JP2011191212A - X線透過検査装置及びx線透過検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 検査対象試料元素にX線を試料に照射するX線管球11と、X線が試料を透過した際の透過X線を検出するX線検出器13と、透過X線の透過像からコントラスト像を得る演算部17と、試料と検出器間の距離を算出するセンサーと、X線検出器の位置を調整する機構を備え、試料とX線検出器間の距離を一定に保ちながらX線透過像を撮像する。
【選択図】図1
Description
すなわち、従来の異物検出方法では、異物存在箇所がX線検出器に近い場合と遠い場合で異物による像の鮮明さが異なってしまう。このため、従来の異物検出方法では、図2に示すように異物がX線検出器に近い場合と、図3に示すように異物がX線検出器に遠い場合とで、異物によるコントラストに大きな差が生じ、たとえ同じサイズで同じ材質の異物であったとしても取得される像が異なり、過検出や誤検出となってしまう不都合があった。
すなわち、本発明に係るX線透過検査装置及びX線透過検査方法によれば、検査対象試料と検査装置の距離が変化したとしても距離測定結果をもとにX線検出器の位置を調整する事によって検査対象試料とX線検出器の距離を一定に保つ事ができ、検査対象試料中の異物により透過X線像を安定して撮像する事が可能となり、異物サイズの再現性が高まり、異物検出における過検出及び誤検出を防ぐ事が可能となる。
このとき、異物S2が存在する部位は存在していない部分と比べてX線の透過量が異なるため、図2に示すように異物存在部位のコントラストがそれ以外と異なる。この結果をもとに異物が存在していることを検出する。
12…X線発生ポイント
13…X線検出器
14…X線検出器位置調整機構
15…距離測定センサー
16…X線検出器位置フィードバック制御部
17…制御部
18…表示部
S1…検査対象試料
S2…異物
Claims (5)
- 移動する検査対象試料にX線を照射するX線管球と、
前記X線が前記試料を透過した際の透過X線を受けてその強度を検出するX線検出器と、
検出された前記透過X線の強度の分布を示す透過像とからコントラスト像を得る演算部と、
を備えたX線透過検査装置において、
前記検査対象試料とX線検出器との距離を測定する距離測定部と、
該距離測定部の測定結果に基づいて前記試料と前記X線検出器との距離を相対的に調整する距離調整機構と、
を更に備えたことを特徴とするX線透過検査装置。 - 更に、予め設定・記憶した前記試料と前記X線検出器間の基準距離と、実際の前記距離測定部の測定値との差分量をフィードバック量とし、該フィードバック量を調整量として前記距離調整機構にフィードバックするフィードバック制御部を備えた請求項1に記載のX線透過検査装置。
- 前記基準距離が、測定開始前又は開始時の前記距離測定部による測定値である請求項2に記載のX線透過検査装置。
- 移動する検査対象試料にX線を照射するX線照射ステップと、
前記X線が前記試料を透過した際の透過X線をX線検出器で受けてその強度を検出する透過X線検出ステップと、
検出された前記透過X線の強度の分布を算定する演算ステップと、
該演算ステップによる演算結果に基づいて透過のコントラスト像を表示する透過像表示ステップと、
からなるX線透過検査方法において、
更に、前記検査対象試料と前記X線検出器との距離を測定する距離測定ステップと、
前記透過のコントラスト像が適正に表示されるように該距離測定ステップにおける測定距離に基づいて前記試料と前記X線検出器との距離を調整する距離調整ステップと、
を更に含んだことを特徴とするX線透過検査方法。 - 予め設定・記憶した前記試料と前記X線検出器間の基準距離と、実際の前記距離測定部の測定値との差分量を調整量としてフィードバックするフィードバックステップを更に含み、
該フィードバック量だけ前記距離調整ステップにて調整する請求項4に記載のX線透過検査方法。
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