JP7089396B2 - Ｘ線発生装置 - Google Patents

Description

本発明の一側面は、Ｘ線発生装置に関する。

高出力のＸ線管を含むＸ線源（Ｘ線発生装置）においては、Ｘ線管の冷却と漏洩Ｘ線（意図しない出射経路からのＸ線）の遮蔽とを両立させる必要がある。このようなＸ線管の冷却又は漏洩Ｘ線の遮蔽を行うための構成としては、例えば特許文献１～３に記載された構成が知られている。特許文献１に記載されたＸ線発生装置では、Ｘ線管を収容した筐体の一側面に放熱用の通風路とＸ線遮蔽部材とが設けられている。特許文献２に記載されたＸ線源では、Ｘ線管収容部の側方に送風ファンユニットが設けられている。特許文献３に記載されたＸ線管装置では、Ｘ線管を収容したハウジングをＸ線遮蔽材からなるシェルが覆っており、当該シェル内に冷却媒体が流通させられる。

特許第４０８０２５６号公報 特開２０１５－３２５１２号公報 特許第４８８９９７９号公報

上記特許文献１に記載の構成では、Ｘ線管収容部（筐体）の一側面でしかＸ線管の冷却及び漏洩Ｘ線の遮蔽がされておらず、Ｘ線管収容部の冷却及び漏洩Ｘ線の遮蔽について不十分である可能性がある。上記特許文献２に記載の構成では、ハウジングを覆うシェルをＸ線遮蔽材によって形成している。すなわち、シェル自体にＸ線遮蔽機能を持たせている。このため、シェルとして機能するために必要な機械的強度を確保するために、シェルを構成する材料が、求められるＸ線遮蔽能を得るために必要な量よりも多く必要になる可能性があると共に、シェルが重量化してしまうという問題が生じ得る。また、上記特許文献３に記載の構成では、送風ファンユニットによってＸ線管収容部は冷却されるが、Ｘ線管収容部の周囲への漏洩Ｘ線を遮蔽するための構造が設けられていないため、Ｘ線管収容部の冷却及び漏洩Ｘ線の遮蔽について、さらなる向上の余地がある。

そこで、本発明の一側面は、Ｘ線管の冷却と漏洩Ｘ線の遮蔽とを効果的に両立させることができるＸ線発生装置を提供することを目的とする。

本発明の一側面に係るＸ線発生装置は、Ｘ線を発生させるＸ線管と、Ｘ線管の少なくとも一部を収容すると共に、絶縁性の液体が封入されたＸ線管収容部と、Ｘ線管の管軸方向から見て、Ｘ線管収容部を包囲する包囲部と、Ｘ線管収容部と包囲部との間に画成された包囲空間内に気体を流通させる気流発生部と、Ｘ線管収容部及び包囲部よりも高いＸ線遮蔽能を有する材料からなり、包囲部の内面又は外面に設けられたＸ線遮蔽部と、を備える。

一般にＸ線遮蔽材料として良好な性質を示す材料は熱伝導率が比較的低い場合が多い。このため、Ｘ線管収容部をＸ線遮蔽材料で形成した場合、Ｘ線管収容部の放熱性が悪くなり、Ｘ線管の冷却効率が低下するという問題がある。一方、包囲部をＸ線遮蔽材料で形成する場合、Ｘ線管収容部に対する外殻としての役割との両立が困難となる。特に、Ｘ線遮蔽能を有する材料のみによって自立可能な包囲部を形成しようとすると、包囲部の強度を確保するために、求められるＸ線遮蔽能を得るために必要な量よりも多くの材料が必要になる可能性があると共に、包囲部が重量化してしまうという問題がある。これに対し、本発明の一側面に係るＸ線発生装置によれば、Ｘ線管で発生した熱は、Ｘ線管収容部内に封入された絶縁性の液体によって吸熱されてＸ線管収容部へと伝わり、Ｘ線管収容部が、Ｘ線管収容部と包囲部との間に形成された包囲空間を流通する気体によって冷却されることで、Ｘ線管を効果的に冷却することができる。そして、Ｘ線遮蔽部が包囲部とは別部材として包囲部の内面又は外面に設けられていることにより、Ｘ線発生装置の周囲に漏洩するＸ線を適切に遮蔽することができる。以上により、上記Ｘ線発生装置によれば、Ｘ線管の冷却と漏洩Ｘ線の遮蔽とを効果的に両立させることができる。

Ｘ線管収容部は、包囲部及びＸ線遮蔽部よりも高い熱伝導率を有する金属材料からなっていてもよい。この構成によれば、Ｘ線管で発生した熱を効率的に放熱することができる。

Ｘ線遮蔽部は、包囲部の内面に設けられていてもよい。この構成によれば、Ｘ線遮蔽部を包囲部の外面に設ける場合と比較して、外部からの接触等によるＸ線遮蔽部の剥落を防止できる。

上記Ｘ線発生装置は、気流発生部が収容される収容空間を画成する収容部を更に備え、収容部は、上記管軸方向に交差する方向に延在する仕切り壁を有し、仕切り壁には、収容空間と包囲空間とを連通させる開口部が設けられていてもよい。この構成では、仕切り壁を挟んで包囲空間と上記管軸方向に対向する位置に収容空間が設けられている。そして、気流発生部は、Ｘ線管収容部と包囲部（Ｘ線遮蔽部）との間の包囲空間ではなく、包囲空間とは別室の収容空間内に配置される。これにより、漏洩Ｘ線が気流発生部に及ぼす悪影響（誤作動、劣化等）を抑制できる。

仕切り壁には、気流発生部に臨む位置において気体を収容空間から包囲空間に導入するための第１開口部と、包囲空間においてＸ線管収容部の周囲を流通した後の気体を包囲空間から収容空間に排出するための第２開口部と、が設けられており、収容部は、第２開口部に臨む位置に設けられ、気体を外部に排出するための排気部を有してもよい。この構成によれば、気流発生部により流通させられる気体を収容空間及び包囲空間に効率良く流通させることができる。また、Ｘ線管収容部の周囲を流通した気体をＸ線管が収容される包囲空間とは別室の収容空間から排出することにより、当該気体がＸ線の照射領域に排気されてしまうことを抑制し、当該気体の排気がＸ線照射に及ぼす影響を抑制できる。

Ｘ線管収容部と仕切り壁とは、熱的に接続されていてもよい。この構成によれば、Ｘ線管収容部の熱を仕切り壁に伝達させることができる。その結果、仕切り壁の表面や開口部を流通する気体を利用して、Ｘ線管収容部の熱を効率良く放熱できる。

上記Ｘ線発生装置は、収容空間に配置され、Ｘ線管に電力を供給する電源部を更に備えてもよい。この構成によれば、収容空間において気流発生部により流通させられる気体によって、電源部を冷却することも可能となる。

上記Ｘ線発生装置は、収容空間に配置され、Ｘ線発生装置の動作を制御する制御回路を更に備え、制御回路は、電源部を挟んでＸ線管収容部に対向するように配置されていてもよい。この構成では、制御回路は、電源部を挟んでＸ線管収容部の反対側に配置される。このように制御回路をＸ線管から遠ざけて配置することにより、Ｘ線管からの漏洩Ｘ線又は熱が制御回路に及ぼす悪影響を抑制でき、Ｘ線発生装置の安定動作を図ることができる。

上記Ｘ線発生装置は、収容空間に配置され、Ｘ線発生装置の動作を制御する制御回路を更に備え、制御回路とＸ線管との間には、Ｘ線遮蔽材料からなるＸ線遮蔽部材が配置されていてもよい。この構成によれば、Ｘ線管から制御回路に向かう漏洩Ｘ線がＸ線遮蔽部材によって遮蔽されるため、当該漏洩Ｘ線が制御回路に及ぼす悪影響を抑制できる。

包囲部の内面は、上記管軸方向に沿って仕切り壁から遠ざかるにつれてＸ線管の管軸に近づくように傾斜する傾斜面を有してもよい。この構成によれば、仕切り壁の開口部から上記管軸方向に沿って包囲空間内に流入した気体を包囲部の傾斜面（包囲部の内面にＸ線遮蔽部が設けられている場合には傾斜面上に設けられたＸ線遮蔽部の内面）に沿わせて、スムーズに包囲空間の内方へと向かわせることができる。これにより、気体の流入速度の低下を抑制し、Ｘ線管収容部をより効果的に冷却することができる。

Ｘ線管収容部の外面は、包囲部の傾斜面に対向し、上記管軸方向に沿って仕切り壁から遠ざかるにつれてＸ線管の管軸に近づくように傾斜する傾斜面を有してもよい。Ｘ線管収容部に傾斜面が設けられていることにより、当該傾斜面が設けられていない場合と比較して、絶縁性の液体に対するＸ線管収容部の接触領域（すなわち、Ｘ線管収容部の内面と絶縁性の液体とが接触する部分）の面積が大きい。これにより、Ｘ線管収容部の熱の放熱効率を向上させることができる。さらに、包囲部の傾斜面に対向するようにＸ線管収容部に傾斜面を設けることにより、包囲部の内面の形状をＸ線管収容部の外面の形状に追従させることができる。これにより、包囲部の内面の形状をＸ線管収容部の外面の形状に追従させない場合と比較して、包囲空間内の気体の流通を円滑化することができる。その結果、Ｘ線管収容部の熱の放熱効率を効果的に向上させることができる。

本発明の一側面によれば、Ｘ線管の冷却と漏洩Ｘ線の遮蔽とを効果的に両立させることができるＸ線発生装置を提供することができる。

一実施形態のＸ線発生装置の外観を示す斜視図である。 図１におけるII-II線に沿った断面図である。 図２におけるIII-III線に沿った上壁部の断面図である。 Ｘ線管の構成を示す断面図である。 第１の変形例に係るＸ線発生装置の断面図である。 第２の変形例に係るＸ線発生装置の断面図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。また、「上」、「下」等の所定の方向を示す語は、図面に示される状態に基づいており、便宜的なものである。

図１は、本発明の一実施形態に係るＸ線発生装置の外観を示す斜視図である。図２は、図１におけるII-II線に沿った断面図である。図１及び図２に示されるＸ線発生装置１は、例えば、被検体の内部構造を観察するＸ線非破壊検査に用いられる微小焦点Ｘ線源である。Ｘ線発生装置１は、筐体２を有する。筐体２の内部には、主に、Ｘ線を発生させるＸ線管３と、Ｘ線管３の一部を収容するＸ線管収容部４と、Ｘ線管３に電力を供給する電源部５とが収容されている。筐体２は、第１収容部２１と、第２収容部２２（包囲部）とを有する。

第１収容部２１は、主に電源部５を収容する部分である。第１収容部２１は、底壁部２１１と、上壁部２１２と、側壁部２１３とを有する。底壁部２１１及び上壁部２１２は、それぞれ略正方形状を有する。底壁部２１１の縁部と上壁部２１２の縁部とは、４つの側壁部２１３を介して連結されている。これにより、第１収容部２１は、略直方体状に形成されている。なお、本実施形態では便宜的に、底壁部２１１と上壁部２１２とが互いに対向する方向をＺ方向とし、底壁部２１１側を下方、上壁部２１２側を上方と定義する。また、Ｚ方向に直交し、互いに対向する側壁部２１３同士が対向する方向をＸ方向及びＹ方向とする。

図３は、図２における下側から見た上壁部２１２の断面図である。図３に示されるように、Ｚ方向から見た上壁部２１２の中央部には、円形の貫通孔である開口部２１２ａが設けられている。また、上壁部２１２には、開口部２１２ａを挟んでＸ方向に互いに対向する位置において、一対の開口部２１２ｂ，２１２ｃ（第１開口部，第２開口部）が設けられている。開口部２１２ｂ，２１２ｃは、長手方向がＹ方向に沿い、角部が円弧状に面取りされた略長方形状を有する貫通孔である。

底壁部２１１と上壁部２１２との間には、底壁部２１１及び上壁部２１２のいずれからも離間した位置に中間壁部２１４が設けられている。このような中間壁部２１４によって、第１収容部２１の内部には、上壁部２１２と側壁部２１３と中間壁部２１４とに囲まれた第１収容空間Ｓ１と、底壁部２１１と側壁部２１３と中間壁部２１４とに囲まれた第２収容空間Ｓ２とが画成されている。第１収容空間Ｓ１において、中間壁部２１４の上面２１４ａには、電源部５が固定されている。第２収容空間Ｓ２において、中間壁部２１４の下面２１４ｂには、Ｘ線遮蔽材料からなる板状のＸ線遮蔽部材６を間に挟んだ状態で、制御回路基板７が取り付けられている。本実施形態では、Ｘ線遮蔽部材６が中間壁部２１４の下面２１４ｂに固定され、制御回路基板７がＸ線遮蔽部材６の下面に固定されている。Ｘ線遮蔽部材６の材料としては、例えば鉛や、樹脂基材にＸ線遮蔽能の高い材料（鉛、タングステン、硫酸バリウム、ビスマス等）を混合したもの等が挙げられる。本実施形態では、Ｘ線遮蔽部材６は鉛からなる板状の部材である。制御回路基板７上には、図示しない各種電子部品によってＸ線発生装置１の各部（例えば、電源部５、後述する送風ファン９、及び後述する電子銃１１等）の動作を制御するための制御回路が構成されている。制御回路基板７とＸ線管３との間にＸ線遮蔽部材６が配置されていることにより、Ｘ線管３から制御回路に向かう漏洩Ｘ線がＸ線遮蔽部材６によって遮蔽される。これにより、当該漏洩Ｘ線が制御回路に及ぼす悪影響が抑制される。なお、Ｘ線遮蔽部材６は、電源部５と中間壁部２１４との間に設けられてもよい。このような構成によっても、Ｘ線管３から制御回路に向かう漏洩Ｘ線をＸ線遮蔽部材６によって遮蔽することができる。

第２収容部２２は、第１収容部２１の上部に接続され、Ｘ線管３及びＸ線管収容部４を収容する部分である。第２収容部２２は、略均一な厚さの板状金属部材からなる壁部で構成されている。第２収容部２２の内面の形状は、第２収容部２２の外面の形状にほぼ対応している。当該板状金属部材の材料としては、例えばアルミニウム、鉄、及びその合金等が挙げられる。本実施形態では、第２収容部２２を構成する板状金属部材の材料は鉄である。第２収容部２２は、Ｘ線管３の管軸ＡＸに沿った方向（管軸方向、Ｘ線出射方向、Ｚ方向）から見て、Ｘ線管３及びＸ線管収容部４を包囲している。第２収容部２２は、その上端側から順に、蓋部２２１と、円筒部２２２と、テーパ部２２３と、フランジ部２２４とを有する。円筒部２２２は、Ｚ方向に沿って延びる壁面を備えた円筒状に形成された部分である。テーパ部２２３は、上壁部２１２側の円筒部２２２の端部に接続され、当該端部からＺ方向に沿って円筒部２２２から遠ざかるにつれて連続してなだらかに拡径する壁面を備えた部分である。円筒部２２２及びテーパ部２２３は、Ｚ方向から見て、Ｘ線管３及びＸ線管収容部４から離間して、Ｘ線管３及びＸ線管収容部４を包囲している。また、円筒部２２２及びテーパ部２２３は、ＺＸ平面及びＺＹ平面での断面において、互いに平面状である円筒部２２２及びテーパ部２２３の壁面同士のなす角度が鈍角となるように、接続されている。フランジ部２２４は、円筒部２２２とは反対側のテーパ部２２３の端部に接続され、Ｚ方向から見て外側に延びる壁面を備えた部分である。フランジ部２２４は、上壁部２１２の上面２１２ｅに対してネジ留め等で固定されている。Ｚ方向から見て、フランジ部２２４の外縁は、上述した上壁部２１２の開口部２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃよりも外側に位置している。蓋部２２１は、円筒部２２２の上部開口を塞ぐように、円筒部２２２の上端部に接続されている。蓋部２２１の上部には、少なくともＸ線管３のＸ線出射窓３３ａ（図１及び図４参照）を外部に露出させるための開口部２２１ａが設けられている。また、蓋部２２１は、Ｘ線管３の電子銃１１及び電子銃１１と接続される図示しない配線等を収容可能なように形成された電子銃部収容部２２１ｂを有する。

第２収容部２２の内部空間を構成する内面の全面（すなわち、蓋部２２１の内面２２１ｃ、円筒部２２２の内面２２２ａ、及びテーパ部２２３の内面２２３ａ）には、Ｘ線遮蔽部８が設けられている。Ｘ線遮蔽部８は、Ｘ線管収容部４及び第２収容部２２のいずれよりも高いＸ線遮蔽能を有するＸ線遮蔽材料からなる。Ｘ線遮蔽部８は、第２収容部２２の内面を覆う層状に設けられている。Ｘ線遮蔽部８は、例えば、Ｘ線遮蔽材料からなる所定の厚さの板状の部材が、接着剤、両面テープ等によって第２収容部２２の内面形状に合わせて密着するように接着されている。Ｘ線遮蔽部８の材料としては、上述したＸ線遮蔽部材６と同様の材料を用いることができる。Ｘ線遮蔽部８は、開口部２２１ａ以外の部位において、第２収容部２２を透過して外部に向かおうとする漏洩Ｘ線を遮蔽する役割を果たす。漏洩Ｘ線とは、Ｘ線管３のターゲットＴ（図４参照）を基点に放射状に発生したＸ線のうち、意図された（正規の）出射経路とは異なる意図しない出射経路によってＸ線発生装置１の外部に取り出されてしまうＸ線である。ここで、意図された出射経路とは、Ｘ線出射窓３３ａ及び開口部２２１ａを介する経路である。例えば、Ｘ線管３のターゲットＴを基点に放射状に発生したＸ線のうち、第２収容部２２の壁面（つまり開口部２２１ａ以外）と交わる方向に出射されたＸ線が、漏洩Ｘ線となり得る。具体的には、このようなＸ線のうち、Ｘ線の進行方向に存在するＸ線管３の真空筐体１０やＸ線管収容部４、第２収容部２２の壁面等に吸収されることなく透過してＸ線発生装置１の外部に取り出されてしまうＸ線が、漏洩Ｘ線となる。なお、Ｘ線遮蔽部８は、悪影響を及ぼし得るような漏洩Ｘ線が発生する場合において、その出射経路上に配置されるように設けられていればよく、必ずしも第２収容部２２の内面の全面に設けられていなくてもよい。

Ｘ線管収容部４は、第２収容部２２及びＸ線遮蔽部８よりも高い熱伝導率を有する（放熱性が高い）金属により形成されている。Ｘ線管収容部４の材料としては、例えばアルミニウム、鉄、銅、及びそれらを含む合金等が挙げられる。本実施形態では、Ｘ線管収容部４の材料はアルミニウム（又はその合金）である。Ｘ線管収容部４は、Ｘ線管３の管軸方向（Ｚ方向）における両端に開口を有する筒状をなしている。Ｘ線管収容部４の管軸は、Ｘ線管３の管軸ＡＸと一致している。Ｘ線管収容部４は、保持部４１と、円筒部４２と、テーパ部４３と、フランジ部４４とを有する。保持部４１は、図示しない固定部材を用いて、Ｘ線管３をフランジ部３１１において保持する部分であり、Ｘ線管３と共にＸ線管収容部４の上部開口を気密に封止している。円筒部４２は、保持部４１の下端に接続され、Ｚ方向に沿って延びる壁面を備えた円筒状に形成された部分である。テーパ部４３は、円筒部４２の端部に接続され、当該端部からＺ方向に沿って円筒部４２から遠ざかるにつれて連続してなだらかに拡径する壁面を備えた部分である。円筒部４２及びテーパ部４３は、ＺＸ平面及びＺＹ平面での断面において、互いに平面状である円筒部４２及びテーパ部４３の壁面同士のなす角度が鈍角となるように、接続されている。フランジ部４４は、テーパ部４３の端部に接続され、Ｚ方向から見て外側に延びる部分である。フランジ部４４は、円筒部４２及びテーパ部４３よりも肉厚なリング状部材となるように構成されている。これにより、熱容量が大きくされており、放熱性が向上されている。フランジ部４４は、Ｚ方向から見て、上壁部２１２の開口部２１２ａを包囲すると共に開口部２１２ｂ，２１２ｃよりも内側の位置において、上壁部２１２の上面２１２ｅに対して気密に固定されている。本実施形態では、フランジ部４４は、上壁部２１２の上面２１２ｅに熱的に接続（熱伝導可能に接触）している。Ｘ線管収容部４の内部には、電気絶縁性の液体である絶縁オイル４５が気密に封入（充填）されている。

電源部５は、Ｘ線管３に数ｋＶ～数百ｋＶ程度の電力を供給する部分である。電源部５は、固体のエポキシ樹脂からなる電気絶縁性の絶縁ブロック５１と、絶縁ブロック５１内にモールドされた高電圧発生回路を含む内部基板５２とを有する。絶縁ブロック５１は、略直方体状をなしている。絶縁ブロック５１の上面中央部は、上壁部２１２の開口部２１２ａを貫通し、突出している。一方、絶縁ブロック５１の上面縁部５１ａは、上壁部２１２の下面２１２ｆに対して気密に固定されている。絶縁ブロック５１の上面中央部には、内部基板５２に電気的に接続された円筒状のソケットを含む高圧給電部５４が配置されている。電源部５は、高圧給電部５４を介してＸ線管３に電気的に接続されている。

開口部２１２ａに挿通された絶縁ブロック５１の部分（すなわち、上面中央部）の外径は、開口部２１２ａの内径と同じか僅かに小さくされている。

本実施形態では、Ｘ方向に互いに対向する側壁部２１３Ａ，２１３Ｂの各々に、通風孔部Ａが設けられている。通風孔部Ａには、第１収容空間Ｓ１と外部とを連通させる複数の通風孔２１３ａが設けられている。一方の側壁部２１３Ａの内側には、送風ファン９（気流発生部）が設けられている。送風ファン９は、筐体２内に形成された空間構成を利用することにより、Ｘ線管収容部４、電源部５及び制御回路基板７等の各部を効率的に冷却する。

具体的には、送風ファン９は、側壁部２１３Ａに設けられた通風孔部Ａから外気を取り込むことにより冷却気体を発生させ、当該冷却気体を第１収容空間Ｓ１のうち側壁部２１３Ａと電源部５との間の空間Ｓ１１に送風する。空間Ｓ１１内に送風された冷却気体により、電源部５が冷却される。

空間Ｓ１１内を流通する冷却気体の一部は、上壁部２１２の開口部２１２ｂを介して、Ｘ線管収容部４の外面（円筒部４２の外面及びテーパ部４３の外面４３ａ）と第２収容部２２の内面（Ｘ線遮蔽部８が設けられている部分についてはＸ線遮蔽部８の内面８ａ）との間に画成された包囲空間Ｓ３に流入する。また、包囲空間Ｓ３は、Ｘ線管３と第２収容部２２の内面（Ｘ線遮蔽部８が設けられている部分についてはＸ線遮蔽部８の内面８ａ）との間にも画成されている。包囲空間Ｓ３は、Ｚ方向から見てＸ線管３及びＸ線管収容部４を取り囲むように形成されている。包囲空間Ｓ３に流入した冷却気体は、Ｘ線管３及びＸ線管収容部４の周囲を通過することによりＸ線管３及びＸ線管収容部４の外面を冷却する。そして、当該冷却気体は、上壁部２１２の開口部２１２ｃを介して、再度第１収容空間Ｓ１（第１収容空間Ｓ１のうち側壁部２１３Ｂと電源部５との間の空間Ｓ１２）に流入し、側壁部２１３Ｂに形成された通風孔部Ａ（排気部）から外部に排出される。

中間壁部２１４には、空間Ｓ１１と第２収容空間Ｓ２とを連通させる開口部２１４ｃと、空間Ｓ１２と第２収容空間Ｓ２とを連通させる開口部２１４ｄとが形成されている。これにより、空間Ｓ１１内を流通する冷却気体の一部は、中間壁部２１４の開口部２１４ｃを介して第２収容空間Ｓ２に流入する。第２収容空間Ｓ２に流入した冷却気体により、制御回路基板７が冷却される。そして、当該冷却気体は、中間壁部２１４の開口部２１４ｄを介して、再度第１収容空間Ｓ１（空間Ｓ１２）に流入し、側壁部２１３Ｂに形成された通風孔部Ａから外部に排出される。

次に、Ｘ線管３の構成について説明する。図４に示されるように、Ｘ線管３は、いわゆる反射型Ｘ線管と呼ばれるものである。Ｘ線管３は、内部を真空に保持する真空外囲器としての真空筐体１０と、電子発生ユニットとしての電子銃１１と、ターゲットＴとを備えている。電子銃１１は、例えば、高融点金属材料等からなる基体に易電子放射物質を含浸させたカソードＣを有する。また、ターゲットＴは、例えば、タングステン等の高融点金属材料からなる板状部材である。ターゲットＴの中心は、Ｘ線管３の管軸ＡＸ上に位置している。電子銃１１及びターゲットＴは、真空筐体１０の内部に収容されており、電子銃１１から出射された電子がターゲットＴに入射するとＸ線が発生する。Ｘ線はターゲットＴを基点に放射状に発生する。Ｘ線出射窓３３ａ側に向かうＸ線の成分のうち、Ｘ線出射窓３３ａを介して外部に取り出されたＸ線が、求められるＸ線として利用される。

真空筐体１０は、主として、絶縁性材料（例えばガラス）により形成された絶縁バルブ１２と、Ｘ線出射窓３３ａを有する金属部１３とから構成されている。金属部１３は、陽極となるターゲットＴが収容される本体部３１と、陰極となる電子銃１１が収容される電子銃収容部３２とを有する。

本体部３１は、筒状に形成されており、内部空間Ｓを有している。本体部３１の一端部（外側端部）には、Ｘ線出射窓３３ａを有する蓋板３３が固定されている。Ｘ線出射窓３３ａの材料は、Ｘ線透過材料であって、例えばベリリウムやアルミニウム等である。蓋板３３によって、内部空間Ｓの一端側が閉鎖されている。本体部３１は、フランジ部３１１と、円筒部３１２とを有する。フランジ部３１１は、本体部３１の外周に設けられており、上述したＸ線管収容部４の保持部４１に固定される部分である。円筒部３１２は、本体部３１の一端部側において円筒状に形成された部分である。

電子銃収容部３２は、円筒状に形成されており、本体部３１の一端部側の側部に固定されている。本体部３１の中心軸線（すなわち、Ｘ線管３の管軸ＡＸ）と電子銃収容部３２の中心軸線とは、略直交している。電子銃収容部３２の内部は、電子銃収容部３２の本体部３１側の端部に設けられた開口３２ａを介して、本体部３１の内部空間Ｓと連通している。

電子銃１１は、カソードＣと、ヒータ１１１と、第１グリッド電極１１２と、第２グリッド電極１１３とを備えており、各構成の協働によって発生する電子ビームの径を小さくすること（微小焦点化）ができる。カソードＣ、ヒータ１１１、第１グリッド電極１１２及び第２グリッド電極１１３は、それぞれ平行に延びる複数の給電ピン１１４を介して、ステム基板１１５に取り付けられている。カソードＣ、ヒータ１１１、第１グリッド電極１１２及び第２グリッド電極１１３は、それぞれに対応する給電ピン１１４を介して外部から給電される。

絶縁バルブ１２は、略筒状に形成されている。絶縁バルブ１２の一端側は、本体部３１に接続されている。絶縁バルブ１２は、その他端側において、ターゲットＴが先端に固定されたターゲット支持部６０を保持している。ターゲット支持部６０は、例えば銅材等により円柱状に形成されており、Ｚ方向に延在している。ターゲット支持部６０の先端側には、絶縁バルブ１２側から本体部３１側に向かうにつれて電子銃１１から遠ざかるように傾斜する傾斜面６０ａが形成されている。ターゲットＴは、傾斜面６０ａと面一になるように、ターゲット支持部６０の端部に埋設されている。

ターゲット支持部６０の基端部６０ｂは、絶縁バルブ１２の下端部よりも外側に突出しており、電源部５の高圧給電部５４（図２参照）に接続されている。本実施形態では、真空筐体１０（金属部１３）が接地電位とされており、高圧給電部５４においてターゲット支持部６０にプラスの高電圧が供給される。ただし、電圧印加形態は、上記例に限られない。

［作用効果］
次に、本実施形態の一側面に係る作用効果について説明する。上述したように、Ｘ線発生装置１は、Ｘ線を発生させるＸ線管３と、Ｘ線管３の少なくとも一部（本実施形態では、フランジ部３１１よりも下方に位置する部分であり、少なくとも絶縁バルブ１２を含む部分）を収容すると共に、絶縁オイル４５が封入されたＸ線管収容部４と、Ｘ線管３の管軸方向（管軸ＡＸに沿った方向であり、本実施形態のＺ方向に一致する方向）から見て、Ｘ線管収容部４を包囲する第２収容部２２と、Ｘ線管収容部４と第２収容部２２との間に画成された包囲空間Ｓ３内に冷却気体を流通させる送風ファン９と、Ｘ線管収容部４及び第２収容部２２よりも高いＸ線遮蔽能を有する材料からなり、第２収容部２２の内面に設けられたＸ線遮蔽部８と、を備える。

ここで、一般にＸ線遮蔽材料として良好な性質を示す材料は熱伝導率が比較的低い場合が多い。具体的には、本実施形態において例示したＸ線遮蔽材料としての鉛は、Ｘ線管収容部４を形成する金属材料として例示したアルミニウムよりも熱伝導率が低い。このため、仮にＸ線管収容部４をＸ線遮蔽材料で形成した場合、Ｘ線管収容部４の放熱性が悪くなり、包囲空間Ｓ３内を流通する冷却気体によるＸ線管収容部４の冷却効率、つまりＸ線管３の冷却効率が低下するという問題がある。一方、第２収容部２２をＸ線遮蔽材料で形成する場合、Ｘ線管収容部４に対する外殻としての役割との両立が困難となる。特に、Ｘ線遮蔽能を有する材料（例えば鉛等）のみによって自立可能な第２収容部２２を形成しようとすると、第２収容部２２の強度を確保するために、求められるＸ線遮蔽能を得るために必要な量よりも多くの材料が必要になる可能性があると共に、第２収容部２２が重量化してしまうという問題がある。また、上述したようなＸ線遮蔽能及び自立性、並びに加工性及び製造コスト等の様々な要件を満たすために、第２収容部２２の材料の選択肢が限定されてしまうという問題もある。

これに対し、Ｘ線発生装置１によれば、Ｘ線管３で発生した熱は、Ｘ線管収容部４内に封入された絶縁オイル４５によって吸熱される。具体的には、電子銃１１から出射された電子がターゲットＴに衝突した際にターゲットＴにおいて発生した熱は、ターゲット支持部６０の先端側から基端部６０ｂ側へと伝達される。続いて、ターゲット支持部６０のうち真空筐体１０の外部に露出した部分（絶縁オイル４５に浸漬された部分）から絶縁オイル４５へと放熱される。そして、絶縁オイル４５によって吸熱された熱が、Ｘ線管収容部４へと伝わり、Ｘ線管収容部４が、Ｘ線管収容部４と第２収容部２２との間に形成された包囲空間Ｓ３を流通する冷却気体によって冷却されることで、Ｘ線管３を効果的に冷却することができる。また、Ｘ線管収容部４から突出しているＸ線管３の一部も包囲空間Ｓ３に収容されているため、Ｘ線管３自身を冷却気体によって冷却することもできる。

そして、Ｘ線遮蔽部８が第２収容部２２とは別部材として第２収容部２２の内面に設けられていることにより、Ｘ線発生装置１の周囲に漏洩するＸ線（主に、ターゲットＴを基点として放射状に発生するＸ線のうち、Ｘ線出射窓３３ａ方向に向かう成分以外のＸ線に起因する漏洩Ｘ線）を適切に遮蔽することができる。以上により、Ｘ線発生装置１によれば、Ｘ線管３の冷却と漏洩Ｘ線の遮蔽とを効果的に両立させることができる。Ｘ線管３の冷却と漏洩Ｘ線の遮蔽とを両立させることは、Ｘ線を微小焦点化又は高出力化する必要がある場合において、特に重要となり、上述した効果が顕著となる。

また、Ｘ線管収容部４は、第２収容部２２及びＸ線遮蔽部８よりも高い熱伝導率を有する金属材料（本実施形態では、アルミニウム）からなっている。これにより、包囲空間Ｓ３を流通する冷却気体を利用して、Ｘ線管３で発生した熱を効率的に放熱することができる。

また、Ｘ線遮蔽部８は、第２収容部２２の内面（本実施形態では、蓋部２２１の内面２２１ｃの一部、円筒部２２２の内面２２２ａ、及びテーパ部２２３の内面２２３ａ）に設けられている。これにより、Ｘ線遮蔽部８を第２収容部２２の外面に設ける場合と比較して、外部からの接触等によるＸ線遮蔽部８の剥落を防止できると共に、Ｘ線遮蔽部８を形成するために必要な材料の量を低減できる。なお、Ｘ線遮蔽能自体には差はないので、Ｘ線遮蔽部８を、第２収容部２２の外面に設けてもよい。

また、Ｘ線発生装置１は、送風ファン９が収容される収容空間（第１収容空間Ｓ１及び第２収容空間Ｓ２を合わせた空間）を画成する第１収容部２１を備えている。第１収容部２１は、Ｘ線管３の管軸方向（Ｚ方向）に交差する方向に延在する仕切り壁としての上壁部２１２を有する。上壁部２１２には、第１収容空間Ｓ１と包囲空間Ｓ３とを連通させる開口部２１２ｂ，２１２ｃが設けられている。この構成では、上壁部２１２を挟んで包囲空間Ｓ３と上記管軸方向に対向する位置に第１収容空間Ｓ１が設けられている。そして、送風ファン９は、Ｘ線管収容部４と第２収容部２２（Ｘ線遮蔽部８）との間の包囲空間Ｓ３ではなく、包囲空間Ｓ３とは別室の第１収容空間Ｓ１内に配置される。これにより、漏洩Ｘ線が送風ファン９に及ぼす悪影響（誤作動、劣化等）を抑制できる。

また、上壁部２１２には、送風ファン９に臨む位置において冷却気体を空間Ｓ１１から包囲空間Ｓ３に導入するための開口部２１２ｂと、包囲空間Ｓ３においてＸ線管収容部４の周囲を流通した後の冷却気体を包囲空間Ｓ３から空間Ｓ１２に排出するための開口部２１２ｃと、が設けられている。第１収容部２１は、開口部２１２ｃに臨む位置に設けられ、冷却気体を外部に排出するための排気部（側壁部２１３Ｂの通風孔部Ａ）を有する。この構成によれば、送風ファン９により流通させられる冷却気体を第１収容空間Ｓ１及び包囲空間Ｓ３に効率良く流通させることができる。また、Ｘ線管収容部４の周囲を流通した冷却気体をＸ線管３が収容される包囲空間Ｓ３とは別室の第１収容空間Ｓ１から排出することにより、当該冷却気体がＸ線の照射領域に排気されてしまうことを抑制できる。その結果、当該冷却気体の排気がＸ線管３のＸ線出射窓３３ａからのＸ線照射や、Ｘ線照射対象の撮像等に及ぼす影響を抑制できる。

また、Ｘ線管収容部４と上壁部２１２とは、熱的に接続されている。上述したように、本実施形態では、Ｘ線管収容部４のフランジ部４４と上壁部２１２の上面２１２ｅとは、熱伝導可能に接触している。これにより、Ｘ線管収容部４の熱を上壁部２１２に伝達させることができる。その結果、上壁部２１２の表面や開口部２１２ｂ，２１２ｃを流通する冷却気体を利用して、Ｘ線管収容部４の熱を効率良く放熱できる。

また、Ｘ線発生装置１は、第１収容空間Ｓ１（収容空間）に配置され、Ｘ線管３に電力を供給する電源部５を備えている。この構成によれば、第１収容空間Ｓ１において送風ファン９により送風される冷却気体によって、電源部５を冷却することも可能となる。なお、Ｙ方向に対向する電源部５の側面と第１収容部２１の側壁部２１３との間には、隙間が設けられていてもよいし、隙間が設けられていなくてもよい。隙間が設けられている場合には、当該隙間を通過する冷却気体（すなわち、空間Ｓ１１から当該隙間を介して空間Ｓ１２へと流通する冷却気体）により、電源部５をより効果的に冷却することができる。

また、Ｘ線発生装置１は、第２収容空間Ｓ２（収容空間）に配置され、Ｘ線発生装置１の動作を制御する制御回路基板７を備えている。制御回路基板７は、電源部５を挟んでＸ線管収容部４に対向するように配置されている。この構成では、制御回路基板７は、電源部５を挟んでＸ線管収容部４の反対側に配置される。具体的には、本実施形態では、筐体２の内部は、包囲空間Ｓ３、第１収容空間Ｓ１及び第２収容空間Ｓ２が順に形成された三段構造を有している。そして、制御回路基板７は、電源部５が配置された第１収容空間Ｓ１を挟んで包囲空間Ｓ３に対向する位置にある第２収容空間Ｓ２に配置されている。このように制御回路基板７をＸ線管３から遠ざけて配置することにより、Ｘ線管３からの漏洩Ｘ線又は熱が制御回路基板７上に実装された制御回路に及ぼす悪影響を抑制でき、Ｘ線発生装置１の安定動作を図ることができる。

また、制御回路基板７とＸ線管３との間には、Ｘ線遮蔽材料からなるＸ線遮蔽部材６が配置されている。これにより、Ｘ線管３から制御回路基板７に向かう漏洩Ｘ線がＸ線遮蔽部材６によって遮蔽されるため、当該漏洩Ｘ線が制御回路に及ぼす悪影響を抑制できる。

また、第２収容部２２の内面は、管軸方向（Ｚ方向）に沿って上壁部２１２から遠ざかるにつれてＸ線管３の管軸ＡＸに近づくように傾斜する傾斜面を有している。本実施形態では、テーパ部２２３の内面２２３ａが、当該傾斜面に相当する。この構成によれば、上壁部２１２の開口部２１２ｂから管軸方向に沿って包囲空間Ｓ３内に流入した冷却気体を上記傾斜面上に設けられたＸ線遮蔽部８の内面８ａに沿わせて、スムーズに包囲空間Ｓ３の内方（Ｘ線管３の管軸ＡＸに向かう方向であり、Ｘ線管収容部４の円筒部４２及びテーパ部４３に向かう方向）へと向かわせることができる。これにより、冷却気体の流入速度の低下を抑制し、Ｘ線管収容部４をより効果的に冷却することができる。なお、Ｘ線遮蔽部８を第２収容部２２の外面に設けた場合には、上壁部２１２の開口部２１２ｂから管軸方向に沿って包囲空間Ｓ３内に流入した冷却気体をテーパ部２２３の内面２２３ａに沿わせることにより、上述した効果と同様の効果が得られる。

また、Ｘ線管収容部４の外面は、第２収容部２２の傾斜面（テーパ部２２３の内面２２３ａ）に対向し、管軸方向（Ｚ方向）に沿って上壁部２１２から遠ざかるにつれてＸ線管３の管軸ＡＸに近づくように傾斜する傾斜面を有している。本実施形態では、テーパ部４３の外面４３ａが、Ｘ線管収容部４の外面に設けられた傾斜面に相当する。Ｘ線管収容部４に上記傾斜面（外面４３ａ）が設けられていることにより、当該傾斜面が設けられていない場合と比較して、絶縁オイル４５に対するＸ線管収容部４の接触領域（すなわち、Ｘ線管収容部４の内面と絶縁オイル４５とが接触する部分）の面積が大きい。つまり、Ｘ線管収容部４において、絶縁オイル４５から直接吸熱を行い、包囲空間Ｓ３に放熱する領域の面積が大きくなる。これにより、Ｘ線管収容部４の熱の放熱効率を向上させることができる。特に、Ｘ線管３からの熱は、ターゲット支持部６０のうち真空筐体１０の外部に露出した部分（絶縁オイル４５に浸漬された部分）から絶縁オイル４５へと放熱されるため、当該部分に対向する領域に当該傾斜面を設けることで、さらにＸ線管３からの放熱効率を向上させることができる。さらに、第２収容部２２の傾斜面（内面２２３ａ）に対向するようにＸ線管収容部４に傾斜面（外面４３ａ）を設けることにより、図２に示されるように、第２収容部２２の内面の形状をＸ線管収容部４の外面の形状に追従させることができる。これにより、第２収容部２２の内面の形状をＸ線管収容部４の外面の形状に追従させない場合と比較して、包囲空間Ｓ３内の冷却気体の流通を円滑化することができる。また、第２収容部２２とＸ線管収容部４との間に形成される包囲空間Ｓ３の流路幅を小さくできるため、冷却気体の流速を高めることもできる。その結果、Ｘ線管収容部４の熱の放熱効率を効果的に向上させることができる。

［第１変形例］
図５を参照して、第１変形例に係るＸ線発生装置１Ａについて説明する。Ｘ線発生装置１Ａは、Ｘ線遮蔽部材６及び制御回路基板７が第１収容空間Ｓ１（図５の例では、空間Ｓ１１における送風ファン９に臨む位置）に設けられている点で、Ｘ線発生装置１と主に相違する。図５の例では、Ｘ線遮蔽部材６は、空間Ｓ１１に臨む絶縁ブロック５１の側面に固定されている。また、制御回路基板７は、Ｘ線遮蔽部材６を挟んで絶縁ブロック５１とは反対側の位置において、Ｘ線遮蔽部材６に固定されている。このような構成であっても、Ｘ線管３から制御回路に向かう漏洩Ｘ線がＸ線遮蔽部材６によって遮蔽されるため、当該漏洩Ｘ線が制御回路に及ぼす悪影響が抑制される。また、制御回路基板７が送風ファン９に臨む位置に配置されることにより、制御回路基板７の冷却効率を高めることもできる。

また、Ｘ線発生装置１Ａは、中間壁部２１４が省略され、第２収容空間Ｓ２が設けられていない点でも、Ｘ線発生装置１と相違する。図５の例では、中間壁部２１４が省略されたことにより、電源部５は、底壁部２１１上に直接配置されている。制御回路基板７及び図示しない配線等を第１収容空間Ｓ１に収めることにより、このように中間壁部２１４及び第２収容空間Ｓ２を省略して筐体２の内部空間を二段構造にすることができ、Ｘ線発生装置１Ａのコンパクト化を図ることができる。

［第２変形例］
図６を参照して、第２変形例に係るＸ線発生装置１Ｂについて説明する。Ｘ線発生装置１Ｂは、側壁部２１３Ａにおいて通風孔部Ａが第２収容空間Ｓ２に臨む位置に設けられており、送風ファン９が当該通風孔部Ａに臨むように第２収容空間Ｓ２に設けられている点で、Ｘ線発生装置１と主に相違する。Ｘ線発生装置１Ｂでは、空間Ｓ１１に臨む側壁部２１３Ａの部分には、通風孔部Ａは設けられていない。この場合、送風ファン９から第２収容空間Ｓ２に送風された冷却気体の一部は、中間壁部２１４の開口部２１４ｃを介して空間Ｓ１１に流入し、更に上壁部２１２の開口部２１２ｂを介して包囲空間Ｓ３に流入する。また、送風ファン９から送風された冷却気体の一部は、第２収容空間Ｓ２を通過し、中間壁部２１４の開口部２１４ｄを介して空間Ｓ１２に流入する。このように、送風ファン９を第２収容空間Ｓ２に配置した場合にも、冷却気体を筐体２内の空間全体（第１収容空間Ｓ１、第２収容空間Ｓ２及び包囲空間Ｓ３）に行き渡らせることができるため、Ｘ線管収容部４、電源部５及び制御回路基板７を適切に冷却することができる。また、送風ファン９をより一層Ｘ線管３から遠ざけることができるため、Ｘ線管３からの漏洩Ｘ線が送風ファン９に及ぼす悪影響をより一層抑制できる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。すなわち、Ｘ線発生装置の各部の形状及び材料等は、上記実施形態で示した具体的な形状及び材料等に限定されない。

Ｘ線管３は、ターゲットに対する電子入射方向と異なる方向からＸ線を取り出す反射型Ｘ線管であるが、ターゲットに対する電子入射方向に沿ってＸ線を取り出す（ターゲットで発生したＸ線がターゲット自体を透過してＸ線出射窓から取り出される）透過型Ｘ線管でもよい。また、上記実施形態では、送風ファン９を気流発生部として用いる構成を例示したが、気流発生部は、送風ファン９のように外部からの気体を内部（筐体２内）に送風するものに限られない。例えば、送風ファン９の代わりに、内部の気体を外部へ吸い出すことで気体を流通させる吸引ファンが、気流発生部として用いられてもよい。また、送風ファン９（流通部）は、冷風（冷却気体）だけでなく温風を流通させる機能を有していてもよい。例えば、送風ファン９は、冷風を送風するモードと温風を送風するモードとを切替可能に構成されていてもよい。Ｘ線発生装置１を起動した後、Ｘ線管３の動作を安定化させるために、Ｘ線管収容部４内の温度（すなわち、絶縁オイル４５の温度）を一定の温度まで上昇させたい場合があり得る。このような場合に、温風を送風するように送風ファン９を切り替えることにより、包囲空間Ｓ３内に温風を流通させ、Ｘ線管収容部４内の温度を効率良く上昇させることができる。その結果、Ｘ線発生装置１を起動してからＸ線管３の動作を安定化させるまでの時間を短縮できる。

Ｘ線管収容部４の外面（上記実施形態では、円筒部４２の外面及びテーパ部４３の外面４３ａ）は、凹凸状に形成された部分を有していてもよい。或いは、Ｘ線管収容部４の外面には、円周方向に凸状に延びる一以上の冷却フィンが設けられてもよい。以上の構成によれば、包囲空間Ｓ３に対するＸ線管収容部４の表面積を増やして放熱効率を向上させることができる。

上記実施形態では、Ｘ線管収容部４にテーパ部４３を設けたが、テーパ部４３を設けることは必須ではない。例えば、Ｘ線管収容部４の側面形状は、テーパ部４３が設けられない円筒状であってもよい。同様に、第２収容部２２にテーパ部２２３を設けることは必須ではない。例えば、第２収容部２２の側面形状は、テーパ部２２３が設けられない円筒状であってもよい。また、この場合、第２収容部２２の側面に、上述した第２収容部２２の傾斜面の代わりとなる整風板が設けられてもよい。整風板は、例えば、Ｚ方向から見てＸ線遮蔽部８の内面８ａに沿って円環状に立設され、上壁部２１２から管軸方向に沿って遠ざかるにつれてＸ線管３の管軸ＡＸに近づくように傾斜する傾斜面を有する部材である。

上記実施形態では、Ｘ線遮蔽部８は、第２収容部２２の内面に接着剤、両面テープ等によって接着されているが、Ｘ線遮蔽部８を第２収容部２２に固定する方法は、これに限定されない。Ｘ線遮蔽部８は、ネジ留め或いは金具等によって第２収容部２２の内面（又は外面）に固定されてもよい。なお、金具によって固定する場合には、当該金具が上述した整風板として機能してもよい。すなわち、Ｘ線遮蔽部８を第２収容部２２に固定するための金具が、整風板としての機能を兼ね備えてもよい。

上壁部２１２に設けられる通風用の開口部２１２ｂ，２１２ｃの個数、形状及び大きさは特に限定されない。同様に、中間壁部２１４に設けられる通風用の開口部２１４ｃ，２１４ｄの個数、形状及び大きさも特に限定されない。

１，１Ａ，１Ｂ…Ｘ線発生装置、３…Ｘ線管、４…Ｘ線管収容部、５…電源部、６…Ｘ線遮蔽部材、７…制御回路基板、８…Ｘ線遮蔽部、９…送風ファン（気流発生部）、２１…第１収容部（収容部）、２２…第２収容部（包囲部）、４５…絶縁オイル（絶縁性の液体）、２１２…上壁部（仕切り壁）、２１２ｂ…開口部（第１開口部）、２１２ｃ…開口部（第２開口部）、ＡＸ…管軸、Ｓ１…第１収容空間、Ｓ２…第２収容空間、Ｓ３…包囲空間。

Claims (10)

1. Ｘ線を発生させるＸ線管と、
   前記Ｘ線管の少なくとも一部を収容すると共に、絶縁性の液体が封入されたＸ線管収容部と、
   前記Ｘ線管の管軸方向から見て、前記Ｘ線管収容部を包囲する包囲部と、
   前記Ｘ線管収容部と前記包囲部との間に画成された包囲空間内に気体を流通させる気流発生部と、
   前記Ｘ線管収容部及び前記包囲部よりも高いＸ線遮蔽能を有する材料からなり、前記包囲部の内面又は外面に設けられたＸ線遮蔽部と、
   前記気流発生部が収容される収容空間を画成する収容部と、
   を備え、
   前記収容部は、前記管軸方向に交差する方向に延在する仕切り壁を有し、
   前記仕切り壁には、前記収容空間と前記包囲空間とを連通させる開口部が設けられている、Ｘ線発生装置。
2. 前記Ｘ線管収容部は、前記包囲部及び前記Ｘ線遮蔽部よりも高い熱伝導率を有する金属材料からなる、請求項１に記載のＸ線発生装置。
3. 前記Ｘ線遮蔽部は、前記包囲部の内面に設けられている、請求項１又は２に記載のＸ線発生装置。
4. 前記仕切り壁には、前記気流発生部に臨む位置において前記気体を前記収容空間から前記包囲空間に導入するための第１開口部と、前記包囲空間において前記Ｘ線管収容部の周囲を流通した後の前記気体を前記包囲空間から前記収容空間に排出するための第２開口部と、が設けられており、
   前記収容部は、前記第２開口部に臨む位置に設けられ、前記気体を外部に排出するための排気部を有する、請求項１～３のいずれか一項に記載のＸ線発生装置。
5. 前記Ｘ線管収容部と前記仕切り壁とは、熱的に接続されている、請求項１～４のいずれか一項に記載のＸ線発生装置。
6. 前記収容空間に配置され、前記Ｘ線管に電力を供給する電源部を更に備える、請求項１～５のいずれか一項に記載のＸ線発生装置。
7. 前記収容空間に配置され、前記Ｘ線発生装置の動作を制御する制御回路を更に備え、
   前記制御回路は、前記電源部を挟んで前記Ｘ線管収容部に対向するように配置されている、請求項６に記載のＸ線発生装置。
8. 前記収容空間に配置され、前記Ｘ線発生装置の動作を制御する制御回路を更に備え、
   前記制御回路と前記Ｘ線管との間には、Ｘ線遮蔽材料からなるＸ線遮蔽部材が配置されている、請求項１～６のいずれか一項に記載のＸ線発生装置。
9. 前記包囲部の内面は、前記管軸方向に沿って前記仕切り壁から遠ざかるにつれて前記Ｘ線管の管軸に近づくように傾斜する傾斜面を有する、請求項１～８のいずれか一項に記載のＸ線発生装置。
10. 前記Ｘ線管収容部の外面は、前記包囲部の前記傾斜面に対向し、前記管軸方向に沿って前記仕切り壁から遠ざかるにつれて前記Ｘ線管の管軸に近づくように傾斜する傾斜面を有する、請求項９に記載のＸ線発生装置。

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