JP2007003283A - 蛍光x線分析装置 - Google Patents
蛍光x線分析装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007003283A JP2007003283A JP2005182116A JP2005182116A JP2007003283A JP 2007003283 A JP2007003283 A JP 2007003283A JP 2005182116 A JP2005182116 A JP 2005182116A JP 2005182116 A JP2005182116 A JP 2005182116A JP 2007003283 A JP2007003283 A JP 2007003283A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- rays
- kev
- fluorescent
- foil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
【解決手段】 X線源1と試料3との間の励起X線の光路上に挿入する一次X線フィルタ2としてAg箔又はPd箔を用いる。これらの箔は5〜13keV付近と25keV付近以上のX線を同時に吸収するから、これらの範囲のX線強度が減衰した励起X線が試料3に照射される。そのため、Pb、Hg、Br等の元素の蛍光X線が現れる9〜13keVの範囲では散乱X線によるバックグラウンドが低減され、また、25keV以上の高エネルギー範囲の散乱X線も減ってX線検出器4において9〜13keVの範囲のX線の検出効率が相対的に向上する。これにより、9〜13keVに蛍光X線を持つPb、Hg、Br等の元素の検出下限が下がる。
【選択図】 図1
Description
(1)X線検出器の特性上、該検出器に入射して来るX線のうち23〜35keVの高エネルギー範囲の散乱線の割合が9〜13eVのエネルギー範囲の蛍光X線の割合に比べて増加すると、9〜13keVのエネルギー範囲のX線に対する検出効率が相対的に悪化する。
(2)一般に、9〜13keVのエネルギー範囲の蛍光X線を発する元素の場合、13keV以上のエネルギー範囲では試料に入射するX線のエネルギーが高くなればなるほど吸収係数が低くなり、励起効率が低下する傾向にある。図5は10.55keVにLα線を持つ鉛の吸収係数とエネルギーとの関係を示す図である。図より、13keV付近からエネルギーが高くなるほど吸収係数が低下しており、25keV以上ではかなり吸収係数が低い。X線の吸収が悪ければそれだけ励起効率は極端に落ちるから、こうしたX線が入射しても蛍光X線は出にくくなる。
9〜13keVの範囲内にエネルギーを持つ蛍光X線を分析する目的に対し、前記X線源と試料との間のX線光路上に、主として25〜26keV以上のエネルギー範囲と5〜13keVのエネルギー範囲のX線を吸収する特性を有する一次X線フィルタを設けたことを特徴としている。
9〜13keVの範囲内にエネルギーを持つ蛍光X線を分析する目的に対し、前記X線源と試料との間のX線光路上に、銀若しくはパラジウムの箔、又は少なくともこれら金属との組み合わせである1層若しくは複数層の箔からなる一次X線フィルタを設けたことを特徴としている。
2…一次X線フィルタ
3…試料
4…X線検出器
5…マルチチャンネルアナライザ
Claims (4)
- X線源で発生した一次X線を試料に照射し、それに応じて該試料から放出される蛍光X線をX線検出器で受けて分析するエネルギー分散型の蛍光X線分析装置において、
9〜13keVの範囲内にエネルギーを持つ蛍光X線を分析する目的に対し、前記X線源と試料との間のX線光路上に、主として25〜26keV以上のエネルギー範囲と5〜13keVのエネルギー範囲のX線を吸収する特性を有する一次X線フィルタを設けたことを特徴とする蛍光X線分析装置。 - X線源で発生した一次X線を試料に照射し、それに応じて該試料から放出される蛍光X線をX線検出器で受けて分析するエネルギー分散型の蛍光X線分析装置において、
9〜13keVの範囲内にエネルギーを持つ蛍光X線を分析する目的に対し、前記X線源と試料との間のX線光路上に、銀若しくはパラジウムの箔、又は少なくともこれら金属との組み合わせである1層若しくは複数層の箔からなる一次X線フィルタを設けたことを特徴とする蛍光X線分析装置。 - 前記一次X線フィルタは銀又はパラジウムの箔であることを特徴とする請求項1又は2に記載の蛍光X線分析装置。
- 前記一次X線フィルタは銀又はパラジウムの箔と銅又はニッケルの箔とを組み合わせた多層の箔であることを特徴とする請求項1又は2に記載の蛍光X線分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005182116A JP4508003B2 (ja) | 2005-06-22 | 2005-06-22 | 蛍光x線分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005182116A JP4508003B2 (ja) | 2005-06-22 | 2005-06-22 | 蛍光x線分析方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007003283A true JP2007003283A (ja) | 2007-01-11 |
JP4508003B2 JP4508003B2 (ja) | 2010-07-21 |
Family
ID=37689072
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005182116A Active JP4508003B2 (ja) | 2005-06-22 | 2005-06-22 | 蛍光x線分析方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4508003B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2271918A2 (en) * | 2008-04-24 | 2011-01-12 | Chevron U.S.A. Incorporated | Device and method for detecting deposits on an inner surface of a passage |
KR101057285B1 (ko) * | 2008-11-07 | 2011-08-16 | 경희대학교 산학협력단 | 엑스레이를 이용한 박막 측정장치 |
JP2013053873A (ja) * | 2011-09-01 | 2013-03-21 | Jeol Ltd | スペクトル表示装置、スペクトル表示方法、およびプログラム |
EP2623965A1 (en) | 2012-01-31 | 2013-08-07 | X-Ray Precision, Inc. | X-ray inspector for measuring shape and content of gold |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004150990A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | Ours Tex Kk | 蛍光x線分析装置 |
-
2005
- 2005-06-22 JP JP2005182116A patent/JP4508003B2/ja active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004150990A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | Ours Tex Kk | 蛍光x線分析装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2271918A2 (en) * | 2008-04-24 | 2011-01-12 | Chevron U.S.A. Incorporated | Device and method for detecting deposits on an inner surface of a passage |
EP2271918A4 (en) * | 2008-04-24 | 2012-04-25 | Chevron Usa Inc | DEVICE AND METHOD FOR DETECTING DEPOSITS ON THE INTERIOR SURFACE OF A THROUGHPUT |
KR101057285B1 (ko) * | 2008-11-07 | 2011-08-16 | 경희대학교 산학협력단 | 엑스레이를 이용한 박막 측정장치 |
JP2013053873A (ja) * | 2011-09-01 | 2013-03-21 | Jeol Ltd | スペクトル表示装置、スペクトル表示方法、およびプログラム |
EP2623965A1 (en) | 2012-01-31 | 2013-08-07 | X-Ray Precision, Inc. | X-ray inspector for measuring shape and content of gold |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4508003B2 (ja) | 2010-07-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5045999B2 (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
US6041095A (en) | X-ray fluorescence analyzer | |
US7203283B1 (en) | X-ray tube of the end window type, and an X-ray fluorescence analyzer | |
US7949092B2 (en) | Device and method for performing X-ray analysis | |
JP6155123B2 (ja) | 合成されたスペクトルデータを用いた分光法 | |
JP2007315927A (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
JP2008203245A (ja) | X線分析装置及びx線分析方法 | |
JP4508003B2 (ja) | 蛍光x線分析方法 | |
CA2893877A1 (en) | A wavelength dispersive crystal spectrometer, a x-ray fluorescence device and method therein | |
JP2008058014A (ja) | X線分析装置 | |
US9070530B2 (en) | X-ray tube and X-ray fluorescence analyser utilizing selective excitation radiation | |
JP4002149B2 (ja) | X線分析装置 | |
JP2004041731A (ja) | コントラスト・ファントム | |
JP2006038822A (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
JP2015219198A (ja) | 分析装置及び校正方法 | |
JPH06249804A (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
JP6191051B2 (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
JP5102987B2 (ja) | X線分析を実施する装置および方法 | |
JP2007078616A (ja) | 複数層からなる薄膜の各構成層の膜厚測定方法および膜厚測定装置 | |
JP2011149893A (ja) | 微小部x線計測装置 | |
JP4473246B2 (ja) | 蛍光x線分析装置および蛍光x線分析方法 | |
JP2007132955A (ja) | X線分析装置 | |
JP2000055839A (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
Krstajic | Application of total reflection X-ray fluorescence analysis down to carbon | |
RU2350931C1 (ru) | Способ радиационной дефектоскопии |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070905 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100119 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100317 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20100317 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100413 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100426 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130514 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4508003 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130514 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130514 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140514 Year of fee payment: 4 |