JP7400106B2 - 低クロストークを有する多重荷電粒子ビーム装置 - Google Patents
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Description
[0001] この出願は、2019年12月19日に出願された米国特許出願第62/950,774号の優先権を主張し、同特許は、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。
1. サンプルの画像を形成するためにマルチビーム装置によって行われる方法であって、
複数の一次電子ビームと相互作用した時点で主光軸に沿ってサンプル上の複数のプローブスポットから複数の二次電子ビームを発生させることと、
複数の二次電子ビームを集束面上に集束させることと、
集束面に対して二次電子検出器の検出面を位置決めすることと、
を含む、方法。
2. 複数の二次電子ビームが、二次電子ビームのアレイを含む、条項1に記載の方法。
3. サンプルと相互作用する複数の一次電子ビームの配向を調整することをさらに含む、条項1及び2に記載の方法。
4. 複数の一次電子ビームの配向を調整することが、二次電子ビームのアレイの配向を調整する、条項3に記載の方法。
5. 複数の一次電子ビームの配向を調整することが、主光軸を中心に複数の一次電子ビームを回転させることを含む、条項3及び4に記載の方法。
6. ビームセパレータを使用して、複数の二次電子ビームを副光軸に沿って二次電子検出器に向けて誘導することをさらに含む、条項1~5の何れか一項に記載の方法。
7. 複数の二次電子ビームの非点収差を補償するために非点収差補正装置の電気的励磁を調整することをさらに含む、条項1~6の何れか一項に記載の方法。
8. 二次電子検出器が、複数の二次電子ビームを集束面上に集束させるように構成された二次電子投影系の下流に配置される、条項1~7の何れか一項に記載の方法。
9. 二次電子検出器が、複数の検出要素を含み、複数の検出要素のうちの1つの検出要素が、複数の二次電子ビームのうちの対応する二次電子ビームに関連付けられる、条項8に記載の方法。
10. 二次電子検出器の検出面を位置決めすることが、検出面と集束面との間の傾斜角度を調整することを含む、条項8及び9に記載の方法。
11. 傾斜角度を調整することが、二次電子検出器の検出面と集束面との間の傾斜角度を減少させることを含む、条項10に記載の方法。
12. 傾斜角度を減少させることが、二次電子検出器の検出面が集束面と実質的に一致するように二次電子検出器の位置を調整することを含む、条項11に記載の方法。
13. 二次電子検出器の位置を調整することが、二次電子検出器の収集効率に基づいて傾斜角度を動的に調整することを含む、条項12に記載の方法。
14. 二次電子検出器の位置を調整することが、傾斜角度を傾斜角度の所定の値に調整することを含む、条項12又は13に記載の方法。
15. 二次電子検出器の位置を調整することが、副光軸に対する1つ又は複数の平面において傾斜角度を調整することを含む、条項12~14の何れか一項に記載の方法。
16. サンプルの画像を形成するために多重荷電粒子ビーム装置によって行われる方法であって、
複数の一次電子ビームと相互作用した時点で主光軸に沿ってサンプル上の複数のプローブスポットから複数の二次電子ビームを発生させることと、
サンプルと相互作用する複数の一次電子ビームの配向を調整することと、
最終像面上にサンプルの複数のプローブスポットの像を形成することと、
最終像面の位置に対して二次電子検出器の検出面を位置決めすることと、
を含む、方法。
17. 複数の二次電子ビームが、二次電子ビームのアレイを含む、条項16に記載の方法。
18. 複数の一次電子ビームの配向を調整することが、二次電子ビームのアレイの配向を調整する、条項16及び17の何れか一項に記載の方法。
19. 複数の一次電子ビームの配向を調整することが、主光軸を中心に複数の一次電子ビームを回転させることを含む、条項16~18の何れか一項に記載の方法。
20. ビームセパレータを使用して、複数の二次電子ビームを副光軸に沿って二次電子検出器に向けて誘導することをさらに含む、条項16~19の何れか一項に記載の方法。
21. 複数の二次電子ビームの非点収差を補償するために非点収差補正装置の電気的励磁を調整することをさらに含む、条項16~20の何れか一項に記載の方法。
22. 二次電子検出器が、最終像面上に複数のプローブスポットの像を形成するように構成された二次電子投影系の下流に配置される、条項16~21の何れか一項に記載の方法。
23. 二次電子検出器が、複数の検出要素を含み、複数の検出要素のうちの1つの検出要素が、複数の二次電子ビームのうちの対応する二次電子ビームに関連付けられる、条項22に記載の方法。
24. 二次電子検出器の検出面を位置決めすることが、二次電子検出器の検出面と最終像面との間の傾斜角度を調整することを含む、条項22及び23の何れか一項に記載の方法。
25. 傾斜角度を調整することが、二次電子検出器の検出面と最終像面との間の傾斜角度を減少させることを含む、条項24に記載の方法。
26. 傾斜角度を減少させることが、二次電子検出器の検出面が最終像面と実質的に一致するように二次電子検出器の位置を調整することを含む、条項25に記載の方法。
27. 二次電子検出器の位置を調整することが、二次電子検出器の収集効率に基づいて傾斜角度を動的に調整することを含む、条項26に記載の方法。
28. 二次電子検出器の位置を調整することが、傾斜角度を傾斜角度の所定の値に調整することを含む、条項26及び27の何れか一項に記載の方法。
29. 二次電子検出器の位置を調整することが、副光軸に対する1つ又は複数の平面において傾斜角度を調整することを含む、条項24~28の何れか一項に記載の方法。
30. サンプル上に複数のプローブスポットを形成するように構成された複数の一次電子ビームを使用してサンプルを検査するマルチビーム装置であって、マルチビーム装置が、
二次電子投影系であって、
プローブスポットの形成によって生じた複数の二次電子ビームを受信することと、サンプル上の複数のプローブスポットの像を最終像面上に形成することと、
を行うように構成された二次電子投影系と、
複数の二次電子ビームを検出するように構成された二次電子検出器と、
を含み、荷電粒子検出器の位置が、最終像面の位置に基づいて設定される、マルチビーム装置。
31. 複数の二次電子ビームが、二次電子ビームのアレイを含む、条項30に記載のマルチビーム装置。
32. 複数の一次電子ビームをサンプル上に集束させ、及び主光軸に沿って中間像面上に複数のプローブスポットの像を形成するように構成された対物レンズをさらに含む、条項30及び31の何れか一項に記載のマルチビーム装置。
33. 複数の二次電子ビームを副光軸に沿って二次電子検出器に向けて誘導するように構成されたビームセパレータをさらに含む、条項30~32の何れか一項に記載のマルチビーム装置。
34. 複数の二次電子ビームの非点収差を補償するように構成された非点収差補正装置をさらに含む、条項30~33の何れか一項に記載のマルチビーム装置。
35. 二次電子検出器が二次電子投影系の下流に配置される、条項30~34の何れか一項に記載のマルチビーム装置。
36. 二次電子検出器が、複数の検出要素を含み、複数の検出要素のうちの1つの検出要素が、複数の二次電子ビームのうちの対応する二次電子ビームに関連付けられる、条項30~35の何れか一項に記載のマルチビーム装置。
37. 二次電子検出器の位置の設定が、二次電子検出器の検出面と最終像面との間の調整された傾斜角度を含む、条項30~36の何れか一項に記載のマルチビーム装置。
38. 二次電子検出器の位置の設定が、検出面と最終像面との間の減少させた傾斜角度を含む、条項37に記載のマルチビーム装置。
39. 減少させた傾斜角度が、検出面が最終像面と実質的に一致するような二次電子検出器の位置の設定を含む、条項38に記載のマルチビーム装置。
40. 二次電子検出器の位置の設定が、二次電子検出器の収集効率に基づく、動的に調整された傾斜角度をさらに含む、条項37~39の何れか一項に記載のマルチビーム装置。
41. 二次電子検出器の位置の設定が、傾斜角度の所定の値をさらに含む、条項37~40の何れか一項に記載のマルチビーム装置。
42. 最終像面が湾曲面を含む、条項30~41の何れか一項に記載のマルチビーム装置。
43. サンプル上の複数のプローブスポットから発生した複数の二次電子ビームの経路に影響を与えるように構成された非点収差補正装置を含む二次電子投影系と、
複数の二次電子ビームを検出するように構成された二次電子検出器と、
を含む、マルチビーム装置であって、二次電子検出器の位置が、複数のプローブスポットの最終像面の位置に基づいて決定される、マルチビーム装置。
44. 二次電子投影系が、複数の二次電子ビームを集束させ、及び最終像面を形成するように構成される、条項43に記載の装置。
45. 非点収差補正装置が、電気又は磁気多極レンズを含む、条項43及び44の何れか一項に記載の装置。
46. 非点収差補正装置の電気的励磁の調整が、複数の二次電子ビームの非点収差を補償する、条項43~45の何れか一項に記載の装置。
47. サンプル上に複数のプローブスポットを形成するために複数の一次電子ビームを集束させることと、
主光軸に対して実質的に垂直な中間像面上に複数のプローブスポットの像を形成することと、
を行うように構成された対物レンズをさらに含む、条項43~46の何れか一項に記載の装置。
48. 複数の二次電子ビームを副光軸に沿って二次電子検出器に向けて誘導するように構成されたビームセパレータをさらに含む、条項43~47の何れか一項に記載の装置。
49. 二次電子検出器が、二次電子投影系の下流に配置される、条項43~48の何れか一項に記載の装置。
50. 二次電子検出器が、複数の検出要素を含み、複数の検出要素のうちの1つの検出要素が、複数の二次電子ビームのうちの対応する二次電子ビームに関連付けられる、条項49に記載の装置。
51. 二次電子検出器の位置の調整が、二次電子検出器の検出面と最終像面との間の傾斜角度の調整を含む、条項49及び50の何れか一項に記載の装置。
52. 二次電子検出器の位置の調整が、検出面と最終像面との間の傾斜角度の減少を含む、条項51に記載の装置。
53. 傾斜角度の減少が、検出面が最終像面と実質的に一致するような二次電子検出器の位置の調整を含む、条項52に記載の装置。
54. 二次電子検出器の位置の調整が、二次電子検出器の複数の二次電子ビームの検出効率に基づく、傾斜角度の動的調整をさらに含む、条項51~53の何れか一項に記載の装置。
55. 二次電子検出器の位置の調整が、傾斜角度を所定の値に設定することをさらに含む、条項51~54の何れか一項に記載の装置。
56. サンプルの画像を形成する方法をマルチビーム装置に行わせるための、マルチビーム装置の1つ又は複数のプロセッサによって実行可能な命令の一セットを格納する非一時的なコンピュータ可読媒体であって、方法が、
主光軸に沿ってサンプル上の複数の一次電子ビームの複数のプローブスポットから複数の二次電子ビームを発生させることと、
二次電子検出器を使用して、最終像面上でサンプルの複数のプローブスポットの像を取得することと、
最終像面の位置に基づいて、二次電子検出器の検出面を位置決めすることと、
を含む、非一時的なコンピュータ可読媒体。
57. マルチビーム装置の1つ又は複数のプロセッサによって実行可能な命令の一セットが、
対物レンズを使用して、主光軸に対して実質的に垂直な中間像面上に複数のプローブスポットの中間像を形成することと、
ビームセパレータを使用して、複数の二次電子ビームを副光軸に沿って二次電子検出器に向けて誘導することと、
をマルチビーム装置にさらに行わせる、条項56に記載の非一時的なコンピュータ可読媒体。
58. マルチビーム装置の1つ又は複数のプロセッサによって実行可能な命令の一セットが、
サンプルと相互作用する複数の一次電子ビームの配向を調整することであって、複数の一次電子ビームの配向を調整することが、主光軸を中心に複数の一次電子ビームを回転させることを含む、調整することと、
荷電粒子検出器の検出面と最終像面との間の傾斜角度を調整することと、
をマルチビーム装置にさらに行わせる、条項57に記載の非一時的なコンピュータ可読媒体。
59. マルチビーム装置の1つ又は複数のプロセッサによって実行可能な命令の一セットが、複数の二次電子ビームの非点収差を補償するために非点収差補正装置の電気的励磁を調整することをマルチビーム装置にさらに行わせる、条項58に記載の非一時的なコンピュータ可読媒体。
Claims (15)
- サンプルの画像を形成するためにマルチビーム装置によって行われる方法であって、
複数の一次電子ビームと相互作用した時点で主光軸に沿って前記サンプル上の複数のプローブスポットから複数の二次電子ビームを発生させることと、
前記複数の二次電子ビームを副光軸に対して非垂直である集束面上に集束させることと、
前記集束面に対して二次電子検出器の検出面を位置決めすることと、
を含む、方法。 - 前記複数の二次電子ビームの非点収差を補償するために非点収差補正装置の電気的励磁を調整することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- サンプル上に複数のプローブスポットを形成するように構成された複数の一次電子ビームを使用して前記サンプルを検査するマルチビーム装置であって、前記マルチビーム装置が、
二次電子投影系であって、
前記プローブスポットの前記形成によって生じた複数の二次電子ビームを受信することと、前記サンプル上の前記複数のプローブスポットの像を副光軸に対して非垂直である最終像面上に形成することと、
を行うように構成された二次電子投影系と、
前記複数の二次電子ビームを検出するように構成された二次電子検出器と、
を含み、前記二次電子検出器の位置が、前記最終像面の位置に基づいて設定される、マルチビーム装置。 - 前記複数の二次電子ビームが、二次電子ビームのアレイを含む、請求項3に記載のマルチビーム装置。
- 前記複数の一次電子ビームを前記サンプル上に集束させ、及び主光軸に沿って中間像面上に前記複数のプローブスポットの像を形成するように構成された対物レンズをさらに含む、請求項3に記載のマルチビーム装置。
- 前記複数の二次電子ビームを前記副光軸に沿って前記二次電子検出器に向けて誘導するように構成されたビームセパレータをさらに含む、請求項3に記載のマルチビーム装置。
- 前記複数の二次電子ビームの非点収差を補償するように構成された非点収差補正装置をさらに含む、請求項3に記載のマルチビーム装置。
- 前記二次電子検出器が前記二次電子投影系の下流に配置される、請求項3に記載のマルチビーム装置。
- 前記二次電子検出器が、複数の検出要素を含み、前記複数の検出要素のうちの1つの検出要素が、前記複数の二次電子ビームのうちの対応する二次電子ビームに関連付けられる、請求項3に記載のマルチビーム装置。
- 前記二次電子検出器の位置の設定が、前記二次電子検出器の検出面と前記最終像面との間の調整された傾斜角度を含む、請求項3に記載のマルチビーム装置。
- 前記二次電子検出器の前記位置の前記設定が、前記検出面と前記最終像面との間の減少させた傾斜角度を含む、請求項10に記載のマルチビーム装置。
- 前記減少させた傾斜角度が、前記検出面が前記最終像面と実質的に一致するような前記二次電子検出器の前記位置の前記設定を含む、請求項11に記載のマルチビーム装置。
- 前記二次電子検出器の前記位置の前記設定が、前記二次電子検出器の収集効率に基づく、動的に調整された傾斜角度をさらに含む、請求項10に記載のマルチビーム装置。
- 前記二次電子検出器の前記位置の前記設定が、前記傾斜角度の所定の値をさらに含む、請求項10に記載のマルチビーム装置。
- 前記最終像面が湾曲面を含む、請求項3に記載のマルチビーム装置。
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