JP2016003952A - X線検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
なお、本実施形態では、X線透過率算出部が算出したX線透過率、置換状態算出部48が算出したヘリウムの置換状態、およびヘリウム検出部86の検出結果が表示部5に表示されるようになっているが、これらのうち何れか1つだけを表示部5に表示するようにしてもよい。また、置換状態算出部48が算出したヘリウムの置換状態に基づいて開閉制御部50がバルブ82の開閉を制御するようにしてもよい。
2 搬送部
4 筐体(遮蔽部材)
5 表示部
7 搬入口
8 搬出口
9 X線発生器
16、17 カバー部材(遮蔽部材)
47 記憶部
48 置換状態算出部
49 X線透過率算出部
50 開閉制御部
51 X線ラインセンサ
60 上流側搬送部
66 上流側従動ローラ
70 下流側搬送部
76 下流側従動ローラ
80 ヘリウム貯留部
82 バルブ
85 遮蔽空間
86 ヘリウム検出部
W 被検査物
Claims (6)
- X線を発生するX線発生器(9)と、
X線を検出するX線ラインセンサ(51)と、
前記X線ラインセンサが検出するX線に応じたX線透過率を算出するX線透過率算出部(49)と、
前記X線透過率算出部が算出したX線透過率を表示する表示部(5)と、
搬入口(7)から搬入された被検査物を前記X線発生器と前記X線ラインセンサとの間を横切るように搬送して搬出口(8)まで搬送する搬送部(2)と、
を備えるX線検査装置(1)において、
前記X線発生器と前記X線ラインセンサを覆って遮蔽空間(85)を形成し、前記X線ラインセンサの下方位置で下向きに開口する遮蔽部材(4、16、17)を備え、
前記搬送部は、
前記X線ラインセンサの搬送方向上流側に配置され、前記被検査物を前記搬入口から前記X線ラインセンサの上流側まで搬送する上流側搬送部(60)と、
前記X線ラインセンサの搬送方向下流側に配置され、前記被検査物を前記X線ラインセンサの下流側から前記搬出口まで搬送する下流側搬送部(70)と、を有し、
前記遮蔽空間内の空気をヘリウムで置換したことを特徴とするX線検査装置。 - 前記上流側搬送部の下流側端部に配置され、前記上流側搬送部に弾性的に接触して従動回転する上流側従動ローラ(66)と、
前記下流側搬送部の上流側端部に配置され、前記下流側搬送部に弾性的に接触して従動回転する下流側従動ローラ(76)と、を備えたことを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。 - 前記遮蔽空間における前記ヘリウムの置換状態と前記X線透過率との相関を予め記憶する記憶部(47)と、
前記記憶部を参照して前記X線透過率に対応する前記置換状態を算出する置換状態算出部(48)と、を備え、
前記表示部は、前記置換状態算出部が算出した前記置換状態を表示することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のX線検査装置。 - 前記ヘリウムを貯留するヘリウム貯留部(80)と、
開弁時に前記ヘリウム貯留部から前記遮蔽空間に前記ヘリウムを放出するバルブ(82)とを備えたことを特徴とする請求項1から請求項3の何れか1項に記載のX線検査装置。 - 前記遮蔽空間の内部であって前記X線ラインセンサの上下方向の下方位置に、前記ヘリウムを検出するヘリウム検出部(86)を備え、
前記表示部は、前記ヘリウム検出部の検出結果を表示することを特徴とする請求項1から請求項4の何れか1項に記載のX線検査装置。 - 前記ヘリウム検出部の検出結果に基づいて前記バルブを開閉する開閉制御部(50)を備え、
前記開閉制御部は、前記ヘリウム検出部が前記ヘリウムを検出していないとき前記バルブを開弁し、前記ヘリウム検出部が前記ヘリウムを検出しているとき前記バルブを閉弁することを特徴とする請求項5に記載のX線検査装置。
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