JP4783338B2 - 試料を検査するための荷電粒子ビーム装置および方法 - Google Patents
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Claims (17)
- 光軸(102、702)を画定し、1次荷電粒子ビームを集束する第1対物レンズ(104、404、704)と、
試料配置領域を画定する試料台(110、411、711)と、
試料に衝突させるためのビーム経路に向けて1次荷電粒子ビームを前記第1対物レンズと前記試料配置領域の間で偏向させるための偏向ユニット(132、232、323、532、732)と
を備え、前記偏向ユニットが前記光軸(102、702)に対して移動可能である荷電粒子ビーム装置であって、
前記偏向ユニット(132、232、323、532、732)が、前記光軸(102、702)と前記衝突させるためのビーム経路との間に少なくとも約60°の偏向角を生成するようになっている、前記荷電粒子ビーム装置。 - 前記偏向ユニット(132、232、323、532、732)が、前記光軸と前記衝突させるためのビーム経路との間に約70°〜約135°の偏向角を生成するようになっている、請求項1に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記偏向ユニットが扇形電磁界偏向ユニットである、請求項1または2に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記偏向ユニットと前記試料配置領域の間に後段レンズ(134、234、334、734)をさらに備える、請求項1〜3のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記偏向ユニットと前記試料配置領域の間の前記後段レンズがアインゼルレンズである、請求項4に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記偏向ユニット(132、232、323、532、732)が前記試料台(110、411、711)上に配置される、請求項1〜5のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記試料台が、X方向の移動用のX方向台(411X)、Y方向の移動用のY方向台(411Y)、およびZ方向の移動用のZ方向台(411Z)を備え、前記偏向ユニット(132、232、323、532、732)が、前記X方向台および前記Y方向台の動きに追従するようになっている、請求項1〜6のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記偏向ユニットが前記X方向台および/またはY方向台に固定して連結される、請求項7に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記試料台(110、411、711)が、走査領域内に試料の縁部を位置決めするように前記試料を回転させるΘ方向台を備える、請求項1〜8のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記偏向ユニットが、第1の方向に集束するための扇形電磁界偏向ユニットと、第2の方向に集束するための四重極ユニット、円柱レンズ、または側板とを備える、請求項1〜9のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記偏向ユニットが半球扇形電磁界偏向ユニットを備える、請求項1〜9のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記偏向ユニットが扇形電界偏向ユニットである、請求項1〜11のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記偏向ユニット(132、232、323、532、732)が、前記第1対物レンズ(104、404、704)によって生成されたクロスオーバに配置される、請求項1〜12のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記偏向ユニットが、前記試料の縁部と前記光軸(102、702)の間の距離を20mmと40mmの間にすることができるように配置され、寸法設定される、請求項1〜13のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 荷電粒子ビーム装置を用いて試料を検査する方法であって、
1次荷電粒子ビームを生成するステップと、
前記試料の斜角部または縁部に向けて前記1次荷電粒子ビームを第1対物レンズ(104、404、704)と前記試料の間で偏向させることを含む、第1のモードで前記試料を検査するステップと
を含み、
前記1次荷電粒子ビームが、前記第1対物レンズと前記試料の間に配置された偏向ユニット(132、232、323、532、732)を用いて、少なくとも60°の角度だけ偏向される、前記方法。 - 前記試料の縁部または斜角部にある走査領域を前記1次荷電粒子ビームで走査するステップと、
前記走査領域を走査している間に画像を生成するステップと、
前記試料の別の縁部を前記走査領域内に配置するために前記試料を回転させるステップと
をさらに含む、請求項15に記載の試料を検査する方法。 - 前記荷電粒子ビーム装置の光軸(102、702)に対して前記偏向ユニット(132、232、323、532、732)を第2の位置に移動させて、前記1次荷電粒子ビームが前記偏向ユニットを通り抜けないようにするステップと、
前記試料の表面を前記1次荷電粒子ビームで検査することを含む、第2のモードで試料を検査するステップと
をさらに含む、請求項15または16に記載の試料を検査する方法。
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