JP2007109506A - 紫外線照射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光透過窓を有する筐体6内に、ランプ1aと反射ミラー1bとを有する光源部1と、送風機3と、冷却風を冷却する冷却機2とを設ける。送風機3から送りだされた冷却風は上記光源部1と上記筐体6の間に形成された通風路を通って光源部1内に導入されランプ1a,反射ミラー1bを冷却し、反射ミラー1bに設けられた冷却風通風孔1cを介して冷却機2に導入される。冷却機2で冷却された冷却風は送風機3に戻される。
【選択図】図1
Description
ランプは点灯中の加熱を防ぐため冷却風により冷却されるが、最近、冷却風の消費を低減させるため、冷却風を循環させる装置が提案されており、例えば特許文献1、特許文献2の記載のものが知られている。
特許文献1の図1には、光源ランプ11や反射ミラー12等を冷却した冷却風が、冷却機20において冷却された後、排気ブロア22により循環風路に供給され、筐体17に流入するようにした光照射器の循環空冷システムが示されている(例えば段落[0023]の記載など参照)。
特許文献2の図1には、ランプハウス50、ケミカルフィルタ・ファン・ユニット12及びホース14、16よりなる循環経路内で、水銀ランプ56を冷却する冷却風が循環するランプ装置が示されている(例えば段落[0028]の記載など参照)。上記ケミカルフィルタ・ファン・ユニット12には、送風部22とクーラー(冷却部)20とが含まれている。
紫外線照射装置は、ランプ1aやミラー1bから構成される光源部1を内蔵するランプハウス10(光照射部)と、送風機21や冷却機22を内蔵する補機20と、光照射部10と補機20を接続するダクト30a,30bと、光照射部10と補機20に電力を供給する電源装置から構成される。なお、図6においては、図面が煩雑になるのを避けるため、電源装置を省略し、光照射部と補機のみを示している。
光照射部10には、高圧水銀ランプやメタルハライドランプ等の紫外線を放射する棒状のランプ1aと、棒状ランプ1aの長さに応じ、ランプからの紫外線を反射する樋状の反射ミラー1bとからなる光源部1が設けられている。また、光照射部10の光が出射する側には、ランプ1aと反射ミラー1bからの紫外線を透過する透過窓10a(例えば石英窓)が設けられている。
光照射部10と補機20には、それぞれ排気口10b,20bと吸気口10c,20cが設けられており、光照射部10の排気口10bと補機20の吸気口20cはダクト30aにより、また、光照射部10の吸気口10cと補機20の排気口20bは、ダクト30bにより接続されている。
ランプ1aが点灯されると、ランプ1aおよび反射ミラー1bおよび光照射部10全体を冷却するため送風機21が回転し、冷却風が発生する。冷却風は送風機21から押し出され、補機20の排気口20bからダクト30bを通って光照射部10の吸気口10cに送り込まれる。
光照射部10に入った冷却風は、ランプ1aと反射ミラー1bおよび光照射部10全体を冷却し、80°C〜100°Cの温度になり、光照射部10の排気口10bから排気される。
このようにして、冷却風は光照射部10と補機20との間を循環する。したがって、光照射装置がクリーンルームに置かれる場合、冷却風として、温度湿度ダストの量が厳密に管理されたクリーンエアーを大量に消費するのを防ぐことができる。
(i) 光照射部10と補機20とをつなぐダクト30aには、ランプ1aや反射ミラー1bを冷却し、80°C〜100°Cに温度が上昇した冷却風が流れるので、ダクト30aも加熱されて温度が高くなっている。
そのため、作業者が接触するのを防ぐためにカバー等が必要となり、装置の大型化の原因となる。
(ii)光照射部1台につき、1台の補機が必要である。補機が必要な分、紫外線照射装置が占有する床面積(フットプリント)が大きくなる。なお、一台の大型補機で複数の光照射部を冷却することも考えられるが、その場合は、各光照射部に冷却風を配分するための制御機構が必要となるなど、装置が複雑となる。
(iii) 光照射部10と補機20とは2本のダクトにより接続されており、このダクトが空間を這うので、装置全体が大型化し見栄えも悪い。
図7は、約1mの棒状のランプを内蔵する光照射部10を8台並べ、2m〜2.5m四方の領域に紫外線を照射する装置を上から見た図である。このような装置は、例えば、大画面の液晶パネルを貼り合せるための装置として使用される。
8台の光照射部10の周りには、8台の補機20が配置され、その間は16本のダクト30により接続される。同図からもわかるように、装置全体が大型化し見栄えも悪い。
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであって、本発明の目的は、冷却風を循環させて光源部を冷却する光照射装置において、温度が上昇した冷却風により熱くなった部分が外部に露出せず、また、装置が大型化せず、装置が占有する床面積を小さくすることができる紫外線照射装置を提供することである。
(1)紫外線が透過する透過窓を有する筐体内に、ランプと、該ランプからの紫外線を反射する反射ミラーとを有する光源部を設け、この筐体内に、上記ランプと反射ミラーを冷却する冷却風を発生させる送風機と、該冷却風を冷却する冷却機とを設ける。
上記光源部の反射ミラーの頂部には、冷却風が流れる開口部が設けられており、上記ランプとこの開口部と上記冷却機は一直線上に配置される。
上記送風機から送りだされた冷却風は上記光源部と上記筐体の間に形成された通風路を通って光源部内に導入されて光源部内を冷却し、該光源部から出た冷却風は上記開口部から冷却機に導入され冷却機で冷却されて上記送風機に戻される。
(2)上記(1)において、上記筐体内に、上記光源部を複数設け、各光源部にそれぞれ送風機と冷却機を設ける。
(3)上記(1)(2)において、反射ミラーの開口部と冷却機との間に、冷却機の大きさに対応した受け皿兼遮光板を設ける。
(1)ランプとミラーから構成される光源部が、冷却機や送風機とともに、筐体中に設けられ、光源部内で温度が上昇した冷却風は、ミラーの開口部を通って冷却機に導入されて冷却されるので、温度が上昇した冷却風が筐体の外壁に沿って流れる事がない。
このため、筐体の外壁の温度は比較的低い温度に保たれ、特別な冷却機構や防熱カバーを用いる必要がない。
(2)送風機や冷却機が光源部とともに筐体中に収納され、補機がなくなる。このため、光照射部と補機とを接続するダクトは不要となり、見栄えがよくなる。また、装置が占有する床面積も小さくなり、装置の小型化を図ることができる。
(3)冷却風が筐体内を循環するので、光照射装置がクリーンルームに置かれる場合、補機を設けた従来例の装置と同様、温度湿度ダストの量が厳密に管理されたクリーンエアーを、冷却風の供給のために大量に消費するのを防ぐことができる。
(4)一つの筐体中に複数の光源部を設け、各光源部にそれぞれ送風機と冷却機を設ければ、複数の光照射部を並べて大面積の領域に紫外線を照射する装置にも容易に適用することができ、装置が大型化することもない。
(5)反射ミラーの開口部と冷却機との間に、冷却機の大きさに対応した受け皿兼遮光板を設けることにより、冷却されて冷却風が結露した場合、あるいは冷却機から冷却水が漏れた場合であっても、ランプに水滴が掛かることがない。
また、ランプからの光は、受け皿兼遮光板で遮光される。このため、ランプからの光が反射ミラーの開口部と冷却機の隙間を通って筐体内に漏れ、迷光として筐体内に設けられたケーブル、機器類などに悪影響を与えるのを防ぐことができる。
図1、図2に示すように、本実施例の紫外線照射装置は、ランプ1aとランプ1aからの紫外線を反射する反射ミラー1bを有する光源部1と、冷却風を冷却する冷却機2(ラジエータ)と、冷却風を発生させる送風機3(ブロア)の3つのユニットを取り囲むように、光源部1から出射する紫外線を透過させる透過窓6aを有する筐体6が設けられている。筐体6と光源部1の間には隙間が設けられ、これが通風路を構成する。
反射ミラー1bの頂部には、棒状ランプの長手方向と同じ方向に伸びる開口(冷却風通風孔)1cが形成されており、冷却風通風孔1cの上部には、ランプ1aや反射ミラー1bを冷却し温度が高くなった冷却風を冷却するための冷却機(ラジエータ)2が設けられる。すなわち、ランプ1aと上記反射ミラー1bに設けられた冷却風通風孔1cと冷却機は一直線上に配置されている。
上記冷却機2には冷却水が流されており、温度が高くなった冷却風が内部を通過すると熱交換により冷却される。
ラジエータ2と、ランプ1a及び反射ミラー1bとからなる光源部1との間には、受け皿兼遮光板5が設けられている。
受け皿兼遮光板5は、ラジエータにより冷却風が結露した場合や、ラジエータ2が漏水した場合に備えて水を受ける受け皿の機能を有するとともに、ランプ1aからの光が筐体6内に漏れるのを防止するための遮光板の機能を有する。
すなわち、受け皿兼遮光板5がないと、ランプ1aからの光は図3に示すように上記冷却風通風孔1c及び冷却機2のフィン2aの隙間を通って筐体6内に漏れて迷光となり、筐体6内に配線されたケーブル類や機器に悪影響を与える可能性があるが、受け皿兼遮光板5を設けることで、光が漏れるのを防止することができる。
また、受け皿兼遮光板5には、漏水センサ(図示せず)が取り付けられており、漏水が検知されれば、装置はランプを消灯するとともにラジエータ2への給水を止める。また、受け皿兼遮光板5は、ラジエータ内の冷却水が全て漏れても受け止められる容量になるよう、その深さが計算されている。
ラジエータ2のさらに上部には、ランプ1aや反射ミラー1b等を冷却する冷却風を発生させる送風機(ブロア)3が設けられる。
光源部1、冷却機2(ラジエータ)、送風機3(ブロア)の3つのユニットは、筐体6により取り囲まれる。光源部1と筐体6には隙間があり、この隙間が冷却風通風路4となる。
また、筐体6の、光源部1の紫外線が出射する側には、紫外線を透過する光透過窓6aが設けられる。光透過窓6aは例えば石英窓や、特定の波長のみを透過する多層膜が形成された波長選択フィルタ、例えば赤外線カットフィルタからなる。
光源部1のランプ1aからの紫外線、または反射ミラー1bにより反射された紫外線は、この光透過窓6aを介して紫外線照射装置から出射し、紫外線処理を行うワークWに照射される。
ランプ1aが点灯するとともに、ブロア3が回転し、これにより、ランプ1aや反射ミラー1b等を冷却する冷却風が発生する。
冷却風は、光源部1の光出射側、即ち反射ミラー1bの下側の開口部から取り込まれ、ランプ1a及び反射ミラー1b等を冷却する。冷却風は 80°C〜100°C程度に温度が上昇し、反射ミラー1aの頂部に設けられた冷却風通風孔1cに流れ込む。
冷却風通風孔1cに流れ込んだ冷却風は、受け皿兼遮光板5を迂回しラジエータ2に入る。ラジエータ2では、温度が高くなった冷却風が熱交換により冷却され、約40°Cにまで下がる。
温度が下がった冷却風は、ブロア3により筐体6内に出され、光源部1と筐体6の間に形成されている通風路を通って、再び光源部1内に、光出射側から冷却風として取り込まれる。
また、冷却風が光源部1と筐体6の間を常に流れるので、光源部1の温度が高い部分の熱が、筐体6に伝わりにくく、筐体6の温度が高くなるのを防ぐことができる。
上記のように、筐体6の外側、すなわち紫外線照射装置の外側の温度を低く抑えることができ、筐体6の外側に、特別な冷却機構や防熱カバーを用いる必要がない。
なお、筐体6の光透過窓6aを単なる開口にすると、送風機3が動作し、冷却風が生じた時、筐体6の外から上記開口を介して光源部1に冷却風が流れ込み、冷却風を循環させることができなくなる。したがって、上記光透過窓6aは紫外線を透過させる部材で覆われている必要があるが、必ずしも筐体6を完全な密閉空間とする必要はない。
(1)上記実施例では、光源部1に光透過窓は設けられていないが、設けても良い。ただし、光源部1がこの光透過窓により密閉されると冷却風が取り込まれなくなるので、光源部1には冷却風を取り入れる開口を別途設ける必要がある。
(2)上記実施例では、送風機3(ブロア)は、光源部1の上に支持されているが、光源部1から離して設けても良い。
図4は、送風機3(ブロア)を、筐体6により支持した構成例である。ブロア3の位置は、冷却風の流れや、光源部1と筐体6の間の隙間によるコンダクタンスを考慮して、最適な位置にすればよい。
(3)上記実施例では、冷却機2(ラジエータ)も、光源部1の上に支持されているが、光源部1から離して設けても良い。ただし、そのようにすると、冷却前の熱い冷却風が流れる距離が長くなるので、筐体6内において温度の高くなる部分が増え、装置の高さも高くる。したがって、光源部1とラジエータ2とはなるべく接近させることが望ましい。
広い領域に紫外線を照射する場合、図1、図2に示した装置を複数並べても良いが、図4に示すように、複数の光源部1を、各光源部1に対して設けられたラジエータ2をブロア3とともに、一つの筐体6内に収納しても良い。この場合、筐体6内のエアーは、複数の光源部1を冷却する冷却風として共有される。
図5において、各ブロア3から出た冷却風は、光源部1と筐体6の隙間、または光源部1どうしの隙間(通風路4)を通過して、光源部1の光出射側から複数の光源部1に取り込まれ、ランプ1a及び反射ミラー1b等を冷却する。冷却風は冷却風通風孔1cから受け皿兼遮光部5を迂回しラジエータ2に入り、熱交換により冷却される。
温度が下がった冷却風は、ブロア3により筐体6内に出され、光源部1と筐体6の間に形成されている通風路4を通って、再び光源部1内に、光出射側から冷却風として取り込まれる。
本実施例では、上記のように複数の光源部1を一つの筐体内に収納しているので、筐体6の数を減らすことができ、装置全体を小型化しコストを下げることができる。
1a ランプ
1b 反射ミラー
2 冷却機(ラジエータ)
3 送風機(ブロア)
5 受け皿兼遮光板
6 筐体
6a 光透過窓
Claims (3)
- 紫外線が透過する透過窓を有する筐体と、
上記筐体内に設けられ、ランプと、該ランプからの紫外線を反射する反射ミラーとを有し、上記ランプから放射される紫外線が上記透過窓から出射するように配置された光源部とを備えた紫外線照射装置であって、
上記ランプと反射ミラーを冷却する冷却風を発生させる送風機と、該冷却風を冷却する冷却機とが上記筐体内に設けられ、
上記光源部の反射ミラーは、冷却風が流れる開口部を有し、
上記ランプと反射ミラーの開口部と上記冷却機は、一直線上に配置され、上記送風機から送りだされた冷却風は上記光源部と上記筐体の間に形成された通風路を通って、光源部内に導入されて光源部内を冷却し、
該光源部から出た冷却風は上記開口部から冷却機に導入され、冷却機で冷却されて、上記送風機に戻される
ことを特徴とする紫外線照射装置。 - 上記筐体内に、上記光源部が複数設けられ、各光源部にそれぞれ送風機と冷却機が設けられている
ことを特徴とする請求項1記載の紫外線照射装置。 - 上記反射ミラーの開口部と上記冷却機との間には、冷却機の大きさに対応した受け皿兼遮光板が設けられている
ことを特徴とする請求項1または請求項2記載の紫外線照射装置。
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