JP2020115464A - X線発生装置、x線装置、構造物の製造方法、及び構造物製造システム - Google Patents
X線発生装置、x線装置、構造物の製造方法、及び構造物製造システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020115464A JP2020115464A JP2020068579A JP2020068579A JP2020115464A JP 2020115464 A JP2020115464 A JP 2020115464A JP 2020068579 A JP2020068579 A JP 2020068579A JP 2020068579 A JP2020068579 A JP 2020068579A JP 2020115464 A JP2020115464 A JP 2020115464A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- target
- electron beam
- rays
- ray generator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 28
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 106
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 71
- 238000013461 design Methods 0.000 claims description 35
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 25
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 19
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 17
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 10
- 230000008439 repair process Effects 0.000 claims description 10
- 239000011162 core material Substances 0.000 claims description 9
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 4
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000012938 design process Methods 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 12
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 18
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 16
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 12
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 5
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 4
- 238000003705 background correction Methods 0.000 description 4
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- RFHAOTPXVQNOHP-UHFFFAOYSA-N fluconazole Chemical compound C1=NC=NN1CC(C=1C(=CC(F)=CC=1)F)(O)CN1C=NC=N1 RFHAOTPXVQNOHP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002083 X-ray spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 1
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005242 forging Methods 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 239000012811 non-conductive material Substances 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- X-Ray Techniques (AREA)
Abstract
Description
図1は、本発明の実施形態に係るX線装置1の全体構成の一例を示す図である。本発明の実施形態に係るX線装置1は、被測定物SにX線XLを照射して、その被測定物Sを透過した透過X線を検出する。このX線装置1は、被測定物SにX線を照射し、その被測定物Sを通過したX線を検出して、その被測定物Sの内部の情報(例えば、内部構造)を非破壊で取得するX線CT検査装置を含む。本実施形態において、被測定物Sは、機械部品、電子部品等の産業用部品を含む。X線CT検査装置は、産業用部品にX線を照射して、その産業用部品を検査する産業用X線CT検査装置を含む。従って、本実施形態においては、測定される物体を被測定物としているが、これに限られず、検査するための被検物でも構わない。勿論、測定結果に基づいて、物体の大きさを計測しても構わない。
なお、本実施形態では、被測定物Sを保持したステージ9を回転させるが、被測定物Sを固定し、X線発生装置2と検出器4とを回転させても構わない。勿論、被測定物Sを保持したステージを回転させるとともに、X線発生装置2と検出器4とを回転させても構わない。
電子線200はターゲット130の照射領域以外の領域にも照射され、その領域でX線が発生してしまうおそれがある。そこで、第2実施形態では、ターゲット130の照射領域以外の領域をX線の発生量が少ない材料で被覆する。
また、電子線200に限られず、反射電子線210に関しても同様である。反射電子線210が再度ターゲット130の照射面に入射する場合に、照射面が、電子源121から放出される電子線の照射領域とは異なる領域に照射されることにより、二次光源が発生することを抑制することができる。
また、電子線200の照射領域130A以外に、電子源121からの電子線が照射された場合でも、X線の発生量が少ない材料131で被覆されているために、X線の発生を抑制することができる。すなわち、X線発生装置において、所定位置以外の場所からのX線の発生を抑制することができる。
上記した第1実施形態では、電子線200が通過する進路の途中に配置された絞りは開口部150だけであった。これに対し、第3実施形態では、電子線200が通過する進路の途中に複数の絞りを配置する。そして、それら複数の絞りをX線の発生量が少ない材料で構成する。
次に、上述したX線装置1を備えた構造物製造システムについて説明する。図6は、構造物製造システムSYSのブロック構成図である。構造物製造システムSYSは、測定装置としてのX線装置1と、成形装置720と、制御装置(検査装置)730と、リペア装置740とを備える。本実施形態においては、構造物製造システムSYSは、自動車のドア部分、エンジン部品、ギア部品、回路基板を備える電子部品などの成形品を作成する。
なお、本実施形態においては、真空チューブ110の円筒形状の内面の表面形状は平坦であるが、これに限られない。凹凸形状が設けられても構わない。勿論、凹凸形状を設けることで装置の構造がより複雑となる場合には、凹凸形状を設けなくても構わない。勿論、X線発生装置2において、電子源121から電子線200が照射される可能性がある箇所、又はターゲット130もしくは、例えば、円筒形状の内面で反射された反射電子線が照射される可能性がある箇所の一部分だけに凹凸形状を設けても構わない。例えば、真空チューブ110の円筒形状の内面は凹凸形状として、真空ポンプ160に接続される配管112は平坦としても構わない。
Claims (12)
- 電子線を放出する電子源と、
前記電子源からの電子線が通過する開口が形成された開口部と、
前記開口を通過した電子線が照射されることでX線を発生するターゲットと、を備え、
前記開口部における前記ターゲットに対向する側の少なくとも一部は、前記電子線の照射により発生するX線の強度が前記ターゲットよりも少ない材料を含む、X線発生装置。 - 前記材料は、アルミニウム、アルミニウム合金、チタン、チタン合金、炭化ケイ素、パイログラファイトのいずれか一つを含む、請求項1に記載のX線発生装置。
- 前記開口部は、心材と、前記心材の少なくとも前記ターゲットに対向する側を被覆した前記材料から成る、請求項1または請求項2に記載のX線発生装置。
- 前記心材は重金属から成る、請求項3に記載のX線発生装置。
- 前記開口部は、前記材料から成る、請求項1または請求項2に記載のX線発生装置。
- 前記電子源から前記ターゲットまでの電子線の進路を囲う管を備え、
前記管の内面の少なくとも一部に前記材料を含む、請求項1から請求項5のいずれか一項に記載のX線発生装置。 - 前記ターゲットは、透過型のターゲットである、請求項1から請求項6のいずれか一項に記載のX線発生装置。
- 前記ターゲットにおける前記電子源に対向する側の少なくとも一部は、前記材料で被覆されている、請求項1から請求項7のいずれか一項に記載のX線発生装置。
- 請求項1から請求項8のいずれか一項に記載のX線発生装置と、
前記X線発生装置から射出されたX線を検出する検出器と、を備える、X線装置。 - 構造物の形状に関する設計情報を作成する設計工程と、
前記設計情報に基づいて前記構造物を作製する成形工程と、
作製された前記構造物の形状を請求項9に記載のX線装置を用いて計測する計測工程と、
前記計測工程で得られた形状情報と前記設計情報とを比較する検査工程と、を有する、構造物の製造方法。 - 前記検査工程の比較結果に基づいて実行され、前記構造物の再加工を実施するリペア工程を有する、請求項10に記載の構造物の製造方法。
- 構造物の形状に関する設計情報を作成する設計装置と、
前記設計情報に基づいて前記構造物を作製する成形装置と、
作製された前記構造物の形状を測定する請求項9に記載のX線装置と、
前記X線装置によって得られた前記構造物の形状に関する形状情報と前記設計情報とを比較する制御装置と、を含む、構造物製造システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020068579A JP7099488B2 (ja) | 2020-04-06 | 2020-04-06 | X線発生装置、x線装置、構造物の製造方法、及び構造物製造システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020068579A JP7099488B2 (ja) | 2020-04-06 | 2020-04-06 | X線発生装置、x線装置、構造物の製造方法、及び構造物製造システム |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015140706A Division JP2017022054A (ja) | 2015-07-14 | 2015-07-14 | X線発生装置、x線装置、構造物の製造方法、及び構造物製造システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020115464A true JP2020115464A (ja) | 2020-07-30 |
JP7099488B2 JP7099488B2 (ja) | 2022-07-12 |
Family
ID=71778977
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020068579A Active JP7099488B2 (ja) | 2020-04-06 | 2020-04-06 | X線発生装置、x線装置、構造物の製造方法、及び構造物製造システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7099488B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050213709A1 (en) * | 2004-03-23 | 2005-09-29 | Dinsmore Mark T | Miniature x-ray source with improved output stability and voltage standoff |
JP2005276760A (ja) * | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Shimadzu Corp | X線発生装置 |
JP2005332623A (ja) * | 2004-05-18 | 2005-12-02 | Toshiba Corp | X線源及びその陽極 |
JP2009301908A (ja) * | 2008-06-13 | 2009-12-24 | Hamamatsu Photonics Kk | X線発生装置 |
WO2014050931A1 (ja) * | 2012-09-26 | 2014-04-03 | 株式会社ニコン | X線装置、及び構造物の製造方法 |
-
2020
- 2020-04-06 JP JP2020068579A patent/JP7099488B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050213709A1 (en) * | 2004-03-23 | 2005-09-29 | Dinsmore Mark T | Miniature x-ray source with improved output stability and voltage standoff |
JP2005276760A (ja) * | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Shimadzu Corp | X線発生装置 |
JP2005332623A (ja) * | 2004-05-18 | 2005-12-02 | Toshiba Corp | X線源及びその陽極 |
JP2009301908A (ja) * | 2008-06-13 | 2009-12-24 | Hamamatsu Photonics Kk | X線発生装置 |
WO2014050931A1 (ja) * | 2012-09-26 | 2014-04-03 | 株式会社ニコン | X線装置、及び構造物の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7099488B2 (ja) | 2022-07-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8644451B2 (en) | X-ray generating apparatus and inspection apparatus using the same therein | |
US8173952B2 (en) | Arrangement for producing electromagnetic radiation and method for operating said arrangement | |
US20080240344A1 (en) | X-ray tomosynthesis device | |
CN104854963B (zh) | X线装置、及构造物的制造方法 | |
TWI613693B (zh) | 用於成像訊號帶電粒子束的系統、用於成像訊號帶電粒子束的方法及帶電粒子束裝置 | |
JP2017022054A (ja) | X線発生装置、x線装置、構造物の製造方法、及び構造物製造システム | |
JP6705507B2 (ja) | 荷電粒子線装置、電子線発生装置、x線源、x線装置および構造物の製造方法 | |
JP6666627B2 (ja) | 荷電粒子線装置、及び荷電粒子線装置の調整方法 | |
US8294096B2 (en) | Charged particle beam device and a method of operating a charged particle beam device | |
JP5458472B2 (ja) | X線管 | |
JP7099488B2 (ja) | X線発生装置、x線装置、構造物の製造方法、及び構造物製造システム | |
JPH09311112A (ja) | 欠陥検査装置 | |
TW201740423A (zh) | 帶電粒子束裝置、用於帶電粒子束裝置的系統、及用於操作帶電粒子束裝置的方法 | |
JP4783338B2 (ja) | 試料を検査するための荷電粒子ビーム装置および方法 | |
JPWO2020084890A1 (ja) | X線分析装置及びx線発生ユニット | |
JP5366419B2 (ja) | X線装置 | |
JP2015170593A (ja) | 分析装置 | |
JP6201394B2 (ja) | X線源、x線装置 | |
JP7302423B2 (ja) | X線発生装置、x線装置、構造物の製造方法及び構造物製造システム | |
JP6281229B2 (ja) | X線源、x線装置、構造物の製造方法、及び構造物製造システム | |
US10879029B2 (en) | Charged particle device, structure manufacturing method, and structure manufacturing system | |
JP6586778B2 (ja) | X線装置および構造物の製造方法 | |
JP2019179769A (ja) | 荷電粒子装置、構造物の製造方法および構造物製造システム | |
JP2005032958A (ja) | 荷電粒子線装置の照明条件調整方法、及び露光方法 | |
JP2017027806A (ja) | X線発生装置、電子線補正方法、x線装置、構造物の製造方法、及び構造物製造システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200406 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200413 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210322 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210413 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20210609 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210805 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211109 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20211227 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220308 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220531 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220613 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7099488 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R157 | Certificate of patent or utility model (correction) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R157 |