JP2015075341A - X線異物検査装置およびx線検査システム - Google Patents
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Abstract
【課題】搬送経路上を搬送されていく検査対象物に対し、傾斜した方向から見たX線透視像を得ることで、異物の影を明瞭に写し出すことを可能としたX線異物検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象物の靴に対し、X線源30からファンビームX線1を照射し、靴を透過してきたX線をX線検出器で検出してX線透視像を得る。X線源30とX線検出器とは、搬送経路を挟んで配置してある。X線源30は、ファンビームX線1の厚さ方向の中心位置を切断するX線中心面1aが、搬送経路上の搬送基準面23aに対し任意の角度だけ傾斜して交叉するように設定してある。X線検出器は、複数個のX線ラインセンサをL字状の基準線Aに沿って配置した構成とし、ファンビームX線1のX線中心面1aに対し、多数のX線検出素子のすべてが交叉するように配置してある。
【選択図】図5
【解決手段】検査対象物の靴に対し、X線源30からファンビームX線1を照射し、靴を透過してきたX線をX線検出器で検出してX線透視像を得る。X線源30とX線検出器とは、搬送経路を挟んで配置してある。X線源30は、ファンビームX線1の厚さ方向の中心位置を切断するX線中心面1aが、搬送経路上の搬送基準面23aに対し任意の角度だけ傾斜して交叉するように設定してある。X線検出器は、複数個のX線ラインセンサをL字状の基準線Aに沿って配置した構成とし、ファンビームX線1のX線中心面1aに対し、多数のX線検出素子のすべてが交叉するように配置してある。
【選択図】図5
Description
この発明は、搬送経路上を搬送されていく検査対象物に対しX線を照射して、検査対象物のX線透視像を得るX線異物検査装置に関し、特に製造された靴製品を検査対象物として、異物が混入していないか判別する靴の検査工程に好適なX線異物検査装置に関する。
この種のX線異物検査装置は、従来から種々の構成をしたものが提案されているが、基本的な構成は特許文献1に開示されたX線検査装置のように、搬送コンベアを挟みX線照射器とX線ラインセンサを対向配置した構成となっている。検査対象物は、搬送コンベア上に載せて搬送され、X線照射器から出力されたX線の照射領域を通過していく。このとき検査対象物を透過したX線が、X線ラインセンサによって検出され、その検出データに基づいてX線透視像が形成される。
ここで、従来のX線異物検査は、特許文献1の図2や図3に示されているように、搬送コンベアの上面に対し直交する方向からX線を照射する構成となっていた。したがって、搬送コンベアに載せられた検査対象物を、真上または真下から見たX線透視像が得られ、かかるX線透視像により異物の目視検査が行われていた。
ここで、従来のX線異物検査は、特許文献1の図2や図3に示されているように、搬送コンベアの上面に対し直交する方向からX線を照射する構成となっていた。したがって、搬送コンベアに載せられた検査対象物を、真上または真下から見たX線透視像が得られ、かかるX線透視像により異物の目視検査が行われていた。
しかしながら、検査対象物を真上または真下から見たとき、検査対象物の厚みと異物とが重なり合ってしまい、X線透視像において異物の影が不明瞭となってしまうことがあった。例えば、靴の異物検査においては、検査対象となる靴は包装箱の中で横に倒した状態で挿入されており、この状態のまま搬送コンベアに載せられる。したがって、靴底に異物が混入していたような場合に、図8に示すように、靴底の幅方向の厚みと異物とが重なり合ってしまい、X線透視像において異物の影が不明瞭になることがあった。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、搬送経路上を搬送されていく検査対象物に対し、傾斜した方向から見たX線透視像を得ることで、異物の影を明瞭に写し出すことを可能としたX線異物検査装置の提供を目的とする。
さらに本発明は、このようなX線異物検査装置とX線構造検査装置を組み合わせて、検査対象物の異物検査と構造検査を一括して行うことができるX線検査システムの提供を目的とする。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、搬送経路上を搬送されていく検査対象物に対し、傾斜した方向から見たX線透視像を得ることで、異物の影を明瞭に写し出すことを可能としたX線異物検査装置の提供を目的とする。
さらに本発明は、このようなX線異物検査装置とX線構造検査装置を組み合わせて、検査対象物の異物検査と構造検査を一括して行うことができるX線検査システムの提供を目的とする。
上記目的を達成するために、本発明は、搬送経路上を搬送されていく検査対象物に対し、X線源から扇状に広がるファンビームX線を照射するとともに、当該検査対象物を透過してきたX線をX線検出器で検出してX線透視像を得るX線異物検査装置において、
搬送経路は、任意の搬送基準面上に設けてあり、
X線源とX線検出器とは、搬送経路を挟んで配置してあり、
X線源は、ファンビームX線の厚さ方向の中心位置を切断するX線中心面が、搬送基準面と直交する面に対し任意の角度だけ傾斜して交叉するように設定してあり、
X線検出器は、線状に配列された多数のX線検出素子を有するX線ラインセンサで構成され、ファンビームX線のX線中心面に対し、多数のX線検出素子のすべてが交叉するように配置してあることを特徴とする。
搬送経路は、任意の搬送基準面上に設けてあり、
X線源とX線検出器とは、搬送経路を挟んで配置してあり、
X線源は、ファンビームX線の厚さ方向の中心位置を切断するX線中心面が、搬送基準面と直交する面に対し任意の角度だけ傾斜して交叉するように設定してあり、
X線検出器は、線状に配列された多数のX線検出素子を有するX線ラインセンサで構成され、ファンビームX線のX線中心面に対し、多数のX線検出素子のすべてが交叉するように配置してあることを特徴とする。
このように、X線源から照射されるファンビームX線のX線中心面を、搬送基準面と直交する面に対し任意の角度だけ傾斜して交叉するように設定するとともに、X線検出器としてのX線ラインセンサを、ファンビームX線のX線中心面に対し、多数のX線検出素子のすべてが交叉するように配置することで、搬送経路上を搬送されていく検査対象物に対し、傾斜した方向から見たX線透視像を得ることが可能となる。
ここで、X線検出器を構成するX線ラインセンサは、多数のX線検出素子により形成されたX線検出面が、ファンビームX線のX線中心面と直交するように配置することが好ましい。このような配置とすることで、検査対象物を透過してきたX線をX線検出素子が正面から受光するので、歪みの少ないX線透視像を得ることができる。
また本発明のX線異物検査装置は、周回駆動される帯状の搬送ベルトの上面が搬送経路上に配置してあり、
X線源は、搬送ベルトの一方の側縁寄りに配置され、当該配置位置から搬送ベルトの全幅領域にファンビームX線を照射する構成であり、
X線検出器は、搬送ベルトの全幅領域を透過してきたファンビームX線のすべてを検出する構成とすることができる。
このように構成すれば、搬送ベルトの上面に載せられた検査対象物の全幅領域を、X線の照射領域に含めることができ、死角のない検査対象物全体のX線透視像を得ることが可能となる。
X線源は、搬送ベルトの一方の側縁寄りに配置され、当該配置位置から搬送ベルトの全幅領域にファンビームX線を照射する構成であり、
X線検出器は、搬送ベルトの全幅領域を透過してきたファンビームX線のすべてを検出する構成とすることができる。
このように構成すれば、搬送ベルトの上面に載せられた検査対象物の全幅領域を、X線の照射領域に含めることができ、死角のない検査対象物全体のX線透視像を得ることが可能となる。
具体的にX線検出器は、複数個のX線ラインセンサで構成し、搬送ベルトの上方と、X線源が配置されていない側の側方とに、これら複数個のX線ラインセンサを配置することで、搬送ベルトの全幅領域を透過してきたファンビームX線のすべてを検出することが可能となる。
さらに、複数個の各X線ラインセンサは、搬送ベルトの全幅領域を透過してきたファンビームX線を任意のファン角毎に区分し、当該区分されたファンビームX線の中心線に対して、X線検出面が直交するように配置することが好ましい。
このように配置することで、各X線ラインセンサのX線検出素子が、いずれも検査対象物を透過してきたX線をほぼ正面から受光して、歪みの少ないX線透視像を得ることができる。
このように配置することで、各X線ラインセンサのX線検出素子が、いずれも検査対象物を透過してきたX線をほぼ正面から受光して、歪みの少ないX線透視像を得ることができる。
次に、本発明に係るX線検査システムは、X線異物検査装置とX線構造検査装置とを直列に連結した構成のX線検査システムであって、
X線異物検査装置には、請求項1乃至5のいずれか一項に記載したX線異物検査装置を適用し、
X線構造検査装置は、任意の搬送基準面上に設けた搬送経路の上を搬送されていく検査対象物に対し、X線源から扇状に広がるファンビームX線を照射するとともに、当該検査対象物を透過してきたX線をX線検出器で検出してX線透視像を得る構成を備え、
X線源とX線検出器とは、搬送経路を挟んで配置してあり、
X線源は、ファンビームX線の厚さ方向の中心位置を切断するX線中心面が、搬送基準面に対し直角に交叉するように設定してあり、
X線検出器は、線状に配列された多数のX線検出素子を有するX線ラインセンサで構成され、ファンビームX線のX線中心面に対し、多数のX線検出素子のすべてが交叉するように配置してあることを特徴とする。
X線異物検査装置には、請求項1乃至5のいずれか一項に記載したX線異物検査装置を適用し、
X線構造検査装置は、任意の搬送基準面上に設けた搬送経路の上を搬送されていく検査対象物に対し、X線源から扇状に広がるファンビームX線を照射するとともに、当該検査対象物を透過してきたX線をX線検出器で検出してX線透視像を得る構成を備え、
X線源とX線検出器とは、搬送経路を挟んで配置してあり、
X線源は、ファンビームX線の厚さ方向の中心位置を切断するX線中心面が、搬送基準面に対し直角に交叉するように設定してあり、
X線検出器は、線状に配列された多数のX線検出素子を有するX線ラインセンサで構成され、ファンビームX線のX線中心面に対し、多数のX線検出素子のすべてが交叉するように配置してあることを特徴とする。
以上説明したように、本発明によれば、搬送経路上を搬送されていく検査対象物に対し、傾斜した方向から見たX線透視像を得ることができ、異物の影を明瞭に写し出すことが可能となる。
以下、この発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
本実施形態に係るX線異物検査装置は、包装箱の中へ横に倒した状態で挿入された靴を検査対象物としているが、本発明はこれに限定されず靴以外の物品を検査対象物として適用できることはもちろんである。
本実施形態に係るX線異物検査装置は、包装箱の中へ横に倒した状態で挿入された靴を検査対象物としているが、本発明はこれに限定されず靴以外の物品を検査対象物として適用できることはもちろんである。
図1に示すように、本実施形態に係る異物検査装置は、装置の外観を形成する装置本体10と、水平配置されたベルトコンベア20とを備えており、装置本体10の内部に後述するX線源30、X線検出器40、および図示しない制御処理回路を内蔵している。ベルトコンベア20の上流側端部は、検査対象物である靴の供給部21となっている。またベルトコンベア20の下流側端部は、検査済みの靴の排出部22となっている。
また、装置本体10の上面には、操作部11とディスプレイ12が設置してあり、操作部11に設けた操作ボタンの操作をもって、装置の作動制御を実行する。また、靴のX線透視像は、ディスプレイ12に表示される。検査員は、このディスプレイ12に表示されたX線透視像を目視観察して異物の有無を判定する。
また、装置本体10の上面には、操作部11とディスプレイ12が設置してあり、操作部11に設けた操作ボタンの操作をもって、装置の作動制御を実行する。また、靴のX線透視像は、ディスプレイ12に表示される。検査員は、このディスプレイ12に表示されたX線透視像を目視観察して異物の有無を判定する。
図2に示すように、装置本体10の内部には、ベルトコンベア20の搬送ベルト23を挟んで、その下方にX線源30が設置されるとともに、上方にはX線検出器40が設置されている。なお、X線源30から放射されるX線の周囲は、X線を通さない金属板により遮蔽されて外部へのX線の漏洩を防いでいる。
ベルトコンベア20は、帯状の搬送ベルト23を周回駆動する構造を備えており、搬送ベルト23の上面を検査対象物の搬送経路上に配置してある。本実施形態では搬送経路、すなわち搬送ベルト23の上面は水平に配置してあり、この搬送ベルト23の上面を「搬送基準面23a」としてある。検査対象物である靴は、供給部21で搬送ベルト23の上面に載せられて排出部22へと直線的に移動していき、その中間部でX線源30からX線を照射される。
X線源30には、図3(a)に示すように扇状に広がるファンビームX線1を放射するX線管を使用している。図ではファンビームX線1の厚みを省略し、平坦な扇面状にファンビームX線1を示しているが、実際のファンビームX線1は僅かながらも厚みを有している。
本実施形態では、ファンビームX線1の厚さ方向の中心位置を切断する仮想平面を「X線中心面1a」と定義して、図3(b)に示すように、このX線中心面1aが搬送ベルト23の上面(搬送基準面23a)と直交する面23bに対し、搬送経路の下流側から上流側に向けて、角度αだけ傾斜して交叉するように設定してある。なお、X線中心面1aを搬送ベルト23の上面(搬送基準面23a)と直交する面23bに対し、搬送経路の上流側から下流側に向けて、角度αだけ傾斜して交叉するように設定してもよい。
このように傾斜角度を設定することで、搬送ベルト23の上面に載せられた包装箱100の中の靴101に対して、傾斜した方向からファンビームX線1を照射することができ、その結果、傾斜した方向から見たX線透視像(以下、傾斜X線透視像ともいう)を得ることができる。ここで、傾斜角度αは任意に設定できるが、本発明者らの実験によれば25度程度の傾斜角度に設定することで、異物検査に好適な傾斜X線透視像を得ることができた。
本実施形態では、ファンビームX線1の厚さ方向の中心位置を切断する仮想平面を「X線中心面1a」と定義して、図3(b)に示すように、このX線中心面1aが搬送ベルト23の上面(搬送基準面23a)と直交する面23bに対し、搬送経路の下流側から上流側に向けて、角度αだけ傾斜して交叉するように設定してある。なお、X線中心面1aを搬送ベルト23の上面(搬送基準面23a)と直交する面23bに対し、搬送経路の上流側から下流側に向けて、角度αだけ傾斜して交叉するように設定してもよい。
このように傾斜角度を設定することで、搬送ベルト23の上面に載せられた包装箱100の中の靴101に対して、傾斜した方向からファンビームX線1を照射することができ、その結果、傾斜した方向から見たX線透視像(以下、傾斜X線透視像ともいう)を得ることができる。ここで、傾斜角度αは任意に設定できるが、本発明者らの実験によれば25度程度の傾斜角度に設定することで、異物検査に好適な傾斜X線透視像を得ることができた。
また、X線源30は、図3(c)に示すように、搬送ベルト23の一方の側縁23c寄りの下方位置に設置してあり、当該位置から搬送ベルト23の全幅Lの領域にファンビームX線1を照射するよう調整されている。このようにファンビームX線1の照射領域を調整することで、靴101が挿入された包装箱100を搬送ベルト23の上面のいかなる位置に載せても、その靴101の全幅領域をX線の照射領域に含めることができ、死角のない靴101全体のX線透視像が得られる。
X線検出器40には、図4(a)に示すように、線状のX線検出面41aを有するX線ラインセンサ41を使用している。X線検出面41aは、同図(b)に示すように、直線上に並べて設けた多数のX線検出素子aにより形成されている。X線ラインセンサ41は、多数のX線検出素子aの個々がX線を受光し、その受光したX線強度に応じた検出信号を出力する。図示しない制御処理回路は、これら各X線検出素子aから連続的に出力される検出信号を処理してX線透視像を作成する。
本実施形態では、X線検出器40は、複数個のX線ラインセンサ41で構成してあり、各X線ラインセンサ41のX線検出素子aを、図5に示すようなL字形の基準線Aに沿って並べて設けた構成としてある。L字形の基準線Aは、搬送ベルト23の上方に位置する水平領域A1と、X線源30が配置されていない側の側方23dに位置する傾斜領域A2とを有している。このL字形の基準線Aは、X線源30から放射されたファンビームX線1のX線中心面1a上に位置するように配置してある。したがって、傾斜領域A2は、既述した搬送ベルト23の上面(搬送基準面23a)と直交する面23bに対するX線中心面1aの傾斜角度αに合わせて、搬送ベルト23の上面(搬送基準面23a)と直交する面23bに対し角度αだけ傾斜している。
このような基準線Aに沿って複数個のX線ラインセンサ41を並べて設けることで、これら複数個のX線ラインセンサ41に含まれる多数のX線検出素子aのすべてがファンビームX線1のX線中心面1aと交叉する配置となる。
さらに、複数個のX線ラインセンサ41は、線状のX線検出面41aがX線源30から見て隙間なく直列に並ぶように配置してあり、これにより搬送ベルト23の全幅領域を透過してきたファンビームX線1のすべてを複数個のX線ラインセンサ41によって検出することができる。
このような基準線Aに沿って複数個のX線ラインセンサ41を並べて設けることで、これら複数個のX線ラインセンサ41に含まれる多数のX線検出素子aのすべてがファンビームX線1のX線中心面1aと交叉する配置となる。
さらに、複数個のX線ラインセンサ41は、線状のX線検出面41aがX線源30から見て隙間なく直列に並ぶように配置してあり、これにより搬送ベルト23の全幅領域を透過してきたファンビームX線1のすべてを複数個のX線ラインセンサ41によって検出することができる。
ここで、複数個の各X線ラインセンサ41は、X線検出面41aがファンビームX線1のX線中心面1aと直交するように配置してある。このような配置とすることで、検査対象物を透過してきたX線をX線検出素子aが正面から受光するので、歪みの少ないX線透視像を得ることができる。
さらに、複数個の各X線ラインセンサ41は、図6に示すように、搬送ベルト23の全幅領域を透過してきたファンビームX線1を任意のファン角θ毎に区分し、当該区分されたファンビームX線1の中心線1bに対して、X線検出面41aが直交するように配置してある。
このように配置することで、各X線ラインセンサ41のX線検出素子aが、検査対象物である靴101を透過してきたファンビームX線1をほぼ正面から受光するので、歪みの少ないX線透視像を得ることができる。
このように配置することで、各X線ラインセンサ41のX線検出素子aが、検査対象物である靴101を透過してきたファンビームX線1をほぼ正面から受光するので、歪みの少ないX線透視像を得ることができる。
図7は、本実施形態のX線異物検査装置により得られた靴101の傾斜X線透視像の一例を示している。この傾斜X線透視像は、検査対象物である靴101を、同図の矢印方向に搬送して得られた画像である。この傾斜X線透視像では、靴底101aに対して斜め方向からファンビームX線1が透過しているため透過距離が短く、したがって靴底101a内に異物Fが存在する場合は当該異物Fの影が明瞭に写し出される。よって、靴101の異物検査を容易且つ高精度に行うことが可能になる。
次に、本発明のX線検査システムに係る実施形態について説明する。
靴101の構造を検査するには、図7に示したような傾斜X線透視像よりも、図8に示したような靴101を横から見たX線透視像の方が各構成部の輪郭が明瞭にあらわれるため都合がよい。このような靴101を横から見たX線透視像を得るには、包装箱100の中に横倒しに挿入された靴101を搬送ベルト23の上に載せ、X線中心面1aが搬送ベルト23の上面に対してほぼ直角に交叉するようにファンビームX線1を照射すればよい。
靴101の構造を検査するには、図7に示したような傾斜X線透視像よりも、図8に示したような靴101を横から見たX線透視像の方が各構成部の輪郭が明瞭にあらわれるため都合がよい。このような靴101を横から見たX線透視像を得るには、包装箱100の中に横倒しに挿入された靴101を搬送ベルト23の上に載せ、X線中心面1aが搬送ベルト23の上面に対してほぼ直角に交叉するようにファンビームX線1を照射すればよい。
そこで、図9に示すように、X線異物検査装置200と、X線構造検査装置201とを直列に連結して、これら装置の間を搬送経路が連続する構成の検査システムを構築した。 X線異物検査装置200は、既述したとおりの構成となっている。
X線構造検査装置201は、既述したX線異物検査装置の一部改良して製造することができる。すなわち、X線源30は、ファンビームX線1のX線中心面1aが、搬送基準面23aに対し直角に交叉するように設定した構成とする。これにより、横倒しの状態で靴101が挿入された包装箱100を搬送ベルト23の上に載せ、X線源30からのファンビームX線1を照射すれば、横倒しの靴101に対して直交するようにファンビームX線1が照射される。また、X線検出器40は、搬送基準面23aに対し直角に交叉するように照射されたファンビームX線1のX線中心面1aに対し、多数のX線検出素子aのすべてが交叉するように配置する。
各装置200,201の搬送経路を連続させるには、各装置200,201におけるベルトコンベア20の搬送ベルト上面(搬送基準面23a)を同一平面上に配置し、さらに上流側に配置した装置のベルトコンベア20の排出部22と、下流側に配置したベルトコンベア20の供給部21とを、直列に並べて近接配置すればよい。
この検査システムを用いれば、X線構造検査装置201によって靴101を横から見たX線透視像が得られ、これにより靴101の構造検査を高精度に実施できるようになる。併せて、X線異物検査装置200によって靴101の傾斜X線透視像が得られ、これにより靴101の異物検査を容易且つ高精度に行うことができる。
X線構造検査装置201は、既述したX線異物検査装置の一部改良して製造することができる。すなわち、X線源30は、ファンビームX線1のX線中心面1aが、搬送基準面23aに対し直角に交叉するように設定した構成とする。これにより、横倒しの状態で靴101が挿入された包装箱100を搬送ベルト23の上に載せ、X線源30からのファンビームX線1を照射すれば、横倒しの靴101に対して直交するようにファンビームX線1が照射される。また、X線検出器40は、搬送基準面23aに対し直角に交叉するように照射されたファンビームX線1のX線中心面1aに対し、多数のX線検出素子aのすべてが交叉するように配置する。
各装置200,201の搬送経路を連続させるには、各装置200,201におけるベルトコンベア20の搬送ベルト上面(搬送基準面23a)を同一平面上に配置し、さらに上流側に配置した装置のベルトコンベア20の排出部22と、下流側に配置したベルトコンベア20の供給部21とを、直列に並べて近接配置すればよい。
この検査システムを用いれば、X線構造検査装置201によって靴101を横から見たX線透視像が得られ、これにより靴101の構造検査を高精度に実施できるようになる。併せて、X線異物検査装置200によって靴101の傾斜X線透視像が得られ、これにより靴101の異物検査を容易且つ高精度に行うことができる。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、その他にも種々の変形実施や応用実施が可能である。例えば、図5に示したようなL字形の基準線Aに沿ってX線検出素子aを配置できる1本の長尺なX線ラインセンサ41を製作することができれば、当該単一のX線ラインセンサ41によりX線検出器40を構成してもよい。また、2本の長尺なX線ラインセンサ41をL字形の基準線Aにおける水平領域A1と傾斜領域A2とにそれぞれ配置してX線検出器40を構成することもできる。
1:ファンビームX線、1a:X線中心面、1b:中心線、
10:装置本体、11:操作部、12:ディスプレイ、
20:ベルトコンベア、21:供給部、22:排出部、23:搬送ベルト、23a:搬送基準面、A1:水平領域、A2:傾斜領域、
30:X線源、
40:X線検出器、41:X線ラインセンサ、41a:X線検出面、a:X線検出素子、A:基準線、
100:包装箱、101:靴、101a:靴底、
200:X線異物検査装置、201:X線構造検査装置
10:装置本体、11:操作部、12:ディスプレイ、
20:ベルトコンベア、21:供給部、22:排出部、23:搬送ベルト、23a:搬送基準面、A1:水平領域、A2:傾斜領域、
30:X線源、
40:X線検出器、41:X線ラインセンサ、41a:X線検出面、a:X線検出素子、A:基準線、
100:包装箱、101:靴、101a:靴底、
200:X線異物検査装置、201:X線構造検査装置
Claims (6)
- 搬送経路上を搬送されていく検査対象物に対し、X線源から扇状に広がるファンビームX線を照射するとともに、当該検査対象物を透過してきたX線をX線検出器で検出してX線透視像を得るX線異物検査装置において、
前記搬送経路は、任意の搬送基準面上に設けてあり、
前記X線源と前記X線検出器とは、前記搬送経路を挟んで配置してあり、
前記X線源は、前記ファンビームX線の厚さ方向の中心位置を切断するX線中心面が、前記搬送基準面と直交する面に対し任意の角度だけ傾斜して交叉するように設定してあり、
前記X線検出器は、線状に配列された多数のX線検出素子を有するX線ラインセンサで構成され、前記ファンビームX線のX線中心面に対し、前記多数のX線検出素子のすべてが交叉するように配置してあることを特徴とするX線異物検査装置。 - 前記X線検出器を構成するX線ラインセンサは、前記多数のX線検出素子により形成されたX線検出面が、前記ファンビームX線のX線中心面と直交するように配置してあることを特徴とする請求項1のX線異物検査装置。
- 周回駆動される帯状の搬送ベルトの上面が前記搬送経路上に配置してあり、
前記X線源は、前記搬送ベルトの一方の側縁寄りに配置され、当該配置位置から前記搬送ベルトの全幅領域にファンビームX線を照射する構成であり、
前記X線検出器は、前記搬送ベルトの全幅領域を透過してきたファンビームX線のすべてを検出する構成であることを特徴とする請求項1又は2のX線異物検査装置。 - 前記X線検出器は、複数個のX線ラインセンサで構成され、前記搬送ベルトの上方と、前記X線源が配置されていない側の側方とに、これら複数個のX線ラインセンサを配置したことを特徴とする請求項3のX線異物検査装置。
- 前記複数個の各X線ラインセンサは、前記搬送ベルトの全幅領域を透過してきたファンビームX線を任意のファン角毎に区分し、当該区分されたファンビームX線の中心線に対して、前記X線検出面が直交するように配置してあることを特徴とする請求項4のX線異物検査装置。
- X線異物検査装置とX線構造検査装置とを直列に連結した構成のX線検査システムであって、
前記X線異物検査装置には、請求項1乃至5のいずれか一項に記載したX線異物検査装置を適用し、
前記X線構造検査装置は、任意の搬送基準面上に設けた搬送経路の上を搬送されていく検査対象物に対し、X線源から扇状に広がるファンビームX線を照射するとともに、当該検査対象物を透過してきたX線をX線検出器で検出してX線透視像を得る構成を備え、
前記X線源と前記X線検出器とは、前記搬送経路を挟んで配置してあり、
前記X線源は、前記ファンビームX線の厚さ方向の中心位置を切断するX線中心面が、前記搬送基準面に対し直角に交叉するように設定してあり、
前記X線検出器は、線状に配列された多数のX線検出素子を有するX線ラインセンサで構成され、前記ファンビームX線のX線中心面に対し、前記多数のX線検出素子のすべてが交叉するように配置してあることを特徴とするX線検査システム。
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JP2013209781A JP2015075341A (ja) | 2013-10-07 | 2013-10-07 | X線異物検査装置およびx線検査システム |
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CN111856604A (zh) * | 2020-07-31 | 2020-10-30 | 李国军 | 门式斜角底照x光机 |
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