JP6506629B2 - Ｘ線受光装置およびこれを備えたｘ線検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、Ｘ線受光装置およびこれを備えたＸ線検査装置に関する。より特定的には、本発明は、被検査物を透過したＸ線を受光するＸ線受光装置およびこれを備えたＸ線検査装置に関する。

Ｘ線検査装置は、被検査物を破壊せずに検査する装置として知られている。一般的に、Ｘ線検査装置は、被検査物を搬送するベルトコンベアなどの搬送部と、搬送路を挟むように配置されたＸ線発生装置およびＸ線受光装置とを備えている。Ｘ線発生装置はＸ線を発生し、搬送部によって搬送される被検査物に照射する。被検査物に照射されたＸ線は、被検査物を透過し、Ｘ線受光装置であるエリアカメラで撮影される。Ｘ線検査装置は、エリアカメラで撮影した画像に基づいて被検査物の内部を検査する。

なお、下記特許文献１および２には、従来のＸ線受光装置が開示されている。下記特許文献１には、現像ローラと現像ギャップと感光体ドラムとを透過した透過Ｘ線を、対向する図示しないシンチレータに照射する技術が開示されている。透過Ｘ線はシンチレータによって発光し、発光した光はイメージインテンシファイアを用いて増幅される。増幅された光は、撮像装置によって画像データとして取得される。この画像データから現像ギャップ長が測定される。

下記特許文献２には、Ｘ線の入射により蛍光を発生する材料からなる光変換部材と、蛍光を導く光ファイバ束と、光ファイバ束の端部からの出射光を増強する光増強手段と、光増強手段からの出射光を撮像する撮像手段を備えたＸ線ラインセンサが開示されている。

特開２００８−１６５０６４号公報 特開２０１２−１７２９９３号公報

従来のＸ線受光装置には、高速で移動する被検査物からのＸ線を受光する場合に、撮影した画像に被検査物の残像が発生するという問題があった。この問題を回避するために、Ｘ線受光装置として、エリアカメラではなくラインカメラを用いる方法が考えられる。ラインカメラは、一次元方向のみのＸ線の強度分布を検出するものである。ラインカメラを用いる方法によれば、一次元方向のＸ線の強度分布を出力することができ、残像の発生を防止することができる。

一方で、ラインカメラを用いる方法では、エリアカメラの場合と比較して受光するＸ線の量が少なくなるため、Ｘ線受光装置の感度が低下するという問題が生じていた。

Ｘ線受光装置の感度を向上する方法として、Ｘ線発生装置で発生するＸ線の強度を大きくする方法がある。しかし、Ｘ線発生装置の消費電力が増加するなどの問題が生じるため、この方法には限界がある。

本発明は、上記課題を解決するためのものであり、その目的は、感度を向上することのできるＸ線受光装置およびこれを備えたＸ線検査装置を提供することである。

本発明の一の局面に従うＸ線受光装置は、所定の搬送方向に搬送される被検査物を透過したＸ線を受光するＸ線受光装置であって、搬送方向に搬送される被検査物を透過したＸ線を可視光線に変換し、変換後の可視光線の強度を増倍させて出力する、移動しない可視光線出力部と、可視光線出力部から出力された可視光線を集束させる光学レンズと、光学レンズで集束された可視光線の一次元方向の強度分布を検出する検出部と、Ｘ線を遮蔽する遮蔽部と、Ｘ線を透過する透過部とを含むＸ線遮蔽部とを備え、Ｘ線遮蔽部は、透過部が搬送方向に沿って移動することにより、可視光線出力部における被検査物を透過したＸ線の入力位置を搬送方向に沿って変更可能である。

上記Ｘ線受光装置において好ましくは、可視光線出力部は、Ｘ線を蛍光に変換する入力蛍光部と、入力蛍光部により変換された蛍光を光電子に変換する光電部と、光電部によって変換された光電子を加速および集束する加速集束部と、加速集束部によって加速および集束された光電子の衝突によって蛍光を放出する出力蛍光部とを含む。

上記Ｘ線受光装置において好ましくは、検出部は、一次元方向に沿って１列のみに配列した複数の受光素子を含む。

上記Ｘ線受光装置において好ましくは、検出部は、光学レンズで集束された可視光線を一次元方向の可視光線に規制するスリットと、可視光線の二次元の強度分布を検出可能なエリアセンサであって、スリットにより規制された可視光線を検出するエリアセンサとを含む。

上記Ｘ線受光装置において好ましくは、検出部は、複数列に配列した複数の受光素子を含み、列方向に配置された受光素子での受光光量を積算することにより、光学レンズで集束された可視光線の一次元方向の強度分布を検出する積算部をさらに備える。

上記Ｘ線受光装置において好ましくは、検出部における可視光線の検出位置は、可視光線出力部に対して移動する。

上記Ｘ線受光装置において好ましくは、透過部は、第１の方向に延在し、可視光線出力部に対して第１の方向と直交する第２の方向であって、搬送方向に対して平行な第２の方向に移動する。

上記Ｘ線受光装置において好ましくは、検出部における可視光線の検出位置は、第２の方向に移動する。

本発明の他の局面に従うＸ線検査装置は、被検査物に対してＸ線を照射するＸ線照射装置と、被検査物を搬送する搬送部と、上記のいずれかのＸ線受光装置とを備える。

本発明によれば、感度を向上することのできるＸ線受光装置およびこれを備えたＸ線検査装置を提供することができる。

本発明の一実施の形態におけるＸ線検査装置１の構成を模式的に示す断面図である。 本発明の一実施の形態におけるＸ線受光装置１０の構成を模式的に示す断面図である。 検出部４０で検出されるｙ軸方向の光強度分布を模式的に示す図である。 本発明の一実施の形態における検出部４０の構成の第１の例を模式的に示す斜視図である。 本発明の一実施の形態における検出部４０の構成の第２の例を模式的に示す斜視図である。 本発明の一実施の形態における検出部４０の構成の第３の例を模式的に示す斜視図である。 本発明の一実施の形態における第３の例の検出部４０の出力結果から得られるｙ軸方向の光強度分布を模式的に示す図である。 本発明の一実施の形態におけるＸ線受光装置１０の変形例の第１の状態の構成を模式的に示す断面図である。 本発明の一実施の形態におけるＸ線受光装置１０の変形例の第２の状態の構成を模式的に示す断面図である。

以下、本発明の一実施の形態について、図面に基づいて説明する。

［Ｘ線検査装置の概略的な構成］

始めに、本発明の一実施の形態におけるＸ線検査装置の概略的な構成について説明する。

図１は、本発明の一実施の形態におけるＸ線検査装置１の構成を模式的に示す断面図である。なお、ｘ軸、ｙ軸、およびｚ軸は互いに直交しているものとする。

図１を参照して、本実施の形態のＸ線検査装置１は、照射位置Ｐ１を通過したワークＷＫ（被検査物の一例）の部分にＸ線を照射し、照射位置Ｐ１を通過したワークＷＫの部分を透過したＸ線に基づいてワークＷＫを検査するものである。Ｘ線検査装置１は、Ｘ線受光装置１０と、搬送部６０と、Ｘ線照射装置７０と、制御部８０などを備えている。

Ｘ線照射装置７０は、その内部でＸ線を発生し、矢印ＡＲ２で示すように、発生したＸ線を照射位置Ｐ１を通過したワークＷＫの部分に対して照射する。Ｘ線照射装置７０は、ターゲット（Ｘ線発生源）で反射したＸ線を利用する反射型のものであってもよいし、ターゲットを透過したＸ線を利用する透過型のものであってもよい。

搬送部６０は、テーブル６１上に配置されたワークＷＫを、矢印ＡＲ１で示す方向に搬送する。搬送部６０は、たとえばベルトコンベアなどよりなっている。

Ｘ線受光装置１０は、矢印ＡＲ３で示すように、ワークＷＫを透過したＸ線を受光し、受光したＸ線の強度を示す信号を制御部８０に送信する。

制御部８０は、Ｘ線受光装置１０、搬送部６０、およびＸ線照射装置７０の各々と電気的に接続されており、Ｘ線検査装置１全体の制御を行う。制御部８０は、Ｘ線発生制御部８１と、テーブル制御部８２と、画像生成部８３とを含んでいる。

Ｘ線発生制御部８１は、Ｘ線照射装置７０に印加する電圧などを制御することにより、Ｘ線照射装置７０から発生するＸ線を制御する。

テーブル制御部８２は、搬送部６０によるテーブル６１の移動を制御する。またテーブル制御部８２は、Ｘ線受光装置１０における透過部５０ｂ（Ｘ線遮蔽部５０）および検出部４０における可視光線の検出位置の各々を移動する。

画像生成部８３は、Ｘ線受光装置１０から受信した信号に基づいて、ワークのＸ線画像を生成する。また画像生成部８３は、Ｘ線受光装置１０に印加する電圧、タイミング、クロックなどを制御する。

ワークＷＫの位置は、時間経過とともに矢印ＡＲ１で示す方向に移動するので、ワークＷＫにおけるＸ線が透過する位置もまた、時間経過とともに矢印ＡＲ１で示す方向に移動する。従ってＸ線検査装置１は、時間経過とともに、ワークＷＫにおける矢印ＡＲ１に沿った異なる位置を検査することができる。

なお、本明細書では、テーブル６１の移動方向（矢印ＡＲ１で示す方向）をｘ軸の正の方向としている。Ｘ線受光装置１０で受光するＸ線の進行方向（矢印ＡＲ３で示す方向）をｚ軸の正の方向としている。ｘ軸とｚ軸とは互いに直交している。さらに、ｘ軸およびｚ軸の各々に対して直角な方向（紙面に対して垂直な方向）をｙ軸方向としている。

図２は、本発明の一実施の形態におけるＸ線受光装置１０の構成を模式的に示す断面図である。

図２を参照して、Ｘ線受光装置１０は、イメージインテンシファイア２０（可視光線出力部の一例）と、光学レンズ３０と、検出部４０とを含んでいる。イメージインテンシファイア２０、光学レンズ３０、および検出部４０の各々は、Ｘ線の進行方向に沿ってワークＷＫから離れる方向（矢印ＡＲ３で示すｚ軸の正の方向）に沿ってこの順序で配置されている。

イメージインテンシファイア２０は、ワークＷＫを透過したＸ線を可視光線に変換し、変換後の可視光線の強度を増倍させて出力する。

光学レンズ３０は、凸レンズであり、イメージインテンシファイア２０から出力された可視光線を集束させる。

検出部４０は、受光した光のｙ軸に沿った一次元方向の光強度分布を検出する一次元カメラ（ラインカメラ）である。検出部４０は、光学レンズ３０で集束された可視光線を受光し、受光強度に応じた信号を制御部８０に送信する。

イメージインテンシファイア２０は、以下の構成を有していることが好ましい。

イメージインテンシファイア２０は、入力蛍光面２１（入力蛍光部の一例）と、光電面２２（光電部の一例）と、集束電極２３と、陽極２４と、出力蛍光面２５（出力蛍光部の一例）と、筐体２６と、集束電源２７と、加速電源２８とを含んでいる。集束電極２３、陽極２４、集束電源２７、および加速電源２８は加速集束部を構成し、静電レンズ系として機能する。

筐体２６は、減圧された中空部を有している。筐体２６の内部には、入力蛍光面２１、光電面２２、集束電極２３、陽極２４、および出力蛍光面２５が配置されている。光電面２２は、入力蛍光面２１よりもワークＷＫから離れた側（ｚ軸の正方向の側）において、入力蛍光面２１と近接して配置されている。出力蛍光面２５は、光電面２２よりもワークＷＫから離れた側（ｚ軸の正方向の側）において、光電面２２と大きな間隔を空けて配置されている。入力蛍光面２１、光電面２２、および出力蛍光面２５の各々は、ｘ軸方向に延在している。集束電極２３は、たとえば円筒形状を有しており、ｚ軸方向に延在している。集束電極２３は、光電面２２と出力蛍光面２５との間に配置されている。陽極２４は、出力蛍光面２５の近傍に配置されている。陽極２４は、たとえば円筒形状を有しており、ｚ軸方向に延在している。出力蛍光面２５は、陽極２４の内部に配置されている。集束電源２７は、光電面２２と集束電極２３との間に電圧を印加する。加速電源２８は、光電面２２と陽極２４との間に電圧を印加する。

続いて、本発明の一実施の形態におけるＸ線受光装置の動作について説明する。

ワークＷＫを透過したＸ線は、矢印ＡＲ３で示すように、イメージインテンシファイア２０に入射する。イメージインテンシファイア２０に入射したＸ線は、入力蛍光面２１によって可視光線（蛍光）に変換される。入力蛍光面２１により変換された可視光線は、光電面２２によって光電子に変換される。光電面２２によって変換された光電子は、集束電極２３、陽極２４、集束電源２７、および加速電源２８によって加速および集束される。加速および集束された光電子は、出力蛍光面２５に衝突し、出力蛍光面２５によって可視光線（蛍光）としてイメージインテンシファイア２０の外部に放出（出力）される。イメージインテンシファイア２０から出力される可視光線は、イメージインテンシファイア２０に入射するＸ線の強度に対応した強度を有している。イメージインテンシファイア２０から出力された可視光線は、光学レンズ３０によって集束され、検出部４０に入射する。検出部４０では、光学レンズ３０によって集束された可視光線のうち、ｙ軸に沿った一次元方向の光強度分布が検出され、検出した光強度分布に応じた信号が制御部８０に送信される。

図３は、検出部４０で検出されるｙ軸方向の光強度分布を模式的に示す図である。図３（ａ）は、時刻ｔ＝ｔ１において検出された光強度分布であり、図３（ｂ）は、時刻ｔ＝ｔ２（ｔ１とｔ２とは異なる時刻である）において検出された光強度分布である。

図３（ａ）を参照して、時刻ｔ＝１において検出された光強度分布は、ｙ軸方向に沿って均一になっている。この場合制御部８０は、時刻ｔ＝１にＸ線の照射位置Ｐ１を通過したワークＷＫの部分には、異常が無いものと判断する。

図３（ｂ）を参照して、時刻ｔ＝２において検出された光強度分布は、時刻ｔ＝１において検出された光強度分布とは異なるものになっており、ｙ軸方向に沿って均一ではなくなっている。この場合制御部８０は、時刻ｔ＝２にＸ線の照射位置Ｐ１を通過したワークＷＫの部分には、何らかの異常があるものと判断する。

本実施の形態によれば、検出部４０が可視光線の一次元方向の光強度分布を検出するものであるので、残像の発生を抑止することができる。また、検出部４０が可視光線の一次元方向の光強度分布を検出するものであることに由来するＸ線受光装置の感度の低下を、
イメージインテンシファイア２０および光学レンズ３０によって構成されるＸ線の増倍機構によって抑止することができる。その結果、ワークＷＫが高速に移動する場合であっても、残像無しに高精密な画像（強度分布）を取得することができる。さらに、Ｘ線照射装置７０としてマイクロフォーカスＸ線源などの低出力のＸ線源を用いた場合でも、Ｘ線受光装置１０が高い感度を有するので、十分な感度を有する画像を得ることができる。

次に、本発明の一実施の形態における検出部の構成の具体例について説明する。

図４は、本発明の一実施の形態における検出部４０の構成の第１の例を模式的に示す斜視図である。

図４を参照して、本例における検出部４０は、複数の受光素子４１と、基板４２とを含んでいる。複数の受光素子４１の各々は、基板４２上に配置されている。複数の受光素子４１の各々は、ｙ軸に沿った一次元方向に沿って１列のみに配列している。

本例のように検出部４０を構成した場合には、簡易な構成により、受光した光の一次元方向の強度分布を検出することができる。

図５は、本発明の一実施の形態における検出部４０の構成の第２の例を模式的に示す斜視図である。

図５を参照して、本例における検出部４０は、複数の受光素子４１と、基板４２と、スリット４３とを含んでいる。複数の受光素子４１および基板４２は、二次元カメラ（エリアカメラ）を構成している。複数の受光素子４１の各々は、基板４２上に配置されている。複数の受光素子４１の各々は、ｘ軸方向およびｙ軸方向の各々に二次元的に配列している。複数の受光素子４１および基板４２は、可視光線の二次元の強度分布を検出可能である。

スリット４３は、複数の受光素子４１および基板４２よりもｚ軸の負の側（イメージインテンシファイア２０に近い側）に配置されている。スリット４３は、光学レンズで集束された可視光線をｙ軸に沿った一次元方向の可視光線に規制する。スリット４３は、可視光を遮光する遮光部４３ａと、可視光線の少なくとも一部を透過する透過部４３ｂとを含んでいる。透過部４３ｂは、ｙ軸方向に沿って延在している。透過部４３ｂは、複数の受光素子４１が配置されているエリアの一部とｚ軸方向で重なる位置に設けられている。透過部４３ｂはたとえば切欠きである。光学レンズ３０によって集束された可視光線は、スリット４３により規制され、複数の受光素子４１のうち一列のみの受光素子４１で受光される。

本例のように検出部４０を構成した場合には、二次元カメラを用いて、受光した光の一次元方向の強度分布を検出することができる。

図６は、本発明の一実施の形態における検出部４０の構成の第３の例を模式的に示す斜視図である。

図６を参照して、本例における検出部４０は、ＴＤＩ（Ｔｉｍｅ Ｄｅｌａｙ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）カメラであり、複数の受光素子４１と、基板４２とを含んでいる。複数の受光素子４１の各々は、基板４２上に配置されている。複数の受光素子４１の各々は、ｘ軸方向およびｙ軸方向の各々に二次元的に配列している。複数の受光素子４１の各々は、ｘ軸方向に沿って５つの列を構成している。５つの列の各々は、ｙ軸方向に延在している。なお、図６では複数の受光素子４１が５つの列を構成している場合について示したが、複数の受光素子４１が構成する列の数は任意である。複数の受光素子４１が構成する列の数は、たとえば１００列以上または２００列以上まで増加されてもよい。

図７は、本発明の一実施の形態における第３の例の検出部４０の出力結果から得られるｙ軸方向の光強度分布を模式的に示す図である。

図６および図７を参照して、本例の場合には、ｘ軸方向に配列した５つの受光素子４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄ、および４１ｅの各々は、ワークＷＫにおける同一の部分から受光した光を受光する。画像生成部８３（積算部の一例）は、ワークＷＫにおける同一の部分から、受光素子４１ａの列の受光素子、受光素子４１ｂの列の受光素子、受光素子４１ｃの列の受光素子、受光素子４１ｄの列の受光素子、および受光素子４１ｅの列の受光素子の各々での受光光量を積算することにより、受光した光のｙ軸に沿った一次元方向の強度分布を検出する。その結果、受光した光の強度を増加して検出することができ、Ｘ線受光装置１０の感度を向上することができる。

ところで、図２に示すＸ線受光装置１０の構成において、イメージインテンシファイア２０に入力するＸ線のうち、可視光線として検出部４０で実際に検出されるのは（イメージインテンシファイア２０で実際に使用される視野領域は）、わずか一部であり、大部分のＸ線は、可視光線として検出部４０で検出されない（受光素子４１に入力しない）。そこで、図８および図９に示す変形例のように、検出部４０で可視光線として検出されないＸ線がイメージインテンシファイア２０に入力するのを抑止してもよい。

図８および図９は、本発明の一実施の形態におけるＸ線受光装置１０の変形例の構成を模式的に示す断面図である。なお、図８および図９における線ＣＬは、イメージインテンシファイア２０および光学レンズ３０のｘ軸方向の中央部を示している。

図８を参照して、本変形例におけるＸ線受光装置１０は、Ｘ線遮蔽部５０をさらに備えている。Ｘ線遮蔽部（Ｘ線遮蔽スリット）５０は、イメージインテンシファイア２０よりもワークＷＫに近い側に配置されている。Ｘ線遮蔽部５０は、ワークＷＫを透過したＸ線の一の部分をイメージインテンシファイア２０に入力させ、ワークＷＫを透過したＸ線の他の部分からイメージインテンシファイア２０を遮蔽する。Ｘ線遮蔽部５０は、Ｘ線を遮蔽する遮蔽部５０ａと、Ｘ線を透過する透過部５０ｂとを含んでいる。遮蔽部５０ａは、たとえば鉛などよりなっている。透過部５０ｂは、たとえば切欠きである。透過部５０ｂはｙ軸方向に延在している。透過部５０ｂは、Ｘ線遮蔽部５０自体を移動することにより、ｘ軸方向に移動可能となっている。これにより、Ｘ線遮蔽部５０は、イメージインテンシファイア２０におけるワークＷＫを透過したＸ線の入力位置をｘ軸方向に変更可能である。

図８では、透過部５０ｂが線ＣＬよりも矢印ＡＲ１１で示す方向に移動されている。これにより、ワークＷＫを透過したＸ線の一の部分は、入力蛍光面２１における線ＣＬよりも左寄りの位置に入力し、他の部分は遮蔽部５０ａによって遮られる。入力蛍光面２１から発生した光電子は、出力蛍光面２５における線ＣＬよりも右寄りの位置に衝突し、出力蛍光面２５から出力された可視光線は、線ＣＬよりも右寄りの位置で検出部４０に入力する。

検出部４０における可視光線の検出位置は、可視光線の検出量が増加するように、イメージインテンシファイア２０に対して移動可能であってもよい。図８の場合には、検出部４０における可視光線の検出位置は、出力蛍光面２５から出力された可視光線が入力する位置に合わせて、矢印ＡＲ２２で示す方向（ｘ軸方向）に移動されてもよい。

図９では、透過部５０ｂが線ＣＬよりも矢印ＡＲ１２で示す方向に移動されている。これにより、ワークＷＫを透過したＸ線の一の部分は、入力蛍光面２１における線ＣＬよりも右寄りの位置に入力し、他の部分は遮蔽部５０ａによって遮られる。入力蛍光面２１から発生した光電子は、出力蛍光面２５における線ＣＬよりも左寄りの位置に衝突し、出力蛍光面２５から出力された可視光線は、線ＣＬよりも左寄りの位置で検出部４０に入力する。検出部４０における可視光線の検出位置は、出力蛍光面２５から出力された可視光線が入力する位置に合わせて、矢印ＡＲ２１で示す方向（ｘ軸方向）に移動されてもよい。

透過部５０ｂ（Ｘ線遮蔽部５０）の位置および検出部４０における可視光線の検出位置の各々は、所要のタイミングで変更される。透過部５０ｂの位置および検出部４０における可視光線の検出位置は、手動で移動されてもよいし、図示しない移動機構などを用いて自動的に移動されてもよい。

図４に示す検出部４０の構成および図６に示す検出部４０の構成では、基板４２を移動することにより、検出部４０における可視光線の検出位置を移動可能である。図５に示す検出部４０の構成では、スリット４３を移動することにより、検出部４０における可視光線の検出位置（可視光線が入射する受光素子４１の位置（処理位置））を移動可能である。矢印ＡＲ２１およびＡＲ２２は、図４〜図６の各々にも示されている。

イメージインテンシファイア２０は、長時間の使用により劣化することがある。

具体的には、イメージインテンシファイア２０の出力面を覆う、ガラスなどよりなるカバーが、出力蛍光面２５から発生する蛍光によって劣化し、茶色に変色する（ブラウン化）。特に同じ形状の被検査物に対してＸ線を照射し続けた場合、カバーにおける蛍光が照射される場所が固定され、カバーにおける特定の場所のみが変色することがある。これは、カバーに含まれる点欠陥に蛍光が吸収されることに起因するものと推測される。その結果、別の形状の被検査物に対してＸ線を照射した場合、カバーの変色により、被検査物を正しく観察（検査）することができないことがあった。

また、光電面２２から発生した電子は、２０ｋｅＶ〜２５ｋｅＶという高電圧で加速され、出力蛍光面２５に衝突する。このため、出力蛍光面２５は、長時間の使用により変質し、変色することがある。さらに、入力蛍光面２１も長時間の使用により変質し、変色することがある。蛍光面の変質および変色は、イメージインテンシファイア２０の焼き付きの原因となる。

本変形例によれば、検出部４０で可視光線として検出されないＸ線が、Ｘ線遮蔽部５０によって遮蔽される。これにより、イメージインテンシファイア２０への不要なＸ線の入力を抑止することができ、イメージインテンシファイア２０の劣化を抑止することができる。また、透過部５０ｂ（Ｘ線遮蔽部５０）を所要のタイミングで移動することにより、カバー、出力蛍光面２５、および入力蛍光面２１の各々における劣化の少ない領域を用いてＸ線を可視光線に変換することができる。その結果、イメージインテンシファイア２０の長寿命化を図ることができる。

上述の実施の形態は、互いに組み合わせることができる。

上述の実施の形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１ Ｘ線検査装置
１０ Ｘ線受光装置
２０ イメージインテンシファイア
２１ 入力蛍光面
２２ 光電面
２３ 集束電極
２４ 陽極
２５ 出力蛍光面
２６ 筐体
２７ 集束電源
２８ 加速電源
３０ 光学レンズ
４０ 検出部
４１，４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄ，４１ｅ 受光素子
４２ 基板
４３ スリット
４３ａ，５０ａ 遮光部
４３ｂ，５０ｂ 透過部
５０ Ｘ線遮蔽部
６０ 搬送部
６１ テーブル
７０ Ｘ線照射装置
８０ 制御部
８１ Ｘ線発生制御部
８２ テーブル制御部
８３ 画像生成部
Ｐ１ 照射位置
ＣＬ イメージインテンシファイアおよび光学レンズのｘ軸方向の中央部を示す線
ＷＫ ワーク

Claims (9)

1. 所定の搬送方向に搬送される被検査物を透過したＸ線を受光するＸ線受光装置であって、
   前記搬送方向に搬送される前記被検査物を透過したＸ線を可視光線に変換し、変換後の可視光線の強度を増倍させて出力する、移動しない可視光線出力部と、
   前記可視光線出力部から出力された可視光線を集束させる光学レンズと、
   前記光学レンズで集束された可視光線の一次元方向の強度分布を検出する検出部と、
   Ｘ線を遮蔽する遮蔽部と、Ｘ線を透過する透過部とを含むＸ線遮蔽部とを備え、
   前記Ｘ線遮蔽部は、前記透過部が前記搬送方向に沿って移動することにより、前記可視光線出力部における前記被検査物を透過したＸ線の入力位置を前記搬送方向に沿って変更可能である、Ｘ線受光装置。
2. 前記可視光線出力部は、
   Ｘ線を蛍光に変換する入力蛍光部と、
   前記入力蛍光部により変換された蛍光を光電子に変換する光電部と、
   前記光電部によって変換された光電子を加速および集束する加速集束部と、
   前記加速集束部によって加速および集束された前記光電子の衝突によって蛍光を放出する出力蛍光部とを含む、請求項１に記載のＸ線受光装置。
3. 前記検出部は、
   前記一次元方向に沿って１列のみに配列した複数の受光素子を含む、請求項１または２に記載のＸ線受光装置。
4. 前記検出部は、
   前記光学レンズで集束された可視光線を前記一次元方向の可視光線に規制する検出部スリットと、
   可視光線の二次元の強度分布を検出可能なエリアセンサであって、前記検出部スリットにより規制された可視光線を検出するエリアセンサとを含む、請求項１または２に記載のＸ線受光装置。
5. 前記検出部は、
   複数列に配列した複数の受光素子を含み、
   列方向に配置された受光素子での受光光量を積算することにより、前記光学レンズで集束された可視光線の前記一次元方向の強度分布を検出する積算部をさらに備えた、請求項１または２に記載のＸ線受光装置。
6. 前記検出部における可視光線の検出位置は、前記可視光線出力部に対して移動する、請求項１〜５のいずれかに記載のＸ線受光装置。
7. 前記透過部は、第１の方向に延在し、前記可視光線出力部に対して前記第１の方向と直交する第２の方向であって、前記搬送方向に対して平行な第２の方向に移動する、請求項１〜６のいずれかに記載のＸ線受光装置。
8. 前記検出部における可視光線の検出位置は、前記第２の方向に移動する、請求項７に記載のＸ線受光装置。
9. 前記被検査物に対してＸ線を照射するＸ線照射装置と、
   前記被検査物を搬送する搬送部と、
   請求項１〜８のいずれかに記載のＸ線受光装置とを備えた、Ｘ線検査装置。

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