JP2016038364A - Ｘ線検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】２つのラインセンサを備えるＸ線検査装置において、ラインセンサの取り付け位置にズレが生じた場合にも、正確な検査結果を得ることが可能な信頼性の高いＸ線検査装置を提供する。【解決手段】Ｘ線検査装置１０は、物品を搬送するコンベアユニット、Ｘ線照射器１３、第１ラインセンサ１４、第２ラインセンサ１５、検知部２２ｃａ、および補正画像生成部２２ｄを備える。Ｘ線照射器は、コンベアユニットにより搬送される物品にＸ線を照射する。第１ラインセンサは、物品を透過したＸ線を低エネルギー帯で検出する。第２ラインセンサは、物品を透過したＸ線を、高エネルギー帯で検出する。検知部は、第１ラインセンサに対する、第２ラインセンサの水平方向および垂直方向の位置のズレを検知する。補正画像生成部は、検知部の検知結果に基づいて、第２ラインセンサの検出結果に基づいて得られた物品の第２Ｘ線画像を補正した補正第２Ｘ線画像を生成する。【選択図】図５

Description

本発明は、Ｘ線検査装置、特には２つのラインセンサを備えたＸ線検査装置に関する。

２つのラインセンサを備え、各ラインセンサでエネルギー帯の異なるＸ線画像を取得し、取得した２つのＸ線画像の差分画像を用いて、各種検査を行うＸ線検査装置が知られている（例えば、特許文献１（特開２０１２−０７８２５４号公報））。

このようなＸ線検査装置では、２つのラインセンサにより得られるＸ線画像から適切な差分画像を取得するため、言い換えれば２つのラインセンサの検出結果から得られた２つのＸ線画像において、検査対象物の同じ位置を透過したＸ線の検出結果に基づく画素同士を差分処理するため、２つのＸ線画像を正確に対応付け可能なように、２つのラインセンサの取り付け位置が設計される。

しかし、ラインセンサの取り付けに高い精度が求められるため、ラインセンサの実際の取り付け位置が、設計された所定位置からずれてしまう場合がある。このような場合には、取得した２つのＸ線画像をそのまま利用しても正確な差分画像を得ることができず、Ｘ線検査装置の検査精度が低下する。

このような問題を防ぐためには、Ｘ線検査装置の組立工程を厳しく管理するという対応が考えられる。しかし、組立工程を厳しく管理すれば、ラインセンサの取り付け位置のズレの発生は抑制できるが、組立工程の厳しい管理が要求されることで、組立工数の増大等の問題が発生しうる。

本発明の課題は、２つのラインセンサを備えるＸ線検査装置において、ラインセンサの取り付け位置にズレが生じた場合にも、正確な検査結果を得ることが可能な信頼性の高いＸ線検査装置を提供することにある。

本発明の第１観点に係るＸ線検査装置は、搬送手段と、Ｘ線源と、第１ラインセンサと、第２ラインセンサと、検知部と、補正画像生成部と、を備える。搬送手段は、物品を搬送する。Ｘ線源は、搬送手段により搬送される物品にＸ線を照射する。第１ラインセンサは、物品を透過したＸ線を第１のエネルギー帯で検出する。第２ラインセンサは、物品を透過したＸ線を、第１のエネルギー帯とは異なる第２のエネルギー帯で検出する。検知部は、第１ラインセンサに対する、第２ラインセンサの水平方向および垂直方向の位置のズレの少なくとも一方を検知する。補正画像生成部は、検知部の検知結果に基づいて、第２ラインセンサの検出結果に基づいて得られた物品の第２Ｘ線画像を補正した補正第２Ｘ線画像を生成する。

第１観点に係るＸ線検査装置では、第１ラインセンサに対する第２ラインセンサの水平方向、および／又は、垂直方向の位置のズレが検知され、ズレに基づいて第２ラインセンサの検出結果から得られる第２Ｘ線画像の補正が行われる。そのため、ラインセンサの取り付け位置にズレが生じた場合にも、正確な検査結果を得ることができる。つまり、ここでは、第１ラインセンサに対する第２ラインセンサの取り付け位置のズレによらず、正しい検査結果を得ることが可能な信頼性の高いＸ線検査装置が実現される。

本発明の第２観点に係るＸ線検査装置は、第１観点に係るＸ線検査装置であって、第２ラインセンサは、第１ラインセンサの下方に配置される。第２のエネルギー帯は、第１のエネルギー帯よりも高いエネルギー帯である。

第２観点に係るＸ線検査装置では、第１ラインセンサは、第２ラインセンサの上方に配置されるため、Ｘ線源から第１ラインセンサに到達するまでにＸ線が透過する物体（障害物）が、Ｘ線源から第２ラインセンサに到達するまでにＸ線が透過する物体に比べて少ない。そのため、第１Ｘ線画像は、第２Ｘ線画像に比べてクリアな画像となる。ここでは、第２Ｘ線画像に比べてクリアな第１Ｘ線画像が基準に用いられるため、第１ラインセンサに対する第２ラインセンサの位置のズレを正確に把握することが容易である。

本発明の第３観点に係るＸ線検査装置は、第１観点又は第２観点に係るＸ線検査装置であって、検知部は、搬送手段により搬送される既知の形状のサンプルにＸ線源からＸ線を照射し、サンプルを透過したＸ線を第１ラインセンサおよび第２ラインセンサが検出した結果に基づき、第１ラインセンサに対する、第２ラインセンサの位置のズレを予め検知する。

第３観点に係るＸ線検査装置では、第１ラインセンサに対する第２ラインセンサの位置のズレを、既知の形状のサンプルのＸ線画像を用いて検知することで、より正確に検知することが可能である。

本発明の第４観点に係るＸ線検査装置は、第１観点から第３観点のいずれかに係るＸ線検査装置であって、検知部は、第２ラインセンサの第１ラインセンサに対する水平方向の傾きを検知する。補正画像生成部は、第２Ｘ線画像を回転させることで補正第２Ｘ線画像を生成する。

ここでは、第１ラインセンサに対する第２ラインセンサの水平方向の傾き（水平方向の位置の回転ズレ）が生じた場合にも、第２Ｘ線画像を画像処理により補正した補正第２Ｘ線画像を生成して、正確な検査結果を得ることができる。

本発明の第５観点に係るＸ線検査装置は、第１観点から第３観点のいずれかに係るＸ線検査装置であって、検知部は、第２ラインセンサの第１ラインセンサに対する、搬送手段の搬送方向の上流側又は下流側へのズレを検知する。補正画像生成部は、第２Ｘ線画像を搬送方向の上流側又は下流側に対応する方向に移動させることで、補正第２Ｘ線画像を生成する。

ここでは、第１ラインセンサに対する第２ラインセンサの搬送方向の上流側又は下流側へのズレが生じた場合にも、第２Ｘ線画像を画像処理により補正した補正第２Ｘ線画像を生成して、正確な検査結果を得ることができる。

本発明の第６観点に係るＸ線検査装置は、第１観点から第３観点のいずれかに係るＸ線検査装置であって、検知部は、平面視における、第２ラインセンサの第１ラインセンサに対する、搬送手段の搬送方向に直交する方向のズレを検知する。補正画像生成部は、第２Ｘ線画像を搬送方向に直交する方向に対応する方向に移動させることで、補正第２Ｘ線画像を生成する。

ここでは、第１ラインセンサに対する第２ラインセンサの、搬送方向に垂直な左右方向へのズレが生じた場合にも、第２Ｘ線画像を画像処理により補正した補正第２Ｘ線画像を生成して、正確な検査結果を得ることができる。

本発明の第７観点に係るＸ線検査装置は、第１観点から第３観点のいずれかに係るＸ線検査装置であって、検知部は、第２ラインセンサの第１ラインセンサに対する垂直方向の傾きを検知する。補正画像生成部は、第２Ｘ線画像を、第２ラインセンサの傾き方向に対応する方向における一端側で拡大させ、他端側で縮小させることで、補正第２Ｘ線画像を生成する。

ここでは、第１ラインセンサに対して第２ラインセンサが垂直方向に傾いた場合にも、第２Ｘ線画像を画像処理により補正した補正第２Ｘ線画像を生成して、正確な検査結果を得ることができる。

本発明の第８観点に係るＸ線検査装置は、第１観点から第３観点のいずれかに係るＸ線検査装置であって、検知部は、第２ラインセンサの第１ラインセンサに対する垂直方向の傾きを検知する。補正画像生成部は、第２Ｘ線画像を、第２ラインセンサの傾き方向に対応する方向に拡大又は縮小させることで、補正第２Ｘ線画像を生成する。

ここでは、第１ラインセンサに対して第２ラインセンサが垂直方向に傾いた場合にも、第２Ｘ線画像を画像処理により補正した補正第２Ｘ線画像を生成して、正確な検査結果を得ることができる。

本発明の第９観点に係るＸ線検査装置は、第１観点から第３観点のいずれかに係るＸ線検査装置であって、検知部は、第２ラインセンサの第１ラインセンサに対する垂直方向のズレを検知する。補正画像生成部は、第２Ｘ線画像を、拡大又は縮小することで補正第２Ｘ線画像を生成する。

ここでは、第１ラインセンサに対して第２ラインセンサが上下方向に位置ズレした場合にも、第２Ｘ線画像を画像処理により補正した補正第２Ｘ線画像を生成して、正確な検査結果を得ることができる。

本発明に係るＸ線検査装置では、第１ラインセンサに対する第２ラインセンサの水平方向、および／又は、垂直方向の位置のズレが検知され、ズレに基づいて第２ラインセンサの検出結果から得られる第２Ｘ線画像の補正が行われる。そのため、ラインセンサの取り付け位置にズレが生じた場合にも、正確な検査結果を得ることができる。つまり、ここでは、第１ラインセンサに対する第２ラインセンサの取り付け位置のズレによらず、正しい検査結果を得ることが可能な信頼性の高いＸ線検査装置が実現される。

本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置を含む検査システムの概略図である。 図１のＸ線検査装置の外観斜視図である。 図２のＸ線検査装置のシールドボックス内部の簡易構成図である。 図２のＸ線検査装置が備える２つのラインセンサによって検出される透過Ｘ線量を示すグラフの一例である。 図２のＸ線検査装置のブロック図である。 第１ラインセンサに対する第２ラインセンサの位置のズレを検知する際に用いるサンプルの一例である。 図６のサンプルに対して作成された第１画像および第２画像を、重ねて描画した図の一例である。第２ラインセンサが、第１ラインセンサに対して垂直方向にずれている場合に得られる、第１画像および第２画像を示している。 図６のサンプルに対して作成された第１画像および第２画像を、重ねて描画した図の一例である。第２ラインセンサが、第１ラインセンサに対して水平方向に傾いている場合に得られる、第１画像および第２画像を示している。 図６のサンプルに対して作成された第１画像および第２画像を、重ねて描画した図の一例である。第２ラインセンサが、第１ラインセンサに対して搬送方向にずれている場合に得られる、第１画像および第２画像を示している。 図６のサンプルに対して作成された第１画像および第２画像を、重ねて描画した図の一例である。第２ラインセンサが、第１ラインセンサに対して、搬送方向に直交する方向にずれている場合に得られる、第１画像および第２画像を示している。 図６のサンプルに対して作成された第１画像および第２画像を、重ねて描画した図の一例である。第２ラインセンサが、第１ラインセンサに対して、搬送方向において垂直方向に傾いている場合に得られる、第１画像および第２画像を示している。 図６のサンプルに対して作成された第１画像および第２画像を、重ねて描画した図の一例である。第２ラインセンサが、第１ラインセンサに対して、搬送方向に直交する方向において垂直方向に傾いている場合に得られる、第１画像および第２画像を示している。 第２ラインセンサの第１ラインセンサに対するずれの方向を説明するための図である。第１および第２ラインセンサを側方から見た図である。図中の矢印Ｄは、コンベアユニットの搬送方向を示す。 第２ラインセンサの第１ラインセンサに対するずれの方向を説明するための図である。第１および第２ラインセンサを搬送方向下流側から見た図である。 第２ラインセンサの第１ラインセンサに対するずれの方向を説明するための図である。第１および第２ラインセンサを上方から見た図である。図中の矢印Ｄは、コンベアユニットの搬送方向を示す。 補正第２Ｘ線画像の生成処理についての説明中で使用する方向について説明するための図である。

以下、図面を参照して、本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置１０について説明する。なお、以下の実施形態は、本発明の具体例であって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。

（１）全体概要
図１は、本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置１０を含む検査システム１００の概略図である。図２は、本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置１０の外観斜視図である。

Ｘ線検査装置１０は、食品などの物品Ｐの生産ラインに組み込まれる。Ｘ線検査装置１０は、連続的に搬送されてくる物品Ｐに対してＸ線を照射することにより、物品Ｐの品質検査を行う装置である。特に、Ｘ線検査装置１０は、品質検査として、物品Ｐへの異物混入の有無を検査する異物検査を行う。

検査システム１００において、物品Ｐは、前段コンベア６０によってＸ線検査装置１０まで運ばれてくる（図１参照）。Ｘ線検査装置１０では、物品Ｐの異物検査が行われ、物品Ｐが良品又は不良品に区分される。Ｘ線検査装置１０の異物検査の結果は、Ｘ線検査装置１０の下流側に配置されている振分機構７０へと送信される（図１参照）。振分機構７０は、Ｘ線検査装置１０において良品と判断された物品Ｐをラインコンベア８０へと送る（図１参照）。また、振分機構７０は、Ｘ線検査装置１０において不良品と判断された物品Ｐを不良品貯留コンベア９０，９１へと送る（図１参照）。

（２）詳細説明
Ｘ線検査装置１０は、主として、シールドボックス１１（図２参照）、コンベアユニット１２（図３参照）、Ｘ線照射器１３（図３参照）、第１ラインセンサ１４（図３参照）、第２ラインセンサ１５（図３参照）、タッチパネル式ディスプレイ３０（図１参照）、およびコントローラ２０（図５参照）を備える。

（２−１）シールドボックス
シールドボックス１１（図２参照）は、Ｘ線検査装置１０のケーシングである。シールドボックス１１の中には、コンベアユニット１２、Ｘ線照射器１３、第１ラインセンサ１４、第２ラインセンサ１５、およびコントローラ２０が収容される。また、シールドボックス１１の正面上部には、タッチパネル式ディスプレイ３０や、キーの差し込み口や電源スイッチ等が配置されている。

シールドボックス１１の、コンベアユニット１２の搬送方向Ｄ（図３参照）の上流側および下流側の側面には、物品Ｐを搬出入するための開口１１ａが形成されている（図２参照）。開口１１ａは、シールドボックス１１の外部へのＸ線の漏洩を抑制する遮蔽ノレン１９により塞がれている（図２参照）。遮蔽ノレン１９は、タングステンを含有するゴム製である。遮蔽ノレン１９は、物品Ｐや、後述するサンプルＳがシールドボックス１１の内部に搬入される時、又は、物品ＰやサンプルＳがシールドボックス１１の外部に搬出される時に、コンベアユニット１２により搬送される物品ＰやサンプルＳによって押しのけられる。

（２−２）コンベアユニット
コンベアユニット１２は、物品Ｐを搬送する搬送手段の一例である。コンベアユニット１２は、図２に示すように、シールドボックス１１の両側面に形成された開口１１ａを貫通するように配置されている。

コンベアユニット１２は、主として、インバータ式のコンベアモータ１２ａ（図５参照）と、エンコーダ１２ｂ（図５参照）と、コンベアローラ１２ｃ（図３参照）と、無端状のベルト１２ｄ（図３参照）と、を有する。エンコーダ１２ｂは、コンベアモータ１２ａに装着されている。コンベアローラ１２ｃは、コンベアモータ１２ａによって駆動される。コンベアローラ１２ｃが駆動されることで、ベルト１２ｄが回転し、ベルト１２ｄ上の物品Ｐが下流に（振分機構７０側に向かって）搬送される。後述するコントローラ２０は、コンベアユニット１２の搬送速度が、オペレータによりタッチパネル式ディスプレイ３０に入力された設定速度になるように、コンベアモータ１２ａをインバータ制御により細かく制御する。エンコーダ１２ｂは、コンベアモータ１２ａの回転数を検出し、検出結果をコントローラ２０に送信する。

（２−３）Ｘ線照射器
Ｘ線照射器１３は、Ｘ線源の一例である。Ｘ線照射器１３は、コンベアユニット１２により搬送される物品ＰにＸ線を照射する。Ｘ線照射器１３は、図３に示すように、コンベアユニット１２の上方に配置されている。Ｘ線照射器１３は、コンベアユニット１２の下方に配置される第１ラインセンサ１４および第２ラインセンサ１５に向けて、扇状の照射範囲ＹにＸ線を照射する。Ｘ線照射器１３の照射範囲Ｙは、図３に示すように、コンベアユニット１２の搬送面に対して垂直に延びる。また、照射範囲Ｙは、コンベアユニット１２の搬送方向Ｄに直交する方向（ベルト１２ｄの幅方向）に広がる。

（２−４）ラインセンサ
第１ラインセンサ１４および第２ラインセンサ１５は、Ｘ線照射器１３から照射され、物品Ｐやベルト１２ｄを透過したＸ線を検出する。第１ラインセンサ１４および第２ラインセンサ１５は、それぞれ異なるエネルギー帯（波長）のＸ線を検出するセンサである。第１ラインセンサ１４は、低エネルギー帯の（波長の比較的長い）Ｘ線を検出する。第２ラインセンサ１５は、第１ラインセンサ１４の検出するエネルギー帯とは異なる、高エネルギー帯の（波長の比較的短い）Ｘ線を検出する。

第１ラインセンサ１４および第２ラインセンサ１５は、図３のように、上下に並べて配置されている。第２ラインセンサ１５は、第１ラインセンサ１４の下方に配置される。Ｘ線照射器１３から照射されるＸ線のうち、低エネルギー帯のＸ線は第１ラインセンサ１４で検出される。第１ラインセンサ１４を突き抜けたＸ線のうち、中エネルギー帯（上述した高エネルギー帯と低エネルギー帯との中間のエネルギー帯のＸ線）は、第１ラインセンサ１４と第２ラインセンサ１５との間に配置された図示されないフィルタにより除去される。フィルタを通過した高エネルギー帯のＸ線は、第２ラインセンサ１５で検出される。

第１ラインセンサ１４は、主として、多数のＸ線検出素子１４ａから構成されている（図３参照）。第２ラインセンサ１５は、主として、多数のＸ線検出素子１５ａから構成されている（図３参照）。第１ラインセンサ１４および第２ラインセンサ１５は、設計された所定位置に設置されることで、Ｘ線検出素子１４ａ，１５ａが、コンベアユニット１２の搬送方向Ｄに直交する向きに、水平に、直線上に設置されるよう設計されている。

ただし、第１ラインセンサ１４および第２ラインセンサ１５は、組立時に、所定位置から、水平方向、および／又は、垂直方向にずれた位置に設置される場合がある。その結果、Ｘ線検出素子１４ａ，１５ａが並ぶ向きが、コンベアユニット１２の搬送方向Ｄに直交する向きから傾いたり、水平でなくなったりする場合がある。また、Ｘ線検出素子１４ａ，１５ａが、搬送方向Ｄに直交する向きに、かつ、水平に直線上に並ぶように配置されていても、第１ラインセンサ１４および第２ラインセンサ１５が本来設置されるべき所定位置からずれて設置された結果、Ｘ線検出素子１４ａ，１５ａが物品Ｐの搬送方向Ｄ、搬送方向Ｄに直交する方向、又は、垂直方向（上下方向）にずれる場合がある。

第１および第２ラインセンサ１４，１５は、それぞれが対象とするエネルギー帯のＸ線について、物品Ｐやベルト１２ｄを透過したＸ線量（透過Ｘ線量）を検出し、透過Ｘ線量に基づくＸ線透過信号を出力する。言い換えれば、第１および第２ラインセンサ１４，１５は、透過したＸ線の強度に応じたＸ線透過信号を出力する。透過したＸ線の強度は、透過Ｘ線量の大小に依存する。後述するコントローラ２０の第１Ｘ線画像生成部２２ａが生成する画像の明るさ（輝度）は、第１ラインセンサ１４の出力するＸ線透過信号に基づいて決定される。後述するコントローラ２０の第２Ｘ線画像生成部２２ｂが生成する画像の明るさ（輝度）は、第２ラインセンサ１５の出力するＸ線透過信号に基づいて決定される。

図４は、第１ラインセンサ１４のＸ線検出素子１４ａおよび第２ラインセンサ１５のＸ線検出素子１５ａによって検出される透過Ｘ線量（検出量）の例を示すグラフである。検出するＸ線のエネルギー帯の異なる２台のラインセンサ１４，１５があることで、第１ラインセンサ１４の検出結果のグラフ（実線Ｇ１）と、第２ラインセンサ１５の検出結果のグラフ（破線Ｇ２）と、が得られる（図４参照）。なお、図４のグラフの横軸は、各Ｘ線検出素子１４ａ，１５ａの位置に対応する。つまり、グラフの横軸は、コンベアユニット１２の搬送方向Ｄに直交する方向（ベルト１２ｄの幅方向）の距離に対応する。グラフの縦軸は、Ｘ線検出素子１４ａ，１５ａで検出された透過Ｘ線量（検出量）を示す。

第１Ｘ線画像生成部２２ａおよび第２Ｘ線画像生成部２２ｂにより生成される透過画像（第１Ｘ線画像および第２Ｘ線画像）では、透過Ｘ線量の多いところが明るく表示され、透過Ｘ線量が少ないところが暗く表示される。すなわち、第１Ｘ線画像生成部２２ａおよび第２Ｘ線画像生成部２２ｂにより生成される透過画像の明暗（輝度）は、透過Ｘ線量に対応する。

なお、第１ラインセンサ１４は、物品ＰがＸ線の照射範囲Ｙ（図３参照）を通過するタイミングを検知するためのセンサとしても機能する。具体的には、コンベアユニット１２で搬送される物品Ｐが第１ラインセンサ１４の上方位置（照射範囲Ｙ）に来たとき、第１ラインセンサ１４のＸ線検出素子１４ａのいずれかが所定の閾値以下の電圧を示すＸ線透過信号（第１信号）を出力する。また、物品Ｐが照射範囲Ｙを通過し終えると、第１ラインセンサ１４の全てのＸ線検出素子１４ａは、所定の閾値を上回る電圧を示すＸ線透過信号（第２信号）を出力する。第１信号および第２信号が後述のコントローラ２０に入力されることにより、照射範囲Ｙにおける物品Ｐの有無が検出される。

（２−５）タッチパネル式ディスプレイ
タッチパネル式ディスプレイ３０は、タッチパネル機能を有する液晶ディスプレイである。タッチパネル式ディスプレイ３０は、コントローラ２０と電気的に接続されており、コントローラ２０と信号の授受を行う。

タッチパネル式ディスプレイ３０は、表示部および入力部として機能する。タッチパネル式ディスプレイ３０には、例えば、Ｘ線画像や異物検査の結果等を表示する。また、タッチパネル式ディスプレイ３０は、オペレータによる各種設定や各種情報の入力を受け付ける。

（２−６）コントローラ
コントローラ２０は、Ｘ線検査装置１０の各部の動作を制御する。また、コントローラ２０は、第１および第２ラインセンサ１４，１５のＸ線透過量の検出結果に基づいて異物検査を行う。

コントローラ２０は、主として、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）等によって構成されている。

コントローラ２０は、図５に示すように、記憶部２１および制御部２２を有する。また、コントローラ２０は、図示しない表示制御回路、キー入力回路、通信ポート等を有する。表示制御回路は、タッチパネル式ディスプレイ３０のデータ表示を制御する回路である。キー入力回路は、タッチパネル式ディスプレイ３０のタッチパネルを介してオペレータにより入力されたキー入力データを取り込む回路である。通信ポートは、プリンタや、振分機構７０等の外部機器やＬＡＮ等のネットワークとの接続を可能にする。

コントローラ２０は、コンベアモータ１２ａ、エンコーダ１２ｂ、Ｘ線照射器１３、第１ラインセンサ１４、第２ラインセンサ１５、およびタッチパネル式ディスプレイ３０に電気的に接続されている（図５参照）。コントローラ２０は、エンコーダ１２ｂからコンベアモータ１２ａの回転数に関するデータを取得し、当該データに基づき、物品Ｐの移動距離や移動速度を把握する。

（２−６−１）記憶部
記憶部２１は、主に、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤＤ等によって構成され、制御部２２により実行される各種プログラムや、Ｘ線検査装置１０の各部を制御するための各種設定や各種情報を記憶する。記憶部２１には、図５のように、輝度調整式記憶領域２１ａ、補正パラメータ記憶領域２１ｂが含まれる。

（２−６−１−１）輝度調整式記憶領域
輝度調整式記憶領域２１ａには輝度調整式が記憶される。輝度調整式は、後述する制御部２２の判定部２２ｅが、後述する第２Ｘ線画像又は補正第２Ｘ線画像の各画素の輝度を調整するために用いる情報である。輝度調整式は、異物を含まない物品Ｐを透過したＸ線を第１ラインセンサ１４および第２ラインセンサ１５で検出し、検出結果に基づいて後述する第１Ｘ線画像と補正第２Ｘ線画像（又は第２Ｘ線画像）とを生成し、更に補正第２Ｘ線画像（又は第２Ｘ線画像）については輝度調整式で輝度を調整した場合に、物品Ｐの同一箇所を通過したＸ線に基づいて得られる第１Ｘ線画像および輝度調整後の補正第２Ｘ線画像（又は第２Ｘ線画像）の画素の輝度が一致するように決定されている。輝度調整式は、例えば、物品Ｐの種類毎に、予め輝度調整式記憶領域２１ａに記憶されている。ただし、これに限定されるものではなく、輝度調整式は、例えば、タッチパネル式ディスプレイ３０から入力されてもよい。また、輝度調整式は、例えば、試運転時等に異物を含まないことが分かっている物品Ｐについて第１Ｘ線画像および補正第２Ｘ線画像（又は第２Ｘ線画像）を得ることで、制御部２２により生成されてもよい。

（２−６−１−２）補正パラメータ記憶領域
補正パラメータ記憶領域２１ｂには、後述する補正パラメータ生成部２２ｃの算出部２２ｃｂが算出した補正パラメータが記憶される。補正パラメータは、後述する補正画像生成部２２ｄが、第２ラインセンサ１５の検出結果に基づいて得られた物品Ｐの第２Ｘ線画像を補正した補正第２Ｘ線画像を生成するために用いるパラメータである。

（２−６−２）制御部
制御部２２は、主にＣＰＵによって構成され、記憶部２１に記憶されたプログラムを実行することにより、Ｘ線検査装置１０の各部の動作を制御する。また、制御部２２は、記憶部２１に記憶されたプログラムを実行することにより、第１ラインセンサ１４および第２ラインセンサ１５のＸ線透過量の検出結果に基づき異物検査を行う。

制御部２２は、機能部として、第１Ｘ線画像生成部２２ａ、第２Ｘ線画像生成部２２ｂ、補正パラメータ生成部２２ｃ、補正画像生成部２２ｄ、および判定部２２ｅを主に有する（図５参照）。

（２−６−２−１）第１Ｘ線画像生成部
第１Ｘ線画像生成部２２ａは、第１ラインセンサ１４によって検出された低エネルギー帯のＸ線の透過Ｘ線量に基づいて、透過画像として第１Ｘ線画像（低エネルギーＸ線画像）を生成する。

具体的には、第１Ｘ線画像生成部２２ａは、第１ラインセンサ１４の各Ｘ線検出素子１４ａから出力される、物品Ｐ等を透過したＸ線の強度に応じたＸ線透過信号を細かい時間間隔で取得し、取得したＸ線透過信号に基づいて第１Ｘ線画像を生成する。特に、第１Ｘ線画像生成部２２ａは、Ｘ線の照射範囲Ｙ（図３参照）を物品Ｐが通過する際に各Ｘ線検出素子１４ａから出力されるＸ線透過信号に基づいて第１Ｘ線画像を生成する。第１Ｘ線画像生成部２２ａは、各Ｘ線検出素子１４ａから得られるＸ線の強度に関する細かい時間間隔毎のデータをマトリクス状に時系列につなぎ合わせて第１Ｘ線画像を生成する。なお、Ｘ線の照射範囲Ｙに物品Ｐが存在するか否かは、前述のように第１ラインセンサ１４が出力する信号により判断される。

第１Ｘ線画像生成部２２ａにより生成される第１Ｘ線画像では、Ｘ線検出素子１４ａが検出した透過Ｘ線量の多いところが明るく（淡く、輝度が大きく）表示され、透過Ｘ線量が少ないところが暗く（濃く、輝度が小さく）表示される。第１Ｘ線画像は、例えば２５６階調の画像である。

（２−６−２−２）第２Ｘ線画像生成部
第２Ｘ線画像生成部２２ｂは、第２ラインセンサ１５によって検出された高エネルギー帯のＸ線の透過Ｘ線量に基づいて、透過画像として第２Ｘ線画像（高エネルギーＸ線画像）を生成する。

第２Ｘ線画像生成部２２ｂは、第２ラインセンサ１５の各Ｘ線検出素子１５ａから出力されるＸ線透過信号に基づいてＸ線画像を生成する点が、第１Ｘ線画像生成部２２ａと異なる。

また、第２Ｘ線画像生成部２２ｂは、Ｘ線検出素子１５ａから出力されるＸ線透過信号に基づいて生成されたＸ線画像を、更に所定倍率で縮小した画像を第２Ｘ線画像として生成する点が、第１Ｘ線画像生成部２２ａと異なる。第２Ｘ線画像生成部２２ｂがこのような処理が行うのは、以下の理由である。

後述する判定部２２ｅでは、第１Ｘ線画像と第２Ｘ線画像（第２Ｘ線画像を補正した補正第２Ｘ線画像を含む）との差分画像を得る処理が行われる。そのため、第１Ｘ線画像と第２Ｘ線画像とのサイズを一致させることが好ましい。ところで、Ｘ線検査装置１０では、第２ラインセンサ１５は、第１ラインセンサ１４の下方に設置されている。また、Ｘ線検査装置１０では、Ｘ線照射器１３から扇状の照射範囲ＹにＸ線が照射される。そのため、第１ラインセンサ１４よりも下方でＸ線を検出する第２ラインセンサ１５の検出結果を用いて得られるＸ線画像は、第１Ｘ線画像より大きくなる。そこで、第２Ｘ線画像生成部２２ｂは、Ｘ線検出素子１５ａから出力されるＸ線透過信号に基づいて生成されたＸ線画像を、第１ラインセンサ１４および第２ラインセンサ１５を取り付ける設計された所定位置に基づいて算出される所定倍率で縮小する処理を行う。

なお、第２Ｘ線画像生成部２２ｂが実行するＸ線画像の所定倍率での縮小処理は、第１ラインセンサ１４および第２ラインセンサ１５が設計された所定位置に配置されることを前提とした処理である。ラインセンサ１４，１５が所定位置からずれて取り付けられたことに対処するために行われる、第２Ｘ線画像の補正（補正第２Ｘ線画像の生成）については後述する。

（２−６−２−３）補正パラメータ生成部
補正パラメータ生成部２２ｃは、第１ラインセンサ１４に対する、第２ラインセンサ１５の水平方向および垂直方向の位置のズレを検知し、第２ラインセンサ１５の位置のズレに応じて、補正画像生成部２２ｄが補正第２Ｘ線画像を生成するための補正パラメータを生成する。なお、補正第２Ｘ線画像は、後述する判定部２２ｅが、第１Ｘ線画像と第２Ｘ線画像との差分処理を実行するために、物品Ｐのある部分を通過したＸ線に基づく第１Ｘ線画像の画素と、物品Ｐの同一部分を通過したＸ線に基づくＸ線画像の画素とが重なり合うように、第２Ｘ線画像に補正処理を行った画像である。

補正パラメータ生成部２２ｃは、サブ機能部として、検知部２２ｃａと、算出部２２ｃｂと、を有する。

検知部２２ｃａは、第１ラインセンサ１４に対する、第２ラインセンサ１５の水平方向および垂直方向の位置のズレを検知する。

算出部２２ｃｂは、検知部２２ｃａにより、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の位置のズレが検知された場合に、補正画像生成部２２ｄが補正第２Ｘ線画像を生成するために使用する補正パラメータを算出する。

検知部２２ｃａおよび算出部２２ｃｂが実行する処理については後述する。

（２−６−２−４）補正画像生成部
補正画像生成部２２ｄは、検知部２２ｃａの検知結果に基づいて、第２ラインセンサ１５の検出結果に基づいて得られた物品Ｐの第２Ｘ線画像を補正した補正第２Ｘ線画像を生成する。具体的には、補正画像生成部２２ｄは、検知部２２ｃａが第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の位置のズレを検知している場合に、補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶された補正パラメータを用いて、物品Ｐの第２Ｘ線画像を補正した補正第２Ｘ線画像を生成する。

補正画像生成部２２ｄによる補正第２Ｘ線画像の生成処理ついては後述する。

（２−６−２−５）判定部
判定部２２ｅは、第１Ｘ線画像生成部２２ａにより生成された第１Ｘ線画像と、第２Ｘ線画像生成部２２ｂにより生成された第２Ｘ線画像、又は、補正画像生成部２２ｄにより生成された補正第２Ｘ線画像と、に基づき、物品Ｐへの異物混入の有無を判断する。

具体的には、判定部２２ｅは、以下のようにして物品Ｐへの異物混入の有無を判定する。

なお、判定部２２ｅは、補正第２Ｘ線画像が生成されていない場合には第２Ｘ線画像を、補正第２Ｘ線画像が生成されている場合には補正第２Ｘ線画像を用いて以下の処理を行う。以下の説明では、判定部２２ｅが補正第２Ｘ線画像を用いる場合を例に説明する。判定部２２ｅが第２Ｘ線画像を用いる場合については、以下の説明の補正第２Ｘ線画像を、第２Ｘ線画像と読み替えればよい。

まず、判定部２２ｅは、補正第２Ｘ線画像の輝度を、輝度調整式記憶領域２１ａに記憶された輝度調整式により調整する処理を行う。次に、判定部２２ｅは、第１Ｘ線画像と、輝度が調整された補正第２Ｘ線画像と、の各画素の輝度の差異に基づき、差分画像を生成する。輝度調整式は、上述したように、異物を含まない物品Ｐを透過したＸ線に基づいて第１Ｘ線画像と補正第２Ｘ線画像とを生成し、補正第２Ｘ線画像の輝度を輝度調整式で調整した場合に、物品Ｐの同一箇所を通過したＸ線に基づいて得られる第１Ｘ線画像および輝度調整後の補正第２Ｘ線画像の画素の輝度が一致するように決定されている。そのため、物品Ｐに異物が混入していないとすれば、第１Ｘ線画像の各画素の値と、これに対応する輝度調整後の補正第２Ｘ線画像の画素の値とが、ほぼ一致する。一方、物品Ｐに異物が混入している場合には、異物と物品Ｐとの特性の違いにより、第１Ｘ線画像の各画素の値と、これに対応する輝度調整後の補正第２Ｘ線画像の画素の値と、の間に差が生じる。判定部２２ｅは、これを利用して、差分画像に基づいて物品Ｐへの異物の混入を判定する。判定部２２ｅによる判定結果（異物検査の結果）は、タッチパネル式ディスプレイ３０に出力される。また、判定部２２ｅによる判定結果は、振分機構７０に送信される。

（３）コントローラが実行する処理
ここでは、コントローラ２０が実行する処理、特に、補正パラメータ生成部２２ｃによる処理と、補正画像生成部２２ｄによる処理とについて説明する。

（３−１）補正パラメータ生成部による処理
補正パラメータ生成部２２ｃによる処理について説明する。

補正パラメータ生成部２２ｃによる処理は、例えば、Ｘ線検査装置１０の設置時や試運転時に実行され、補正パラメータ生成部２２ｃは、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の位置のズレを予め検知する。補正パラメータ生成部２２ｃは、Ｘ線検査装置１０の設置時等に、オペレータにより、タッチパネル式ディスプレイ３０に、補正パラメータの生成指令（第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の位置のズレの検知指令）が入力された時に実行される。

補正パラメータの算出時には、物品Ｐの代わりに、サンプルＳが、コンベアユニット１２により搬送される。サンプルＳは既知の形状である。例えば、サンプルＳは、平面視において長方形状に形成され、厚みが一定の平板である（図６参照）。コンベアユニット１２により搬送されるサンプルＳには、Ｘ線照射器１３からＸ線が照射される。補正パラメータ生成部２２ｃは、サンプルＳを透過したＸ線を第１ラインセンサ１４および第２ラインセンサ１５が検出した結果に基づき、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の位置のズレを検知する。より具合的には、補正パラメータ生成部２２ｃは、第１ラインセンサ１４によって検出された低エネルギー帯のＸ線の透過Ｘ線量に基づいて生成される第１Ｘ線画像と、第２ラインセンサ１５によって検出された高エネルギー帯のＸ線の透過Ｘ線量に基づいて生成される第２Ｘ線画像と、に基づき、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５のズレを検知する。補正パラメータ生成部２２ｃは、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の位置のズレが検知されると、位置のズレに応じて補正画像生成部２２ｄが補正第２Ｘ線画像を生成するために使用する補正パラメータを生成する。

以下に補正パラメータ生成部２２ｃの検知部２２ｃａおよび算出部２２ｃｂが、どのように処理を行うかを具体的に説明する。

ここでは、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の位置のズレの検知、および、補正パラメータの生成に、第１画像Ｃ１と、第２画像Ｃ２と、を用いる（図７〜図１２参照）。第１画像Ｃ１は、サンプルＳの第１Ｘ線画像を、サンプルＳの存在する画素と、背景部分の画素とに分類されるように、所定の閾値で二値化した画像である。第１画像Ｃ１の中でサンプルＳの存在する画素が存在する領域を第１領域Ａ１と呼ぶ（図７〜図１２参照）。第２画像Ｃ２は、サンプルＳの第２Ｘ線画像を、サンプルＳの存在する画素と、背景部分の画素とに分類されるように、所定の閾値で二値化した画像である。第２画像Ｃ２の中でサンプルＳの存在する画素が存在する領域を第２領域Ａ２と呼ぶ（図７〜図１２参照）。

図７〜図１２は、サンプルＳに対して作成された第１画像Ｃ１および第２画像Ｃ２を、重ねて描画した図の例である。図７〜図１２では、第１画像Ｃ１と第２画像Ｃ２とは、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の位置のズレがない場合に、第１領域Ａ１と、第２領域Ａ２と、が丁度重なるように配置されている。図７〜図１２中では、二点鎖線は第１画像Ｃ１および第２画像Ｃ２の縁部を示し、実線で囲んだ領域は第１領域Ａ１を示し、破線で囲んだ領域は第２領域Ａ２を示している。

図７〜図１２中の方向Ｄ’は、サンプルＳの搬送方向（コンベアユニット１２の搬送方向Ｄ）と対応した方向である。以下の説明では、第１画像Ｃ１および第２画像Ｃ２内の方向を説明するため、方向Ｄ’の向かう方向を前方、方向Ｄ’とは反対に向かう方向を後方、方向Ｄ’を向いた時の右側を右方、方向Ｄ’を向いた時の左側を左方と呼ぶ（図７〜図１２参照）
ここでは、第１ラインセンサ１４は設計された所定位置に設置されている場合を例に説明を行う。また、ここでは、矩形状のサンプルＳは、長辺がコンベアユニット１２の搬送方向Ｄに沿って延びるような姿勢でベルト１２ｄ上に戴置される場合を例に説明を行う。ただし、これに限定されるものではなく、サンプルＳは、任意の姿勢でベルト１２ｄ上に戴置されればよい。

検知部２２ｃａは、以下の（ａ）〜（ｆ）の６つのパターンについて、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサの水平方向および垂直方向の位置のズレを検知する。算出部２２ｃｂは、検知部２２ｃａが第２ラインセンサ１５の位置のズレを検知すると、補正パラメータを算出する。

（ａ）垂直方向の位置のズレ
検知部２２ｃａによる、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する垂直方向（上下方向）の位置のズレ（図１３Ａの矢印ａ方向のズレ）の検知と、第２ラインセンサ１５の位置のズレが検知された場合の算出部２２ｃｂによる補正パラメータの算出について図７を用いて説明する。

検知部２２ｃａは、第１領域Ａ１と第２領域Ａ２との大きさが異なる場合に、第２ラインセンサ１５が、第１ラインセンサ１４に対して垂直方向にずれていると検知する。具体的には、検知部２２ｃａは、例えば、第１領域Ａ１の左端の長さＬ１１に対する第２領域Ａ２の左端の長さＬ２１の比の値と、第１領域Ａ１の後端の長さＬ１２に対する第２領域Ａ２の後端の長さＬ２２の比の値と、が１ではない同じ値である場合に、第２ラインセンサ１５が、第１ラインセンサ１４に対して垂直方向にずれていると検知する（図７参照）。なお、第１領域Ａ１および第２領域Ａ２の端部は、例えば、第１領域Ａ１および第２領域Ａ２のエッジ検出処理を行うことで把握される。

算出部２２ｃｂは、検知部２２ｃａが第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する垂直方向の位置のズレを検知した場合に、第２領域Ａ２をどれだけ拡大又は縮小すれば、第１領域Ａ１の大きさと一致するかを拡縮倍率Ｋとして算出する。具体的には、例えば、算出部２２ｃｂは、上記のＬ１１をＬ２１で除した値を拡縮倍率Ｋとして算出する（図７参照）。算出された拡縮倍率Ｋは、補正パラメータとして補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶される。

（ｂ）水平方向の傾き
検知部２２ｃａによる、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する水平方向の傾き（水平方向の位置の回転ズレ）の検知と、第２ラインセンサ１５の位置のズレが検知された場合の算出部２２ｃｂによる補正パラメータの算出について図８を用いて説明する。第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する水平方向の傾きとは、図１３Ｃの矢印ｂ方向の回転ズレを意味する。

検知部２２ｃａは、第１領域Ａ１に対する第２領域Ａ２の傾きに基づいて、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する水平方向の傾きを検知する。具体的には、検知部２２ｃａは、第１領域Ａ１の左端のラインＨ１１に対する、第２領域Ａ２の左端のラインＨ２１の傾きに基づいて、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する水平方向の傾きを検知する。ここでは、第１領域Ａ１の左端のラインＨ１１は図８のように方向Ｄ’に平行に延びているので、検知部２２ｃａは、方向Ｄ’と、第２領域Ａ２の左端のラインＨ２１とが平行であるか否かを判断し、両者が平行でなければ、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する水平方向の傾きを検知する。

算出部２２ｃｂは、検知部２２ｃａが第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する水平方向の傾きを検知した場合に、第２領域Ａ２の第１領域Ａ１に対する傾きの角度を算出する。具体的には、算出部２２ｃｂは、例えば、方向Ｄ’に対する第２領域Ａ２の左端のラインＨ２１の角度θを補正パラメータとして算出する（図８参照）。ここでは、第２領域Ａ２の左端のラインＨ２１が、方向Ｄ’に対して反時計方向に傾いている場合に角度θを正の値で表し、時計方向に傾いている場合に角度θを負の値で表す。算出された角度θは、補正パラメータとして補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶される。

（ｃ）搬送方向の位置のズレ
検知部２２ｃａによる、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄの上流側又は下流側への位置のズレ（図１３Ａの矢印ｃ方向のズレ）の検知と、第２ラインセンサ１５の位置のズレが検知された場合の算出部２２ｃｂによる補正パラメータの算出について図９を用いて説明する。

検知部２２ｃａは、第１領域Ａ１に対する第２領域Ａ２の前後方向のズレに基づいて、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄの上流側又は下流側へのズレを検知する。具体的には、検知部２２ｃａは、第１領域Ａ１の後端のラインＨ１２の位置と、第２領域Ａ２の後端のラインＨ２２の位置が一致しない場合に、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄの上流側又は下流側への位置のズレを検知する（図９参照）。

算出部２２ｃｂは、検知部２２ｃａが第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄの上流側又は下流側への位置のズレを検知した場合に、第２領域Ａ２の第１領域Ａ１に対する位置のズレの大きさを算出する。具体的には、算出部２２ｃｂは、例えば、第１領域Ａ１の後端のラインＨ１２の位置と、第２領域Ａ２の後端のラインＨ２２の位置との距離Ｂ１を算出する（図９参照）。算出部２２ｃｂは、第２領域Ａ２の後端のラインＨ２２が第１領域Ａ１の後端のラインＨ１２に対して前方にずれている場合は距離Ｂ１の値を正の値で、後方にずれている場合は距離Ｂ１の値を負の値で表す。算出された距離Ｂ１は、補正パラメータとして補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶される。

（ｄ）搬送方向に直交する方向の位置のズレ
検知部２２ｃａによる、平面視における、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄに直交する方向への位置のズレ（図１３Ｂの矢印ｄ方向のズレ）の検知と、第２ラインセンサ１５の位置のズレが検知された場合の算出部２２ｃｂによる補正パラメータの算出について図１０を用いて説明する。

検知部２２ｃａは、第１領域Ａ１に対する第２領域Ａ２の左右方向のズレに基づいて、平面視における、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄに直交する方向のズレを検知する。具体的には、検知部２２ｃａは、第１領域Ａ１の左端のラインＨ１１の位置と、第２領域Ａ２の左端のラインＨ２１の位置が一致しない場合に、平面視における、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄに直交する方向の位置のズレを検知する（図１０参照）。

算出部２２ｃｂは、検知部２２ｃａが、平面視における、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄに直交する方向への位置のズレを検知した場合に、第２領域Ａ２の第１領域Ａ１に対する位置のズレの大きさを算出する。具体的には、算出部２２ｃｂは、例えば、第１領域Ａ１の左端のラインＨ１１の位置と、第２領域Ａ２の左端のラインＨ２１の位置との距離Ｂ２を算出する。算出部２２ｃｂは、第２領域Ａ２の左端のラインＨ２１が第１領域Ａ１の左端のラインＨ１１に対して左側にずれている場合は距離Ｂ２の値を正の値で、右側にずれている場合は距離Ｂ２の値を負の値で表す。算出された距離Ｂ２は、補正パラメータとして補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶される。

（ｅ）搬送方向に沿った垂直方向の傾き
検知部２２ｃａによる、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄに沿った垂直方向の傾き（垂直方向の位置の回転ズレ）の検知と、第２ラインセンサ１５の位置のズレが検知された場合の算出部２２ｃｂによる補正パラメータの算出について図１１を用いて説明する。第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄに沿った垂直方向の傾きとは、図１３Ａの矢印ｅ方向の回転ズレを意味する。

検知部２２ｃａは、方向Ｄ’における第２領域Ａ２の第１領域Ａ１に対する拡大／縮小に基づいて、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄに沿った垂直方向の傾きを検知する。具体的には、検知部２２ｃａは、第１領域Ａ１の左端の長さＬ１１に対する第２領域Ａ２の左端の長さＬ２１の比の値と、第１領域Ａ１の後端の長さＬ１２に対する第２領域Ａ２の後端の長さＬ２２の比の値とが同一でない場合に、検知部２２ｃａは、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄに沿った垂直方向の傾きを検知する（図１１参照）。

算出部２２ｃｂは、検知部２２ｃａが第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄに沿った垂直方向の傾きを検知した場合に、第２画像Ｃ２の前後方向の拡縮倍率Ｍを決定する。具体的には、算出部２２ｃｂは、第１領域Ａ１の左端の長さＬ１１の第２領域Ａ２の左端の長さＬ２１に対する比の値（Ｌ１１／Ｌ２１）を拡縮倍率Ｍとして算出する（図１１参照）。算出された拡縮倍率Ｍは、補正パラメータとして補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶される。

（ｆ）垂直方向の搬送方向に直交する方向に沿った傾き
検知部２２ｃａによる、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する、搬送方向Ｄに直交する方向に沿った垂直方向の傾き（垂直方向の位置の回転ズレ）の検知と、第２ラインセンサ１５の位置のズレが検知された場合の算出部２２ｃｂによる補正パラメータの算出について図１２を用いて説明する。第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する、搬送方向Ｄに直交する方向に沿った垂直方向の傾きとは、図１３Ｂの矢印ｆ方向の回転ズレを意味する。

検知部２２ｃａは、方向Ｄ’に直交する方向に沿った第２領域Ａ２の第１領域Ａ１に対する拡大／縮小の状態に基づいて、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄに直交する方向に沿った垂直方向の傾きを検知する。具体的には、検知部２２ｃａは、第１領域Ａ１の左端の長さＬ１１の第２領域Ａ２の左端の長さＬ２１に対する比の値と、第１領域Ａ１の右端の長さＬ１３の第２領域Ａ２の右端の長さＬ２３に対する比の値とを比較し、これらの値が同一でない場合に、検知部２２ｃａは、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄに直交する方向に沿った垂直方向の傾きを検知する（図１２参照）。

算出部２２ｃｂは、検知部２２ｃａが第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄに直交する方向に沿った垂直方向の傾きを検知した場合に、第２画像Ｃ２の左端の前後方向への拡縮倍率Ｎ１と、第２画像Ｃ２の右端の前後方向への拡縮倍率Ｎ２とを決定する。算出部２２ｃｂは、まず、第１領域Ａ１の左端の長さＬ１１の第２領域Ａ２の左端の長さＬ２１に対する比の値（＝Ｌ１１／Ｌ２１）と、第１領域Ａ１の右端の長さＬ１３の第２領域Ａ２の右端の長さＬ２３に対する比の値（＝Ｌ１３／Ｌ２３）と、を算出する（図１２参照）。算出部２２ｃｂは、これらの比の値と、第２画像Ｃ２の中で第２領域Ａ２の左端および右端がどの位置に存在するかという情報と、を基に、Ｌ１１／Ｌ２１の値とＬ１３／Ｌ２３の値とが一致するように、第２画像Ｃ２の左端の拡縮倍率Ｎ１と、第２画像Ｃ２の右端の拡縮倍率Ｎ２とを算出する。つまり、算出部２２ｃｂは、第２画像Ｃ２の部分的な前後方向の拡縮倍率が、左右方向に沿って、左端から右端に向かって拡縮倍率Ｎ１から拡縮倍率Ｎ２に連続的に変化するように決定され、これが適用される場合に、２つの比の値（Ｌ１１／Ｌ２１およびＬ１３／Ｌ２３）が一致するように、拡縮倍率Ｎ１，Ｎ２を算出する。なお、第２画像Ｃ２の左右方向の中心部分は拡大も縮小もしないように、拡縮倍率Ｎ１および拡縮倍率Ｎ２は決定される。また、算出部２２ｃｂは、検知部２２ｃａが第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄに直交する方向に沿った垂直方向の傾きを検知した場合に、第２画像Ｃ２の左右方向の拡縮倍率Ｎ３を決定する。具体的には、算出部２２ｃｂは、第１領域Ａ１の左端のラインＨ１１と右端のラインＨ１３との距離Ｌ１５の、第２領域Ａ２の左端のラインＨ２１と右端のラインＨ２３との距離Ｌ２５に対する比の値を拡縮倍率Ｎ３（＝Ｌ１５／Ｌ２５）として算出する（図１１参照）。算出された拡縮倍率Ｎ１、拡縮倍率Ｎ２、および拡縮倍率Ｎ３は、補正パラメータとして補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶される。

（３−２）補正第２Ｘ線画像の生成処理
以下に、補正画像生成部２２ｄによる補正第２Ｘ線画像の生成処理について説明する。なお、ここでは、図１４に示した方向を用いて以下の説明を行う。図１４に示した第２Ｘ線画像Ｅにおいて、方向Ｄ’’は、物品Ｐの搬送方向（コンベアユニット１２の搬送方向Ｄ）と対応した方向である。以下の説明では、第２Ｘ線画像Ｅにおける方向を示すために、方向Ｄ’’の向かう方向を前方、方向Ｄ’’とは反対に向かう方向を後方、方向Ｄ’’を向いた時の右側を右方、方向Ｄ’’を向いた時の左側を左方と呼ぶ（図１４参照）。

補正画像生成部２２ｄは、補正パラメータ生成部２２ｃの検知部２２ｃａの検知結果に基づいて、物品Ｐの第２Ｘ線画像Ｅを補正した、補正第２Ｘ線画像を生成する。具体的には、補正画像生成部２２ｄは、検知部２２ｃａが第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の位置のズレを検知し、算出部２２ｃｂにより補正パラメータが算出されている場合に、算出された（補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶された）補正パラメータを用いて、物品Ｐの第２Ｘ線画像Ｅを補正した補正第２Ｘ線画像を生成する。

より具体的には、補正画像生成部２２ｄは、補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶された補正パラメータを用いて、以下の（ａ）〜（ｆ）のように補正第２Ｘ線画像を生成する。

（ａ）垂直方向の位置のズレが検知されている場合
補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像Ｅを、補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶された拡縮倍率Ｋで拡大又は縮小することで、補正第２Ｘ線画像を生成する。

（ｂ）水平方向の傾きが検知されている場合
補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像Ｅを、補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶された角度θだけ時計方向に回転させることで（角度θが負の値なら反時計方向に回転させることで）、補正第２Ｘ線画像を生成する。

（ｃ）搬送方向の上流側又は下流側への位置のズレが検知されている場合
補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像Ｅを、補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶された距離Ｂ１だけ後方に移動させることで（距離Ｂ１が負の値なら前方に移動させることで）、補正第２Ｘ線画像を生成する（図１４参照）。言い換えれば、補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像Ｅを、補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶された距離Ｂ１だけ、搬送方向Ｄの上流側又は下流側に対応する、方向Ｄ''の上流側又は下流側に移動させることで、補正第２Ｘ線画像を生成する（図１４参照）。

（ｄ）搬送方向に直交する方向の位置のズレが検知されている場合
補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像Ｅを、補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶された距離Ｂ２だけ右方に移動させることで（距離Ｂ２が負の値なら左方）に移動させることで）、補正第２Ｘ線画像を生成する（図１４参照）。言い換えれば、補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像Ｅを、補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶された距離Ｂ２だけ、搬送方向Ｄに直交する方向に対応する、方向Ｄ''に直交する方向に移動させることで、補正第２Ｘ線画像を生成する（図１４参照）。

（ｅ）搬送方向に沿った垂直方向の傾きが検知されている場合
補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像Ｅを、補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶された拡縮倍率Ｍに基づいて、第２Ｘ線画像Ｅを前後方向に拡縮倍率Ｍだけ拡大／縮小し、補正第２Ｘ線画像を生成する。つまり、補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像Ｅを、第２ラインセンサ１５の傾き方向（搬送方向Ｄ）に対応する方向Ｄ''に拡大又は縮小させることで、補正第２Ｘ線画像を生成する（図１４参照）。

（ｆ）搬送方向に直交する方向に沿った垂直方向の傾きが検知されている場合
補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像Ｅを、補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶された拡縮倍率Ｎ１および拡縮倍率Ｎ２に基づいて、第２Ｘ線画像の左端を前後方向に拡縮倍率Ｎ１だけ拡大／縮小し、第２Ｘ線画像Ｅの右端を前後方向に拡縮倍率Ｎ２だけ縮小／拡大する。なお、補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像の左端と右端との間の中間部分については、第２Ｘ線画像の左端から右端に向かって拡縮倍率Ｎ１から拡縮倍率Ｎ２に連続的に変化するように決定された拡縮倍率で、前後方向に拡大／縮小する。さらに、補正画像生成部２２ｄは、前後方向に拡大／縮小させた第２Ｘ線画像を、補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶された拡縮倍率Ｎ３に基づいて、左右方向に拡縮倍率Ｎ３だけ拡大／縮小し、補正第２Ｘ線画像を生成する。つまり、補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像を、第２ラインセンサ１５の傾き方向（搬送方向Ｄに直交する方向）に対応する、方向Ｄ''に直交する方向における一端側で拡大させ、他端側で縮小させることで、補正第２Ｘ線画像を生成する（図１４参照）。また、補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像を、第２ラインセンサ１５の傾き方向（搬送方向Ｄに直交する方向）に対応する、方向Ｄ''に直交する方向に拡大又は縮小させることで、補正第２Ｘ線画像を生成する（図１４参照）。

（４）特徴
（４−１）
上記実施形態に係るＸ線検査装置１０は、搬送手段としてのコンベアユニット１２と、Ｘ線源としてのＸ線照射器１３と、第１ラインセンサ１４と、第２ラインセンサ１５と、検知部２２ｃａと、補正画像生成部２２ｄと、を備える。コンベアユニット１２は、物品Ｐを搬送する。Ｘ線照射器１３は、コンベアユニット１２により搬送される物品ＰにＸ線を照射する。第１ラインセンサ１４は、物品Ｐを透過したＸ線を低エネルギー帯で検出する。第２ラインセンサ１５は、物品Ｐを透過したＸ線を、低エネルギー帯とは異なる高エネルギー帯で検出する。検知部２２ｃａは、第１ラインセンサ１４に対する、第２ラインセンサ１５の水平方向および垂直方向の位置のズレを検知する。補正画像生成部２２ｄは、検知部２２ｃａの検知結果に基づいて、第２ラインセンサ１５の検出結果に基づいて得られた物品Ｐの第２Ｘ線画像を補正した補正第２Ｘ線画像を生成する。

ここでは、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の水平方向および垂直方向の位置のズレが検知され、ズレに基づいて第２ラインセンサ１５の検出結果から得られる第２Ｘ線画像の補正が行われる。そのため、ラインセンサ１４、１５の取り付け位置にズレが生じた場合にも、正確な検査結果を得ることができる。つまり、ここでは、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の取り付け位置のズレによらず、正しい検査結果を得ることが可能な信頼性の高いＸ線検査装置１０が実現される。

（４−２）
上記実施形態に係るＸ線検査装置１０では、第２ラインセンサ１５は、第１ラインセンサ１４の下方に配置される。第２のエネルギー帯としての高エネルギー帯は、第１のエネルギー帯としての低エネルギー帯よりも高いエネルギー帯である。

ここでは、第１ラインセンサ１４は、第２ラインセンサ１５の上方に配置されるため、Ｘ線照射器１３から第１ラインセンサ１４に到達するまでにＸ線が透過する物体（障害物）が、Ｘ線照射器１３から第２ラインセンサ１５に到達するまでにＸ線が透過する物体に比べて少ない。そのため、第１Ｘ線画像は、第２Ｘ線画像に比べてクリアな画像となる。ここでは、第２Ｘ線画像に比べてクリアな第１Ｘ線画像が基準に用いられるため、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の位置のズレを正確に把握することが容易である。

（４−３）
上記実施形態に係るＸ線検査装置１０では、検知部２２ｃａは、コンベアユニット１２により搬送される既知の形状のサンプルＳにＸ線照射器１３からＸ線を照射し、サンプルＳを透過したＸ線を第１ラインセンサ１４および第２ラインセンサ１５が検出した結果に基づき、第１ラインセンサ１４に対する、第２ラインセンサ１５の位置のズレを予め検知する。

ここでは、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の位置のズレを、既知の形状のサンプルＳのＸ線画像を用いて検知することで、より正確に検知することが可能である。

（４−４）
上記実施形態に係るＸ線検査装置１０では、検知部２２ｃａは、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する水平方向の傾きを検知する。補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像を回転させることで補正第２Ｘ線画像を生成する。

ここでは、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の水平方向の傾き（水平方向の位置の回転ズレ）が生じた場合にも、第２Ｘ線画像を画像処理により補正しした補正第２Ｘ線画像を生成して、正確な検査結果を得ることができる。

（４−５）
上記実施形態に係るＸ線検査装置１０では、検知部２２ｃａは、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する、コンベアユニット１２の搬送方向Ｄの上流側又は下流側へのズレを検知する。補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像を搬送方向Ｄの上流側又は下流側に対応する方向（方向Ｄ’’の上流側又は下流側）に移動させることで、補正第２Ｘ線画像を生成する。

ここでは、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の搬送方向Ｄの上流側又は下流側へのズレが生じた場合にも、第２Ｘ線画像を画像処理により補正した補正第２Ｘ線画像を生成して、正確な検査結果を得ることができる。

（４−６）
上記実施形態に係るＸ線検査装置１０では、検知部２２ｃａは、平面視における、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する、コンベアユニット１２の搬送方向Ｄに直交する方向のズレを検知する。補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像を搬送方向Ｄ直交する方向に対応する方向（方向Ｄ’’に直交する方向）に移動させることで、補正第２Ｘ線画像を生成する。

ここでは、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の、搬送方向Ｄに直交する方向へのズレが生じた場合にも、第２Ｘ線画像を画像処理により補正した補正第２Ｘ線画像を生成して、正確な検査結果を得ることができる。

（４−７）
上記実施形態に係るＸ線検査装置１０では、検知部２２ｃａは、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する垂直方向の傾きを検知する。補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像を、第２ラインセンサ１５の傾き方向に対応する方向（方向Ｄ’’と直交する方向）における一端側で拡大させ、他端側で縮小させることで、補正第２Ｘ線画像を生成する。

ここでは、第１ラインセンサ１４に対して第２ラインセンサ１５が垂直方向に傾いた場合にも、第２Ｘ線画像を画像処理により補正した補正第２Ｘ線画像を生成して、正確な検査結果を得ることができる。

（４−８）
上記実施形態に係るＸ線検査装置１０では、検知部２２ｃａは、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する垂直方向の傾きを検知する。補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像を、第２ラインセンサ１５の傾き方向に対応する方向（方向Ｄ’’、又は、方向Ｄ’’と直交する方向）に拡大又は縮小させることで、補正第２Ｘ線画像を生成する。

ここでは、第１ラインセンサ１４に対して第２ラインセンサ１５が垂直方向に傾いた場合にも、第２Ｘ線画像を画像処理により補正した補正第２Ｘ線画像を生成して、正確な検査結果を得ることができる。

（４−９）
上記実施形態に係るＸ線検査装置１０では、検知部２２ｃａは、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する垂直方向のズレを検知する。補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像を、拡大又は縮小することで補正第２Ｘ線画像を生成する
ここでは、第１ラインセンサ１４に対して第２ラインセンサ１５が上下方向に位置ズレした場合にも、第２Ｘ線画像を画像処理により補正した補正第２Ｘ線画像を生成して、正確な検査結果を得ることができる。

（５）変形例
以下に、上記実施形態の変形例を示す。以下の変形例は、互いに矛盾しない範囲で、他の変形例と組み合わされてもよい。

（５−１）変形例Ａ
上記実施形態では、第２ラインセンサ１５が、第１ラインセンサ１４に対して、（３−１）で説明した（ａ）〜（ｆ）のパターンのいずれかの位置のズレを有している場合を例に説明したが、これに限定されるものではない。検知部２２ｃａは、（ａ）〜（ｆ）のパターンの位置のズレの検知を組み合わせて行うことで、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の複合的な（（ａ）〜（ｆ）のパターンが複数組み合わさった）位置のズレを検知することができる。また、補正画像生成部２２ｄは、（３−２）で説明した（ａ）〜（ｆ）のパターンの補正第２Ｘ線画像の生成処理を組み合わせて行うことで、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の複合的な位置のズレに応じて、補正第２Ｘ線画像を生成することができる。

（５−２）変形例Ｂ
上記実施形態では、検知部２２ｃａは、（３−１）で説明した（ａ）〜（ｆ）のパターンの、６種類の第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する位置のズレを検知するが、これに限定されるものではない。例えば、ある種類の位置のズレが発生しにくいことが判明している場合には、検知部２２ｃａは、（ａ）〜（ｆ）のパターンの位置のズレのうち、一部だけを検知するものであってもよい。

（５−３）変形例Ｃ
上記実施形態では、第１ラインセンサ１４と第２ラインセンサ１５とは、上下に並べて配置されるが、これに限定されるものではない。Ｘ線検査装置は、第１ラインセンサおよび第２ラインセンサがコンベアユニット１２の搬送方向Ｄに並べて水平位置に配置されてもよい。

なお、この場合には、第２Ｘ線画像生成部２２ｂは、Ｘ線検出素子１５ａから出力されるＸ線透過信号に基づいて生成されたＸ線画像を所定倍率で縮小する、という処理を実行しなくてもよい。

（５−４）変形例Ｄ
上記実施形態では、検知部２２ｃａは、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の位置のズレを検知し、補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像を補正した補正第２Ｘ線画像を生成するが、これに限定されるものではない。検知部２２ｃａは、第２ラインセンサ１５に対する第１ラインセンサ１４の位置のズレを検知し、補正画像生成部２２ｄは、第１Ｘ線画像を補正した補正第１Ｘ線画像を生成するように構成されてもよい。

なお、第２ラインセンサ１５は、第１ラインセンサ１４の下方に配置されるため、第２Ｘ線画像は、第１Ｘ線画像に比べてクリアな画像が得られにくい。そこで、例えば、第２ラインセンサ１５に対する第１ラインセンサ１４の位置のズレを検知する場合であっても、検知部２２ｃａには、上記実施形態と同様の構成が用いられてもよい。第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の位置のズレを検知すれば、同時に、第２ラインセンサ１５に対する第１ラインセンサ１４の位置のズレを検知することが可能である。

（５−５）変形例Ｅ
上記実施形態では、サンプルＳとして平面視において矩形状の平板が用いられるが、サンプルＳの形状は、これに限定されるものではない。サンプルＳの形状は、平面視において、三角形状や楕円形状等であってもよい。

ただし、長さの異なる辺を有し、辺が直角に交わる矩形状のサンプルＳを用いることで、第１ラインセンサ１４に対する、第２ラインセンサ１５の位置のズレを特に精度良く検知することができる。

（５−６）変形例Ｆ
上記実施形態では、サンプルＳを用いて予め第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の位置のズレが検知されるが、これに限定されるものではない。例えば、検査対象である物品Ｐを用いて第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の位置のズレが検知されてもよい。ただし、物品Ｐが、平面視において円形形状である場合や、複雑な形状である場合等、第２ラインセンサ１５の位置のズレの検知に適した形状でない場合には、サンプルＳを用いて予め第２ラインセンサ１５の位置のズレが検知されることが好ましい。

（５−７）変形例Ｇ
上記実施形態では、Ｘ線検査装置１０は物品Ｐの異物検査を行うが、検査の種類は異物検査に限定されるものではなく、補正第２Ｘ線画像を利用して各種検査を実行するものであればよい。

（５−８）変形例Ｈ
上記実施形態で示した検知部２２ｃａによる第２ラインセンサ１５の位置のズレの検知方法や、算出部２２ｃｂによる補正パラメータの算出方法は例示であって、これに限定されるものではない。検知部２２ｃａは、第１領域Ａ１と第２領域Ａ２とが重ならない場合に、第１ラインセンサ１４に対して第２ラインセンサ１５の位置のズレがあると検知し、算出部２２ｃｂは、第２領域Ａ２が第１領域Ａ１に丁度重なるように補正パラメータを算出するよう構成されればよい。

（５−９）変形例Ｉ
上記実施形態では、検知部２２ｃａの処理の説明を、第１ラインセンサ１４は設計された位置に設置されていると仮定して説明を行ったが、第１ラインセンサ１４が設計された位置からずれている場合にも同様の処理を実行可能である。つまり、検知部２２ｃａは、第１領域Ａ１と第２領域Ａ２とが重ならない場合に、第１ラインセンサ１４に対して第２ラインセンサ１５の位置のズレがあると検知し、算出部２２ｃｂは、第２領域Ａ２が第１領域Ａ１に丁度重なるように補正パラメータを算出するよう構成されればよい。

本発明のＸ線検査装置は、２つのラインセンサの取り付け位置にズレが生じた場合にも、正確な検査結果を得ることが可能な信頼性の高いＸ線検査装置として有用である。

１０ Ｘ線検査装置
１２ コンベアユニット（搬送手段）
１３ Ｘ線照射器（Ｘ線源）
１４ 第１ラインセンサ
１５ 第２ラインセンサ
２２ｃａ 検知部
２２ｄ 補正画像生成部
Ｄ 搬送方向
Ｐ 物品
Ｓ サンプル

特開２０１２−０７８２５４号公報

Claims (9)

1. 物品を搬送する搬送手段と、
   前記搬送手段により搬送される前記物品にＸ線を照射するＸ線源と、
   前記物品を透過したＸ線を第１のエネルギー帯で検出する第１ラインセンサと、
   前記物品を透過したＸ線を、前記第１のエネルギー帯とは異なる第２のエネルギー帯で検出する第２ラインセンサと、
   前記第１ラインセンサに対する、前記第２ラインセンサの水平方向および垂直方向の位置のズレの少なくとも一方を検知する検知部と、
   前記検知部の検知結果に基づいて、前記第２ラインセンサの検出結果に基づいて得られた前記物品の第２Ｘ線画像を補正した補正第２Ｘ線画像を生成する補正画像生成部と、
   を備える、Ｘ線検査装置。
2. 前記第２ラインセンサは、前記第１ラインセンサの下方に配置され、前記第２のエネルギー帯は、前記第１のエネルギー帯よりも高いエネルギー帯である、
   請求項１に記載のＸ線検査装置。
3. 前記検知部は、前記搬送手段により搬送される既知の形状のサンプルに前記Ｘ線源からＸ線を照射し、前記サンプルを透過したＸ線を前記第１ラインセンサおよび前記第２ラインセンサが検出した結果に基づき、前記第１ラインセンサに対する、前記第２ラインセンサの位置のズレを予め検知する、
   請求項１又は２に記載のＸ線検査装置。
4. 前記検知部は、前記第２ラインセンサの前記第１ラインセンサに対する水平方向の傾きを検知し、
   前記補正画像生成部は、前記第２Ｘ線画像を回転させることで前記補正第２Ｘ線画像を生成する、
   請求項１から３のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
5. 前記検知部は、前記第２ラインセンサの前記第１ラインセンサに対する、前記搬送手段の搬送方向の上流側又は下流側へのズレを検知し、
   前記補正画像生成部は、前記第２Ｘ線画像を前記搬送方向の上流側又は下流側に対応する方向に移動させることで、前記補正第２Ｘ線画像を生成する、
   請求項１から３のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
6. 前記検知部は、平面視における、前記第２ラインセンサの前記第１ラインセンサに対する、前記搬送手段の搬送方向に直交する方向のズレを検知し、
   前記補正画像生成部は、前記第２Ｘ線画像を前記搬送方向に直交する方向に対応する方向に移動させることで、前記補正第２Ｘ線画像を生成する、
   請求項１から３のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
7. 前記検知部は、前記第２ラインセンサの前記第１ラインセンサに対する垂直方向の傾きを検知し、
   前記補正画像生成部は、前記第２Ｘ線画像を、前記第２ラインセンサの傾き方向に対応する方向における一端側で拡大させ、他端側で縮小させることで、前記補正第２Ｘ線画像を生成する、
   請求項１から３のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
8. 前記検知部は、前記第２ラインセンサの前記第１ラインセンサに対する垂直方向の傾きを検知し、
   前記補正画像生成部は、前記第２Ｘ線画像を、前記第２ラインセンサの傾き方向に対応する方向に拡大又は縮小させることで、前記補正第２Ｘ線画像を生成する、
   請求項１から３のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
9. 前記検知部は、前記第２ラインセンサの前記第１ラインセンサに対する垂直方向のズレを検知し、
   前記補正画像生成部は、前記第２Ｘ線画像を、拡大又は縮小することで前記補正第２Ｘ線画像を生成する、
   請求項１から３のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。

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