JP2004077486A - 多重焦点x線検査システム - Google Patents
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Abstract
【課題】 利用可能なX線出力を効率良く利用する多重焦点X線検査システムを提供する。
【解決手段】 互いにほぼ平行なビームであり、且つ各々が1つの検査平面(127)を規定する2つ以上のビームを発生する手段を有するX線源(110)と、各々がビームのうちの1つと整列されている複数の検出器アレイを有するX線検出器(116)と、X線源(110)とX線検出器(116)との間に被検体を支持する手段とを具備するX線検査システム(100)が提供される。2つ以上のビームを発生する手段は電子銃と、電子銃により発生された電子ビームをターゲット上の複数の焦点(121)へステアリングする手段とを含んでいても良い。
【選択図】 図2
【解決手段】 互いにほぼ平行なビームであり、且つ各々が1つの検査平面(127)を規定する2つ以上のビームを発生する手段を有するX線源(110)と、各々がビームのうちの1つと整列されている複数の検出器アレイを有するX線検出器(116)と、X線源(110)とX線検出器(116)との間に被検体を支持する手段とを具備するX線検査システム(100)が提供される。2つ以上のビームを発生する手段は電子銃と、電子銃により発生された電子ビームをターゲット上の複数の焦点(121)へステアリングする手段とを含んでいても良い。
【選択図】 図2
Description
本発明は一般にX線検査システムに関し、特に多重焦点X線源を使用するX線検査システムに関する。
例えば、デジタルX線撮影(DR)又はコンピュータ断層撮影(CT)を使用して、X線によって工業用部品を検査することは知られている。それらの方法に使用されるX線源は、緻密な(一般にタングステン)ターゲットに向かって電子を加速することによりX線を発生する。発生されるX線の数は、主に、電子が入射するターゲット上の領域を冷却する能力により限定される。検査時間はX線出力に正比例する関係にあり、X線出力は焦点サイズに正比例する関係にある。しかし、焦点サイズは画像分解能とは反比例の関係にある。従って、検査速度と画質との間で何らかの妥協点を見出さなければならない。また、X線検出装置は、すぐれた散乱拒絶を示し、コンピュータ断層撮影に非常に適している線形X線検出器を含む。しかし、X線ビームは線形スライスにコリメートされるため、利用可能な円錐形X線源出力を最大限には利用していない。その結果、検査時間が長くなり、コストも増加する。
従って、X線源の利用を改善する方法及び装置が必要とされている。
以上述べた必要性は、互いにほぼ平行であり、各々が1つの検査平面を規定する2つ以上のビームを発生する手段を有するX線源と、各々が検査平面のうちの1つと整列されている2つ以上の検出器アレイを有するX線検出器と、X線源とX線検出器との間に被検体を支持する手段とを具備するX線検査システムを提供する本発明により満たされる。2つ以上のビームを発生する手段は電子銃と、電子銃により発生された電子ビームをターゲット上の複数の焦点へステアリングする手段とを含んでいても良い。
本発明及び従来の技術と比較した場合の本発明の利点は、添付の図面を参照しながら以下の詳細な説明及び添付の特許請求の範囲を読むことにより明白になるであろう。
発明としてみなされる対象は本明細書の冒頭部分に特定して指摘され且つ明確に特許請求されている。しかし、本発明は添付の図面と関連させた以下の説明を参照することにより最も良く理解されるであろう。
図面を参照すると、様々な図を通して同じ図中符号は同じ要素を指示する。図面中、図1は、従来の技術のX線検査システム10の概略側面図を示す。システム10は、被検体14(例えば、検査されるべきガスタービンエンジンの1構成要素)の両側に配置されたX線源12及び検出器アセンブリ16を含む。X線源12は、タングステンなどの緻密な材料から成るターゲット(図示せず)の焦点21へ電子のビーム20を導く電子銃18を具備する。その結果、ターゲットからX線のビーム22が放出される。X線ビーム22は開口部26を有するX線源コリメータ24に入射する。X線ビーム22の一部はX線出力ビーム28として開口部26から出射する。X線出力ビーム28は被検体14を通過し、その間に被検体14の密度及び構造に応じて様々に異なる程度まで減衰される。その後、出力ビーム28は、この例では3つの互いに隣接する線形検出器アレイ30、32及び34から構成される検出器アセンブリ16に入射する。
この従来の装置のX線検出平面(図1に図中符号31、33及び35により示される)は全て焦点21を含んでいなければならないために、平行ではない。この問題を軽減するために使用できる周知の計算方法はいくつかあるが、要求される計算が複雑であるので、それらの方法には正確さ、時間及びコストに関して制限がある。更に、X線源コリメータ24の開口部26は1本のX線ビームにより全ての検出器アレイを照射できるように十分に大きな寸法でなければならないため、散乱拒絶が減少し、従って、画質の低下が起こる。本発明に従って構成されたX線検査システム100の一例を図2に示す。図示されているシステムは3つの焦点を有するが、本発明はこの数には限定されず、4つ以上又は2つ以下の焦点も使用して差し支えない。システム100は、被検体114(例えば、検査されるべきガスタービンエンジンの一構成要素)の両側に配置されたX線源110及び検出器アセンブリ116を含む。X線源110、検出器アセンブリ116及び被検体114は、図示されていない周知の手段により、図2に示す相対位置に支持されている。例えば、X線源110と検出器アセンブリ116はガントリーにより懸垂されていても良く、一方、被検体114はペデスタル、ターンテーブル又は部品マニピュレータ上でX線源110と検出器アセンブリ116との間に支持されていても良い。X線源110は、電子のビーム120を放出する電子銃118を含む。図示されている例では、電子ビーム120は、以下に更に詳細に説明するように、タングステンなどの緻密な材料から成るターゲット(図示せず)上の焦点121a、121b、121c上へ順次偏向、すなわち、「ステアリング」される。その結果、ターゲットからX線ビーム122a、122b及び122cが放出される。X線ビーム122は開口部126a、126b及び126cを有するX線源コリメータ124に入射する。X線ビーム122の一部は扇形X線出力ビーム128a、128b及び128cとして開口部126から出る。出力ビーム128は被検体114を通過し、その間に被検体114の密度及び構造に応じて様々に異なる程度に減衰される。その後、出力ビーム128は、この例では図中符号130、132及び134でそれぞれ示された3つの互いに隣接する線形検出器アレイから構成されるものとして示されている検出器アセンブリ116に入射する。図示されている例では、これらのアレイの各々は、図3に示すように、出力ビーム128に対して半径方向に整列された複数の検出器要素115からなる弓形アセンブリである。直線アレイなどの他の検出器形状も使用可能であろう。
焦点121は、コリメートされた後のX線出力ビーム128a、128b及び128cの境界によりそれぞれ規定される、図2の図中符号127a、127b及び127cにより示されたX線検査平面の中に位置している。図2に示すように、出力ビーム128は互いにほぼ平行である。更に、各々の焦点121と、それに関連するコリメータ開口部126及び検出器アレイは全て対応する検出平面127とそれぞれ整列されている。すなわち、焦点の垂直方向間隔及び位置は、各検査平面127が焦点121、コリメータ開口部126及び対応する検出器アレイの中心を通るように選択されている。コリメータ124の厚さと、個々の開口部126の位置及び寸法は、検査平面127を適正に規定すると共に、余分なX線の寄与を排除するように選択されている。すなわち、個々の開口部126は、それぞれ、その開口部が整列されている焦点以外の全ての焦点からのX線寄与を拒絶する。特定の用途に合わせて必要な数の焦点、出力ビーム及び検出器アレイを使用すれば良い。
以上説明したように平行で、離間した複数のX線ビームを発生するために複数の焦点を使用することにより、X線散乱を最小にし且つ利用可能なX線出力を効率良く利用しつつ、所定の期間の中で被検体114の相対的に広い面積の部分を走査することができる。図2に示すように、複数の平行ビームの使用により、X線の照射を受けず、従って、散乱に寄与しない被検体114の空隙領域129が形成される結果となる。更に、複数の焦点121の使用により、焦点が1つの場合と比較してターゲット上の有効領域が拡大する。従って、複数の焦点121の各々が単一の焦点と同じ大きさ、同じ特性を有することが可能であり、その一方で、ターゲットの機械的特性及び熱特性、並びにその冷却能力との両立は依然として残される。個別の焦点121は、それぞれを所望の焦点サイズに維持しつつ、冷却のために組み合わせ総面積を拡大できるように、他の焦点からは十分に間隔をおいた位置に配置されている。
図2に概略的に示すように電子ビーム120を走査するための様々な手段が知られている。例えば、電子ビーム120の進行方向を変更するために使用される可変電界又は可変磁界を発生させるために偏向コイルを使用しても良い。ターゲット上に複数の焦点121を形成できる周知のどのような手段を使用しても良い。
複数のX線ビームを形成するために使用できるであろうと考えられる装置の1つを図4に示す。可変電流電源40は偏向コイル41に接続されている。偏向コイル41はX線源39の、電子銃44によりX線源39で発生される電子ビーム42の経路の付近の場所に装着されている。この電子ビーム42はターゲット45(例えば、タングステン陽極)の表面に入射し、X線のビーム46が発生される。電子ビーム42が入射するターゲット45の表面上の場所が焦点47である。
偏向コイル41は、破線52により示す通り、周知のように閉鎖経路を描く磁束を発生する。コイル41と電子ビーム42との幾何学的位置関係は、電子ビーム42の経路に対してほぼ垂直で、ほぼ均一な磁界を発生するように選択されている。電子ビームの速度と磁束ベクトルのクロス乗積に等しい力が電子ビーム42に作用して、電子ビーム42を偏向し、焦点47を移動させる。図4において、移動の方向は紙面に対して垂直であり、偏向コイル41は、発生されるX線がその中央開口部53を通過するように位置決めされている。この移動の方向は偏向コイル41を通って流れる電流の方向、従って、電源40に対する入力信号の極性によって決まる。電源40に対する入力信号は、制御信号を供給することが可能である周知のいずれかの装置、例えば、コンピュータ化コントローラなどであっても良いコントローラ43により供給される。動作中、偏向コイル41に対する電流の流れはターゲット45における別個の焦点に順次入射するように変化される。このように、ビームは焦点の数に比例して時多重化される。例えば、3つの焦点が使用されている場合、電子ビームは、平均で電子銃が動作している時間の三分の一ずつの時間、各々の焦点へ誘導されるであろう。このビーム偏向方法は必要に応じた数の別個の焦点を形成するために使用できるであろう。
本発明の複数の焦点は、多重電子銃システム(図示せず)を使用することによっても形成できるであろう。この場合、X線源の中に2つ以上の個別の電子銃が互いに隣接して配置され、各電子銃はターゲット上のそれぞれ異なる焦点に入射する電子ビームを発生する。
以上、互いにほぼ平行であり、各々が1つの検査平面を規定する2つ以上のビームを発生する手段を有するX線源と、各々が前記ビームのうちの1つと整列されている2つ以上の検出器アレイを有するX線検出器と、X線源と前記X線検出器との間に被検体を支持する手段とを具備するX線検査システムを説明した。2つ以上のビームを発生する手段は電子銃と、電子銃により発生された電子ビームをターゲット上の複数の焦点へステアリングする手段とを含んでいても良い。本発明の特定の実施例を説明したが、添付の特許請求の範囲において定義される本発明の趣旨の範囲から逸脱せずにそれらの実施例に対して様々な変形を実施できることは当業者には明白であろう。なお、特許請求の範囲に記載された符号は、理解容易のためであってなんら発明の技術的範囲を実施例に限縮するものではない。
100…X線検査システム、110…X線源、114…被検体、116…X線検出器アセンブリ、118…電子銃、121…焦点、124…コリメータ、126…開口部、127…X線検査平面、128…X線出力ビーム
Claims (4)
- 互いにほぼ平行であり、各々が1つの検査平面(127)を規定する2つ以上のビームを発生する手段を有するX線源(110)と、
各々が前記検査平面のうちの1つと整列されている2つ以上の検出器アレイを具備するX線検出器(116)と、
前記X線源(110)と前記X線検出器(116)との間に被検体を支持する手段とを具備するX線検査システム(100)。 - 前記X線源(110)は、
各々が前記検査平面(127)のうちの1つに含まれている2つ以上の焦点(121)と、
前記焦点(121)の数と等しい数の開口部(126)を有し、前記開口部(126)の各々は前記検査平面(127)のうちの1つと整列されているコリメータ(124)とを更に含む請求項1記載のX線検査システム(100)。 - 被検体を検査する方法において、
各々が1つの検査平面(127)を規定し且つ互いにほぼ平行である2つ以上のビームをX線源から発生することと、
各々が前記検査平面(127)のうちの1つと整列されている2つ以上の検出器アレイを具備するX線検出器(116)を設けることと、
前記X線源(110)と前記X線検出器(116)との間に被検体を支持する手段を設けることから成る方法。 - 前記X線源(110)は、
各々が前記検査平面(127)のうちの1つに含まれている2つ以上の焦点(121)と、
前記焦点(121)の数と等しい数の開口部(126)を有し、前記開口部(126)の各々は前記検査平面(127)のうちの1つと整列されているコリメータ(124)とを更に含む請求項3記載の被検体を検査する方法。
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