JP6317632B2

JP6317632B2 - Ｘ線検査装置

Info

Publication number: JP6317632B2
Application number: JP2014124270A
Authority: JP
Inventors: 格宮崎; 淳一森谷
Original assignee: Anritsu Infivis Co Ltd
Current assignee: Anritsu Infivis Co Ltd
Priority date: 2014-06-17
Filing date: 2014-06-17
Publication date: 2018-04-25
Anticipated expiration: 2034-06-17
Also published as: JP2016003952A

Description

本発明は、Ｘ線を用いて被検査物を検査するＸ線検査装置に関し、特に、被検査物を搬送しながらＸ線の照射を行うＸ線検査装置に関するものである。

一般に、Ｘ線検査装置は、搬送ベルト上を所定間隔で順次搬送されてくる各品種の被検査物（例えば、肉、魚、加工食品、医薬品など）にＸ線発生器からＸ線を照射し、被検査物を透過したＸ線の透過量をＸ線ラインセンサで検出することで、被検査物中の異物（金属、ガラス、石、骨など）や欠陥の有無を判別し、被検査物の良否判定を行っている。

被検査物を搬送しながらＸ線の照射を行うこの種のＸ線検査装置は、Ｘ線が搬入口および搬出口から外部に漏洩することを防止するため、Ｘ線シールドを搬送ベルトの上部の搬送空間に垂下させている。このＸ線検査装置では、Ｘ線シールドが被検査物に接触し、搬送ベルト上の被検査物の位置や姿勢が変化してしまう。

これに対し、従来のＸ線検査装置は、被検査物の搬入口と搬出口を、Ｘ線ラインセンサの上下方向下方の位置となるように構成し、搬送ベルトの上部空間をＸ線を遮蔽可能なカバー部材で遮蔽することで、Ｘ線を搬送ベルトとカバー部材との間で反射させて減衰させるようにしている（特許文献１参照）。このＸ線検査装置は、薄いシート状の被検査物に対しては、Ｘ線ラインセンサでのＸ線検出量の飽和を防止するため、低エネルギー（例えば、８ｋｅＶ以下）のＸ線を被検査物に照射するようにしている。

特開２０１３−２５３８３２号公報

しかしながら、従来のＸ線検査装置は、低エネルギーのＸ線を被検査物に照射しているため、Ｘ線発生器で発生させたＸ線がＸ線ラインセンサに到達するまでに、Ｘ線が空気中を通過することで減弱してしまうという問題があった。このため、厚みの薄い被検査物を低エネルギーのＸ線を用いて良好に検査することができないという問題があった。

そこで、本発明は、前述のような従来の問題を解決するためになされたもので、厚みの薄い被検査物を低エネルギーのＸ線を用いて良好に検査することができるＸ線検査装置を提供することを目的としている。

本発明に係るＸ線検査装置は、Ｘ線を発生するＸ線発生器（９）と、Ｘ線を検出するＸ線ラインセンサ（５１）と、前記Ｘ線ラインセンサが検出するＸ線に応じたＸ線透過率を算出するＸ線透過率算出部（４９）と、前記Ｘ線透過率算出部が算出したＸ線透過率を表示する表示部（５）と、搬入口から搬入された被検査物を前記Ｘ線発生器と前記Ｘ線ラインセンサとの間を横切るように搬送して搬出口まで搬送する搬送部（２）と、を備えるＸ線検査装置（１）において、前記Ｘ線発生器と前記Ｘ線ラインセンサを覆って遮蔽空間（８５）を形成し、前記Ｘ線ラインセンサの下方位置で下向きに開口する遮蔽部材（４、１６、１７）を備え、前記遮蔽空間内の空気はヘリウムで置換されており、前記搬送部は、前記Ｘ線ラインセンサの搬送方向上流側に配置され、前記被検査物を前記搬入口から前記Ｘ線ラインセンサの上流側まで搬送する上流側搬送部（６０）と、前記Ｘ線ラインセンサの搬送方向下流側に配置され、前記被検査物を前記Ｘ線ラインセンサの下流側から前記搬出口まで搬送する下流側搬送部（７０）と、を有し、前記遮蔽空間の内部であって前記Ｘ線ラインセンサの上下方向の下方位置に、前記ヘリウムを検出するヘリウム検出部（８６）を備え、前記表示部は、前記ヘリウム検出部の検出結果を表示することを特徴とする。

この構成により、遮蔽部材に覆われた遮蔽空間内の空気がヘリウムで置換されているため、Ｘ線発生器が発生したＸ線はヘリウム雰囲気中を通過してＸ線ラインセンサに到達する。これにより、ヘリウムは空気よりもＸ線透過率が高いため、Ｘ線発生器が発生したＸ線がＸ線ラインセンサに到達するまで減弱することが低減される。

また、搬送部の上流側搬送部がＸ線ラインセンサの上流側に配置され、搬送部の下流側搬送部がＸ線ラインセンサの下流側に配置されているので、これら上流側搬送部および下流側搬送部は、Ｘ線発生器とＸ線ラインセンサとの間を横切らない。これにより、Ｘ線発生器が発生したＸ線が上流側搬送部または下流側搬送部を通過して減弱することが防止される。

したがって、厚みの薄い被検査物を低エネルギーのＸ線を用いて良好に検査することができる。
また、ヘリウム検出部の検出結果が表示部に表示されるため、ユーザーは、遮蔽空間内のＸ線ラインセンサの上下方向の下方位置までヘリウムで置換されているか否かを把握することができる。

また、本発明に係るＸ線検査装置は、前記上流側搬送部の下流側端部に配置され、前記上流側搬送部に弾性的に接触して従動回転する上流側従動ローラ（６６）と、前記下流側搬送部の上流側端部に配置され、前記下流側搬送部に弾性的に接触して従動回転する下流側従動ローラ（７６）と、を備えたことを特徴とする。

この構成により、上流側搬送部の下流側端部まで搬送された被検査物は、その後端部が上流側搬送部と上流側従動ローラとに挟まれるとともにその先端部が下流側搬送部と下流側従動ローラとに挟まれた状態で、Ｘ線発生器とＸ線ラインセンサとの間を通過することができる。

これにより、被検査物は、上流側搬送部および下流側搬送部から浮き上がることなくＸ線発生器とＸ線ラインセンサとの間を通過することができるため、被検査物を良好に検査することができる。

また、被検査物を上流側搬送部と上流側従動ローラ、および下流側搬送部と下流側従動ローラとで挟むことにより、被検査物が上流側搬送部または下流側搬送部に対して滑ることが防止されるので、被検査物を上流側搬送部から下流側搬送部に確実に乗り継がせることができる。

また、本発明に係るＸ線検査装置は、前記遮蔽空間における前記ヘリウムの置換状態と前記Ｘ線透過率との相関を予め記憶する記憶部（４７）と、前記記憶部を参照して前記Ｘ線透過率に対応する前記置換状態を算出する置換状態算出部（４８）と、を備え、前記表示部は、前記置換状態算出部が算出した前記置換状態を表示することを特徴とする。

この構成により、Ｘ線透過率に対応するヘリウムの置換状態が表示部に表示されるため、ユーザーは、ヘリウムの置換状態を直接的に把握することができる。

また、本発明に係るＸ線検査装置は、前記ヘリウムを貯留するヘリウム貯留部（８０）と、開弁時に前記ヘリウム貯留部から前記遮蔽空間に前記ヘリウムを放出するバルブ（８２）とを備えたことを特徴とする。

この構成により、ヘリウム貯留部を備えているので、装置外部から遮蔽空間にヘリウムを供給することを不要にすることができ、また、バルブを開弁操作するだけで容易に遮蔽空間内の空気をヘリウムで置換することができる。

また、本発明に係るＸ線検査装置は、前記ヘリウム検出部の検出結果に基づいて前記バルブを開閉する開閉制御部（５０）を備え、前記開閉制御部は、前記ヘリウム検出部が前記ヘリウムを検出していないとき前記バルブを開弁し、前記ヘリウム検出部が前記ヘリウムを検出しているとき前記バルブを閉弁することを特徴とする。

この構成により、開閉制御部によりヘリウム検出部でヘリウムが検出されるようにバルブの開閉が制御される。これにより、開閉制御部の制御により、遮蔽空間内のＸ線ラインセンサの上下方向の下方位置までヘリウムで置換し、この状態を保つことができる。

本発明は、厚みの薄い被検査物を低エネルギーのＸ線を用いて良好に検査することができるＸ線検査装置を提供することができる。

本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置の側面および内部構成を示す図である。本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置の搬送部の構成を示す斜視図である。本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置の搬送部の他の構成を示す斜視図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。まず構成について説明する。図１に示すように、Ｘ線検査装置１は、搬送部２と検査部３とを筐体４の内部に備えている。

搬送部２は、搬入口７に順次搬入された被検査物Ｗを搬出口８まで搬送させるものであり、この搬送部２は、図１、図２に示すように、上流側搬送部６０と下流側搬送部７０と、から構成されている。

上流側搬送部６０は、後述するＸ線ラインセンサ５１の上流側に配置されており、複数のローラ６１〜６４と、このローラ６１〜６４に巻き回された搬送ベルト６５とを備えている。ローラ６１は、Ｘ線ラインセンサ５１と同じ高さ位置または僅かに高い位置の上流側近傍に設けられている。ローラ６２は、ローラ６１の下方に設けられている。ローラ６３は、搬入口７の近傍であってローラ６２と同じ高さの位置に設けられている。ローラ６４は、ローラ６１と同じ高さの位置であって、ローラ６１より上流側に設けられている。

これにより、搬送ベルト６５は、全体として台形となるようにローラ６１〜６４に張架されている。搬送ベルト６５の上面である被検査物Ｗを搬送する搬送面２ａは、ローラ６３とローラ６４に張架された部分で上り傾斜となり、ローラ６４とローラ６１に張架された部分で水平となっている。

一方、下流側搬送部７０は、Ｘ線ラインセンサ５１の下流側に配置されており、複数のローラ７１〜７４と、このローラ７１〜７４に巻き回された搬送ベルト７５とを備えている。ローラ７１は、Ｘ線ラインセンサ５１と同じ高さ位置または僅かに高い位置の下流側近傍に設けられている。ローラ７２は、ローラ７１の下方に設けられている。ローラ７３は、搬出口８の近傍であってローラ７２と同じ高さの位置に設けられている。ローラ７４は、ローラ７１と同じ高さの位置であって、ローラ７１より下流側に設けられている。

これにより、搬送ベルト７５は、全体として台形となるようにローラ７１〜７４に張架されている。搬送ベルト７５の上面である被検査物Ｗを搬送する搬送面２ａは、ローラ７１とローラ７４に張架された部分で水平となり、ローラ７４とローラ７３に張架された部分で下り傾斜となっている。

搬送部２は、ローラ６１〜６４の少なくとも１つ、およびローラ７１〜７４の少なくとも１つを駆動する不図示のモータを備えている。搬送ベルト６５、７５は、予め設定された搬送速度でモータが駆動されることにより、被検査物Ｗを搬送するようになっている。筐体４の内部において被検査物Ｗが搬送される空間、即ち搬送ベルト６５、７５の搬送面２ａより上方の空間は搬送路２１を形成している。

検査部３は、順次搬送される被検査物Ｗに対し、搬送路２１の途中の検査空間２２においてＸ線を照射するとともに被検査物Ｗを透過するＸ線を検出するものであり、搬送路２１の途中の検査空間２２の上方に所定高さ離隔して配置されたＸ線発生器９と、搬送路２１の下方にＸ線発生器９と対向して配置されたＸ線検出器１０を備えている。搬送路２１におけるＸ線発生器９とＸ線検出器１０とにより挟まれた空間は検査空間２２を構成している。

Ｘ線発生源としてのＸ線発生器９は、金属製の箱体１１の内部に設けられた円筒状のＸ線管１２を図示しない絶縁油に浸漬した構成を有しており、Ｘ線管１２の陰極からの電子ビームを陽極のターゲットに照射させてＸ線を生成している。

Ｘ線管１２は、その長手方向が被検査物Ｗの搬送方向（Ｘ方向）となるよう配置されている。Ｘ線管１２により生成されたＸ線は、下方のＸ線検出器１０に向けて、図示しないスリットにより略三角形状のスクリーン状となって搬送方向（Ｘ方向）を横切るように照射されるようになっている。

Ｘ線検出器１０は、Ｘ線ラインセンサ５１と不図示のＡ／Ｄ変換部とを含んで構成されており、Ｘ線ラインセンサ５１で検出されたアナログ形式の検出信号をＡ／Ｄ変換部でデジタル形式に変換して出力している。

Ｘ線ラインセンサ５１は、不図示のフォトダイオードアレイおよびシンチレータとを備えており、シンチレータによりＸ線を光に変換し、この光をフォトダイオードアレイで検出することにより、Ｘ線を検出するようになっている。

Ｘ線ラインセンサ５１は、ローラ６１とローラ６４とで形成される搬送ベルト６５の搬送面２ａ、およびローラ７１とローラ７４とで形成される搬送ベルト７５の搬送面２ａに対して、同じ高さの位置または僅かに低い位置に配置されている。これにより、搬送ベルト６５、７５上を搬送される被検査物ＷがＸ線ラインセンサ５１に接触することが防止される。

また、上流側搬送部６０および下流側搬送部７０の上部には、筐体４から搬送方向上流側および下流側に突き出るようにカバー部材１６、１７がそれぞれ設けられている。このカバー部材１６、１７は、搬入口７と搬出口８の部分での搬送ベルト６５、７５の傾斜角度と概ね等しい角度で設けられている。

カバー部材１６、１７は、筐体４に対して気密に固定されるとともに、Ｘ線ラインセンサ５１の下方位置で下向きに開口している。すなわち、カバー部材１６、１７の下端部は、Ｘ線ラインセンサ５１より下方に配置されている。

ここで、カバー部材１６、１７は、筐体４とともに本発明における遮蔽部材を構成している。また、カバー部材１６、１７と筐体４とで遮蔽された空間は、遮蔽空間８５を形成しており、この遮蔽空間８５は検査空間２２を含んでいる。また、遮蔽空間８５の上下方向における範囲は、カバー部材１６、１７の下端部の位置Ａから、筐体４の上端部の位置Ｂまでの範囲である。

このように、本実施形態では、上流側搬送部６０の搬送ベルト６５が登り傾斜を有する台形形状に形成され、下流側搬送部７０の搬送ベルト７５が下り傾斜を有する台形形状に形成されている。また、搬送ベルト６５、７５の傾斜角度と概ね等しい角度でカバー部材１６、１７が設けられている。これにより、検査空間２２から搬入口７および搬出口８の方向に向かうＸ線は、搬送ベルト６５、７５とカバー部材１６、１７との間で反射を繰り返すに連れて減衰する。このため、搬入口７および搬出口８から装置外部にＸ線が漏洩することが防止される。また、本実施形態では、搬送路２１内にのれん状の遮蔽カーテンを設けていないため、遮蔽カーテンの下端部が被検査物Ｗに接触して被検査物Ｗの姿勢や搬送方向位置が変化してしまうことが防止される。

なお、搬送部２の他の構成として、図３に示すように、上流側搬送部６０の下流側端部に、上流側従動ローラ６６を設け、下流側搬送部７０の上流側端部に、下流側従動ローラ７６を設けてもよい。

上流側従動ローラ６６は、上流側搬送部６０の搬送ベルト６５に弾性的に接触して従動回転するようになっている。下流側従動ローラ７６は、下流側搬送部７０の搬送ベルト７５に弾性的に接触して従動回転するようになっている。

具体的には、上流側従動ローラ６６の回転軸６６ａは、圧縮ばね６７により下方に付勢されており、この圧縮バネ６７の弾性力により上流側従動ローラ６６が搬送ベルト６５に弾性的に接触する。同様に、下流側従動ローラ７６の回転軸７６ａは、圧縮ばね７７により下方に付勢されており、この圧縮バネ７７の弾性力により下流側従動ローラ７６が搬送ベルト７５に弾性的に接触する。

なお、図３では、上流側従動ローラ６６および下流側従動ローラ７６は、被検査物Ｗの幅方向両端部に接触するように幅方向に２分割されているが、分割数を更に増やしてもよく、またはこれと逆に被検査物Ｗの全面に接触するように１本のローラからそれぞれ構成してもよい。

また、上流側従動ローラ６６および下流側従動ローラ７６をスポンジやゴム等の弾性体から構成することにより、圧縮ばね６７、７７を設けることなく、上流側従動ローラ６６、下流側従動ローラ７６を搬送ベルト６５に弾性的に接触させることができる。

図１に示すように、筐体４の内部には、ヘリウムを貯留するヘリウム貯留部８０が設けられている。ヘリウム貯留部８０は、ヘリウムを圧縮状態で貯留する加圧タンクから構成されている。ヘリウム貯留部８０と検査空間２２とはヘリウム放出通路８１で接続されており、このヘリウム放出通路８１にはバルブ８２が設けられている。バルブ８２の開閉は、ユーザーによる手動操作と、後述する開閉制御部５０による電気的制御の両方により行うことができるようになっている。

ヘリウム貯留部８０に貯留されているヘリウムは、バルブ８２の開弁時に、検査空間２２およびこの検査空間２２を含む遮蔽空間８５に放出される。ここで、ヘリウムは空気より軽く、かつ、空気よりＸ線の透過率が高いという性質を持っている。これにより、バルブ８２が開弁されると、ヘリウムが空気より軽いため、遮蔽空間８５内は上部からヘリウムにより漸次置換される。また、遮蔽空間８５内の空気がヘリウムにより置換されることで、遮蔽空間８５内の検査空間２２においてＸ線発生器９からＸ線ラインセンサ５１に向かうＸ線の減弱が防止される。遮蔽空間８５は、筐体４とカバー部材１６、１７とが接続することで気密に構成されているため、ヘリウムにより置換されてバルブ８２が閉弁された後も、置換状態が維持される。なお、ヘリウム貯留部８０に接続したバルブ８２を検査空間２２に露出するように配置することで、ヘリウム放出通路８１を省略してもよい。また、ヘリウムを装置外部から遮蔽空間８５に供給することによっても、遮蔽空間８５内の空気をヘリウムで置換するようにしてもよい。

遮蔽空間８５の内部であってＸ線ラインセンサ５１の上下方向の下方位置には、ヘリウム検出部８６が設けられており、このヘリウム検出部８６は、ヘリウムを検出し、検出信号を後述する制御回路４０に出力するようになっている。ヘリウム検出部８６としては、例えば気体熱伝導式センサを用いた高濃度ガス検知器を採用することができる。気体熱伝導式センサは、ガスの種類ごとに熱伝導度が異なることを利用し、白金線コイル等の発熱体の温度変化を測定してヘリウムの濃度を求めるようになっている。本実施形態では、ヘリウム検出部８６は、搬出口８の近傍のカバー部材１７の下端部に配置されている。

Ｘ線検査装置１は、Ｘ線検出器１０からのＸ線画像が入力されるとともに被検査物Ｗ中の異物や欠陥の有無を検査する制御回路４０と、制御回路４０による検査結果等を表示出力する表示部５と、制御回路４０への各種パラメータ等の設定入力を行う設定操作部４５とを備えている。

表示部５は、平面ディスプレイ等から構成されており、筐体４の前面上部に配置され、ユーザーに対する表示出力を行うようになっている。この表示部５は、被検査物Ｗの良否判定結果を「ＯＫ」や「ＮＧ」等の文字または記号で表示するとともに、総検査数、良品数、ＮＧ総数などの検査結果を、既定設定として、または、設定操作部４５からの所定のキー操作による要求に基づいて表示するようになっている。

設定操作部４５は、ユーザーが操作する複数のキーやスイッチ等で構成され、制御回路４０への各種パラメータ等の設定入力や動作モードの選択等を行うものである。なお、表示部５と設定操作部４５とを、タッチパネル式表示器として一体構成してもよい。

制御回路４０は、Ｘ線検出器１０から受け取ったＸ線画像を一時的に記憶する一時記憶部４２と、この一時記憶部４２から読み出したデータに対してフィルタや特徴抽出するための画像処理を施す画像処理部４３と、画像処理されたデータに対して被検査物Ｗ中の異物や欠陥の有無を判定する判定部４４と、を備えている。

また、制御回路４０は制御部４６を備えている。この制御部４６は、ＣＰＵおよび制御プログラムの記憶領域または作業領域としてのメモリなどを備えて構成されており、設定操作部４５で設定された動作モードに基づいて、Ｘ線検査装置１の全体的な制御を行うようになっている。

本実施形態では、制御部４６は、Ｘ線透過率算出部４９と、記憶部４７と、置換状態算出部４８と、開閉制御部５０とを備えている。

Ｘ線透過率算出部４９は、Ｘ線ラインセンサ５１が検出するＸ線に応じたＸ線透過率を算出するようになっている。Ｘ線透過率算出部４９は、Ｘ線発生器９のＸ線出力と実際に検出したＸ線検出量とからＸ線透過率を算出している。Ｘ線透過率算出部が算出したＸ線透過率は表示部５により表示される。

記憶部４７は、遮蔽空間８５におけるヘリウムの置換状態とＸ線透過率との相関を予め記憶している。ここで、ヘリウムの置換状態とは、例えば、遮蔽空間８５におけるヘリウムの置換の到達度であり、遮蔽空間８５が完全にヘリウムで到達されている状態を１００とする百分率で表されるものである。

置換状態算出部４８は、記憶部４７を参照して、一時記憶部４２に一時記憶されたＸ線検出結果から求まるＸ線透過率に対応する置換状態を算出するようになっている。置換状態算出部４８が算出した置換状態、およびヘリウム検出部８６の検出結果は、表示部５により表示される。

開閉制御部５０は、ヘリウム検出部８６の検出結果に基づいてバルブ８２を開閉するようになっている。具体的には、開閉制御部５０は、ヘリウム検出部８６がヘリウムを検出していないときバルブ８２を開弁し、ヘリウム検出部８６がヘリウムを検出しているときバルブ８２を閉弁するようになっている。
なお、本実施形態では、Ｘ線透過率算出部が算出したＸ線透過率、置換状態算出部４８が算出したヘリウムの置換状態、およびヘリウム検出部８６の検出結果が表示部５に表示されるようになっているが、これらのうち何れか１つだけを表示部５に表示するようにしてもよい。また、置換状態算出部４８が算出したヘリウムの置換状態に基づいて開閉制御部５０がバルブ８２の開閉を制御するようにしてもよい。

以上のように、本実施形態は、Ｘ線ラインセンサ５１が検出するＸ線に応じたＸ線透過率を算出するＸ線透過率算出部４９と、Ｘ線透過率算出部４９が算出したＸ線透過率を表示する表示部５と、を備えるＸ線検査装置１において、Ｘ線発生器９とＸ線ラインセンサ５１を覆って遮蔽空間８５を形成し、Ｘ線ラインセンサ５１の下方位置で下向きに開口する遮蔽部材としての筐体４、カバー部材１６、１７を備えている。

また、搬送部２は、Ｘ線ラインセンサ５１の搬送方向上流側に配置され、被検査物Ｗを搬入口７からＸ線ラインセンサ５１の上流側まで搬送する上流側搬送部６０と、Ｘ線ラインセンサ５１の搬送方向下流側に配置され、被検査物ＷをＸ線ラインセンサ５１の下流側から搬出口８まで搬送する下流側搬送部７０と、を有している。また、遮蔽空間８５内の空気をヘリウムで置換している。

この構成により、筐体４、カバー部材１６、１７に覆われた遮蔽空間８５がヘリウムで置換されているため、Ｘ線発生器９が発生したＸ線はヘリウム雰囲気中を通過してＸ線ラインセンサ５１に到達する。これにより、ヘリウムは空気よりもＸ線透過率が高いため、Ｘ線発生器９が発生したＸ線がＸ線ラインセンサ５１に到達するまで減弱することが低減される。

また、搬送部２の上流側搬送部６０がＸ線ラインセンサ５１の上流側に配置され、搬送部２の下流側搬送部７０がＸ線ラインセンサ５１の下流側に配置されているので、これら上流側搬送部６０および下流側搬送部７０は、Ｘ線発生器９とＸ線ラインセンサ５１との間を横切らない。これにより、Ｘ線発生器９が発生したＸ線が上流側搬送部６０または下流側搬送部７０を通過して減弱することが防止される。

したがって、厚みの薄い被検査物Ｗを低エネルギーのＸ線を用いて良好に検査することができる。

また、本実施形態は、上流側搬送部６０の下流側端部に配置され、上流側搬送部６０に弾性的に接触して従動回転する上流側従動ローラ６６と、下流側搬送部７０の上流側端部に配置され、下流側搬送部７０に弾性的に接触して従動回転する下流側従動ローラ７６と、を備える。

この構成により、上流側搬送部６０の下流側端部まで搬送された被検査物Ｗは、その後端部が上流側搬送部６０と上流側従動ローラ６６とに挟まれるとともにその先端部が下流側搬送部７０と下流側従動ローラ７６とに挟まれた状態で、Ｘ線発生器９とＸ線ラインセンサ５１との間を通過することができる。

これにより、被検査物Ｗは、上流側搬送部６０および下流側搬送部７０から浮き上がることなくＸ線発生器９とＸ線ラインセンサ５１との間を通過することができるため、被検査物Ｗを良好に検査することができる。

また、被検査物Ｗを上流側搬送部６０と上流側従動ローラ６６、および下流側搬送部７０と下流側従動ローラ７６とで挟むことにより、被検査物Ｗが上流側搬送部６０または下流側搬送部７０に対して滑ることが防止されるので、被検査物Ｗを上流側搬送部６０から下流側搬送部７０に確実に乗り継がせることができる。

また、本実施形態は、遮蔽空間８５におけるヘリウムの置換状態とＸ線透過率との相関を予め記憶する記憶部４７と、記憶部４７を参照してＸ線透過率に対応する置換状態を算出する置換状態算出部４８と、を備え、表示部５は、置換状態算出部４８が算出した置換状態を表示する。

この構成により、Ｘ線透過率に対応するヘリウムの置換状態が表示部５に表示されるため、ユーザーは、ヘリウムの置換状態を直接的に把握することができる。

また、本実施形態は、ヘリウムを貯留するヘリウム貯留部８０と、開弁時にヘリウム貯留部８０から遮蔽空間８５にヘリウムを放出するバルブ８２とを備える。

この構成により、ヘリウム貯留部８０を備えているので、装置外部から遮蔽空間８５にヘリウムを供給することを不要にすることができ、また、バルブ８２を開弁操作するだけで容易に遮蔽空間８５をヘリウムで置換することができる。

また、本実施形態は、遮蔽空間の内部であってＸ線ラインセンサの上下方向の下方位置に、ヘリウムを検出するヘリウム検出部８６を備え、表示部５は、ヘリウム検出部８６の検出結果を表示する。

この構成により、ヘリウム検出部８６の検出結果が表示部５に表示されるため、ユーザーは、遮蔽空間８５内のＸ線ラインセンサ５１の上下方向の下方位置までヘリウムで置換されているか否かを把握することができる。

また、本実施形態は、ヘリウム検出部８６の検出結果に基づいてバルブ８２を開閉する開閉制御部５０を備え、開閉制御部５０は、ヘリウム検出部８６がヘリウムを検出していないときバルブ８２を開弁し、ヘリウム検出部８６がヘリウムを検出しているときバルブ８２を閉弁する。

この構成により、ヘリウム検出部８６でヘリウムが検出されるように開閉制御部５０によりバルブ８２の開閉が制御される。これにより、開閉制御部５０の制御により、遮蔽空間８５内のＸ線ラインセンサ５１の上下方向の下方位置までヘリウムで置換し、この状態を保つことができる。

以上のように、本発明に係るＸ線検査装置は、厚みの薄い被検査物を低エネルギーのＸ線を用いて良好に検査することができるという効果を有し、被検査物を搬送しながらＸ線の照射を行うＸ線検査装置として有用である。

１Ｘ線検査装置
２搬送部
４筐体（遮蔽部材）
５表示部
７搬入口
８搬出口
９Ｘ線発生器
１６、１７カバー部材（遮蔽部材）
４７記憶部
４８置換状態算出部
４９Ｘ線透過率算出部
５０開閉制御部
５１Ｘ線ラインセンサ
６０上流側搬送部
６６上流側従動ローラ
７０下流側搬送部
７６下流側従動ローラ
８０ヘリウム貯留部
８２バルブ
８５遮蔽空間
８６ヘリウム検出部
Ｗ被検査物

Claims

Ｘ線を発生するＸ線発生器（９）と、
Ｘ線を検出するＸ線ラインセンサ（５１）と、
前記Ｘ線ラインセンサが検出するＸ線に応じたＸ線透過率を算出するＸ線透過率算出部（４９）と、
前記Ｘ線透過率算出部が算出したＸ線透過率を表示する表示部（５）と、
搬入口（７）から搬入された被検査物を前記Ｘ線発生器と前記Ｘ線ラインセンサとの間を横切るように搬送して搬出口（８）まで搬送する搬送部（２）と、
を備えるＸ線検査装置（１）において、
前記Ｘ線発生器と前記Ｘ線ラインセンサを覆って遮蔽空間（８５）を形成し、前記Ｘ線ラインセンサの下方位置で下向きに開口する遮蔽部材（４、１６、１７）を備え、
前記遮蔽空間内の空気はヘリウムで置換されており、
前記搬送部は、
前記Ｘ線ラインセンサの搬送方向上流側に配置され、前記被検査物を前記搬入口から前記Ｘ線ラインセンサの上流側まで搬送する上流側搬送部（６０）と、
前記Ｘ線ラインセンサの搬送方向下流側に配置され、前記被検査物を前記Ｘ線ラインセンサの下流側から前記搬出口まで搬送する下流側搬送部（７０）と、を有し、
前記遮蔽空間の内部であって前記Ｘ線ラインセンサの上下方向の下方位置に、前記ヘリウムを検出するヘリウム検出部（８６）を備え、
前記表示部は、前記ヘリウム検出部の検出結果を表示することを特徴とするＸ線検査装置。
前記上流側搬送部の下流側端部に配置され、前記上流側搬送部に弾性的に接触して従動回転する上流側従動ローラ（６６）と、
前記下流側搬送部の上流側端部に配置され、前記下流側搬送部に弾性的に接触して従動回転する下流側従動ローラ（７６）と、を備えたことを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
前記遮蔽空間における前記ヘリウムの置換状態と前記Ｘ線透過率との相関を予め記憶する記憶部（４７）と、
前記記憶部を参照して前記Ｘ線透過率に対応する前記置換状態を算出する置換状態算出部（４８）と、を備え、
前記表示部は、前記置換状態算出部が算出した前記置換状態を表示することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のＸ線検査装置。
前記ヘリウムを貯留するヘリウム貯留部（８０）と、
開弁時に前記ヘリウム貯留部から前記遮蔽空間に前記ヘリウムを放出するバルブ（８２）とを備えたことを特徴とする請求項１から請求項３の何れか１項に記載のＸ線検査装置。
前記ヘリウム検出部の検出結果に基づいて前記バルブを開閉する開閉制御部（５０）を備え、
前記開閉制御部は、前記ヘリウム検出部が前記ヘリウムを検出していないとき前記バルブを開弁し、前記ヘリウム検出部が前記ヘリウムを検出しているとき前記バルブを閉弁することを特徴とする請求項４に記載のＸ線検査装置。