WO2013051595A1 - 装置、x線照射方法、及び構造物の製造方法 - Google Patents
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- H01J35/116—Transmissive anodes
Definitions
- an apparatus that acquires information inside an object nondestructively for example, an apparatus that irradiates an object with X-rays and detects transmitted X-rays transmitted through the object as disclosed in the following patent document is known. ing.
- the design process for creating the design information related to the shape of the structure, the molding process for creating the structure based on the design information, and the shape of the produced structure are the third.
- a method for manufacturing a structure having a step of measuring using the X-ray irradiation method of the aspect, and an inspection step of comparing shape information obtained in the measurement step with design information.
- FIG. 1 is a diagram illustrating an example of a detection device 1 according to the first embodiment.
- the base member 26 has a guide mechanism 27 that guides the third movable member 15 in the Z-axis direction.
- the guide mechanism 27 includes guide members 27A and 27B that are long in the Z-axis direction.
- At least a part of the third drive device 19 including the actuator 23 and the bearings 24 ⁇ / b> A and 24 ⁇ / b> B that support the screw shaft 23 ⁇ / b> B is supported by the base member 26.
- the actuator 23 rotates the screw shaft 23 ⁇ / b> B
- the third movable member 15 moves in the Z-axis direction while being guided by the guide mechanism 27.
- the detection apparatus 1 includes a measurement system 28 that measures the position of the stage 9.
- the measurement system 28 includes an encoder system.
- the conductor member 41 is disposed between at least a part of the passage of electrons from the filament 39 between the filament 39 and the target 40.
- the conductor member 41 includes, for example, an electron lens such as a focusing lens and an objective lens, or a polarizer, and guides electrons from the filament 39 to the target 40.
- the conductor member 41 causes electrons to collide with a partial region (X-ray focal point) of the target 40.
- the size (spot size) of the region where the electrons collide in the target 40 is sufficiently small. Thereby, a point X-ray source is substantially formed.
- the X-ray XL generated from the X-ray source 2 is irradiated to the reference member R.
- the reference member R is irradiated with the X-ray XL from the X-ray source 2 at the predetermined temperature Ta
- the X-ray XL irradiated to the reference member R passes through the reference member R.
- the transmitted X-ray transmitted through the reference member R is incident on the incident surface 33 of the detector 4.
- the detector 4 detects transmitted X-rays that have passed through the reference member R.
- the detector 4 detects an image of the reference member R obtained based on the transmitted X-rays transmitted through the reference member R.
- the dimension (size) of the image of the reference member R obtained at the predetermined temperature Ta is the dimension Wa.
- the detection result of the detector 4 is output to the control device 5.
- control device 5 uses the X-ray source 2, the reference member R, and the detector at the temperature T based on the information stored in the storage device and the size of the image of the reference member R acquired by the detector 4. 4 relative position can be calculated.
- the control device S performs a calculation based on a plurality of X-ray transmission data (images) obtained by irradiating the measurement object S with the X-ray XL while rotating the measurement object S to obtain a tomogram of the measurement object S.
- the image is reconstructed, and three-dimensional data (three-dimensional structure) of the internal structure of the measuring object S is acquired. Thereby, the internal structure of the measuring object S is calculated.
- Examples of the reconstruction method of the tomographic image of the measurement object include a back projection method, a filter-corrected back projection method, and a successive approximation method.
- the back projection method and the filtered back projection method are described in, for example, US Patent Application Publication No. 2002/0154728.
- the successive approximation method is described, for example, in US Patent Application Publication No. 2010/0220908.
- the irradiation region of the X-ray XL with respect to the measurement object S is changed to obtain a plurality of images of the measurement object S, and the internal structure of the measurement object S is obtained based on the plurality of images (images).
- the adjustment device 36 includes a vacuum system, and the discharge port 43 can suck (forcibly exhaust) the gas in the internal space SP.
- the adjustment device 36 does not include a vacuum system. Also good.
- the gas in the internal space SP may be naturally exhausted from the exhaust port 43.
- the temperature sensors 46A to 46D detect the temperature in calibration (step SA1 in FIG. 3). In the present embodiment, the temperature sensors 46A to 46D detect the temperature in the irradiation of the measurement object S with the X-ray XL and the detection of the transmitted X-rays that have passed through the measurement object S (step SA2 in FIG. 3). In other words, the temperature sensors 46A to 46D detect the temperature of at least one of the X-ray source 2 and the internal space SP at least during the period in which the X-ray source 2 emits the X-ray XL.
- the temperature change of the member of the internal space SP including the X-ray source 2 and the temperature change of the internal space SP can be suppressed.
- a temperature sensor that detects the temperature of at least one of the X-ray source 2 and the internal space SP may be provided, and the temperature adjustment member 53 may be controlled based on the detection result of the temperature sensor.
- the outlet 54B is connected to the recovery device 56 via a conduit.
- the liquid flowing through the conduit of the temperature adjusting member 54 and exiting from the outlet 54B is recovered by the recovery device 56 via the conduit flow path.
- the temperature adjustment member 57 is disposed between the generation device 58 and the X-ray source 2.
- the generation device 58 generates a gas flow so as to go from the temperature adjustment member 57 toward the X-ray source 2.
- the temperature-adjusted gas that contacts the temperature adjustment member 57 is supplied to at least a part of the X-ray source 2.
- the recovery device 63 may send the recovered liquid to the supply device 62.
- the supply device 62 may adjust the temperature of the liquid from the recovery device 63.
- the supply device 62 may adjust the temperature of the liquid from the recovery device 63 and supply the temperature-adjusted liquid to the temperature adjustment member 60.
- the detection apparatus 1 includes a nozzle member 73 having a supply port 7L that supplies a temperature-adjusted gas G to the target 71.
- the nozzle member 73 includes a first nozzle member 73A having a supply port 7L for supplying the gas G to the first surface 71A, and a second nozzle having a supply port 7L for supplying the gas G to the second surface 71B.
- the supply port 7L of the first nozzle member 73A faces the first surface 71A.
- the supply port 7L of the second nozzle member 73B faces the second surface 71B.
- the internal space formed by the chamber member 6M is a first space SP1 in which the X-ray source 2 is arranged and the gas G from the supply port 7 is supplied, and a second space in which the detector 4 is arranged. SP2 is included.
- the first space SP1 and the second space SP2 are partitioned by the partition portion 100.
- the partition unit 100 includes a passage unit 101 through which the X-ray XL from the X-ray source 2 can pass.
- the X-ray XL emitted from the X-ray source 2 is supplied to the second space SP2 via the passage unit 101.
- the first and second movable members 79 and 80 are moved, so that the table 78 is movable in five directions, that is, the X-axis, Y-axis, ⁇ X, ⁇ Y, and ⁇ Z directions.
- the table 78 hardly moves in the Z-axis direction.
- the table 78 may be movable in six directions, ie, the X axis, Y axis, Z axis, ⁇ X, ⁇ Y, and ⁇ Z directions.
- the resolution of the actuator that the drive system 77 of the first stage device 74 has is higher than the resolution of the actuator that the drive system of the second stage device 75 has.
- the drive system 77 includes an actuator that operates by Lorentz force, such as a linear motor, a planar motor, and a voice coil motor.
- the detection apparatus 1 includes a measurement system 81 that is disposed in the first space SP1 and measures the position of the stage 76.
- the measurement system 81 includes an encoder system.
- the structure manufacturing system 200 can determine whether or not the created structure is a non-defective product. .
- the structure manufacturing system 200 can repair the structure by reworking the structure when the structure is not a good product.
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Abstract
Description
第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態に係る検出装置1の一例を示す図である。
次に、第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第3実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第4実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第5実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第6実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第7実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第8実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第9実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第10実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第11実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第12実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第13実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第14実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第15実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
Claims (27)
- 物体にX線を照射して前記物体を通過した透過X線を検出する装置であって、
第1空間を形成するチャンバ部材と、
前記第1空間に配置され、前記物体にX線を照射するX線源の少なくとも一部に温度調整された気体を供給する第1供給口と、を備える装置。 - さらに、前記第1空間の気体の少なくとも一部を前記第1空間から排出する第1排出口を備える請求項1に記載の装置。
- さらに、気体の温度を調整する第1調整装置を備え、
前記第1供給口は、前記第1調整装置からの前記気体を供給する請求項1又は2に記載の装置。 - 気体の温度を調整する第1調整装置と、
前記第1空間の気体の少なくとも一部を前記第1空間から排出する第1排出口と、を備え、
前記第1調整装置は、前記第1排出口から排出された気体の温度を調整し、
前記第1供給口は、前記第1調整装置からの前記気体を供給する請求項1に記載の装置。 - 前記第1調整装置は、前記第1空間とは異なる第2空間に配置される請求項3又は4に記載の装置。
- 前記X線源及び前記第1空間の少なくとも一方の温度を検出する温度センサを備え、
前記第1調整装置は、前記温度センサの検出結果に基づいて、前記第1調整装置から供給される気体の温度を調整する請求項3~5のいずれか一項に記載の装置。 - 物体にX線を照射して前記物体を通過した透過X線を検出する装置であって、
第1空間を形成するチャンバ部材と、
前記第1空間に配置され、温度調整される温度調整部材と、を備え、
前記温度調整部材に接触し、温度調整された気体が前記X線を射出するX線源の少なくとも一部に供給される装置。 - 前記温度調整部材は、ペルチェ素子を含む請求項7に記載の装置。
- 前記温度調整部材に温度調整された液体を供給する液体供給装置を備え、
前記温度調整部材は、前記液体によって温度調整される請求項7に記載の装置。 - 前記X線源及び前記第1空間の少なくとも一方の温度を検出する温度センサを備え、
前記液体供給装置は、前記温度センサの検出結果に基づいて、前記液体の温度を調整する請求項9に記載の装置。 - 前記チャンバ部材の少なくとも一部の温度を調整する第2調整装置を備える請求項1~10のいずれか一項に記載の装置。
- さらに、前記チャンバ部材に取り付けられ、前記チャンバ部材よりも熱伝導率が小さい部材を有する請求項11に記載の装置。
- 前記X線源は、電子の衝突又は電子の透過によりX線を発生するターゲットを備え、
前記供給口は、前記ターゲットに前記温度調整された気体を供給する請求項1~12のいずれか一項に記載の装置。 - 前記X線源は、電子の衝突又は電子の透過によりX線を発生するターゲットと、
前記電子を前記ターゲットに導く導電子部材の少なくとも一部を収容するハウジングと、を備え、
前記ハウジングの外面に前記温度調整された気体を供給する請求項1~13のいずれか一項に記載の装置。 - 前記ハウジングは、導管を有し、
前記ハウジングの前記導管に温度調整された流体を供給する第3調整装置を備える請求項14に記載の装置。 - 前記X線源及び前記第1空間の少なくとも一方の温度を検出する温度センサを備え、
前記第3調整装置は、前記温度センサの検出結果に基づいて、前記流体の温度を調整する請求項15に記載の装置。 - 前記第1空間に配置され、前記物体を保持するステージと、
前記X線源から射出され、前記物体を通過した前記透過X線の少なくとも一部を検出する検出器と、を備える請求項1~16のいずれか一項に記載の装置。 - 物体にX線を照射して前記物体を通過した透過X線を検出する装置であって、
第1空間を形成するチャンバ部材と、
前記第1空間に配置され、前記第1空間の気体の少なくとも一部を前記第1空間から排出する第1排出口を備える装置。 - さらに、前記第1空間に配置され、前記物体にX線を照射するX線源を備える請求項18に記載の装置。
- 前記チャンバ部材は前記第1排出口に接続された導管を有し、
前記第1排出口は前記X線源の上方に配置されている請求項19に記載の装置。 - 第1空間を形成するチャンバ部材内に配置されるX線源からのX線を測定物に照射することと、
前記測定物を通過した透過X線を検出することと、
前記X線源の少なくとも一部に温度調整された気体を供給することと、を含むX線照射方法。 - 所定温度において前記測定物とは異なる既知の物体に前記X線源からのX線を照射し、前記既知の物体を通過した透過X線を検出器で検出することと、
前記所定温度における前記既知の物体に対するX線の照射及び前記既知の物体を通過した透過X線の検出における、前記X線源と前記既知の物体と前記検出器との相対位置を算出することと、
前記温度調整された気体を前記X線源の少なくとも一部に供給し、前記所定温度において前記測定物に前記X線源からのX線を照射し、前記測定物を通過した透過X線を前記検出器で検出することと、をさらに含む請求項21に記載のX線照射方法。 - 前記所定温度における前記測定物に対するX線の照射及び前記測定物を通過した前記透過X線の検出は、
前記測定物における前記X線源からのX線の照射領域を変えるために前記測定物の位置を変えることと、
前記変えた測定物の位置毎で前記測定物に前記X線源からのX線を照射し、前記測定物を透過した透過X線を前記検出器で検出することと、をさらに含む請求項22に記載のX線照射方法。 - 前記測定物に対するX線の照射及び前記測定物を通過した前記透過X線の検出は、
前記検出の結果から前記測定物の内部構造を算出することを含む請求項21~23のいずれか一項に記載のX線照射方法。 - 構造物の形状に関する設計情報を作製する設計工程と、
前記設計情報に基づいて前記構造物を作成する成形工程と、
作製された前記構造物の形状を請求項21~24のいずれか一項に記載のX線照射方法を用いて計測する工程と、
前記測定工程で得られた形状情報と、前記設計情報とを比較する検査工程と、を有する構造物の製造方法。 - 前記検査工程の比較結果に基づいて実行され、前記構造物の再加工を実施するリペア工程を有する請求項25に記載の構造物の製造方法。
- 前記リペア工程は、前記成形工程を再実行する工程である請求項26に記載の構造物の製造方法。
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