JP6274939B2 - X線検査装置 - Google Patents
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Description
2a 搬送面
5 表示器
9 X線発生器
10 X線検出器
10dm 合成済データ
12 X線管
21 搬送路
40 制御部
43 フィルタ処理部
44 合成部
45 表示制御部
46 画像処理部
48 判定部
49 設定操作部(リミット値設定操作部、検出素子設定操作部)
50、60 X線ラインセンサ
50b、60b X線検出データ
50d、60d X線検出データ
51、52、53、54、61、62、63、64 センサモジュール(検出素子)
Claims (6)
- 搬送路(21)の搬送面(2a)上を搬送される被検査物(W)にX線を照射するX線管(12)と、
前記被検査物の搬送方向(X方向)の平面上で搬送方向に直交する幅方向(Y方向)に直線状に配置された複数の検出素子からなる複数のX線ラインセンサ(50、60)を前記搬送方向に有し、前記X線の受光量に応じたX線検出データを前記X線ラインセンサ毎に出力するX線検出器(10)と、
前記複数のX線ラインセンサからのX線検出データを合成して合成済データとして出力する合成部(44)と、
前記合成済データに基づいて異物の混入の有無を含む前記被検査物の良否判定を行う判定部(48)と、
前記合成済データまたは前記判定部による良否判定結果の少なくとも一方を表示可能な表示器(5)と、
前記表示器の表示内容を制御する表示制御部(45)と、を備え、
前記表示制御部は、前記表示器に、少なくとも1つの前記X線検出データと、前記合成済データとを、同時に表示させるよう制御することを特徴とするX線検査装置。 - 前記表示制御部は、前記表示器に、少なくとも1つの前記X線検出データと、前記合成済データとを、重ねた状態で同時に表示させるよう制御することを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。
- 前記表示制御部は、複数の前記X線ラインセンサのうち1つの前記X線ラインセンサによる前記X線検出データと他の前記X線ラインセンサによる前記X線検出データとの間で切り換え可能に、前記表示器に、少なくとも1つの前記X線検出データと、前記合成済データとを、同時に表示させるよう制御することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のX線検査装置。
- 前記複数のX線ラインセンサからの各X線検出データに処理を施すフィルタ処理部(43)を備え、
前記表示制御部は、前記表示器に、前記フィルタ処理部で処理が施された少なくとも1つの前記X線検出データと、前記合成済データとを、同時に表示させるよう制御することを特徴とする請求項1〜請求項3の何れかに記載のX線検査装置。 - 前記被検査物中の異物の混入の有無を判定するための検出リミット値の設定操作を行うリミット値設定操作部(49)を備え、
前記表示制御部は、前記表示器に、前記X線検出データとしての前記幅方向または搬送方向の断面波形画像の少なくとも1つと、前記合成済データとを、同時に表示させるよう制御することを特徴とする請求項1〜請求項4の何れかに記載のX線検査装置。 - 前記検出素子のうち不使用とする検出素子の設定操作を行う検出素子設定操作部(49)を備えたことを特徴とする請求項1〜請求項5の何れかに記載のX線検査装置。
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