JP5605607B2 - X線測定装置 - Google Patents
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Description
図3(a)はX線源(X線管)1の下方に試料3を介してラインセンサ4を配置したものである。なお、ラインセンサ4は同等の性能を有する複数の検出素子4aを直線状に連結したものである。
シート状の試料を搬送させながらX線を用いて前記試料の物理量の測定を行うX線測定装置において、前記試料の搬送方向に略直角に配置され前記試料と接触しない程度に近接して配置されたラインセンサと、前記試料の上方に配置され前記試料を透過して前記X線を前記ラインセンサに照射する複数のX線源からなり、前記複数のX線源はフィラメントからターゲットに向かう電子の方向が前記ラインセンサの長手方向と同方向となるように配置するとともに、前記複数のX線源は、略並列に千鳥状に配置され、前記複数のX線源から出射したそれぞれのX線フラックスが前記ラインセンサ上で略同じ幅で重畳するようにそれぞれのX線源を傾けて配置したことを特徴とする。
厚さ測定装置の床面設置面積や占有空間を抑えるX線管の配置方法を取りながら、X線の線質を均質化することで、測定時の利便性を高めることができる。
即ち、線質差による測定誤差を小さくすることができ、多くの試料を用いて検量線を作成する等の煩わしさを減じて運用上の利便性を高めることができる。また、演算回路の負荷を上げずに済むことから測定処理の高速化をはかることができる。
図1(a)において、図3(a)に示す従来例とはX線管1の数と配列方向のみが異なっている。
なお、試料のある範囲だけを測定するために、エリアセンサとして用いる場合は試料の中心からの垂線を中心軸として対称形を取れば偶数/奇数によらずX線管を配置しても良い。
従って本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。
2 X線フラックス
3 被測定物(試料)
4 ラインセンサ
10 容器
11 陽極リード
12 ターゲット
13 陰極リード
14 フィラメント
15 熱電子
Claims (1)
- シート状の試料を搬送させながらX線を用いて前記試料の物理量の測定を行うX線測定装置において、前記試料の搬送方向に略直角に配置され前記試料と接触しない程度に近接して配置されたラインセンサと、前記試料の上方に配置され前記試料を透過して前記X線を前記ラインセンサに照射する複数のX線源からなり、前記複数のX線源はフィラメントからターゲットに向かう電子の方向が前記ラインセンサの長手方向と同方向となるように配置するとともに、前記複数のX線源は、略並列に千鳥状に配置され、前記複数のX線源から出射したそれぞれのX線フラックスが前記ラインセンサ上で略同じ幅で重畳するようにそれぞれのX線源を傾けて配置したことを特徴とするX線測定装置。
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