JP2013156172A

JP2013156172A - Ｘ線検査装置

Info

Publication number: JP2013156172A
Application number: JP2012017452A
Authority: JP
Inventors: Yoshinori Hosokawa; 好則細川
Original assignee: X-RAY PRECISION Inc
Current assignee: X-RAY PRECISION Inc
Priority date: 2012-01-31
Filing date: 2012-01-31
Publication date: 2013-08-15
Also published as: US20130195244A1; CN103226111A; EP2623965A1

Abstract

【課題】被検査対象物に含まれる金（Ａｕ）の形状及び含有量を迅速且つ高精度に非破壊で計測することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】被検査対象物Ｗに９０ｋｅＶ以上のＸ線を照射するＸ線発生器４と、被検査対象物Ｗを透過したＸ線を検出するＸ線検出器６，７と、該Ｘ線検出器６，７で検出されたＸ線信号に基づいて前記被検査対象物Ｗに含まれるＡｕの形状及び含有量を計測する演算部８とを備え、Ｘ線検出器６，７と被検査対象物Ｗの間にはＡｕフィルタ６とＰｔフィルタ７がそれぞれ設けられ、Ｘ線検出器６，７は、Ｘ線発生器４から照射され被検査対象物Ｗ及びＡｕフィルタ６を透過したＸ線とＸ線発生器４から照射され被検査対象物Ｗ及びＰｔフィルタ７を透過したＸ線をそれぞれ検出し、演算部８はそれぞれのＸ線信号に基づいて被検査対象物Ｗに含まれるＡｕの形状及び含有量を計測するＸ線検査装置１。
【選択図】図１

Description

本発明は、金鉱石、貴金属宝石、プリント基板、及び電子部品等の被検査対象物に含まれる金（Ａｕ）の形状及び含有量を非破壊で計測するＸ線検査装置に関する。

従来から金鉱石、貴金属宝石、プリント基板、及び電子部品等の被検査対象物に含まれる金（Ａｕ）の含有量についての分析方法としては、化学反応による前処理を行った後、ＩＣＰ分析装置等を用いた分析方法が一般的に用いられている（例えば、特許文献１参照）。

また、被検査対象物に対して比較的弱いエネルギーのＸ線を照射し、被検査対象物から発生する元素固有の蛍光Ｘ線の波長や強度を解析することにより被検査対象物を構成する元素の種類や含有量を非破壊で分析する蛍光Ｘ線分析装置が従来から知られている（例えば、特許文献２参照）。

特開２００９−１２８３１５号公報特開２００７−００３２８３号公報

しかしながら、特許文献１のように化学反応による前処理や反応試薬等を用いた場合には、被検査対象物の形状が破壊されるためにそのものを再現することができないので、分析結果の信憑性を必ずしも確保できないとともに被検査対象物に含まれるＡｕの形状を計測することができないという問題がある。また、十分な化学反応時間や乾燥時間等が必要となるため、分析結果を得るまでに多くの時間が必要となる。そのため、分析者の個人誤差や処理時間等の外的影響によって分析精度に誤差が生じやすい。また、特許文献２のような蛍光Ｘ線分析により被検査対象物に含まれるＡｕの含有量を分析する際には、エネルギー値がＡｕ−Ｌα＝９．７１２ｅＶ〜Aｕ−Ｌγ＝１３．３８ｅＶ程度のＸ線が用いられるため、被検査対象物の表面から数十μｍ程度の深さまでの表面情報しか得ることができないため、薄膜めっき等の厚さの測定にしか実用化できない。

本発明は、上記のような種々の課題に鑑みてなされたものであって、被検査対象物に含まれる金（Ａｕ）の形状及び含有量を迅速且つ高精度に非破壊で計測することができるＸ線検査装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、請求項１記載のＸ線検査装置は、被検査対象物に９０ｋｅＶ以上のＸ線を照射するＸ線発生器と、前記被検査対象物を透過したＸ線を検出するＸ線検出器と、該Ｘ線検出器で検出されたＸ線信号に基づいて前記被検査対象物に含まれる金（Ａｕ）の形状及び含有量を計測する演算部と、を備えるＸ線検査装置であって、前記Ｘ線検出器と前記被検査対象物の間には、Ａｕによって形成される第１のフィルタとＰｔ又はＰｔより低原子番号の材料によって形成される第２のフィルタがそれぞれ設けられ、前記Ｘ線検出器は、前記Ｘ線発生器から照射され前記被検査対象物及び前記第１のフィルタを透過したＸ線と前記Ｘ線発生器から照射され前記被検査対象物及び前記第２のフィルタを透過したＸ線をそれぞれ検出し、前記演算部は、前記Ｘ線検出器によって検出されたそれぞれのＸ線信号に基づいて前記被検査対象物に含まれるＡｕの形状及び含有量を計測することを特徴としている。

請求項２記載のＸ線検査装置は、前記被検査対象物を搬送する搬送部を備え、
前記Ｘ線検出器は、前記搬送部によって搬送される前記被検査対象物及び前記第１のフィルタを透過したＸ線を検出する第１のＸ線ラインセンサと、前記搬送部によって搬送される前記被検査対象物及び第２のフィルタを透過したＸ線を検出する第２のＸ線ラインセンサを有しており、前記演算部は、前記第１及び第２のＸ線ラインセンサによって検出されたそれぞれのＸ線信号に基づいて減算処理を行うことにより前記被検査対象物に含まれるＡｕの形状及び含有量を示すＡｕ抽出Ｘ線画像を生成することを特徴としている。

請求項３記載のＸ線検査装置は、前記第１のフィルタ又は前記第２のフィルタのいずれかが前記Ｘ線検出器と前記被検査対象物の間に位置するように切り替えるフィルタ交換機構を備え、前記Ｘ線検出器は、前記フィルタ交換機構によって前記第１のフィルタと前記第２のフィルタがそれぞれ切り替えられることにより、前記被検査対象物及び前記第１のフィルタを透過したＸ線と前記被検査対象物及び前記第２のフィルタを透過したＸ線とをそれぞれ受光してそれぞれのＸ線画像を撮像するＸ線カメラであって、前記演算部は、前記Ｘ線カメラによって得られたそれぞれのＸ線画像間で減算処理を行うことにより前記被検査対象物に含まれるＡｕの形状及び含有量を示すＡｕ抽出Ｘ線画像を生成することを特徴としている。

請求項４記載のＸ線検査装置は、前記演算部による計測結果を表示する表示部を備えることを特徴としている。

請求項１記載のＸ線検査装置によれば、被検査対象物に９０ｋｅＶ以上のＸ線を照射し、Ｘ線検出器によって被検査対象物及び第１のフィルタを透過したＸ線と被検査対象物及び第２のフィルタを透過したＸ線とを検出し、これらそれぞれのＸ線信号に基づいて被検査対象物の計測を行っているので、表面だけでなく、被検査対象物に含まれる金（Ａｕ）の形状及び含有量を迅速且つ高精度に非破壊で計測することができる。

請求項２記載のＸ線検査装置によれば、被検査対象物は、搬送部によってＸ線ラインセンサ上へと自動的に搬送されるので、被検査対象物が複数あるような場合でもそれらを順次搬送させることにより、効率的にそれぞれの被検査対象物に含まれるＡｕの形状及び含有量を計測することができる。

請求項３記載のＸ線検査装置によれば、フィルタ交換機構によって第１のフィルタと第２のフィルタのいずれかがＸ線カメラと被検査対象物の間に位置するように切り替えることにより、Ｘ線カメラにより被検査対象物及び第１のフィルタを透過したＸ線と被検査対象物及び第２のフィルタを透過したＸ線とをそれぞれ受光してそれぞれのＸ線画像を効率的に得ることができる。

請求項４記載のＸ線検査装置によれば、計測結果を表示する表示部を備えているので、即時に計測結果を確認することができる。

本発明の第１の実施形態に係るＸ線検査装置の一例を示す概略模式図である。本発明の第１の実施形態に係るＸ線検査装置の構成の一例を示す概略斜視図である。Ｘ線のエネルギーと吸収係数との関係を示すグラフであって、（ａ）はＸ線のエネルギーとＡｕの吸収係数との関係を示しており、（ｂ）はＸ線のエネルギーとＰｔの吸収係数との関係を示している。被検査対象物及びＡｕ抽出Ｘ線画像の一例を示す図である。Ａｕ抽出Ｘ線画像について説明するための概略説明図である。本発明の第２の実施形態に係るＸ線検査装置の一例を示す

以下、本発明の第１の実施形態に係るＸ線検査装置１について、図面を参照しつつ説明する。本発明に係るＸ線検査装置１は、図１に示すように、Ｘ線を遮蔽する筐体２内に被検査対象物Ｗを搬送する搬送部３と、搬送中の被検査対象物Ｗに対してＸ線を照射するＸ線発生器４と、筐体２内の検査空間Ｓに被検査対象物Ｗが搬送されるのを検出するための光学式高さセンサ５と、被検査対象物Ｗを透過したＸ線をそれぞれ検出する２つのＸ線ラインセンサ６，７と、該Ｘ線ラインセンサ６，７で検出されたそれぞれのＸ線信号に基づいて被検査対象物Ｗに含まれる金（Ａｕ）の形状及び含有量を計測する演算部８と、各部に電力を供給するための電源ユニット９等を備えている。また、筐体２の外面には、演算部８によって得られた計測結果等を表示する表示部１０と、Ｘ線検査装置１の運転条件等を設定するための操作部１１が設けられている。

筐体２は、検査空間Ｓ内のＸ線を遮蔽するためのものであり、矢印で示す搬送方向の両側には被検査対象物Ｗの搬入口及び搬出口となる開口部がそれぞれ形成されており、これらの開口部には、検査空間Ｓ内のＸ線が外部に漏洩することを防止するための遮蔽カーテン１２がそれぞれ設けられている。

搬送部３は、被検査対象物Ｗを筐体２の搬入口から搬出口まで水平に搬送するためのものであり、その両端は搬入口及び搬出口から突出するように設けられている。この搬送部３は、例えば、筐体２に対して水平に配置されたベルトコンベア等により構成されており、不図示のモータ等によってベルト３１が一対のローラ３２に巻回されることにより所定の搬送速度にて被検査対象物Ｗをベルト３１の表面上に載置した状態で搬入口から搬出口へと搬送する。また、搬送部３によって搬送される被検査対象物Ｗとしては、例えば、金鉱石、貴金属宝石、プリント基板、及び電子部品の他、金（Ａｕ）が含まれていると想定される様々なものが挙げられる。

Ｘ線発生器４は、搬送部３によって搬送される被検査対象物Ｗに対して９０ｋｅＶ（Ａｕ−Ｋａｂ）以上のエネルギーを有するＸ線を照射するものである。このＸ線発生器４は、詳しくは図示しないが、例えば陰極フィラメントと陽極ターゲットを備えるＸ線管を有しており、陰極フィラメントからの熱電子をその陰極と陽極との間の高電圧によって陽極ターゲットに衝突させてＸ線を発生させ、この発生したＸ線を不図示のＸ線スリットを介して搬送部３の搬送方向と直交する方向に広がる扇形に整形したファンビーム形状のＸ線Ｌを下方に照射するように構成されている。

光学式高さセンサ５は、被検査対象物Ｗが検査空間Ｓ内に搬送されるのを検出するためのものであって、筐体２の搬入口側に配設されている。Ｘ線検査装置１では、この光学式高さセンサ５によって、被検査対象物Ｗが筐体内２内に設けられた遮蔽カーテン１２によって仕切られた検査空間Ｓへと搬送されるタイミングを検出し、そのタイミングに応じてＸ線発生器４によりＸ線を適切に照射することができる。尚、本実施形態では、搬入口側のみに光学式高さセンサ５を設けているが、筐体２の搬出口側にも光学式高さセンサ５を設けることにより被検査対象物Ｗが適切に筐体２から搬出されたか否かを検出できるように構成しても良い。

Ｘ線ラインセンサ６，７は、被検査対象物Ｗを透過したＸ線を検出するためのものであり、Ｘ線発生器４と対向するように搬送部３のベルト３１の間に配設されている。このＸ線ラインセンサ６，７としては、例えば、蛍光体であるシンチレータによりＸ線を蛍光に変換して、搬送方向に対して直交する方向にアレイ状に配設したフォトダイオード又は電荷結合素子等からなる検出素子により電流信号へと変換するシンチレータ方式や複数の半導体検出素子をアレイ状に並べダイレクトに検出する半導体方式等の従来公知のもの用いることができる。

また、Ｘ線ラインセンサ６には、図１及び図２に示すように、被検査対象物Ｗを透過したＸ線が入射する上面側の一部又は全部を覆うように、Ａｕによって形成される薄板状の吸収体として作用するＡｕフィルタ１３が備えられている。一方、Ｘ線ラインセンサ７の上面には、Ａｕよりも低原子番号のＰｔ（白金）によって形成される薄板状の吸収体として作用するＰｔフィルタ１４が備えられている。尚、このＰｔフィルタ１４の代わりにＰｔよりも低原子番号の材料によって形成されるフィルタを用いても良い。

演算部８は、Ｘ線検査装置１の各部の制御及びＸ線ラインセンサ６，７で検出されたそれぞれのＸ線信号に基づいて被検査対象物Ｗに含まれる金（Ａｕ）の形状及び含有量を求めるための演算処理等を行うためのものであって、例えばコンピュータ等によって構成されている。

表示部１０は、例えば液晶ディスプレイ等によって構成されており、Ｘ線検査装置１に関する各種の情報や演算部８で得られた計測結果等を表示するためのものである。操作部１１は、Ｘ線検査装置１の運転条件等の各種の設定を行うためのものであって、例えば、搬送部３の搬送速度やＸ線発生器の照射強度等の設定等が行われる。この操作部１１からの入力情報は演算部８へと送られ、演算部８により操作部１１からの入力情報に基づいた制御が行われる。尚、本実施形態では表示部１０と操作部１１を別々に設けているが、タッチパネルディスプレイ等を用いることにより表示部１０と操作部１１を一体として設けるように構成しても良い。また、表示部１０及び操作部１１は、筐体２の搬入口側の外面に設けられているが、これに限定されるものではなく、筐体２の正面側や筐体２から独立させて設けるようにしても良い。

以下、Ｘ線検査装置１を用いて被検査対象物ＷのＡｕの形状及び含有量の計測を行う際の動作について図１及び図２を参照しつつ説明する。

まず、光学式高さセンサ５では、筐体２の搬入口から被検査対象物Ｗが搬入されたのを検知すると、その検知信号を演算部８へと出力する。演算部８では、その検知信号及び搬送部３の搬送速度に基づいて被検査対象物Ｗが検査空間Ｓ内を通過するタイミングを算出する。

そして、そのタイミングに応じて適切にＸ線発生器４は、不図示のＸ線スリットを介して扇形に整形された９０ｋｅＶ以上のエネルギーを有するファンビーム形状のＸ線Ｌを搬送部３によって検査空間Ｓ内へと搬送される被検査対象物Ｗに対して照射する。

このようにＸ線発生器４からファンビーム形状のＸ線Ｌが照射されると、Ｘ線ラインセンサ６では、被検査対象物Ｗ及びＡｕフィルタ１３を透過したＸ線の透過量を検出する。また、Ｘ線ラインセンサ７では、被検査対象物Ｗ及びＰｔフィルタ１４を透過したＸ線の透過量を検出する。そして、Ｘ線ラインセンサ６及びＸ線ラインセンサ７で検出されたＸ線の透過量はＸ線信号としてそれぞれ出力され、不図示のＡ／Ｄ変換部を介してデジタル信号に変換されて演算部８へと入力される。

演算部８では、入力されたそれぞれのＸ線信号を減算処理することにより被検査対象物ＷのＡｕ成分のみを抽出し、図４（ｂ）に示すようなＡｕの含有量に応じて異なる濃淡が画素毎に表わされるＡｕ抽出Ｘ線画像を生成する。この図４（ｂ）は、実際にＸ線検査装置１を用いて同図（ａ）に示すような廃プリント基板を被検査対象物としてＡｕ抽出Ｘ線画像を生成した一例を示すものである。尚、実際にはカラーのＡｕ抽出Ｘ線画像（濃淡画像）が表示部１０に表示されることになる。図５（ｂ）は、このようなＡｕ抽出Ｘ線画像１６を模式的に示すものであり、濃淡をハッチングの間隔で表わしており、ハッチングの間隔が狭い部分ほど例えば濃く表示され、Ａｕ層が厚い又は多く含まれていることを示しており、ハッチングの間隔が広い部分ほど例えば薄く表示され、Ａｕ層が薄い又はほとんど含まれていないことを示している。このようにＡｕ抽出Ｘ線画像１６では、図５（ａ）の廃プリント基板画像１５中の金めっきが表面に現れている黒塗りの領域Ａだけでなく、金めっきが表面には現れていない領域Ｂ〜ＤについてもＡｕの含有量に応じた濃淡画像として示すことができる。従って、図５（ｂ）に示すように、図５（ａ）ではＡｕが全く把握できない領域Ｂに対応する領域Ｂ１において、図５（ａ）の金めっきが表面に現れている領域Ａに対応するＡ１よりも多くのＡｕを含んでいることを容易に把握することができる。また、図５（ｂ）では、領域Ｄ１には、ほとんどＡｕが含まれていないことも把握できる。

具体的には、以下のような関係式に基づいて、被検査対象物ＷのＡｕ成分のみを抽出する。まず、被検査対象物ＷによるＸ線の吸収は数式（１）のように表される。但し、Ｉ_０は入射Ｘ線の強度、μは質量吸収係数、ρは被検査対象物Ｗの密度、ｔは被検査対象物Ｗの厚さを表すものである。また、質量吸収係数μは、μ＝ｆ_μ（Ｅ）で示され、Ａｕの場合、図３（ａ）に示すように、Ａｕ吸収端で不連続且つ固有の値を有する。つまり、吸収端エネルギー値より高値側と低値側での吸収値の差異はＡｕ元素のみに依存する。

また、ここで質量吸収係数μ、被検査対象物Ｗの密度ρ、被検査対象物の厚さｔ、及びＡｕの質量濃度Ｃ_Ａｕはそれぞれ数式（２）〜数式（６）のように表わされる。尚、数式中の添え字ｉは被検査対象物に含まれるＡｕ以外の成分元素を表している。また、μの左上の添え字Ｈは吸収端エネルギーの高い値、添え字Ｌは吸収端エネルギーの低い値を表している。

また、数式（１）を対数表記すると数式（７）のように表わされる。この数式（７）を変形させて得られた被検査対象物Ｗの厚さｔの式に数式（２）〜数式（４）を用いるとＡｕの厚さｔ_Ａｕは数式（８）のように表わされる。そして、数式（６）及び数式（８）よりＡｕの質量濃度Ｃ_Ａｕを求めることができる。これにより、被検査対象物ＷのＡｕ成分のみを抽出し、Ａｕ抽出Ｘ線画像を生成する。

また、演算部８では、生成したＡｕ抽出Ｘ線画像からＡｕの形状が求められ、そのＡｕの形状に対応する画素の面積と画素毎のＡｕの厚さを積算することによりＡｕの体積が算出される。従って、このＡｕの体積にＡｕの密度を掛けることにより、被検査対象物ＷのＡｕの含有量を求めることができる。

次に、本発明の第２の実施形態に係るＸ線検査装置１ａについて図５を参照しつつ説明する。このＸ線検査装置１ａは、図５に示すように、搬送部３によって被検査対象物Ｗを搬送する代わりに、被検査対象物Ｗを載置するためのセッティング部１７と、Ｘ線ラインセンサ６，７の代わりにＸ線を受光してＸ線画像を撮像するＸ線カメラ１８と、該Ｘ線カメラ１８と被検査対象物Ｗの間にＡｕフィルタ１３又はＰｔフィルタ１４のいずれかが位置するようにこれらのフィルタ１３，１４の切り替えを行うフィルタ交換機構１９とを備えるものである。尚、第１の実施形態に係るＸ線検査装置１ａと同様の構成等については、同一の符号を付し、その詳細な説明については省略する。

セッティング部１７は、被検査対象物Ｗが載置された際に被検査対象物Ｗに対してＸ線が照射されるようにＸ線発生器４に対向するように不図示の筐体内に設けられている。Ｘ線カメラ１８は、セッティング部１７に載置された被検査対象物Ｗを透過したＸ線を検出して、この検出したＸ線の強度に応じた濃度値の画素を有するＸ線画像を撮像するものであって、セッティング部１７の下方でＸ線発生器４と対向するように配置されている。

フィルタ交換機構１９は、Ｘ線カメラ１８と被検査対象物Ｗの間にＡｕフィルタ１３又はＰｔフィルタ１４のいずれかが位置するようにこれらのフィルタ１３，１４の切り替えを行うものであって、例えば、モータ等によってＸ線カメラ１８の上面と平行に設けられたフィルタ１３，１４を所定角度だけ水平に回転させることにより切り替えることができる。尚、フィルタ交換機構１９は、特にこのような構成に限定されるものではなく、Ａｕフィルタ１３又はＰｔフィルタ１４の位置を切り替えられるものであれば良い。

以下、Ｘ線検査装置１ａを用いて被検査対象物ＷのＡｕの形状及び含有量の計測を行う際の動作について図５を参照しつつ説明する。

まず、セッティング部１７に被検査対象物Ｗを載置し、フィルタ交換機構１９によって被検査対象物ＷとＸ線カメラ１８の間にＡｕフィルタ１３を位置させた状態で、図５に示すように、Ｘ線発生器４により被検査対象物Ｗに９０ｋｅＶ以上のエネルギーのＸ線Ｌを照射する。

そして、Ｘ線カメラ１８は、被検査対象物Ｗ及びＡｕフィルタ１３を透過したＸ線を検出し、この検出したＸ線の強度に応じた濃度値の画素を持つＸ線画像を撮像し、演算部８の記憶手段へと出力する。

Ｘ線カメラ１８によって撮像されたＸ線画像が演算部８の記憶手段へと出力されると、演算部８はＸ線カメラ１８と被検査対象物Ｗの間に位置しているＡｕフィルタ１３をフィルタ交換機構１９によってＰｔフィルタ１４へと切り替える。そして、Ｘ線カメラ１８は、被検査対象物Ｗ及びＰｔフィルタ１４を透過したＸ線を検出し、この検出したＸ線の強度に応じた濃度値の画素を持つＸ線画像を撮像し、演算部８へと出力する。尚、Ａｕフィルタ１３とＰｔフィルタ１４の切り替えの順序は特に限定されるものではなく、先にＰｔフィルタ１４をＸ線カメラ１８と被検査対象物Ｗの間に位置させてＸ線画像を撮像した後に、Ａｕフィルタ１３に切り替えるようにしても良い。

演算部８では、Ｘ線カメラ１８から取得したそれぞれのＸ線画像間で減算処理を行うことにより、Ｘ線検査装置１と同様に被検査対象物に含まれるＡｕ成分のみを抽出し、Ａｕ抽出Ｘ線画像を生成することができる。また、Ｘ線検査装置１と同様の処理を行うことにより、被検査対象物ＷのＡｕの含有量を求めることができる。

尚、本発明の実施の形態は上述の形態に限るものではなく、本発明の思想の範囲を逸脱しない範囲で適宜変更することができる。

本発明に係るＸ線検査装置は、金鉱石、貴金属宝石、プリント基板、及び電子部品等に含まれる金（Ａｕ）の形状及び含有量を計測するための装置として有効に利用することができる。

１、１ａＸ線検査装置
２筐体
３搬送部
４Ｘ線発生器
６Ｘ線ラインセンサ（第１のＸ線ラインセンサ）
７Ｘ線ラインセンサ（第２のＸ線ラインセンサ）
８演算部
１０表示部
１３Ａｕフィルタ（第１のフィルタ）
１４Ｐｔフィルタ（第２のフィルタ）
１８Ｘ線カメラ
１９フィルタ交換機構
Ｓ検査空間
ＬＸ線

Claims

被検査対象物に９０ｋｅＶ以上のＸ線を照射するＸ線発生器と、前記被検査対象物を透過したＸ線を検出するＸ線検出器と、該Ｘ線検出器で検出されたＸ線信号に基づいて前記被検査対象物に含まれる金（Ａｕ）の形状及び含有量を計測する演算部と、を備えるＸ線検査装置であって、
前記Ｘ線検出器と前記被検査対象物の間には、Ａｕによって形成される第１のフィルタとＰｔ又はＰｔより低原子番号の材料によって形成される第２のフィルタがそれぞれ設けられ、
前記Ｘ線検出器は、前記Ｘ線発生器から照射され前記被検査対象物及び前記第１のフィルタを透過したＸ線と前記Ｘ線発生器から照射され前記被検査対象物及び前記第２のフィルタを透過したＸ線をそれぞれ検出し、
前記演算部は、前記Ｘ線検出器によって検出されたそれぞれのＸ線信号に基づいて前記被検査対象物に含まれるＡｕの形状及び含有量を計測することを特徴とするＸ線検査装置。
前記被検査対象物を搬送する搬送部を備え、
前記Ｘ線検出器は、前記搬送部によって搬送される前記被検査対象物及び前記第１のフィルタを透過したＸ線を検出する第１のＸ線ラインセンサと、前記搬送部によって搬送される前記被検査対象物及び第２のフィルタを透過したＸ線を検出する第２のＸ線ラインセンサを有しており、
前記演算部は、前記第１及び第２のＸ線ラインセンサによって検出されたそれぞれのＸ線信号に基づいて減算処理を行うことにより前記被検査対象物に含まれるＡｕの形状及び含有量を示すＡｕ抽出Ｘ線画像を生成することを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
前記第１のフィルタ又は前記第２のフィルタのいずれかが前記Ｘ線検出器と前記被検査対象物の間に位置するように切り替えるフィルタ交換機構を備え、
前記Ｘ線検出器は、前記フィルタ交換機構によって前記第１のフィルタと前記第２のフィルタがそれぞれ切り替えられることにより、前記被検査対象物及び前記第１のフィルタを透過したＸ線と前記被検査対象物及び前記第２のフィルタを透過したＸ線とをそれぞれ受光してそれぞれのＸ線画像を撮像するＸ線カメラであって、
前記演算部は、前記Ｘ線カメラによって得られたそれぞれのＸ線画像間で減算処理を行うことにより前記被検査対象物に含まれるＡｕの形状及び含有量を示すＡｕ抽出Ｘ線画像を生成することを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
前記演算部による計測結果を表示する表示部を備えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のＸ線検査装置。