JP6979673B2 - 光検査装置及び光検査システム - Google Patents

Description

本発明は、光を利用して物品の検査を行う光検査装置及び光検査システムに関する。

物品を透過した光（Ｘ線、近赤外線、その他の電磁波）を検出することで光透過画像を生成し、当該光透過画像に応じて物品の良否を判定する光検査装置が知られている。このような光検査装置では、検査対象の異物をテストピースとして貼り付けた良品の物品を繰り返し検査し、当該異物を規定の回数検出できるか否かというテストが行われる。このようなテストを行うための光検査装置として、例えば、特許文献１には、通常の検査モードから検査結果の検出精度（確からしさ）を確認するためのテストモード（確認モード）に切り替えるためのモード切替部を備えた光検査装置が開示されている。

特開２００６−３２２７５０号公報

しかしながら、上記従来の光検査装置では、テストモードで生成された光透過画像であるテスト画像と、テストモードで用いられた異物の情報、及び異物の有無の判定結果は、互いに独立した状態で記憶されており、上記テスト画像、異物の情報及び異物の有無の判定結果を視覚的に同時に確認することは容易ではなかった。

そこで、本発明は、テストモードにおけるテスト画像、異物の情報及び異物の有無の判定結果を視覚的に同時に確認することができる光検査装置及び光検査システムを提供することを目的とする。

本発明の光検査装置は、物品に光を照射することにより生成される光透過画像に基づいて異物の有無を判定する検査部と、検査部による通常の検査を実行する検査モードと、検査の精度を確認するテストモードとを切り替えるモード切替部と、を備える光検査装置であって、テストモードにおいて用いられる異物に関する情報と、テストモードにおいて生成された、異物が混入された物品の光透過画像であるテスト画像と、テスト画像に基づいて実行された異物の有無の判定結果と、を関連付けて記憶する記憶部と、互いに関連付けられた異物に関する情報、テスト画像、及び異物の有無の判定結果を集約した集約画面を表示部に表示させる制御部と、を備える。

この構成の光検査装置では、記憶部は、テストモードで使用された異物の情報（テスト仕様）と、異物が混入された物品の光透過画像であるテスト画像と、テスト画像に基づいて実行された異物の有無の判定結果と、を関連付けて記憶し、制御部は、互いに関連付けられた異物に関する情報、テスト画像、及び異物の有無の判定結果が集約された集約画面を表示部に表示させる。これにより、作業者は、異物に関する情報、テスト画像、及び異物の有無の検出検査の結果を一見して確認できるようになる。この結果、テストモードにおけるテスト画像、異物の情報及び異物の有無の判定結果を視覚的に同時に確認することができる。

本発明の光検査装置では、異物に関する情報には、少なくとも異物の種類又は異物のサイズに関する情報を含んでいてもよい。これにより、テストモードにおけるテスト画像、異物の種類又は異物のサイズ、及び異物の有無の判定結果を視覚的に同時に確認することができる。

本発明の光検査装置では、モード切替部は、テスト画像に基づいて検査モードからテストモードに自動的に切り替えてもよい。これにより、テストを実施したい場合に、作業者がテストモードへの切り替えを忘れたとしても、テストモードにおけるテスト画像、異物の情報及び異物の有無の判定結果を関連付けた状態で確実に記憶することができる。また、作業者は、そのテスト結果を確実に確認することができる。

本発明の光検査装置では、制御部は、テスト画像に判定結果を明示的に重ね合わせて表示してもよい。これにより、異物の有無の判定結果をより分かりやすく提示することができる。

本発明の光検査システムは、物品に光を照射することにより生成される光透過画像に基づいて異物の有無を判定する検査部と、検査部による通常の検査を実行する検査モードと、検査の精度を確認するテストモードとを切り替えるモード切替部と、を有する光検査装置と、テストモードにおいて用いられる異物に関する情報と、テストモードにおいて生成された、異物が混入された物品の光透過画像であるテスト画像と、テスト画像に基づいて実行された異物の有無の判定結果と、を関連付けて記憶する記憶部と、互いに関連付けられた異物に関する情報、テスト画像、及び異物の有無の判定結果を集約した集約画面を表示部に表示させる制御部と、を備え、制御部は、光検査装置に内蔵されており、光検査装置と記憶部とは、ネットワークを介して通信可能に接続されている。

本発明の光検査システムは、物品に光を照射することにより生成される光透過画像に基づいて異物の有無を判定する検査部と、検査部による通常の検査を実行する検査モードと、検査の精度を確認するテストモードとを切り替えるモード切替部と、を有する、光検査装置と、テストモードにおいて用いられる異物に関する情報と、テストモードにおいて生成された、異物が混入された物品の光透過画像であるテスト画像と、テスト画像に基づいて実行された異物の有無の判定結果と、を関連付けて記憶する記憶部と、互いに関連付けられた異物に関する情報、テスト画像、及び異物の有無の判定結果を集約した集約画面を表示部に表示させる制御部と、を有する、管理装置と、を備え、光検査装置と管理装置とは、ネットワークを介して通信可能に接続されている。

これらの構成の光検査システムでは、記憶部は、テストモードで使用された異物の情報（テスト仕様）と、異物が混入された物品の光透過画像であるテスト画像と、テスト画像に基づいて実行された検査の結果と、を関連付けて記憶し、制御部は、互いに関連付けられた異物に関する情報、テスト画像、及び検査の結果が集約された集約画面を表示部に表示させる。これにより、作業者は、異物に関する情報、テスト画像、及び検査の結果を一見して確認できるようになる。この結果、テストモードにおけるテスト画像、異物の情報及び異物の有無の判定結果を視覚的に同時に確認することができる。

本発明の光検査システムでは、異物に関する情報には、少なくとも異物の種類又は異物のサイズに関する情報を含んでいてもよい。これにより、テストモードにおけるテスト画像、異物の種類又は異物のサイズ、及び異物の有無の判定結果を視覚的に同時に確認することができる。

本発明の光検査システムでは、検査部がテスト画像に基づいてテストモードにおいて用いられる異物を検出した場合には、モード切替部は、検査モードからテストモードに自動的に切り替えてもよい。これにより、テストを実施したい場合に、作業者がテストモードへの切り替えを忘れたとしても、テストモードにおけるテスト画像、異物の情報及び異物の有無の判定結果を関連付けた状態で確実に記憶することができる。また、作業者は、そのテスト結果を確実に確認することができる。

本発明の光検査システムでは、制御部は、テスト画像に判定結果を明示的に重ね合わせて表示してもよい。これにより、異物の有無の判定結果をより分かりやすく提示することができる。

本発明によれば、テストモードにおけるテスト画像、異物の情報及び異物の有無の判定結果を視覚的に同時に確認することができる。

一実施形態の光検査装置であるＸ線検査装置の構成図である。 図１のＸ線検査装置の機能構成を示した機能ブロック図である。 （Ａ）は、テストピースの一例を示した図であり、（Ｂ）は、Ｘ線透過画像の一例である。 テスト結果画像の一例を示した図である。 集約画面の一例を示した図である。 変形例１に係るＸ線検査システムの構成図である。 変形例２に係るＸ線検査システムの構成図である。

以下、一実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。

図１に示されるように、Ｘ線検査装置（光検査装置）１は、装置本体２と、支持脚３と、シールドボックス４と、搬送コンベア５と、Ｘ線照射部６と、Ｘ線検出部７と、表示操作部８と、制御部１０と、を備えている。Ｘ線検査装置１は、物品Ｇを搬送しつつ物品ＧのＸ線透過画像（光透過画像）を取得し、当該Ｘ線透過画像に基づいて物品Ｇの検査（異物混入検査）を行う。

なお、検査前の物品Ｇは、搬入コンベア５１によってＸ線検査装置１に搬入され、検査後の物品Ｇは、搬出コンベア５２によってＸ線検査装置１から搬出される。Ｘ線検査装置１によって不良品と判定された物品Ｇは、搬出コンベア５２の下流に配置された振分装置（図示省略）よって生産ライン外に振り分けられ、Ｘ線検査装置１によって良品と判定された物品Ｇは、当該振分装置をそのまま通過する。

装置本体２は、制御部１０等を収容している。支持脚３は、装置本体２を支持している。シールドボックス４は、装置本体２に設けられており、Ｘ線の漏洩を防止する。シールドボックス４には、搬入口４ａ及び搬出口４ｂが形成されている。検査前の物品Ｇは、搬入コンベア５１から搬入口４ａを介してシールドボックス４内に搬入され、検査後の物品Ｇは、シールドボックス４内から搬出口４ｂを介して搬出コンベア５２に搬出される。搬入口４ａ及び搬出口４ｂのそれぞれには、Ｘ線の漏洩を防止するＸ線遮蔽カーテン（図示省略）が設けられている。

搬送コンベア５は、シールドボックス４内に配置されており、搬入口４ａから搬出口４ｂまで搬送方向Ａに沿って物品Ｇを搬送する。搬送コンベア５は、例えば、搬入口４ａと搬出口４ｂとの間に掛け渡されたベルトコンベアである。

Ｘ線照射部６は、シールドボックス４内に配置されており、搬送コンベア５によって搬送される物品ＧにＸ線（光）を照射する。Ｘ線照射部６は、例えば、Ｘ線を出射するＸ線管と、Ｘ線管から出射されたＸ線を搬送方向Ａに垂直な面内において扇状に広げるコリメータと、を有している。

Ｘ線検出部７は、シールドボックス４内に配置されており、物品Ｇ及び搬送コンベア５を透過したＸ線を検出する。Ｘ線検出部７は、例えば、ラインセンサとして構成されている。具体的には、Ｘ線検出部７は、搬送方向Ａに垂直な水平方向に沿って一次元に配列された複数のフォトダイオードと、各フォトダイオードに対してＸ線入射側に配置されたシンチレータと、を有している。この場合、Ｘ線検出部７では、シンチレータに入射したＸ線が光に変換され、各フォトダイオードに入射した光が電気信号に変換される。

表示操作部（表示部）８は、装置本体２に設けられており、各種情報の表示及び各種条件の入力受付等を行う。表示操作部８は、例えば、液晶ディスプレイであり、タッチパネルとしての操作画面を表示する。この場合、オペレータは、表示操作部８を介して各種条件を入力することができる。

制御部１０は、装置本体２内に配置されており、Ｘ線検査装置１の各部の動作を制御する。制御部１０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等で構成されている。制御部１０における各種動作の制御は、例えばＲＯＭに格納されているプログラムがＲＡＭ上にロードされてＣＰＵで実行されることによって行われる。図２に示されるように、制御部１０において、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ等のハードウェアと、プログラム等のソフトウェアとが協働することによって、検査部１１と、モード切替部１２と、記憶部１３と、表示制御部（制御部）１４とが形成される。

検査部１１は、Ｘ線検出部７から出力されてＡ／Ｄ変換された信号が入力される。検査部１１は、当該信号に基づいて物品ＧのＸ線透過画像Ｐ１（図３（Ａ）参照）を生成し、当該Ｘ線透過画像Ｐ１に基づいて物品Ｇの検査を行う。具体的には、検査部１１は、Ｘ線透過画像を一方向に走査したときの濃度の変化に基づいて、異物の有無を判定（良否の判定）する。

このようなＸ線検査装置では、良品の物品Ｇに、図３（Ａ）に示されるような、検査対象（例えば、球状のステンレススチール、樹脂、又はゴム等）となる異物Ｆ１〜Ｆ６をテストピースＦとして貼り付け、当該物品Ｇを繰り返し検査し、当該異物Ｆ１〜Ｆ６を規定の回数検出することができるか否かというテストが行われる。テストピースＦは、複数のサイズ（例えば、１．０ｍｍ、０．８ｍｍ、０．６ｍｍ、０．５ｍｍ、０．４ｍｍ及び０．３ｍｍ）の異物Ｆ１〜Ｆ６を有している。本実施形態のＸ線検査装置１では、このようなテストに容易に対応するために、検査部１１による通常の検査モードと、検査部１１による検査結果の検出精度を確認するためのテストモードとを切り替え可能にするモード切替部１２が設けられている。なお、モード切替部１２については、後段にて詳述する。

検査部１１は、上述するようなテストモードにおいて、Ｘ線透過画像Ｐ１に基づいて異物Ｆ１〜Ｆ６の有無を判定する。このとき、検査部１１は、異物Ｆ１〜Ｆ６の有無の判定結果（以下、「テスト結果」とも称する。）を記憶部１３に記憶させる。また、検査部１１は、図３（Ａ）に示されるような、テストピースＦとしての異物Ｆ１〜Ｆ６が混入された物品ＧのＸ線透過画像Ｐ１をテスト画像Ｐ２として記憶部１３に記憶させる。

モード切替部１２は、検査部１１による通常の検査を実行する検査モードと検査部１１による検査の精度を確認するテストモードとを切り替える。例えば、作業者は、表示操作部８を介して、テストモードに切り替える。このとき、モード切替部１２は、どのような種類の異物及びどのようなサイズの異物が含まれるテストピースＦを検出するためのテストを実施するのかを入力させる画面を表示操作部８に表示させる。これにより、作業者は、テストピースＦに含まれる異物Ｆ１〜Ｆ６の種類及びサイズを入力することが可能になる。

本実施形態のモード切替部１２は、テスト画像Ｐ２に基づいて通常の検査モードからテストモードに自動的に切り替えることができる。具体的には、記憶部１３には、図３（Ａ）に示すようなテストピースＦに対応する陰影（濃度）情報が記憶されており、モード切替部１２は、取得したテスト画像Ｐ２の中に、図３（Ａ）に示すようなテストピースＦの少なくとも一部に対応する陰影（濃度）が含まれると判定した場合に、テストモードに切り替える。モード切替部１２は、テスト画像Ｐ２から検出できる濃度等からテストピースＦに含まれる異物Ｆ１〜Ｆ６の種類及びサイズを自動で検出することができる。

記憶部１３は、テストモードにおいて用いられる異物Ｆ１〜Ｆ６、すなわちテストピースＦに関する情報（テスト仕様）と、テストモードにおいて生成された、テストピースＦとしての異物Ｆ１〜Ｆ６が混入された物品Ｇの光透過画像であるテスト画像Ｐ２と、テスト画像Ｐ２に基づいて実行された異物Ｆ１〜Ｆ６の有無の判定結果、すなわち上述のテスト結果と、を関連付けて記憶する。上記テストピースＦに関する情報には、少なくともテストピースＦに含まれる異物Ｆ１〜Ｆ６の種類及びサイズに関する情報を含んでいる。

表示制御部１４は、互いに関連付けられたテストピースＦに関する情報、テスト画像Ｐ２、及びテスト結果を集約した集約画面Ｓ１を表示操作部８に表示させる。集約画面Ｓ１は、例えば、図５に示されるように、テスト画像Ｐ２を表示する表示領域Ａ１と、表示領域Ａ１の右側に表示され、テストピースＦの種類及びサイズを示す情報及びテスト結果を表示する表示領域Ａ２と、を有している。表示制御部１４は、どのサイズの異物Ｆ１〜Ｆ６までが検出できたのかをテキスト情報として示している。

表示制御部１４は、例えば、図４に示されるようなテスト結果画像Ｐ３を、テスト画像Ｐ２の代わりに表示してもよい。テスト結果画像Ｐ３は、上述のテスト画像Ｐ２上にどのサイズの異物Ｆ１〜Ｆ６までが検出できたのかを明示的に示す情報が付加されている。テスト結果画像Ｐ３を表示する場合には、テスト結果をテキスト情報で示す内容を省略してもよい。テスト結果画像Ｐ３には、検査部１１によって検出された異物Ｆ１〜Ｆ６の周囲を囲む枠Ｍが表示されている。なお、図４に示されるテスト結果画像Ｐ３は、全てのサイズの異物Ｆ１〜Ｆ６が検出されたことを示している。例えば、枠Ｍによって囲まれる異物が５つであれば、５つの異物が検出され１つの異物が検出されなかったというテスト結果が示されることになる。このようなテスト結果画像Ｐ３は、作業者のテスト結果に対する理解を容易にする。

上記実施形態のＸ線検査装置１では、記憶部１３は、テストモードで使用された異物Ｆ１〜Ｆ６の情報（テスト仕様）と、異物Ｆ１〜Ｆ６が混入された物品ＧのＸ線透過画像であるテスト画像Ｐ２と、テスト画像Ｐ２に基づいて実行された異物Ｆ１〜Ｆ６の有無の判定結果と、を関連付けて記憶し、表示制御部１４は、図５に示されるように、互いに関連付けられた異物Ｆ１〜Ｆ６に関する情報、テスト画像Ｐ２（又はテスト結果画像Ｐ３）、及び異物Ｆ１〜Ｆ６の有無の判定結果が集約された集約画面Ｓ１を表示操作部８に表示させる。これにより、作業者は、集約画面Ｓ１からどのような異物Ｆ１〜Ｆ６を用いてテストを実施し、そのとき取得されたテスト画像Ｐ２がどのようなものであったか、そして、そのテスト画像Ｐ２からどのような判定結果を得られたかが、一見で把握できるようになる。この結果、テストモードにおけるテスト画像Ｐ２、異物Ｆ１〜Ｆ６の情報及び異物Ｆ１〜Ｆ６の有無の判定結果を視覚的に同時に確認することができる。

上記実施形態のＸ線検査装置１では、異物Ｆ１〜Ｆ６に関する情報には、異物Ｆ１〜Ｆ６の種類又は異物のサイズに関する情報を含んでいるので、テストモードにおけるテスト画像Ｐ２、異物Ｆ１〜Ｆ６の種類又は異物のサイズ、及び異物Ｆ１〜Ｆ６の有無の判定結果を視覚的に同時に確認することができる。

上記実施形態のＸ線検査装置１では、モード切替部１２は、テスト画像Ｐ２に基づいて検査モードからテストモードに自動的に切り替えるので、テストを実施したい場合に、作業者がテストモードへの切り替えを忘れたとしても、テストモードにおけるテスト画像Ｐ２、異物Ｆ１〜Ｆ６の情報及び異物Ｆ１〜Ｆ６の有無の判定結果を関連付けた状態で確実に記憶することができる。また、作業者は、そのテスト結果を確実に確認することができる。

上記実施形態のＸ線検査装置１において、表示制御部１４は、テスト画像Ｐ２に判定結果を明示的に重ね合わせて表示したテスト結果画像Ｐ３を表示すれば、異物Ｆ１〜Ｆ６の有無の判定結果をより分かりやすく提示することができる。

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されない。

［変形例１］
図６に示されるように、上述の制御部１０に含まれる記憶部１３に代えて又は加えて、ネットワークＮを介して通信可能に接続されている記憶部１３Ａを利用するＸ線検査システム（光検査システム）１００として構築してもよい。この場合、記憶部１３Ａは、クラウドシステム等を利用することができる。

上述したように、記憶部１３Ａにはテスト画像Ｐ２が記憶されるので、記憶部１３Ａには記憶容量が必要とされる。したがって、Ｘ線検査装置１に内蔵されている記憶部を交換することに比べ、容易に記憶容量の増設が可能になる。なお、上記の変形例１では、記憶部１３Ａは外部のサーバ等に配置される例を挙げて説明したが、外部である必要はなく、Ｘ線検査装置１の外側にケーブル等を介して接続してもよい。

［変形例２］
図７に示されるように、上述の制御部１０に含まれる記憶部１３及び表示制御部１４と同様の機能を有する記憶部１３Ｂ及び表示制御部１４Ｂと、表示部８Ｂと、からなる管理装置７０と、管理装置７０とネットワークＮを介して通信可能に接続した記憶部１３及び表示制御部１４を有さない制御部１０Ａを有するＸ線検査装置１Ａと、からなるＸ線検査システム（光検査システム）１００Ａとして構築してもよい。

上述したように、記憶部１３Ａにはテスト画像Ｐ２が記憶されるので、記憶部１３Ａには記憶容量が必要とされる。したがって、Ｘ線検査装置１に内蔵されている記憶部を交換することに比べ、容易に記憶容量の増設が可能になる。また、テスト結果の確認は、Ｘ線検査装置１Ａが配置された場所とは別の管理事務所等で行われることが多い。本変形例２のＸ線検査システム１００Ａでは、このような事情に合わせて、Ｘ線検査装置１Ａを効率的に管理することができる。なお、上記の変形例２では、管理装置７０が事務所等、Ｘ線検査装置１Ａから比較的近い場所に配置される例を挙げて説明したが、例えば、本社等、Ｘ線検査装置１Ａから比較的遠い場所に配置されてもよい。

［その他の変形例］
上記実施形態では、表示制御部１４が集約画面Ｓ１を表示する例を挙げて説明したが、集約画面Ｓ１を集約画面画像として保存又は配信してもよい。

本発明は、物品を透過した光（近赤外線、その他の電磁波）を検出することで光透過画像を生成し、当該光透過画像に基づいて物品の検査を行う、Ｘ線検査装置以外の光検査装置に適用可能である。

１，１Ａ…Ｘ線検査装置（光検査装置）、８…表示操作部（表示部）、１０…制御部、１１…検査部、１２…モード切替部、１３，１３Ａ…記憶部、１４…表示制御部、７０…管理装置、１００，１００Ａ…Ｘ線検査システム（光検査システム）、Ｆ…テストピース、Ｆ１〜Ｆ６…異物、Ｇ…物品、Ｎ…ネットワーク、Ｐ１…Ｘ線透過画像、Ｐ２…テスト画像、Ｐ３…テスト結果画像、Ｓ１…集約画面。

Claims (9)

1. 物品に光を照射することにより生成される光透過画像に基づいて異物の有無を判定する検査部と、
   前記検査部による通常の検査を実行する検査モードと、前記検査の精度を確認するテストモードとを切り替えるモード切替部と、を備える光検査装置であって、
   前記テストモードにおいて用いられるテスト用異物に関する情報と、前記テスト用異物を利用して生成された、前記テスト用異物が混入された前記物品の光透過画像であるテスト画像と、前記テスト画像に基づいて実行された前記テスト用異物の有無の判定結果と、を関連付けて記憶する記憶部と、
   互いに関連付けられた前記テスト用異物に関する情報、前記テスト画像、及び前記判定結果を集約した集約画面を表示部に表示させる制御部と、を備える、光検査装置。
2. 前記テスト用異物に関する情報には、前記テスト用異物の種類又は前記テスト用異物のサイズに関する情報を少なくとも含む、請求項１記載の光検査装置。
3. 前記モード切替部は、前記テスト画像に基づいて前記検査モードから前記テストモードに自動的に切り替える、請求項１又は２記載の光検査装置。
4. 前記制御部は、前記テスト画像に前記判定結果を明示的に重ね合わせて表示する、請求項１〜３の何れか一項記載の光検査装置。
5. 物品に光を照射することにより生成される光透過画像に基づいて異物の有無を判定する検査部と、
   前記検査部による通常の検査を実行する検査モードと、前記検査の精度を確認するテストモードとを切り替えるモード切替部と、を有する光検査装置と、
   前記テストモードにおいて用いられるテスト用異物に関する情報と、前記テスト用異物を利用して生成された、前記テスト用異物が混入された前記物品の光透過画像であるテスト画像と、前記テスト画像に基づいて実行された前記テスト用異物の有無の判定結果と、を関連付けて記憶する記憶部と、
   互いに関連付けられた前記テスト用異物に関する情報、前記テスト画像、及び前記判定結果を集約した集約画面を表示部に表示させる制御部と、を備え、
   前記制御部は、前記光検査装置に内蔵されており、
   前記光検査装置と前記記憶部とは、ネットワークを介して通信可能に接続されている、光検査システム。
6. 物品に光を照射することにより生成される光透過画像に基づいて異物の有無を判定する検査部と、
   前記検査部による通常の検査を実行する検査モードと、前記検査の精度を確認するテストモードとを切り替えるモード切替部と、を有する、光検査装置と、
   前記テストモードにおいて用いられるテスト用異物に関する情報と、前記テスト用異物を利用して生成された、前記テスト用異物が混入された前記物品の光透過画像であるテスト画像と、前記テスト画像に基づいて実行された前記テスト用異物の有無の判定結果と、を関連付けて記憶する記憶部と、
   互いに関連付けられた前記テスト用異物に関する情報、前記テスト画像、及び前記判定結果を集約した集約画面を表示部に表示させる制御部と、を有する、管理装置と、を備え、
   前記光検査装置と前記管理装置とは、ネットワークを介して通信可能に接続されている、光検査システム。
7. 前記テスト用異物に関する情報には、少なくとも前記テスト用異物の種類又は前記テスト用異物のサイズに関する情報を含む、請求項５又は６記載の光検査システム。
8. 前記検査部が前記テスト画像に基づいて前記テストモードにおいて用いられる前記テスト用異物を検出した場合には、前記モード切替部は、前記検査モードから前記テストモードに自動的に切り替える、請求項５〜７の何れか一項記載の光検査システム。
9. 前記制御部は、前記テスト画像に前記判定結果を明示的に重ね合わせて表示する、請求項５〜８の何れか一項記載の光検査システム。

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