JP6830243B2 - X線検査装置 - Google Patents

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Description

本発明は、X線検査装置に関する。
物品を搬送する搬送部と、搬送部によって搬送される物品にX線を照射するX線照射部と、物品を透過したX線を検出するX線検出部と、X線検出部から出力された信号に基づいて物品のX線透過画像を生成し、X線透過画像に基づいて物品の検査結果を取得する処理部と、X線による物品の検査が実施される検査領域が内部に設けられた筐体と、を備えるX線検査装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
特開2005−351795号公報
上述したようなX線検査装置においては、例えば、X線の検出感度の向上や、搬送部のメンテナンス性の向上等のために、X線の通過領域を挟んで並設された一対の搬送ユニットが搬送部として設けられる場合がある。しかし、X線の漏洩を防止するための筐体の存在により、オペレータにとっては、搬送ユニットが正しく装着されているか否かを視認し難い状況にあるため、オペレータがメンテナンス後に搬送ユニットが正しく装着されていない状態でX線検査装置を運転させるおそれがある。搬送ユニットが正しく装着されていない状態でX線検査装置が運転されると、例えば、物品が筐体の搬入口付近で滞り、X線の漏洩に繋がるおそれもある。
本発明は、搬送ユニットが正しく装着されていない状態でX線検査装置が運転されるのを防止することができるX線検査装置を提供することを目的とする。
本発明のX線検査装置は、物品を搬送する搬送部と、X線を照射するX線照射部と、X線を検出するX線検出部と、X線検出部から出力された信号を処理する処理部と、X線による物品の検査が実施される検査領域が内部に設けられた筐体と、を備え、搬送部は、X線照射部からX線検出部に至るX線の通過領域を挟んで並設された一対の搬送ユニットと、一対の搬送ユニットのうちの少なくとも一方の搬送ユニットに取り付けられ、搬送部の搬送する第1方向及びX線照射部とX線検出部とが対向する第2方向の両方向に交差する第3方向における通過領域の少なくとも一方の端部においてX線を遮蔽するX線遮蔽ユニットと、を有し、処理部は、X線検出部から出力された信号に基づいて、少なくとも一方の搬送ユニットが装着されているか否かを判定する。
このX線検査装置では、搬送ユニットに取り付けられたX線遮蔽ユニットによって、X線の通過領域の少なくとも一方の端部においてX線が遮蔽される。これにより、X線検出部から出力された信号のうち、X線の通過領域の少なくとも一方の端部に相当する領域における信号の状態に基づいて、X線遮蔽ユニットが取り付けられた搬送ユニットが正しく装着されているか否かを判定することができる。よって、このX線検査装置によれば、搬送ユニットが正しく装着されていない状態でX線検査装置が運転されるのを防止することができる。
本発明のX線検査装置では、X線遮蔽ユニットは、一方の端部に加え、第3方向における通過領域の他方の端部においてもX線を遮蔽してもよい。これによれば、X線検出部から出力された信号のうち、X線の通過領域の一方の端部及び他方の端部のそれぞれに相当する領域における信号の状態に基づく判定が可能となるため、搬送ユニットが正しく装着されているか否かをより正確に判定することができる。
本発明のX線検査装置では、X線遮蔽ユニットは、一方の搬送ユニットに取り付けられ、一方の端部においてX線を遮蔽する第1X線遮蔽部材と、一対の搬送ユニットのうちの他方の搬送ユニットに取り付けられ、他方の端部においてX線を遮蔽する第2X線遮蔽部材と、を含み、処理部は、X線検出部から出力された信号に基づいて、一対の搬送ユニットのそれぞれが装着されているか否かを判定してもよい。これによれば、X線検出部から出力された信号のうち、X線の通過領域の一方の端部に相当する領域における信号の状態に基づいて、一方の搬送ユニットが正しく装着されているか否かを判定することができる。また、X線検出部から出力された信号のうち、X線の通過領域の他方の端部に相当する領域における信号の状態に基づいて、他方の搬送ユニットが正しく装着されているか否かを判定することができる。
本発明のX線検査装置では、X線遮蔽ユニットは、一対の搬送ユニットに取り付けられたX線遮蔽部材を含み、X線遮蔽部材には、通過領域を画定するスリットが形成されており、処理部は、X線検出部から出力された信号に基づいて、一対の搬送ユニットのそれぞれが装着されているか否かを判定してもよい。これによれば、X線検出部から出力された信号のうち、スリットに相当する領域における信号の状態に基づいて、一対の搬送ユニットのそれぞれが正しく装着されているか否かを判定することができる。また、比較的小さい物品が搬送される場合に、一対の搬送ユニット間の隙間に物品が落ち込むのを抑制することができる。
本発明のX線検査装置では、処理部は、少なくとも一方の搬送ユニットが装着されていないと判定した場合に、X線の照射を停止するようにX線照射部を制御してもよい。これによれば、X線遮蔽ユニットが取り付けられた搬送ユニットが正しく装着されていなかった場合に、X線の照射を速やかに停止することができる。
本発明のX線検査装置は、オペレータに運転状態を報知する報知部を更に備え、処理部は、少なくとも一方の搬送ユニットが装着されていないと判定した場合に、少なくとも一方の搬送ユニットが装着されていないことを報知するように報知部を制御してもよい。これによれば、X線遮蔽ユニットが取り付けられた搬送ユニットが正しく装着されていなかった場合に、その旨をオペレータに速やかに報知することができる。
本発明によれば、搬送ユニットが正しく装着されていない状態でX線検査装置が運転されるのを防止することができるX線検査装置を提供することが可能となる。
一実施形態のX線検査装置の構成図である。 図1に示される搬送部の平面図である。 図1に示される搬送部の平面図である。 変形例の搬送部の一部の斜視図である。 図4に示される搬送部の一部の正面図である。
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
図1に示されるように、X線検査装置1は、装置本体2と、支持脚3と、シールドボックス(筐体)4と、搬送部5と、X線照射部6と、X線検出部7と、表示操作部(報知部)8と、制御部10と、を備えている。X線検査装置1は、物品Gを搬送しつつ物品GのX線透過画像を生成し、当該X線透過画像に基づいて物品Gの検査(例えば、収納数検査、異物混入検査、欠品検査、割れ欠け検査等)を行う。検査前の物品Gは、搬入コンベア51によってX線検査装置1に搬入される。検査後の物品Gは、搬出コンベア52によってX線検査装置1から搬出される。X線検査装置1によって不良品と判定された物品Gは、搬出コンベア52の下流に配置された振分装置(図示省略)よって生産ライン外に振り分けられる。X線検査装置1によって良品と判定された物品Gは、当該振分装置をそのまま通過する。
装置本体2は、制御部10等を収容している。支持脚3は、装置本体2を支持している。シールドボックス4は、装置本体2に設けられている。シールドボックス4は、外部へのX線の漏洩を防止する。シールドボックス4の内部には、X線による物品Gの検査が実施される検査領域Rが設けられている。シールドボックス4には、搬入口4a及び搬出口4bが形成されている。検査前の物品Gは、搬入コンベア51から搬入口4aを介して検査領域Rに搬入される。検査後の物品Gは、検査領域Rから搬出口4bを介して搬出コンベア52に搬出される。搬入口4a及び搬出口4bのそれぞれには、X線の漏洩を防止するX線遮蔽カーテン(図示省略)が設けられている。
搬送部5は、シールドボックス4内に配置されている。搬送部5は、搬入口4aから検査領域Rを介して搬出口4bまで、搬送方向Aに沿って物品Gを搬送する。搬送部5は、例えば、搬入口4aと搬出口4bとの間に掛け渡されたベルトコンベアである。
X線照射部6は、シールドボックス4内に配置されている。X線照射部6は、搬送部5によって搬送される物品GにX線を照射する。X線照射部6は、例えば、X線を出射するX線管と、X線管から出射されたX線を搬送方向Aに垂直な面内において扇状に広げるコリメータと、を有している。
X線検出部7は、シールドボックス4内に配置されている。X線検出部7は、物品Gを透過したX線を検出する。X線検出部7は、例えば、ラインセンサとして構成されている。具体的には、X線検出部7は、搬送方向Aに垂直な水平方向に沿って一次元に配列された複数のフォトダイオードと、各フォトダイオードに対してX線入射側に配置されたシンチレータと、を有している。この場合、X線検出部7では、シンチレータに入射したX線が光に変換され、各フォトダイオードに入射した光が電気信号に変換される。
表示操作部8は、装置本体2に設けられている。表示操作部8は、各種情報を表示する(すなわち、オペレータに運転状態を報知する)と共に、各種条件の入力を受け付ける。表示操作部8は、例えば、液晶ディスプレイであり、タッチパネルとしての操作画面を表示する。この場合、オペレータは、表示操作部8を介して各種条件を入力することができる。
制御部10は、装置本体2内に配置されている。制御部10は、X線検査装置1の各部の動作を制御する。制御部10は、CPU(Central Processing Unit)、ROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)等で構成されている。制御部10には、X線検出部7から出力されてA/D変換された信号が入力される。制御部10は、X線検出部7から出力された信号に基づいて物品GのX線透過画像を生成し、当該X線透過画像に基づいて物品Gの検査結果を取得する処理部として機能する。
図2に示されるように、搬送部5は、一対の搬送ユニット20,30と、X線遮蔽ユニット40と、を有している。一対の搬送ユニット20,30は、X線照射部6からX線検出部7に至るX線(図1参照)の通過領域Xを挟んで並設されている。これにより、X線の検出感度の向上や、搬送部5のメンテナンス性の向上が図られている。なお、通過領域Xは、方向Bに沿って延在している。方向Bは、搬送部5の搬送する第1方向(すなわち、搬送方向A)及びX線照射部6とX線検出部7とが対向する第2方向(図1参照)の両方向に交差する第3方向である。
搬送方向Aにおける上流側に配置された搬送ユニット20は、フレーム21と、複数の搬送ローラ22,23と、搬送ベルト24と、を有している。フレーム21は、シールドボックス4(図1参照)内に取り付けられている。各搬送ローラ22,23は、フレーム21によって回転可能に支持されている。一例として、搬送方向Aにおける下流側に配置された搬送ローラ22は駆動ローラであり、搬送方向Aにおける上流側に配置された搬送ローラ23は従動ローラである。搬送ベルト24は、無端ベルトであり、複数の搬送ローラ22,23に架けられている。
搬送方向Aにおける下流側に配置された搬送ユニット30は、フレーム31と、複数の搬送ローラ32,33と、搬送ベルト34と、を有している。フレーム31は、シールドボックス4(図1参照)内に取り付けられている。各搬送ローラ32,33は、フレーム21によって回転可能に支持されている。一例として、搬送方向Aにおける下流側に配置された搬送ローラ32は駆動ローラであり、搬送方向Aにおける上流側に配置された搬送ローラ33は従動ローラである。搬送ベルト34は、無端ベルトであり、複数の搬送ローラ32,33に架けられている。
X線遮蔽ユニット40は、第1X線遮蔽部材41と、第2X線遮蔽部材42と、を有している。第1X線遮蔽部材41及び第2X線遮蔽部材42は、それぞれ、金属からなる板材によって形成されている。第1X線遮蔽部材41は、搬送ユニット20のフレーム21に取り付けられている。第1X線遮蔽部材41は、方向Bにおける通過領域Xの一方の端部X1においてX線を遮蔽する。第2X線遮蔽部材42は、搬送ユニット30のフレーム31に取り付けられている。第2X線遮蔽部材42は、方向Bにおける通過領域Xの他方の端部X2においてX線を遮蔽する。
制御部10は、例えばX線検査装置1の起動時に、X線を照射するようにX線照射部6を制御し、X線検出部7から出力された信号に基づいてX線透過画像を生成する。そして、制御部10は、生成したX線透過画像に基づいて、一対の搬送ユニット20,30のそれぞれが装着されているか否かを判定する。
例えば、図3の(a)に示されるように、搬送ユニット20が装着されており、搬送ユニット30が装着されていない場合には、通過領域Xの端部X1においては第1X線遮蔽部材41によってX線が遮蔽され、通過領域Xの端部X2においてはX線が遮蔽されないから、制御部10は、生成したX線透過画像に基づいて、搬送ユニット20が装着されており、搬送ユニット30が装着されていないと判定することができる。また、図3の(b)に示されるように、搬送ユニット30が装着されており、搬送ユニット20が装着されていない場合には、通過領域Xの端部X2においては第2X線遮蔽部材42によってX線が遮蔽され、通過領域Xの端部X1においてはX線が遮蔽されないから、制御部10は、生成したX線透過画像に基づいて、搬送ユニット30が装着されており、搬送ユニット20が装着されていないと判定することができる。
更に、一対の搬送ユニット20,30がいずれも装着されている場合には、通過領域Xの端部X1においては第1X線遮蔽部材41によってX線が遮蔽され、通過領域Xの端部X2においては第2X線遮蔽部材42によってX線が遮蔽されるから、制御部10は、生成したX線透過画像に基づいて、一対の搬送ユニット20,30がいずれも装着されていると判定することができる。また、一対の搬送ユニット20,30がいずれも装着されていない場合には、通過領域Xの両方の端部X1,X2においてX線が遮蔽されないから、制御部10は、生成したX線透過画像に基づいて、一対の搬送ユニット20,30がいずれも装着されていないと判定することができる。
制御部10は、一対の搬送ユニット20,30のうちの少なくとも1つが装着されていないと判定した場合に、X線の照射を停止するようにX線照射部6を制御する。また、制御部10は、上述した判定の結果を表示するように表示操作部8を制御する。特に、制御部10は、一対の搬送ユニット20,30のうちの少なくとも1つが装着されていないと判定した場合に、装着されていない搬送ユニット(搬送ユニット20のみか、搬送ユニット30のみか、或いは搬送ユニット20,30の両方か)を特定して表示するように表示操作部8を制御する。
以上説明したように、X線検査装置1では、通過領域Xの端部X1においてX線を遮蔽する第1X線遮蔽部材41が搬送ユニット20に取り付けられており、通過領域Xの端部X2においてX線を遮蔽する第2X線遮蔽部材42が搬送ユニット30に取り付けられている。これにより、X線透過画像のうち、通過領域Xの端部X1に相当する領域の状態に基づいて、搬送ユニット20が正しく装着されているか否かを判定することができる。また、X線透過画像のうち、通過領域Xの端部X2に相当する領域の状態に基づいて、搬送ユニット30が正しく装着されているか否かを判定することができる。
また、X線検査装置1では、制御部10が、一対の搬送ユニット20,30のうちの少なくとも1つが装着されていないと判定した場合に、X線の照射を停止するようにX線照射部6を制御する。これにより、一対の搬送ユニット20,30のうちの少なくとも1つが正しく装着されていなかった場合に、X線の照射を速やかに停止することができる。
また、X線検査装置1では、制御部10が、一対の搬送ユニット20,30のうちの少なくとも1つが装着されていないと判定した場合に、一対の搬送ユニット20,30のうちの少なくとも1つが装着されていないことを表示するように表示操作部8を制御する。これにより、一対の搬送ユニット20,30のうちの少なくとも1つが正しく装着されていなかった場合に、その旨をオペレータに速やかに報知することができる。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されない。例えば、X線検査装置1は、一対の搬送ユニット20,30のうちの少なくとも1つに取り付けられ、通過領域Xの両方の端部X1,X2のうちの少なくとも1つにおいてX線を遮蔽するX線遮蔽ユニットと、X線透過画像に基づいて、X線遮蔽ユニットが取り付けられた搬送ユニットが装着されているか否かを判定する処理部と、を備えるものであればよい。その場合にも、X線遮蔽ユニットが取り付けられた搬送ユニットが正しく装着されているか否かを判定することができるので、当該搬送ユニットが正しく装着されていない状態でX線検査装置1が運転されるのを防止することができる。ただし、X線遮蔽ユニットが、通過領域Xの両方の端部X1,X2においてX線を遮蔽する場合には、各端部X1,X2に相当する領域の状態に基づく判定が可能となるため、X線遮蔽ユニットが取り付けられた搬送ユニットが正しく装着されているか否かをより正確に判定することができる。
図4に示されるX線遮蔽ユニット50は、一対の搬送ユニット20,30に取り付けられたX線遮蔽部材60を有している。より具体的には、X線遮蔽部材60は、一対の支持部61と、X線遮蔽部62と、を含んでいる。X線遮蔽部材60は、金属からなる板材によって一体的に形成されている。各支持部61には、一対の切欠き61a,61bが形成されている。切欠き61aは、搬送ユニット20のフレーム21に設けられたピン25に掛け止められる。切欠き61bは、搬送ユニット30のフレーム31に設けられたピン35に掛け止められる。X線遮蔽部62は、一対の搬送ユニット20,30間の隙間に沿うように、一対の支持部61間に架け渡されている。X線遮蔽部62には、通過領域Xを画定するスリット62aが形成されている。
以上のように構成されたX線遮蔽ユニット50を備えるX線検査装置1によれば、X線透過画像における影の状態に基づいて、一対の搬送ユニット20,30のそれぞれが正しく装着されているか否かを判定することができる。また、比較的小さい物品Gが搬送される場合に、一対の搬送ユニット20,30間の隙間に物品Gが落ち込むのを抑制することができる。
例えば、図5の(a)に示されるように、搬送ユニット20が装着されており、搬送ユニット30が装着されていない場合には、制御部10は、X線透過画像における影の状態に基づいて、搬送ユニット20が装着されており、搬送ユニット30が装着されていないと判定することができる。また、図5の(b)に示されるように、搬送ユニット30が装着されており、搬送ユニット20が装着されていない場合には、制御部10は、X線透過画像における影の状態に基づいて、搬送ユニット30が装着されており、搬送ユニット20が装着されていないと判定することができる。
また、制御部10は、一対の搬送ユニット20,30のうちの少なくとも1つが装着されていないと判定した場合に、その旨を報知するように、別途設けられたスピーカ等の報知部を制御してもよい。
また、制御部10は、X線検出部7から出力された信号に基づいてX線透過画像を生成し、生成したX線透過画像に基づいて、搬送ユニットが装着されているか否かの判定を実施したが、これに限定されない。制御部10は、X線検出部7から出力された信号に基づいて、搬送ユニットが装着されているか否かの判定を実施してもよい。図2に示される例では、制御部10は、X線検出部7から出力された信号のうち、通過領域Xの端部に相当する領域における信号の状態(例えば、信号の出力値の強弱)に基づいて、搬送ユニットが正しく装着されているか否かの判定を実施することができる。また、図4に示される例では、制御部10は、X線検出部7から出力された信号のうち、スリット62aに相当する領域における信号の状態に基づいて、搬送ユニットが正しく装着されているか否かの判定を実施することができる。
1…X線検査装置、4…シールドボックス(筐体)、5…搬送部、6…X線照射部、7…X線検出部、8…表示操作部(報知部)、10…制御部(処理部)、20,30…搬送ユニット、40,50…X線遮蔽ユニット、41…第1X線遮蔽部材、42…第2X線遮蔽部材、60…X線遮蔽部材、62a…スリット、G…物品、R…検査領域、X…通過領域、X1,X2…端部。

Claims (6)

  1. 物品を搬送する搬送部と、
    X線を照射するX線照射部と、
    X線を検出するX線検出部と、
    前記X線検出部から出力された信号を処理する処理部と、
    X線による前記物品の検査が実施される検査領域が内部に設けられた筐体と、を備え、
    前記搬送部は、
    前記X線照射部から前記X線検出部に至るX線の通過領域を挟んで並設された一対の搬送ユニットと、
    前記一対の搬送ユニットのうちの少なくとも一方の搬送ユニットに取り付けられ、前記搬送部の搬送する第1方向及び前記X線照射部と前記X線検出部とが対向する第2方向の両方向に交差する第3方向における前記通過領域の少なくとも一方の端部においてX線を遮蔽するX線遮蔽ユニットと、を有し、
    前記処理部は、前記X線検出部から出力された前記信号に基づいて、少なくとも前記一方の搬送ユニットが装着されているか否かを判定する、X線検査装置。
  2. 前記X線遮蔽ユニットは、前記一方の端部に加え、前記第3方向における前記通過領域の他方の端部においてもX線を遮蔽する、請求項1に記載のX線検査装置。
  3. 前記X線遮蔽ユニットは、
    前記一方の搬送ユニットに取り付けられ、前記一方の端部においてX線を遮蔽する第1X線遮蔽部材と、
    前記一対の搬送ユニットのうちの他方の搬送ユニットに取り付けられ、前記他方の端部においてX線を遮蔽する第2X線遮蔽部材と、を含み、
    前記処理部は、前記X線検出部から出力された前記信号に基づいて、前記一対の搬送ユニットのそれぞれが装着されているか否かを判定する、請求項1又は2に記載のX線検査装置。
  4. 前記X線遮蔽ユニットは、前記一対の搬送ユニットに取り付けられたX線遮蔽部材を含み、
    X線遮蔽部材には、前記通過領域を画定するスリットが形成されており、
    前記処理部は、前記X線検出部から出力された前記信号に基づいて、前記一対の搬送ユニットのそれぞれが装着されているか否かを判定する、請求項1又は2に記載のX線検査装置。
  5. 前記処理部は、少なくとも前記一方の搬送ユニットが装着されていないと判定した場合に、X線の照射を停止するように前記X線照射部を制御する、請求項1〜4のいずれか一項に記載のX線検査装置。
  6. オペレータに運転状態を報知する報知部を更に備え、
    前記処理部は、少なくとも前記一方の搬送ユニットが装着されていないと判定した場合に、少なくとも前記一方の搬送ユニットが装着されていないことを報知するように前記報知部を制御する、請求項1〜5のいずれか一項に記載のX線検査装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP7415898B2 (ja) 2020-12-02 2024-01-17 株式会社島津製作所 X線撮像装置
JP2024133852A (ja) 2023-03-20 2024-10-03 株式会社イシダ X線検査装置
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09127017A (ja) * 1995-10-31 1997-05-16 Shimazu Mekutemu Kk 計量機能付きx線異物検出装置及びその装置を用いた商品検査方法
JP2002071588A (ja) * 2000-09-04 2002-03-08 Ishida Co Ltd X線異物検査装置
US20050077472A1 (en) * 2003-10-10 2005-04-14 Steris Inc. Irradiation system having cybernetic parameter acquisition system
JP4565896B2 (ja) * 2004-06-11 2010-10-20 株式会社イシダ X線検査装置
JP5156487B2 (ja) * 2008-05-30 2013-03-06 株式会社イシダ X線検査装置
CN103234988A (zh) * 2013-05-10 2013-08-07 三角轮胎股份有限公司 混炼胶料杂质检测装置
JP6317632B2 (ja) * 2014-06-17 2018-04-25 アンリツインフィビス株式会社 X線検査装置

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