JP6199151B2 - X線検査装置 - Google Patents
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Description
所定の搬送方向に搬送される被検査物W1,W2にX線を照射する複数台のX線管5と、前記被検査物W1,W2を挟んで前記X線管5とは反対側に配置されて前記搬送方向と交差する所定の配列方向に沿って一列に配列された複数個の検出素子を有するラインセンサ2を備え、
前記配列方向に沿って隣接する2台の前記X線管5からそれぞれ放射されるX線が前記ラインセンサ2の上の一点で交わるように、2台の前記X線管5からそれぞれ放射されるX線の各中心軸Cが、2台の前記X線管5の中間位置から前記ラインセンサ2に引いた垂線を対称軸とする線対称となり、互いに離れるよう相対的に傾斜して前記ラインセンサ2に到達するように設定されていることを特徴としている。
これらのX線検査装置1,10は、図示はしないが、図中紙面に垂直な方向に被検査物W1を搬送するベルトコンベア等の搬送手段を備えている。搬送手段で搬送される被検査物W1又はこれを搬送する搬送手段の下方には、ラインセンサ2が設けられている。ラインセンサ2は、搬送方向と直交する水平な配列方向、すなわち図中左右方向(幅方向とも呼ぶ)に沿って複数個の検出素子が所定間隔で一列に配列された構成を備えている。
図3に示すように、本実施形態のX線検査装置1aは、共通の筐体4bの内部に2個のX線管5,5を収納した構造のX線発生器3aを備えており、このX線発生器3aにおける2台のX線管5,5の間隔は、第1実施形態における2台のX線発生器3,3の2台のX線管5,5の間隔と同一であり、かつ筐体4bの内部における2台のX線管5,5の各放射方向も第1実施形態と同一になっている。その結果、隣接する2台のX線管5,5がそれぞれ放射するX線の間の角度は比較例の角度A°よりも小さいB°であり(A°>B)、被検査物W1の幅方向の略中央に生じる第1非照射領域Z1の幅は比較例の非照射領域の幅L2よりも小さいL3であり(L2>L3)、さらに2台のX線管5,5から照射されるX線は被検査物W1の全体を覆っており、有効照射範囲の幅方向の寸法は比較例の有効照射範囲の寸法L1よりも大きいL5となっている(L5>L1)。このように広範囲かつ死角のないX線の照射範囲の設定及びその効果は、第1実施形態におけるものと同一である。
図4に示すように、本実施形態のX線検査装置1bは、2台のX線発生器3,3を備えているが、各X線発生器3の構造は比較例のものと同一であり、X線管5からのX線の中心軸Cが筐体4の下面4aに垂直に向けられている。そして、本実施形態では、2台のX線発生器3,3の各X線管5,5の間隔は、第1実施形態における2台のX線発生器3,3の2台のX線管5,5の間隔と同一であり、また2台のX線発生器3,3を筐体4ごと互いに反対方向に傾けることにより、2台のX線発生器3,3の各中心軸C,Cの傾斜方向及び傾斜角度が第1実施形態と同一になっている。その結果、隣接する2台のX線発生器3,3がそれぞれ放射するX線の間の角度は比較例の角度A°よりも小さいB°であり(A°>B°)、被検査物W1の幅方向の略中央に生じる第1非照射領域Z1の幅は比較例の非照射領域の幅L2よりも小さいL3であり(L2>L3)、さらに2台のX線発生器3,3から照射されるX線は被検査物W1の全体を覆っており、有効照射範囲の幅方向の寸法は比較例の有効照射範囲の寸法L1よりも大きいL5となっている(L5>L1)。このように広範囲かつ死角のないX線の照射範囲の設定及びその効果は、第1実施形態におけるものと同一である。
図5に示すように、本実施形態のX線検査装置1は、2台のX線発生器3,3を備えている。そのうち一方のX線発生器3(図中右側)は、比較例のX線発生器3と同一であり、X線管5からのX線の中心軸Cが筐体4の下面4aに垂直に向けられており、筐体4の下面4aを水平とすることによってX線の中心軸Cがラインセンサ2に垂直に到達している。また、他方のX線発生器3(図中左側)は、第1実施形態(図2)のX線発生器3と略同様であり、下面4aが水平となるように配置された筐体4の内部でX線管5を傾けることにより、X線の中心軸Cが一方のX線発生器3の中心軸Cから離れる方向に傾斜してラインセンサ2に到達している。但し、他方のX線発生器3における中心軸Cの傾斜角度は第1実施形態(図2)よりも大きい。また、2台のX線発生器3,3の各X線管5,5の間隔は、第1実施形態における2台のX線発生器3,3の2台のX線管5,5の間隔と同一である。これによって隣接する2台のX線発生器3,3がそれぞれ放射するX線の間の角度は比較例の角度A°よりも小さいB°であり(A°>B°)、被検査物W1の幅方向の略中央に生じる第1非照射領域Z1の幅は比較例の非照射領域の幅L2よりも小さいL3であり(L2>L3)、さらに2台のX線発生器3,3から照射されるX線は被検査物W1の全体を覆っており、有効照射範囲の幅方向の寸法は比較例の有効照射範囲の寸法L1よりも大きいL5となっている(L5>L1)。このように広範囲かつ死角のないX線の照射範囲の設定及びその効果は、第1実施形態におけるものと同一である。
図6に示すように、本実施形態のX線検査装置1dは、3台のX線発生器3,3,3を備えている。そのうち中央のX線発生器3は、比較例のX線発生器3と同一であり、X線管5からのX線の中心軸Cが筐体4の下面4aに垂直に向けられており、筐体4の下面4aを水平とすることによってX線の中心軸Cがラインセンサ2に垂直に到達している。また、左側のX線発生器3は、第1実施形態(図2)の左側のX線発生器3と略同様であり、筐体4の内部においてX線管5の放射方向を傾斜させることにより、X線の中心軸Cが中央のX線発生器3の中心軸Cから離れる方向に傾斜してラインセンサ2に到達するようになっている。また、右側のX線発生器3は、傾斜方向が反対向きである他は左側のX線発生器3と略同様である。なお、これら3台のX線発生器3,3,3の幅方向の配置間隔は前述した各実施形態における2台のX線発生器3,3の配置間隔よりも若干大きくなっている。本実施形態によれば、隣接する2台のX線発生器3,3がそれぞれ放射するX線の間の角度は比較例の角度A°よりも小さいD°であり(A°>D°)、被検査物W1の2カ所に生じる第1非照射領域Z1の幅は比較例の非照射領域の幅L2よりも小さいL4であり(L2>L4)、さらに3台のX線発生器3から照射されるX線は被検査物W1の全体を覆っており、有効照射範囲の幅方向の寸法は比較例の有効照射範囲の寸法L1よりも大きいL6となっている(L6>L1)。このように広範囲かつ死角のないX線の照射範囲の設定及びその効果は、第1実施形態におけるものと同一である。
2…ラインセンサ
3,3a…X線発生器
4…筐体
5…X線管
10…比較例のX線検査装置
C…X線の中心軸
W1…被検査物
W2…被検査物である物品
Z1…第1非照射領域
Z2…第2非照射領域
Claims (1)
- 所定の搬送方向に搬送される被検査物(W1,W2)にX線を照射する複数台のX線管(5)と、前記被検査物を挟んで前記X線管とは反対側に配置されて前記搬送方向と交差する所定の配列方向に沿って一列に配列された複数個の検出素子を有するラインセンサ(2)を備え、
前記配列方向に沿って隣接する2台の前記X線管からそれぞれ放射されるX線が前記ラインセンサの上の一点で交わるように、2台の前記X線管からそれぞれ放射されるX線の各中心軸(C)が、2台の前記X線管の中間位置から前記ラインセンサ(2)に引いた垂線を対称軸とする線対称となり、互いに離れるよう相対的に傾斜して前記ラインセンサに到達するように設定されていることを特徴とするX線検査装置(1,1a,1b,1c,1d)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013216486A JP6199151B2 (ja) | 2013-10-17 | 2013-10-17 | X線検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013216486A JP6199151B2 (ja) | 2013-10-17 | 2013-10-17 | X線検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015078921A JP2015078921A (ja) | 2015-04-23 |
JP6199151B2 true JP6199151B2 (ja) | 2017-09-20 |
Family
ID=53010451
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013216486A Active JP6199151B2 (ja) | 2013-10-17 | 2013-10-17 | X線検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6199151B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6766216B1 (ja) * | 2019-04-24 | 2020-10-07 | Ckd株式会社 | 検査装置、包装シート製造装置及び包装シート製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7317782B2 (en) * | 2003-01-31 | 2008-01-08 | Varian Medical Systems Technologies, Inc. | Radiation scanning of cargo conveyances at seaports and the like |
JP2010230559A (ja) * | 2009-03-27 | 2010-10-14 | Ishida Co Ltd | X線検査装置 |
JP5472728B2 (ja) * | 2010-02-19 | 2014-04-16 | 横河電機株式会社 | 放射線測定装置 |
JP5605607B2 (ja) * | 2010-03-19 | 2014-10-15 | 横河電機株式会社 | X線測定装置 |
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2013
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015078921A (ja) | 2015-04-23 |
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