为X射线空气数据值、I为X射线传感器拍摄数据。此外，X射线空气数据值是指，在未安放检查对象物的情况下所拍摄的X射线传感器的拍摄数据，一般称之为空白图像。
由式(1)求出利用以下式(2)可计算的投影数据μL。
μL＝log(I0/I)…(2)
另外，有时对于计算投影数据、或者投影数据之前的X射线拍摄数据还会进行各种校正。例如，为了除去噪声而使用中值滤波器，或者在X射线传感器的各个像素的特性及灵敏度不同的情况下进行校准。
接下来，在步骤S172中，3D图像重建部76根据在步骤S170中所计算的多个投影数据，利用存储在X射线焦点位置信息92中的数据来重建图像数据。作为重建方法，如“数字图像处理”(主编：数字图像处理编辑委员会，发行：财团法人图像信息教育振兴协会(CG-ARTS协会)，第2版，2006年3月发行)的第149页到第154页所示那样，提出有傅里叶变换法等各种各样的方法。在本实施方式中，采用卷积反投影法作为重建方法。这是一种为了降低散焦而使用投影数据和Shepp-Logan等过滤函数的卷积来进行反投影的方法。
在此，简单说明一下反投影。
图16是用于说明反投影的图。
参照图16，举例说明对于重建区域302的立体像素数据S0进行反投影的情形。
在此情况下，将连接X射线源300与立体像素数据S0的直线和X射线传感器304相交的点(X射线传感器304的像素)P0的投影数据值，设定为立体像素数据S0的值。此时，X射线强度因立体像素的位置(坐标)而异，因此基于传感器倾斜角、传感器拍摄角、照射角、传感器配置角、传感器基座基准角，对于拍摄数据进行如FDK法的强度校正也可。另外，在求出像素P0时，根据存储在X射线焦点位置信息92中的信息、如图7所示的从靶材面到检查对象为止的距离Z1、从检查对象到X射线传感器的中心为止的距离Z2值，能够以几何学的方法算出像素P0。
返回到图15，最后在步骤S174中，3D图像重建部76判定对于所有拍摄数据的处理是否结束。
若判断为还未结束(在步骤S174中为“否”)，则返回到步骤S170的处理。
另一方面，若判断为已结束(在步骤S174中为“是”)，则结束处理。
图17是用于说明图12的步骤S112中处理的流程图。
参照图17，对于图12的步骤S112中处理(寿命判定)的详细内容进行说明。
首先，在步骤S180中，维护信息管理部86在当前进行拍摄时所使用的X射线焦点位置所对应的累计X射线照射时间上，加上电子束的照射时间。在进行拍摄时，会设定X射线传感器的曝光时间或者X射线照射时间，因此维护信息管理部86基于这些设定来计算累计X射线照射时间，并更新当前使用靶材维护信息。此外，可以基于如上所述那样设定的时间来计算累计X射线照射时间，但对于实际的照射时间进行计时，并测定累计时间也可。
接下来，在步骤S182中，维护信息管理部86判定当前所使用的X射线焦点位置的累计X射线照射时间是否超出了表示靶材寿命的阈值。
若判断为还未超出阈值(在步骤S182中为“否”)，则结束寿命判定的处理。
另一方面，若判断为超出了阈值(在步骤S182中为“是”)，则在步骤S184中，维护信息管理部86向输出部50下达指示，以使其通知累计X射线照射时间超出了规定阈值的情况。例如，开启报警，并点亮显示灯或在显示器上的进行显示等，从而使用户获知。
接着，在步骤S186中，维护信息管理部86判定靶材的维护是否为自动。在此，自动维护是指，自动改变X射线的焦点位置、传感器基座位置，从而使X射线检查装置能够连续工作的模式。手动维护是指，用户在确认的同时进行通过自动维护所进行的处理的模式。此外，在进行手动维护时，无法进行X射线检查。用户通过输入部40，能够预先进行关于自动维护的设定。
若判断为不是自动维护(在步骤S186中为“否”)，则维护信息管理部86结束处理。在此情况下，用户在确认的同时进行步骤S188～198中的各处理。也就是说，用户自身无需进行各处理本身，例如，确认运算部70所执行的各步骤的结果，并使处理往前进行即可。
另一方面，判断为是自动维护(在步骤S186中为“是”)，则X射线焦点位置计算部86计算X射线焦点位置。关于其详细内容，以后再叙述。
在步骤S190中，维护信息管理部86判定是否已求出在步骤S188中能够使用的X射线焦点位置。
若判断为还未计算出在步骤S188中能够使用的X射线焦点位置(在步骤S190中为“否”)，则需要交换靶材，而且，维护信息管理部86结束寿命判定的处理。
另一方面，判断为已计算出能够使用的X射线焦点位置(在步骤S190中为“是”)，则在步骤S192中，X射线焦点位置计算部86将计算结果存储在X射线焦点位置信息92中。电子束控制部62读取X射线焦点位置信息92，从而变更X射线焦点位置。
接下来，在步骤S194中，维护信息管理部86向过去使用靶材维护信息写入所使用的靶材的信息，并向当前使用靶材维护信息写入X射线焦点位置信息92，从而更新X射线靶材维护信息91。
接着，在步骤S196中，旋转角控制部32使传感器基座22旋转，以使该传感器基座22处于在步骤S188中所计算的靶材维护角。以后在进行拍摄时，旋转后的传感器基座将成为基准(基准坐标轴)。
最后，在步骤S198中，维护信息管理部86关闭报警，并结束处理。
图18是用于说明图17的步骤S188中的处理的流程图。
参照图18，对于图17的步骤S188中处理的详细内容进行说明。
首先，在步骤S200中，X射线焦点位置计算部82在靶材维护角θm上加上预先所设定的规定角度Δθ，从而进行更新。在此，只是对靶材维护角进行计算而已，而不是实际使传感器基座22旋转。
接下来，在步骤S202中，X射线焦点位置计算部82判定靶材维护角是否超出了极限角度。例如，在传感器基座22的圆周上配置有N个X射线传感器的情况下，靶材维护角的极限角度为360/N左右，但极限角度并不仅限定于此，而可以由其他式子来表示，也可以预先设定。
若判断为靶材维护角超出了极限角度(在步骤S202中为“是”)，则在步骤S216中，X射线焦点位置计算部82判断为无法计算能够使用的X射线焦点位置，并结束处理。
另一方面，判断为靶材维护角还未超出极限角度(在步骤S202中为“否”)，则在步骤S204中，X射线焦点位置计算部82求出传感器基座基准角θs。在此，如在图13的步骤S124、126中所说明那样，判断所设定的拍摄张数是否多于安装在传感器基座的圆周上的X射线传感器的数目，而且，若判断为拍摄张数多于X射线传感器的数目，则传计算感器基座基准角。关于计算方法，为了避免重复说明而省略其说明。
接着，在步骤S206中，X射线焦点位置计算部82求出位于某一传感器基座基准角θs上的各X射线传感器23在机械坐标系上的角度。传感器基座22相对表示绝对坐标的机械坐标系旋转了靶材维护角θm，进而，以此为基准而存在几个传感器基座基准角θs。因此，在机械坐标系上的传感器基座基准角为(θm+θs)。也就是说，在机械坐标系上的各X射线传感器23的位置是，在(θm+θs)上加上各X射线传感器23的传感器配置角γ的(θm+θs+γ)。
然后，在步骤S208中，X射线焦点位置计算部82基于在步骤S206中所求出的机械坐标系上的各X射线传感器23的角度，根据拍摄系统的几何学配置，求出针对各X射线传感器23的X射线焦点位置。
接下来，在步骤S210中，关于最后的传感器基座基准角，X射线焦点位置计算部82判定是否已计算出针对各X射线传感器23的X射线焦点位置。在此，在步骤S204中计算出多个传感器基座基准角θs的情况下，关于各传感器基座基准角，依次计算X射线焦点位置，并判定关于最后的传感器基座基准角是否已计算出X射线焦点位置。
若判断为关于最后的传感器基座基准角还未进行计算(在步骤S210中为“否”)，则关于下一个传感器基座基准角，进行步骤S206以后的处理。
另一方面，若判断为关于最后的传感器基座基准角已进行了计算(在步骤S210中为“是”)，在步骤S212中，X射线焦点位置计算部82对于所计算的X射线焦点位置和X射线靶材维护信息91进行比较。在此，比较以包含在X射线靶材维护信息91中的NG靶材维护信息所示出的X射线焦点位置和所计算的X射线焦点位置，是否在以区域系数D为直径或者对角线的范围内重叠。
接着，在步骤S214中，X射线焦点位置计算部82判定在步骤S212中进行比较的结果是否与NG靶材的X射线焦点位置重叠。
若判断为重叠(在步骤S214中为“是”)，则为了重新计算X射线焦点位置而返回到步骤S200的处理。
另一方面，若判断为不重叠(在步骤S214中为“否”)，则结束处理。
如上所述，若采用本发明的X射线检查装置以及应用了该X射线检查装置的X射线拍摄方法的使用X射线检查装置的X射线检查方法，则能够记忆对于照射电子束的靶材面的X射线焦点位置的照射时间。然后，若判断为经过了规定时间，则变更X射线传感器的位置，从而使靶材上的X射线焦点位置移动。由此，用户无需接触X射线源，就能够通过计算机等来对X射线检查装置的维护进行管理。因此，不会为维护而花费时间，从而能够继续进行检查。
另外，能够自动进行对于X射线源的靶材的维护，因此能够简便地使用X射线检查装置。
另外，通过使电子束移动，能够缩短对于1处X射线焦点位置的照射时间，因此能够使到靶材的维护为止的时间变长。由此，能够降低靶材的维护频度。
这次所公开的实施方式在所有方面只能视为例示，而不能视为限定。本发明的范围并非通过上述说明示出，而是通过后述技术方案的范围来示出，而且包括与后述技术方案的范围均等的含义以及范围内的所有变更。

Claims (12)

1.一种X射线检查方法，使用通过照射X射线来检查对象物的检查部分的X射线检查装置，该X射线检查装置具有检测面、X射线源以及存储装置，其中，该检测面设定在从规定位置中指定的位置，用于检测所入射X射线的强度分布，该X射线源使位于靶材面上的X射线焦点位置移动，由此能够产生上述X射线，该存储装置关于上述靶材面上的位置，存储产生X射线的履历信息而作为上述X射线焦点位置，上述X射线检查方法的特征在于，包括：
设定从多个第一规定位置中指定的上述检测面的位置和与上述检查部分对应的上述X射线焦点位置的步骤；
基于上述存储装置的上述履历信息，检测在所设定的上述X射线焦点位置所产生的X射线量超出规定量的步骤；
根据上述检测结果，将上述检测面的指定位置变更设定为多个第二规定位置中的任一处的步骤，其中，上述多个第二规定位置与上述多个第一规定位置不同；
使上述X射线焦点位置移动到根据所变更的上述检测面重新设定的位置，由此产生上述X射线的步骤；
在上述检测面上，检测透过了上述检查部分的上述X射线的强度分布的步骤。
2.如权利要求1所述的X射线检查方法，其特征在于，设定上述X射线焦点位置的步骤包括：
以使上述X射线透过上述检查部分并入射到上述检测面的方式，决定上述靶材面上的上述X射线焦点位置的步骤。
3.如权利要求1所述的X射线检查方法，其特征在于，
变更设定上述指定位置的步骤包括：
从上述多个第二规定位置中分别指定用于检测上述X射线的多个检测面的步骤；
产生上述X射线的步骤包括：
关于上述多个检测面，以使上述X射线透过上述检查部分并分别入射到上述多个检测面的方式，分别决定上述靶材面上的多个上述X射线焦点位置的步骤；
使上述X射线源的照射电子束的照射位置移动到所决定的各上述X射线焦点位置，由此产生上述X射线的步骤，而且
上述X射线检查方法还包括：
基于所检测到的上述强度分布的数据，重建上述检查部分的图像数据的步骤。
4.如权利要求3所述的X射线检查方法，其特征在于，检测上述X射线量超出规定量的步骤包括：
关于所设定的上述X射线焦点位置，至少检测产生上述X射线的累计时间超过了规定时间的步骤。
5.如权利要求4所述的X射线检查方法，其特征在于，分别决定多个上述X射线焦点位置的步骤包括：
在排除上述电子束的照射超过上述规定时间的位置之后，决定上述X射线焦点位置的步骤。
6.如权利要求4所述的X射线检查方法，其特征在于，分别决定多个上述X射线焦点位置的步骤包括：
在从上述电子束的照射超过上述规定时间的位置排除基于与X射线焦点的尺寸对应的区域系数来决定的范围之后，决定上述X射线焦点位置的步骤。
7.如权利要求1所述的X射线检查方法，其特征在于，产生上述X射线的步骤包括：
使电子束偏转，由此变更上述电子束照射到上述靶材面上的照射位置，从而使上述X射线焦点位置移动的步骤。
8.一种X射线检查装置，利用X射线检查对象物的检查部分，其特征在于，
上述X射线检查装置具有X射线检测装置，该X射线检测装置具有用于检测上述X射线的多个检测面，
上述X射线检测装置具有检测位置变更装置，该检测位置变更装置将上述多个检测面的位置，从多个第一规定位置分别变更为多个第二规定位置，其中，上述多个第二规定位置与上述多个第一规定位置不同，上述X射线检查装置还具有输出控制装置，该输出控制装置用于控制上述X射线的输出处理，
上述输出控制装置具有：
起点设定装置，其关于上述多个检测面，以使上述X射线透过上述对象物的检查部分并入射到各上述检测面的方式，分别设定上述X射线的放射起点位置；
存储装置，其对于各上述起点位置和在各上述起点位置放射上述X射线的履历信息建立对应关系并进行存储；
检测装置，其基于上述存储装置的上述履历信息，若关于所设定的上述起点位置检测到累计照射时间超过了规定时间，则为了使上述检测位置变更装置进行变更操作而输出上述检测结果，而且
在上述检测位置变更装置进行了变更操作的情况下，上述起点设定装置重新设定各个上述起点位置，
上述X射线检查装置还具有：
X射线输出装置，其使X射线源的X射线焦点位置移动到各上述起点位置，由此产生上述X射线；
重建装置，其基于在多个上述检测面上所检测到的透过上述检查部分的X射线的强度分布的数据，重建上述检查部分的图像数据。
9.如权利要求8所述的X射线检查装置，其特征在于，上述X射线输出装置具有：
使电子束偏转，由此使上述靶材面上的照射位置移动，从而使上述X射线焦点位置移动的装置。
10.如权利要求8所述的X射线检查装置，其特征在于，上述检测位置变更装置具有：
旋转台，其在以规定的轴为中心的圆周上配置有上述多个检测面；
旋转装置，其使上述旋转台以上述轴为中心旋转，而且
根据上述检测装置的检测结果，使上述旋转台只旋转一定角度，从而使上述多个检测面的位置从上述多个第一规定位置分别变更为上述多个第二规定位置。
11.如权利要求8所述的X射线检查装置，其特征在于，上述起点设定装置基于上述履历信息，在排除与超过了上述规定时间的照射时间建立有对应关系的上述位置之后，设定各个上述起点位置。
12.如权利要求8所述的X射线检查装置，其特征在于，上述输出装置还具有指定装置，该指定装置用于指定上述对象物的检查部分。
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