JP7328667B2

JP7328667B2 - 検査装置

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Publication number: JP7328667B2
Application number: JP2019051638A
Authority: JP
Inventors: 一幸杉本
Original assignee: Ishida Co Ltd
Current assignee: Ishida Co Ltd
Priority date: 2019-03-19
Filing date: 2019-03-19
Publication date: 2023-08-17
Anticipated expiration: 2039-03-19
Also published as: US20200302590A1; KR20200111630A; CN111796336A; EP3719483A1; JP2020153777A; CN111796336B; KR102398211B1; US11138716B2

Description

本発明は、検査装置に関する。

従来の検査装置として、例えば、特許文献１に記載されたものが知られている。特許文献１に記載の検査装置は、被検査物を所定の方向に搬送する搬送コンベアと、搬送コンベアによって搬送される被検査物に対してＸ線を照射するＸ線照射部と、Ｘ線照射部から照射されたＸ線を、搬送コンベアを介して検知する複数の画素を含むラインセンサと、搬送コンベアに被検査物を載置しない状態で搬送コンベアの各位置で取得されたＸ線照射器から照射されたＸ線のラインセンサにおける検知結果に基づいて、搬送コンベアの各位置がラインセンサのキャリブレーションを行うのに適した位置であるか否かを判定する判定部と、判定部においてキャリブレーションを行うのに適した位置と判定された位置においてラインセンサの検知結果に基づいてキャリブレーションを行うキャリブレーション実行部と、を備えている。

特開２００８－２６１９８号公報

検査装置においては、検査精度の向上が求められている。そこで、近年では、検査装置において、複数のエネルギー帯を検知する、いわゆるデュアルエナジーセンサが搭載されている。デュアルエナジーセンサが搭載された検査装置において、更に検査精度の向上を図るためには、ラインセンサの感度を上げることが考えられる。しかしながら、ラインセンサの感度を上げ過ぎると、異物以外の物を異物として誤検知することがあり、検査効率が低下し得る。そのため、検査装置では、上述のように、ラインセンサのキャリブレーションを行い、ラインセンサの感度の差を補正することで、検査精度の向上を図っている。しかしながら、デュアルエナジーセンサが搭載された検査装置では、従来のようにラインセンサ毎に画素の感度の差を補正したとしても、充分な効果が得られない可能性がある。

本発明の一側面は、検査精度の向上が図れる検査装置を提供することを目的とする。

本発明の一側面に係る検査装置は、対象物を搬送する搬送部と、対象物に電磁波を照射する照射部と、対象物を透過した第１エネルギー帯の電磁波を検知する複数の第１素子を含む第１検知部、及び、対象物を透過した第２エネルギー帯の電磁波を検知する複数の第２素子を含むと共に第１検知部と上下方向において対向して配置、又は、第１検知部と搬送部の搬送方向において対向して配置されている第２検知部を有する検知ユニットと、各第１素子によって検知された電磁波に基づいて第１透過画像を生成すると共に、各第２素子によって検知された電磁波に基づいて第２透過画像を生成する生成部と、第１透過画像に基づく第１素子の第１出力値と、当該第１素子と対向して配置されている第２素子における第２透過画像に基づく第２素子の第２出力値とを一致又は近似させる輝度変換関数を、複数の第１素子及び複数の第２素子のそれぞれついて算出、又は、第１透過画像に基づく複数の第１素子で構成される第１素子群の第１出力値と、当該第１素子群と対向して配置されている第２素子で構成されている第２素子群における第２透過画像に基づく第２素子群の第２出力値とを一致又は近似させる輝度変換関数を、複数の第１素子群及び複数の第２素子群のそれぞれついて算出する算出部と、算出部によって算出された輝度変換関数に基づいて、各第１素子又は各第１素子群の第１出力値及び各第２素子又は各第２素子群の第２出力値の少なくとも一方を補正する補正部と、を備える。

本発明の一側面に係る検査装置では、算出部は、第１素子の第１出力値と、第２素子の第２出力値とを一致又は近似させる輝度変換関数を、複数の第１素子及び複数の第２素子のそれぞれについて算出、又は、第１素子群の第１出力値と、第２素子群の第２出力値とを一致又は近似させる輝度変換関数を、複数の第１素子群及び複数の第２素子群のそれぞれついて算出する。補正部は、算出部によって算出された輝度変換関数に基づいて、各第１素子又は各第１素子群の第１出力値及び各第２素子又は各第２素子群の第２出力値の少なくとも一方を補正する。これにより、検査装置では、第１素子又は第１素子群と、当該第１素子又は第１素子群と対向して配置されている第２素子又は第２素子群との感度の差を補正できる。すなわち、検査装置では、上下方向又は搬送方向で対向して配置されている一対の素子（画素）又は素子群のそれぞれについて、感度の差を補正できる。そのため、検査装置では、第１素子又は第１素子群の第１出力値に基づく第１透過画像の対象物の輝度と第２素子又は第２素子群の第２出力値に基づく第２透過画像の対象物の輝度とが略一致するため、第１透過画像及び第２透過画像から対象物を消し込むことができる。したがって、検査装置では、対象物に含まれる異物等を高精度に検知することができる。その結果、検査装置では、検査精度の向上が図れる。

一実施形態においては、生成部は、複数の異なる対象物、及び、搬送部上での位置が異なる対象物の少なくとも一方ついて、第１透過画像及び第２透過画像を複数生成し、算出部は、複数の第１透過画像及び複数の第２透過画像に基づいて、輝度変換関数を算出してもよい。この構成では、複数の第１透過画像及び複数の第２透過画像を用いることにより、より高精度な補正が可能となる。

一実施形態においては、補正部は、対象物を含まない第１透過画像に基づいて、全ての第１素子のそれぞれの第１出力値が一致又は近似する第１輝度変換関数を算出し、対象物を含まない第２透過画像に基づいて、全ての第２素子のそれぞれの第２出力値が一致又は近似する第２輝度変換関数を算出し、補正部は、算出部によって算出された第１輝度変換関数及び第２輝度変換関数に基づいて、全ての第１素子のそれぞれの感度の差、及び、全ての第２素子のそれぞれの感度の差を補正できる。これにより、検査装置では、検査精度の向上をより一層図れる。

本発明の一側面によれば、検査精度の向上が図れる。

図１は、一実施形態に係るＸ線検査装置の構成図である。図２は、図１に示されるシールドボックスの内部の構成図である。図３（ａ）及び図３（ｂ）は、透過画像を示す図である。図４（ａ）及び図４（ｂ）は、透過画像に基づく１つの素子の出力値の平均値の一例を示すグラフである。図５（ａ）及び図５（ｂ）は、出力値の補正を説明するための図である。

以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

図１に示されるように、Ｘ線検査装置（検査装置）１は、装置本体２と、支持脚３と、シールドボックス４と、搬送部５と、Ｘ線照射部（照射部）６と、Ｘ線検知部（検知ユニット）７と、表示操作部８と、制御部（生成部、算出部、補正部）１０と、を備えている。

Ｘ線検査装置１は、物品（対象物）Ａを搬送しつつ物品ＡのＸ線透過画像を生成し、当該Ｘ線透過画像に基づいて物品Ａの検査（例えば、収納数検査、異物混入検査、欠品検査、割れ欠け検査等）を行う。検査前の物品Ａは、搬入コンベア５１によってＸ線検査装置１に搬入される。検査後の物品Ａは、搬出コンベア５２によってＸ線検査装置１から搬出される。Ｘ線検査装置１によって不良品と判定された物品Ａは、搬出コンベア５２の下流に配置された振分装置（図示省略）によって生産ライン外に振り分けられる。Ｘ線検査装置１によって良品と判定された物品Ａは、当該振分装置をそのまま通過する。

装置本体２は、制御部１０等を収容している。支持脚３は、装置本体２を支持している。シールドボックス４は、装置本体２に設けられている。シールドボックス４は、外部へのＸ線の漏洩を防止する。シールドボックス４の内部には、Ｘ線による物品Ａの検査が実施される検査領域Ｒが設けられている。シールドボックス４には、搬入口４ａ及び搬出口４ｂが形成されている。検査前の物品Ａは、搬入コンベア５１から搬入口４ａを介して検査領域Ｒに搬入される。検査後の物品Ａは、検査領域Ｒから搬出口４ｂを介して搬出コンベア５２に搬出される。搬入口４ａ及び搬出口４ｂのそれぞれには、Ｘ線の漏洩を防止するＸ線遮蔽カーテン（図示省略）が設けられている。

搬送部５は、シールドボックス４内に配置されている。搬送部５は、搬入口４ａから検査領域Ｒを介して搬出口４ｂまで、搬送方向Ｄに沿って物品Ａを搬送する。搬送部５は、例えば、搬入口４ａと搬出口４ｂとの間に掛け渡されたベルトコンベアである。

図１及び図２に示されるように、Ｘ線照射部６は、シールドボックス４内に配置されている。Ｘ線照射部６は、搬送部５によって搬送される物品ＡにＸ線（電磁波）を照射する。Ｘ線照射部６は、例えば、Ｘ線を出射するＸ線管と、Ｘ線管から出射されたＸ線を搬送方向Ｄに垂直な面内において扇状に広げるコリメータと、を有している。

Ｘ線検知部７は、シールドボックス４内に配置されている。Ｘ線検知部７は、第１ラインセンサ（第１検知部）１１と、第２ラインセンサ（第２検知部）１２と、を有している。第１ラインセンサ１１と第２ラインセンサ１２とは、搬送方向Ｄに垂直な上下方向において、所定の間隔をあけて対向して配置されている。

第１ラインセンサ１１は、搬送方向Ｄに垂直な水平方向に沿って一次元に配列された複数の第１素子１１ａによって構成されている。第１ラインセンサ１１は、物品Ａ及び搬送部５の搬送ベルトを透過した低エネルギー帯（第１エネルギー帯）のＸ線を検知する。第２ラインセンサ１２は、搬送方向Ｄに垂直な水平方向に沿って一次元に配列された複数の第２素子１２ａによって構成されている。第２ラインセンサ１２は、物品Ａ、搬送部５の搬送ベルト及び第１ラインセンサ１１を透過した高エネルギー帯（第２エネルギー帯）のＸ線を検知する。

図１に示されるように、表示操作部８は、装置本体２に設けられている。表示操作部８は、各種情報を表示すると共に、各種条件の入力を受け付ける。表示操作部８は、例えば、液晶ディスプレイであり、タッチパネルとしての操作画面を表示する。この場合、オペレータは、表示操作部８を介して各種条件を入力することができる。

制御部１０は、装置本体２内に配置されている。制御部１０は、Ｘ線検査装置１の各部の動作を制御する。制御部１０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等で構成されている。制御部１０には、Ｘ線検知部７の第１ラインセンサ１１から低エネルギー帯のＸ線の検知結果（第１出力値）が入力されると共に、Ｘ線検知部７の第２ラインセンサ１２から高エネルギー帯のＸ線の検知結果（第２出力値）が入力される。制御部１０は、Ｘ線の検知結果から作成される画像に基づいて、例えば、物品Ａに異物が含まれているか否かを検査する。

制御部１０は、第１ラインセンサ１１及び第２ラインセンサ１２の検知結果に基づいて、透過画像を生成する。図３（ａ）に示されるように、制御部１０は、第１ラインセンサ１１の低エネルギー帯のＸ線の検知結果に基づいて、第１透過画像Ｇ１を生成する。第１透過画像Ｇ１は、比較的コントラストが高く、全体的に暗くなっている。図３（ｂ）に示されるように、制御部１０は、第２ラインセンサ１２の高エネルギー帯のＸ線の検知結果に基づいて、第２透過画像Ｇ２を生成する。第２透過画像Ｇ２は、比較的コントラストが低く、全体的に明るくなっている。

制御部１０は、第１透過画像Ｇ１に基づく第１素子１１ａの第１出力値と、当該第１素子１１ａと対向して配置されている第２素子１２ａにおける第２透過画像Ｇ２に基づく当該第２素子１２ａの第２出力値とを一致又は近似させる輝度変換関数を算出する。

制御部１０は、第１出力値及び第２出力値のそれぞれの平均値を算出する。図４（ａ）は、第１透過画像Ｇ１に基づく１つの第１素子１１ａの第１出力値の平均値の一例を示すグラフであり、図４（ｂ）は、第２透過画像Ｇ２に基づく１つの第２素子１２ａの第２出力値の平均値の一例を示すグラフである。図４（ａ）及び図４（ｂ）では、縦軸の出力値は、輝度値（検知強度）に相当する。制御部１０は、第１出力値と第２出力値との平均値を一致又は近似させる輝度変換関数を算出する。制御部１０は、対向して配置されている複数の第１素子１１ａ及び複数の第２素子１２ａのそれぞれについて、輝度変換関数を算出する。

制御部１０は、複数の異なる物品Ａ、及び、搬送部５上での位置が異なる物品Ａについて、第１透過画像Ｇ１及び第２透過画像Ｇ２を複数生成する。異なる物品Ａは、種類が異なる物品Ａであってもよいし、同じ種類の物品Ａにおいて形状、寸法等が異なっているものであってよい。物品Ａの搬送部５上での位置が異なるとは、搬送方向Ｄに垂直な水平方向において位置が異なることを意味する。物品Ａは、搬送部５上において、全ての第１素子１１ａ及び第２素子１２ａにおいて物品Ａを透過したＸ線が検知されるように、複数の位置に載置されることが好ましい。制御部１０は、複数の第１透過画像Ｇ１に基づく第１素子１１ａの第１出力値と、複数の第２透過画像Ｇ２に基づく第２素子１２ａの第２出力値とを一致又は近似させる輝度変換関数を算出する。

制御部１０は、算出した輝度変換関数に基づいて、第１素子１１ａの第１出力値を補正する。具体的には、制御部１０は、第１素子１１ａの第１出力値に対し輝度変換関数を掛けて第１出力値を補正する。これにより、第１素子１１ａの第１出力値と第２素子１２ａの第２出力値とが一致又は近似する。

また、制御部１０は、物品Ａを含まない第１透過画像Ｇ１に基づいて、全ての第１素子１１ａのそれぞれの第１出力値が一致又は近似する第１輝度変換関数を算出する。制御部１０は、第１輝度変換関数に基づいて、全ての第１素子１１ａのそれぞれの第１出力値を補正する。制御部１０は、物品Ａを含まない第２透過画像Ｇ２に基づいて、全ての第２素子１２ａのそれぞれの第２出力値が一致又は近似する第２輝度変換関数を算出する。制御部１０は、第２輝度変換関数に基づいて、全ての第２素子１２ａのそれぞれの第２出力値を補正する。物品Ａを含まない第１透過画像Ｇ１及び第２透過画像Ｇ２は、物品Ａが載置されていない搬送部５に対してＸ線を照射し、第１ラインセンサ１１及び第２ラインセンサ１２の検知結果に基づいて生成された画像である。

具体的には、制御部１０は、例えば、全ての第１素子１１ａにおいて検知して出力された図５（ａ）に示されるような第１出力値が、図５（ｂ）に示されるように均一化される第１輝度変換関数を算出する。制御部１０は、全ての第２素子１２ａについても、第２出力値を均一化する第２輝度変換関数を算出する。制御部１０は、第１輝度変換関数及び第２輝度変換関数に基づいて、各第１素子１１ａの第１出力値及び各第２素子１２ａの第２出力値を補正する。

以上説明したように、本実施形態に係るＸ線検査装置１では、制御部１０は、第１素子１１ａの第１出力値と、第２素子１２ｂの第２出力値とを一致又は近似させる輝度変換関数を、複数の第１素子１１ａ及び複数の第２素子１２ａのそれぞれについて算出する。制御部１０は、算出した輝度変換関数に基づいて、各第１素子１１ａの第１出力値及び各第２素子１２ａの第２出力値の少なくとも一方を補正する。これにより、Ｘ線検査装置１では、第１素子１１ａと、当該第１素子１１ａと対向して配置されている第２素子１２ａとの感度の差を補正できる。すなわち、Ｘ線検査装置１では、上下方向で対向して配置されている一対の素子（画素）のそれぞれについて、感度の差を補正できる。そのため、Ｘ線検査装置１では、第１素子１１ａの第１出力値に基づく第１透過画像の物品Ａの輝度と第２素子１２ａの第２出力値に基づく第２透過画像の物品Ａの輝度とが略一致するため、第１透過画像及び第２透過画像から物品Ａを消し込むことができる。したがって、Ｘ線検査装置１では、物品Ａに含まれる異物等を高精度に検知することができる。その結果、Ｘ線検査装置１では、検査精度の向上が図れる。

本実施形態に係るＸ線検査装置１では、制御部１０は、複数の異なる物品Ａ、及び、搬送部５上での位置が異なる物品Ａの少なくとも一方ついて、第１透過画像Ｇ１及び第２透過画像Ｇ２を複数生成する。制御部１０は、複数の第１透過画像Ｇ１及び複数の第２透過画像Ｇ２に基づいて、輝度変換関数を算出する。この構成では、複数の第１透過画像Ｇ１及び複数の第２透過画像Ｇ２を用いることにより、より高精度な補正が可能となる。

本実施形態に係るＸ線検査装置１では、制御部１０は、物品Ａを含まない第１透過画像Ｇ１に基づいて、全ての第１素子１１ａのそれぞれの第１出力値が一致又は近似する第１輝度変換関数を算出し、物品Ａを含まない第２透過画像Ｇ２に基づいて、全ての第２素子１２ａのそれぞれの第２出力値が一致又は近似する第２輝度変換関数を算出する。制御部１０は、算出した第１輝度変換関数及び第２輝度変換関数に基づいて、各第１素子１１ａの第１出力値及び各第２素子１２ａの第２出力値を補正する。この構成では、全ての第１素子１１ａのそれぞれの感度の差、及び、全ての第２素子１２ａのそれぞれの感度の差を補正できる。これにより、Ｘ線検査装置１では、検査精度の向上をより一層図れる。

以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。

上記実施形態では、第１ラインセンサ１１と第２ラインセンサ１２とが、搬送方向Ｄに垂直な上下方向において、所定の間隔をあけて対向して配置されている形態を一例に説明した。しかし、第１ラインセンサ１１と第２ラインセンサ１２とは、搬送方向Ｄにおいて、所定の間隔をあけて対向して配置されていてもよい。

上記実施形態では、制御部１０が、複数の第１透過画像Ｇ１に基づく第１素子１１ａの第１出力値と、複数の第２透過画像Ｇ２に基づく第２素子１２ａの第２出力値とを一致又は近似させる輝度変換関数を算出する形態を一例に説明した。しかし、制御部１０は、１つの第１透過画像Ｇ１に基づく第１素子１１ａの第１出力値と、１つの第２透過画像Ｇ２に基づく第２素子１２ａの第２出力値とを一致又は近似させる輝度変換関数を算出してもよい。

上記実施形態では、制御部１０が、第１素子１１ａの第１出力値に対し輝度変換関数を掛けて第１出力値を補正する形態を一例に説明した。しかし、制御部１０は、第２素子１２ａの第２出力値に対し輝度変換関数を掛けて第２出力値を補正してもよい。また、制御部１０は、制御部１０が、第１素子１１ａの第１出力値に対し輝度変換関数を掛けて第１出力値を補正すると共に、第２素子１２ａの第２出力値に対し輝度変換関数を掛けて第２出力値を補正してもよい。

上記実施形態では、制御部１０が、第１輝度変換関数及び第２輝度変換関数に基づいて、各第１素子１１ａの第１出力値及び各第２素子１２ａの第２出力値を補正する形態を一例に説明した。しかし、制御部１０は、各第１素子１１ａの第１出力値及び各第２素子１２ａの第２出力値を補正しなくてもよい。

上記実施形態では、制御部１０が、第１出力値と第２出力値との平均値を一致又は近似させる輝度変換関数を算出する形態を一例に説明した。しかし、制御部１０は、第１出力値に基づくヒストグラム及び第２出力値に基づくヒストグラムを生成し、第１出力値のヒストグラムと第２出力値のヒストグラムとを一致又は近似させる輝度変換関数を算出させてもよい。

上記実施形態では、制御部１０が、１つの第１素子１１ａの第１出力値と、１つの第２素子１２ａの第２出力値とを一致又は近似させる輝度変換関数を算出する形態を一例に説明した。しかし、制御部１０は、複数の第１素子１１ａにより構成される第１素子群の第１出力値と、複数の第２素子１２ａにより構成される第２素子群の第２出力値とを一致又は近似させる輝度変換関数を算出してもよい。すなわち、制御部１０は、各ラインセンサを構成するユニット毎に輝度変換関数を算出してもよい。第１素子群は、例えば、１２８個の第１素子１１ａにより構成され、第２素子群は、例えば、１２８個の第２素子１２ａにより構成される。第１ラインセンサ１１は、複数の第１素子群で構成され、第２ラインセンサ１２は、複数の第２素子群で構成される。制御部１０は、複数の第１素子群及び複数の第２素子群のそれぞれついて輝度変換関数を算出する。

具体的には、制御部１０は、例えば、第１素子群の第１出力値及び第２素子群の第２出力値のそれぞれの平均値を算出する。制御部１０は、第１出力値と第２出力値との平均値を一致又は近似させる輝度変換関数を算出する。制御部１０は、算出した輝度変換関数に基づいて、例えば、第１素子群を構成する複数の第１素子１１ａの第１出力値を補正する。これにより、Ｘ線検査装置１では、第１素子群と、当該第１素子群と対向して配置されている第２素子群との感度の差を補正できる。そのため、Ｘ線検査装置１では、第１素子群の第１出力値に基づく第１透過画像の物品Ａの輝度と第２素子１２ａの第２出力値に基づく第２透過画像の物品Ａの輝度とが略一致するため、第１透過画像及び第２透過画像から物品Ａを消し込むことができる。したがって、Ｘ線検査装置１では、物品Ａに含まれる異物等を高精度に検知することができる。その結果、Ｘ線検査装置１では、検査精度の向上が図れる。

上記実施形態では、検査装置がＸ線検査装置１である形態を一例に説明した。しかし、Ｘ線検査装置に限定されず、電磁波を利用して物品の検査を行う検査装置であればよい。つまり、本発明において、電磁波とは、Ｘ線、近赤外線、光、その他の電磁波である。また、本発明は、物品に含まれる異物の有無を検査するものに限定されず、フィルム包装材等のパッケージ内に食品等の内容物を収容して出荷するような物品において、パッケージの封止部への内容物の噛み込み、パッケージ内での内容物の破損、パッケージ内への異物の混入等を検査するものであってもよい。また、物品の種類は特に限定されず、様々な物品を検査対象とすることができる。同様に、異物の種類は特に限定されず、様々な異物を検査対象とすることができる。

１…Ｘ線検査装置（検査装置）、５…搬送部、６…Ｘ線照射部、７…Ｘ線検知部、１１…第１ラインセンサ（第１検知部）、１１ａ…第１素子、１２…第２ラインセンサ（第２検知部）、１２ａ…第２素子、１０…制御部（生成部、算出部、補正部）、Ａ…物品（対象物）、Ｇ１…第１透過画像、Ｇ２…第２透過画像。

Claims

対象物を搬送する搬送部と、
前記対象物に電磁波を照射する照射部と、
前記対象物を透過した第１エネルギー帯の電磁波を検知する複数の第１素子又は複数の前記第１素子で構成される複数の第１素子群を含む第１検知部、及び、前記対象物を透過した第２エネルギー帯の電磁波を検知する複数の第２素子又は複数の前記第２素子で構成される複数の第２素子群を含むと共に前記第１検知部と上下方向において対向して配置、又は、前記第１検知部と前記搬送部の搬送方向において対向して配置されている第２検知部を有する検知ユニットと、
各前記第１素子によって検知された前記電磁波に基づいて第１透過画像を生成すると共に、各前記第２素子によって検知された前記電磁波に基づいて第２透過画像を生成する生成部と、
前記第１透過画像に基づく前記第１素子の第１出力値と、当該第１素子と対向して配置されている前記第２素子における前記第２透過画像に基づく前記第２素子の第２出力値とを一致又は近似させる輝度変換関数を、複数の前記第１素子及び複数の前記第２素子のそれぞれについて算出、又は、前記第１透過画像に基づく複数の前記第１素子で構成される前記第１素子群の第１出力値と、当該第１素子群と対向して配置されている前記第２素子で構成されている前記第２素子群における前記第２透過画像に基づく前記第２素子群の第２出力値とを一致又は近似させる輝度変換関数を、複数の前記第１素子群及び複数の前記第２素子群のそれぞれについて算出する算出部と、
前記算出部によって算出された前記輝度変換関数に基づいて、前記第１素子又は前記第１素子群の前記第１出力値、及び、当該第１素子と対向して配置されている前記第２素子又は当該第１素子群と対向して配置されている前記第２素子群の前記第２出力値の少なくとも一方を補正する補正部と、を備える、検査装置。
前記生成部は、複数の異なる前記対象物、及び、前記搬送部上での位置が異なる前記対象物の少なくとも一方ついて、前記第１透過画像及び前記第２透過画像を複数生成し、
前記算出部は、複数の前記第１透過画像及び複数の前記第２透過画像に基づいて、前記輝度変換関数を算出する、請求項１に記載の検査装置。
前記補正部は、
前記対象物を含まない前記第１透過画像に基づいて、全ての前記第１素子のそれぞれの前記第１出力値が一致又は近似する第１輝度変換関数を算出し、
前記対象物を含まない前記２透過画像に基づいて、全ての前記第２素子のそれぞれの前記第２出力値が一致又は近似する第２輝度変換関数を算出し、
前記補正部は、前記算出部によって算出された前記第１輝度変換関数及び前記第２輝度変換関数に基づいて、各前記第１素子の前記第１出力値及び各前記第２素子の前記第２出力値を補正する、請求項１に記載の検査装置。