JP6227305B2 - Ｘ線発生装置及びｘ線検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、Ｘ線発生装置及びそれを用いたＸ線検査装置に関する。

Ｘ線発生装置は、例えば、食料品や工業製品などの被検査物に対して、Ｘ線を照射して、Ｘ線の透過量から被検査物中の異物等を検出するＸ線検査装置に用いられる（特許文献１等参照）。従来、この種のＸ線発生装置は、Ｘ線管から漏れ出るＸ線を遮蔽するために、このＸ線管を絶縁油を満たした容器に収容状態とし、この容器に鉛板などの遮蔽材を貼り付けるなどして設けていた。このため、鉛板などの量が多くなり、装置全体として重たくなる問題があった。そこで、Ｘ線管に遮蔽材を直接巻き付けることにより、容器の遮蔽材の使用量が少なくなるＸ線管装置の構造が特許文献２に開示されている。

このＸ線管装置は、フィラメントを有する陰極、陰極に所定距離離間して対向配置されその対向面に所定角度を持って設けられたターゲットを有する陽極、これら陰極及び陽極を真空密封するガラス円筒管からなるＸ線管を備える。Ｘ線管の外部には、ガラス円筒管を囲んで設けられ、充填材を介して固着された絶縁体層と、絶縁体層を囲んで設けられたＸ線遮蔽層とが備えられる。Ｘ線管のＸ線照射部前面となる絶縁体層及びＸ線遮蔽層の位置には、微小孔が設けられる。このＸ線管装置の構造によれば、Ｘ線管の外側に密着して微小孔を設けるため、小型のＸ線管装置を提供することができ、遮蔽材の使用量も減らして軽量化が可能となる。

特開２００１−３１８０６２号公報 特開２００８−３００１１８号公報

しかしながら、上記した従来のＸ線管装置は、Ｘ線管の外周面に鉛板を貼り、放電を防ぐための樹脂等の絶縁材を鉛との間に介在させている。このため、Ｘ線管より発生する熱がこもってしまい、熱を絶縁油に効率よく伝えることができない欠点を有している。

また、従来のＸ線管装置は、鉛板を直接Ｘ線管に固定することになるが、鉛は素材として柔らかいことから、製造時にガラス管に対して圧力をかけながら成形を行なうもので、すなわちガラス管に外力が加わる。このため、ガラス管が破損する虞、すなわちＸ線管を損壊してしまう虞があった。

さらに、Ｘ線管装置が連続使用されるＸ線検査装置では、耐用時間が短くなり、Ｘ線管の交換頻度が高くなる。従来のＸ線管装置を備えるＸ線検査装置は、鉛板ごとＸ線管を交換することとなり、メンテナンスコストが高くなる。また、巻かれた鉛板、絶縁材からＸ線管を取り出し分解することとなれば、メンテナンス作業が煩雑となる欠点を有する。

本発明は上記状況に鑑みてなされたもので、その目的は、Ｘ線管からの漏洩Ｘ線を遮蔽しながら、Ｘ線管から発生する熱を効率よく絶縁油に放熱でき、組付製造時におけるＸ線管の損壊を防ぎ、しかも、交換などのメンテナンスを容易とすることができるＸ線発生装置及びＸ線検査装置を提供することにある。

次に、上記の課題を解決するための手段を、実施の形態に対応する図面を参照して説明する。
本発明の請求項１記載のＸ線発生装置１０，１１０，２１０，３１０は、真空密閉されたガラス管１３の管内部に陰極１１と陽極１２が対向配置され管軸１４に交差する方向にＸ線を放出するＸ線照射フランジ１５が設けられるＸ線管８と、
遮蔽材２０と絶縁材２１が積層される底板１９と、前記Ｘ線照射フランジが取り付けられＸ線照射窓１８となる部位を底面７ａ上に有して内方に絶縁油９が満たされる容器７と、
前記底板１９に着脱自在に固定されて前記絶縁油９に浸され前記管軸１４の両側が開放されるとともに少なくともＸ線管内における前記陰極１１から前記陽極１２までを前記ガラス管１３の外側で間隙２４を有して該ガラス管１３の上方と側方とを囲み、前記底板１９とともに包囲し内側から絶縁材２６、遮蔽材２５及び支持材２７が積層されてなる遮蔽体４０，５０，６０，７０と、
を具備することを特徴とする。

このＸ線発生装置１０，１１０，２１０，３１０では、Ｘ線管８が、Ｘ線照射フランジ１５によって容器７の底面７ａに支持固定される。容器７底面７ａ上の底板１９には、間隙２４を有してＸ線管８を覆うように、遮蔽体４０，５０，６０，７０が取り付けられる。これにより、Ｘ線管８は、底板１９の遮蔽材２０と、遮蔽体４０，５０，６０，７０の遮蔽材２５とに覆われ、Ｘ線の漏洩が抑制される。Ｘ線管８と遮蔽体４０，５０，６０，７０との間隙２４には、絶縁油９が入り込むので、熱がこもらず、冷却能力を保ったまま遮蔽が可能となる。絶縁油９は、容器内を対流することで放熱効果が促進される。
また、このＸ線発生装置１０，１１０，２１０，３１０では、遮蔽体４０，５０，６０，７０が底板１９に直接支持され、Ｘ線管８のガラス管１３に遮蔽材２５の荷重負荷がかからないので、Ｘ線管８を破損させることがない。さらに、容器７から絶縁油９を抜き、遮蔽体４０，５０，６０，７０を底板１９から取り外すことで、容易にＸ線管８の交換が可能となる。

本発明の請求項２記載のＸ線発生装置２１０は、請求項１記載のＸ線発生装置１０であって、
前記遮蔽体６０は、陰極側が前記管軸１４に沿って前記陰極１１より外側へ延出して形成され、陽極側が前記ガラス管１３から導出される陽極放熱部１６を露出させて形成されていることを特徴とする。

このＸ線発生装置２１０では、放熱が比較的少なく、Ｘ線が多い陰極側は、陰極１１よりも延出し管軸１４に沿って長く形成された遮蔽体６０によって余裕をもって覆われ、漏洩Ｘ線の遮蔽効果が一層高められる。放熱が多く、Ｘ線が比較的少ない陽極側は、遮蔽体６０が管軸１４に沿って短く陽極放熱部１６を覆わず露出させて、ガラス管陽極側終端２９までが覆われ、この陽極部分での発熱が効率よく絶縁油９に伝達される。

本発明の請求項３記載のＸ線発生装置３１０は、請求項２記載のＸ線発生装置２１０であって、
前記遮蔽体７０は、前記ガラス管１３から導出される陽極放熱部１６の両側を挟む一対の遮蔽側板部３０を有し、前記一対の遮蔽側板部３０の上端縁間に前記陽極放熱部１６の上方が開放される切欠部３１が形成されていることを特徴とする。

このＸ線発生装置３１０では、陽極放熱部１６からの漏洩Ｘ線が、陽極放熱部１６を挟む両側の遮蔽側板部３０によって遮蔽される。Ｘ線管８は、管の部位によって熱の出る量が異なり、陽極側において一番熱が出る。陽極放熱部１６に接触して高温となった絶縁油９は、低密度となって浮力が生じ、切欠部３１を通過して上昇する。これにより、陽極側では、絶縁油９に対流を生じさせ、より効果的な冷却作用が得られる。

本発明の請求項４記載のＸ線検査装置１００は、請求項１，２，３のいずれか１つに記載のＸ線発生装置１０，１１０，２１０，３１０を組み込んだことを特徴とする。

このＸ線検査装置１００では、Ｘ線発生装置１０，１１０，２１０，３１０のＸ線管８に交換が生じた場合、Ｘ線発生装置１０，１１０，２１０，３１０における容器７の底板１９に取り付けられている遮蔽体４０，５０，６０，７０が取り外される。これにより、容器７の底で表出するＸ線管８を容易に交換できる。絶縁材、遮蔽材をガラス管に巻いた従来のＸ線管を全て交換する場合に比べ、Ｘ線管のみの交換となり、交換費用が安価となる。また、絶縁材、遮蔽材をガラス管に巻いた従来のＸ線管からＸ線管を取り出して交換する場合に比べ、交換作業が容易となる。

本発明に係る請求項１記載のＸ線発生装置によれば、Ｘ線管に対して間隙を有して配置される遮蔽体によって、漏洩Ｘ線を遮蔽しながら、発生した熱を効率よく絶縁油に放熱でき、Ｘ線管自体に鉛などの遮蔽材を巻き付け固定することが無く、製造時におけるガラス管の割れを起こすことがない。また、Ｘ線管と遮蔽体とは別体構成であり、着脱などの作業を含むメンテナンスを容易とすることができる。さらに、Ｘ線管と容器の側壁間において、遮蔽体を構成する絶縁材と遮蔽材とが介設されていることで、Ｘ線管自体に巻き付け固定する従来の遮蔽材と絶縁材の量に比して大きく構成でき、Ｘ線の遮蔽が行なえることから、容器側に構成させる遮蔽材の使用量を減らすことが可能となり、Ｘ線発生装置として軽量化を図ることが可能となるとともに、製造コストを削減することができる。

本発明に係る請求項２記載のＸ線発生装置によれば、遮蔽体を、陰極側が管軸に沿って陰極より外側へ延出して形成したので、Ｘ線管からの漏洩Ｘ線をより確実に遮蔽できるとともに、陽極側が管軸に沿って短く陽極放熱部を露出させて形成したので、Ｘ線管の陽極側からの熱を効率よく放熱できる。

本発明に係る請求項３記載のＸ線発生装置によれば、一対の遮蔽側板部によってＸ線管からのＸ線に対して高いＸ線遮蔽効果を得ながら、切欠部によって陽極放熱部の近傍に上向きの自然対流を生じさせ、陽極放熱部からの熱を効率よく絶縁油に放熱できる。

本発明に係る請求項４記載のＸ線検査装置によれば、Ｘ線管と遮蔽体とを別体構成としたことで、Ｘ線管交換のメンテナンスを容易とすることができる。

本発明の実施形態に係るＸ線発生装置を備えたＸ線検査装置の斜視図である。 図１に示したＸ線発生装置の管軸に沿う方向の側断面図である。 図１に示したＸ線発生装置の管軸直交方向の断面図である。 遮蔽体が蒲鉾形の変形例に係るＸ線発生装置の断面図である。 陰極を長く覆う遮蔽体を備えた変形例に係るＸ線発生装置の断面図である。 陽極側に切欠部の形成された遮蔽体を有する変形例に係るＸ線発生装置の斜視図である。 図６に示したＸ線発生装置の管軸に沿う方向の側断面図である。

以下、本発明に係る実施形態を図面を参照して説明する。
図１は本発明の実施形態に係るＸ線発生装置を備えたＸ線検査装置の斜視図、図２は図１に示したＸ線発生装置の管軸に沿う方向の側断面図、図３は図１に示したＸ線発生装置の管軸直交方向の断面図、図４は遮蔽体が蒲鉾形の変形例に係るＸ線発生装置の断面図、図５は陰極を長く覆う遮蔽体を備えた変形例に係るＸ線発生装置の断面図、図６は陽極側に切欠部の形成された遮蔽体を有する変形例に係るＸ線発生装置の斜視図、図７は図６に示したＸ線発生装置の管軸に沿う方向の側断面図である。
本実施形態に係るＸ線発生装置１０は、例えばＸ線検査装置１００に好適に用いられる。Ｘ線検査装置１００は、装置本体１の内部に、生肉、魚、加工食品、医薬等の被検査物を搬送するコンベア２と、搬送される被検査物を搬送路途中において異物を検出する異物検出部３と、を有している。

コンベア２は、不図示の駆動モータにより駆動され、搬入口４から搬入された被検査物を搬出口５へ搬出するようになっている。異物検出部３は、コンベア２の上方に設けられるＸ線発生装置１０とコンベア２の内側に設けられるＸ線検出器６と、で構成されている。

Ｘ線発生装置１０は、容器７の内部に設けられている円筒状のＸ線管８を絶縁油９（図２参照）に浸した構成となっている。Ｘ線発生装置１０は、高電圧発生装置（図示せず）でＸ線管８に、１０ｋＶ〜５００ｋＶ程度の電圧を印加する。これにより、Ｘ線管８の陰極１１からの電子ビームを陽極１２のターゲットに照射させてＸ線を生成する。Ｘ線管８は、その長手方向が被検査物の搬送方向に直交するように設けられている。生成されたＸ線は、下方のＸ線検出器６に向けて、長手方向に沿った不図示のスリットを介して、略円錐状のＸ線を略三角形状のスクリーン状にして照射する。

Ｘ線発生装置１０は、Ｘ線管８と、容器７と、遮蔽体４０と、を主要な構成としている。Ｘ線管８は、真空密閉されたガラス管１３の管内部に、陰極１１と陽極１２が対向配置される。Ｘ線管８は、管軸１４に交差する方向にＸ線を放出するＸ線照射フランジ１５が設けられる。陽極１２は、ガラス管１３の外方へ陽極放熱部１６が導出される。陰極１１は、ガラス管１３の外方へリード線１７が導出される。Ｘ線管８は、電子を高電圧で加速し、金属の陽極１２（対陰極）に衝突させてＸ線を発生させる。Ｘ線を取り出すＸ線照射窓１８は、一般的には、ベリリウムが用いられる。対陰極（ターゲット）には、タングステン、ロジウム、モリブデン、クロムなどが用いられる。

Ｘ線検出器６は、フォトダイオードと、フォトダイオード上に設けられたシンチレータとからなる複数のＸ線検出素子が用いられる。これらのＸ線検出素子が被検査物の搬送方向と直交する方向に並んでラインセンサ（Ｘ線センサ）が形成され、Ｘ線検査装置１００は、Ｘ線発生装置１０から搬送面上（コンベア２上）を搬送される被検査物にＸ線を照射して、透過Ｘ線を受けたＸ線検出器６から得られるＸ線透過量に基づいてこの被検査物を検査する。

容器７の底面７ａ上には、底板１９を有する。底板１９は、遮蔽材２０と絶縁材２１が積層される。また、底面７ａにＸ線照射フランジ１５が取り付けられる。このＸ線照射フランジ１５の取り付けられる部位がＸ線照射窓１８となる。容器７には、絶縁油９が満たされる。なお、図では省略しているが、容器７の側板も底板１９と同様の遮蔽材と絶縁材が積層される。

容器７底面７ａ上の底板１９には、遮蔽体４０が、例えば植設ボルト２２とナット２３等によって脱着自在に取り付けられる。遮蔽体４０は、絶縁油９に浸され、管軸１４の両側が開放される。この遮蔽体４０は、少なくともＸ線管８内における陰極１１から陽極１２までを、ガラス管１３の外側で間隙２４を有して包囲する。遮蔽体４０は、内側から絶縁材２６、遮蔽材２５及び支持材２７が積層されてなる。絶縁材２６としては、耐絶縁油性の樹脂やセラミックスが用いられる。遮蔽材２５としては、原子番号が２６以上の元素が用いられる。例えば、モリブデン、タングステン、ビスマス、バリウム、パラジウム、銀、インジウム、スズ、アンチモン、金、白金、鉛、鉄等、或はこれら混合物が用いられる。支持材２７としては、耐絶縁油性の金属、例えばステンレス鋼が用いられる。

遮蔽体４０は、下面が開放した略方形箱状に構成され、例えば図３に示すように、下縁に鍔部２８を有する略ハット形として形成できる。この他、図４に示すように、遮蔽体５０は、蒲鉾形として形成してもよい。蒲鉾形の遮蔽体５０によれば、遮蔽材２５，絶縁材２６の使用量を少なくして、Ｘ線発生装置１１０として小型化、軽量化を可能にすることができる。

また、図５に示すように、遮蔽体６０は、陰極側が管軸１４に沿って陰極１１より外側へ延出して形成され、陽極側１２が短く、ガラス管１３の外方に導出される陽極放熱部１６を覆わずに、例えば、ガラス管陽極側終端２９と一致して形成されることとしてもよい。

さらに、図６，図７に示すように、遮蔽体７０は、上記図５に示される遮蔽体６０と同様に陰極側が管軸１４に沿って陰極１１より外側へ延出して形成されるとともに、ガラス管１３から導出される陽極放熱部１６の両側を挟む一対の遮蔽側板部３０を有し、一対の遮蔽側板部３０の上方が切欠部３１となって開放されていてもよい。すなわち、遮蔽体７０は、Ｘ線管８の側方位置では陰極１１側と陽極１２側と双方に管軸１４に沿って外側へそれぞれ延出して形成されてＸ線管８よりも長尺な一対の遮蔽側板部３０となって覆っている。またこの遮蔽体７０は、Ｘ線管８の上方においては、陰極１１側では管軸１４に沿って延出し一対の遮蔽側板部３０とともに覆い、陽極１２側では短く覆わずに、例えばガラス管陽極側終端２９と一致して切欠部３１が形成され上方が開放されていて、この切欠部３１によってＸ線管８の陽極側が上方よりあらわになる。

次に、上記構成を有するＸ線発生装置１０の作用を説明する。
Ｘ線発生装置１０では、高電圧発生装置でＸ線管８に、１０ｋＶ〜５００ｋＶの電圧を印加する。具体的には、陰極のフィラメントに電流を流し、熱することで熱電子を放出させ、陽極と陰極の電位差で加速した熱電子が陽極のターゲットに衝突する。この衝突のエネルギーでＸ線が発生する。このＸ線を、Ｘ線照射フランジ１５のＸ線照射窓１８から照射Ｘ線３３（図７参照）として外部に照射する。

Ｘ線発生装置１０では、Ｘ線管８が、Ｘ線照射フランジ１５によって容器７の底面７ａに支持固定される。底面７ａ上の底板１９には、間隙２４を有してＸ線管８を覆うように、遮蔽体４０が取り付けられる。これにより、Ｘ線管８は、底板１９の遮蔽材２０と、遮蔽体４０の遮蔽材２５とに覆われ、Ｘ線の漏洩が抑制される。

遮蔽体４０は、例えばハット形、蒲鉾形で形成されるので、製造が容易となる。
遮蔽体４０は、内側となるＸ線管８側から絶縁材２６、遮蔽材２５、支持材２７が積層されてなる。遮蔽材２５は、例えば鉛からなる。軟らかい鉛からなる遮蔽材２５は、ステンレス鋼等からなる剛性の高い支持材２７によって貼着等によって支持される。支持材２７に支持された遮蔽材２５の内側には、Ｘ線管８からの放電を防止する絶縁材２６が貼られる。絶縁油９が貯められた容器７は、上部に空気層３４を有する。

遮蔽体４０は、Ｘ線管８との間隙２４に、絶縁油９が介在するので、絶縁材２６の厚さを薄く設定することが可能となっている。

なお、従来の絶縁材、遮蔽材をＸ線管に巻いていた構造では、ガラス管に荷重負荷がかかる。Ｘ線管は、中央のＸ線照射フランジを支点として容器に支持固定されることになるので、管軸に沿う方向に長く遮蔽材が巻かれると、バランスが崩れ易くなって、破損の要因となる。これに対し、本構成によれば、Ｘ線管８と別体構成である遮蔽体４０が底板１９に直接支持され、ガラス管１３に遮蔽材２５の荷重負荷がかからないので、Ｘ線管８を破損させることがない。

また、従来構造では、ガラス管と遮蔽材との間に、樹脂等の絶縁材が挟入されていたため、熱が逃げにくく、Ｘ線管に熱がこもっていた。これに対し、本構成では、Ｘ線管８と遮蔽体４０との間隙２４に、絶縁油９が入り込むので、熱がこもらず、冷却能力を保ったまま遮蔽が可能となる。つまり、絶縁油９は、絶縁のため以外に、放熱用の冷媒としても作用する。絶縁油９は、容器内を対流することで放熱効果が促進される。

また、本構成では、底板１９に遮蔽体４０が支持固定され、Ｘ線管８に直接遮蔽材が巻かれない。これにより、製造時に無理な力がＸ線管８に作用せず、ガラス管１３に壊れが生じない。さらに、絶縁材２６や遮蔽材２５がガラス管１３に接しないので、使用時・使用停止時の熱膨張・熱収縮による応力もガラス管１３に作用しなくなり、Ｘ線管８の寿命を長くすることができる。

さらに、本構成では、容器７から絶縁油９を抜き、遮蔽体４０を底板１９から取り外すことで、容易にＸ線管８の交換が可能となる。Ｘ線発生装置１０は、例えばＸ線検査装置１００に使用された場合、連続してＸ線を放出して使うことが多い。従って、Ｘ線管８の寿命等による取り替え頻度が高くなる。このような状況下であっても、本構成によれば、Ｘ線管８と遮蔽体４０が離間した別体となっているので、Ｘ線管８の交換が容易であり、且つ安価に可能となる。

また、変形例に係る図５に示すＸ線発生装置２１０では、放熱が比較的少なく、Ｘ線が多い陰極側は、陰極１１よりも延出した遮蔽体６０によって余裕をもって覆われ、漏洩Ｘ線の遮蔽効果が一層高められる。放熱が多く、Ｘ線が比較的少ない陽極側は、ガラス管陽極側終端２９までが遮蔽体６０に覆われ、陽極放熱部１６が露出しており、熱が効率よく絶縁油９に伝達され、また、絶縁油９の対流も起こりやすい。その結果、漏洩Ｘ線をより確実に遮蔽できるとともに、陽極側からの熱を効率よく放熱できる。

また、変形例に係る図６、図７に示すＸ線発生装置３１０では、陽極放熱部１６からの漏洩Ｘ線が、陽極放熱部１６を挟む両側の遮蔽側板部３０によって遮蔽される。Ｘ線管８は、管の部位によって熱の出る量が異なり、陽極１２側が一番熱が出る。陽極放熱部１６に接触して高温となった絶縁油９は、低密度となって浮力が生じ、切欠部３１を通過して上昇する。これにより、陽極１２側では、絶縁油９に対流を生じさせ、より効果的な冷却作用が得られる。また、陰極１１側では、遮蔽体７０を管軸１４に沿って延出させ側方と上方とで覆う形状とした。その結果、高いＸ線遮蔽効果を得ながら、陽極放熱部１６の近傍に自然対流を生じさせ、陽極放熱部１６からの熱を効率よく絶縁油９に放熱できる。

そして、Ｘ線発生装置１０（１１０，２１０，３１０）を用いたＸ線検査装置１００では、Ｘ線発生装置１０（１１０，２１０，３１０）のＸ線管８に交換が生じた場合、Ｘ線発生装置１０（１１０，２１０，３１０）における容器７の底板１９に取り付けられている遮蔽体４０（５０，６０，７０）が取り外される。これにより、容器７の底で表出するＸ線管８を容易に交換できる。絶縁材、遮蔽材をガラス管に巻いた従来のＸ線管を全て交換する場合に比べ、Ｘ線管８のみの交換となり、交換費用が安価となる。また、絶縁材、遮蔽材をガラス管に巻いた従来のＸ線管からＸ線管を取り出して交換する場合に比べ、交換作業が容易となる。

従って、本実施形態に係るＸ線発生装置１０（１１０，２１０，３１０）によれば、漏洩Ｘ線を遮蔽しながら、発生した熱を効率よく絶縁油９に放熱でき、製造時におけるガラス管１３の割れを防止し、しかも、メンテナンスを容易とすることができる。

また、本実施形態に係るＸ線検査装置１００によれば、Ｘ線管８交換等のメンテナンスを容易とすることができる。

７…容器
７ａ…底面
８…Ｘ線管
９…絶縁油
１０，１１０，２１０，３１０…Ｘ線発生装置
１１…陰極
１２…陽極
１３…ガラス管
１４…管軸
１５…Ｘ線照射フランジ
１６…陽極放熱部
１８…Ｘ線照射窓
１９…底板
２０…遮蔽材
２１…絶縁材
２４…間隙
２５…遮蔽材
２６…絶縁材
２７…支持材
２９…ガラス管陽極側終端
３０…遮蔽側板部
３１…切欠部
４０，５０，６０，７０…遮蔽体
１００…Ｘ線検査装置

Claims (4)

1. 真空密閉されたガラス管（１３）の管内部に陰極（１１）と陽極（１２）が対向配置され管軸（１４）に交差する方向にＸ線を放出するＸ線照射フランジ（１５）が設けられるＸ線管（８）と、
   遮蔽材（２０）と絶縁材（２１）が積層される底板（１９）と、前記Ｘ線照射フランジが取り付けられＸ線照射窓（１８）となる部位を底面（７ａ）上に有して内方に絶縁油（９）が満たされる容器（７）と、
   前記底板に着脱自在に固定されて前記絶縁油に浸され前記管軸の両側が開放されるとともに少なくともＸ線管内における前記陰極から前記陽極までを前記ガラス管の外側で間隙（２４）を有して該ガラス管の上方と側方とを囲み、前記底板とともに包囲し内側から絶縁材（２６）、遮蔽材（２５）及び支持材（２７）が積層されてなる遮蔽体（４０，５０，６０，７０）と、
   を具備することを特徴とするＸ線発生装置。
2. 請求項１記載のＸ線発生装置（２１０，３１０）であって、
   前記遮蔽体（６０，７０）は、陰極側が前記管軸に沿って前記陰極より外側へ延出して形成され、陽極側が前記ガラス管から導出される陽極放熱部（１６）を露出させて形成されていることを特徴とするＸ線発生装置。
3. 請求項２記載のＸ線発生装置（３１０）であって、
   前記遮蔽体（７０）は、前記ガラス管から導出される陽極放熱部（１６）の両側を挟む一対の遮蔽側板部（３０）を有し、前記一対の遮蔽側板部の上端縁間に前記陽極放熱部の上方が開放される切欠部（３１）が形成されていることを特徴とするＸ線発生装置。
4. 請求項１，２，３のいずれか１つに記載のＸ線発生装置（１０，１１０，２１０，３１０）を組み込んだことを特徴とするＸ線検査装置。

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