JP4508003B2 - 蛍光x線分析方法 - Google Patents
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(1)X線検出器の特性上、該検出器に入射して来るX線のうち23〜35keVの高エネルギー範囲の散乱線の割合が9〜13eVのエネルギー範囲の蛍光X線の割合に比べて増加すると、9〜13keVのエネルギー範囲のX線に対する検出効率が相対的に悪化する。
(2)一般に、9〜13keVのエネルギー範囲の蛍光X線を発する元素の場合、13keV以上のエネルギー範囲では試料に入射するX線のエネルギーが高くなればなるほど吸収係数が低くなり、励起効率が低下する傾向にある。図5は10.55keVにLα線を持つ鉛の吸収係数とエネルギーとの関係を示す図である。図より、13keV付近からエネルギーが高くなるほど吸収係数が低下しており、25keV以上ではかなり吸収係数が低い。X線の吸収が悪ければそれだけ励起効率は極端に落ちるから、こうしたX線が入射しても蛍光X線は出にくくなる。
前記X線源と試料との間のX線光路上に、主として25〜26keV以上のエネルギー範囲と5〜13keVのエネルギー範囲のX線を吸収する特性を有する一次X線フィルタを設けることを特徴としている。
2…一次X線フィルタ
3…試料
4…X線検出器
5…マルチチャンネルアナライザ
Claims (4)
- X線源で発生した一次X線を試料に照射し、それに応じて該試料から放出される蛍光X線をX線検出器で受けて分析するエネルギー分散型の蛍光X線分析装置を用い、9〜13keVの範囲内にエネルギーを持つ蛍光X線を分析する方法であって、
前記X線源と試料との間のX線光路上に、主として25〜26keV以上のエネルギー範囲と5〜13keVのエネルギー範囲のX線を吸収する特性を有する一次X線フィルタを設けることを特徴とする蛍光X線分析方法。 - 前記一次X線フィルタは、銀若しくはパラジウムの箔、又は少なくともこれら金属との組み合わせである1層若しくは複数層の箔からなることを特徴とする請求項1に記載の蛍光X線分析方法。
- 前記一次X線フィルタは銀又はパラジウムの箔であることを特徴とする請求項2に記載の蛍光X線分析方法。
- 前記一次X線フィルタは銀又はパラジウムの箔と銅又はニッケルの箔とを組み合わせた多層の箔であることを特徴とする請求項2に記載の蛍光X線分析方法。
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