JP2015078921A - Ｘ線検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】Ｘ線の検査領域の幅が大きく、装置高さが小さく、検査領域中の非照射領域が小さい単一のラインセンサによるＸ線検査装置を提供する。【解決手段】Ｘ線検査装置１は、搬送される被検査物Ｗ１，Ｗ２にＸ線を照射する２台のＸ線管５と、被検査物Ｗ１，Ｗ２を挟んでＸ線管５とは反対側に配置されて搬送方向と交差する配列方向に配列されたラインセンサ２を備え、２台のＸ線管５から放射されるＸ線の各中心軸Ｃは互いに離れるよう相対的に傾斜している。両Ｘ線発生器の中心軸が互いに平行である場合（図１）に比べ、両Ｘ線発生器の照射範囲間の角度Ｂが小さくなり、被検査物の非照射領域Ｚ１が縮小し、Ｘ線照射幅が全体として大きくなる。【選択図】図２

Description

本発明は、被検査物にＸ線を照射し、これを透過したＸ線をセンサで検出することによって被検査物の検査を行なうＸ線検査装置に係り、特にＸ線による検査領域の幅を可及的に大きく設定しながら、装置高さが小さく単一のラインセンサで検査可能なコンパクトな構成が実現でき、さらに実用上問題ない程度にＸ線の非照射領域を小さくすることができるＸ線検査装置に関するものである。

下記特許文献１にはＸ線異物検出装置の発明が開示されている。このＸ線異物検出装置は、複数台のＸ線発生器と、各Ｘ線発生器に対応して設けられた複数台のＸ線検出器を備えている。複数台のＸ線検出器は、各Ｘ線発生器に対して、異物検出に必要なＸ線透過量を得ることのできる距離だけ離れた位置に配置され、かつ被検査物の全領域を検査できるように、それぞれの検査領域が幅方向について一部重なり合う様に配置されている。さらに、このＸ線異物検出装置には、各Ｘ線発生器から照射されるＸ線を遮蔽して他の領域のＸ線検出器に照射されないようにするため、複数台の絞り装置または遮蔽板が配置されている。このＸ線異物検出装置によれば、幅の広い被検査物に対しても高精度な異物検出が可能になるものとされている。

特開２００４−６１４７９号公報

被検査物を搬送するベルトコンベア等の搬送手段と、搬送手段の上方に設けられて搬送手段で搬送される被検査物にＸ線を照射するＸ線管と、搬送手段の搬送面の下方に配置されて被検査物を透過したＸ線を検出するラインセンサを備えたＸ線検査装置が知られている。この種のＸ線検査装置に使用されているラインセンサは、一般に被検査物の搬送方向と直交する水平方向に沿って一列に並べられた複数個の検出素子を備えた構造となっている。このようなＸ線検査装置によれば、搬送される被検査物に照射されて透過したＸ線をラインセンサで検出し、その信号を解析することにより、異物の検出その他の目的で被検査物の検査を行なうことができる。

本発明者等は、この種のＸ線検査装置に対する需要者の要望の一つとして、被検査物の搬送方向と直交する検査領域の幅をなるべく大きくしたい、という要望があることを認識している。例えば被検査物が個別の製品であるような場合、複数個の当該製品を前記幅方向に適宜間隔で複数並べるとともに、前記搬送方向にも適宜間隔で複数並べ、これを搬送手段で連続的に搬送しながら検査することがあるが、そのような場合には、検査領域の幅をなるべく大きくすればＸ線の検査領域を単位時間に通過する製品の数を増やすことができるので、検査処理の効率を上げることができる。前述した検査領域の幅を大きくしたいとの要望は、一例としてこのような事情にも関連しているものとも考えられる。

このような要望に答え、被検査物の搬送方向に直交する方向についての検査領域の長さ、すなわちＸ線管から放射状に照射されたＸ線の照射範囲の幅をなるべく大きくするためには、被検査物を搬送する搬送手段の上方に設置するＸ線管をなるべく高い位置に設定し、被検査物に到達するまでにＸ線が放射状により大きく広がるようにすることが考えられる。しかし、そのようにＸ線管を高い位置に配置すれば、被検査物に到達するＸ線の量は減衰するので、そのＸ線量を確保するために、Ｘ線管には出力のより大きいものを採用する必要が生じる。すなわち、１台のＸ線管を用いて前記要望を満たすためには、Ｘ線管をより高い位置に設ける必要からＸ線検査装置としての機高が大きくなり、また出力の大きいＸ線管を使用する必要から製造コストも高価になるという解決困難な問題が生じる。

前記特許文献１に開示されたＸ線異物検出装置の発明は、前述した通り、複数台のＸ線発生器と、各Ｘ線発生器に対応して設けられた複数台のＸ線検出器を、被検査物の搬送方向について位置をずらすとともに、搬送方向と直交する幅方向については一部重なるように配置することにより、幅の広い被検査物に対して高精度な異物検出を可能することを目的としている。しかしながら、このような構造は、一台のＸ線検査装置の中に、Ｘ線発生器とＸ線検出器の組が２組あることを意味し、機構的には単一のＸ線検査装置が２台あるのと変わらず、製造コストが高額になるという問題がある。さらに、これも前述したように、一方のＸ線発生器から照射されるＸ線が、他方のＸ線発生器と対応するＸ線検出器に照射されないようにするため、両者の間に絞り装置または遮蔽板を配置する必要があり、これも製造コストを高額にする要因となる。さらにまた、被検査物の検査においては、位置が異なる２台のＸ線検出器からの出力を、被検査物の搬送タイミングを考慮して合成し、綜合的な解析を行なう必要があるが、このようなデータの解析処理は必ずしも容易ではなく、これもまた製造コストを高額にする要因となる。

本発明は、以上の種々の課題に鑑みてなされたものであり、被検査物に照射して透過したＸ線をラインセンサで検出して被検査物の検査を行なうＸ線検査装置において、Ｘ線の検査領域の幅を可及的に大きく設定しながら、装置高さが小さく単一のラインセンサで検査可能なコンパクトな構成が実現でき、さらに実用上問題ない程度に検査領域中の非照射領域を小さくすることができるＸ線検査装置を提供することを目的としている。

請求項１に記載されたＸ線検査装置１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄは、
所定の搬送方向に搬送される被検査物Ｗ１，Ｗ２にＸ線を照射する複数台のＸ線管５と、前記被検査物Ｗ１，Ｗ２を挟んで前記Ｘ線管５とは反対側に配置されて前記搬送方向と交差する所定の配列方向に沿って一列に配列された複数個の検出素子を有するラインセンサ２を備え、
前記配列方向に沿って隣接する少なくとも２台の前記Ｘ線管５からそれぞれ放射されるＸ線の各中心軸Ｃが、互いに離れるよう相対的に傾斜して前記ラインセンサ２に到達するように設定されていることを特徴としている。

請求項２に記載されたＸ線検査装置１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄは、請求項１記載のＸ線検査装置１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄにおいて、
２台の前記Ｘ線管５からそれぞれ放射されるＸ線が、前記ラインセンサ２の上で重なって照射されないように、前記各中心軸Ｃが相対的に傾斜して設定されていることを特徴としている。

請求項３に記載されたＸ線検査装置１，１ａ，１ｂは、請求項２記載のＸ線検査装置１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄにおいて、
２台の前記Ｘ線管５からそれぞれ放射されるＸ線の各中心軸Ｃが、２台の前記Ｘ線管５の中間位置から前記ラインセンサ２に引いた垂線を対称軸とする線対称となるように相対的に傾斜して設定されていることを特徴としている。

本発明のＸ線検査装置は複数台のＸ線発生器を有しており、これら複数台のＸ線発生器は、ラインセンサの検出素子の配列方向と平行に配列されている。そして各Ｘ線発生器が放射するＸ線については、その放射形状の中心線としてラインセンサに至る中心軸を観念することができる。

そして、請求項１に記載のＸ線検査装置によれば、複数のＸ線発生器の中の隣接する少なくとも２台のＸ線発生器が、各々の中心軸が互いに離れるような方向に傾斜した状態とされている。このため、これら２台のＸ線発生器については、各中心軸が互いに平行である場合に比べ、一方のＸ線発生器の照射範囲と他方のＸ線発生器の照射範囲の間の角度が小さくなり、被検査物にＸ線が照射されない領域（非照射領域）が縮小し、さらにＸ線が照射される幅が全体として大きくなる。従って、被検査物に対するＸ線の照射領域の最大幅を可及的に大きく設定しながら、装置高さは従来と同程度に小さく、かつ単一のラインセンサで検査可能なコンパクトな構成であり、さらに従来よりも照射領域中に生じる非照射領域が小さいＸ線検査装置を提供できる。

また、請求項２に記載されたＸ線検査装置によれば、上述した隣接する２台のＸ線発生器からそれぞれ放射されたＸ線はラインセンサの上で互いに重ならないため、これらＸ線がラインセンサの上で重なる従来例の場合とは異なり、透過画像のコントラストが低下する領域は生じない。

さらにまた、請求項３に記載されたＸ線検査装置によれば、上述した隣接する２台のＸ線発生器からそれぞれ放射されるＸ線の各中心軸が、これら２台のＸ線発生器の中間位置からラインセンサに引いた垂線を対称軸とする線対称となるように相対的に傾斜しているので、各Ｘ線管がカバーする被検査物の検査領域の長さ又は面積が等しいという効果がある。

被検査物の搬送方向と直交する切断面で示した比較例の模式的断面図である。 被検査物の搬送方向と直交する切断面で示した第１実施形態の模式的断面図である。 被検査物の搬送方向と直交する切断面で示した第２実施形態の模式的断面図である。 被検査物の搬送方向と直交する切断面で示した第３実施形態の模式的断面図である。 被検査物の搬送方向と直交する切断面で示した第４実施形態の模式的断面図である。 被検査物の搬送方向と直交する切断面で示した第５実施形態の模式的断面図である。

本発明の実施形態と、実施形態の特徴を対比して説明するための比較例を、図１〜図６を参照して説明する。これらの図は、被検査物の搬送方向と直交する切断面で示した模式的断面図であり、装置が有する具体的な機構や実体的な構造の一部を省略又は簡略化して示したものである。なお、図１に示す比較例は、あくまで実施形態の構成上の特徴及び作用効果上の特徴を説明するための比較材料として本願発明者が創作した構成例であり、公知例として示すものではない。

本発明の第１実施形態のＸ線検査装置１及び比較例のＸ線検査装置１０を図１及び図２を参照して説明する。
これらのＸ線検査装置１，１０は、図示はしないが、図中紙面に垂直な方向に被検査物Ｗ１を搬送するベルトコンベア等の搬送手段を備えている。搬送手段で搬送される被検査物Ｗ１又はこれを搬送する搬送手段の下方には、ラインセンサ２が設けられている。ラインセンサ２は、搬送方向と直交する水平な配列方向、すなわち図中左右方向（幅方向とも呼ぶ）に沿って複数個の検出素子が所定間隔で一列に配列された構成を備えている。

ラインセンサ２を構成する各検出素子は、フォトダイオードと、このフォトダイオード上に設けられたシンチレータを備えている。従って、係る検出素子を１列に並べてなるラインセンサ２によれば、被検査物Ｗ１へのＸ線の照射に伴って被検査物Ｗ１を透過してくるＸ線をシンチレータが受けて光に変換し、この変換された光を対応するフォトダイオードが受光して電気信号に変換することにより、１列毎のＸ線濃度データ（Ｘ線透過量）として出力することができる。

図１及び図２に示すＸ線検査装置１，１０は複数台（図示例では２台）のＸ線発生器３を備えている。これらのＸ線発生器３は、搬送手段で搬送される被検査物Ｗ１に関し、ラインセンサ２とは反対側の位置、すなわち被検査物Ｗ１の上方の位置に配置されている。これらのＸ線発生器３は、ラインセンサ２の真上の位置にあって、ラインセンサ２における検出素子の配列方向、すなわち搬送方向に直交する図中左右方向に並んでいる。

Ｘ線発生器３は、Ｘ線を遮蔽可能な材質で構成された筐体４と、その内部に配置されたＸ線管５を備えている。Ｘ線管５は、高電圧で加速した電子を陽極のターゲットに衝突させることにより、概ねターゲットを頂点とした中心軸Ｃを有する円錐状の形態でＸ線を放射する。詳細は図示しないが、このＸ線管５や筐体４にはＸ線の照射範囲を限定する絞り部材及び窓部が設けられており、筐体４の外に照射されるＸ線は、図１及び図２に示すように、被検査物Ｗ１の搬送方向に直交する鉛直面内において下方に広がる二等辺三角形の略面状となっている。

そして、Ｘ線発生器３及びラインセンサ２と、Ｘ線発生器３とラインセンサ２の間にある搬送手段の中央部分は、Ｘ線遮蔽機能のある図示しない筐体の内部に収納されており、搬送手段の両端部はその筐体に設けられた入口及び出口から外に突出している。そして、搬送手段の両端が突出している筐体の入口及び出口には、Ｘ線を外部に漏洩させないための遮蔽構造が設けられている。従って、検査時には、前段の工程から搬入された被検査物Ｗ１は、搬送手段に送り込まれて搬送され、筐体の入口から内部に搬入されてＸ線発生器３とラインセンサ２によって検査され、その後、搬送手段で搬送されて出口から装置の外へ搬出される。

以上説明した構成は、図１に示す比較例のＸ線検査装置１０と図２に示す第１実施形態のＸ線検査装置１の両者について共通であるが、各Ｘ線発生器３の中心軸Ｃの傾斜角度又は傾斜方向及び２個のＸ線発生器３，３の間隔については、前記両者間で以下に説明するような相違点がある。

図１に示した比較例のＸ線検査装置１０では、２台のＸ線発生器３，３は、いずれもＸ線管５の中心軸Ｃが筐体４の下面４ａの中心に向けられており、その各中心軸Ｃは、ラインセンサ２の長手方向、すなわちラインセンサ２における検出素子の配列方向に対して垂直な状態でラインセンサ２に到達している。従って２台のＸ線発生器３，３の各中心軸Ｃ，Ｃは互いに平行である。ここで、各Ｘ線発生器３が放射するＸ線の放射角度、すなわち中心軸Ｃの左右に放射されるＸ線の広がりを示す角度（放射角度）をＡ°とすると、隣接する２台のＸ線発生器３がそれぞれ放射するＸ線の間の角度もＡ°となる。また、隣接する２台のＸ線発生器３，３がそれぞれ放射するＸ線は、２台のＸ線発生器３の間の位置ではラインセンサ２の上の同一点で交わっているが、ラインセンサ２と被検査物Ｗ１の間には所定の間隔があるので、隣接する２台のＸ線発生器３，３の間の位置の下方では、被検査物Ｗ１にはＸ線が照射されない部分が生じる。この部分はＸ線の死角となっている領域であり、被検査物Ｗ１の幅方向に関するＸ線の非照射領域（第１非照射領域Ｚ１）である。この第１非照射領域Ｚ１の幅方向の寸法を図１では長さＬ２で示している。また、この比較例では、２台のＸ線発生器３から照射されるＸ線は、被検査物Ｗ１の全体を覆っておらず、被検査物Ｗ１の幅方向の両端にもＸ線が当たっていない非照射領域（第２非照射領域Ｚ２）がある。被検査物Ｗ１のうち、両端の第２非照射領域Ｚ２を除いた有効照射範囲の幅方向の寸法をＬ１とする。但し、この有効照射範囲（Ｌ１) の中には、上述したようにＸ線の死角である第１非照射領域Ｚ１（長さＬ２) が含まれている。

図２に示した実施形態のＸ線検査装置１では、比較例と同様、Ｘ線発生器３の放射角度はＡ°であり、隣接する２台のＸ線発生器３，３がそれぞれ放射するＸ線は、２台のＸ線発生器３，３の間の位置ではラインセンサ２の上の同一点で交わっている。またＸ線発生器３の高さ（鉛直方向に測定したＸ線発生器３と被検査物Ｗ１の間隔）も比較例と同一である。しかし、２台のＸ線発生器３，３の間隔は図１に示した比較例に比べて小さく設定されている。さらに、２台のＸ線発生器３，３は、筐体４の内部においてＸ線管５の放射方向を互いに反対方向に傾斜させている。これにより、筐体４の姿勢は比較例と同様に下面４ａを下にした状態であるが、２台のＸ線発生器３，３の各中心軸Ｃ，Ｃは、互いに離れるようにラインセンサ２の長手方向に対して相対的に傾斜した状態となってラインセンサ２に到達している。従って、比較例とは異なり、隣接する２台のＸ線発生器３，３がそれぞれ放射するＸ線の間の角度Ｂ°は角度Ａ°より小さく（Ａ°＞Ｂ）、２台のＸ線発生器３，３の間の下方あって被検査物Ｗ１にＸ線が照射されない第１非照射領域Ｚ１の幅Ｌ３は、比較例の第１非照射領域Ｚ１の幅Ｌ２よりも小さくなっている（Ｌ２＞Ｌ３）。さらに、２台のＸ線発生器３，３から照射されるＸ線は被検査物Ｗ１の全体を覆っている。すなわち、有効照射範囲の幅方向の寸法Ｌ５は被検査物Ｗ１の幅方向の全長に等しく、被検査物Ｗ１の幅方向の両端に第２非照射領域Ｚ２がある比較例の有効照射範囲の寸法Ｌ１よりも大きくなっている（Ｌ５＞Ｌ１）。

従って、実施形態のＸ線検査装置１によれば、被検査物Ｗ１の幅方向の両端に非照射領域がなく、幅方向の全長について検査することができ、また被検査物Ｗ１の略中央部分にある第１非照射領域Ｚ１（長さＬ３）も比較例より十分に小さくなっているため、１台のラインセンサ２で被検査物Ｗ１の検査をより確実に行うことができる。特に、以下に説明するように、第１非照射領域Ｚ１の幅方向の寸法（Ｌ３）を適当に設定すれば、被検査物Ｗ１の種類によっては非照射領域を事実上なくすことができる。すなわち、図２中に示した被検査物Ｗ１は幅方向（紙面左右方向）について連続しており、また搬送方向（紙面垂直方向）についても連続した薄板状の物品であるように表示しているが、これに替えて図中に前記被検査物Ｗ１と重ねて示すように、被検査物が独立した個別の物品Ｗ２である場合を想定する。図中、この物品Ｗ２は丸で示しているが、格別その形状を限定するものではない。また、図中には搬送手段は示していないので、これら複数個の物品Ｗ２はベルトコンベア等の搬送手段に載置されて搬送されるものとする。このような個別の物品Ｗ２が、幅方向に所定の間隔Ｐで複数個配置され、搬送方向にも所定の間隔で複数個配置されているものとすると、その幅方向の間隔Ｐよりも前述した第１非照射領域Ｚ１の幅方向の寸法（Ｌ３）を小さく設定し（Ｐ＞Ｌ３）、物品Ｗ２が第１非照射領域Ｚ１内に入らないように配慮すれば、すべての物品Ｗ２にＸ線を照射して漏れなく検査を行うことができ、第１非照射領域Ｚ１が事実上存在しないのと同様の結果となる。これは、別の言い方をすれば、第１非照射領域Ｚ１の幅方向の寸法（Ｌ３）が小さいため、物品Ｗ２の幅方向の間隔Ｐを可及的に小さく設定することが可能となり、幅方向に配置できる物品Ｗ２の数をより多くすることができるため、検査作業をより効率化できることにもなる。

以上説明したように、Ｘ線の照射範囲が広範囲でありながら死角が少ない照射エリアを得るためには、２台のＸ線発生器３，３の間隔と、２台のＸ線発生器３，３の各中心軸Ｃ，Ｃのラインセンサ２に対する傾斜角度及び傾斜方向を適宜に設定する必要がある。そのためには、Ｘ線発生器３におけるＸ線の放射角度と、Ｘ線発生器３の高さと、想定している被検査物Ｗ１の状態（例えば前記物品Ｗ２の場合であれば幅方向の設置間隔Ｐ等）に対して許容できる第１非照射領域Ｚ１の幅寸法（Ｌ３）と、被検査物Ｗ１の幅寸法（Ｌ５）又は被検査物Ｗ１に関する所望の最大照射幅等を決定し、これが達成されるように、２台のＸ線発生器３，３における筐体４内のＸ線管５の傾斜角度を適宜に調整するとともに、これら２台のＸ線発生器３，３の間隔を適宜に設定すればよい。なお、設定した２台のＸ線発生器３，３の間隔が変化しないよう、各Ｘ線発生器３は、Ｘ線検査装置１の基体である剛性の高いフレームに固定することが好ましい。

以上説明したように、図２に示した第１実施形態によれば、図１に示した比較例に比べ、隣接する２台のＸ線発生器３，３の間隔を小さくし、各々の中心軸Ｃ，Ｃを互いに離れるような方向に傾斜させている。このため、被検査物Ｗ１の略中央部分に生じるＸ線の第１非照射領域Ｚ１が縮小し、さらにＸ線が照射される全体の幅が大きくなった。従って、装置高さは従来と同程度に小さく、かつ単一のラインセンサ２で検査可能なコンパクトな構成でありながら、Ｘ線の照射範囲である検査領域の幅が可及的に大きく死角が少ない照射エリアを備えたＸ線検査装置を提供できる。

本発明の第２実施形態のＸ線検査装置１ａについて、必要に応じて図１の比較例や他の実施形態と比較しつつ、図３を参照して説明する。
図３に示すように、本実施形態のＸ線検査装置１ａは、共通の筐体４ｂの内部に２個のＸ線管５，５を収納した構造のＸ線発生器３ａを備えており、このＸ線発生器３ａにおける２台のＸ線管５，５の間隔は、第１実施形態における２台のＸ線発生器３，３の２台のＸ線管５，５の間隔と同一であり、かつ筐体４ｂの内部における２台のＸ線管５，５の各放射方向も第１実施形態と同一になっている。その結果、隣接する２台のＸ線管５，５がそれぞれ放射するＸ線の間の角度は比較例の角度Ａ°よりも小さいＢ°であり（Ａ°＞Ｂ）、被検査物Ｗ１の幅方向の略中央に生じる第１非照射領域Ｚ１の幅は比較例の非照射領域の幅Ｌ２よりも小さいＬ３であり（Ｌ２＞Ｌ３）、さらに２台のＸ線管５，５から照射されるＸ線は被検査物Ｗ１の全体を覆っており、有効照射範囲の幅方向の寸法は比較例の有効照射範囲の寸法Ｌ１よりも大きいＬ５となっている（Ｌ５＞Ｌ１）。このように広範囲かつ死角のないＸ線の照射範囲の設定及びその効果は、第１実施形態におけるものと同一である。

本発明の第３実施形態のＸ線検査装置１について、必要に応じて図１の比較例や他の実施形態と比較しつつ、図４を参照して説明する。
図４に示すように、本実施形態のＸ線検査装置１ｂは、２台のＸ線発生器３，３を備えているが、各Ｘ線発生器３の構造は比較例のものと同一であり、Ｘ線管５からのＸ線の中心軸Ｃが筐体４の下面４ａに垂直に向けられている。そして、本実施形態では、２台のＸ線発生器３，３の各Ｘ線管５，５の間隔は、第１実施形態における２台のＸ線発生器３，３の２台のＸ線管５，５の間隔と同一であり、また２台のＸ線発生器３，３を筐体４ごと互いに反対方向に傾けることにより、２台のＸ線発生器３，３の各中心軸Ｃ，Ｃの傾斜方向及び傾斜角度が第１実施形態と同一になっている。その結果、隣接する２台のＸ線発生器３，３がそれぞれ放射するＸ線の間の角度は比較例の角度Ａ°よりも小さいＢ°であり（Ａ°＞Ｂ°）、被検査物Ｗ１の幅方向の略中央に生じる第１非照射領域Ｚ１の幅は比較例の非照射領域の幅Ｌ２よりも小さいＬ３であり（Ｌ２＞Ｌ３）、さらに２台のＸ線発生器３，３から照射されるＸ線は被検査物Ｗ１の全体を覆っており、有効照射範囲の幅方向の寸法は比較例の有効照射範囲の寸法Ｌ１よりも大きいＬ５となっている（Ｌ５＞Ｌ１）。このように広範囲かつ死角のないＸ線の照射範囲の設定及びその効果は、第１実施形態におけるものと同一である。

本発明の第４実施形態のＸ線検査装置１ｃについて、必要に応じて図１の比較例や他の実施形態と比較しつつ、図５を参照して説明する。
図５に示すように、本実施形態のＸ線検査装置１は、２台のＸ線発生器３，３を備えている。そのうち一方のＸ線発生器３（図中右側）は、比較例のＸ線発生器３と同一であり、Ｘ線管５からのＸ線の中心軸Ｃが筐体４の下面４ａに垂直に向けられており、筐体４の下面４ａを水平とすることによってＸ線の中心軸Ｃがラインセンサ２に垂直に到達している。また、他方のＸ線発生器３（図中左側）は、第１実施形態（図２）のＸ線発生器３と略同様であり、下面４ａが水平となるように配置された筐体４の内部でＸ線管５を傾けることにより、Ｘ線の中心軸Ｃが一方のＸ線発生器３の中心軸Ｃから離れる方向に傾斜してラインセンサ２に到達している。但し、他方のＸ線発生器３における中心軸Ｃの傾斜角度は第１実施形態（図２）よりも大きい。また、２台のＸ線発生器３，３の各Ｘ線管５，５の間隔は、第１実施形態における２台のＸ線発生器３，３の２台のＸ線管５，５の間隔と同一である。これによって隣接する２台のＸ線発生器３，３がそれぞれ放射するＸ線の間の角度は比較例の角度Ａ°よりも小さいＢ°であり（Ａ°＞Ｂ°）、被検査物Ｗ１の幅方向の略中央に生じる第１非照射領域Ｚ１の幅は比較例の非照射領域の幅Ｌ２よりも小さいＬ３であり（Ｌ２＞Ｌ３）、さらに２台のＸ線発生器３，３から照射されるＸ線は被検査物Ｗ１の全体を覆っており、有効照射範囲の幅方向の寸法は比較例の有効照射範囲の寸法Ｌ１よりも大きいＬ５となっている（Ｌ５＞Ｌ１）。このように広範囲かつ死角のないＸ線の照射範囲の設定及びその効果は、第１実施形態におけるものと同一である。

本発明の第５実施形態のＸ線検査装置１ｄについて、必要に応じて図１の比較例や他の実施形態と比較しつつ、図６を参照して説明する。
図６に示すように、本実施形態のＸ線検査装置１ｄは、３台のＸ線発生器３，３，３を備えている。そのうち中央のＸ線発生器３は、比較例のＸ線発生器３と同一であり、Ｘ線管５からのＸ線の中心軸Ｃが筐体４の下面４ａに垂直に向けられており、筐体４の下面４ａを水平とすることによってＸ線の中心軸Ｃがラインセンサ２に垂直に到達している。また、左側のＸ線発生器３は、第１実施形態（図２）の左側のＸ線発生器３と略同様であり、筐体４の内部においてＸ線管５の放射方向を傾斜させることにより、Ｘ線の中心軸Ｃが中央のＸ線発生器３の中心軸Ｃから離れる方向に傾斜してラインセンサ２に到達するようになっている。また、右側のＸ線発生器３は、傾斜方向が反対向きである他は左側のＸ線発生器３と略同様である。なお、これら３台のＸ線発生器３，３，３の幅方向の配置間隔は前述した各実施形態における２台のＸ線発生器３，３の配置間隔よりも若干大きくなっている。本実施形態によれば、隣接する２台のＸ線発生器３，３がそれぞれ放射するＸ線の間の角度は比較例の角度Ａ°よりも小さいＤ°であり（Ａ°＞Ｄ°）、被検査物Ｗ１の２カ所に生じる第１非照射領域Ｚ１の幅は比較例の非照射領域の幅Ｌ２よりも小さいＬ４であり（Ｌ２＞Ｌ４）、さらに３台のＸ線発生器３から照射されるＸ線は被検査物Ｗ１の全体を覆っており、有効照射範囲の幅方向の寸法は比較例の有効照射範囲の寸法Ｌ１よりも大きいＬ６となっている（Ｌ６＞Ｌ１）。このように広範囲かつ死角のないＸ線の照射範囲の設定及びその効果は、第１実施形態におけるものと同一である。

以上説明した各実施形態では、２台又は３台のＸ線発生器３，３ａを備えたＸ線検査装置１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄについて説明したが、４台以上のＸ線発生器３を備えたＸ線検査装置において、その中の少なくとも２台の隣接するＸ線発生器３，３について第２乃至第５実施形態と同等の構成を採用すれば、そのような構成をとらない場合に比べて死角がより小さく、より広範囲なＸ線の照射範囲を得ることができる。また、説明した各実施形態ではＸ線発生器３，３ａを被検査物Ｗ１，Ｗ１の上方に配置して下方にＸ線を照射したが、側面から又は下方からＸ線を照射する構成の場合にも本発明を利用することは可能である。さらにまた、本発明は、Ｘ線を利用した異物検出、質量測定、形状測定等、あらゆる産業上の用途に用いられるＸ線検査装置に利用することができる。

１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ…Ｘ線検査装置
２…ラインセンサ
３，３ａ…Ｘ線発生器
４…筐体
５…Ｘ線管
１０…比較例のＸ線検査装置
Ｃ…Ｘ線の中心軸
Ｗ１…被検査物
Ｗ２…被検査物である物品
Ｚ１…第１非照射領域
Ｚ２…第２非照射領域

Claims (3)

1. 所定の搬送方向に搬送される被検査物（Ｗ１，Ｗ２）にＸ線を照射する複数台のＸ線管（５）と、前記被検査物を挟んで前記Ｘ線管とは反対側に配置されて前記搬送方向と交差する所定の配列方向に沿って一列に配列された複数個の検出素子を有するラインセンサ（２）を備え、
   前記配列方向に沿って隣接する少なくとも２台の前記Ｘ線管からそれぞれ放射されるＸ線の各中心軸（Ｃ）が、互いに離れるよう相対的に傾斜して前記ラインセンサに到達するように設定されていることを特徴とするＸ線検査装置（１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ）。
2. ２台の前記Ｘ線管（５）からそれぞれ放射されるＸ線が、前記ラインセンサ（２）の上で重なって照射されないように、前記各中心軸（Ｃ）が相対的に傾斜して設定されていることを特徴とする請求項１記載のＸ線検査装置（１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ）。
3. ２台の前記Ｘ線管（５）からそれぞれ放射されるＸ線の各中心軸（Ｃ）が、２台の前記Ｘ線管の中間位置から前記ラインセンサ（２）に引いた垂線を対称軸とする線対称となるように相対的に傾斜して設定されていることを特徴とする請求項２記載のＸ線検査装置（１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ）。

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