JP5497980B2 - 荷電粒子線応用装置、及び試料検査方法 - Google Patents
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Description
(r0b cos (θ0b), r0b sin (θ0b))である。
Claims (15)
- 荷電粒子線を試料上に照射し、発生する二次荷電粒子線を利用する荷電粒子線応用装置であって、
複数の荷電粒子線を形成する荷電粒子線形成部と、
前記複数の荷電粒子線を前記試料上に照射させる少なくとも一つのレンズと前記複数の荷電粒子線を前記試料上で走査する偏向器からなる一次光学系と、
前記複数の荷電粒子線の照射により、前記試料上の複数箇所から発生する複数の二次荷電粒子線を個別に検出する信号検出部と、
前記複数の二次荷電粒子線を前記信号検出部に入射させる二次光学系と、
前記試料を載置し、前記試料を移動可能なステージと、
前記信号検出部の出力に基づく画像を表示する画像表示部と、
前記複数の荷電粒子線が前記試料表面に照射される位置を調整する第一の調整部とを有し、
前記ステージ上に複数の基準マークを有し、
前記複数の基準マークは、前記複数の荷電粒子線のそれぞれに対応し、
前記第一の調整部は、前記画像表示部に表示される前記基準マークに前記複数の荷電粒子線が同時に照射された結果得られる複数の画像に基づき、前記複数の荷電粒子線が前記試料上に照射される位置を調整する
荷電粒子線応用装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線応用装置であって、
前記試料の特性に基づき決められた、前記一次光学系、前記信号検出部、及び前記ステージの少なくとも1つの動作条件を記憶する記憶部を更に有し、
前記第一の調整部は、記憶された前記動作条件を参照し、前記複数の荷電粒子線が前記試料上に照射される位置を調整する
荷電粒子線応用装置。 - 請求項2記載の荷電粒子線応用装置であって、
前記動作条件は、前記ステージの移動速度である
荷電粒子線応用装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線応用装置であって、
前記複数の荷電粒子線を形成する前記荷電粒子線形成部は、それぞれ少なくとも二つの荷電粒子線を通過させるための開口を持つ、少なくとも二つの荷電粒子線選択部と、前記荷電粒子線選択部を機械的に回転させる機械動作制御部とからなり、
前記第一の調整部は、前記機械動作制御部である
荷電粒子線応用装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線応用装置であって、
前記複数の荷電粒子線を形成する前記荷電粒子線形成部は、少なくとも二つの荷電粒子線を通過させる荷電粒子線選択部と、前記荷電粒子線選択部と接触して配置された、前記荷電粒子線選択部と熱膨張率の異なる部材とから構成されると共に、
前記荷電粒子線形成部の温度を制御する温度制御部を更に有し、
前記第一の調整部は、前記温度制御部である
荷電粒子線応用装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線応用装置であって、
前記複数の二次荷電粒子線が前記信号検出部に照射される位置を調整するための第二の調整部を有する
荷電粒子線応用装置。 - 請求項6記載の荷電粒子線応用装置であって、
前記第二の調整部は、電磁レンズからなる
荷電粒子線応用装置。 - 請求項6記載の荷電粒子線応用装置であって、
前記試料の特性を基に決められた、前記一次光学系、前記信号検出部、前記ステージの動作条件を記憶する記憶部を更に有し、
前記第一の調整部は、記憶された前記動作条件を参照し、前記複数の荷電粒子線が前記試料上に照射される位置を調整する
荷電粒子線応用装置。 - 荷電粒子線を試料上に照射し、発生する二次荷電粒子線を利用する荷電粒子線応用装置であって、
複数の荷電粒子線を形成する荷電粒子線形成部と、
前記複数の荷電粒子線を前記試料上に照射させる一つ以上のレンズと前記複数の荷電粒子線を前記試料上で走査する偏向器からなる一次光学系と、
前記複数の荷電粒子線の同時照射により、前記試料上の複数箇所から発生する複数の二次荷電粒子線を個別に検出する信号検出部と、
前記複数の二次荷電粒子線を前記信号検出部に入射させる二次光学系と、
前記試料を載置し、前記試料を移動可能なステージと、
複数の二次荷電粒子線を個別に検出した前記信号検出部の出力に基づき、画像を表示する画像表示部と、
複数の二次荷電粒子線を個別に検出した前記信号検出部の出力に基づき、前記複数の二次荷電粒子線各々が前記信号検出部に照射される位置を調整する第二の調整部とを有し、
前記第二の調整部は、前記試料から発生した前記複数の二次荷電粒子が前記信号検出部に到達するまでの回転量及び拡大率を調整する
荷電粒子線応用装置。 - 請求項9記載の荷電粒子線応用装置であって、
前記第二の調整部は、電磁レンズからなる
荷電粒子線応用装置。 - 複数の荷電粒子線を形成し、
移動可能なステージ上の試料に前記荷電粒子線を照射し、発生する二次荷電粒子線を利用して前記試料を検査する試料検査方法であって、
前記ステージ上に、前記複数の荷電粒子線各々に対応する複数の基準マークを形成しておき、
前記複数の荷電粒子線各々を対応する前記複数の基準マークに同時に照射し、
一次光学系を用い、前記複数の荷電粒子線を前記ステージに照射し、
前記試料上の複数箇所から発生した複数の二次荷電粒子線を二次光学系を用いて信号検出部に到達させ、前記複数の二次荷電粒子線を個別に検出し、
検出された前記複数の二次荷電粒子線の検出信号を処理して得た取得画像を画像表示部に表示し、
前記複数の基準マークの前記取得画像を用いて、前記複数の荷電粒子線が前記ステージに照射されるそれぞれの照射位置を測定し、
測定された前記照射位置に基づき、前記一次光学系を調整する
試料検査方法。 - 請求項11記載の試料検査方法であって、
検査される前記試料の特性に基づき、前記一次光学系、前記信号検出部、前記ステージの少なくとも1つを含む検査条件を決定する
試料検査方法。 - 請求項12記載の試料検査方法であって、
前記検査条件は、前記ステージの移動速度である
試料検査方法。 - 請求項12記載の試料検査方法であって、
前記試料の特性に基づき決定された、前記一次光学系、前記信号検出部、前記ステージの少なくとも1つを含む検査条件を記憶しておき、
記憶された前記検査条件を基に、前記一次光学系を調整する
試料検査方法。 - 請求項14記載の試料検査方法であって、
前記複数の二次荷電粒子線が前記信号検出部に照射される位置を測定し、
当該測定結果を基に、前記二次荷電粒子線の前記信号検出部への照射位置を調整する
試料検査方法。
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