JP6099113B2 - ツインビーム荷電粒子ビームコラム及びその作動方法 - Google Patents
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Description
一実施形態によれば、荷電粒子ビーム装置用のコラムが提供される。コラムは、一次荷電粒子ビームを一次荷電粒子ビームの1つの源として放出する荷電粒子エミッタと、2つの仮想源が作られるように一次荷電粒子ビームに作用するようになったバイプリズムと、荷電粒子ビームを2つの仮想源の像に対応した試料の2つの位置に同時に集束させるようになった荷電粒子ビーム光学系とを有する。
2 荷電粒子エミッタ又は源
4,4A,4B 荷電粒子ビーム
5 アパーチュアプレート
6 バイプリズム素子
7 ステージ(試料支持体)
8 試料
9 検出器
10 対物レンズ
12 走査コイル
Claims (13)
- 荷電粒子ビーム装置用のコラムであって、
一次荷電粒子ビームを前記一次荷電粒子ビームの1つの源として放出する荷電粒子エミッタと、
2つの仮想源が作られると共に前記一次荷電粒子ビームが前記2つの仮想源によって放出されるようにみえる2つのサブビームを有するように前記一次荷電粒子ビームに作用するようになったバイプリズムと、
前記一次荷電粒子ビームを前記2つの仮想源の像に対応した試料の2つの位置に同時に集束させるようになった荷電粒子ビーム光学系と、
前記一次荷電粒子ビーム、及び、前記試料から来た二次粒子と、前記試料から来た後方散乱粒子と、前記試料から来た二次粒子及び後方散乱粒子とから成る群から選択された粒子を互いに分離するビーム分離器と、
前記試料から来た二次粒子と、前記試料から来た後方散乱粒子と、前記試料から来た二次粒子及び後方散乱粒子とから成る群から選択された粒子を測定する少なくとも2つの検出器と、を備えており、
前記一次荷電粒子ビームの前記2つのサブビームによって生成される信号を独立して検出できる
ことを特徴とするコラム。 - 前記一次荷電粒子ビームの少なくとも2つのサブビームを作る少なくとも2つのアパーチュアを備えたアパーチュアプレートを更に有する、
請求項1記載のコラム。 - 前記バイプリズムは、1対の静電プレート相互間に設けられると共に/或いは一方向に実質的に円筒状に延びる1本のワイヤ又はロッドを含む、
請求項1又は2記載のコラム。 - 前記少なくとも2つの検出器は、前記エミッタと前記荷電粒子ビーム光学系の対物レンズとの間に位置決めされ、前記少なくとも2つの検出器は、前記荷電粒子ビームを通過させる少なくとも1つの開口部を有する、
請求項1ないし3のいずれか1項に記載のコラム。 - 前記対物レンズは、二次粒子と、後方散乱粒子と、二次粒子及び後方散乱粒子とから成る群から選択された前記粒子を前記少なくとも2つの検出器に当てるよう案内するようになっている、
請求項4記載のコラム。 - 前記対物レンズは、磁気レンズ及び静電レンズを含む、
請求項5記載のコラム。 - 第1の電極及び第1の電位を前記第1の電極に印加する手段が設けられ、第2の電極及び第2の電位を前記第2の電極に印加する手段が、前記荷電粒子ビーム光学系中に電界を発生させるよう設けられ、前記電界中の前記荷電粒子ビームは、第1のエネルギーからこれよりも低い第2のエネルギーに減速されるようになっている、
請求項1ないし6のいずれか1項に記載のコラム。 - 前記バイプリズムと前記荷電粒子光学系の作用の組み合わせにより、前記ビームは、傾けられて所定の入射角で前記試料に当たる、
請求項1ないし7のいずれか1項に記載のコラム。 - 前記コラムは、球面収差及び色収差から選択された1つ又は2つの収差を補正するようになった少なくとも1つの収差補正ユニットを有する、
請求項1ないし8のいずれか1項に記載のコラム。 - 信号電子の束のビーム分離度を増大させるよう構成された別のバイプリズムを更に有する、
請求項1ないし9のいずれか1項に記載のコラム。 - 荷電粒子ビーム装置であって、請求項1ないし10のいずれか1項に記載の荷電粒子ビームコラムを有し、前記荷電粒子ビーム装置が電子検査ツールである、荷電粒子ビーム装置。
- 荷電粒子ビームコラムを動作させる方法であって、
1つの源から荷電粒子ビームを放出するステップと、
2つのサブビームをバイプリズムにより生じさせるステップと、
前記2つのサブビームを試料の2つの位置に集束させて2つの仮想源の像を生じさせるようにするステップと、
一次荷電粒子ビームの前記2つのサブビーム、及び、前記試料から来た二次粒子と、前記試料から来た後方散乱粒子と、前記試料から来た二次粒子及び後方散乱粒子とから成る群から選択された粒子を互いに分離するステップと、
前記試料から来た二次粒子と、前記試料から来た後方散乱粒子と、前記試料から来た二次粒子及び後方散乱粒子とから成る群から選択された粒子を少なくとも2つの検出器により測定するステップと、を備えており、
前記2つのサブビームによって生成される信号を独立して検出できる
ことを特徴とする方法。 - 前記バイプリズムは第1の方向に延びるワイヤ又はロッドを含み、
前記仮想源は前記第1の方向に垂直な平面内に配置されるよう作られる、
請求項12記載の方法。
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