JP2018048863A - Ｘ線検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】物品を搬送しながらＸ線検査を行うＸ線検査装置であって、物品搬送の不具合を抑制可能で、コンパクトなＸ線検査装置を提供する。【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、Ｘ線照射器、Ｘ線が被検査物に照射される検査空間Ｓを覆うシールドボックス１０、被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線ラインセンサ、搬送部４０、遮蔽カーテン６０、及び制御コンピュータを備える。搬送部は、シールドボックスを貫通し、検査空間内を通過して延びる被検査物の搬送路Ｒに沿って、被検査物を搬送する。遮蔽カーテンは、シールドボックスの被検査物の搬入口及び搬出口にそれぞれ設けられる。制御コンピュータは、Ｘ線ラインセンサの検出結果に基づいてＸ線画像を生成し、Ｘ線画像に基づいて被検査物の検査を行う。搬送部は、搬送路に沿って搬入口及び搬出口を貫通して延び、被検査物の側面に当接して被検査物を支持するサイドコンベア５０を有する。【選択図】図１

Description

本発明はＸ線検査装置、特に、搬送中の物品のＸ線検査を行うＸ線検査装置に関する。

従来、物品をコンベア上で搬送しながら、搬送中の物品のＸ線検査を行うＸ線検査装置が知られている。このようなＸ線検査装置は、次々と搬送されてくる物品を連続的に検査可能で、効率よく物品のＸ線検査を行うことができる。

一般に、このようなＸ線検査装置では、装置外へのＸ線の漏洩を防止するため、Ｘ線を遮蔽する筐体でＸ線検査の行われる検査空間を覆い、検査空間を貫通して延びる物品搬送路の検査空間への出入口に、出入口を覆うようにＸ線を遮蔽する遮蔽カーテンを配置した構成が採用される。

しかし、このような構成では、物品が軽量のものである場合に遮蔽カーテンによって物品の搬送が阻害されたり、物品が背の高いものである場合に遮蔽カーテンにより物品が転倒したりして、物品搬送に不具合が生じ、検査効率が低下するおそれがある。

このような課題に対し、特許文献１（特開２０１１−１０２７４５号公報）では、物品と遮蔽カーテンとの接触を避けるために遮蔽カーテンを無くし、代わりにＸ線を遮蔽するカバーで物品搬送路の検査空間への出入口周辺を覆う構成を採用している。また、特許文献１（特開２０１１−１０２７４５号公報）では、カバーに覆われた物品搬送路において、物品の搬送経路を蛇行させることで、カバー部分を含むＸ線検査装置の長さの増大を抑制している。

しかし、特許文献１（特開２０１１−１０２７４５号公報）では、Ｘ線の漏洩を防止するため、ある程度の長さのカバーを検査空間の出入口周辺に設ける必要があることから、Ｘ線検査装置のコンパクト化の観点からは改良の余地がある。

本発明は、物品を搬送しながらＸ線検査を行うＸ線検査装置であって、物品搬送の不具合を抑制可能で、コンパクトなＸ線検査装置を提供することにある。

本発明の第１観点に係るＸ線検査装置は、Ｘ線源と、筐体と、Ｘ線検出器と、搬送部と、遮蔽カーテンと、検査部と、を備える。筐体は、Ｘ線源からのＸ線が被検査物に照射される検査空間を覆う。Ｘ線検出器は、被検査物を透過したＸ線を検出する。搬送部は、筐体を貫通し検査空間内を通過して延びる被検査物の搬送路に沿って、被検査物を搬送する。遮蔽カーテンは、搬送路の、筐体内への被検査物の搬入口及び筐体からの被検査物の搬出口にそれぞれ設けられる。検査部は、Ｘ線検出器の検出結果に基づいてＸ線画像を生成し、Ｘ線画像に基づいて被検査物の検査を行う。搬送部は、搬送路に沿って搬入口及び搬出口の少なくとも一方を貫通して延び、被検査物の側面に当接して被検査物を支持するサイドコンベアを有する。

本発明の第１観点に係るＸ線検査装置では、サイドコンベアにより被検査物が支持される。そのため、被検査物が、軽量である場合や、背が高い場合であっても、遮蔽カーテンによる被検査物の搬送不具合の発生を防止できる。また、本Ｘ線検査装置では、Ｘ線を遮蔽するカバーを被検査物の搬出入口周辺に配置する必要が無いため、装置サイズの増大を抑制することができる。

本発明の第２観点に係るＸ線検査装置は、第１観点に係るＸ線検査装置であって、サイドコンベアは、搬送路を挟むように配置される第１サイドコンベア及び第２サイドコンベアを含む。第１サイドコンベア及び第２サイドコンベアは、対となって、被検査物の両側面を支持する。

本発明の第２観点に係るＸ線検査装置では、一対のサイドコンベアの間で被検査物が支持されるため、遮蔽カーテンによる被検査物の搬送不具合の発生がより確実に防止されやすい。

本発明の第３観点に係るＸ線検査装置は、第２観点に係るＸ線検査装置であって、第１サイドコンベア及び第２サイドコンベアの少なくとも一方は、被検査物の側面に当接する当接部を駆動する駆動部を有し、駆動部を駆動して、被検査物を支持しながら搬送する。

本発明の第３観点に係るＸ線検査装置では、第１及び第２サイドコンベアの当接部の少なくとも一方が駆動され、両側面が支持された状態でサイドコンベアにより被検査物が搬送されるので、遮蔽カーテンによる被検査物の搬送不具合の発生がより確実に防止されやすい。

本発明の第４観点に係るＸ線検査装置は、第２観点又は第３観点に係るＸ線検査装置であって、搬送部は、第１サイドコンベア及び第２サイドコンベアの少なくとも一方を他方に対して接近／離反させるコンベア位置調整機構を更に有する。

本発明の第４観点に係るＸ線検査装置では、第１サイドコンベアと第２サイドコンベアとの間の幅を調整する調整機構が設けられているため、様々なサイズの被検査物を検査することが容易である。

本発明の第５観点に係るＸ線検査装置は、第１観点から第４観点のいずれかに係るＸ線検査装置であって、サイドコンベアは、搬入口及び搬出口の少なくとも一方から引き出し可能に構成されている。

本発明の第５観点に係るＸ線検査装置では、サイドコンベアが被計量物の搬入口及び搬出口の少なくとも一方から引き出し可能に構成されているため、サイドコンベアのメンテナンス性を向上させることができる。

本発明の第６観点に係るＸ線検査装置は、第１観点から第５観点のいずれかに係るＸ線検査装置であって、サイドコンベアは、上流側サイドコンベアと、下流側サイドコンベアと、を含む。上流側サイドコンベアは、搬入口を貫通して延びる。下流側サイドコンベアは、搬出口を貫通して延びる。下流側サイドコンベアは、上流側サイドコンベアとは分離されている。

本発明の第６観点に係るＸ線検査装置では、サイドコンベアが上流側と下流側とで分離された構造となっているため、サイドコンベアを、Ｘ線画像にサイドコンベアが映り込まないように配置することが可能である。このように構成されることで、搬入口及び搬出口の両方を貫通して延びる一体型のサイドコンベアが使用される場合に比べ、Ｘ線検査の感度を向上されることができる。

本発明の第７観点に係るＸ線検査装置は、第１観点から第６観点のいずれかに係るＸ線検査装置であって、搬送部は、搬送路に沿って延び、戴置された被検査物を搬送する平ベルトコンベアを更に有する。

本発明の第７観点に係るＸ線検査装置では、サイドコンベアで被検査物を支持し、かつ平ベルトコンベアを用いて被検査物を搬送することで、被検査物の搬送安定性を向上させることができる。

本発明の第８観点に係るＸ線検査装置は、第１観点から第７観点のいずれかに係るＸ線検査装置であって、遮蔽カーテンは、支持部周りに揺動可能に構成されている。被検査物の側面に当接するサイドコンベアの当接部の上端の高さ位置は、遮蔽カーテンの下端と支持部との中央部分の高さ位置よりも低い。

本発明の第８観点に係るＸ線検査装置では、サイドコンベアと遮蔽カーテンとが接触する場合、サイドコンベアは、遮蔽カーテンと、遮蔽カーテンを揺動支持する支持部から比較的離れた位置で接触する。言い換えれば、サイドコンベアと遮蔽カーテンとが接触する場合、サイドコンベアは、遮蔽カーテンと、遮蔽カーテンが比較的大きく変位可能な位置で接触する。そのため、サイドコンベア若しくは遮蔽カーテンに無理な力が作用して損傷することを防止できる。

本発明の第９観点に係るＸ線検査装置は、第１観点から第８観点のいずれかに係るＸ線検査装置であって、検査部は、被検査物が搬送されていない状態でＸ線検出器が検出したＸ線の検出結果に基づいて、被検査物のＸ線画像のサイドコンベアの映り込み部分の明るさを、背景部分の明るさに補正し、補正後のＸ線画像に基づいて被検査物の検査を行う。

本発明の第９観点に係るＸ線検査装置では、Ｘ線画像に写り込んだサイドコンベアの画像が背景部分として処理されるので、精度のよい検査を行うことができる。

本発明に係るＸ線検査装置では、サイドコンベアにより被検査物が支持される。そのため、被検査物が、軽量である場合や、背が高い場合であっても、遮蔽カーテンによる被検査物の搬送不具合の発生を防止できる。また、本Ｘ線検査装置では、Ｘ線を遮蔽するカバーを被検査物の搬出入口周辺に配置する必要が無いため、装置サイズの増大を抑制することができる。

本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置の概略正面図である。 図１のＸ線検査装置の概略制御ブロック図である。 図１のＸ線検査装置のシールドボックス内部の簡易構成図である。 異物検査の原理を示す模式図である。 図１のＸ線検査装置のサイドコンベアの概略平面図である。シールドボックスや遮蔽カーテンを二点鎖線で描画している。 図１のＸ線検査装置のサイドコンベアの概略左側面図である。 変形例Ａに係るサイドコンベアの概略平面図である。シールドボックスや遮蔽カーテンを二点鎖線で描画している。 変形例Ｂに係るサイドコンベアの概略平面図である。シールドボックスや遮蔽カーテンを二点鎖線で描画している。 変形例Ｃに係るＸ線検査装置のサイドコンベアを、被検査物の搬入口又は搬出口から引き出し可能にする構成の一例である。 変形例Ｄに係るＸ線検査装置とオートケーサーとの組み合わせの一例である。

図面を参照して、本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置１００について説明する。

（１）全体説明
図１は、Ｘ線検査装置１００の概略正面図を示す。図２は、Ｘ線検査装置１００の概略制御ブロック図を示す。図３は、Ｘ線検査装置１００の後述するシールドボックス１０内部の簡易構成図を示す。

Ｘ線検査装置１００は、例えば、食品等の商品の生産ラインに組み込まれる。Ｘ線検査装置１００は、連続的に搬送されてくる被検査物ＡにＸ線を照射し、被検査物Ａを透過したＸ線量に基づき被検査物Ａの検査を行う。例えば、Ｘ線検査装置１００は、被検査物Ａを透過したＸ線量に基づき、被検査物Ａに異物が含まれているか否かを検査する（異物検査を行う）。ただし、Ｘ線検査装置１００が被検査物Ａを透過したＸ線量に基づいて行う検査は、異物検査に限定されるものではなく、欠品検査（被検査物Ａを構成する物品に欠落がないかの検査）等であってもよい。

Ｘ線検査装置１００で検査される被検査物Ａは、例えば、後述する１対のサイドコンベアにより挟み込まれた際に形状が大きく変形しにくい物である。限定するものではないが、例えば、Ｘ線検査装置１００の検査する被検査物Ａは、複数の物品が収容された紙箱（包装容器）である。また、限定するものではないが、例えば、紙箱内に収容される物品は、挽かれた１杯分のコーヒー豆が充填されたドリップバッグである。

なお、後述するサイドコンベア５０を有する本Ｘ線検査装置１００の構成は、被検査物Ａが比較的軽い場合や、被検査物Ａの底面積に対して被検査物Ａの高さが比較的高い場合に特に有効である。なお、ここで、被検査物Ａの底面積とはＸ線検査装置１００による検査時の姿勢における被検査物Ａの底面積を意味し、被検査物Ａの高さとはＸ線検査装置１００による検査時の姿勢における被検査物Ａの高さを意味する。

Ｘ線検査装置１００の検査対象である被検査物Ａは、図１に示すように、前段コンベア２００によってＸ線検査装置１００まで搬送されてくる。そして、Ｘ線検査装置１００において検査が完了した被検査物Ａは、後段コンベア３００によりＸ線検査装置１００から遠ざかるように搬送される。Ｘ線検査装置１００により異物を含んでいると判断された被検査物Ａは、Ｘ線検査装置１００の下流側に配置される振分装置（図示せず）により不良品として振り分けられる。

Ｘ線検査装置１００は、図１〜図３に示すように、シールドボックス１０、Ｘ線照射器２０、Ｘ線ラインセンサ３０、搬送部４０、遮蔽カーテン６０、タッチパネル機能付きのＬＣＤモニタ７０、制御コンピュータ８０等から構成されている。

（２）詳細説明
以下に、Ｘ線検査装置１００について詳細に説明する。

なお、以下では、説明の便宜上、方向や配置を説明するために「上」、「下」、「左」、「右」、「前（正面）」、「後（背面）」等の表現を用いる場合がある。これらの表現は、特に断りの無い場合、図中に矢印で示した方向に従う。本実施形態では、被検査物Ａの搬送方向は左右方向であり、Ｘ線ラインセンサ３０の長手方向は前後方向である。

（２−１）シールドボックス
シールドボックス１０は、筐体の一例である。シールドボックス１０は、下方に配置される脚部フレーム１５により支持される（図１参照）。シールドボックス１０は、Ｘ線照射器２０からのＸ線が、搬送部４０により搬送される被検査物Ａに照射される検査空間Ｓを覆う（図１参照）。また、シールドボックス１０の内部には、Ｘ線照射器２０、Ｘ線ラインセンサ３０、制御コンピュータ８０等が収容される。

シールドボックス１０は、左右の側面に開口１１を有している（図６参照）。開口１１は、被検査物Ａを搬出入するための開口である。被検査物Ａは、搬送部４０により、搬入口側（図１では右側）の開口１１からシールドボックス１０内（検査空間Ｓ内）に搬入され、搬出口側（図１では左側）の開口１１からシールドボックス１０外（検査空間Ｓ外）に搬出される。

被検査物Ａの搬出入口となる開口１１には、シールドボックス１０の外部へのＸ線漏洩を抑制するため、それぞれ遮蔽カーテン６０が設けられている。被検査物Ａのシールドボックス１０内への搬入時及び被検査物Ａのシールドボックス１０からの搬出時には、遮蔽カーテン６０は、遮蔽カーテン６０に接触する被検査物Ａにより押しのけられる。

シールドボックス１０の正面下部側には、開閉可能な正面パネル１２が設けられている（図１参照）。メンテナンス作業者は、正面パネル１２を前方側に倒すように回転させて開くことで、検査空間Ｓに配置される遮蔽カーテン６０や搬送部４０のメンテナンスを行うことができる。

シールドボックス１０の正面上部には、ＬＣＤモニタ７０の他、電源スイッチ等が配置されている（図１参照）。

（２−２）Ｘ線照射器
Ｘ線照射器２０は、Ｘ線源の一例である。Ｘ線照射器２０は、左右方向におけるシールドボックス１０の中央部に配置されている。Ｘ線照射器２０は、搬送部４０によって被検査物Ａが搬送される、被検査物Ａの搬送路Ｒ（搬送部４０が被検査物Ａを搬送する経路）の上方に配置されている（図３参照）。つまり、Ｘ線照射器２０は、後述する搬送部４０の平ベルトコンベア４１のコンベアベルト４１ｂ及びサイドコンベア５０のコンベアベルト５１ａ，５１ｂの上方に配置されている（図３参照）。

Ｘ線照射器２０は、被検査物Ａの搬送路Ｒの下方に配置されているＸ線ラインセンサ３０に向けてＸ線を照射する。つまり、Ｘ線照射器２０は、搬送部４０の平ベルトコンベア４１及びサイドコンベア５０のコンベアベルト５１ａ，５１ｂの下方に配置されているＸ線ラインセンサ３０に向けてＸ線を照射する（図３参照）。言い換えれば、Ｘ線照射器２０は、搬送部４０によって搬送される被検査物Ａに対してＸ線を照射する。

Ｘ線照射器２０は、Ｘ線ラインセンサ３０に向けて扇状のＸ線（放射光）を照射する。Ｘ線照射器２０によるＸ線の照射範囲Ｙは、図３に示されるように、平ベルトコンベア４１のコンベアベルト４１ｂの搬送面に対して垂直である。また、Ｘ線の照射範囲Ｙは、搬送部４０による被検査物Ａの搬送方向に対して直交する方向に広がる。すなわち、Ｘ線照射器２０から照射されるＸ線は、平ベルトコンベア４１のコンベアベルト４１ｂの幅方向に広がる。

（２−３）Ｘ線ラインセンサ
Ｘ線ラインセンサ３０は、Ｘ線検出器の一例である。Ｘ線ラインセンサ３０は、搬送部４０によって被検査物Ａが搬送される被検査物Ａの搬送路Ｒの下方に配置されている（図３参照）。つまり、Ｘ線ラインセンサ３０は、後述する搬送部４０の平ベルトコンベア４１及びサイドコンベア５０のコンベアベルト５１ａ，５１ｂの下方に配置されている（図３参照）。

Ｘ線ラインセンサ３０は、主として多数のＸ線検出素子３１から構成されている（図３参照）。Ｘ線検出素子３１は、搬送部４０の搬送方向と交差する向き、特にここでは搬送部４０の搬送方向と直交する向きに並ぶように配置されている。

Ｘ線ラインセンサ３０は、被検査物Ａを透過したＸ線（透過Ｘ線）を検出する。具体的には、Ｘ線ラインセンサ３０は、被検査物Ａを透過したＸ線量（透過Ｘ線量）を各Ｘ線検出素子３１により計測する。

図４は、Ｘ線ラインセンサ３０のＸ線検出素子３１によって検出される透過Ｘ線量の例を示すグラフである。グラフの横軸は、各Ｘ線検出素子３１の位置に対応する。また、グラフの横軸は、搬送部４０の搬送方向に直交する水平方向の距離に対応する。グラフの縦軸は、Ｘ線検出素子３１で検出された透過Ｘ線量を示す。Ｘ線ラインセンサ３０の検出結果に基づき制御コンピュータ８０が生成するＸ線画像では、透過Ｘ線量の多いところが明るく（淡く）表示され、透過Ｘ線量が少ないところが暗く（濃く）表示される。すなわち、Ｘ線画像の明暗（濃淡）は、透過Ｘ線の検出量に対応する。図４に示されるように、被検査物内に異物が存在する場合には、異物に対応する位置で、その周囲に比べて透過Ｘ線量が減少する。

各Ｘ線検出素子３１は、検出された透過Ｘ線の強度（つまり透過Ｘ線量）に応じた電圧を示すＸ線透過信号を出力する。制御コンピュータ８０は、Ｘ線ラインセンサ３０の出力するＸ線透過信号を受信し、Ｘ線透過信号に基づいてＸ線画像を生成する。

（２−４）搬送部
搬送部４０は、前段コンベア２００によってＸ線検査装置１００まで搬送されてきた被検査物Ａを受け取り、シールドボックス１０内の検査空間Ｓ内を通過するように被検査物Ａを搬送する。さらに、搬送部４０は、検査空間Ｓ内を搬送した被検査物Ａを、Ｘ線検査装置１００の下流側の後段コンベア３００へと受け渡す。搬送部４０が被検査物Ａを搬送する経路（搬送路Ｒ）は、シールドボックス１０を貫通し、検査空間Ｓ内を通過して延びる。

搬送部４０は、平ベルトコンベア４１と、サイドコンベア５０と、サイドコンベア５０用のコンベア位置調整機構５５と、脚部フレーム５６と、主に有する（図１参照）。

（２−４−１）平ベルトコンベア
平ベルトコンベア４１は、検査空間Ｓの左右の側面に形成された開口１１を貫通するように配置されている。平ベルトコンベア４１は、被検査物Ａの搬送路Ｒに沿って延びる。平ベルトコンベア４１は、モータ４１ａ（図２参照）、及び、モータ４１ａによって駆動される駆動ローラと、従動ローラとに掛け回された無端状のコンベアベルト４１ｂ（図３参照）を有する。平ベルトコンベア４１では、モータ４１ａが駆動されると、駆動ローラによりコンベアベルト４１ｂが回転させられる。平ベルトコンベア４１は、コンベアベルト４１ｂにより被検査物Ａを下方から支持すると共に、コンベアベルト４１ｂ上に戴置された被検査物Ａを搬送する。なお、サイドコンベア５０により被検査物Ａが挟持され、被検査物Ａが平ベルトコンベア４１のコンベアベルト４１ｂと接触しない状態で搬送される場合には、平ベルトコンベア４１は、基本的には被検査物Ａの搬送に直接関わらない。このような場合には、被検査物Ａが落下しないように下方で支持することが平ベルトコンベア４１の主な役割となる。

平ベルトコンベア４１の搬送速度（コンベアベルト４１ｂの回転速度）は、制御コンピュータ８０によるモータ４１ａのインバータ制御により制御される。なお、制御コンピュータ８０は、サイドコンベア５０の搬送速度（コンベアベルト５１ａ，５１ｂの回転速度）と、平ベルトコンベア４１の搬送速度とが一致するように、モータ４１ａの回転速度を制御する。

（２−４−２）サイドコンベア
サイドコンベア５０は、被検査物Ａの側面に当接して被検査物Ａを支持する。

サイドコンベア５０は、第１サイドコンベア５０ａ及び第２サイドコンベア５０ｂを含む（図５参照）。第１サイドコンベア５０ａ及び第２サイドコンベア５０ｂは、被検査物Ａの搬送路Ｒを挟むように配置される。第１サイドコンベア５０ａは搬送路Ｒの後方側に、第２サイドコンベア５０ｂは搬送路Ｒの前方側に、それぞれ配置される。第１サイドコンベア５０ａは、被検査物Ａの後方側の側面に当接して被検査物Ａを支持する。第２サイドコンベア５０ｂは、被検査物Ａの前方側の側面に当接して被検査物Ａを支持する。つまり、第１サイドコンベア５０ａ及び第２サイドコンベア５０ｂは、対となって、被検査物Ａの両側面（ここで前後の側面）を支持する。第１サイドコンベア５０ａ及び第２サイドコンベア５０ｂは、対となって被検査物Ａの前後の側面を挟持して被検査物Ａを搬送する。

第１サイドコンベア５０ａは、当接部の一例としてのコンベアベルト５１ａ、駆動ローラ５２ａａ、従動ローラ５２ａｂ、駆動部の一例としてのモータ５３ａ、遮蔽板５４ａ、支持フレーム５０ａａを有する（図５及び図６参照）。第２サイドコンベア５０ｂは、当接部の一例としてのコンベアベルト５１ｂ、駆動ローラ５２ｂａ、従動ローラ５２ｂｂ、駆動部の一例としてのモータ５３ｂ、遮蔽板５４ｂ、及び支持フレーム５０ｂａを主に有する（図５及び図６参照）。

以下では、第１サイドコンベア５０ａ及び第２サイドコンベア５０ｂについて詳しく説明する。ただし、第１サイドコンベア５０ａ及び第２サイドコンベア５０ｂは同様に構成されているため、第２サイドコンベア５０ｂについての説明は省略する場合がある。

第１サイドコンベア５０ａは、被検査物Ａの搬送路Ｒに沿って、シールドボックス１０の被検査物Ａの搬出入口の開口１１を貫通して延びる。つまり、第１サイドコンベア５０ａの、被検査物Ａの側面に当接して被検査物Ａを支持するコンベアベルト５１ａは、搬送路Ｒの全長にわたって延びる。第１サイドコンベア５０ａは、搬送部４０による被検査物Ａの搬送方向において、シールドボックス１０の被検査物Ａの搬入口側の開口１１に設けられた遮蔽カーテン６０の上流から下流まで延びる。また、第１サイドコンベア５０ａは、搬送部４０による被検査物Ａの搬送方向において、シールドボックス１０の被検査物Ａの搬出口側の開口１１に設けられた遮蔽カーテン６０の上流から下流まで延びる。第１サイドコンベア５０ａは、搬送路Ｒの後方側に配置され、被検査物Ａの後方側の側面に当接して被検査物Ａを支持する。第１サイドコンベア５０ａは、後述する被検査物Ａの後方側の側面に当接するコンベアベルト５１ａをモータ５３ａで駆動することで、被検査物Ａを支持しながら搬送する。なお、第２サイドコンベア５０ｂは、搬送路Ｒの前方側に配置され、被検査物Ａの前方側の側面に当接する点以外は、第１サイドコンベア５０ａと同様であるので、説明は省略する。

コンベアベルト５１ａは、モータ５３ａにより駆動される駆動ローラ５２ａａと、従動ローラ５２ａｂと、に掛け回された無端状のベルトである。被検査物Ａを一対のコンベアベルト５１ａ，５１ｂ間でしっかりと挟持するため、コンベアベルト５１ａの表面の摩擦係数は比較的大きいことが好ましい。限定するものではないが、コンベアベルト５１ａはゴム製である。被検査物Ａに押しあてられるコンベアベルト５１ａの接触面は、正面側を向き、左右方向に延びる。駆動ローラ５２ａａは、被検査物Ａの搬送路Ｒの下流端近傍であって、モータ５３ａの近傍に配置される。従動ローラ５２ａｂは、被検査物Ａの搬送路Ｒの上流端近傍に配置される。コンベアベルト５１ａは、第１サイドコンベア５０ａの当接部の一例であり、第１サイドコンベア５０ａが支持する被検査物Ａの側面と当接する。コンベアベルト５１ａは、モータ５３ａにより駆動されることで、被検査物Ａを支持しながら搬送する。なお、コンベアベルト５１ｂは、被検査物Ａに押しあてられるコンベアベルト５１ｂの接触面が、背面側を向く点以外はコンベアベルト５１ａと同様であるので、説明は省略する。また、駆動ローラ５２ｂａ及び従動ローラ５２ｂｂは、駆動ローラ５２ａａ及び従動ローラ５２ａｂと同様であるので、説明は省略する。

遮蔽板５４ａは、シールドボックス１０の開口１１の少なくとも一部を覆うように設けられた板状部材である。遮蔽板５４ａは、少なくともコンベアベルト５１ａの近傍においてシールドボックス１０の開口１１を覆うように設けられる。遮蔽板５４ａの材質は、例えばステンレス製である。図６では、被検査物Ａの搬出口側の開口１１に設けられた遮蔽板５４ａだけを描画しているが、被検査物Ａの搬入口側の開口１１にも同様に遮蔽板５４ａが設けられることが好ましい。このような遮蔽板５４ａが存在することで、搬送部４０により搬送される被検査物Ａが接触して遮蔽カーテン６０が押し開けられた時に、押し開けられた遮蔽カーテン６０の隙間から外部にＸ線が漏洩することを防止できる。遮蔽板５４ｂは、遮蔽板５４ａと同様であるので、説明は省略する。

支持フレーム５０ａａは、コンベアベルト５１ａ、駆動ローラ５２ａａ、従動ローラ５２ａｂ、モータ５３ａ及び遮蔽板５４ａを含む第１サイドコンベア５０ａの各種構成を支持する。支持フレーム５０ａａの下方側の端部は、後述するコンベア位置調整機構５５の第１前後移動体５７ａと連結されている（図６参照）。また、第２サイドコンベア５０ｂの各種構成を支持する支持フレーム５０ｂａの下方側の端部は、後述するコンベア位置調整機構５５の第２前後移動体５７ｂと連結されている（図６参照）。

なお、第１サイドコンベア５０ａ及び第２サイドコンベア５０ｂの搬送速度（コンベアベルト５１ａ及びコンベアベルト５１ｂの回転速度）は、制御コンピュータ８０によるモータ５３ａ，５３ｂのインバータ制御により、細かく制御される。なお、制御コンピュータ８０は、第１サイドコンベア５０ａ及び第２サイドコンベア５０ｂの搬送速度が一致するように、モータ５３ａ，５３ｂの回転速度を制御する。

（２−４−３）コンベア位置調整機構
コンベア位置調整機構５５は、第１サイドコンベア５０ａを第２サイドコンベア５０ｂに対して接近／離反させ、第２サイドコンベア５０ｂを第１サイドコンベア５０ａに対して接近／離反させるサイドコンベア５０の位置調整機構である。

コンベア位置調整機構５５は、第１前後移動体５７ａと、第２前後移動体５７ｂと、送りネジ５８ａと、ガイドシャフト５８ｂと、ハンドル５９と、を有する（図６参照）。

第１前後移動体５７ａの上端は、支持フレーム５０ａａの下方側の端部と連結されている（図６参照）。第２前後移動体５７ｂの上端は、支持フレーム５０ｂａの下方側の端部と連結されている（図６参照）。第１前後移動体５７ａ及び第２前後移動体５７ｂには、第１前後移動体５７ａ及び第２前後移動体５７ｂを前後方向に貫通して延びる貫通孔（図示せず）が形成されている。貫通孔には、前後方向に延びるガイドシャフト５８ｂが挿通されている（図６参照）。ガイドシャフト５８ｂは、第１前後移動体５７ａ及び第２前後移動体５７ｂを前後方向に摺動可能に支持する。また、第１前後移動体５７ａ及び第２前後移動体５７ｂには、第１前後移動体５７ａ及び第２前後移動体５７ｂを前後方向に貫通して延び、内面に雌ネジが加工されたネジ穴（図示せず）が形成されている。ネジ穴には、送りネジ５８ａが螺合している。なお送りネジ５８ａには、前後方向における中央部分を挟んで逆向きにネジが形成されており、送りネジ５８ａの第１前後移動体５７ａと螺合する部分と、送りネジ５８ａの第２前後移動体５７ｂと螺合する部分とでは、ネジ加工の方向が逆向きである。送りネジ５８ａは、ハンドル５９と連結されており、ハンドル５９を回転させることで送りネジ５８ａが回転（自転）する。送りネジ５８ａを回転させることで、送りネジ５８ａと螺合する第１前後移動体５７ａと第２前後移動体５７ｂとを、互いに接近するように、又は、互いに離反するように、前後方向に移動させることができる。これに伴い、第１前後移動体５７ａと連結されている第１サイドコンベア５０ａと、第２前後移動体５７ｂと連結されている第２サイドコンベア５０ｂとを、互いに接近するように、又は、互いに離反するように、前後方向に移動させることができる。

なお、ここでは、ハンドル５９により手動で第１サイドコンベア５０ａ及び第２サイドコンベア５０ｂの位置調整が行われるが、これに限定されるものではない。

例えば、コンベア位置調整機構５５は、ハンドル５９に代えてモータにより送りネジ５８ａを回転させるように構成されてもよい。この場合には、例えばタッチパネル機能を有するＬＣＤモニタ７０から被検査物Ａを特定する情報が入力されると、制御コンピュータ８０は、第１サイドコンベア５０ａのコンベアベルト５１ａと第２サイドコンベア５０ｂのコンベアベルト５１ｂとの間の距離が被検査物Ａに応じた所定の距離になるように、自動で第１サイドコンベア５０ａ及び第２サイドコンベア５０ｂの位置調整を行ってもよい。

また、コンベア位置調整機構５５は、上記のように送りネジ５８ａを利用する機構に限定されるものではなく、ボールネジを利用する機構や、ラック及びピニオンを利用する機構であってもよい。

（２−４−４）脚部フレーム
脚部フレーム５６は、コンベア位置調整機構５５を下方で支持する（図６参照）。つまり、脚部フレーム５６は、コンベア位置調整機構５５を介して、コンベア位置調整機構５５により支持されているサイドコンベア５０（第１サイドコンベア５０ａ及び第２サイドコンベア５０ｂ）を下方から支持する。脚部フレーム５６の下端にはキャスタ５６ａが設けられている（図６参照）。シールドボックス１０の正面パネル１２を開き、脚部フレーム５６を前方に引き出すことで、サイドコンベア５０を検査空間Ｓから前方に引き出すことができる。

（２−５）遮蔽カーテン
遮蔽カーテン６０は、検査空間Ｓの外部へのＸ線の漏洩を防止するためのＸ線防護カーテンである。遮蔽カーテン６０は、本実施形態ではタングステンを含むゴム製である。ただし、遮蔽カーテン６０の材質はタングステンを含むゴム製に限定されるものではなく、例えばステンレス製であってもよい。

各遮蔽カーテン６０は、被検査物Ａの搬送方向と交差する方向に延びる。特にここでは、各遮蔽カーテン６０は、被検査物Ａの搬送方向と直交する方向に延びる。

遮蔽カーテン６０は、被検査物Ａの搬送路Ｒの、被検査物Ａの搬出入口となる開口１１に、それぞれ２つ（二重に）設けられている。つまり、遮蔽カーテン６０は、開口１１それぞれに、搬送部４０による被検査物Ａの搬送方向に二列に設けられている。

なお、遮蔽カーテン６０の列数は例示であって二列に限定されるものではない。遮蔽カーテン６０は、被検査物Ａの搬送方向に三列以上設けられてもよいし、被検査物Ａの搬送方向に一列だけ設けられてもよい。ただし、Ｘ線の漏洩防止の観点からは、遮蔽カーテン６０は、被検査物Ａの搬送方向に複数列設けられることが好ましい。

遮蔽カーテン６０は、検査空間Ｓの上部に設けられた図示しないフレームに取り外し可能に取り付けられている。遮蔽カーテン６０は、前後方向において多数に分割されており、多数の幅の狭いカーテン片を有する。なお、本実施形態では、遮蔽カーテン６０は、前後方向にシールドボックス１０の開口１１の全体をカバーするように、カーテン片がほとんど隙間なく隣接して配置されている。ただし、開口１１を覆う搬送部４０の遮蔽板５４ａ，５４ｂに対応する位置のカーテン片は省略されてもよい。このように構成されることで、サイドコンベア５０と遮蔽カーテン６０のカーテン片との接触によるコンベアベルト５１ａ，５１ｂや、遮蔽カーテン６０等の損耗が防止されやすい。

遮蔽カーテン６０（遮蔽カーテン６０の各カーテン片）は、搬送部４０の平ベルトコンベア４１のコンベアベルト４１ｂの搬送面近傍まで延びる。つまり、遮蔽カーテン６０の下端６０ｂは、平ベルトコンベア４１のコンベアベルト４１ｂの近傍に配置される（図１参照）。遮蔽カーテン６０は、遮蔽カーテン６０が取り付けられているフレームの近傍に位置する支持部６０ａ（図１参照）周りに、主に左右方向に揺動可能に構成されている。言い換えれば、遮蔽カーテン６０のカーテン片は、遮蔽カーテン６０が取り付けられているフレームの近傍に位置するそれぞれの支持部周りに、主に左右方向に揺動可能に構成されている。

なお、被検査物Ａの側面に当たるサイドコンベア５０の当接部の上端、つまり、サイドコンベア５０のコンベアベルト５１ａ，５１ｂの上端５１ｔの高さ位置は、遮蔽カーテン６０の下端６０ｂと支持部６０ａとの中央部分Ｍの高さ位置より低くに位置するよう構成されることが好ましい（図１参照）。このように構成されることで、サイドコンベア５０は、遮蔽カーテン６０と接触する場合に、遮蔽カーテン６０を揺動支持する支持部６０ａから比較的離れた位置で遮蔽カーテン６０と接触することとなる。言い換えれば、サイドコンベア５０は、遮蔽カーテン６０と、遮蔽カーテン６０が比較的大きく変位可能な位置で接触することとなる。そのため、サイドコンベア５０若しくは遮蔽カーテン６０に無理な力が作用して、サイドコンベア５０若しくは遮蔽カーテン６０が損傷等することを防止することが容易である。

（２−６）ＬＣＤモニタ
ＬＣＤモニタ７０は、フルドット表示の液晶ディスプレイである。ＬＣＤモニタ７０は、Ｘ線画像や異物検査の結果等を表示する。また、ＬＣＤモニタ７０は、タッチパネル機能も有し、初期設定や異物検査に関するパラメータ入力などを促す画面の表示も行う。

（２−７）制御コンピュータ
制御コンピュータ８０は、検査部の一例である。制御コンピュータ８０は、Ｘ線ラインセンサ３０が検出した被検査物Ａを透過したＸ線量に基づいてＸ線画像を生成する。また、制御コンピュータ８０は、生成したＸ線画像に基づいて被検査物Ａの異物検査を行う。

制御コンピュータ８０は、図２に示すように、ＣＰＵ８１と、ＣＰＵ８１によって制御される記憶部としてのＲＯＭ８２、ＲＡＭ８３、及びＨＤＤ（ハードディスクドライブ）８５を搭載している。ＣＰＵ８１、ＲＯＭ８２、ＲＡＭ８３、ＨＤＤ８５等は、アドレスバス，データバス等のバスラインを介して相互に接続されている。また、制御コンピュータ８０は、図示しない表示制御回路、キー入力回路及び通信ポート等を備えている。表示制御回路は、ＬＣＤモニタ７０のデータ表示を制御する回路である。キー入力回路は、ＬＣＤモニタ７０のタッチパネルを介してオペレータにより入力されたキー入力データを取り込む回路である。通信ポートは、プリンタ等の外部機器、及びＬＡＮ等のネットワークとの接続を可能にするポートである。

記憶部のＲＯＭ８２やＨＤＤ８５には、ＣＰＵ８１によって実行される各種プログラムや、異物検査に用いられるパラメータや動作設定等の各種情報や、異物検査の検査結果等が記憶されている。異物検査に用いられるパラメータは、被検査物Ａの異物の混入の有無を判定するために必要なパラメータであり、例えば透過Ｘ線量のしきい値等である。動作設定は、例えば、被検査物Ａの検査速度等の情報である。ＣＰＵ８１は、記憶部に記憶されているプログラムを実行することで、Ｘ線画像生成部８１ａ、画像補正部８１ｂ、異物有無検査部８１ｃ等の機能部として機能する。

また、制御コンピュータ８０は、モータ４１ａ、モータ５３ａ、モータ５３ｂ、Ｘ線照射器２０、Ｘ線ラインセンサ３０、ＬＣＤモニタ７０等と接続されている。また、制御コンピュータ８０は、Ｘ線検査装置１００の下流側に配置され、Ｘ線検査装置１００により異物を含んでいると判断された被検査物Ａを不良品として振り分ける振分装置（図示せず）とも接続されている。

（２−７−１）Ｘ線画像生成部
Ｘ線画像生成部８１ａは、Ｘ線ラインセンサ３０によって検出された透過Ｘ線量（被検査物Ａを透過したＸ線量）に基づいてＸ線画像（透過画像）を生成する。具体的には、Ｘ線画像生成部８１ａは、Ｘ線ラインセンサ３０の各Ｘ線検出素子３１から出力される、透過Ｘ線の強度に関するデータ（Ｘ線透過信号）を細かい時間間隔で取得し、データをマトリクス状に時系列につなぎ合わせて、被検査物Ａの透過画像を生成する。

（２−７−２）画像補正部
搬送部４０のサイドコンベア５０は、上述のように、搬送部４０による被検査物Ａの搬送方向において、シールドボックス１０の被検査物Ａの搬入口側（図１では右）の開口１１より上流側から、シールドボックス１０の被検査物Ａの搬出口側（図１では左側）の開口１１の下流側まで、検査空間Ｓを貫通して延びる。そのため、Ｘ線照射器２０から照射されるＸ線の一部は、Ｘ線の照射範囲Ｙ内に存在するサイドコンベア５０のコンベアベルト５１ａ，５１ｂを通過して、Ｘ線ラインセンサ３０に到達する。また、Ｘ線照射器２０から照射されるＸ線の一部は、Ｘ線の照射範囲Ｙ内に存在するサイドコンベア５０の支持フレーム（図示せず）等を通過して、Ｘ線ラインセンサ３０に到達する場合がある。その結果、被検査物ＡのＸ線画像には、サイドコンベア５０も映り込むことになる。

このようなサイドコンベア５０の映り込みは、検査の妨げになる可能性があるため、画像補正部８１ｂは、Ｘ線画像生成部８１ａにより生成されたＸ線画像のサイドコンベア５０の映り込み部分の明るさを、背景部分の明るさに補正する。具体的には、画像補正部８１ｂは、以下の様にＸ線画像を補正する。

まず、Ｘ線検査装置１００で被検査物Ａの検査を実行する前に、制御コンピュータ８０は、被検査物Ａが搬送されていない状態でＸ線ラインセンサ３０にＸ線照射器２０が照射するＸ線を検出させる。被検査物Ａが搬送されていない状態で周囲に比べて透過Ｘ線量が少ない箇所は、サイドコンベア５０のコンベアベルト５１ａ，５１ｂ等の映り込んだ部分である。ＲＯＭ８２やＨＤＤ８５等の記憶部は、被検査物Ａが搬送されていない状態でＸ線ラインセンサ３０が検出したＸ線の検出結果を記憶する。そして、画像補正部８１ｂは、Ｘ線検査装置１００が被検査物Ａの検査を実行する際に、記憶部に記憶されたサイドコンベア５０の映り込み部分の位置に関する情報を読み出して、Ｘ線画像生成部８１ａが生成した被検査物ＡのＸ線画像のサイドコンベア５０の映り込み部分の明るさを、背景部分の明るさに補正した補正Ｘ線画像を生成する。

（２−７−３）異物有無検査部
異物有無検査部８１ｃは、Ｘ線画像生成部８１ａにより生成された被検査物ＡのＸ線画像に基づいて、被検査物Ａへの異物混入の有無を判断する。異物有無検査部８１ｃは、幾つかの判断方式を有している。例えば、異物有無検査部８１ｃは、基準レベル（しきい値）を設定し、Ｘ線画像生成部８１ａにより生成され、画像補正部８１ｂにより補正されたＸ線画像に基準レベルよりも暗い箇所が存在する時に被検査物Ａ内に異物が混入していると判断する。異物有無検査部８１ｃは、各判断方式で判断した結果、いずれかの方式での判断において異物混入有りと判断されれば、その被検査物Ａに異物が混入していると判断する。異物混入有りと判断された場合、制御コンピュータ８０は、ＬＣＤモニタ７０に不良品表示を行うとともに、Ｘ線検査装置１００の下流側に配置された振分装置に振り分けの指示を送る。

（３）特徴
（３−１）
本実施形態に係るＸ線検査装置１００は、Ｘ線照射器２０と、シールドボックス１０と、Ｘ線ラインセンサ３０と、搬送部４０と、遮蔽カーテン６０と、制御コンピュータ８０と、を備える。Ｘ線照射器２０は、Ｘ線源の一例である。シールドボックス１０は、筐体の一例である。Ｘ線ラインセンサ３０は、Ｘ線検出器の一例である。制御コンピュータ８０は、検査部の一例である。シールドボックス１０は、Ｘ線照射器２０からのＸ線が被検査物Ａに照射される検査空間Ｓを覆う。Ｘ線ラインセンサ３０は、被検査物Ａを透過したＸ線を検出する。搬送部４０は、シールドボックス１０を貫通し、検査空間Ｓ内を通過して延びる被検査物Ａの搬送路Ｒに沿って、被検査物Ａを搬送する。遮蔽カーテン６０は、被検査物Ａの搬送路Ｒの、シールドボックス１０内への被検査物Ａの搬入口としての開口１１及びシールドボックス１０からの被検査物Ａの搬出口としての開口１１にそれぞれ設けられる。制御コンピュータ８０は、Ｘ線ラインセンサ３０の検出結果に基づいてＸ線画像を生成し、Ｘ線画像に基づいて被検査物Ａの検査を行う。搬送部４０は、サイドコンベア５０を有する。サイドコンベア５０は、搬送路Ｒに沿って搬入口としての開口１１及び搬出口としての開口１１を貫通して延び、被検査物Ａの側面に当接して被検査物Ａを支持する。

本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、サイドコンベア５０により被検査物Ａが支持される。そのため、被検査物Ａが、軽量である場合や、背が高い場合であっても、遮蔽カーテン６０による被検査物Ａの搬送不具合の発生を防止できる。また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、Ｘ線を遮蔽するカバーを被検査物Ａの搬出入口周辺に配置する必要が無いため、装置サイズの増大を抑制することができる。

なお、本実施形態では、サイドコンベア５０が被検査物Ａの搬入口及び搬出口の両方の開口１１を貫通して延びるが、サイドコンベア５０は、被検査物Ａの搬入口及び搬出口の一方の開口１１のみを貫通して延びるものであってもよい。ただし、遮蔽カーテン６０による被検査物Ａの搬送不具合を防止するためには、サイドコンベア５０は両方の開口１１を貫通して延びることが好ましい。

（３−２）
本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、サイドコンベア５０は、搬送路Ｒを挟むように配置される第１サイドコンベア５０ａ及び第２サイドコンベア５０ｂを含む。第１サイドコンベア５０ａ及び第２サイドコンベア５０ｂは、対となって、被検査物Ａの両側面（ここでは前後の側面）を支持する。

本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、一対のサイドコンベア５０ａ，５０ｂの間で被検査物Ａが支持されるため、遮蔽カーテン６０による被検査物Ａの搬送不具合の発生がより確実に防止されやすい。

なお、サイドコンベア５０は、第１サイドコンベア５０ａ及び第２サイドコンベア５０ｂの一方のみ、例えば第１サイドコンベア５０ａのみを有するものであってもよい。そして、第１サイドコンベア５０ａは、被検査物Ａの搬送路Ｒの前方側に設けられる側壁（図示せず）との間で被検査物Ａを挟みながら、被検査物Ａを搬送してもよい。

ただし、一対の第１サイドコンベア５０ａ及び第２サイドコンベア５０ｂで被検査物Ａを支持することで、遮蔽カーテン６０による被検査物Ａの搬送不具合の発生が特に防止されやすい。

（３−３）
本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、第１サイドコンベア５０ａは、被検査物Ａの側面に当接する当接部の一例としてのコンベアベルト５１ａを駆動するモータ５３ａを有し、モータ５３ａを駆動して被検査物Ａを支持しながら搬送する。第２サイドコンベア５０ｂは、被検査物Ａの側面に当接する当接部の一例としてのコンベアベルト５１ｂを駆動するモータ５３ｂを有し、モータ５３ｂを駆動して被検査物Ａを支持しながら搬送する。好ましくは、第１サイドコンベア５０ａ及び第２サイドコンベア５０ｂは、対となって、被検査物Ａの両側面を挟持して、被検査物Ａを搬送する。

本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、コンベアベルト５１ａ及びコンベアベルト５１ｂが駆動され、被検査物Ａの両側面が支持された状態で第１サイドコンベア５０ａ及び第２サイドコンベア５０ｂにより被検査物Ａが搬送されるので、遮蔽カーテン６０による被検査物Ａの搬送不具合の発生が確実に防止されやすい。

特に、第１サイドコンベア５０ａ及び第２サイドコンベア５０ｂにより被検査物Ａが挟持された状態で搬送されることで、遮蔽カーテン６０による被検査物Ａの搬送不具合の発生がより確実に防止されやすい。

（３−４）
本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、搬送部４０は、第１サイドコンベア５０ａを第２サイドコンベア５０ｂに対して接近／離反させ、第２サイドコンベア５０ｂを第１サイドコンベア５０ａに対して接近／離反させる、コンベア位置調整機構５５を有する。

本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、第１サイドコンベア５０ａと第２サイドコンベア５０ｂとの間の幅を調整するコンベア位置調整機構５５が設けられているため、様々なサイズの被検査物Ａを検査することが容易である。

なお、本実施形態では第１サイドコンベア５０ａ及び第２サイドコンベア５０ｂの両方が、他方に対して接近／離反するように移動するが、これに限定されるものではない。コンベア位置調整機構５５は、第１サイドコンベア５０ａ及び第２サイドコンベア５０ｂの一方だけを、他方に対して接近／離反させるものであってもよい。

（３−５）
本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、搬送部４０は、被検査物Ａの搬送路Ｒに沿って延び、戴置された被検査物Ａを搬送する平ベルトコンベア４１を有する。

本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、サイドコンベア５０と平ベルトコンベア４１とを兼用して被検査物Ａを搬送することで、被検査物Ａの搬送安定性を向上させることができる。

ただし、Ｘ線検査装置１００は、平ベルトコンベア４１を有さなくてもよい。例えば、Ｘ線検査装置１００は、平ベルトコンベア４１に代えて回動自在のローラを有するものであってもよい。さらに、サイドコンベア５０により被検査物Ａをしっかりと挟持できる場合には、Ｘ線検査装置１００は、検査空間Ｓの底面側に、平ベルトコンベア４１やローラ等の被検査物Ａを下方から支持する構造を有さなくてもよい。

（３−６）
本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、遮蔽カーテン６０は、支持部６０ａ周りに揺動可能に構成されている。被検査物Ａの側面に接触するサイドコンベア５０の当接部の上端、すなわちコンベアベルト５１ａ，５１ｂの上端５１ｔ、の高さ位置は、遮蔽カーテン６０の下端６０ｂと支持部６０ａとの中央部分Ｍの高さ位置よりも低い。

本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、サイドコンベア５０と遮蔽カーテン６０とが接触する場合、サイドコンベア５０は、遮蔽カーテン６０と、遮蔽カーテン６０を揺動支持する支持部６０ａから比較的離れた位置で接触する。言い換えれば、本Ｘ線検査装置１００では、サイドコンベア５０と遮蔽カーテン６０とが接触する場合、サイドコンベア５０は、遮蔽カーテン６０と、遮蔽カーテン６０が比較的大きく変位可能な位置で接触する。そのため、サイドコンベア５０若しくは遮蔽カーテン６０に無理な力が作用して損傷することを防止できる。

（３−７）
本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、制御コンピュータ８０は、被検査物Ａが搬送されていない状態でＸ線ラインセンサ３０が検出したＸ線の検出結果に基づいて、被検査物ＡのＸ線画像のサイドコンベア５０の映り込み部分の明るさを、背景部分の明るさに補正する。そして、制御コンピュータ８０は、補正後のＸ線画像に基づいて被検査物Ａの検査を行う。

本実施形態に係るＸ線検査装置１００では、Ｘ線画像に写り込んだサイドコンベア５０の画像が背景部分として処理されるので、精度のよい検査を行うことができる。

（４）変形例
以下に上記実施形態の変形例を示す。なお、変形例は、互いに矛盾しない範囲で、適宜組み合わされてもよい。

（４−１）変形例Ａ
上記実施形態では、第１サイドコンベア５０ａ及び第２サイドコンベア５０ｂは搬送路Ｒの全長にわたって連続的に延びるが、これに限定されるものではない。

例えば、サイドコンベア５０は、図７のように、第１上流側サイドコンベア５０ａｕ、第１下流側サイドコンベア５０ａｄ、第２上流側サイドコンベア５０ｂｕ、及び第２下流側サイドコンベア５０ｂｄ、を含んでもよい。第１上流側サイドコンベア５０ａｕ及び第２上流側サイドコンベア５０ｂｕは、搬送路Ｒの最上流から、被検査物Ａの搬入口側（右側）の開口１１を貫通して、搬送路Ｒの中央部（Ｘ線ラインセンサ３０近傍であって、Ｘ線ラインセンサ３０の上流側）まで延びる。第１下流側サイドコンベア５０ａｄ及び第２下流側サイドコンベア５０ｂｄは、搬送路Ｒの中央部（Ｘ線ラインセンサ３０近傍であって、Ｘ線ラインセンサ３０の下流側）から、被検査物Ａの搬出口側（左側）の開口１１を貫通して、搬送路Ｒの最下流まで延びる。第１上流側サイドコンベア５０ａｕと、第１下流側サイドコンベア５０ａｄとは、分離されている。第２上流側サイドコンベア５０ｂｕと、第２下流側サイドコンベア５０ｂｄとは、分離されている。第１上流側サイドコンベア５０ａｕ及び第２上流側サイドコンベア５０ｂｕは、搬送部４０による被検査物Ａの搬送方向において、シールドボックス１０の被検査物Ａの搬入口側の開口１１に設けられた遮蔽カーテン６０の上流から下流まで延びる。また、第１下流側サイドコンベア５０ａｄ及び第２下流側サイドコンベア５０ｂｄは、搬送部４０による被検査物Ａの搬送方向において、シールドボックス１０の被検査物Ａの搬出口側の開口１１に設けられた遮蔽カーテン６０の上流から下流まで延びる。第１下流側サイドコンベア５０ａｄ及び第２下流側サイドコンベア５０ｂｄは、第１上流側サイドコンベア５０ａｕ及び第２上流側サイドコンベア５０ｂｕにより搬送されてきた被検査物Ａを受け取り、被検査物Ａの搬送方向において更に下流側へと搬送する。搬送部４０は、第１上流側サイドコンベア５０ａｕ及び第２上流側サイドコンベア５０ｂｕが互いに接近／離反するように第１上流側サイドコンベア５０ａｕ及び第２上流側サイドコンベア５０ｂｕの位置調整を行うコンベア位置調整機構５５を有する。また、搬送部４０は、第１下流側サイドコンベア５０ａｄ及び第２下流側サイドコンベア５０ｂｄが互いに接近／離反するように第１下流側サイドコンベア５０ａｄ及び第２下流側サイドコンベア５０ｂｄの位置調整を行うコンベア位置調整機構５５を有する。

なお、各サイドコンベア５０ａｕ，５０ａｄ，５０ｂｕ，５０ｂｄの構成及びコンベア位置調整機構５５の構成は、上記実施形態の第１サイドコンベア５０ａ及びコンベア位置調整機構５５の構成と同様であるので説明は省略する。

このように、サイドコンベア５０が上流側と下流側とで分離された構造となっていることで、Ｘ線画像にサイドコンベア５０が映り込まないようにサイドコンベア５０を配置することが可能である。このように構成されることで、搬入口及び搬出口の両方を貫通して延びる一体型のサイドコンベア５０が使用される場合に比べ、Ｘ線検査の感度を向上されることができる。

なお、被検査物ＡのＸ線画像にサイドコンベア５０の映り込みが発生しない場合には、制御コンピュータ８０は、上記の画像補正部８１ｂのような機能を有さなくてもよい。

（４−２）変形例Ｂ
変形例Ａのようにサイドコンベア５０が、第１上流側サイドコンベア５０ａｕ、第１下流側サイドコンベア５０ａｄ、第２上流側サイドコンベア５０ｂｕ、及び第２下流側サイドコンベア５０ｂｄを含む場合に、図８のように構成されてもよい。

つまり、第１上流側サイドコンベア５０ａｕ及び第２上流側サイドコンベア５０ｂｕは、シールドボックス１０の被検査物Ａの搬入口側の開口１１近傍だけに配置され、第１下流側サイドコンベア５０ａｄ及び第２下流側サイドコンベア５０ｂｄは、シールドボックス１０の被検査物Ａの搬出口側の開口１１近傍だけに配置されてもよい。

なお、このように構成される場合にも、第１上流側サイドコンベア５０ａｕ及び第２上流側サイドコンベア５０ｂｕは、被検査物Ａの搬送方向において、シールドボックス１０の被検査物Ａの搬入口側の開口１１に設けられた遮蔽カーテン６０の上流から下流まで延びることが好ましい。また、第１下流側サイドコンベア５０ａｄ及び第２下流側サイドコンベア５０ｂｄは、被検査物Ａの搬送方向において、シールドボックス１０の被検査物Ａの搬出口側の開口１１に設けられた遮蔽カーテン６０の上流から下流まで延びることが好ましい。

なお、被検査物Ａを安定して搬送するという観点からは、サイドコンベア５０（第１上流側サイドコンベア５０ａｕ、第１下流側サイドコンベア５０ａｄ、第２上流側サイドコンベア５０ｂｕ、及び第２下流側サイドコンベア５０ｂｄ）は、搬送路Ｒの概ね全長にわたって配置されること（すなわち図７のように構成されること）が好ましい。

（４−３）変形例Ｃ
上記実施形態では、サイドコンベア５０を支持する脚部フレーム５６を移動させることで、サイドコンベア５０を検査空間Ｓから外部に引き出すことができるが、搬送部４０の構成はこのような構成に限定されるものではない。

例えば、搬送部４０は、第１サイドコンベア５０ａを開口１１（搬入口又は搬出口）から引き出すことができるよう、以下の様に構成されてもよい。

搬送部４０は、図９のように、左右方向に延びるフレーム１５０を有してもよい。フレーム１５０には、左右方向に延びるガイド溝１５０ａが形成される。ガイド溝１５０ａには、ガイド溝１５０ａに沿って摺動可能なピン１５０ｂが配置される。第１サイドコンベア５０ａとピン１５０ｂとは、連結部１５０ｃにより連結される。このような構成により、第１サイドコンベア５０ａを、シールドボックス１０の開口１１（搬入口又は搬出口）の一方から引き出し可能に構成することができる。また、第１サイドコンベア５０ａは、シールドボックス１０の両方の開口１１（搬入口及び搬出口）から引き出し可能に構成されてもよい。そして、このような構成により、第１サイドコンベア５０ａのメンテナンス性を向上させることができる。

なお、ここでは、第１サイドコンベア５０ａを例に説明したが、第２サイドコンベア５０ｂも同様に構成されてもよい。

（４−４）変形例Ｄ
上記実施形態では、上段コンベア（平ベルトコンベア）２００により搬送されてきた被検査物Ａを搬送部４０が受け取るように構成されるが、これに限定されるものではない。

例えば、図１０のように、Ｘ線検査装置１００とオートケーサー（箱詰装置）４００とが直接組み合わされてもよい。図１０に示した構成では、搬送部４０は、オートケーサー４００の上下に配置された一対のコンベア４１０が挟持した状態で搬送してくる被検査物Ａのダンボール箱を受け取り、被検査物Ａを搬送路Ｒに沿って搬送する。なお、オートケーサー４００の有するコンベア４１０は、上記実施形態のサイドコンベア５０の第１サイドコンベア５０ａ及び第２サイドコンベア５０ｂを上下に配置したような構成である。コンベア４１０についての詳細な説明は省略する。

（４−５）変形例Ｅ
上記実施形態では、第１サイドコンベア５０ａは、コンベアベルト５１ａを駆動するモータ５３ａを含み、第２サイドコンベア５０ｂは、コンベアベルト５１ｂを駆動するモータ５３ｂを含む。しかし、これに限定されるものではなく、第１サイドコンベア５０ａ及び第２サイドコンベア５０ｂの少なくとも一方は、被検査物Ａの側面に当接する当接部を駆動するための駆動部を有さないコンベアであってもよい。

例えば、第２サイドコンベアは、被検査物Ａの搬送路Ｒの前方側に設けられるフリーローラコンベアであってもよい。ここで、フリーローラコンベアとは、搬送方向（搬送部４０により被検査物Ａが搬送されていく方向）に並べられた複数の回転自在のローラを有し、ローラを駆動するためのモータ等の駆動部を有さないコンベアを意味する。そして、サイドコンベア５０は、上記実施形態の第１サイドコンベア５０ａと、第２サイドコンベアとしてのフリーローラコンベアとの間で被検査物Ａを挟んで、好ましくは挟持して、被検査物Ａを搬送してもよい。

また、例えば、第１サイドコンベア及び第２サイドコンベアは、両方がフリーローラコンベアであってもよい。この場合には、第１サイドコンベア及び第２サイドコンベアには被検査物Ａの搬送力がないため、平ベルトコンベア４１等の他の搬送手段と組み合わされて使用されることが好ましい。

（４−６）変形例Ｆ
上記実施形態では、第１サイドコンベア５０ａ及び第２サイドコンベア５０ｂは、コンベアベルトを駆動するタイプのコンベアであるが、これに限定されるものではない。第１サイドコンベア５０ａ及び第２サイドコンベア５０ｂは、被検査物Ａを支持し、搬送可能なコンベアであればよい。例えば、サイドコンベアは、ローラを回転駆動させて被検査物Ａを搬送するローラコンベアであってもよい。

本発明は、物品を搬送しながらＸ線検査を行うＸ線検査装置に広く適用でき、有用である。

１０ シールドボックス（筐体）
１１ 開口（搬入口、搬出口）
３０ Ｘ線ラインセンサ（Ｘ線検出器）
４０ 搬送部
４１ 平ベルトコンベア
５０ サイドコンベア
５１ａ，５１ｂ コンベアベルト（当接部）
５１ｔ コンベアベルトの上端（当接部の上端）
５０ａ 第１サイドコンベア
５０ａｄ 第１下流側サイドコンベア（第１サイドコンベア，下流側サイドコンベア）
５０ａｕ 第１上流側サイドコンベア（第１サイドコンベア，上流側サイドコンベア）
５０ｂ 第２サイドコンベア
５０ｂｄ 第２下流側サイドコンベア（第２サイドコンベア，下流側サイドコンベア）
５０ｂｕ 第２上流側サイドコンベア（第２サイドコンベア，上流側サイドコンベア）
５３ａ，５３ｂ モータ（駆動部）
５５ コンベア位置調整機構
６０ 遮蔽カーテン
６０ａ 支持部
６０ｂ 下端（遮蔽カーテンの下端）
８０ 制御コンピュータ（検査部）
１００ Ｘ線検査装置
Ａ 被検査物
Ｍ 遮蔽カーテンの下端と支持部との中央部分
Ｒ 搬送路
Ｓ 検査空間

特開２０１１−１０２７４５号公報

Claims (9)

1. Ｘ線源と、
   前記Ｘ線源からのＸ線が被検査物に照射される検査空間を覆う筐体と、
   被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線検出器と、
   前記筐体を貫通し前記検査空間内を通過して延びる被検査物の搬送路に沿って、被検査物を搬送する搬送部と、
   前記搬送路の、前記筐体内への被検査物の搬入口及び前記筐体からの被検査物の搬出口にそれぞれ設けられた遮蔽カーテンと、
   前記Ｘ線検出器の検出結果に基づいてＸ線画像を生成し、前記Ｘ線画像に基づいて被検査物の検査を行う検査部と、
   を備えたＸ線検査装置であって、
   前記搬送部は、前記搬送路に沿って前記搬入口及び前記搬出口の少なくとも一方を貫通して延び、被検査物の側面に当接して被検査物を支持するサイドコンベアを有する、
   Ｘ線検査装置。
2. 前記サイドコンベアは、前記搬送路を挟むように配置される第１サイドコンベア及び第２サイドコンベアを含み、
   前記第１サイドコンベア及び前記第２サイドコンベアは、対となって、被検査物の両側面を支持する、
   請求項１に記載のＸ線検査装置。
3. 前記第１サイドコンベア及び前記第２サイドコンベアの少なくとも一方は、被検査物の側面に当接する当接部を駆動する駆動部を有し、前記駆動部を駆動して、被検査物を支持しながら搬送する、
   請求項２に記載のＸ線検査装置。
4. 前記搬送部は、前記第１サイドコンベア及び前記第２サイドコンベアの少なくとも一方を他方に対して接近／離反させるコンベア位置調整機構を更に有する、
   請求項２又は３に記載のＸ線検査装置。
5. 前記サイドコンベアは、前記搬入口及び前記搬出口の少なくとも一方から引き出し可能に構成されている、
   請求項１から４のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
6. 前記サイドコンベアは、前記搬入口を貫通して延びる上流側サイドコンベアと、前記上流側サイドコンベアとは分離されている、前記搬出口を貫通して延びる下流側サイドコンベアと、を含む、
   請求項１から５のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
7. 前記搬送部は、前記搬送路に沿って延び、戴置された被検査物を搬送する平ベルトコンベアを更に有する、
   請求項１から６のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
8. 前記遮蔽カーテンは、支持部周りに揺動可能に構成され、
   被検査物の側面に当接する前記サイドコンベアの当接部の上端の高さ位置は、前記遮蔽カーテンの下端と前記支持部との中央部分の高さ位置よりも低い、
   請求項１から７のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
9. 前記検査部は、被検査物が搬送されていない状態で前記Ｘ線検出器が検出したＸ線の検出結果に基づいて、被検査物の前記Ｘ線画像の前記サイドコンベアの映り込み部分の明るさを、背景部分の明るさに補正し、補正後の前記Ｘ線画像に基づいて被検査物の検査を行う、
   請求項１から８のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。

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