JP7001252B2 - Ｘ線検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、食品等の被検査物にＸ線を照射して、被検査物の検査を行うＸ線検査装置に関する。

従来、特許文献１（特開平１０－３１８９４３号公報）に開示されるように、エネルギー帯が互いに異なる２種類のＸ線を被検査物に照射して得られた２つの透過Ｘ線データに基づいて、被検査物を検査するＸ線検査装置が知られている。このようなＸ線検査装置として、例えば、エネルギー特性が異なる２つのＸ線透過画像の輝度の差分を求めて、被検査物に含まれる異物を検出する装置が広く用いられている。

しかし、Ｘ線検査装置の長期間の使用によって、Ｘ線を検出するためのセンサが劣化すると、検出されたＸ線に関するセンサの出力値は徐々に低下する。Ｘ線検査装置が、エネルギー帯が互いに異なる２種類のＸ線のそれぞれを検出する２つのセンサを備える場合、当該２つのセンサが異なる速度で劣化することがある。その場合、２つのセンサの出力値が異なる速度で低下するため、２つのＸ線透過画像の輝度の差分が徐々に変化して、その結果、被検査物の検査の精度が低下するおそれがある。被検査物の検査の精度を維持するためには、２つのセンサがある程度劣化したことが判明した場合に、２つのセンサの出力値を調整する処理等を行う必要がある。そのため、Ｘ線検査装置が２つのセンサを備える場合、各センサの劣化を適切に検出できる機能が求められている。

本発明の目的は、センサの劣化を適切に検出することができるＸ線検査装置を提供することである。

本発明に係るＸ線検査装置は、Ｘ線源と、第１センサと、第２センサと、検出部とを備える。Ｘ線源は、被検査物にＸ線を照射する。第１センサは、Ｘ線源から照射される第１エネルギー帯のＸ線を検出し、検出されたＸ線に関する第１出力値を出力する。第２センサは、Ｘ線源から照射される第２エネルギー帯のＸ線を検出し、検出されたＸ線に関する第２出力値を出力する。検出部は、第１出力値および第２出力値の少なくとも一方に基づいて、第１センサおよび第２センサの少なくとも一方の劣化を検出する。

このＸ線検査装置は、２つのセンサを用いて被検査物を検査する。２つのセンサは、Ｘ線源から照射されて被検査物を透過した、エネルギー帯が互いに異なる２種類のＸ線をそれぞれ検出する。このＸ線検査装置は、センサの出力値に基づいて、センサの劣化を検出する機能を有する。センサの出力値は、例えば、被検査物を透過したＸ線の強度に関連する値である。このＸ線検査装置は、センサの出力値に基づいてセンサの劣化を検出するので、センサの劣化を適切なタイミングで検出することができる。

また、Ｘ線検査装置は、第１センサが出力した第１出力値、および、第２センサが出力した第２出力値を記憶する記憶部をさらに備えることが好ましい。この場合、検出部は、記憶部に記憶されている第１出力値および第２出力値に基づいて、第１出力値および第２出力値の少なくとも一方が所定の値以上低下したことを検知した場合に、センサの劣化を検出することが好ましい。

この場合、Ｘ線検査装置は、センサの出力値の低下を検知して、センサの劣化を検出する。例えば、Ｘ線検査装置の使用開始時におけるセンサの出力値が記憶され、Ｘ線検査装置の使用開始時よりも所定の値以上、センサの出力値が低下したことが検知された場合に、センサの劣化が検出される。

また、第１センサが第２センサよりもＸ線源に近い位置に配置される場合、検出部は、記憶部に記憶されている第１出力値に基づいて、第１出力値が所定の値以上低下したことを検知した場合に、センサの劣化を検出することが好ましい。

この場合、Ｘ線検査装置は、２つのセンサのうち、Ｘ線源により近い方のセンサの出力値の低下を検知して、センサの劣化を検出する。すなわち、Ｘ線の影響で劣化しやすい方のセンサの劣化が検出される。

また、検出部は、第１出力値と第２出力値との差が所定の値以上であることを検知した場合に、センサの劣化を検出することが好ましい。

この場合、Ｘ線検査装置は、２つのセンサの出力値の差が所定の値以上になったことを検知した場合に、センサの劣化を検出する。そのため、２つのセンサの劣化の速度が異なる場合でも、センサの劣化が適切に検出される。

また、Ｘ線検査装置は、第１出力値が第２出力値に一致または近似するように、第１出力値および第２出力値の少なくとも一方を変換する変換処理を実行する変換部をさらに備えることが好ましい。この場合、検出部は、変換部によって変換された第１出力値と第２出力値との差が所定の値以上であることを検知した場合に、センサの劣化を検出することが好ましい。

この場合、Ｘ線検査装置は、例えば、２つのセンサの出力値から得られた２つのＸ線透過画像の一方を他方に合わせる変換関数に基づいて、２つのセンサの出力値を合わせる変換処理を行う。そのため、２つのセンサの劣化の速度が異なる場合でも、センサの劣化が適切に検出される。

また、変換部は、変換処理に用いられるデータを自動的に更新するか、または、当該データの更新を提案することが好ましい。

この場合、Ｘ線検査装置は、例えば、２つのセンサの出力値を合わせる変換処理に用いられる変換関数を定期的に更新するか、または、当該変換関数の更新作業をＸ線検査装置の操作者に提案する。

また、Ｘ線検査装置は、第１出力値および第２出力値を用いて被検査物を検査する検査部をさらに備えることが好ましい。この場合、変換部は、検査部が被検査物を検査する際に得られた第１出力値および第２出力値に基づいて、変換処理に用いられるデータを自動的に実行することが好ましい。

この場合、Ｘ線検査装置は、被検査物の検査で得られたセンサの出力値に基づいて、２つのセンサの出力値を合わせる変換処理に用いられる変換関数を自動的に更新する。そのため、被検査物の検査のためにＸ線検査装置を普通に使用するだけで、センサの劣化が適切に検出される。

また、Ｘ線検査装置は、検出部がセンサの劣化を検出した場合に、センサの劣化に関する情報を報知する報知部をさらに備えることが好ましい。

このＸ線検査装置は、例えば、Ｘ線検査装置の操作者に、センサが劣化したことを警告することができ、適切な時期にセンサの交換を促すことができる。

本発明に係るＸ線検査装置は、センサの劣化を適切に検出することができる。

本発明の一実施形態であるＸ線検査装置１０の外観を示す斜視図である。 Ｘ線検査装置１０が組み込まれる検査ライン１００の概略図である。 Ｘ線検査装置１０のシールドボックス１１の内部の概略図である。 センサユニット３０の詳細を示す模式図である。 ラインセンサ３１，３２によって検出される透過Ｘ線の強度の例を示すグラフである。 制御装置５０のブロック図である。 図７（ａ）は、被検査物Ａの低エネルギー透過画像Ｐ１の一例である。図７（ｂ）は、被検査物Ａの高エネルギー透過画像Ｐ２の一例である。図７（ｃ）は、図７（ａ）の低エネルギー透過画像Ｐ１の輝度変換処理によって取得された輝度変換後低エネルギー透過画像Ｐ１ａを表す。 低エネルギーヒストグラムＨ１および高エネルギーヒストグラムＨ２の一例である。 低エネルギーヒストグラム積算曲線Ｃ１および高エネルギーヒストグラム積算曲線Ｃ２の一例である。 画像処理部６１による画像処理のフローチャートである。 ラインセンサ３１，３２の出力値の時間変化の一例を表すグラフである。

本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。以下に説明される実施形態は、本発明の具体例の一つであって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。

（１）Ｘ線検査装置の全体構成
図１は、本発明の一実施形態であるＸ線検査装置１０の外観を示す斜視図である。図２は、Ｘ線検査装置１０が組み込まれる検査ライン１００の概略図である。検査ライン１００は、被検査物Ａの検査を行う。被検査物Ａは、例えば、包装された食品である。検査ライン１００において、被検査物Ａは、前段コンベア６０によってＸ線検査装置１０まで搬送される。図２において、被検査物Ａの搬送方向は、矢印で示されている。

Ｘ線検査装置１０は、前段コンベア６０によって連続的に搬送されてくる被検査物ＡにＸ線を照射することにより、被検査物Ａの良否判断を行う。具体的には、Ｘ線検査装置１０は、被検査物Ａの異物混入検査を行い、検査結果に基づいて被検査物Ａを良品または不良品に分類する。Ｘ線検査装置１０による検査結果は、Ｘ線検査装置１０の下流側に配置されている振り分け機構７０に送られる。振り分け機構７０は、Ｘ線検査装置１０において良品と判断された被検査物Ａを、良品を排出する後段コンベア８０へ送る。振り分け機構７０は、Ｘ線検査装置１０において不良品と判断された被検査物Ａを、不良品排出方向９０，９１に振分けて検査ライン１００から排出する。

（２）Ｘ線検査装置の詳細説明
Ｘ線検査装置１０は、主として、シールドボックス１１と、搬送ユニット１２と、Ｘ線照射器（Ｘ線源）２０と、センサユニット３０と、モニタ４０と、制御装置５０とから構成される。

（２－１）シールドボックス
図３は、Ｘ線検査装置１０のシールドボックス１１の内部の概略図である。シールドボックス１１は、Ｘ線検査装置１０のケーシングである。図１に示されるように、シールドボックス１１の両側面には、被検査物Ａを搬出入するための開口１１ａが形成されている。開口１１ａは、シールドボックス１１の外部から内部に被検査物Ａを搬入するため、または、シールドボックス１１の内部から外部に被検査物Ａを搬出するために用いられる。開口１１ａは、遮蔽のれん１９により塞がれている。遮蔽のれん１９は、シールドボックス１１の内部から外部へのＸ線の漏洩を抑える。遮蔽のれん１９は、鉛を含むゴムから成形される。遮蔽のれん１９は、被検査物Ａが搬出入される時に被検査物Ａによって押しのけられる。

シールドボックス１１の内部には、搬送ユニット１２、Ｘ線照射器２０、センサユニット３０および制御装置５０等が収容されている。シールドボックス１１の正面上部には、モニタ４０、入力用のキー、および、電源スイッチ等が配置されている。

（２－２）搬送ユニット
搬送ユニット１２は、シールドボックス１１の内部を通過するように被検査物Ａを搬送するためのベルトコンベアである。図１に示されるように、搬送ユニット１２は、シールドボックス１１の両側面に形成された開口１１ａを貫通するように配置されている。

搬送ユニット１２は、主として、コンベアモータ１２ａと、エンコーダ１２ｂと、コンベアローラ１２ｃと、無端状のベルト１２ｄとから構成されている。コンベアローラ１２ｃは、コンベアモータ１２ａによって駆動される。コンベアローラ１２ｃの駆動により、ベルト１２ｄが回転し、ベルト１２ｄ上の被検査物Ａが搬送される。図３において、被検査物Ａの搬送方向は、矢印で示されている。

搬送ユニット１２による被検査物Ａの搬送速度は、Ｘ線検査装置１０の操作者によって入力された設定速度に応じて変動する。制御装置５０は、設定速度に基づいてコンベアモータ１２ａをインバータ制御し、被検査物Ａの搬送速度を細かく制御する。搬送ユニット１２のエンコーダ１２ｂは、被検査物Ａの搬送速度を検出して制御装置５０に送信する。

なお、搬送ユニット１２は、搬送機構としてベルトコンベアを用いているが、ベルトコンベアの代わりにトップチェーンコンベアおよび回転テーブル等を搬送機構として用いてもよい。

（２－３）Ｘ線照射器
Ｘ線照射器２０は、シールドボックス１１内部の所定の位置まで搬送ユニット１２によって搬送された被検査物ＡにＸ線を照射する。Ｘ線照射器２０から照射されるＸ線には、様々なエネルギーのＸ線が含まれている。

図３に示されるように、Ｘ線照射器２０は、搬送ユニット１２の上方に配置されている。Ｘ線照射器２０は、搬送ユニット１２の下方に配置されるセンサユニット３０に向けて扇状のＸ線（放射光）を照射する。Ｘ線の照射範囲Ｘは、図３に示されるように、搬送ユニット１２の搬送面に対して垂直であり、かつ、搬送ユニット１２による被検査物Ａの搬送方向に対して直交する方向に広がる。すなわち、Ｘ線照射器２０から照射されるＸ線は、ベルト１２ｄの幅方向に広がる。

（２－４）センサユニット
センサユニット３０は、Ｘ線照射器２０から照射されたＸ線を検出するセンサである。具体的には、センサユニット３０は、搬送ユニット１２によって搬送された被検査物Ａを透過したＸ線である透過Ｘ線を検出する。

図３に示されるように、センサユニット３０は、搬送ユニット１２の下方に配置されている。センサユニット３０は、主として、低エネルギー用ラインセンサ（第１センサ）３１と、高エネルギー用ラインセンサ（第２センサ）３２と、フィルタ３３とを有する。低エネルギー用ラインセンサ３１、フィルタ３３および高エネルギー用ラインセンサ３２は、Ｘ線照射器２０に近い方から、この順番で配置されている。すなわち、フィルタ３３は、低エネルギー用ラインセンサ３１と高エネルギー用ラインセンサ３２との間に配置されている。以下、必要に応じて、低エネルギー用ラインセンサ３１および高エネルギー用ラインセンサ３２を、まとめてラインセンサ３１，３２と呼ぶ。

低エネルギー用ラインセンサ３１および高エネルギー用ラインセンサ３２は、それぞれ、複数のＸ線検出素子から構成されている。複数のＸ線検出素子は、搬送ユニット１２による被検査物Ａの搬送方向に直交する方向（ベルト１２ｄの幅方向）に沿って一直線に水平配置されている。

図４は、センサユニット３０の詳細を示す模式図である。以下、Ｘ線照射器２０から照射されるＸ線には、低エネルギー帯（第１エネルギー帯）のＸ線と、中エネルギー帯のＸ線と、高エネルギー帯（第２エネルギー帯）のＸ線とが含まれるとする。中エネルギー帯のＸ線は、低エネルギー帯のＸ線と、高エネルギー帯のＸ線との間のエネルギー帯のＸ線である。図４では、符号Ｘ１は低エネルギー帯のＸ線を表し、符号Ｘ２は中エネルギー帯のＸ線を表し、符号Ｘ３は高エネルギー帯のＸ線を表す。

低エネルギー用ラインセンサ３１は、低エネルギー帯のＸ線を吸収して検出する。中エネルギー帯のＸ線、および、高エネルギー帯のＸ線は、低エネルギー用ラインセンサ３１を透過する。フィルタ３３は、低エネルギー用ラインセンサ３１を透過した中エネルギー帯のＸ線を吸収する。高エネルギー帯のＸ線は、フィルタ３３を透過する。高エネルギー用ラインセンサ３２は、低エネルギー用ラインセンサ３１およびフィルタ３３を透過した高エネルギー帯のＸ線を吸収して検出する。フィルタ３３は、中エネルギー帯のＸ線を吸収することで、中エネルギー帯のＸ線が高エネルギー用ラインセンサ３２に吸収されることを防止する。

センサユニット３０は、透過Ｘ線を検出し、検出された透過Ｘ線の強度に応じた電圧を示すＸ線透過信号を出力する。Ｘ線透過信号は、後述するように、被検査物Ａの透過画像の生成に用いられる。図５は、センサユニット３０の低エネルギー用ラインセンサ３１および高エネルギー用ラインセンサ３２によって検出される透過Ｘ線の強度の例を示すグラフである。グラフの横軸は、各ラインセンサ３１，３２上の位置を表す。グラフの縦軸は、各ラインセンサ３１，３２が検出した透過Ｘ線の強度を表す。図５において、符号Ｄ１は、低エネルギー用ラインセンサ３１によって検出される透過Ｘ線の強度を表し、符号Ｄ２は、高エネルギー用ラインセンサ３２によって検出される透過Ｘ線の強度を表す。被検査物Ａの透過画像では、透過Ｘ線の検出量の多いところが明るく（輝度が高く）表示され、透過Ｘ線の検出量が少ないところが暗く（輝度が低く）表示される。すなわち、被検査物Ａの透過画像の明暗（輝度値）は、透過Ｘ線の検出量に依存する。図５に示されるように、被検査物Ａを透過したＸ線の検出量は、被検査物Ａを透過しなかったＸ線の検出量より低い。

さらに、センサユニット３０は、被検査物ＡがＸ線の扇状の照射範囲Ｘ（図３参照）を通過するタイミングを検知するためのセンサとしても機能する。すなわち、センサユニット３０は、搬送ユニット１２のベルト１２ｄ上で搬送される被検査物Ａがセンサユニット３０の上方の位置（照射範囲Ｘと重なる位置）に来たとき、所定の閾値以下の電圧を示すＸ線透過信号（第１信号）を出力する。一方、センサユニット３０は、被検査物Ａが照射範囲Ｘを通過すると、所定の閾値を上回る電圧を示すＸ線透過信号（第２信号）を出力する。第１信号および第２信号が制御装置５０に送られることにより、照射範囲Ｘにおける被検査物Ａの有無が検出される。

（２－５）モニタ
モニタ４０は、タッチパネル機能付きの液晶ディスプレイである。モニタ４０は、Ｘ線検査装置１０の表示部および入力部として機能する。モニタ４０には、被検査物Ａの検査結果等が表示される。また、モニタ４０には、初期設定、および、被検査物Ａの良否判断に関するパラメータを入力するための画面等が表示される。

Ｘ線検査装置１０の操作者は、モニタ４０を操作して、検査パラメータおよび動作設定情報等を入力することができる。検査パラメータとは、被検査物Ａの良否を判定するために必要なパラメータである。具体的には、検査パラメータは、被検査物Ａに含まれる異物の有無を判定するために用いられる透過Ｘ線の強度の閾値等である。動作設定情報とは、被検査物Ａの検査速度、および、搬送ユニット１２の搬送方向等の情報である。

モニタ４０は、制御装置５０に接続されており、制御装置５０と信号の送受信を行う。モニタ４０によって入力された検査パラメータおよび動作設定情報は、制御装置５０の記憶部５２に記憶される。

（２－６）制御装置
制御装置５０は、主として、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭおよびＨＤＤ（ハードディスクドライブ）等によって構成されている。なお、ＨＤＤの代わりにＳＳＤ（ソリッドステートドライブ）が用いられてもよい。制御装置５０は、図示されない表示制御回路、入力回路および通信ポート等も備えている。表示制御回路は、モニタ４０の表示を制御する回路である。入力回路は、モニタ４０のタッチパネルおよび入力キーを介して操作者によって入力された入力データを取り込む回路である。通信ポートは、プリンタ等の外部機器、および、ＬＡＮ等のネットワークとの接続を可能にするポートである。

図６は、制御装置５０のブロック図である。制御装置５０は、主として、制御部５１と、記憶部５２とを有する。制御装置５０は、コンベアモータ１２ａ、エンコーダ１２ｂ、Ｘ線照射器２０、センサユニット３０およびモニタ４０等に電気的に接続されている。制御装置５０は、エンコーダ１２ｂからコンベアモータ１２ａの回転数に関するデータを取得し、そのデータに基づいて被検査物Ａの移動距離を算出する。制御装置５０は、センサユニット３０から出力されたＸ線透過信号を受信し、搬送ユニット１２のベルト１２ｄ上の被検査物ＡがＸ線の照射範囲Ｘに到達したタイミングを検出する。制御装置５０は、透過Ｘ線の強度に基づいて、被検査物Ａに含まれる異物の有無を判定して、被検査物Ａの良否を判定する。

（２－６－１）制御部
制御部５１は、記憶部５２に記憶されている各種プログラムを実行することにより、様々な機能を実現する。制御部５１は、画像処理部６１と、センサ劣化検出部６２と、良否判定部６３とを有する。

（２－６－１－１）画像処理部
画像処理部６１は、センサユニット３０が出力したＸ線透過信号に基づいて、被検査物Ａの透過画像を生成し、その透過画像に対して各種の画像処理を施し、最終画像を生成する。生成された最終画像は、被検査物Ａに含まれる異物の有無の判定に用いられる。

画像処理部６１は、画像生成部６１ａと、画像拡縮部６１ｂと、画像位置合わせ部６１ｃと、ヒストグラム作成部６１ｄと、ヒストグラム積算部６１ｅと、輝度変換テーブル作成部６１ｆと、画像変換部６１ｇと、除算部６１ｈと、フィルタ部６１ｉと、二値化部６１ｊとを有する。

（ａ）画像生成部
画像生成部６１ａは、センサユニット３０が出力したＸ線透過信号に基づいて、被検査物Ａの透過画像を生成する。具体的には、画像生成部６１ａは、Ｘ線の扇状の照射範囲Ｘ（図３参照）を被検査物Ａが通過する度に、センサユニット３０の各Ｘ線検出素子から所定の短い時間間隔ごとに出力されるＸ線透過信号のデータを時間順にマトリックス状につなぎ合わせて、被検査物Ａの透過画像を生成する。照射範囲Ｘにおける被検査物Ａの有無は、センサユニット３０が出力する信号の有無により判定される。画像生成部６１ａが生成した透過画像は、画像記憶部５２ａに記憶される。

画像生成部６１ａが生成する透過画像は、低エネルギー透過画像Ｐ１と高エネルギー透過画像Ｐ２とからなる。低エネルギー透過画像Ｐ１は、低エネルギー用ラインセンサ３１が出力したＸ線透過信号（第１出力値）に基づいて生成された透過画像である。高エネルギー透過画像Ｐ２は、高エネルギー用ラインセンサ３２が出力したＸ線透過信号（第２出力値）に基づいて生成された透過画像である。これらの透過画像は、マトリックス状に配置された複数の画素から構成される。透過画像の各画素は、複数の濃度レベル（明暗レベル）の内の一つを有する。

図７（ａ）は、被検査物Ａの低エネルギー透過画像Ｐ１の一例である。図７（ｂ）は、被検査物Ａの高エネルギー透過画像Ｐ２の一例である。図７（ａ）および図７（ｂ）は、異物Ｍを含む被検査物Ａの透過画像である。図７（ａ）および図７（ｂ）では、透過画像の濃度レベル（明暗レベル）は、ハッチングの間隔で表されている。すなわち、ある領域のハッチングの間隔が狭いほど、その領域を構成する画素の濃度レベルが高く、Ｘ線の検出量が少ないことを表す。言い換えると、ある領域のハッチングの間隔が狭いほど、その領域を構成する画素の輝度値が低くなり、その領域は暗くなる。低エネルギー透過画像Ｐ１は、高エネルギー透過画像Ｐ２と比べて、コントラストが高く、全体的に暗くなっている。これは、低エネルギー帯のＸ線は、高エネルギー帯のＸ線と比べて、被検査物Ａおよび異物Ｍに吸収されやすいからである。また、被検査物ＡのＸ線吸収率は、異物ＭのＸ線吸収率と異なるため、低エネルギー透過画像Ｐ１および高エネルギー透過画像Ｐ２では、被検査物Ａが占める領域の濃度レベルは、異物Ｍが占める領域の濃度レベルと異なっている。

（ｂ）画像拡縮部
画像拡縮部６１ｂは、被検査物Ａの低エネルギー透過画像Ｐ１の大きさと、被検査物Ａの高エネルギー透過画像Ｐ２の大きさとを合わせる処理を行う。Ｘ線照射器２０は、センサユニット３０に向かってＸ線を扇状に照射する（図３参照）。Ｘ線照射器２０から高エネルギー用ラインセンサ３２までの距離は、Ｘ線照射器２０から低エネルギー用ラインセンサ３１までの距離より長い。そのため、図５に示されるように、高エネルギー用ラインセンサ３２の被検査物Ａの検出領域は、低エネルギー用ラインセンサ３１の被検査物Ａの検出領域よりわずかに広くなる。その結果、被検査物Ａの高エネルギー透過画像Ｐ２の大きさは、被検査物Ａの低エネルギー透過画像Ｐ１の大きさよりわずかに大きくなる。

そこで、画像拡縮部６１ｂは、低エネルギー透過画像Ｐ１を、変換比Ｒだけ、ラインセンサ３１，３２の長手方向に拡大する。変換比Ｒは、Ｘ線照射器２０から高エネルギー用ラインセンサ３２までの距離と、Ｘ線照射器２０から低エネルギー用ラインセンサ３１までの距離との比である。なお、画像拡縮部６１ｂは、高エネルギー透過画像Ｐ２を、変換比１／Ｒだけ、ラインセンサ３１，３２の長手方向に縮小してもよい。

（ｃ）画像位置合わせ部
画像位置合わせ部６１ｃは、被検査物Ａの低エネルギー透過画像Ｐ１の位置と、被検査物Ａの高エネルギー透過画像Ｐ２の位置とを合わせる処理を行う。画像位置合わせ部６１ｃは、低エネルギー透過画像Ｐ１および高エネルギー透過画像Ｐ２の一方を移動させて、低エネルギー透過画像Ｐ１と高エネルギー透過画像Ｐ２との差異が最小になるようにする。

具体的には、画像位置合わせ部６１ｃは、２つの透過画像Ｐ１，Ｐ２を重ね合わせ、各画素において、２つの透過画像Ｐ１，Ｐ２の輝度の差の絶対値の総和を算出し、その総和が最小となるように位置合わせを行う。そのため、画像位置合わせ部６１ｃが２つの透過画像Ｐ１，Ｐ２を重ね合わせた後では、２つの透過画像Ｐ１，Ｐ２の被検査物Ａおよび異物Ｍの位置ズレがほぼ解消され、２つの透過画像Ｐ１，Ｐ２の輝度の差の絶対値がゼロに近くなる。そのため、被検査物Ａに含まれる異物Ｍの判別が実質的に不可能になるので、以下に説明する低エネルギー透過画像Ｐ１の画像変換処理を施すことによって、被検査物Ａに含まれる異物Ｍの判別を可能にする。

（ｄ）ヒストグラム作成部
ヒストグラム作成部６１ｄは、低エネルギー透過画像Ｐ１の輝度分布を示す低エネルギーヒストグラムＨ１と、高エネルギー透過画像Ｐ２の輝度分布を示す高エネルギーヒストグラムＨ２とを作成する。図８は、低エネルギーヒストグラムＨ１および高エネルギーヒストグラムＨ２の一例である。図８において、横軸は、画素の輝度値を表し、左側に行くほど輝度値が小さくなるので、画素が暗くなる。縦軸は、透過画像に含まれる画素数を表す。

上述したように、低エネルギー透過画像Ｐ１は、高エネルギー透過画像Ｐ２に比べて全体的に暗くなっているので、図８に示されるように、低エネルギーヒストグラムＨ１は、高エネルギーヒストグラムＨ２に比べて、図中の左側（画素の輝度値が小さい側）に寄っている。

（ｅ）ヒストグラム積算部
ヒストグラム積算部６１ｅは、低エネルギーヒストグラムＨ１を積分して低エネルギーヒストグラム積算曲線Ｃ１を算出すると共に、高エネルギーヒストグラムＨ２を積分して高エネルギーヒストグラム積算曲線Ｃ２を算出する。図９は、低エネルギーヒストグラム積算曲線Ｃ１および高エネルギーヒストグラム積算曲線Ｃ２の一例である。図９において、横軸は、画素の輝度値を表し、縦軸は、透過画像に含まれる画素数の積分値を表す。

（ｆ）輝度変換テーブル作成部
輝度変換テーブル作成部６１ｆは、低エネルギーヒストグラム積算曲線Ｃ１と高エネルギーヒストグラム積算曲線Ｃ２とを比較して、低エネルギーヒストグラム積算曲線Ｃ１を高エネルギーヒストグラム積算曲線Ｃ２に一致または近似させる輝度変換テーブルを作成する。輝度変換テーブルは、各輝度値における輝度変換比Ｉからなる。輝度変換比Ｉは、低エネルギーヒストグラム積算曲線Ｃ１の積算値Ｉ１と、高エネルギーヒストグラム積算曲線Ｃ２の積算値Ｉ２との比である（図９参照）。

（ｇ）画像変換部
画像変換部６１ｇは、輝度変換テーブルに基づいて、低エネルギー透過画像Ｐ１の各画素の輝度変換を行い、輝度変換後低エネルギー透過画像Ｐ１ａを取得する。図７（ｃ）は、図７（ａ）の低エネルギー透過画像Ｐ１の輝度変換処理によって取得された輝度変換後低エネルギー透過画像Ｐ１ａを表す。

（ｈ）除算部
除算部６１ｈは、輝度変換後低エネルギー透過画像Ｐ１ａの各画素の輝度値と、高エネルギー透過画像Ｐ２の各画素の輝度値との間で除算を行うことで、被検査物Ａを消す処理を行う。除算部６１ｈは、２つの透過画像Ｐ１ａ，Ｐ２の各画素の輝度値を除算した結果を有する結果画像を出力する。なお、除算部６１ｈは、２つの透過画像Ｐ１ａ，Ｐ２の輝度値が異なる画素と、２つの透過画像Ｐ１ａ，Ｐ２の輝度値が同じ画素との区別を容易にするため、例えば除算結果を１００倍してもよい。

（ｉ）フィルタ部
低エネルギー透過画像Ｐ１および高エネルギー透過画像Ｐ２には、ランダムノイズが含まれているので、除算部６１ｈが出力した結果画像にも、当該ランダムノイズが含まれている。フィルタ部６１ｉは、ガウシアンフィルタ等を用いて、除算部６１ｈが出力した結果画像に含まれるランダムノイズを除去する。

（ｊ）二値化部
二値化部６１ｊは、ランダムノイズが除去された結果画像を、所定の値を閾値として二値化する。これにより、二値化部６１ｊは、被検査物Ａに異物Ｍが含まれている場合に、異物Ｍのみが抽出された二値化画像を取得することができる。

その後、画像処理部６１は、二値化部６１ｊが取得した二値化画像と高エネルギー透過画像Ｐ２とを重ね合わせて、最終画像を生成する。最終画像は、モニタ４０に表示される。なお、二値化部６１ｊは、二値化画像と低エネルギー透過画像Ｐ１とを重ね合わせてもよい。

（２－６－１－２）センサ劣化検出部
センサ劣化検出部６２は、低エネルギー用ラインセンサ３１および高エネルギー用ラインセンサ３２の劣化を検出する。Ｘ線検査装置１０の累積使用時間が長くなるほど、ラインセンサ３１，３２のＸ線検出素子がＸ線に照射される積算時間が長くなる。Ｘ線は、可視光線と比較してエネルギーが高い電磁波であるので、Ｘ線検出素子は、Ｘ線に照射され続けることで徐々に劣化する。具体的には、Ｘ線検出素子が検出できる透過Ｘ線の強度が徐々に低下することで、Ｘ線検出素子が劣化する。その結果、ラインセンサ３１，３２が出力するＸ線透過信号のレベルが徐々に低下して、ラインセンサ３１，３２が劣化する。なお、ラインセンサ３１，３２が出力するＸ線透過信号は、Ｘ線検出素子が検出した透過Ｘ線の強度に応じた電圧を示す。そのため、ラインセンサ３１，３２の劣化とは、この電圧の低下を意味する。

センサ劣化検出部６２は、各ラインセンサ３１，３２の出力値（Ｘ線透過信号のレベル）に基づいて、各ラインセンサ３１，３２が劣化したか否かを判定する。具体的には、センサ劣化検出部６２は、低エネルギー用ラインセンサ３１の出力値（第１出力値）が所定の値以上低下したことを検知した場合に、低エネルギー用ラインセンサ３１が劣化したと判定し、高エネルギー用ラインセンサ３２の出力値（第２出力値）が所定の値以上低下したことを検知した場合に、高エネルギー用ラインセンサ３２が劣化したと判定する。なお、ラインセンサ３１，３２の出力値としては、例えば、各ラインセンサ３１，３２の複数のＸ線検出素子が検出した透過Ｘ線の強度の最大値に応じた電圧が用いられる。

センサ劣化検出部６２は、ある時点におけるラインセンサ３１，３２の出力値と、比較用のラインセンサ３１，３２の出力値とを比較して、当該ある時点における出力値が比較用の出力値よりも所定の値以上低いことを検知した場合に、ラインセンサ３１，３２が劣化したと判定する。比較用の出力値としては、例えば、Ｘ線検査装置１０の初回使用時における出力値が用いられる。この場合、センサ劣化検出部６２は、Ｘ線検査装置１０の初回使用時におけるラインセンサ３１，３２の出力値と、ある時点におけるラインセンサ３１，３２の出力値との差が所定の値以上となった場合に、ラインセンサ３１，３２が劣化したと判定する。Ｘ線検査装置１０の初回使用時におけるラインセンサ３１，３２の出力値は、記憶部５２に記憶される。

（２－６－１－３）良否判定部
良否判定部６３は、画像処理部６１が出力した最終画像を解析して、被検査物Ａに関する良品／不良品の判定を行う。良否判定部６３は、被検査物Ａに異物Ｍが含まれていないと判断した場合に、被検査物Ａを良品と判定する。一方、良否判定部６３は、被検査物Ａに異物Ｍが含まれていると判断した場合に、被検査物Ａを不良品と判定する。良否判定部６３は、輝度値が所定の値以上である画素領域（異物Ｍを表す画素領域）が、画像処理部６１が出力した最終画像に含まれている場合に、被検査物Ａに異物Ｍが含まれていると判断する。

良否判定部６３は、被検査物Ａの良品／不良品を判定すると、被検査物Ａが良品／不良品のいずれかであるのかに関する信号を出力する。良否判定部６３によって出力された信号は、振り分け機構７０に送られる。振り分け機構７０は、良否判定部６３による判定結果に基づき、良品である被検査物Ａを後段コンベア８０へ送り、または、不良品である被検査物Ａを不良品排出方向９０，９１に振り分ける。

（２－６－２）記憶部
記憶部５２は、検査パラメータ、動作設定情報、および、制御部５１が実行する各種プログラムを記憶する。検査パラメータおよび動作設定情報は、モニタ４０のタッチパネル機能を使って操作者によって入力される。

また、記憶部５２は、画像処理部６１、センサ劣化検出部６２および良否判定部６３が生成、取得または使用する様々なデータを記憶する。記憶部５２は、例えば、画像生成部６１ａが生成した低エネルギー透過画像Ｐ１および高エネルギー透過画像Ｐ２、ヒストグラム作成部６１ｄが作成した低エネルギーヒストグラムＨ１および高エネルギーヒストグラムＨ２、ヒストグラム積算部６１ｅが算出した低エネルギーヒストグラム積算曲線Ｃ１および高エネルギーヒストグラム積算曲線Ｃ２、輝度変換テーブル作成部６１ｆが作成した輝度変換テーブル、画像変換部６１ｇが取得した輝度変換後低エネルギー透過画像Ｐ１ａ、除算部６１ｈが出力した結果画像、および、二値化部６１ｊが生成した最終画像を記憶する。

また、記憶部５２は、センサ劣化検出部６２が使用する比較用の出力値を記憶する。比較用の出力値は、例えば、Ｘ線検査装置１０の初回使用時におけるラインセンサ３１，３２の出力値であり、センサ劣化検出部６２によってセンサユニット３０の劣化の判定に用いられる。

（３）画像処理部６１による画像処理
次に、画像処理部６１による画像処理について説明する。この画像処理は、良否判定部６３が被検査物Ａに含まれる異物Ｍの有無を判定するために用いる最終画像を出力するための一連の処理である。図１０は、画像処理部６１による画像処理のフローチャートである。

（３－１）ステップＳ１１「透過画像の生成」
最初に、シールドボックス１１内部の所定の位置まで搬送された被検査物Ａに対して、Ｘ線照射器２０からＸ線が照射される。Ｘ線照射器２０から照射され被検査物Ａを透過したＸ線（透過Ｘ線）は、センサユニット３０の低エネルギー用ラインセンサ３１および高エネルギー用ラインセンサ３２によって検出される。画像生成部６１ａは、低エネルギー用ラインセンサ３１が出力したＸ線透過信号に基づいて低エネルギー透過画像Ｐ１を生成し、高エネルギー用ラインセンサ３２が出力したＸ線透過信号に基づいて高エネルギー透過画像Ｐ２を生成する。

（３－２）ステップＳ１２「透過画像の位置・大きさ合わせ」
次に、画像拡縮部６１ｂおよび画像位置合わせ部６１ｃは、ステップＳ１１で生成された低エネルギー透過画像Ｐ１および高エネルギー透過画像Ｐ２の位置および大きさを合わせる処理を行う。この処理は、例えば、低エネルギー透過画像Ｐ１のアフィン変換によって一度に実行されてもよい。

（３－３）ステップＳ１３「透過画像の輝度変換」
次に、低エネルギー透過画像Ｐ１の各画素の輝度と、高エネルギー透過画像Ｐ２の各画素の輝度とが完全に、または、実質的に一致するように、低エネルギー透過画像Ｐ１の輝度変換処理を行う。具体的には、画像変換部６１ｇは、輝度変換テーブル作成部６１ｆが作成した輝度変換テーブルに基づいて、低エネルギー透過画像Ｐ１の各画素の輝度変換を行い、輝度変換後低エネルギー透過画像Ｐ１ａを取得する。

輝度変換テーブル作成部６１ｆは、ヒストグラム積算部６１ｅが算出した低エネルギーヒストグラム積算曲線Ｃ１および高エネルギーヒストグラム積算曲線Ｃ２に基づいて、輝度変換テーブルを作成する。また、ヒストグラム積算部６１ｅは、ヒストグラム作成部６１ｄが作成した低エネルギーヒストグラムＨ１および高エネルギーヒストグラムＨ２に基づいて、それぞれ、低エネルギーヒストグラム積算曲線Ｃ１および高エネルギーヒストグラム積算曲線Ｃ２を算出する。

（３－４）ステップＳ１４「透過画像間の演算」
次に、除算部６１ｈは、輝度変換後低エネルギー透過画像Ｐ１ａと高エネルギー透過画像Ｐ２との間で除算を行い、これらの透過画像Ｐ１ａ，Ｐ２の間の差異が抽出された結果画像を取得する。具体的には、除算部６１ｈは、２つの透過画像Ｐ１ａ，Ｐ２の各画素の輝度値を除算することで差異を抽出する。

（３－５）ステップＳ１５「ノイズの除去」
次に、フィルタ部６１ｉは、ステップＳ１４で取得された結果画像のランダムノイズを除去して、異物Ｍが占める画素領域以外の画素領域の輝度値が実質的にゼロとなるように輝度変換処理を行う。

（３－６）ステップＳ１６「二値化」
次に、二値化部６１ｊは、ステップＳ１５でランダムノイズが除去された結果画像を、所定の値を閾値として二値化して、異物Ｍのみが抽出された二値化画像を取得する。

最後に、画像処理部６１は、二値化画像と高エネルギー透過画像Ｐ２とを重ね合わせて、被検査物Ａに含まれる異物Ｍが抽出された最終画像を出力する。

（４）特徴
（４－１）
本実施形態のＸ線検査装置１０は、低エネルギー用ラインセンサ３１および高エネルギー用ラインセンサ３２を用いて被検査物Ａを検査する。これらのラインセンサ３１，３２は、Ｘ線照射器２０から照射されて被検査物Ａを透過した、エネルギー帯が互いに異なる２種類の透過Ｘ線をそれぞれ検出する。低エネルギー用ラインセンサ３１は、低エネルギー帯の透過Ｘ線を検出し、高エネルギー用ラインセンサ３２は、高エネルギー帯の透過Ｘ線を検出する。

Ｘ線検査装置１０のセンサ劣化検出部６２は、ラインセンサ３１，３２の出力値に基づいて、ラインセンサ３１，３２の劣化を検出する。そのため、Ｘ線検査装置１０の操作者等がラインセンサ３１，３２の劣化を判定するのではなく、Ｘ線検査装置１０がラインセンサ３１，３２の劣化を自動で判定する。これにより、Ｘ線検査装置１０は、被検査物Ａの検査結果に悪影響を与えるほどラインセンサ３１，３２が劣化しているにも関わらず、ラインセンサ３１，３２が交換されずに使用され続けることを防止でき、また、被検査物Ａの検査結果に悪影響を与えるほどラインセンサ３１，３２が劣化していないにも関わらず、ラインセンサ３１，３２が不必要に交換されてしまうことを防止することができる。従って、Ｘ線検査装置１０は、ラインセンサ３１，３２の劣化を適切なタイミングで検出することができる。Ｘ線検査装置１０の操作者は、劣化が検出されたラインセンサ３１，３２を新しいものに交換することで、Ｘ線検査装置１０の異物Ｍの検出精度を維持することができる。

（４－２）
Ｘ線検査装置１０のセンサ劣化検出部６２は、ラインセンサ３１，３２の出力値の低下を検知して、ラインセンサ３１，３２の劣化を検出する。図１１は、ラインセンサ３１，３２の出力値の時間変化の一例を表すグラフである。図１１において、横軸は、Ｘ線検査装置１０の初回使用時からの経過時間を表し、縦軸は、ラインセンサ３１，３２の出力値を表す。図１１において、符号Ｌ１は、低エネルギー用ラインセンサ３１の出力値の経過時間を表し、符号Ｌ２は、高エネルギー用ラインセンサ３２の出力値の経過時間を表す。

図１１に示されるように、ラインセンサ３１，３２の出力値は、時間の経過と共に徐々に低下する。また、Ｘ線照射器２０と低エネルギー用ラインセンサ３１との間の距離は、Ｘ線照射器２０と高エネルギー用ラインセンサ３２との間の距離より短い。そのため、低エネルギー用ラインセンサ３１がＸ線照射器２０から直接受けるＸ線の強度は、高エネルギー用ラインセンサ３２がＸ線照射器２０から直接受けるＸ線の強度よりも高い。これにより、低エネルギー用ラインセンサ３１の劣化の進行速度は、高エネルギー用ラインセンサ３２の劣化の進行速度より大きくなる傾向がある。すなわち、ラインセンサ３１，３２の出力値の低下速度は互いに異なり、通常は図１１に示されるように、低エネルギー用ラインセンサ３１の出力値の低下速度は、高エネルギー用ラインセンサ３２の出力値の低下速度より大きい。

Ｘ線検査装置１０は、Ｘ線検査装置１０の初回使用時におけるラインセンサ３１，３２の出力値を記憶しておき、定期的に現在の出力値と比較することで、ラインセンサ３１，３２の出力値の低下を検知することができる。具体的には、Ｘ線検査装置１０は、Ｘ線検査装置１０の使用開始時よりも所定の値以上、ラインセンサ３１，３２の出力値が低下したことを検知することができる。Ｘ線検査装置１０は、各ラインセンサ３１，３２の出力値が所定の値以上低下した場合に、当該ラインセンサ３１，３２の劣化を検出する。これにより、Ｘ線検査装置１０は、各ラインセンサ３１，３２の劣化を適切なタイミングで検出することができる。

（５）変形例
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

（５－１）変形例Ａ
実施形態では、Ｘ線検査装置１０は、ラインセンサ３１，３２の出力値の低下を検知して、ラインセンサ３１，３２の劣化を検出する。具体的には、センサ劣化検出部６２は、ラインセンサ３１，３２の出力値が所定の値以上低下した場合に、ラインセンサ３１，３２が劣化したと判断する。

しかし、センサ劣化検出部６２は、低エネルギー用ラインセンサ３１および高エネルギー用ラインセンサ３２の一方のみの出力値の低下を検知して、当該一方のラインセンサのみの劣化を検出してもよい。この場合、Ｘ線検査装置１０の操作者は、例えば、低エネルギー用ラインセンサ３１および高エネルギー用ラインセンサ３２の一方の劣化が検出された場合に、両方のラインセンサ３１，３２を新しいものに交換することが好ましい。両方のラインセンサ３１，３２を新品に交換することで、劣化が検出されたラインセンサ３１，３２のみを新品に交換する場合に比べて、ラインセンサ３１，３２の劣化の程度の差を常に所定のレベル以下に抑えることができる。言い換えると、ラインセンサ３１，３２の一方が新品同然でほとんど劣化していないにも関わらず、他方が相当劣化している状況が回避できる。ラインセンサ３１，３２の劣化の程度の差が大きいと、異物Ｍの検出精度に悪影響を与えるおそれがある。従って、両方のラインセンサ３１，３２を新品に交換することで、Ｘ線検査装置１０の異物Ｍの検出精度を維持することができる。

なお、本変形例では、センサ劣化検出部６２は、低エネルギー用ラインセンサ３１のみの出力値を検知して、低エネルギー用ラインセンサ３１のみの劣化を検出することが好ましい。なぜなら、上述したように、低エネルギー用ラインセンサ３１は、高エネルギー用ラインセンサ３２よりも、Ｘ線照射器２０に近いために劣化しやすいからである。この場合、低エネルギー用ラインセンサ３１の劣化が検出された場合に、両方のラインセンサ３１，３２を新しいものに交換することで、ラインセンサ３１，３２の劣化の程度の差を常に所定のレベル以下に抑えることができるので、Ｘ線検査装置１０の異物Ｍの検出精度を維持することができる。

（５－２）変形例Ｂ
実施形態では、センサ劣化検出部６２は、ラインセンサ３１，３２の出力値が所定の値以上低下した場合に、ラインセンサ３１，３２が劣化したと判断する。しかし、センサ劣化検出部６２は、低エネルギー用ラインセンサ３１の出力値と、高エネルギー用ラインセンサ３２の出力値との差が所定の値以上になった場合に、ラインセンサ３１，３２の劣化を検出してもよい。

図１１には、両ラインセンサ３１，３２の出力値の差Ｄの例が示されている。上述したように、両ラインセンサ３１，３２の出力値の低下速度は互いに異なっている。具体的には、低エネルギー用ラインセンサ３１の出力値の低下速度は、通常、高エネルギー用ラインセンサ３２の出力値の低下速度より大きい。そのため、両ラインセンサ３１，３２の出力値の差は徐々に大きくなる。両ラインセンサ３１，３２の出力値の差が徐々に大きくなるほど、同じ輝度変換テーブルを使用し続けた場合に輝度変換後低エネルギー透過画像Ｐ１ａと高エネルギー透過画像Ｐ２との間の輝度値の差が大きくなる傾向がある。その結果、画像処理部６１が生成する最終画像に、異物Ｍを表す画素領域以外の画素領域が含まれるおそれがあり、Ｘ線検査装置１０の異物Ｍの検出精度が低下する。そのため、両ラインセンサ３１，３２の出力値の差は、ラインセンサ３１，３２の劣化の程度の指標として用いることができる。

従って、本変形では、Ｘ線検査装置１０は、両ラインセンサ３１，３２の劣化の速度が異なる場合に、両ラインセンサ３１，３２の出力値の差を基準に劣化を判定することで、ラインセンサ３１，３２の劣化を適切に検出することができる。

（５－３）変形例Ｃ
実施形態では、制御装置５０の一機能である画像変換部６１ｇは、低エネルギー透過画像Ｐ１の各画素の輝度と、高エネルギー透過画像Ｐ２の各画素の輝度とが完全に、または、実質的に一致するように、低エネルギー透過画像Ｐ１の輝度変換を行う。画像変換部６１ｇは、輝度変換テーブル作成部６１ｆが作成した輝度変換テーブルに基づいて、低エネルギー透過画像Ｐ１の輝度変換を行い、輝度変換後低エネルギー透過画像Ｐ１ａを取得する。低エネルギー透過画像Ｐ１は、低エネルギー用ラインセンサ３１の出力値から得られる画像であり、高エネルギー透過画像Ｐ２は、高エネルギー用ラインセンサ３２の出力値から得られる画像である。

しかし、センサ劣化検出部６２は、輝度変換テーブルに基づいて、低エネルギー用ラインセンサ３１の出力値を変換する処理をさらに行ってもよい。これにより、低エネルギー用ラインセンサ３１の出力値と、高エネルギー用ラインセンサ３２の出力値とが完全に、または、実質的に一致するように、低エネルギー用ラインセンサ３１の出力値が変換される。この場合、センサ劣化検出部６２は、輝度変換テーブルに基づいて変換された低エネルギー用ラインセンサ３１の出力値と、高エネルギー用ラインセンサ３２の出力値との差が所定の値以上であることを検知した場合に、ラインセンサ３１，３２の劣化を検出することができる。なぜなら、同じ輝度変換テーブルを使用し続ける場合、両ラインセンサ３１，３２の劣化の速度の差によって、両ラインセンサ３１，３２の出力値の差は徐々に大きくなるからである。従って、Ｘ線検査装置１０は、両ラインセンサ３１，３２の劣化の速度が異なる場合でも、ラインセンサ３１，３２の劣化を適切に検出することができる。

なお、本変形例では、センサ劣化検出部６２は、低エネルギー用ラインセンサ３１の出力値と、高エネルギー用ラインセンサ３２の出力値とが完全に、または、実質的に一致するように、高エネルギー用ラインセンサ３２の出力値を変換してもよい。

（５－４）変形例Ｄ
変形例Ｃでは、センサ劣化検出部６２は、輝度変換テーブルに基づいて、低エネルギー用ラインセンサ３１の出力値を変換する処理をさらに行う。しかし、センサ劣化検出部６２は、この変換処理に用いられる輝度変換テーブルを自動で更新してもよく、また、輝度変換テーブルの更新作業をＸ線検査装置１０の操作者に提案してもよい。

例えば、センサ劣化検出部６２は、輝度変換テーブルを定期的に自動で更新してもよく、また、被検査物Ａの検査を所定の回数実行する度に輝度変換テーブルを自動で更新してもよい。また、センサ劣化検出部６２は、輝度変換テーブルを自動で更新する代わりに、輝度変換テーブルの更新作業の許可を操作者に求める内容をモニタ４０に表示してもよい。

（５－５）変形例Ｅ
変形例Ｃでは、センサ劣化検出部６２は、低エネルギー用ラインセンサ３１の出力値を変換する処理に用いられる輝度変換テーブルを定期的に自動で更新してもよい。この場合、センサ劣化検出部６２は、良否判定部６３が被検査物Ａに関する良品／不良品の判定を行う際に得られた両ラインセンサ３１，３２の出力値に基づいて、輝度変換テーブルを自動で更新してもよい。

具体的には、センサ劣化検出部６２は、被検査物Ａの通常の検査で得られた両ラインセンサ３１，３２の出力値に基づいて、両ラインセンサ３１，３２の出力値を合わせるために用いられる輝度変換テーブルを自動的に更新する。そのため、被検査物Ａの検査のためにＸ線検査装置１０を普通に使用するだけで、センサ劣化検出部６２は、輝度変換テーブルを最適な状態に維持できるので、ラインセンサ３１，３２の劣化を適切に検出することができる。なお、被検査物Ａに異物Ｍが含まれている確率は、通常は極めて低いので、十分に大きな数の被検査物Ａの検査結果に基づいて輝度変換テーブルを更新すれば、低エネルギー用ラインセンサ３１の出力値と、高エネルギー用ラインセンサ３２の出力値とが完全に、または、実質的に一致するような輝度変換テーブルの作成が可能である。そのため、上記の方法は、輝度変換テーブルの更新の方法として有効である。

なお、Ｘ線検査装置１０は、既に良品と判定された被検査物Ａの検査結果のみに基づいて、輝度変換テーブルを更新してもよい。また、必要であれば、Ｘ線検査装置１０は、現在使用している輝度変換テーブル、および、被検査物Ａの検査結果に基づいて新たに取得された輝度変換テーブルの両方を用いて、被検査物Ａの異物混入検査を行って、検査結果を比較してもよい。この場合、例えば、新たに取得された輝度変換テーブルを使用した方が、最終画像に含まれる異物Ｍの画素領域がより明確になっている場合に、Ｘ線検査装置１０は、新たに取得された輝度変換テーブルを今後採用してもよい。

（５－６）変形例Ｆ
Ｘ線検査装置１０の制御部５１は、センサ劣化検出部６２がラインセンサ３１，３２の劣化を検出した場合に、ラインセンサ３１，３２の劣化に関する情報を報知する報知部の機能をさらに備えてもよい。例えば、報知部は、ラインセンサ３１，３２が劣化したことをＸ線検査装置１０の操作者に報知するための警告をモニタ４０に表示する。これにより、Ｘ線検査装置１０は、適切な時期に、ラインセンサ３１，３２の交換を操作者に促すことができる。

（５－７）変形例Ｇ
実施形態では、センサ劣化検出部６２は、ラインセンサ３１，３２の出力値が所定の値以上低下した場合に、ラインセンサ３１，３２の劣化を検出する。しかし、センサ劣化検出部６２は、ラインセンサ３１，３２の出力値が所定の割合だけ低下した場合に、ラインセンサ３１，３２の劣化を検出してもよい。例えば、センサ劣化検出部６２は、Ｘ線検査装置１０の使用開始時におけるラインセンサ３１，３２の出力値と比較して、現在の出力値が２０％以上低下した場合に、ラインセンサ３１，３２の劣化を検出してもよい。

（５－８）変形例Ｈ
実施形態では、センサ劣化検出部６２は、ラインセンサ３１，３２の出力値に基づいて、ラインセンサ３１，３２の劣化を検出する。しかし、センサ劣化検出部６２は、ラインセンサ３１，３２の出力値の代わりに、これらの出力値に基づいて生成されたデータを用いてラインセンサ３１，３２の劣化を検出してもよい。例えば、センサ劣化検出部６２は、低エネルギー用ラインセンサ３１の出力値の代わりに低エネルギー透過画像Ｐ１の輝度値を用いてもよく、高エネルギー用ラインセンサ３２の出力値の代わりに高エネルギー透過画像Ｐ２の輝度値を用いてもよい。この場合、センサ劣化検出部６２は、例えば、低エネルギー透過画像Ｐ１および高エネルギー透過画像Ｐ２の輝度値の最大値が所定の値以上低下した場合に、ラインセンサ３１，３２の劣化を検出してもよい。

（５－９）変形例Ｉ
実施形態では、Ｘ線検査装置１０の制御部５１はセンサ劣化検出部６２を有し、センサ劣化検出部６２はラインセンサ３１，３２の劣化を検出する。しかし、Ｘ線検査装置１０は、ラインセンサ３１，３２の劣化に関する情報をサーバーに送信するための通信部をさらに有してもよい。これにより、大規模な工場等において複数台のＸ線検査装置１０を管理する担当者は、各Ｘ線検査装置１０のラインセンサ３１，３２の劣化情報を端末から確認することができる。また、Ｘ線検査装置１０のメーカーのサポート部門と劣化情報を共有することで、ラインセンサ３１，３２が劣化により故障する前に部品交換等を行うことが可能になり、故障による設備のダウンタイムを短縮することができる。

本発明に係るＸ線検査装置は、センサの劣化を適切に検出することができるので、被検査物の検査の精度の低下を抑えることができるＸ線検査装置として有用である。

１０ Ｘ線検査装置
２０ Ｘ線照射器（Ｘ線源）
３１ 低エネルギー用ラインセンサ（第１センサ）
３２ 高エネルギー用ラインセンサ（第２センサ）
５２ 記憶部
６１ｇ 画像変換部（変換部）
６２ センサ劣化検出部（検出部）
６３ 良否判定部（検査部）
Ａ 被検査物

特開平１０－３１８９４３号公報

Claims (7)

1. 被検査物にＸ線を照射するＸ線源と、
   前記Ｘ線源から照射される第１エネルギー帯のＸ線を検出し、検出されたＸ線に関する第１出力値を出力する第１センサと、前記Ｘ線源から照射される第２エネルギー帯のＸ線を検出し、検出されたＸ線に関する第２出力値を出力する第２センサとを含むセンサユニットと、
   前記第１出力値と前記第２出力値との双方に基づき、前記センサユニット全体の劣化を判定する制御部と、
   を備える、Ｘ線検査装置。
2. 前記第１センサが出力した前記第１出力値、および、前記第２センサが出力した前記第２出力値を記憶する記憶部をさらに備え、
   前記制御部は、前記記憶部に記憶されている前記第１出力値および前記第２出力値に基づいて、前記第１出力値が所定の値以上低下したことを検知したか否か、および、前記第２出力値が所定の値以上低下したことを検知したか否かに基づき、前記劣化を判定する、
   請求項１に記載のＸ線検査装置。
3. 前記制御部は、前記第１出力値と前記第２出力値との差が所定の値以上であることを検知した場合に、前記劣化を判定する、
   請求項１または２に記載のＸ線検査装置。
4. 前記制御部は、前記第１出力値が前記第２出力値に一致または近似するように、前記第１出力値および前記第２出力値の少なくとも一方を変換する変換処理を実行し、変換された前記第１出力値と前記第２出力値との差が所定の値以上であることを検知した場合に、前記劣化を判定する、
   請求項１から３のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
5. 前記制御部は、前記変換処理に用いられるデータを自動的に更新するか、または、前記データの更新を求める、
   請求項４に記載のＸ線検査装置。
6. 前記制御部は、前記第１出力値および前記第２出力値を用いて前記被検査物を検査し、前記被検査物を検査する際に得られた前記第１出力値および前記第２出力値に基づいて、前記データを自動的に更新する、
   請求項５に記載のＸ線検査装置。
7. 前記制御部は、前記劣化を判定した場合に、前記劣化に関する情報を報知する、
   請求項１から６のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。

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