JP2018535525A - 複数の荷電粒子ビームの装置 - Google Patents
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Abstract
Description
[0001] 本出願は、2015年11月30日に出願され、Ren等に付与された「Apparatus of Plural Charged−Particle Beams」と題する米国仮出願第62/260,822号の優先権の利益を主張する。その全体的な開示は参照により本願に含まれる。
(関連出願の相互参照)
このように、サンプル表面上の各プローブスポットは1つの検出要素上に結像され、これによって、複数のプローブスポットと複数の検出要素との対応関係を保証する。プローブスポットピッチPdは、異なる検査用途では異なる可能性があり、これに応じて倍率Mは常に変化する。
Claims (76)
- サンプルの表面を観察するためのマルチビーム装置であって、
電子源と、
前記電子源の下方の集光レンズと、
前記集光レンズの下方のソース変換ユニットと、
前記ソース変換ユニットの下方の対物レンズと、
前記ソース変換ユニットの下方の偏向スキャンユニットと、
前記対物レンズの下方のサンプルステージと、
前記ソース変換ユニットの下方のビームセパレータと、
前記ビームセパレータの上方の、二次投影結像システムと複数の検出要素を有する電子検出デバイスとを備えた検出ユニットと、
を備え、前記電子源、前記集光レンズ、前記ソース変換ユニット、前記対物レンズ、前記偏向スキャンユニット、及び前記ビームセパレータは、前記装置の一次光軸と整合され、前記サンプルステージは、前記表面が前記対物レンズに対向するように前記サンプルを維持し、前記検出ユニットは前記装置の二次光軸と整合され、前記二次光軸は前記一次光軸に対して平行でなく、
前記複数の検出要素は検出面上に配置され、前記二次投影結像システムは、ズームレンズ、スキャン防止偏向ユニット、及び投影レンズを備え、
前記電子源は前記一次光軸に沿って一次電子ビームを発生させ、前記集光レンズは前記一次電子ビームをある程度合焦させ、前記ソース変換ユニットは、前記一次電子ビームを複数のビームレットに変換すると共に前記複数のビームレットに前記電子源の複数の第1の像を形成させ、前記対物レンズは前記複数のビームレットを合焦させて前記複数の第1の像を前記表面上に結像し、従ってその上に複数のプローブスポットをそれぞれ形成し、前記偏向スキャンユニットは、前記表面上の観察エリア内の複数のスキャン領域上で前記複数のプローブスポットをそれぞれスキャンするように前記複数のビームレットを偏向させ、
前記複数のスキャン領域からそれぞれ前記複数のプローブスポットによって、複数の二次電子ビームが発生され、次いで前記対物レンズに入射し、前記対物レンズは途中で前記複数の二次電子ビームを合焦させ、前記ビームセパレータは、前記二次光軸に沿って前記二次投影結像システムに入射するように前記複数の二次電子ビームを偏向させ、
前記ズームレンズは前記複数の二次電子ビームを伝達面に合焦させ、前記伝達面は前記ズームレンズと前記投影レンズとの間にあり、前記複数の二次電子ビームは前記ズームレンズと前記伝達面との間に第1のクロスオーバを形成し、
前記投影レンズは次いで前記複数の二次電子ビームを前記検出面に合焦させ、前記複数の二次電子ビームは、前記投影レンズと前記検出面との間に第2のクロスオーバを形成すると共に前記検出面上に複数の二次電子スポットを形成し、前記複数の二次電子スポットはそれぞれ前記複数の検出要素の内部にあり、その結果、前記複数のプローブスポットと前記複数の検出要素との間に対応関係が確立され、従って各検出要素は1つの対応するスキャン領域の像信号を発生させ、
前記スキャン防止偏向ユニットは、前記複数の二次電子スポットの位置を維持するように、これによって前記対応関係を常に保持するように、前記複数のプローブスポットが前記複数のスキャン領域上でスキャンするのに合わせて前記複数の二次電子ビームを偏向させ、
前記ズームレンズの結像倍率は、前記表面を異なる条件で観察する場合に前記対応関係を保持するように調整される、マルチビーム装置。 - 前記複数の二次電子ビームの周辺電子を遮断するための二次ビーム制限アパーチャをさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 前記伝達面に配置されて前記投影レンズの軸外収差を低減させるフィールドレンズをさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 前記ビームセパレータによる前記複数の二次電子ビームの非点収差を補償するための非点収差補正装置をさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 前記検出ユニットの製造誤差及び/又は組み立て誤差による前記対応関係の逸脱を補償するためのアライメント偏向器をさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 前記スキャン防止偏向ユニットは前記ビームセパレータと前記ズームレンズとの間にある、請求項1に記載の装置。
- 前記ズームレンズは第1のズームサブレンズ及び第2のズームサブレンズを備え、前記第2のズームサブレンズは前記第1のズームサブレンズと前記伝達面との間にある、請求項1に記載の装置。
- 前記スキャン防止偏向ユニットは前記第1及び第2のズームサブレンズの間にある、請求項7に記載の装置。
- 前記スキャン防止偏向ユニットは、前記二次光軸に沿って前記第2のズームサブレンズに入射する前記複数の二次電子ビームを偏向させる、請求項8に記載の装置。
- 前記二次投影結像システムは、前記投影レンズに入射する前記複数の二次電子ビームの半径方向シフト及び傾斜角を低減させるため前記伝達面に配置されたフィールドレンズを備える、請求項9に記載の装置。
- 前記二次投影結像システムは1つ以上の開口を有する二次ビーム制限アパーチャプレートを備え、前記1つ以上の開口は前記複数の二次電子ビームの周辺電子を遮断するため前記二次クロスオーバの位置に配置されている、請求項9に記載の装置。
- 前記二次投影結像システムは、前記表面を異なる条件で観察する場合に前記第2のクロスオーバの前記位置を保持するように前記複数の二次電子ビームを曲げるため前記伝達面に配置されたフィールドレンズを備える、請求項11に記載の装置。
- 前記二次投影結像システムは、前記ビームセパレータによる前記複数の二次電子スポットの非点収差を補償するため前記第1のクロスオーバに又は前記第1のクロスオーバの近くに配置された非点収差補正装置を備える、請求項12に記載の装置。
- 前記対物レンズは第1の磁気レンズを有する、請求項13に記載の装置。
- 前記フィールドレンズは、前記表面を異なる条件で観察する場合に前記複数の二次電子スポットの回転変動を打ち消す第2の磁気レンズを有する、請求項14に記載の装置。
- 前記ズームレンズは、前記表面を異なる条件で観察する場合に前記複数の二次電子スポットの回転変動を打ち消す第2の磁気レンズを有する、請求項14に記載の装置。
- 前記投影レンズは、前記表面を異なる条件で観察する場合に前記複数の二次電子スポットの回転変動を打ち消す第2の磁気レンズを有する、請求項14に記載の装置。
- 前記二次投影結像システムは、前記検出ユニットの製造誤差及び/又は組み立て誤差による前記対応関係の逸脱を補償するため前記二次ビーム制限アパーチャプレートと前記検出面との間にあるアライメント偏向器を備える、請求項17に記載の装置。
- 前記複数の二次電子ビームはそれぞれ複数の低速二次電子ビームである、請求項18に記載の装置。
- 前記複数の二次電子ビームはそれぞれ複数の後方散乱電子ビームである、請求項18に記載の装置。
- サンプルの表面を観察するためのマルチビーム装置であって、
電子源と、
前記電子源の下方の集光レンズと、
前記集光レンズの下方のソース変換ユニットと、
前記ソース変換ユニットの下方の対物レンズと、
前記ソース変換ユニットの下方の偏向スキャンユニットと、
前記対物レンズの下方のサンプルステージと、
前記ソース変換ユニットの下方のビームセパレータと、
前記ビームセパレータの上方の、二次投影結像システムと複数の検出要素を有する電子検出デバイスとを備えた検出ユニットと、
を備え、前記電子源、前記集光レンズ、前記ソース変換ユニット、前記対物レンズ、前記偏向スキャンユニット、及び前記ビームセパレータは、前記装置の一次光軸と整合され、前記サンプルステージは、前記表面が前記対物レンズに対向するように前記サンプルを維持し、前記検出ユニットは前記装置の二次光軸と整合され、前記二次光軸は前記一次光軸に対して平行でなく、
前記複数の検出要素は検出面上に配置され、前記二次投影結像システムは、ズームレンズ、スキャン防止偏向ユニット、投影レンズ、第1の伝達面における第1のフィールドレンズ、及び第2の伝達面における第2のフィールドレンズを備え、前記第1及び第2のフィールドレンズは前記ズームレンズと前記投影レンズとの間にあり、前記第1のフィールドレンズは前記第2のフィールドレンズと前記投影レンズとの間にあり、
前記電子源は前記一次光軸に沿って一次電子ビームを発生させ、前記集光レンズは前記一次電子ビームをある程度合焦させ、前記ソース変換ユニットは、前記一次電子ビームを複数のビームレットに変換すると共に前記複数のビームレットに前記電子源の複数の第1の像を形成させ、前記対物レンズは前記複数のビームレットを合焦させて前記複数の第1の像を前記表面上に結像し、従ってその上に複数のプローブスポットをそれぞれ形成し、前記偏向スキャンユニットは、前記表面上の観察エリア内の複数のスキャン領域上で前記複数のプローブスポットをそれぞれスキャンするように前記複数のビームレットを偏向させ、
前記複数のスキャン領域からそれぞれ前記複数のプローブスポットによって、複数の低速二次電子ビーム及び複数の後方散乱電子ビームが発生され、次いで前記対物レンズに入射し、前記対物レンズは途中で前記複数の低速二次電子ビーム及び前記複数の後方散乱電子ビームを合焦させ、
前記ビームセパレータが、前記二次光軸に沿って前記二次投影結像システムに入射するように前記複数の低速二次電子ビーム前記複数の後方散乱電子ビームをそれぞれ偏向させる場合、前記検出ユニットはSSEモード及びBSEモードにおいて別個に動作し、
前記SSEモードにおいて、前記第2のフィールドレンズはオフにされ、前記ズームレンズは前記複数の低速二次電子ビームを前記第1の伝達面に合焦させ、前記第1のフィールドレンズは前記複数の低速二次電子ビームを前記二次光軸の方へ曲げ、前記投影レンズは前記複数の低速二次電子ビームを前記検出面に合焦させ、前記複数の低速二次電子ビームは次いで前記投影レンズと前記検出面との間にSSEクロスオーバを形成すると共に前記検出面上に複数の低速二次電子スポットを形成し、前記複数の低速二次電子スポットはそれぞれ前記複数の検出要素の内部にあり、その結果、前記複数のプローブスポットと前記複数の検出要素との間にSSE対応関係が確立され、従って各検出要素は1つの対応するスキャン領域のSSE像信号を発生させ、
前記BSEモードにおいて、前記第1のフィールドレンズはオフにされ、前記ズームレンズは前記複数の後方散乱電子ビームを前記第2の伝達面に合焦させ、前記第2のフィールドレンズは前記複数の後方散乱電子ビームを前記二次光軸の方へ曲げ、前記投影レンズは前記複数の後方散乱電子ビームを前記検出面に合焦させ、前記複数の後方散乱電子ビームは次いで前記投影レンズと前記検出面との間にBSEクロスオーバを形成すると共に前記検出面上に複数の後方散乱電子スポットを形成し、前記複数の後方散乱電子スポットはそれぞれ前記複数の検出要素の内部にあり、その結果、前記複数のプローブスポットと前記複数の検出要素との間にBSE対応関係が確立され、従って各検出要素は1つの対応するスキャン領域のBSE像信号を発生させ、
前記SSEモードにおいて、前記スキャン防止偏向ユニットは、前記複数の低速二次電子スポットの位置を維持するように、これによって前記SSE対応関係を常に保持するように、前記複数のプローブスポットが前記複数のスキャン領域上でスキャンするのに合わせて前記複数の低速二次電子ビームを偏向させ、
前記BSEモードにおいて、前記スキャン防止偏向ユニットは、前記複数の後方散乱電子スポットの位置を維持するように、これによって前記BSE対応関係を常に保持するように、前記複数のプローブスポットが前記複数のスキャン領域上でスキャンするのに合わせて前記複数の後方散乱電子ビームを偏向させ、
前記表面を異なる条件で観察する場合、前記ズームレンズの結像倍率は、前記SSE及びBSEモードのそれぞれにおいて前記SSE及びBSE対応関係を保持するように調整される、マルチビーム装置。 - 前記二次投影結像システムは、前記SSEモードにおいて前記複数の低速二次電子ビームの周辺電子を遮断するため前記SSEクロスオーバに配置された第1の二次ビーム制限アパーチャを備える、請求項21に記載の装置。
- 前記二次投影結像システムは、前記BSEモードにおいて前記複数の後方散乱電子ビームの周辺電子を遮断するため前記BSEクロスオーバに配置された第2の二次ビーム制限アパーチャを備える、請求項21に記載の装置。
- 前記二次投影結像システムは、前記SSEモードにおいて前記ビームセパレータによる前記複数の低速二次電子ビームの非点収差を補償するための第1の非点収差補正装置を備える、請求項21に記載の装置。
- 前記二次投影結像システムは、前記BSEモードにおいて前記ビームセパレータによる前記複数の後方散乱電子ビームの非点収差を補償するための第2の非点収差補正装置を備える、請求項21に記載の装置。
- 前記二次投影結像システムはアライメント偏向器を備え、前記SSEモード及び前記BSEモードにおいて、前記アライメント偏向器は、前記検出ユニットの製造誤差及び/又は組み立て誤差による前記SSE対応関係及び前記BSE対応関係の逸脱をそれぞれ補償する、請求項21に記載の装置。
- 前記スキャン防止偏向ユニットは前記ビームセパレータと前記ズームレンズとの間にある、請求項21に記載の装置。
- 前記ズームレンズは第1のズームサブレンズ及び第2のズームサブレンズを備え、前記第2のズームサブレンズは前記第1のズームサブレンズと前記第2のフィールドレンズとの間にある、請求項21に記載の装置。
- 前記スキャン防止偏向ユニットは前記第1及び第2のズームサブレンズの間にある、請求項28に記載の装置。
- 前記スキャン防止偏向ユニットは、前記二次光軸に沿って前記第2のズームサブレンズに入射する前記SSEモードにおける前記複数の低速二次電子ビーム及び前記BSEモードにおける前記複数の後方散乱電子ビームをそれぞれ偏向させる、請求項29に記載の装置。
- 前記二次投影結像システムは、それぞれ1つ以上の開口を有する第1の二次ビーム制限アパーチャプレート及び第2の二次ビーム制限アパーチャプレートを備える、請求項30に記載の装置。
- 前記SEモードにおいて、前記第1の二次ビーム制限アパーチャプレートの1つの開口は前記複数の低速二次電子ビームの周辺電子を遮断するため前記SSEクロスオーバに配置され、前記BSEモードにおいて、前記第2の二次ビーム制限アパーチャプレートの1つの開口は前記複数の後方散乱電子ビームの周辺電子を遮断するため前記BSEクロスオーバに配置されている、請求項31に記載の装置。
- 前記SSEクロスオーバ及び前記BSEクロスオーバは、前記第1のフィールドレンズ及び前記第2のフィールドレンズをそれぞれ調整することによって共通の位置に設定される、請求項30に記載の装置。
- 前記二次投影結像システムは、1つ以上の開口を有する第3の二次ビーム制限アパーチャプレートを備え、前記1つ以上の開口は、前記SSEモード及び前記BSEモードの各々において前記共通の位置に配置されている、請求項33に記載の装置。
- 前記二次投影結像システムは、前記第3の二次ビーム制限アパーチャプレートの近くに配置された非点収差補正装置を備え、前記非点収差補正装置は、前記ビームセパレータによる前記SSEモード及び前記BSEモードにおける前記複数の低速二次電子スポット及び前記複数の後方散乱電子スポットの非点収差をそれぞれ補償する、請求項34に記載の装置。
- 前記対物レンズは第1の磁気レンズを有する、請求項35に記載の装置。
- 前記第1のフィールドレンズは、前記表面を異なる条件で観察する場合に前記SSEモードにおける前記複数の低速二次電子スポットの回転変動を打ち消す第2の磁気レンズを有する、請求項36に記載の装置。
- 前記第2のフィールドレンズは、前記表面を異なる条件で観察する場合に前記BSEモードにおける前記複数の後方散乱電子スポットの回転変動を打ち消す第3の磁気レンズを有する、請求項36に記載の装置。
- 前記ズームレンズは、前記表面を異なる条件で観察する場合に前記SSEモードにおける前記複数の低速二次電子スポット及び前記BSEモードにおける前記複数の後方散乱電子スポットの回転変動をそれぞれ打ち消す第2の磁気レンズを有する、請求項36に記載の装置。
- 前記投影レンズは、前記表面を異なる条件で観察する場合に前記SSEモードにおける前記複数の低速二次電子スポット及び前記BSEモードにおける前記複数の後方散乱電子スポットの回転変動をそれぞれ打ち消す第2の磁気レンズを有する、請求項36に記載の装置。
- 前記二次投影結像システムは、前記検出ユニットの製造誤差及び/又は組み立て誤差による前記SSE対応関係及び前記BSE対応関係の逸脱をそれぞれ補償するアライメント偏向器を備える、請求項40に記載の装置。
- サンプルの表面を観察するためのマルチビーム装置の検出システムを構成する方法であって、
ビームセパレータを用いて、前記表面上で複数のプローブスポットによって発生された複数の二次電子ビームを、前記装置の二次光軸に沿って進行するように偏向させるステップと、
前記二次光軸と整合されているズームレンズを用いて、前記複数の二次電子ビームを伝達面に合焦させるステップと、
前記二次光軸と整合されている投影レンズを用いて、前記伝達面からの前記複数の二次電子ビームを検出面に合焦させ、その上に複数の二次電子スポットを形成するステップと、
前記検出面上に配置されている複数の検出要素を有する電子検出デバイスを用いて、前記複数の二次電子スポットをそれぞれ検出するステップと、
スキャン防止偏向ユニットを用いて、前記複数の二次電子スポットの位置を常に保持するように、前記複数のプローブスポットが前記表面上の複数のスキャン領域上でスキャンするのに合わせて前記複数の二次電子ビームを偏向させるステップと、
前記表面を異なる条件で観察する場合に前記複数の二次電子スポットの位置の半径方向変動及び回転変動を打ち消すように前記ズームレンズ及び前記投影レンズを調整するステップと、
を含む方法。 - 二次ビーム制限アパーチャを用いて前記複数の二次電子ビームの周辺電子を遮断するステップをさらに含む、請求項42に記載の方法。
- フィールドレンズを用いて前記複数の二次電子スポットの軸外収差を低減させるステップをさらに含む、請求項42に記載の方法。
- 非点収差補正装置を用いて、前記ビームセパレータによる前記複数の二次電子スポットの非点収差を補償するステップをさらに含む、請求項42に記載の方法。
- アライメント偏向器を用いて、前記検出ユニットの製造誤差及び/又は組み立て誤差による前記複数の二次電子スポットと前記複数の検出要素との間のシフトを補償するステップをさらに含む、請求項42に記載の方法。
- サンプルの表面を観察するためのマルチビーム装置の検出システムを構成する方法であって、
SSEモードにおいて動作するステップであって、
ビームセパレータを用いて、前記表面上で複数のプローブスポットによって発生された複数の低速二次電子ビームを、前記装置の二次光軸に沿って進行するように偏向させるサブステップと、
前記二次光軸と整合されたズームレンズを用いて、前記複数の低速二次電子ビームを第1の伝達面に合焦させるサブステップと、
前記二次光軸と整合され、前記第1の伝達面に配置された第1のフィールドレンズを用いて、前記複数の低速二次電子ビームを曲げるサブステップと、
前記二次光軸と整合された投影レンズを用いて、前記複数の二次電子ビームを検出面に合焦させ、それらの間にSSEクロスオーバを形成すると共に前記検出面上に複数の低速二次電子スポットを形成するサブステップと、
前記検出面上に配置されている複数の検出要素を有する電子検出デバイスを用いて、前記複数の低速二次電子スポットをそれぞれ検出するサブステップと、
スキャン防止偏向ユニットを用いて、前記複数の低速二次電子スポットの位置を常に保持するように、前記複数のプローブスポットが前記表面上の複数のスキャン領域上でスキャンするのに合わせて前記複数の低速二次電子ビームを偏向させるサブステップと、
前記表面を異なる条件で観察する場合に前記複数の低速二次電子スポットの位置の半径方向変動及び回転変動を打ち消すように前記ズームレンズ及び前記投影レンズを調整するサブステップと、
を含む、SSEモードにおいて動作するステップと、
BSEモードにおいて動作するステップであって、
前記ビームセパレータを用いて、前記表面上で前記複数のプローブスポットによって発生された複数の後方散乱電子ビームを、前記装置の前記二次光軸に沿って進行するように偏向させるサブステップと、
前記ズームレンズを用いて、前記複数の後方散乱電子ビームを第2の伝達面に合焦させるサブステップと、
前記二次光軸と整合され、前記第2の伝達面に配置された第2のフィールドレンズを用いて、前記複数の後方散乱電子ビームを曲げるサブステップと、
前記投影レンズを用いて、前記複数の後方散乱ビームを前記検出面に合焦させ、それらの間にBSEクロスオーバを形成すると共に前記検出面上に複数の後方散乱電子スポットを形成するサブステップと、
前記複数の検出要素を用いて、前記複数の後方散乱電子スポットをそれぞれ検出するサブステップと、
前記スキャン防止偏向ユニットを用いて、前記複数の後方散乱電子スポットの位置を常に保持するように、前記複数のプローブスポットが前記複数のスキャン領域上でスキャンするのに合わせて前記複数の後方散乱電子ビームを偏向させるサブステップと、
前記表面を異なる条件で観察する場合に前記複数の後方散乱電子スポットの位置の半径方向変動及び回転変動を打ち消すように前記ズームレンズ及び前記投影レンズを調整するサブステップと、
を含む、BSEモードにおいて動作するステップと、
を含む方法。 - 前記SSEモードにおいて動作する前記ステップは、前記SSEクロスオーバにおいて第1の二次ビーム制限アパーチャを用いて前記複数の低速二次電子ビームの周辺電子を遮断するサブステップを含む、請求項47に記載の方法。
- 前記BSEモードにおいて動作する前記ステップは、前記BSEクロスオーバにおいて第2の二次ビーム制限アパーチャを用いて前記複数の後方散乱電子ビームの周辺電子を遮断するサブステップを含む、請求項48に記載の方法。
- 前記SSEクロスオーバ及び前記BSEクロスオーバは同一の面にあるか又は同一の面の近くにある、請求項49に記載の方法。
- 前記SSEモードにおいて動作する前記ステップは、前記同一の面の近くに配置された非点収差補正装置を用いて、前記ビームセパレータによる前記複数の低速二次電子スポットの非点収差を補償するサブステップを含む、請求項50に記載の方法。
- 前記BSEモードにおいて動作する前記ステップは、前記非点収差補正装置を用いて、前記ビームセパレータによる前記複数の後方散乱電子スポットの非点収差を補償するサブステップを含む、請求項51に記載の方法。
- 前記SSEモードにおいて動作する前記ステップは、アライメント偏向器を用いて、前記検出ユニットの製造誤差及び/又は組み立て誤差による前記複数の低速二次電子スポットと前記複数の検出要素との間のシフトを補償するサブステップを含む、請求項52に記載の方法。
- 前記BSEモードにおいて動作する前記ステップは、前記アライメント偏向器を用いて、前記検出ユニットの製造誤差及び/又は組み立て誤差による前記複数の後方散乱電子スポットと前記複数の検出要素との間のシフトを補償するサブステップを含む、請求項53に記載の方法。
- マルチビーム装置における検出デバイスのための結像システムであって、
サンプル表面から前記検出デバイスの複数の検出要素へそれぞれ発せられた複数の荷電粒子ビームを合焦させるための手段と、
前記マルチビーム装置において磁気対物レンズによって引き起こされた前記複数の荷電粒子ビームの回転を打ち消すための手段と、
を備える結像システム。 - 前記マルチビーム装置において偏向スキャンユニットによって引き起こされた、前記検出デバイス上での前記複数の荷電粒子ビームのスキャンを打ち消すための手段をさらに備える、請求項55に記載の結像システム。
- 前記複数の荷電粒子ビームは複数の低速二次電子ビーム及び複数の後方散乱電子ビームを含む、請求項55に記載の結像システム。
- 前記検出デバイスは半導体ダイオード検出器である、請求項55に記載の結像システム。
- 前記スキャンを打ち消す手段は前記結像システムの入射側の近くに位置している、請求項56に記載の結像システム。
- 前記スキャンを打ち消す手段は前記結像システムの光軸に沿って第1の偏向器及び第2の偏向器を順番に含む、請求項56に記載の結像システム。
- 前記合焦させる手段は前記結像システムの光軸に沿ってズームレンズ及び投影レンズを順番に含む、請求項56に記載の結像システム。
- 前記磁気対物レンズ及び前記ズームレンズは前記複数の荷電粒子ビームを伝達面に合焦させ、
前記投影レンズは前記伝達面からの前記複数の荷電粒子ビームを前記検出デバイス上の検出面に合焦させる、請求項61に記載の結像システム。 - 前記ズームレンズは前記光軸に沿って第1の静電レンズ及び第2の静電レンズを順番に含む、請求項62に記載の結像システム。
- 前記スキャンを打ち消す手段は前記第1の静電レンズと前記第2の静電レンズとの間に位置している、請求項62に記載の結像システム。
- 前記ズームレンズは前記回転を打ち消す手段である磁気レンズを含む、請求項63に記載の結像システム。
- 前記投影レンズは、静電レンズと、前記回転を打ち消す手段である磁気レンズと、を含む、請求項62に記載の結像システム。
- 前記複数の荷電粒子ビームの収差を低減するための、前記伝達面におけるフィールドレンズをさらに備える、請求項62に記載の結像システム。
- 前記フィールドレンズは静電レンズを含む、請求項67に記載の結像システム。
- 前記フィールドレンズは前記回転を打ち消す手段である磁気レンズを含む、請求項68に記載の結像システム。
- 少なくとも1つの開口を有するプレートをさらに備え、前記プレートの1つの開口は、前記検出デバイス上における前記複数の荷電粒子ビームの大きさを低減させるためのビーム制限アパーチャとしてのものである、請求項62に記載の結像システム。
- 前記プレートは、大きさが異なる複数の選択可能な開口を含む、請求項70に記載の結像システム。
- 前記プレートは、前記投影レンズと前記検出デバイスとの間の前記複数の荷電粒子ビームのクロスオーバに位置している、請求項70に記載の結像システム。
- 前記複数の荷電粒子ビームの非点収差を低減するための非点収差補正装置をさらに備える、請求項62に記載の結像システム。
- 前記非点収差補正装置は前記複数の荷電粒子ビームのクロスオーバに位置している、請求項73に記載の結像システム。
- 前記複数の荷電粒子ビームを前記検出デバイスの複数の検出要素とそれぞれ整合させるためのアライメント偏向器をさらに備える、請求項62に記載の結像システム。
- 前記アライメント偏向器は前記検出デバイスと前記投影レンズとの間に位置している、請求項75に記載の結像システム。
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