JP2017181402A - 検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】被検物中の異物を精度良く検出することができる検査装置を提供する。【解決手段】検査装置1は、本体部2と、被検物61をY方向に搬送するベルトコンベア51と、検査装置1の各部の作動を制御する制御装置とを有している。本体部2は、ケーシング4と、被検物61にX線を照射するX線源5と、X線を用いて被検物61を撮像する撮像部6および7とを有している。X線源5、撮像部6および7は、それぞれ、ケーシング4に設置されている。撮像部7は、撮像部6とは異なる位置に配置されている。検査の際は、X線源5により被検物61にX線を照射し、撮像部6および7により、それぞれ、被検物61を撮像する。制御装置では、判別部により、各画像データに基づいて、被検物61中の異物の有無を判別する。【選択図】図3
Description
本発明は、検査装置に関するものである。
近年、電化製品や携帯電話等の高性能化が進んできており、半導体装置においても、小型化、薄型化、高性能化が要請されている。このため、半導体装置における回路、端子、ボンディングワイヤー等が高密度化する傾向にある。
また、半導体装置における回路、端子、ボンディングワイヤー等の高密度化に伴い、半導体装置の封止に用いられる樹脂には、高い絶縁性が要求されるようになっている。
このため、半導体装置の封止に用いられる樹脂中の異物、特に金属異物の量を少なくすることが必要である。
ところで、従来の半導体装置の封止に用いられる樹脂の製造は、エポキシ樹脂粉末、充填材粉末及びその他の添加物の粉末又は液体を、金属製の混合装置を用いて混合し、次に、この混合物を、金属製の二軸加熱ロール機又は二軸加熱混練装置を用いて混練して、シートに加工し、次にこの混練シートを冷却し、粉砕機で粉砕することにより行われる。
この製造方法であると、金属製の混合装置や金属製の二軸加熱ロール機又は二軸加熱混練装置の金属摩耗等により、樹脂中に金属異物が混入する恐れがある。
しかし、金属異物が混入した樹脂を用いると、半導体装置において短絡が生じる恐れがあり、絶縁性が不十分となって、前述した半導体装置の高密度化にとって不利となる。
従来の異物を検出する検査装置としては、X線を用いて絶縁性樹脂中の金属粉異物を検出する装置が知られている。例えば、検出器にCCDセンサーカメラを用いるX線装置が開発されている(例えば、特許文献1、特許文献2参照)。
しかしながら、絶縁性樹脂等の被検物中の異物の形状や姿勢は、様々であるので、従来の異物の検査装置では、異物のX線が透過する方向の厚さが薄い場合は、CCDセンサーカメラで撮像して得られる画像のコントラストが低く、異物を精度よく検出することができないという欠点がある。
本発明の目的は、被検物中の異物を精度良く検出することができる検査装置を提供することにある。
本発明の目的は下記(1)〜(10)の本発明によって達成される。
(1) 被検物にX線を照射するX線源と、
前記被検物を撮像する第1の撮像部と、
前記第1の撮像部とは異なる位置に配置され、前記被検物を撮像する第2の撮像部と、
前記X線源により前記被検物にX線を照射し、前記第1の撮像部および前記第2の撮像部により前記被検物を撮像して得られる画像データに基づいて、前記被検物中の異物の有無を判別する判別部とを備えることを特徴とする検査装置。
(1) 被検物にX線を照射するX線源と、
前記被検物を撮像する第1の撮像部と、
前記第1の撮像部とは異なる位置に配置され、前記被検物を撮像する第2の撮像部と、
前記X線源により前記被検物にX線を照射し、前記第1の撮像部および前記第2の撮像部により前記被検物を撮像して得られる画像データに基づいて、前記被検物中の異物の有無を判別する判別部とを備えることを特徴とする検査装置。
(2) 前記被検物と、前記第1の撮像部および前記第2の撮像部とを相対的に変位させる変位機構を有する上記(1)に記載の検査装置。
(3) 前記変位機構は、前記被検物を搬送する搬送機構と、前記被検物と前記第1の撮像部および前記第2の撮像部とを相対的に回転させる回転機構とを有する上記(2)に記載の検査装置。
(4) 前記搬送機構は、隙間を有しており、
前記第1の撮像部および前記第2の撮像部は、それぞれ、前記被検物を撮像する際は、前記X線源から発せられ、前記隙間を通過したX線を受光する上記(3)に記載の検査装置。
前記第1の撮像部および前記第2の撮像部は、それぞれ、前記被検物を撮像する際は、前記X線源から発せられ、前記隙間を通過したX線を受光する上記(3)に記載の検査装置。
(5) 前記異物が有ると判別された前記被検物を振り分ける振り分け機構を有する上記(1)ないし(4)のいずれかに記載の検査装置。
(6) 前記振り分け機構は、前記異物が有ると判別された前記被検物に圧縮気体を吹き付ける噴射装置を有する上記(5)に記載の検査装置。
(7) 前記振り分け機構は、前記異物が有ると判別された前記被検物にマーカーを付すマーキング装置を有する上記(5)または(6)に記載の検査装置。
(8) 前記X線源と前記第1の撮像部との距離と、前記X線源と前記第2の撮像部との距離とは、等しい上記(1)ないし(7)のいずれかに記載の検査装置。
(9) 前記X線源と、前記第1の撮像部および前記第2の撮像部との距離を変更する距離変更機構を有する上記(1)ないし(8)のいずれかに記載の検査装置。
(10) 前記被検物は、半導体封止用絶縁性樹脂材料で構成される上記(1)ないし(9)のいずれかに記載の検査装置。
本発明によれば、互いに異なる位置に配置された第1の撮像部と第2の撮像部とにより互いに異なる方向から撮像して得られたそれぞれの画像データに基づいて、被検物中の異物の有無を判別するので、被検物中の異物を精度良く検出することができる。すなわち、被検物中に異物が存在する場合に、例えば、第1の撮像部と第2の撮像部とのうちの一方で撮像して得られた画像データからは異物が検出されない場合でも、他方で撮像して得られた画像データから異物が検出されることが期待される。これにより、高精度の検出を行うことができる。
以下、本発明の検査装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
<第1実施形態>
図1は、本発明の検査装置の第1実施形態における本体部を示す斜視図である。図2は、図1に示す検査装置のブロック図である。図3は、図1に示す検査装置の本体部をベルトコンベアの近傍に設置した状態を示す斜視図である。
<第1実施形態>
図1は、本発明の検査装置の第1実施形態における本体部を示す斜視図である。図2は、図1に示す検査装置のブロック図である。図3は、図1に示す検査装置の本体部をベルトコンベアの近傍に設置した状態を示す斜視図である。
なお、以下では、説明の都合上、図1および図3に示すように、互いに直交するX軸、Y軸およびZ軸を想定する。また、X軸およびY軸を含む平面と、X軸およびY軸のそれぞれに平行な平面とが水平面である。また、Z軸の方向が鉛直方向である。また、X軸の方向(X軸に平行な方向)を「X方向」とも言い、Y軸の方向(Y軸に平行な方向)を「Y方向」とも言い、Z軸の方向(Z軸に平行な方向)を「Z方向」とも言う。また、X軸、Y軸およびZ軸において、それぞれ、軸の矢印の方向をプラス側、矢印と反対の方向をマイナス側と言う。
図1〜図3に示す検査装置1は、被検物(検査対象物)中の異物を検出、すなわち、異物の有無を判別(判定)する装置である。検査装置1の説明の前に、まず、被検物について説明する。
被検物の構成材料は、特に限定されず、例えば、樹脂組成物、紙、ゴム、セラミックス等の絶縁性材料(非金属)が挙げられる。また、これらのうちの2以上を含むものでもよい。そして、樹脂材料、特に半導体封止用樹脂材料で構成される塊状物が好ましい。
以下、被検物として、半導体封止用樹脂材料で構成される塊状物を例に挙げ、その1例について説明する。
前記半導体封止用樹脂材料は、特に限定されず、例えば、エポキシ樹脂と、フェノール樹脂と、硬化促進剤と、無機充填剤とを含むものである。その形態も特に限定されないが、本実施形態では、塊状物、特にタブレット状をなしたものである。タブレット状の樹脂材料は、粉末状、ペレット状または小塊状のものを打錠して得られたものが挙げられる。
前記エポキシ樹脂は、特に限定されず、例えば、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、トリフェニルメタン型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂等があげられる。これらは、単独で使用できるほか、2種以上を併用してもよい。
前記フェノール樹脂は、上記エポキシ樹脂の硬化剤としての作用を奏するものであり、特に限定されるものではなく、例えば、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールA型ノボラック樹脂、ナフトールノボラック樹脂、フェノールアラルキル樹脂等があげられる。これらは、単独で使用できるほか、2種以上を併用してもよい。
前記エポキシ樹脂とフェノール樹脂との配合割合は、エポキシ樹脂中のエポキシ基1当量あたり、フェノール樹脂中の水酸基が0.5〜2.0当量となるように配合することが好ましい。より好ましくは、0.8〜1.2当量である。前記範囲であると、半導体封止用樹脂材料の絶縁性が向上し好ましい。
前記硬化促進剤は、特に限定されるものではなく、例えば、アミン型やリン型等のものが挙げられる。そのうちアミン型の例としては、2−イミダゾール等のイミダゾール類、トリエタノールアミンや1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7等の三級アミン類等が挙げられる。また、リン型の例としては、トリフェニルホスフィン、テトラフェニルホスホニウム・テトラフェニルボレート等があげられる。これらは、単独で使用できるほか、2種以上を併用してもよい。
前記硬化促進剤の配合割合は、半導体封止用樹脂材料全体の0.05〜2.0質量部の割合に設定することが好ましい。さらに、半導体封止用樹脂材料の流動性を考慮すると、より好ましくは、0.10〜0.35質量部である。
前記無機充填剤は、特に限定されるものではなく、非金属であればよい。非金属であれば、検査装置1のX線源5よりX線を照射したとき、撮像部6および7に画像(映像)として映らないため、金属異物(異物)として認識されることがない。非金属の無機充填剤としては、例えば、石英ガラス粉末、シリカ粉末、アルミナ、タルク等があげられる。特に好ましくは、球状溶融シリカ粉末、破砕シリカ粉末があげられる。これらは、単独で使用できるほか、2種以上を併用してもよい。
前記無機充填剤の配合割合は、半導体封止用樹脂材料全体の70〜90質量部が好ましく、より好ましくは、75〜90質量部である。前記範囲であると、半導体封止用樹脂材料の耐熱性が向上し好ましい。
さらに、上記無機充填剤の平均粒径は、1〜150μmであることが好ましく、より好ましくは、5〜75μmである。前記範囲内であると、半導体封止用樹脂材料の流動性が向上し好ましい。
また、必要に応じて、ブロム化エポキシ樹脂等のハロゲン系難燃剤、三酸化アンチモン等の難燃助剤、β−(3,4−エポキシシンクロヘキシル)エチルトリメトキシシランやγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン等のシランカップリング剤、カルナバワックス等の離型剤等の他の添加剤を適宜用いても差し支えない。
被検物は、通常、塊状物であって、塊状物の形状は特に限定されず、例えば、立方体状、直方体状等の角柱状、円柱状、楕円柱状、半円柱状、円筒状、円錐状、円錐台状、球状、半球状等が挙げられる。
なお、以下では、被検物の形状が円柱状の場合を例に挙げて説明する。
被検物の寸法は、特に限定されないが、高さ(厚さ)は、10mm以上30mm以下であることが好ましく、15mm以上28mm以下であることがより好ましい。また、直径は、10mm以上30mm以下であることが好ましく、15mm以上18mm以下であることがより好ましい。前記範囲内であると、塊状物の取り扱い性(例えば、搬送、保管、成形の際の取り扱い性。以下同じ)の向上と、検査の精度(感度)の向上の両立を図ることができ、好ましい。
被検物の寸法は、特に限定されないが、高さ(厚さ)は、10mm以上30mm以下であることが好ましく、15mm以上28mm以下であることがより好ましい。また、直径は、10mm以上30mm以下であることが好ましく、15mm以上18mm以下であることがより好ましい。前記範囲内であると、塊状物の取り扱い性(例えば、搬送、保管、成形の際の取り扱い性。以下同じ)の向上と、検査の精度(感度)の向上の両立を図ることができ、好ましい。
以下、半導体封止用樹脂材料で構成される塊状物である被検物を単位タブレットと言う。
単位タブレットは、例えば、次のようにして製造することができる。まず、前記各成分を加熱溶融混合する。混合したものをミキシングロールや押し出し式の混練機等を用いて加熱状態で溶融混練した後、これを室温下で冷却固化させる。その後、任意の手段によって粉砕するという一連の工程により混合粉末を作製する。次に前記混合粉末を打錠することにより、単位タブレットを製造する。
次に、検査装置1について説明する。
検査装置1は、被検物61中の異物を検出する装置である。異物としては、特に限定されないが、本実施形態では、異物が金属異物の場合を例に挙げて説明する。
検査装置1は、被検物61中の異物を検出する装置である。異物としては、特に限定されないが、本実施形態では、異物が金属異物の場合を例に挙げて説明する。
図1〜図3に示すように、検査装置1は、本体部2と、被検物61をY方向のプラス側に搬送(移動)するベルトコンベア51と、検査装置1の各部の作動(駆動)を制御する制御装置3とを有している。なお、ベルトコンベア51は、X線が透過し得る構成のものである。また、ベルトコンベア51は、被検物を搬送する搬送機構の一例であり、また、被検物と、後述する撮像部6および7とを相対的に変位させる変位機構の一例である。
本体部2は、ケーシング4と、被検物61にX線を照射するX線源5と、X線を用いて被検物61を撮像する撮像部(第1の撮像部)6および撮像部(第2の撮像部)7とを有している。X線源5、撮像部6および7は、それぞれ、ケーシング4に設置されている。
図3に示すように、本体部2は、ベルトコンベア51の近傍に、着脱可能に設置される。これにより、ベルトコンベア51がY方向に長い場合等、ベルトコンベア51のいずれの位置にも本体部2を配置することができ、検査を行う位置を任意に設定することができる。
前記本体部2のケーシング4の形状は、特に限定されないが、本実施形態では、コの字状をなしている。すなわち、ケーシング4は、図1中上側に配置された天井部41と、図1中下側に配置された床部42と、天井部41と床部42とを連結する側壁43とを有している。天井部41と床部42とは、所定距離離間し、互いに対向するように配置されている。また、天井部41、床部42および側壁43の形状は、それぞれ、特に限定されないが、本実施形態では、四角形の板状をなしている。また、天井部41と床部42とは平行である。
そして、ケーシング4の内側に、X線源5、撮像部6および7が設置されている。具体的には、X線源5は、天井部41の下面に設置され、撮像部6は、床部42の上面に設置されている。また、撮像部6は、X線源5の図1中の真下、すなわち、Z方向のマイナス側に配置されている。
なお、X線源5、撮像部6および7の位置関係は、これに限定されず、例えば、X線源5が図1中の下側、撮像部6および7が図1中の上側に配置されていてもよい。
また、撮像部7は、撮像部6とは異なる位置、本実施形態では、床部42の上面側であって、撮像部6よりもY方向のプラス側に配置されている。すなわち、被検物61の移動方向を前方とした場合、撮像部7は、X線源5の斜め前方に配置されている。これにより、撮像部6と撮像部7とで、被検物61を異なる2方向から撮像することができる。
また、X線源5と撮像部6との距離と、X線源5と撮像部7との距離とは等しく設定されている。これにより、撮像部6と撮像部7として共通の装置(同一の画角の装置)を用いることができる。なお、床部42の上面には、台44が設置されており、撮像部7は、その台44上に設置されている。
なお、X線源5と撮像部6との距離と、X線源5と撮像部7との距離とは異なっていてもよい。例えば、撮像部6と撮像部7とで異なる倍率で撮像する場合は、X線源5と撮像部6との距離と、X線源5と撮像部7との距離とは、それぞれの倍率に応じた距離に設定される。
また、X線源5としては、特に限定されないが、例えば、X線管等が挙げられる。X線管としては、管電圧が30〜100kV、管電流が0.1〜1.0mA、焦点寸法が0.1mmのX線管が好ましい。
また、X線源5からは、X線が拡散光として出射される。そのX線の広がり角度θ(図1参照)は、特に限定されず、諸条件に応じて適宜設定されるものである。
また、撮像部6および7は、それぞれ、X線検出器として用いられる。撮像部6および7としては、それぞれ、特に限定されず、例えば、電荷結合素子(CCD)やCMOS等を用いたイメージセンサのような電子撮像素子、すなわち、CCDイメージセンサ、CMOSイメージセンサ等が挙げられる。また、前記イメージセンサとしては、例えば、1次元イメージセンサ(ラインセンサ)、2次元イメージセンサ(エリアセンサ)(電子カメラ)等が挙げられる。なお、以下では、撮像部6および7のそれぞれにおいて、画素の部分を、画像素子とも言う。
この撮像部6および7では、それぞれ、受光面にX線が照射されると、そのX線を受光し、光電変換し、各画像素子からそれぞれ画素信号を出力する。
本実施形態では、撮像部6および7として、それぞれ、CCDラインセンサ(CCDイメージセンサ)の一種であるTDI(Time Delay Integration)カメラを用いる。
そのTDIカメラは、ライン状に配列されたCCDの列を複数列有するラインセンサである。複数列のCCDで得られた画素信号(画像)を加算(積算)することで、高いコントラストの画像を得ることができる。
本実施形態では、ベルトコンベア51により被検物61をY方向のプラス側に移動させつつ、TDIカメラで被検物61を撮像することにより、被検物61全体の画像データを得ることができる。
また、本実施形態では、被検物61の移動方向および速度と、CCDの電荷転送の方向および速度(タイミング)とが同一に設定される。
TDIカメラの動作を具体的に説明すると、まず、TDIカメラの1列目のCCDで得られた画素信号は、そのまま2列目のCCDに転送される。そして、2列目のCCDでは、前記1列目のCCDから転送された画素信号に、2列目のCCDで得られた画素信号を加算して蓄積し、その画素信号をそのまま3列目のCCDに転送する。一般化すると、m列目(mは2以上の整数)のCCDでは、m列目のCCDで得られた画素信号を、(m−1)列目まで累積された画素信号に加算して、(m+1)列目のCCDに転送する。したがって、a列のCCDを有するTDIカメラでは、画素信号はa倍となって蓄積され、出力される。すなわち、a列分の積分露光が行われ、約a倍のコントラストが得られる。これにより、高解像度でありながら、明るくかつ鮮明な画像が得られる。
ここで、被検物61の移動速度は、本実施形態では、CCDの電荷転送の速度と同一であるが、CCDの電荷転送の速度よりも遅いことが好ましい。
すなわち、被検物61の移動速度は、CCDの電荷転送の速度の1/nとすることが好ましい。nは、2以上の整数(例えば、n=2)であることが好ましく、諸条件に応じて適宜設定される。被検物61の移動速度がCCDの電荷転送の速度と同一の場合は、1つのCCDで被検物61の同一箇所を1回撮像するのに対し、1/nの場合は、1つのCCDで被検物61の同一箇所をn回撮像することとなり、さらにコントラストを向上させることができる。
また、被検物61の移動速度をCCDの電荷転送の速度の1/nに設定した場合は、得られた画像をY方向に1/nに圧縮する画像処理を行う。この画像処理の1例としては、例えば、被検物61の移動速度をCCDの電荷転送の速度の1/2に設定した場合は、Y方向に隣接する2つの画素のデータをそれぞれ2乗し、加算する。
なお、撮像部6と撮像部7とは、同一の装置でもよく、また、異なる装置でもよい。また、撮像部6と撮像部7との倍率等の各設定は、それぞれ、同一でもよく、また、異なっていてもよい。
制御装置3は、各制御を行う制御部8と、各情報(データ)を記憶する記憶部9とを有している。制御部8は、判別(判定)を行う判別部81や図示しない演算部等を有している。この制御装置3は、例えば、CPU(Central Processing Unit)やメモリー等が内蔵されたパーソナルコンピューター(PC)等で構成することができる。
制御装置3は、記憶部9に記憶されたプログラムに基づいて、検査装置1の各部を制御し、被検物61の検査、すなわち、被検物61中の異物の検出等を行なう。
なお、制御装置3は、本体部2に設けられていてもよく、また、本体部2とは、別体であってもよい。
次に、検査装置1の被検物61の異物についての検査の際の動作について説明する。
図3に示すように、まず、被検物61は、ベルトコンベア51によりY方向のプラス側に搬送される。被検物61の姿勢は、特に限定されないが、本実施形態では、円柱状の被検物61の中心軸の方向がY方向となるように設定されている。
図3に示すように、まず、被検物61は、ベルトコンベア51によりY方向のプラス側に搬送される。被検物61の姿勢は、特に限定されないが、本実施形態では、円柱状の被検物61の中心軸の方向がY方向となるように設定されている。
そして、X線源5の図3中の下方に被検物61が位置したとき、すなわち、X線源5と撮像部6および7との間に被検物61が位置したとき、X線源5により被検物61にX線を照射し、撮像部6および7により、それぞれ、被検物61を撮像する。これにより、被検物61は、異なる2方向から撮像される。なお、撮像部6による撮像と撮像部7による撮像のタイミングは、同一でもよく、また、異なっていてもよいが、本実施形態では、同一である。
撮像部6および7では、それぞれ、各画像素子で、被検物61を透過したX線を受光し、光電変換し、各画像素子から画素信号を出力する。なお、被検物61中に異物が存在する場合は、その異物の部分では、異物のX線が透過する方向の厚さに応じてX線量が減少する。
撮像部6および7により撮像して得られた2つの画像データは、それぞれ、制御装置3に送信される。
制御装置3では、図示しない画像処理部により、各画像データに対し、それぞれ、所定の画像処理を行い、判別部81により、各画像データに基づいて、被検物61中の異物の有無を判別する。
この場合、判別部81は、予め所定の閾値を設定しておき、2つの画像データについて、それぞれ、閾値と、画像データから求まる被検物61の各部の輝度とを比較する。そして、2つの画像データのうちの少なくとも1つにおいて、輝度が閾値よりも小さい部位が存在する場合は、「異物が有る」、すなわち「不合格(不良品)」と判別する。また、2つの画像データの両方において、輝度が閾値よりも小さい部位が存在しない場合は、「異物が無い」、すなわち「合格(良品)」と判別する。以上で、被検物61の異物についての検査が終了する。
なお、前記閾値は、撮像部6により撮像して得られた画像データと、撮像部7により撮像して得られた画像データとで、同一でもよく、また、異なっていてもよい。
以上説明したように、検査装置1によれば、被検物61中の異物を精度良く検出することができる。
すなわち、撮像部6と撮像部7とが互いに異なる位置に配置されているので、撮像部6および7により、互いに異なる2方向から被検物61を撮像することができる。これにより、被検物61中に異物が存在する場合、撮像部6と撮像部7とのうちの少なくとも一方では、異物の姿勢が、X線が透過する方向の厚さが厚くなる姿勢になることが期待される。したがって、例えば、撮像部6と撮像部7とのうちの一方で撮像して得られた画像データからは異物が検出されない場合でも、他方で撮像して得られた画像データから異物が検出されることが期待される。これにより、高精度の検出を行うことができる。
そのため、検査装置1を、半導体封止用樹脂材料で構成される単位タブレット(塊状物)の金属異物についての検査に適用した場合、単位タブレットに存在する金属粉を確実に検出することができ、短絡の原因となる金属異物の混入を排除し、半導体装置における回路、端子、ボンディングワイヤー等の高密度化に寄与することができる。
また、X線源と撮像部とを1つずつ設け、X線源と撮像部とのうちの一方の位置を変更する位置変更機構を設け、その位置変更機構によりX線源または撮像部の位置を変更して異なる2方向から被検物を撮像する装置に比べて、前記位置変更機構が不要であるので、装置の構成を簡素化でき、また、装置を小型化することができる。
また、前記位置変更機構を設ける場合は、被検物61を移動させつつ撮像することはできず、一旦、被検物61を停止させる必要があるが、検査装置1では、被検物61を移動させつつ撮像することができるので、検査のスループットを向上させることができる。
ここで、本発明では、X線源5と、撮像部6および7との距離を変更する距離変更機構を設けてもよい。この距離変更機構としては、例えば、X線源5をZ方向に移動する機構、撮像部6および7をZ方向に移動する機構等が挙げられる。また、この場合、撮像部7をY方向に移動させる機構も設けることが好ましい。これより、撮像部6および7をZ方向に移動することにより、撮像部6および7の撮像領域を任意に調整することができる。
例えば、撮像部6および7をX線源5(被検物61)から離間させることにより、撮像部6および7の撮像領域を広くすることができ、これにより、同時に、複数の被検物61を撮像することができ、検査のスループットを向上させることができる。なお、被検物61を1つずつ撮像する場合は、撮像部6および7をX線源5(被検物61)に接近させることが好ましい。
また、ベルトコンベア51は、複数設けられていてもよい。この場合は、各ベルトコンベア51に対し、それぞれ、本体部2が設けられる。これにより、同時に、複数の被検物61に対して異物についての検査を行うことができる。
<第2実施形態>
図4は、本発明の検査装置の第2実施形態であって、検査装置の本体部をベルトコンベアの近傍に設置した状態を示す斜視図である。
図4は、本発明の検査装置の第2実施形態であって、検査装置の本体部をベルトコンベアの近傍に設置した状態を示す斜視図である。
以下、第2実施形態について、前述した第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図4に示すように、第2実施形態の検査装置1は、さらに、ロボット21を有している。ロボット21は、被検物61と、撮像部6および7とを相対的に回転させる回転機構の一例である。このロボット21とベルトコンベア51とで変位機構が構成される。
ロボット21は、被検物61等の対象物を把持することが可能な把持部として、ハンド211を有している。このロボット21の作動(駆動)は、制御装置3により制御される。このロボット21により、ハンド211で被検物61を把持し、その被検物61を変位させることができる、すなわち、被検物61を所定の位置に移動させたり、また、被検物61の姿勢を所定の姿勢に変更することができる。
次に、検査装置1の被検物61の異物についての検査の際の動作について簡単に説明する。
まず、1回目では、第1実施形態と同様にして、撮像部6により撮像して得られた画像データと、撮像部7により撮像して得られた画像データとを取得する。
次に、2回目では、ロボット21により、被検物61の姿勢を変更する。例えば、被検物61をZ軸周りに所定角度、例えば、90°回転(回動)させる。また、ロボット21により、被検物61を位置91に配置する。そして、第1実施形態と同様にして、撮像部6により撮像して得られた画像データと、撮像部7により撮像して得られた画像データとを取得する。
また、2回目では、前記の動作に代えて、ロボット21により、被検物61の姿勢を変更し、被検物61を位置92に配置してもよい。この場合は、ベルトコンベア51により、被検物61をY方向のマイナス側に移動させつつ、撮像を行う。
このようにして、合計で、異なる4方向から撮像して得られた4つの画像データが取得される。そして、判別部81により、各画像データに基づいて、被検物61中の異物の有無を判別する。
この場合、判別部81は、4つの画像データについて、それぞれ、閾値と、画像データから求まる被検物61の各部の輝度とを比較する。そして、4つの画像データのうちの少なくとも1つにおいて、輝度が閾値よりも小さい部位が存在する場合は、「異物が有る」、すなわち「不合格(不良品)」と判別する。また、4つの画像データのすべてにおいて、輝度が閾値よりも小さい部位が存在しない場合は、「異物が無い」、すなわち「合格(良品)」と判別する。
以上のような第2実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を発揮することができる。
また、この検査装置1では、異なる4方向から撮像して得られた4つの画像データを取得することができるので、被検物61中の異物の検出精度をさらに向上させることができる。
<第3実施形態>
図5は、本発明の検査装置の第3実施形態であって、検査装置の本体部をベルトコンベアの近傍に設置した状態を示す斜視図である。
図5は、本発明の検査装置の第3実施形態であって、検査装置の本体部をベルトコンベアの近傍に設置した状態を示す斜視図である。
以下、第3実施形態について、前述した第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図5に示すように、第3実施形態の検査装置1は、さらに、圧縮空気(圧縮気体)を噴射する噴射装置22と、被検物61にマーカー62を付すマーキング装置(図示せず)とを有している。噴射装置22は、圧縮空気を噴射するノズル221を有している。この噴射装置22およびマーキング装置により、異物が有ると判別された被検物61を振り分ける振り分け機構が構成される。また、噴射装置22およびマーキング装置の作動(駆動)は、制御装置3により制御される。
次に、検査装置1の被検物61の異物についての検査の際の動作について簡単に説明する。
まず、マーキング装置により、異物が有ると判別された被検物61にマーカー62が付される。
そして、噴射装置22により、ノズル221からマーカー62が付された被検物61に圧縮空気を噴射し、吹き付ける。これにより、その被検物61は、ベルトコンベア51から所定の容器内に振り分けられる。
以上のような第3実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を発揮することができる。
なお、振り分け機構としては、前記の構成に限定されず、マーキング装置に代えて、例えば、被検物61を追跡するトラッキング装置を設けてもよい。このトラッキング装置により、ベルトコンベア51で順次搬送される各被検物61の順番を把握し、例えば、3番目に搬送される被検物61が異物が有ると判別された被検物61の場合、その3番目の被検物61が噴射装置22のノズル221の先端に搬送されてきたとき、噴射装置22により、ノズル221から被検物61に圧縮空気を噴射し、吹き付ける。
<第4実施形態>
図6は、本発明の検査装置の第4実施形態であって、検査装置の本体部をベルトコンベアの近傍に設置した状態を示す斜視図である。
図6は、本発明の検査装置の第4実施形態であって、検査装置の本体部をベルトコンベアの近傍に設置した状態を示す斜視図である。
以下、第4実施形態について、前述した第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図6に示すように、第4実施形態の検査装置1は、Y方向に沿って並んで配置された2つのベルトコンベア51を有している。
また、一方のベルトコンベア51と、他方のベルトコンベア51との間には、所定の長さの隙間52が形成されている。この隙間52の長さは、被検物61が、一方のベルトコンベア51から他方のベルトコンベア51に移動できる程度に設定される。
被検物61の異物についての検査の際は、撮像部6および7は、それぞれ、X線源5から発せられ、隙間52を通過したX線を受光する。これにより、ベルトコンベア51の映り込みによりノイズが生じることを防止することができる。これにより、被検物61中の異物の検出精度をさらに向上させることができる。
以上のような第4実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を発揮することができる。
<第5実施形態>
図7および図8は、それぞれ、本発明の検査装置の第5実施形態における画像処理を説明するための図である。
図7および図8は、それぞれ、本発明の検査装置の第5実施形態における画像処理を説明するための図である。
以下、第5実施形態について、前述した第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第5実施形態の検査装置1では、撮像部6および7により撮像して得られた各画像データについて、それぞれ、制御装置3の図示しない画像処理部により、X線カメラによる特徴的なノイズを除去する画像処理を行う。以下、その画像処理の一例を説明するが、代表的に、撮像部6により撮像して得られた画像データの画像処理を説明する。
図7に示すように、撮像部6により撮像して得られた画像71のいずれかの箇所に、所定の閾値を超える輝度を有する高輝度部72が存在する場合、その高輝度部72を、高輝度部72の周辺の輝度を用いて補正する。具体例としては、図8に示すように、高輝度部72の輝度を、高輝度部72の周辺の部分73の輝度の平均値に変更する。これにより、被検物61中の異物の検出精度をさらに向上させることができる。なお、周辺の部分73は、図8では、説明のために適当に図示されており、実際は、諸条件に応じて、適宜設定される。
以上のような第5実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を発揮することができる。
以上、本発明の検査装置を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、他の任意の構成物が付加されていてもよい。
また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の2以上の構成(特徴)を組み合わせたものであってもよい。
また、前記実施形態では、撮像部として、第1の撮像部と第2の撮像部との2つが設けられているが、本発明では、これに限定されず、例えば、3つ以上の撮像部が設けられていてもよい。
また、前記実施形態では、被検物と、第1の撮像部および第2の撮像部とが相対的に移動している際に、第1の撮像部および第2の撮像部により撮像するように構成されているが、本発明では、これに限定されず、例えば、第1の撮像部および第2の撮像部に対して被検物が停止した状態で撮像するように構成されていてもよい。
また、前記実施形態では、検出する異物は、金属異物であるが、本発明では、これに限定されず、異物は、例えば、空隙等の金属以外のものであってもよい。
1 検査装置
2 本体部
3 制御装置
4 ケーシング
41 天井部
42 床部
43 側壁
44 台
5 X線源
6、7 撮像部
8 制御部
81 判別部
9 記憶部
21 ロボット
211 ハンド
22 噴射装置
221 ノズル
51 ベルトコンベア
52 隙間
61 被検物
62 マーカー
71 画像
72 高輝度部
73 周辺の部分
91、92 位置
2 本体部
3 制御装置
4 ケーシング
41 天井部
42 床部
43 側壁
44 台
5 X線源
6、7 撮像部
8 制御部
81 判別部
9 記憶部
21 ロボット
211 ハンド
22 噴射装置
221 ノズル
51 ベルトコンベア
52 隙間
61 被検物
62 マーカー
71 画像
72 高輝度部
73 周辺の部分
91、92 位置
Claims (10)
- 被検物にX線を照射するX線源と、
前記被検物を撮像する第1の撮像部と、
前記第1の撮像部とは異なる位置に配置され、前記被検物を撮像する第2の撮像部と、
前記X線源により前記被検物にX線を照射し、前記第1の撮像部および前記第2の撮像部により前記被検物を撮像して得られる画像データに基づいて、前記被検物中の異物の有無を判別する判別部とを備えることを特徴とする検査装置。 - 前記被検物と、前記第1の撮像部および前記第2の撮像部とを相対的に変位させる変位機構を有する請求項1に記載の検査装置。
- 前記変位機構は、前記被検物を搬送する搬送機構と、前記被検物と前記第1の撮像部および前記第2の撮像部とを相対的に回転させる回転機構とを有する請求項2に記載の検査装置。
- 前記搬送機構は、隙間を有しており、
前記第1の撮像部および前記第2の撮像部は、それぞれ、前記被検物を撮像する際は、前記X線源から発せられ、前記隙間を通過したX線を受光する請求項3に記載の検査装置。 - 前記異物が有ると判別された前記被検物を振り分ける振り分け機構を有する請求項1ないし4のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記振り分け機構は、前記異物が有ると判別された前記被検物に圧縮気体を吹き付ける噴射装置を有する請求項5に記載の検査装置。
- 前記振り分け機構は、前記異物が有ると判別された前記被検物にマーカーを付すマーキング装置を有する請求項5または6に記載の検査装置。
- 前記X線源と前記第1の撮像部との距離と、前記X線源と前記第2の撮像部との距離とは、等しい請求項1ないし7のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記X線源と、前記第1の撮像部および前記第2の撮像部との距離を変更する距離変更機構を有する請求項1ないし8のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記被検物は、半導体封止用絶縁性樹脂材料で構成される請求項1ないし9のいずれか1項に記載の検査装置。
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