JPH07306165A - Ｘ線検査装置およびｘ線検査補修装置 - Google Patents
Ｘ線検査装置およびｘ線検査補修装置Info
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- JPH07306165A JPH07306165A JP6097796A JP9779694A JPH07306165A JP H07306165 A JPH07306165 A JP H07306165A JP 6097796 A JP6097796 A JP 6097796A JP 9779694 A JP9779694 A JP 9779694A JP H07306165 A JPH07306165 A JP H07306165A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/40—Imaging
- G01N2223/419—Imaging computed tomograph
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/60—Specific applications or type of materials
- G01N2223/612—Specific applications or type of materials biological material
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- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Controls And Circuits For Display Device (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Image Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 比較的広い検査領域を有する被検体の検査位
置を効率的に制御して被検体の検査を適確に行う。 【構成】 被検体３が機構部５で移動する間にＸ線管１
から放射されたＸ線で透過され、Ｘ線データ収集部１０
１に透視画像として取り込まれることにより、移動中に
多方向の透視画像が得られる。透視データはデータＩ／
Ｏ１０６を介して中央制御装置１００の画像メモリ１０
７に取り込まれ、加算平均部１０８でピント面に応じた
シフト量を与えた透視画像を作成し、画像加算を行い、
所望のピント面の断面像を得る。被検体であるＰＷＢの
実装データはＣＡＤ１１７から画像メモリ１０７に取り
込み、Ｘ線ジオメトリで決まる透視画像の大きさに合う
ような倍率変換を画像処理部１０９で行う。得られたラ
ミノ画像とＣＡＤ図形のイベントを合わせて加算し、合
成画像を作成する。
置を効率的に制御して被検体の検査を適確に行う。 【構成】 被検体３が機構部５で移動する間にＸ線管１
から放射されたＸ線で透過され、Ｘ線データ収集部１０
１に透視画像として取り込まれることにより、移動中に
多方向の透視画像が得られる。透視データはデータＩ／
Ｏ１０６を介して中央制御装置１００の画像メモリ１０
７に取り込まれ、加算平均部１０８でピント面に応じた
シフト量を与えた透視画像を作成し、画像加算を行い、
所望のピント面の断面像を得る。被検体であるＰＷＢの
実装データはＣＡＤ１１７から画像メモリ１０７に取り
込み、Ｘ線ジオメトリで決まる透視画像の大きさに合う
ような倍率変換を画像処理部１０９で行う。得られたラ
ミノ画像とＣＡＤ図形のイベントを合わせて加算し、合
成画像を作成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば電子機器等に使
用されているプリント配線基板（以下、ＰＢＷと略称す
る）における半田付け部分等を非破壊検査するのに有用
なＸ線検査装置および該Ｘ線検査装置とともに使用して
被検体の検査および補修を行う検査補修装置に関する。
用されているプリント配線基板（以下、ＰＢＷと略称す
る）における半田付け部分等を非破壊検査するのに有用
なＸ線検査装置および該Ｘ線検査装置とともに使用して
被検体の検査および補修を行う検査補修装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】被検体にＸ線を照射し、被検体を透過し
たＸ線を検出して被検体を非破壊検査する方法がある
が、被検体の種類および構造によっては、このようにＸ
線を透過した画像でその欠陥や構造を判定することが困
難な場合があり、このような場合には、ラミノグラフィ
が使用される。
たＸ線を検出して被検体を非破壊検査する方法がある
が、被検体の種類および構造によっては、このようにＸ
線を透過した画像でその欠陥や構造を判定することが困
難な場合があり、このような場合には、ラミノグラフィ
が使用される。
【０００３】図１０（ａ），（ｂ），（ｃ）は、それぞ
れこのようなラミノグラフィ装置の構成および作用を示
す図である。このラミノグラフィ装置では、ラインセン
サ９７を多数並べ、異なる方向の透視画像を多数得て、
注目する断面の画像が異なる方向の画像間で重なるよう
にシフトしてから重ね合わせることにより断面像を得て
いる。
れこのようなラミノグラフィ装置の構成および作用を示
す図である。このラミノグラフィ装置では、ラインセン
サ９７を多数並べ、異なる方向の透視画像を多数得て、
注目する断面の画像が異なる方向の画像間で重なるよう
にシフトしてから重ね合わせることにより断面像を得て
いる。
【０００４】更に詳細には、図１０に示すラミノグラフ
ィ装置においては、透過性の放射線源であるＸ線管９１
とこれに対向してライン上で空間分解能をもって放射線
を検出する複数のラインセンサ９７がｎチャンネル等間
隔で配置されている。このＸ線管９１とラインセンサ９
７の間にラインセンサ９７の各チャンネルのライン方向
と垂直方向に平行移動させる搬送機構部９５があり、そ
の上に被検体９３が置かれる。また、ラインセンサ９７
の各チャンネルから透過信号を収集する信号収集部９０
と、収集された透過信号について異なるラインセンサに
より得られた透過信号同士を平行移動方向についてずら
しながら加算平均する加算平均部９２と、画像表示用の
ＣＲＴ９４を有する。なお、図１０において、９８はＸ
線制御部、９６は機構制御部である。
ィ装置においては、透過性の放射線源であるＸ線管９１
とこれに対向してライン上で空間分解能をもって放射線
を検出する複数のラインセンサ９７がｎチャンネル等間
隔で配置されている。このＸ線管９１とラインセンサ９
７の間にラインセンサ９７の各チャンネルのライン方向
と垂直方向に平行移動させる搬送機構部９５があり、そ
の上に被検体９３が置かれる。また、ラインセンサ９７
の各チャンネルから透過信号を収集する信号収集部９０
と、収集された透過信号について異なるラインセンサに
より得られた透過信号同士を平行移動方向についてずら
しながら加算平均する加算平均部９２と、画像表示用の
ＣＲＴ９４を有する。なお、図１０において、９８はＸ
線制御部、９６は機構制御部である。
【０００５】このように構成されるラミノグラフィ装置
にあっては、被検体９３における所要断層面の透過像
を、Ｘ線管９１から前記所要断層面内の複数の特異点ま
でのそれぞれの距離に応じて決定されるサンプリングピ
ッチ間隔毎のラインセンサ９７における放射線検出領域
上の位置で被検体９３の移動に伴って順次得られた当該
各特異点についての透過信号をそれぞれ加算平均部９２
で加算平均して得るようにしている。
にあっては、被検体９３における所要断層面の透過像
を、Ｘ線管９１から前記所要断層面内の複数の特異点ま
でのそれぞれの距離に応じて決定されるサンプリングピ
ッチ間隔毎のラインセンサ９７における放射線検出領域
上の位置で被検体９３の移動に伴って順次得られた当該
各特異点についての透過信号をそれぞれ加算平均部９２
で加算平均して得るようにしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ＰＷＢの検査など電子
部品では分解能を向上させるため、拡大した透視画像に
よる検査が必要である。ラミノグラフィの場合も部分的
な拡大ラミノグラムになる。そのため、ＰＷＢのように
大きな面積を持つ対象物では部品の実装された局部を検
査していくことになり、全体を把握することが難しい。
また、欠陥部はリペアを行う必要があるが、検査結果を
リペアラインに伝達する方法が難しい欠点がある。従来
は画像ハードコピーや筆記の記録を用いていた。また、
重要なものは検査結果の記録を何年も残す必要がある
が、保存の方法に苦慮している。
部品では分解能を向上させるため、拡大した透視画像に
よる検査が必要である。ラミノグラフィの場合も部分的
な拡大ラミノグラムになる。そのため、ＰＷＢのように
大きな面積を持つ対象物では部品の実装された局部を検
査していくことになり、全体を把握することが難しい。
また、欠陥部はリペアを行う必要があるが、検査結果を
リペアラインに伝達する方法が難しい欠点がある。従来
は画像ハードコピーや筆記の記録を用いていた。また、
重要なものは検査結果の記録を何年も残す必要がある
が、保存の方法に苦慮している。
【０００７】本発明は、上記に鑑みてなされたもので、
その目的とするところは、比較的広い検査領域を有する
被検体の検査位置を効率的に制御して被検体の検査を適
確に行うことができるＸ線検査装置および検査補修装置
を提供することにある。
その目的とするところは、比較的広い検査領域を有する
被検体の検査位置を効率的に制御して被検体の検査を適
確に行うことができるＸ線検査装置および検査補修装置
を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のＸ線検査装置は、放射線源、該放射線源に
対向して配設された２次元の放射線検出領域を有する放
射線検出手段、前記放射線源と放射線検出手段の間に設
けられた被検体に対して多くの方向から透視画像を得る
ことができるように被検体を移動させる移動手段、得ら
れた透視画像と透視方向の情報から所望の面の断面像を
再構成するラミノグラフ画像再構成手段を有するラミノ
グラフィ装置において、画像および図形情報を任意の倍
率に変換し得る画像拡大縮小手段と、画像および図形情
報を表示する表示手段と、得られた透視画像または該透
視画像から再構成されたラミノ画像および被検体の形状
を表す図形を同一の縮尺で合成した合成画像を作成する
合成画像作成手段とを有し、前記合成画像、透視画像ま
たはラミノ画像を画像表示手段に表示できることを要旨
とする。
め、本発明のＸ線検査装置は、放射線源、該放射線源に
対向して配設された２次元の放射線検出領域を有する放
射線検出手段、前記放射線源と放射線検出手段の間に設
けられた被検体に対して多くの方向から透視画像を得る
ことができるように被検体を移動させる移動手段、得ら
れた透視画像と透視方向の情報から所望の面の断面像を
再構成するラミノグラフ画像再構成手段を有するラミノ
グラフィ装置において、画像および図形情報を任意の倍
率に変換し得る画像拡大縮小手段と、画像および図形情
報を表示する表示手段と、得られた透視画像または該透
視画像から再構成されたラミノ画像および被検体の形状
を表す図形を同一の縮尺で合成した合成画像を作成する
合成画像作成手段とを有し、前記合成画像、透視画像ま
たはラミノ画像を画像表示手段に表示できることを要旨
とする。
【０００９】また、本発明のＸ線検査装置は、前記画像
表示手段の表示情報上で任意の位置をポイント指定し、
情報を書き込んだり、位置の指示を行う指示手段と、図
形上の座標を画像のディレクトリとして記憶できる記憶
手段とを有し、前記合成画像上の指定した位置に欠陥判
定結果を書き込むことができ、指定した位置の透視画像
またはラミノ画像の原画像にその情報を加えて表示する
ことができることを要旨とする。
表示手段の表示情報上で任意の位置をポイント指定し、
情報を書き込んだり、位置の指示を行う指示手段と、図
形上の座標を画像のディレクトリとして記憶できる記憶
手段とを有し、前記合成画像上の指定した位置に欠陥判
定結果を書き込むことができ、指定した位置の透視画像
またはラミノ画像の原画像にその情報を加えて表示する
ことができることを要旨とする。
【００１０】更に、本発明のＸ線検査装置は、前記合成
画像の指定位置の透視画像またはラミノ画像の原画像を
読み出して表示した画像上に合成画像を縮小してはめ込
むワイプ手段を有し、該ワイプ手段によりワイプ画像中
に表示されている透視画像またはラミノ画像位置と検査
結果を特徴づけて表示できることを要旨とする。
画像の指定位置の透視画像またはラミノ画像の原画像を
読み出して表示した画像上に合成画像を縮小してはめ込
むワイプ手段を有し、該ワイプ手段によりワイプ画像中
に表示されている透視画像またはラミノ画像位置と検査
結果を特徴づけて表示できることを要旨とする。
【００１１】本発明のＸ線検査装置は、被検体の形状、
構成部品の配置、検査を必要とする部位の情報を有する
情報提供手段を備え、前記情報を用いて指定された部位
の透視検査を行うことを要旨とする。
構成部品の配置、検査を必要とする部位の情報を有する
情報提供手段を備え、前記情報を用いて指定された部位
の透視検査を行うことを要旨とする。
【００１２】また、本発明の検査補修装置は、放射線
源、該放射線源に対向して配設された２次元の放射線検
出領域を有する放射線検出手段、前記放射線源と放射線
検出手段の間に設けられた被検体に対して多くの方向か
ら透視画像を得ることができるように被検体を移動させ
る移動手段、得られた透視画像と透視方向の情報から所
望の面の断面像を再構成するラミノグラフ画像再構成手
段を有するラミノグラフィ装置において、画像および図
形情報を任意の倍率に変換し得る画像拡大縮小手段と、
画像および図形情報を表示する表示手段と、得られた透
視画像または該透視画像から再構成されたラミノ画像お
よび被検体の形状を表す図形を同一の縮尺で合成した合
成画像を作成する合成画像作成手段とを有し、前記合成
画像、透視画像またはラミノ画像を画像表示手段に表示
できるＸ線検査装置とともに被検体の検査および補修を
行う検査補修装置であって、前記Ｘ線検査装置との間で
画像を含むＸ線検査結果および補修の結果を通信し制御
できる制御手段と、前記画像を含むＸ線検査結果を表示
し、補修結果を入力する表示入力手段とを有し、被検体
の補修を行った後、再度検査工程に被検体を戻し、補修
した位置のみを再検査することができることを要旨とす
る。
源、該放射線源に対向して配設された２次元の放射線検
出領域を有する放射線検出手段、前記放射線源と放射線
検出手段の間に設けられた被検体に対して多くの方向か
ら透視画像を得ることができるように被検体を移動させ
る移動手段、得られた透視画像と透視方向の情報から所
望の面の断面像を再構成するラミノグラフ画像再構成手
段を有するラミノグラフィ装置において、画像および図
形情報を任意の倍率に変換し得る画像拡大縮小手段と、
画像および図形情報を表示する表示手段と、得られた透
視画像または該透視画像から再構成されたラミノ画像お
よび被検体の形状を表す図形を同一の縮尺で合成した合
成画像を作成する合成画像作成手段とを有し、前記合成
画像、透視画像またはラミノ画像を画像表示手段に表示
できるＸ線検査装置とともに被検体の検査および補修を
行う検査補修装置であって、前記Ｘ線検査装置との間で
画像を含むＸ線検査結果および補修の結果を通信し制御
できる制御手段と、前記画像を含むＸ線検査結果を表示
し、補修結果を入力する表示入力手段とを有し、被検体
の補修を行った後、再度検査工程に被検体を戻し、補修
した位置のみを再検査することができることを要旨とす
る。
【００１３】更に、本発明の検査補修装置は、被検体を
所定の位置に位置決めする位置決め手段と、被検体の指
定された位置に光学的な特徴づけができる位置表示手段
と、それらの位置決めおよび特徴づけの制御を行う制御
手段とを有し、検査済みの被検体の前記合成画像上の欠
陥位置を被検体上に表示できることを要旨とする。
所定の位置に位置決めする位置決め手段と、被検体の指
定された位置に光学的な特徴づけができる位置表示手段
と、それらの位置決めおよび特徴づけの制御を行う制御
手段とを有し、検査済みの被検体の前記合成画像上の欠
陥位置を被検体上に表示できることを要旨とする。
【００１４】本発明の検査補修装置は、前記位置表示手
段は欠陥種により光学的な特徴を変化させて表示し得る
ものであることを要旨とする。また、本発明の検査補修
装置は、被検体の形状、構成部品の配置、検査を必要と
する部位の情報を有する情報提供手段を備え、前記情報
を用いて指定された部位の透視検査を行うことを要旨と
する。
段は欠陥種により光学的な特徴を変化させて表示し得る
ものであることを要旨とする。また、本発明の検査補修
装置は、被検体の形状、構成部品の配置、検査を必要と
する部位の情報を有する情報提供手段を備え、前記情報
を用いて指定された部位の透視検査を行うことを要旨と
する。
【００１５】
【作用】本発明のＸ線検査装置では、放射線源と放射線
検出手段の間に設けられた被検体を移動させて多くの方
向から得られた被検体の透視画像から再構成されたラミ
ノ画像および被検体の形状を表す図形を同一の縮尺で合
成した合成画像を作成し、合成画像、透視画像またはラ
ミノ画像を画像表示手段に表示することができる。
検出手段の間に設けられた被検体を移動させて多くの方
向から得られた被検体の透視画像から再構成されたラミ
ノ画像および被検体の形状を表す図形を同一の縮尺で合
成した合成画像を作成し、合成画像、透視画像またはラ
ミノ画像を画像表示手段に表示することができる。
【００１６】また、本発明のＸ線検査装置では、表示情
報上で任意の位置をポイント指定し、合成画像上の指定
した位置に欠陥判定結果を書き込み、指定した位置の透
視画像またはラミノ画像の原画像にその情報を加えて表
示することができる。
報上で任意の位置をポイント指定し、合成画像上の指定
した位置に欠陥判定結果を書き込み、指定した位置の透
視画像またはラミノ画像の原画像にその情報を加えて表
示することができる。
【００１７】更に、本発明のＸ線検査装置では、合成画
像の指定位置の透視画像またはラミノ画像の原画像を読
み出して表示した画像上に合成画像を縮小してワイプ画
像としてはめ込み、ワイプ画像中に表示されている透視
画像またはラミノ画像位置と検査結果を特徴づけて表示
できる。
像の指定位置の透視画像またはラミノ画像の原画像を読
み出して表示した画像上に合成画像を縮小してワイプ画
像としてはめ込み、ワイプ画像中に表示されている透視
画像またはラミノ画像位置と検査結果を特徴づけて表示
できる。
【００１８】本発明のＸ線検査装置では、被検体の形
状、構成部品の配置、検査を必要とする部位の情報を有
する情報提供手段を備え、該情報を用いて指定された部
位の透視検査を行う。
状、構成部品の配置、検査を必要とする部位の情報を有
する情報提供手段を備え、該情報を用いて指定された部
位の透視検査を行う。
【００１９】また、本発明の検査補修装置では、前記Ｘ
線検査装置との間で画像を含むＸ線検査結果および補修
の結果を通信制御し、前記画像を含むＸ線検査結果を表
示し、補修結果を入力し、被検体の補修を行った後、再
度検査工程に被検体を戻し、補修した位置のみを再検査
することができる。
線検査装置との間で画像を含むＸ線検査結果および補修
の結果を通信制御し、前記画像を含むＸ線検査結果を表
示し、補修結果を入力し、被検体の補修を行った後、再
度検査工程に被検体を戻し、補修した位置のみを再検査
することができる。
【００２０】更に、本発明の検査補修装置では、被検体
を所定の位置に位置決めし、被検体の指定された位置に
光学的な特徴づけを行い、検査済みの被検体の合成画像
上の欠陥位置を被検体上に表示できる。
を所定の位置に位置決めし、被検体の指定された位置に
光学的な特徴づけを行い、検査済みの被検体の合成画像
上の欠陥位置を被検体上に表示できる。
【００２１】本発明の検査補修装置では、位置表示手段
は欠陥種により光学的な特徴を変化させて表示すること
ができる。また、本発明の検査補修装置では、被検体の
形状、構成部品の配置、検査を必要とする部位の情報を
有する情報提供手段を備え、該情報を用いて指定された
部位の透視検査を行う。
は欠陥種により光学的な特徴を変化させて表示すること
ができる。また、本発明の検査補修装置では、被検体の
形状、構成部品の配置、検査を必要とする部位の情報を
有する情報提供手段を備え、該情報を用いて指定された
部位の透視検査を行う。
【００２２】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。図１は、本発明の一実施例に係わるＸ線検査装置の
構成を示すブロック図であり、同図に示すＸ線検査装置
は、Ｘ線データ収集装置１０および中央制御装置１００
から構成されている。Ｘ線データ収集装置１０は、Ｘ線
管１、Ｘ線検出センサを含むＸ線データ収集部１０１、
被検体３を移動させる機構部５、Ｘ線管１を制御するＸ
線制御装置１１、機構部５を制御する機構制御装置２
２、Ｘ線管１とＸ線データ収集部１０１の間のＸ線経路
内に設けられているハーフミラー４、該ハーフミラー４
に映った被検体の画像を撮像するテレビカメラ２を有す
る。
る。図１は、本発明の一実施例に係わるＸ線検査装置の
構成を示すブロック図であり、同図に示すＸ線検査装置
は、Ｘ線データ収集装置１０および中央制御装置１００
から構成されている。Ｘ線データ収集装置１０は、Ｘ線
管１、Ｘ線検出センサを含むＸ線データ収集部１０１、
被検体３を移動させる機構部５、Ｘ線管１を制御するＸ
線制御装置１１、機構部５を制御する機構制御装置２
２、Ｘ線管１とＸ線データ収集部１０１の間のＸ線経路
内に設けられているハーフミラー４、該ハーフミラー４
に映った被検体の画像を撮像するテレビカメラ２を有す
る。
【００２３】また、中央制御装置１００は、全体の動作
を制御するＣＰＵ１０２、種々のデータを記憶する外部
記憶装置１０３、前記ＣＰＵ１０２にシステムバス１１
２を介して接続されているバスインタフェース１０４を
有し、また前記システムバス１１２に接続されている画
像バス１１４とバスインタフェース１０４に接続された
Ｉ／Ｏバス１１３との間にはＩ／Ｏ２０１，１０５、デ
ータＩ／Ｏ１０６、画像メモリ１０７、加算平均部１０
８、画像処理部１０９、画像メモリを含むディスプレイ
インタフェース１１０、画像拡大縮小器１２０、ワイプ
処理器１２１、Ｉ／Ｏ１１１，９９１が接続されてい
る。更に、前記ディスプレイインタフェース１１０には
ＣＲＴディスプレイ１１６が接続され、該ＣＲＴディス
プレイ１１６にはハードコピー１１９およびポインティ
ングデバイス１１５が接続され、前記Ｉ／Ｏ１１１には
ＣＡＤ１１７が接続され、該ＣＡＤ１１７にはＣＲＴデ
ィスプレイ１１８が接続されている。また、前記Ｉ／Ｏ
９９１にはリペア装置９９が接続されている。なお、前
記Ｉ／Ｏ２０１は前記テレビカメラ２に接続され、前記
Ｉ／Ｏ１０５は前記機構制御装置２２に接続され、更に
前記データＩ／Ｏ１０６は前記Ｘ線データ収集部１０１
に接続されている。
を制御するＣＰＵ１０２、種々のデータを記憶する外部
記憶装置１０３、前記ＣＰＵ１０２にシステムバス１１
２を介して接続されているバスインタフェース１０４を
有し、また前記システムバス１１２に接続されている画
像バス１１４とバスインタフェース１０４に接続された
Ｉ／Ｏバス１１３との間にはＩ／Ｏ２０１，１０５、デ
ータＩ／Ｏ１０６、画像メモリ１０７、加算平均部１０
８、画像処理部１０９、画像メモリを含むディスプレイ
インタフェース１１０、画像拡大縮小器１２０、ワイプ
処理器１２１、Ｉ／Ｏ１１１，９９１が接続されてい
る。更に、前記ディスプレイインタフェース１１０には
ＣＲＴディスプレイ１１６が接続され、該ＣＲＴディス
プレイ１１６にはハードコピー１１９およびポインティ
ングデバイス１１５が接続され、前記Ｉ／Ｏ１１１には
ＣＡＤ１１７が接続され、該ＣＡＤ１１７にはＣＲＴデ
ィスプレイ１１８が接続されている。また、前記Ｉ／Ｏ
９９１にはリペア装置９９が接続されている。なお、前
記Ｉ／Ｏ２０１は前記テレビカメラ２に接続され、前記
Ｉ／Ｏ１０５は前記機構制御装置２２に接続され、更に
前記データＩ／Ｏ１０６は前記Ｘ線データ収集部１０１
に接続されている。
【００２４】前記中央制御装置１００は、前記Ｘ線デー
タ収集装置１０からＸ線データを取り入れて、ラミノグ
ラフィとして動作し、合成画像を作成するなどの画像処
理を前記画像メモリ１０７、加算平均部１０８、画像処
理部１０９、ＣＰＵ１０２で行うようになっている。
タ収集装置１０からＸ線データを取り入れて、ラミノグ
ラフィとして動作し、合成画像を作成するなどの画像処
理を前記画像メモリ１０７、加算平均部１０８、画像処
理部１０９、ＣＰＵ１０２で行うようになっている。
【００２５】図２は、図１のＸ線検査装置に使用されて
いるリペア装置９９の構成を示す図である。該リペア装
置９９は半田付け部の補修を行うものであり、ＰＷＢの
位置決め装置８４、リペア情報表示・入力装置８２、レ
ーザマーカ８３、制御装置８１から構成され、該制御装
置８１から前記Ｉ／Ｏ９９１を介して前記中央制御装置
１００と接続されている。
いるリペア装置９９の構成を示す図である。該リペア装
置９９は半田付け部の補修を行うものであり、ＰＷＢの
位置決め装置８４、リペア情報表示・入力装置８２、レ
ーザマーカ８３、制御装置８１から構成され、該制御装
置８１から前記Ｉ／Ｏ９９１を介して前記中央制御装置
１００と接続されている。
【００２６】以上のように構成されるＸ線検査装置にお
いては、被検体３が機構部５で移動する間にＸ線管１か
ら放射されたＸ線で透過され、Ｘ線データ収集部１０１
に透視画像として取り込まれることにより、移動中に多
方向の透視画像が得られる。機構部５はＣＡＤ１１７で
指定された位置の透視データを得ることができるように
被検体３であるＰＷＢの平面を含む面上で任意の位置を
移動することができ、制御可能な機能を持っている。そ
の制御は機構制御装置２２で行う。
いては、被検体３が機構部５で移動する間にＸ線管１か
ら放射されたＸ線で透過され、Ｘ線データ収集部１０１
に透視画像として取り込まれることにより、移動中に多
方向の透視画像が得られる。機構部５はＣＡＤ１１７で
指定された位置の透視データを得ることができるように
被検体３であるＰＷＢの平面を含む面上で任意の位置を
移動することができ、制御可能な機能を持っている。そ
の制御は機構制御装置２２で行う。
【００２７】透視データはデータＩ／Ｏ１０６を介して
中央制御装置１００の画像メモリ１０７に取り込まれ
る。加算平均部１０８でピント面に応じたシフト量を与
えた透視画像を作成し、画像加算を行い、所望のピント
面の断面像を得る。このデータ収集の方式では、得られ
る画像は物体の移動方向と平行な面である。
中央制御装置１００の画像メモリ１０７に取り込まれ
る。加算平均部１０８でピント面に応じたシフト量を与
えた透視画像を作成し、画像加算を行い、所望のピント
面の断面像を得る。このデータ収集の方式では、得られ
る画像は物体の移動方向と平行な面である。
【００２８】一方、被検体３であるＰＷＢの基板および
部品の実装データはＣＡＤ１１７から予め画像メモリ１
０７に取り込み、Ｘ線ジオメトリで決まる透視画像の大
きさに合うような倍率変換を画像処理部１０９で行って
おく。
部品の実装データはＣＡＤ１１７から予め画像メモリ１
０７に取り込み、Ｘ線ジオメトリで決まる透視画像の大
きさに合うような倍率変換を画像処理部１０９で行って
おく。
【００２９】得られたラミノ画像とＣＡＤ図形のイベン
トを合わせて加算し、合成画像を作成する。この画像を
ディスプレイインタフェース１１０を介してＣＲＴ１１
６へ表示することができる。同様の画像をリペア装置９
９へ送り、リペアラインで観察できる。
トを合わせて加算し、合成画像を作成する。この画像を
ディスプレイインタフェース１１０を介してＣＲＴ１１
６へ表示することができる。同様の画像をリペア装置９
９へ送り、リペアラインで観察できる。
【００３０】図３は、ディスプレイに表示される画像の
形態を示している。同図（ａ）はＣＡＤ図形と局所のラ
ミノ画像を合成表示したものであり、同図（ｂ）はその
透視画像を示し、同図（ｃ）はラミノ画像を示してい
る。ＣＲＴディスプレイ上のアイコンをカーソル２３９
で指定することにより任意の画像を表示することができ
る。また、全体のどの位置を指定したかを画像の一部に
ワイプ画像２４１として表示することができる。指定し
た位置２４２は色を変えて特徴をつけている。
形態を示している。同図（ａ）はＣＡＤ図形と局所のラ
ミノ画像を合成表示したものであり、同図（ｂ）はその
透視画像を示し、同図（ｃ）はラミノ画像を示してい
る。ＣＲＴディスプレイ上のアイコンをカーソル２３９
で指定することにより任意の画像を表示することができ
る。また、全体のどの位置を指定したかを画像の一部に
ワイプ画像２４１として表示することができる。指定し
た位置２４２は色を変えて特徴をつけている。
【００３１】上述した動作の流れは図４にフローチャー
トとして示されている。なお、図４において、ＲＯＩは
関心領域を示している。図５（ａ）は透視画像とＣＡＤ
図形の縮尺の合わせ方を示すフローチャートである。同
図においては、まずＸ線ジオメトリを入力し（ステップ
５１）、Ｘ線像倍率の演算を行う（ステップ５２）。こ
のＸ線像倍率の求め方はＸ線焦点、物体位置、センサ位
置（ＦＳＤ，ＦＤＤ）から求める方法、ＰＷＢ上の既知
の寸法を有する物体の透視画像から求めるもの、物体の
Ｘ線焦点からの位置をＸ線的または光学的に測定するも
のなどがある。図５（ｂ）はＸ線ジオメトリを示してい
る。
トとして示されている。なお、図４において、ＲＯＩは
関心領域を示している。図５（ａ）は透視画像とＣＡＤ
図形の縮尺の合わせ方を示すフローチャートである。同
図においては、まずＸ線ジオメトリを入力し（ステップ
５１）、Ｘ線像倍率の演算を行う（ステップ５２）。こ
のＸ線像倍率の求め方はＸ線焦点、物体位置、センサ位
置（ＦＳＤ，ＦＤＤ）から求める方法、ＰＷＢ上の既知
の寸法を有する物体の透視画像から求めるもの、物体の
Ｘ線焦点からの位置をＸ線的または光学的に測定するも
のなどがある。図５（ｂ）はＸ線ジオメトリを示してい
る。
【００３２】Ｘ線像倍率の演算に続いて、ＣＡＤ図形倍
率を変換する（ステップ５３）。この場合には、逆にＸ
線像の倍率を変化させてもよい。それから、Ｘ線像とＣ
ＡＤ図面を合成し（ステップ５４）、表示する（ステッ
プ５５）。
率を変換する（ステップ５３）。この場合には、逆にＸ
線像の倍率を変化させてもよい。それから、Ｘ線像とＣ
ＡＤ図面を合成し（ステップ５４）、表示する（ステッ
プ５５）。
【００３３】図６は、画像表示手順を示すフローチャー
トである。同図においては、ＣＡＤデータには検査すべ
き実装部品の座標データがあり、その情報からラミノグ
ラフィを得る必要のあるＰＷＢ上の位置を特定し、ラミ
ノ画像を得る（ステップ６１，６２）。そのラミノ画像
のＣＡＤデータ上の座標をディレクトリとして画像管理
を行う（ステップ６３）。透視画像も同様に管理でき
る。ＣＲＴに表示された時に目視判定されたもの、また
は自動的に画像の判定を行った結果を欠陥種により色分
けするなど分類して合成画像とすることもできる（ステ
ップ６４）。透視画像を呼び出すときは合成画像上でポ
イント指定すると、その図形上の座標をディレクトリに
してあるのでファイルから読み出すことが可能である
（ステップ６５）。合成画像はラミノ画像の一部へワイ
プして、図３（ｃ）に示すように縮小表示する（ステッ
プ６６）。
トである。同図においては、ＣＡＤデータには検査すべ
き実装部品の座標データがあり、その情報からラミノグ
ラフィを得る必要のあるＰＷＢ上の位置を特定し、ラミ
ノ画像を得る（ステップ６１，６２）。そのラミノ画像
のＣＡＤデータ上の座標をディレクトリとして画像管理
を行う（ステップ６３）。透視画像も同様に管理でき
る。ＣＲＴに表示された時に目視判定されたもの、また
は自動的に画像の判定を行った結果を欠陥種により色分
けするなど分類して合成画像とすることもできる（ステ
ップ６４）。透視画像を呼び出すときは合成画像上でポ
イント指定すると、その図形上の座標をディレクトリに
してあるのでファイルから読み出すことが可能である
（ステップ６５）。合成画像はラミノ画像の一部へワイ
プして、図３（ｃ）に示すように縮小表示する（ステッ
プ６６）。
【００３４】欠陥の判定は、得られた透視画像とラミノ
画像を画像処理することにより自動化することが可能で
ある。一般的に、半田の欠陥はＸ線の透視が正常部より
多いので、その特徴を使用することができる。
画像を画像処理することにより自動化することが可能で
ある。一般的に、半田の欠陥はＸ線の透視が正常部より
多いので、その特徴を使用することができる。
【００３５】図７は、リペアラインとの相関を説明した
ものである。欠陥ありとされたＰＷＢはリペアラインへ
送られる。ここでは図８で示す欠陥情報をもとに補修を
施される。図８において、欠陥部情報７１は欠陥種、欠
陥位置などであり、中央制御装置からリペアラインの制
御装置へ通信される。リペアラインでは図２に示すリペ
ア装置９９の位置決め装置８４でＰＷＢの位置決めを行
い（ステップ７２１）、ＰＷＢ上へ光学的な欠陥部の位
置表示を行う（ステップ７２２）。欠陥種に応じて色ず
けを行うこともできる。図２ではレーザマーカを用いた
例を示す。レーザ発信器からのレーザ光をミラー等で方
向を変えて表示するものである。
ものである。欠陥ありとされたＰＷＢはリペアラインへ
送られる。ここでは図８で示す欠陥情報をもとに補修を
施される。図８において、欠陥部情報７１は欠陥種、欠
陥位置などであり、中央制御装置からリペアラインの制
御装置へ通信される。リペアラインでは図２に示すリペ
ア装置９９の位置決め装置８４でＰＷＢの位置決めを行
い（ステップ７２１）、ＰＷＢ上へ光学的な欠陥部の位
置表示を行う（ステップ７２２）。欠陥種に応じて色ず
けを行うこともできる。図２ではレーザマーカを用いた
例を示す。レーザ発信器からのレーザ光をミラー等で方
向を変えて表示するものである。
【００３６】ＣＲＴ上へは前記合成画像を表示できる。
欠陥マーカがなくてもリペア位置を知ることができるよ
うになっている。検査ラインと同様に透視画像を位置指
定により表示することもできる。補修を完了したらＣＲ
Ｔ（パネルスイッチ）から完了位置の入力を行う（ステ
ップ７２４）。勿論パネルスイッチでなく、ＣＲＴとポ
インティングデバイスの組み合わせなどでも可能であ
る。マーカを用いている場合はこのとき補修完了した位
置の表示を消す（ステップ７２５）。補修完了した位置
の座標は制御装置８１を介して前記ＣＡＤの検査すべき
実装部品の座標データと同等に扱い、リペアラインから
戻されたＰＷＢの再検査の座標として用いる。
欠陥マーカがなくてもリペア位置を知ることができるよ
うになっている。検査ラインと同様に透視画像を位置指
定により表示することもできる。補修を完了したらＣＲ
Ｔ（パネルスイッチ）から完了位置の入力を行う（ステ
ップ７２４）。勿論パネルスイッチでなく、ＣＲＴとポ
インティングデバイスの組み合わせなどでも可能であ
る。マーカを用いている場合はこのとき補修完了した位
置の表示を消す（ステップ７２５）。補修完了した位置
の座標は制御装置８１を介して前記ＣＡＤの検査すべき
実装部品の座標データと同等に扱い、リペアラインから
戻されたＰＷＢの再検査の座標として用いる。
【００３７】リペアラインでの補修は半田のボイドや半
田なしなど欠陥種によってはレーザ加熱装置や、電気こ
てで欠陥位置の自動補修が可能である。このときは、欠
陥種とその位置座標をもとに補修装置を制御する。
田なしなど欠陥種によってはレーザ加熱装置や、電気こ
てで欠陥位置の自動補修が可能である。このときは、欠
陥種とその位置座標をもとに補修装置を制御する。
【００３８】リペアラインで補修完了したＰＷＢは再度
Ｘ線検査ラインへ戻され（ステップ７２６，７２７）、
再検査が行われる。このとき欠陥位置（リペア位置）の
情報を制御装置８１から中央制御装置１００へ通信し、
再検査の位置情報として用いる。中央制御装置１００で
欠陥情報を保存しておき、リペアラインから補修済みの
ＰＷＢが戻されたときに基板の管理ナンバーなどを用い
てその情報で同様の検査が可能である。欠陥がなくなる
までこのループを繰り返して行う。図９にＸ線検査およ
び補修行程を示す。
Ｘ線検査ラインへ戻され（ステップ７２６，７２７）、
再検査が行われる。このとき欠陥位置（リペア位置）の
情報を制御装置８１から中央制御装置１００へ通信し、
再検査の位置情報として用いる。中央制御装置１００で
欠陥情報を保存しておき、リペアラインから補修済みの
ＰＷＢが戻されたときに基板の管理ナンバーなどを用い
てその情報で同様の検査が可能である。欠陥がなくなる
までこのループを繰り返して行う。図９にＸ線検査およ
び補修行程を示す。
【００３９】検査と補修の自動化を行う場合、前記の欠
陥自動判定を中央制御装置１００で、補修位置と補修装
置の制御を制御装置８１で行う。検査と補修をループで
繰り返すことになるが、このループを複数回繰り返して
も検査結果が不良の場合は制御装置で同一ＰＷＢのルー
プ数を管理し、補修不能の結果を出力し、保留のストッ
クへ送る。
陥自動判定を中央制御装置１００で、補修位置と補修装
置の制御を制御装置８１で行う。検査と補修をループで
繰り返すことになるが、このループを複数回繰り返して
も検査結果が不良の場合は制御装置で同一ＰＷＢのルー
プ数を管理し、補修不能の結果を出力し、保留のストッ
クへ送る。
【００４０】これらの検査情報、補修情報は中央制御装
置の外部記憶装置に保存し、いつでも読み出して検討す
ることができる。また、画像や情報の記録を出力するこ
とも可能である。外部記憶装置はリペアラインの制御装
置側に設けても良い。
置の外部記憶装置に保存し、いつでも読み出して検討す
ることができる。また、画像や情報の記録を出力するこ
とも可能である。外部記憶装置はリペアラインの制御装
置側に設けても良い。
【００４１】また、図１に示すように、ＰＷＢの外観を
ハーフミラー４を介して撮像するテレビカメラ２をＸ線
データ収集装置１０に設け、この外観画像とＸ線画像の
合成、ＣＡＤ情報との合成を行うこともできる。
ハーフミラー４を介して撮像するテレビカメラ２をＸ線
データ収集装置１０に設け、この外観画像とＸ線画像の
合成、ＣＡＤ情報との合成を行うこともできる。
【００４２】上述した実施例では、次に示す効果が得ら
れる。 （１）ＰＷＢの透視検査、ラミノグラフィをＣＡＤデー
タを用いて行うので検査位置の特定が速くなり、効率よ
く行える。
れる。 （１）ＰＷＢの透視検査、ラミノグラフィをＣＡＤデー
タを用いて行うので検査位置の特定が速くなり、効率よ
く行える。
【００４３】（２）ＰＷＢ全体の検査情報をＣＡＤ図形
と透視画像の合成画像で知ることができる。データを保
存することも可能である。 （３）合成画像から必要な透視画像を指定し、表示する
ことが可能。透視画像の一部に合成画像をワイプしては
め込むことで、どの画像を表示したかを確認できる。透
視画像の座標も同時に表現できる。ＣＡＤの座標を画像
のディレクトリとして使用することができる。
と透視画像の合成画像で知ることができる。データを保
存することも可能である。 （３）合成画像から必要な透視画像を指定し、表示する
ことが可能。透視画像の一部に合成画像をワイプしては
め込むことで、どの画像を表示したかを確認できる。透
視画像の座標も同時に表現できる。ＣＡＤの座標を画像
のディレクトリとして使用することができる。
【００４４】（４）欠陥種を識別する表示が可能であ
る。 （５）リペアラインでＰＷＢ上に欠陥位置や欠陥種を表
示できる。 （６）リペアラインでＣＲＴ上の画像情報から補修位
置、内容を確認して作業できる。補修の完了を管理する
入力手段を有する。
る。 （５）リペアラインでＰＷＢ上に欠陥位置や欠陥種を表
示できる。 （６）リペアラインでＣＲＴ上の画像情報から補修位
置、内容を確認して作業できる。補修の完了を管理する
入力手段を有する。
【００４５】（７）補修後のＰＷＢを検査ラインへ戻
し、補修した位置のみ検査可能である。 （８）半田付け装置を検査結果の情報をもとに位置制御
し、自動で半田の補修が可能である。
し、補修した位置のみ検査可能である。 （８）半田付け装置を検査結果の情報をもとに位置制御
し、自動で半田の補修が可能である。
【００４６】（９）透視画像上にワイプし、合成画像を
表示できる。このとき合成画像には現在表示している透
視画像の位置を特徴づけて表示可能である。 また、図３（ａ）の２３７で示すように、補修済みのＰ
ＷＢを再検査し、欠陥がなくなった領域に対しては補修
後に合格になったことを特徴づけて合成画像上に表示す
ることができる。自動検査結果もしくは目視検査結果を
ポインティングデバイスで入力する。こうすることによ
りリペア結果の確認とリペアラインの信頼性を向上させ
ていくことができる。
表示できる。このとき合成画像には現在表示している透
視画像の位置を特徴づけて表示可能である。 また、図３（ａ）の２３７で示すように、補修済みのＰ
ＷＢを再検査し、欠陥がなくなった領域に対しては補修
後に合格になったことを特徴づけて合成画像上に表示す
ることができる。自動検査結果もしくは目視検査結果を
ポインティングデバイスで入力する。こうすることによ
りリペア結果の確認とリペアラインの信頼性を向上させ
ていくことができる。
【００４７】更に、Ｘ線検査−補修−Ｘ線検査・・・・
・・のループを自動で行う自動検査、補修装置を構築で
きる。図７の破線のループを構成し、透視画像の欠陥判
定と半田のリペアを自動化することで達成できる。
・・のループを自動で行う自動検査、補修装置を構築で
きる。図７の破線のループを構成し、透視画像の欠陥判
定と半田のリペアを自動化することで達成できる。
【００４８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
広い範囲の検査域を有する被検体の検査位置を能率よく
制御して検査することができ、また検査結果を補修ライ
ンに与えて、被検体へ補修の位置を指示することもでき
る。補修部分の再検査位置の指定と補修結果の評価を透
過画像とＣＡＤ図形の合成画像上で管理することができ
る。
広い範囲の検査域を有する被検体の検査位置を能率よく
制御して検査することができ、また検査結果を補修ライ
ンに与えて、被検体へ補修の位置を指示することもでき
る。補修部分の再検査位置の指定と補修結果の評価を透
過画像とＣＡＤ図形の合成画像上で管理することができ
る。
【図１】本発明の一実施例に係わるＸ線検査装置の構成
を示すブロック図である。
を示すブロック図である。
【図２】図１のＸ線検査装置に使用されているリペア装
置の構成を示す図である。
置の構成を示す図である。
【図３】ディスプレイに表示される画像の形態を示す図
である。
である。
【図４】図１に示すＸ線検査装置の作用を示すフローチ
ャートである。
ャートである。
【図５】透視画像とＣＡＤ図形の縮尺の合わせ方を示す
フローチャートである。
フローチャートである。
【図６】画像表示手順を示すフローチャートである。
【図７】リペアラインとの相関を説明する図である。
【図８】欠陥位置を表示する処理を示すフローチャート
である。
である。
【図９】Ｘ線検査とリペア工程の流れを示すフローチャ
ートである。
ートである。
【図１０】従来のラミノグラフィ装置の構成および作用
を示す図である。
を示す図である。
１ Ｘ線管 ３ 被検体 ５ 機構部 １０ Ｘ線データ収集装置 １１ Ｘ線制御装置 ２２ 機構制御装置 ９９ リペア装置 １００ 中央制御装置 １０１ Ｘ線データ収集部 １０２ ＣＰＵ １０７ 画像メモリ １０８ 加算平均部 １０９ 画像処理部 １１７ ＣＡＤ １２０ 画像拡大縮小器
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成７年４月２６日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正内容】
【発明の名称】 Ｘ線検査装置およびＸ線検査補修装
置
置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば電子機器等に使
用されているプリント配線基板（以下、ＰＢＷと略称す
る）における半田付け部分等を非破壊検査するのに有用
なＸ線検査装置および該Ｘ線検査装置とともに使用して
被検体の検査および補修を行うＸ線検査補修装置に関す
る。
用されているプリント配線基板（以下、ＰＢＷと略称す
る）における半田付け部分等を非破壊検査するのに有用
なＸ線検査装置および該Ｘ線検査装置とともに使用して
被検体の検査および補修を行うＸ線検査補修装置に関す
る。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００４】更に詳細には、図１０に示すラミノグラフ
ィ装置においては、透過性の放射線源であるＸ線管９１
とこれに対向してライン上で空間分解能をもって放射線
を検出する複数のラインセンサ９７がｎチャンネル等間
隔で配置されている。このＸ線管９１とラインセンサ９
７の間にラインセンサ９７の各チャンネルのライン方向
と垂直方向に平行移動させる搬送機構部９５があり、そ
の上に被検体９３が置かれる。また、ラインセンサ９７
の各チャンネルから透過信号を収集する信号収集部９０
と、収集された透過信号について異なるラインセンサに
より得られた透過信号同士を平行移動方向についてずら
しながら加算平均する加算平均部９２と、この加算平均
部９２から得られる画像を表示する画像表示用のＣＲＴ
９４を有する。なお、図１０において、９８はＸ線管９
１を制御するＸ線制御部、９６は搬送機構部９５を制御
する機構制御部である。
ィ装置においては、透過性の放射線源であるＸ線管９１
とこれに対向してライン上で空間分解能をもって放射線
を検出する複数のラインセンサ９７がｎチャンネル等間
隔で配置されている。このＸ線管９１とラインセンサ９
７の間にラインセンサ９７の各チャンネルのライン方向
と垂直方向に平行移動させる搬送機構部９５があり、そ
の上に被検体９３が置かれる。また、ラインセンサ９７
の各チャンネルから透過信号を収集する信号収集部９０
と、収集された透過信号について異なるラインセンサに
より得られた透過信号同士を平行移動方向についてずら
しながら加算平均する加算平均部９２と、この加算平均
部９２から得られる画像を表示する画像表示用のＣＲＴ
９４を有する。なお、図１０において、９８はＸ線管９
１を制御するＸ線制御部、９６は搬送機構部９５を制御
する機構制御部である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００５】このように構成されるラミノグラフィ装置
にあっては、図１０（ｂ）（ｃ）に示すように、被検体
９３における所要断層面の透過像を、Ｘ線管９１から前
記所要断層面内の複数の特異点までのそれぞれの距離Δ
Ｐに応じて決定されるサンプリングピッチ間隔ΔＳ毎の
ラインセンサ９７−１〜９７−ｎにおける放射線検出領
域上の位置で被検体９３の移動（移動方向Ｐ）に伴って
順次得られた当該各特異点についての透過信号をそれぞ
れ加算平均部９２で加算平均して得るようにしている。
なお、サンプリングピッチ間隔ΔＳは、下式（１）によ
り演算される。 ΔＳ＝ｌ／ＦＯＤ−ｘＤ ……… （１） ここで、ｌは被検体のピント面とＸ線管のＸ線焦点との
距離、ＦＯＤはラインセンサの検出面とＸ線管のＸ線焦
点との距離、ｘＤはラインセンサ９７−１と所望のライ
ンセンサ９７−ｎとの距離である。
にあっては、図１０（ｂ）（ｃ）に示すように、被検体
９３における所要断層面の透過像を、Ｘ線管９１から前
記所要断層面内の複数の特異点までのそれぞれの距離Δ
Ｐに応じて決定されるサンプリングピッチ間隔ΔＳ毎の
ラインセンサ９７−１〜９７−ｎにおける放射線検出領
域上の位置で被検体９３の移動（移動方向Ｐ）に伴って
順次得られた当該各特異点についての透過信号をそれぞ
れ加算平均部９２で加算平均して得るようにしている。
なお、サンプリングピッチ間隔ΔＳは、下式（１）によ
り演算される。 ΔＳ＝ｌ／ＦＯＤ−ｘＤ ……… （１） ここで、ｌは被検体のピント面とＸ線管のＸ線焦点との
距離、ＦＯＤはラインセンサの検出面とＸ線管のＸ線焦
点との距離、ｘＤはラインセンサ９７−１と所望のライ
ンセンサ９７−ｎとの距離である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００７】本発明は、上記に鑑みてなされたもので、
その目的とするところは、比較的広い検査領域を有する
被検体の検査位置を効率的に制御して被検体の検査を適
確に行うことができるＸ線検査装置およびＸ線検査補修
装置を提供することにある。
その目的とするところは、比較的広い検査領域を有する
被検体の検査位置を効率的に制御して被検体の検査を適
確に行うことができるＸ線検査装置およびＸ線検査補修
装置を提供することにある。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載の本発明のＸ線検査装置は、放射線を
発生する放射線源と、該放射線源に対向して配設された
２次元の放射線検出領域を有する放射線検出手段と、前
記放射線源と放射線検出手段の間に設けられた被検体に
対して複数の方向から透視画像を得るように被検体を移
動させる移動手段と、得られた透視画像と透視方向の情
報から所望の面の断層像を再構成するラミノグラフ画像
再構成手段と、画像および図形情報を任意の倍率に変換
し得る画像拡大縮小手段と、画像および図形情報を表示
する表示手段と、得られた透視画像または該透視画像か
ら再構成されたラミノ画像および被検体の形状を表す図
形を同一の縮尺で合成した合成画像を作成する合成画像
作成手段と、前記合成画像、透視画像またはラミノ画像
を表示する画像表示手段とを備えたことを特徴とする。
め、請求項１記載の本発明のＸ線検査装置は、放射線を
発生する放射線源と、該放射線源に対向して配設された
２次元の放射線検出領域を有する放射線検出手段と、前
記放射線源と放射線検出手段の間に設けられた被検体に
対して複数の方向から透視画像を得るように被検体を移
動させる移動手段と、得られた透視画像と透視方向の情
報から所望の面の断層像を再構成するラミノグラフ画像
再構成手段と、画像および図形情報を任意の倍率に変換
し得る画像拡大縮小手段と、画像および図形情報を表示
する表示手段と、得られた透視画像または該透視画像か
ら再構成されたラミノ画像および被検体の形状を表す図
形を同一の縮尺で合成した合成画像を作成する合成画像
作成手段と、前記合成画像、透視画像またはラミノ画像
を表示する画像表示手段とを備えたことを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００９】また、請求項２記載の本発明のＸ線検査装
置は、前記画像表示手段の表示情報上で任意の位置を指
定し、情報を書き込んだり、位置の指示を行なう指示手
段と、図形上の座標を画像のディレクトリとして記憶す
る記憶手段とを具備し、前記合成画像上の指定した位置
に欠陥判定結果を書き込み、前記表示手段に指定した位
置の透視画像またはラミノ画像の原画像にその情報を加
えて表示することを特徴とする。
置は、前記画像表示手段の表示情報上で任意の位置を指
定し、情報を書き込んだり、位置の指示を行なう指示手
段と、図形上の座標を画像のディレクトリとして記憶す
る記憶手段とを具備し、前記合成画像上の指定した位置
に欠陥判定結果を書き込み、前記表示手段に指定した位
置の透視画像またはラミノ画像の原画像にその情報を加
えて表示することを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１０】更に、請求項３記載の本発明のＸ線検査装
置は、前記合成画像の指定位置の透視画像またはラミノ
画像の原画像を読み出して表示した画像上に合成画像を
縮小してはめ込むワイプ手段を具備し、該ワイプ手段に
よりワイプ画像中に表示されている透視画像またはラミ
ノ画像位置と検査結果を特徴づけてすることを特徴とす
る。
置は、前記合成画像の指定位置の透視画像またはラミノ
画像の原画像を読み出して表示した画像上に合成画像を
縮小してはめ込むワイプ手段を具備し、該ワイプ手段に
よりワイプ画像中に表示されている透視画像またはラミ
ノ画像位置と検査結果を特徴づけてすることを特徴とす
る。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１１】請求項４記載の本発明のＸ線検査装置は、
前記被検体の形状、構成部品の配置、検査を必要とする
部位の情報を有する情報提供手段を具備し、前記情報に
基づき指定された部位の透視検査を行うことを特徴とす
る。
前記被検体の形状、構成部品の配置、検査を必要とする
部位の情報を有する情報提供手段を具備し、前記情報に
基づき指定された部位の透視検査を行うことを特徴とす
る。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１２】また、請求項５記載の本発明のＸ線検査補
修装置は、放射線を発生する放射線源と該放射線源に対
向して配設された２次元の放射線検出領域を有する放射
線検出手段と前記放射線源と放射線検出手段の間に設け
られた被検体に対して複数の方向から透視画像を得るよ
うに被検体を移動させる移動手段と得られた透視画像と
透視方向の情報から所望の面の断層像を再構成するラミ
ノグラフ画像再構成手段と画像および図形情報を任意の
倍率に変換し得る画像拡大縮小手段と画像および図形情
報を表示する表示手段と得られた透視画像または該透視
画像から再構成されたラミノ画像および被検体の形状を
表す図形を同一の縮尺で合成した合成画像を作成する合
成画像作成手段と前記合成画像、透視画像またはラミノ
画像を表示する画像表示手段とを有するＸ線検査装置
と、このＸ線検査装置との間で画像を含むＸ線検査結果
および補修の結果を通信し制御する制御手段と、前記画
像を含むＸ線検査結果を表示し、補修結果を入力する表
示入力手段とを具備し、前記被検体の補修を行った後、
再度被検体の補修した部位を再検査することを特徴とす
る。
修装置は、放射線を発生する放射線源と該放射線源に対
向して配設された２次元の放射線検出領域を有する放射
線検出手段と前記放射線源と放射線検出手段の間に設け
られた被検体に対して複数の方向から透視画像を得るよ
うに被検体を移動させる移動手段と得られた透視画像と
透視方向の情報から所望の面の断層像を再構成するラミ
ノグラフ画像再構成手段と画像および図形情報を任意の
倍率に変換し得る画像拡大縮小手段と画像および図形情
報を表示する表示手段と得られた透視画像または該透視
画像から再構成されたラミノ画像および被検体の形状を
表す図形を同一の縮尺で合成した合成画像を作成する合
成画像作成手段と前記合成画像、透視画像またはラミノ
画像を表示する画像表示手段とを有するＸ線検査装置
と、このＸ線検査装置との間で画像を含むＸ線検査結果
および補修の結果を通信し制御する制御手段と、前記画
像を含むＸ線検査結果を表示し、補修結果を入力する表
示入力手段とを具備し、前記被検体の補修を行った後、
再度被検体の補修した部位を再検査することを特徴とす
る。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１３】また、請求項６記載の本発明のＸ線検査補
修装置は、被検体を所定の位置に位置決めする位置決め
手段と、前記被検体の指定された位置に光学的な特徴づ
けを行なう位置表示手段と、この位置表示手段を制御す
る位置表示制御手段とを具備し、検査済みの前記被検体
の前記合成画像上の欠陥位置を当該被検体上に表示する
ことを特徴とする。
修装置は、被検体を所定の位置に位置決めする位置決め
手段と、前記被検体の指定された位置に光学的な特徴づ
けを行なう位置表示手段と、この位置表示手段を制御す
る位置表示制御手段とを具備し、検査済みの前記被検体
の前記合成画像上の欠陥位置を当該被検体上に表示する
ことを特徴とする。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１４】請求項７記載の本発明のＸ線検査補修装置
は、位置表示手段は欠陥種により光学的な特徴を変化さ
せて表示することを特徴とする。請求項８記載の本発明
のＸ線検査補修装置は、被検体の形状、構成部品の配
置、検査を必要とする部位の情報を有する情報提供手段
を具備し、前記情報に基づき指定された部位の透視検査
を行うことを特徴とする。
は、位置表示手段は欠陥種により光学的な特徴を変化さ
せて表示することを特徴とする。請求項８記載の本発明
のＸ線検査補修装置は、被検体の形状、構成部品の配
置、検査を必要とする部位の情報を有する情報提供手段
を具備し、前記情報に基づき指定された部位の透視検査
を行うことを特徴とする。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１５】
【作用】請求項１記載の本発明のＸ線検査装置では、放
射線源と放射線検出手段の間に設けられた被検体を移動
させて複数の方向から得られた被検体の透視画像から再
構成されたラミノ画像および被検体の形状を表す図形を
同一の縮尺で合成した合成画像を作成し、合成画像、透
視画像またはラミノ画像を表示することができる。
射線源と放射線検出手段の間に設けられた被検体を移動
させて複数の方向から得られた被検体の透視画像から再
構成されたラミノ画像および被検体の形状を表す図形を
同一の縮尺で合成した合成画像を作成し、合成画像、透
視画像またはラミノ画像を表示することができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１６】また、請求項２記載の本発明のＸ線検査装
置では、表示情報上で任意の位置をし、合成画像上の指
定した位置に欠陥判定結果を書き込み、指定した位置の
透視画像またはラミノ画像の原画像にその情報を加えて
表示することができる。
置では、表示情報上で任意の位置をし、合成画像上の指
定した位置に欠陥判定結果を書き込み、指定した位置の
透視画像またはラミノ画像の原画像にその情報を加えて
表示することができる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１７】更に、請求項３記載の本発明のＸ線検査装
置では、合成画像の指定位置の透視画像またはラミノ画
像の原画像を読み出して表示した画像上に合成画像を縮
小してワイプ画像としてはめ込み、ワイプ画像中に表示
されている透視画像またはラミノ画像位置と検査結果を
特徴づけて表示できる。
置では、合成画像の指定位置の透視画像またはラミノ画
像の原画像を読み出して表示した画像上に合成画像を縮
小してワイプ画像としてはめ込み、ワイプ画像中に表示
されている透視画像またはラミノ画像位置と検査結果を
特徴づけて表示できる。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１８】更に、請求項４記載の本発明のＸ線検査装
置では、被検体の形状、構成部品の配置、検査を必要と
する部位の情報に基づいて指定された部位の透視検査を
行う。
置では、被検体の形状、構成部品の配置、検査を必要と
する部位の情報に基づいて指定された部位の透視検査を
行う。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１９】また、請求項５記載の本発明のＸ線検査補
修装置では、前記Ｘ線検査装置との間で画像を含むＸ線
検査結果および補修の結果を通信制御し、前記画像を含
むＸ線検査結果を表示し、補修結果を入力し、被検体の
補修を行った後、再度被検体の補修した部位を再検査す
ることができる。
修装置では、前記Ｘ線検査装置との間で画像を含むＸ線
検査結果および補修の結果を通信制御し、前記画像を含
むＸ線検査結果を表示し、補修結果を入力し、被検体の
補修を行った後、再度被検体の補修した部位を再検査す
ることができる。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２０】更に、請求項６記載の本発明のＸ線検査補
修装置では、被検体を所定の位置に位置決めし、被検体
の指定された位置に光学的な特徴づけを行い、検査済み
の被検体の合成画像上の欠陥位置を被検体上に表示する
ことができる。
修装置では、被検体を所定の位置に位置決めし、被検体
の指定された位置に光学的な特徴づけを行い、検査済み
の被検体の合成画像上の欠陥位置を被検体上に表示する
ことができる。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２１】請求項７記載の本発明のＸ線検査補修装置
では、欠陥種により光学的な特徴を変化させて表示する
ことができる。請求項８記載の本発明のＸ線検査補修装
置では、被検体の形状、構成部品の配置、検査を必要と
する部位の情報に基づいて指定された部位の透視検査を
行うことができる。
では、欠陥種により光学的な特徴を変化させて表示する
ことができる。請求項８記載の本発明のＸ線検査補修装
置では、被検体の形状、構成部品の配置、検査を必要と
する部位の情報に基づいて指定された部位の透視検査を
行うことができる。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３１】上述した動作の流れは図４にフローチャー
トとして示されている。なお、図４において、ＲＯＩは
関心領域を示している。まず、ＣＡＤデータを読み込み
（ステップ４０）、この読み込んだＣＡＤデータに基づ
いて被検体の撮影位置の認識を行う（ステップ４１）。
その後、認識した撮影位置に基づいて、スキャン位置制
御を行い、ラミノ撮影を行う（ステップ４２）。そし
て、このラミノ撮影により得られたラミノ画像をＣＲＴ
ディスプレイ上に表示し（ステップ４３）、この表示さ
れた画像に基づいて、検査・判定および判定結果の入力
を行う（ステップ４４）。その後、ラミノ画像・透視画
像およびこれらの画像位置（ＣＡＤ上の座標位置）、判
定結果を記憶し（ステップ４５）、記憶したラミノ画像
と透視画像の縮尺修正を行うと共に、ＣＡＤデータとＸ
線画像の合成欠陥のある画像に色付け処理を行う（ステ
ップ４６）。この色付け処理により、合成画像を表示
し、欠陥のある画像に色付けを行い（ステップ４７）、
合成画像上でＲＯＩを推定し（ステップ４８）、ＲＯＩ
の画像を表示する（ステップ４９）。図５（ａ）は透視
画像とＣＡＤ図形の縮尺の合わせ方を示すフローチャー
トである。同図においては、まずＸ線ジオメトリを入力
し（ステップ５１）、Ｘ線像倍率の演算を行う（ステッ
プ５２）。このＸ線像倍率の求め方はＸ線焦点、物体位
置、センサ位置（ＦＳＤ，ＦＯＤ）から求める方法、Ｐ
ＷＢ上の既知の寸法を有する物体の透視画像から求める
もの、物体のＸ線焦点からの位置をＸ線的または光学的
に測定するものなどがある。図５（ｂ）はＸ線ジオメト
リを示している。
トとして示されている。なお、図４において、ＲＯＩは
関心領域を示している。まず、ＣＡＤデータを読み込み
（ステップ４０）、この読み込んだＣＡＤデータに基づ
いて被検体の撮影位置の認識を行う（ステップ４１）。
その後、認識した撮影位置に基づいて、スキャン位置制
御を行い、ラミノ撮影を行う（ステップ４２）。そし
て、このラミノ撮影により得られたラミノ画像をＣＲＴ
ディスプレイ上に表示し（ステップ４３）、この表示さ
れた画像に基づいて、検査・判定および判定結果の入力
を行う（ステップ４４）。その後、ラミノ画像・透視画
像およびこれらの画像位置（ＣＡＤ上の座標位置）、判
定結果を記憶し（ステップ４５）、記憶したラミノ画像
と透視画像の縮尺修正を行うと共に、ＣＡＤデータとＸ
線画像の合成欠陥のある画像に色付け処理を行う（ステ
ップ４６）。この色付け処理により、合成画像を表示
し、欠陥のある画像に色付けを行い（ステップ４７）、
合成画像上でＲＯＩを推定し（ステップ４８）、ＲＯＩ
の画像を表示する（ステップ４９）。図５（ａ）は透視
画像とＣＡＤ図形の縮尺の合わせ方を示すフローチャー
トである。同図においては、まずＸ線ジオメトリを入力
し（ステップ５１）、Ｘ線像倍率の演算を行う（ステッ
プ５２）。このＸ線像倍率の求め方はＸ線焦点、物体位
置、センサ位置（ＦＳＤ，ＦＯＤ）から求める方法、Ｐ
ＷＢ上の既知の寸法を有する物体の透視画像から求める
もの、物体のＸ線焦点からの位置をＸ線的または光学的
に測定するものなどがある。図５（ｂ）はＸ線ジオメト
リを示している。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正内容】
【図４】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正内容】
【図５】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１０】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０６Ｔ 1/00 Ｇ０９Ｇ 5/36 ５２０ Ｎ 9471−5Ｇ Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｃ 7630−4Ｍ Ｓ 7630−4Ｍ Ｈ０４Ｎ 7/18 Ｌ Ｂ (72)発明者 森 三樹 神奈川県横浜市磯子区新磯子町33番地 株 式会社東芝生産技術研究所内 (72)発明者 鈴木 博勝 東京都府中市東芝町１番地 株式会社東芝 府中工場内
Claims (8)
- 【請求項１】 放射線源、該放射線源に対向して配設さ
れた２次元の放射線検出領域を有する放射線検出手段、
前記放射線源と放射線検出手段の間に設けられた被検体
に対して多くの方向から透視画像を得ることができるよ
うに被検体を移動させる移動手段、得られた透視画像と
透視方向の情報から所望の面の断面像を再構成するラミ
ノグラフ画像再構成手段を有するラミノグラフィ装置に
おいて、画像および図形情報を任意の倍率に変換し得る
画像拡大縮小手段と、画像および図形情報を表示する表
示手段と、得られた透視画像または該透視画像から再構
成されたラミノ画像および被検体の形状を表す図形を同
一の縮尺で合成した合成画像を作成する合成画像作成手
段とを有し、前記合成画像、透視画像またはラミノ画像
を画像表示手段に表示できることを特徴とするＸ線検査
装置。 - 【請求項２】 前記画像表示手段の表示情報上で任意の
位置をポイント指定し、情報を書き込んだり、位置の指
示を行う指示手段と、図形上の座標を画像のディレクト
リとして記憶できる記憶手段とを有し、前記合成画像上
の指定した位置に欠陥判定結果を書き込むことができ、
指定した位置の透視画像またはラミノ画像の原画像にそ
の情報を加えて表示することができることを特徴とする
請求項１記載のＸ線検査装置。 - 【請求項３】 前記合成画像の指定位置の透視画像また
はラミノ画像の原画像を読み出して表示した画像上に合
成画像を縮小してはめ込むワイプ手段を有し、該ワイプ
手段によりワイプ画像中に表示されている透視画像また
はラミノ画像位置と検査結果を特徴づけて表示できるこ
とを特徴とする請求項２記載のＸ線検査装置。 - 【請求項４】 被検体の形状、構成部品の配置、検査を
必要とする部位の情報を有する情報提供手段を備え、前
記情報を用いて指定された部位の透視検査を行うことを
特徴とする請求項１，２または３記載のＸ線検査装置。 - 【請求項５】 放射線源、該放射線源に対向して配設さ
れた２次元の放射線検出領域を有する放射線検出手段、
前記放射線源と放射線検出手段の間に設けられた被検体
に対して多くの方向から透視画像を得ることができるよ
うに被検体を移動させる移動手段、得られた透視画像と
透視方向の情報から所望の面の断面像を再構成するラミ
ノグラフ画像再構成手段を有するラミノグラフィ装置に
おいて、画像および図形情報を任意の倍率に変換し得る
画像拡大縮小手段と、画像および図形情報を表示する表
示手段と、得られた透視画像または該透視画像から再構
成されたラミノ画像および被検体の形状を表す図形を同
一の縮尺で合成した合成画像を作成する合成画像作成手
段とを有し、前記合成画像、透視画像またはラミノ画像
を画像表示手段に表示できるＸ線検査装置とともに被検
体の検査および補修を行う検査補修装置であって、前記
Ｘ線検査装置との間で画像を含むＸ線検査結果および補
修の結果を通信し制御できる制御手段と、前記画像を含
むＸ線検査結果を表示し、補修結果を入力する表示入力
手段とを有し、被検体の補修を行った後、再度検査工程
に被検体を戻し、補修した位置のみを再検査することが
できることを特徴とする検査補修装置。 - 【請求項６】 被検体を所定の位置に位置決めする位置
決め手段と、被検体の指定された位置に光学的な特徴づ
けができる位置表示手段と、それらの位置決めおよび特
徴づけの制御を行う制御手段とを有し、検査済みの被検
体の前記合成画像上の欠陥位置を被検体上に表示できる
ことを特徴とする請求項５記載の検査補修装置。 - 【請求項７】 前記位置表示手段は欠陥種により光学的
な特徴を変化させて表示し得るものであることを特徴と
する請求項６記載の検査補修装置。 - 【請求項８】 被検体の形状、構成部品の配置、検査を
必要とする部位の情報を有する情報提供手段を備え、前
記情報を用いて指定された部位の透視検査を行うことを
特徴とする請求項５，６または７記載の検査補修装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6097796A JPH07306165A (ja) | 1994-05-12 | 1994-05-12 | Ｘ線検査装置およびｘ線検査補修装置 |
| US08/439,106 US5594768A (en) | 1994-05-12 | 1995-05-11 | Laminograph and inspection and repair device using the same |
| EP95303194A EP0683389A1 (en) | 1994-05-12 | 1995-05-11 | Laminograph and inspection and repair device using the same |
| KR1019950011784A KR0164931B1 (ko) | 1994-05-12 | 1995-05-12 | 단층촬영기 및 그를 사용한 검사 및 수리장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6097796A JPH07306165A (ja) | 1994-05-12 | 1994-05-12 | Ｘ線検査装置およびｘ線検査補修装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07306165A true JPH07306165A (ja) | 1995-11-21 |
Family
ID=14201769
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6097796A Pending JPH07306165A (ja) | 1994-05-12 | 1994-05-12 | Ｘ線検査装置およびｘ線検査補修装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07306165A (ja) |
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2008275352A (ja) * | 2007-04-26 | 2008-11-13 | Hitachi Ltd | 配管の検査方法及び配管の検査装置 |
| WO2010055727A1 (ja) * | 2008-11-11 | 2010-05-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出装置、放射線画像取得システム、放射線検査システム、及び放射線検出方法 |
| WO2010055728A1 (ja) * | 2008-11-11 | 2010-05-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出装置、放射線画像取得システム及び放射線の検出方法 |
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| US20130083896A1 (en) * | 2011-10-04 | 2013-04-04 | Takashi Watanabe | Apparatus, x-ray irradiation method, and structure manufacturing method |
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| JP2015158407A (ja) * | 2014-02-24 | 2015-09-03 | アンリツ産機システム株式会社 | Ｘ線検査装置 |
| JP2015158406A (ja) * | 2014-02-24 | 2015-09-03 | アンリツ産機システム株式会社 | Ｘ線検査装置 |
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| JP2020020730A (ja) * | 2018-08-03 | 2020-02-06 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | Ｘ線透過検査装置及びｘ線透過検査方法 |
-
1994
- 1994-05-12 JP JP6097796A patent/JPH07306165A/ja active Pending
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