JP2011242374A - X線検査装置 - Google Patents
X線検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011242374A JP2011242374A JP2010117438A JP2010117438A JP2011242374A JP 2011242374 A JP2011242374 A JP 2011242374A JP 2010117438 A JP2010117438 A JP 2010117438A JP 2010117438 A JP2010117438 A JP 2010117438A JP 2011242374 A JP2011242374 A JP 2011242374A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- inspection object
- thickness
- detection
- inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 61
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims abstract description 26
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 111
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 5
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 abstract description 20
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 15
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 16
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 4
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 4
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 3
- MARUHZGHZWCEQU-UHFFFAOYSA-N 5-phenyl-2h-tetrazole Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=NNN=N1 MARUHZGHZWCEQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 235000019688 fish Nutrition 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000013372 meat Nutrition 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 235000021067 refined food Nutrition 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
【解決手段】X線検出器10は、搬送路21上を搬送される被検査物WにX線を照射するX線発生部9と、被検査物Wの搬送方向(方向X)の平面上で搬送方向に直交する主走査方向(方向Y)に直線状に配置された複数の検出素子101a、101b、・・・からなる検出素子列101〜108を搬送方向に複数段有し、複数の検出素子列101〜108の段ごとに各検出素子から得た検出データを時間遅延積分により合成して合成データを出力するX線検出器10と、X線検出器10により出力される合成データに基づいて被検査物W中の異物の有無を判定する判定部44と、を備える。また、被検査物Wの厚さ情報に応じて、X線検出器10により行われる時間遅延積分の対象となる検出素子列の段数を設定する段数設定部46を備える。
【選択図】図2
Description
2 搬送部
2a ベルト面
3 検出部
4 筐体
5 表示部
6 駆動モータ
7 搬入口
8 搬出口
9 X線発生部(X線発生器)
10 X線検出器
11 箱体
12 X線管
16 遮蔽カーテン
21 搬送路
21a 天井部
22 検査空間
40 制御部
42 記憶部
43 画像処理部
44 判定部(判定手段)
45 設定部(厚さ入力手段)
46 段数設定部(段数設定手段)
60 厚さ検出センサ(厚さ検出手段)
100a 合成部
101〜108 検出素子列
101a〜108a、101b〜108b、・・・ 検出素子
W 被検査物
Claims (3)
- 搬送路(21)上を搬送される被検査物(W)にX線を照射するX線発生器(9)と、
前記被検査物の搬送方向(方向X)の平面上で搬送方向に直交する主走査方向(方向Y)に直線状に配置された複数の検出素子(101a、101b、・・・)からなる検出素子列(101〜108)を前記搬送方向に複数段有し、前記複数の検出素子列の段ごとに各検出素子から得た検出データを時間遅延積分により合成して合成データを出力するX線検出器(10)と、
前記X線検出器により出力される合成データに基づいて前記被検査物中の異物の有無を判定する判定手段(44)と、を備えたことを特徴とするX線異物検出装置。 - 前記被検査物の厚さを入力する厚さ入力手段(45)と、
前記厚さ入力手段により入力された前記被検査物の厚さに応じて、前記X線検出器により行われる時間遅延積分の対象となる前記検出素子列の段数を設定する段数設定手段(46)と、を備えたことを特徴とする請求項1に記載のX線異物検査装置。 - 前記被検査物の厚さを検出し、検出した厚さを前記厚さ入力手段に入力する厚さ検出手段(60)を備えたことを特徴とする請求項2に記載のX線異物検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010117438A JP5555048B2 (ja) | 2010-05-21 | 2010-05-21 | X線検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010117438A JP5555048B2 (ja) | 2010-05-21 | 2010-05-21 | X線検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011242374A true JP2011242374A (ja) | 2011-12-01 |
JP5555048B2 JP5555048B2 (ja) | 2014-07-23 |
Family
ID=45409160
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010117438A Active JP5555048B2 (ja) | 2010-05-21 | 2010-05-21 | X線検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5555048B2 (ja) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013174545A (ja) * | 2012-02-27 | 2013-09-05 | Anritsu Sanki System Co Ltd | X線異物検出装置 |
JP2015158407A (ja) * | 2014-02-24 | 2015-09-03 | アンリツ産機システム株式会社 | X線検査装置 |
JP2015158406A (ja) * | 2014-02-24 | 2015-09-03 | アンリツ産機システム株式会社 | X線検査装置 |
JP2015190940A (ja) * | 2014-03-28 | 2015-11-02 | アンリツ産機システム株式会社 | X線検査装置 |
JP2015200620A (ja) * | 2014-04-10 | 2015-11-12 | アンリツ産機システム株式会社 | X線検査装置 |
WO2017043123A1 (ja) * | 2015-09-10 | 2017-03-16 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | X線検査方法及びx線検査装置 |
JP2018096796A (ja) * | 2016-12-12 | 2018-06-21 | 株式会社 システムスクエア | X線検査装置 |
WO2019235022A1 (ja) * | 2018-06-08 | 2019-12-12 | 株式会社イシダ | 検査装置 |
US10866331B2 (en) | 2018-10-12 | 2020-12-15 | Anritsu Infivis Co., Ltd. | X-ray inspection apparatus |
JP2021050961A (ja) * | 2019-09-24 | 2021-04-01 | 株式会社イシダ | 検査装置 |
WO2022054794A1 (ja) * | 2020-09-10 | 2022-03-17 | 株式会社ビームセンス | X線透視装置 |
WO2023189135A1 (ja) * | 2022-03-31 | 2023-10-05 | 東レ株式会社 | 検査装置及び検査方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0650915A (ja) * | 1992-07-31 | 1994-02-25 | Hamamatsu Photonics Kk | 異物検出装置 |
JPH06195443A (ja) * | 1992-12-24 | 1994-07-15 | Hamamatsu Photonics Kk | 異物検出装置 |
JP2000292371A (ja) * | 1999-04-07 | 2000-10-20 | Hitachi Medical Corp | X線検査装置 |
JP2004257884A (ja) * | 2003-02-26 | 2004-09-16 | Nittetsu Elex Co Ltd | X線異物検査方法及び装置 |
JP2006126154A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Takashima Giken Kk | X線異物検出装置 |
JP2011145253A (ja) * | 2010-01-18 | 2011-07-28 | Anritsu Sanki System Co Ltd | X線異物検出装置およびx線異物検出方法 |
JP2011149701A (ja) * | 2010-01-19 | 2011-08-04 | Shonai Create Kogyo:Kk | ラインセンサーカメラを用いたx線検査装置 |
-
2010
- 2010-05-21 JP JP2010117438A patent/JP5555048B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0650915A (ja) * | 1992-07-31 | 1994-02-25 | Hamamatsu Photonics Kk | 異物検出装置 |
JPH06195443A (ja) * | 1992-12-24 | 1994-07-15 | Hamamatsu Photonics Kk | 異物検出装置 |
JP2000292371A (ja) * | 1999-04-07 | 2000-10-20 | Hitachi Medical Corp | X線検査装置 |
JP2004257884A (ja) * | 2003-02-26 | 2004-09-16 | Nittetsu Elex Co Ltd | X線異物検査方法及び装置 |
JP2006126154A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Takashima Giken Kk | X線異物検出装置 |
JP2011145253A (ja) * | 2010-01-18 | 2011-07-28 | Anritsu Sanki System Co Ltd | X線異物検出装置およびx線異物検出方法 |
JP2011149701A (ja) * | 2010-01-19 | 2011-08-04 | Shonai Create Kogyo:Kk | ラインセンサーカメラを用いたx線検査装置 |
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013174545A (ja) * | 2012-02-27 | 2013-09-05 | Anritsu Sanki System Co Ltd | X線異物検出装置 |
JP2015158407A (ja) * | 2014-02-24 | 2015-09-03 | アンリツ産機システム株式会社 | X線検査装置 |
JP2015158406A (ja) * | 2014-02-24 | 2015-09-03 | アンリツ産機システム株式会社 | X線検査装置 |
JP2015190940A (ja) * | 2014-03-28 | 2015-11-02 | アンリツ産機システム株式会社 | X線検査装置 |
JP2015200620A (ja) * | 2014-04-10 | 2015-11-12 | アンリツ産機システム株式会社 | X線検査装置 |
CN108307656A (zh) * | 2015-09-10 | 2018-07-20 | 日本株式会社日立高新技术科学 | X射线检查方法以及x射线检查装置 |
JP2017053778A (ja) * | 2015-09-10 | 2017-03-16 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | X線検査方法及びx線検査装置 |
WO2017043123A1 (ja) * | 2015-09-10 | 2017-03-16 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | X線検査方法及びx線検査装置 |
EP3348997A4 (en) * | 2015-09-10 | 2019-05-22 | Hitachi High-Tech Science Corporation | X-RAY INSPECTION METHOD AND X-RAY INSPECTION DEVICE |
US10823686B2 (en) | 2015-09-10 | 2020-11-03 | Hitachi High-Tech Science Corporation | X-ray inspection method and X-ray inspection device |
JP2018096796A (ja) * | 2016-12-12 | 2018-06-21 | 株式会社 システムスクエア | X線検査装置 |
WO2019235022A1 (ja) * | 2018-06-08 | 2019-12-12 | 株式会社イシダ | 検査装置 |
US10866331B2 (en) | 2018-10-12 | 2020-12-15 | Anritsu Infivis Co., Ltd. | X-ray inspection apparatus |
JP2021050961A (ja) * | 2019-09-24 | 2021-04-01 | 株式会社イシダ | 検査装置 |
WO2021059681A1 (ja) * | 2019-09-24 | 2021-04-01 | 株式会社イシダ | 検査装置 |
JP7411984B2 (ja) | 2019-09-24 | 2024-01-12 | 株式会社イシダ | 検査装置 |
US12013351B2 (en) | 2019-09-24 | 2024-06-18 | Ishida Co., Ltd. | Inspection device |
WO2022054794A1 (ja) * | 2020-09-10 | 2022-03-17 | 株式会社ビームセンス | X線透視装置 |
WO2023189135A1 (ja) * | 2022-03-31 | 2023-10-05 | 東レ株式会社 | 検査装置及び検査方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5555048B2 (ja) | 2014-07-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5555048B2 (ja) | X線検査装置 | |
JP5848881B2 (ja) | X線異物検出装置 | |
JP5580609B2 (ja) | X線異物検出装置およびx線異物検出方法 | |
JP5452131B2 (ja) | X線検出器およびx線検査装置 | |
JP6274938B2 (ja) | X線検査装置 | |
JP2018141736A (ja) | X線検査装置 | |
JP5775415B2 (ja) | X線異物検出装置 | |
JP7060446B2 (ja) | X線ラインセンサ及びそれを用いたx線異物検出装置 | |
JP5860305B2 (ja) | X線異物検出装置 | |
JP6462228B2 (ja) | X線検査装置 | |
JP6358812B2 (ja) | X線検査装置 | |
JP6450075B2 (ja) | X線検査装置 | |
JP5620801B2 (ja) | X線異物検出装置 | |
JP6274939B2 (ja) | X線検査装置 | |
JP5706723B2 (ja) | X線異物検出装置 | |
JP5775406B2 (ja) | X線異物検出装置 | |
JP5525300B2 (ja) | X線異物検出装置 | |
JP5771013B2 (ja) | X線異物検出装置 | |
JP6371572B2 (ja) | X線検査装置 | |
JP2009109227A (ja) | 検査装置 | |
JP5759332B2 (ja) | X線異物検出装置 | |
JP6506629B2 (ja) | X線受光装置およびこれを備えたx線検査装置 | |
JP6301207B2 (ja) | X線検査装置 | |
WO2023189135A1 (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
JP7153525B2 (ja) | X線検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130419 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140108 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140218 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140416 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140513 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140530 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5555048 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |