JP2010175363A - X線検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】X線検査装置100においては、ベルトコンベア800により商品900が搬送され、X線照射装置200から照射されるX線210によって、商品900が検査される。X線漏洩防止カーテン500は、ベルトコンベア800の搬送上流側および搬送下流側に配設される。また、X線漏洩防止カーテン500が、ベルトコンベア800の搬送方向の矢印X1の方向に沿って下方傾斜して設けられる。
【選択図】図2
Description
本発明の他の目的は、簡易な構造で、X線漏洩を最小限に抑制しつつ、軽量物を確実に検査することができるX線検査装置を提供することである。
本発明に係るX線検査装置は、X線源から照射される透過X線によって、被検査物を検査するX線検査装置であって、被検査物を搬送する搬送手段と、搬送手段の搬送上流側および搬送下流側に配設されたX線漏洩防止手段と、を備え、X線漏洩防止手段は、搬送手段の搬送方向に沿って下方傾斜して設けられ、被検査物がX線漏洩防止手段に当接することによりX線漏洩防止手段が回動するものである。
X線漏洩防止手段は、バランスウェイトをさらに含んでもよい。
X線漏洩防止手段は、板状部材を屈曲させた略ハ字状部材からなり、略ハ字状部材の一端側がX線源からの透過X線の漏洩を防止し、略ハ字状部材の他端側がバランスウェイトであることが好ましい。
また、板状部材を屈曲させて略ハ字状部材を形成することにより、垂直の板状部材を用いる場合と比較して、板状部材の回転中心を低くすることができる。その結果、板状部材の回動による揺れ戻しを低減させることができる。
略ハ字状部材の一端側の長さは、略ハ字状部材の他端側の長さよりも長いことが好ましい。
略ハ字状部材は、一端側および他端側を形成する屈曲の角度を変更する変更構造を有してもよい。
略ハ字状部材は、表面にエンボス加工が施されることが好ましい。
略ハ字状部材は、複数の板状部材からなり、複数の板状部材が同一水平軸に併設して設けられてもよい。
少なくとも前記略ハ字状部材の一端側の断面がコ字状からなることが好ましい。
X線漏洩防止手段は、金属板からなってもよい。
X線漏洩防止手段は、タングステンを混入させた樹脂板からなってもよい。
(一実施の形態)
図1は、本発明に係るX線検査装置100の一例を示す模式的外観図であり、図2は、本発明に係るX線検査装置100の内部構造の一例を示す模式図である。
また、図1のX線検査室の開口部からX線の漏洩を防止するX線漏洩防止カーテン500が設けられている。このX線漏洩防止カーテン500の詳細構造については、後述する。
次いで、商品900に対して、X線照射装置200からX線210が照射され、商品900を透過したX線210がラインセンサ220に入射される。
次に、図10は、図4に示したX線漏洩防止カーテン510,520の他の例を示す模式的斜視図である。
回転板501a,〜,504aの遮蔽板551,552は、図3に示したように、商品900が回転板501a,〜,504aに当接し、回転板501a,〜,504aの一部が他の隣接する回転板501a,〜,504aに対して、回転方向の矢印R1の方向に回転した場合に生じる隙間を遮蔽することができるように設けられている。それにより、さらに確実にX線検査室300からのX線の漏洩を防止することができる。
また、複数の回転板501,〜,504は、複数の複数の回転板501,〜,504からなり、複数の複数の回転板501,〜,504が水平軸512,513,522,523に併設して設けられるので、商品900の大きさに応じて、複数の複数の回転板501,〜,504に当接したの一部の複数の複数の回転板501,〜,504のみが回動し、他の複数の回転板501,〜,504は、回動されない。
200 X線照射装置
220 ラインセンサ
300 X線検査室
510 入口側のX線漏洩防止カーテン
520 出口側のX線漏洩防止カーテン
511,521 台座
512,513,522,523 水平軸
524,525 部材
551,552 遮蔽板
800 ベルトコンベア
900 商品
Claims (10)
- X線源から照射される透過X線によって、被検査物を検査するX線検査装置であって、
前記被検査物を搬送する搬送手段と、
前記搬送手段の搬送上流側および搬送下流側に配設されたX線漏洩防止手段と、を備え、
前記X線漏洩防止手段は、前記搬送手段の搬送方向に沿って下方傾斜して設けられ、前記被検査物が前記X線漏洩防止手段に当接することにより前記X線漏洩防止手段が回動することを特徴とするX線検査装置。 - 前記X線漏洩防止手段は、バランスウェイトをさらに含むことを特徴とする請求項1記載のX線検査装置。
- 前記X線漏洩防止手段は、板状部材を屈曲させた略ハ字状部材からなり、前記略ハ字状部材の一端側が前記X線源からの透過X線の漏洩を防止し、前記略ハ字状部材の他端側がバランスウェイトであることを特徴とする請求項2に記載のX線検査装置。
- 前記略ハ字状部材の一端側の長さは、前記略ハ字状部材の他端側の長さよりも長いことを特徴とする請求項3に記載のX線検査装置。
- 前記略ハ字状部材は、前記一端側および前記他端側を形成する屈曲の角度を変更する変更構造を有することを特徴とする請求項2から請求項4のいずれか1項に記載のX線検査装置。
- 前記略ハ字状部材は、表面にエンボス加工が施されたことを特徴とする請求項2から請求項5のいずれか1項に記載のX線検査装置。
- 前記略ハ字状部材は、複数の板状部材からなり、
前記複数の板状部材が同一水平軸に併設して設けられたことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載のX線検査装置。 - 少なくとも前記略ハ字状部材の一端側の断面がコ字状からなることを特徴とする請求項7に記載のX線検査装置。
- 前記X線漏洩防止手段は、金属板からなることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載のX線検査装置。
- 前記X線漏洩防止手段は、タングステンを混入させた樹脂板からなることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載のX線検査装置。
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JP2012184940A (ja) * | 2011-03-03 | 2012-09-27 | Ishida Co Ltd | X線検査装置 |
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Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008281416A (ja) * | 2007-05-10 | 2008-11-20 | Anritsu Sanki System Co Ltd | X線異物検出装置 |
WO2008141124A1 (en) * | 2007-05-10 | 2008-11-20 | Smiths Detection Inc. | Radiation attenuation for a scanning device |
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2009
- 2009-01-29 JP JP2009017678A patent/JP5405843B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008281416A (ja) * | 2007-05-10 | 2008-11-20 | Anritsu Sanki System Co Ltd | X線異物検出装置 |
WO2008141124A1 (en) * | 2007-05-10 | 2008-11-20 | Smiths Detection Inc. | Radiation attenuation for a scanning device |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011191165A (ja) * | 2010-03-15 | 2011-09-29 | Ishida Co Ltd | X線検査装置 |
JP2012184940A (ja) * | 2011-03-03 | 2012-09-27 | Ishida Co Ltd | X線検査装置 |
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