JP2009028405A - X線撮像装置及び撮像方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 極短時間に、スペクトルの異なる2種類のX線で2つの画像を得ることが可能なX線撮像装置を提供する。
【解決手段】 受光素子(8)の各画素(20)が、X線を検出する第1の領域(21A)と第2の領域(21B)とを含む。フィルタ(5)に形成された複数の窓(30)が、第1窓群(31A)と第2窓群(31B)とに分類される。第1窓群の窓(30A)と、第2窓群の窓(30B)とは、X線透過率の波長依存性が異なる。受光素子とX線フィルタとを第1の位置関係にしたとき(図3A)、第1画素群の画素(20A)及び第2画素群の画素(20B)内の第1の領域に、それぞれ第1窓群の窓(30A)及び第2窓群の窓(30B)を透過したX線が入射し、第2の領域にはX線が入射しない。第2の位置関係にしたとき(図3B)、第1画素群の画素内の第2の領域及び第2画素群の画素内の第2の領域に、それぞれ第2窓群の窓及び第1窓群を透過したX線が入射し、第1の領域にはX線が入射しない。
【選択図】 図2
【解決手段】 受光素子(8)の各画素(20)が、X線を検出する第1の領域(21A)と第2の領域(21B)とを含む。フィルタ(5)に形成された複数の窓(30)が、第1窓群(31A)と第2窓群(31B)とに分類される。第1窓群の窓(30A)と、第2窓群の窓(30B)とは、X線透過率の波長依存性が異なる。受光素子とX線フィルタとを第1の位置関係にしたとき(図3A)、第1画素群の画素(20A)及び第2画素群の画素(20B)内の第1の領域に、それぞれ第1窓群の窓(30A)及び第2窓群の窓(30B)を透過したX線が入射し、第2の領域にはX線が入射しない。第2の位置関係にしたとき(図3B)、第1画素群の画素内の第2の領域及び第2画素群の画素内の第2の領域に、それぞれ第2窓群の窓及び第1窓群を透過したX線が入射し、第1の領域にはX線が入射しない。
【選択図】 図2
Description
本発明は、X線撮像装置及びX線撮像方法に関し、特に少なくとも2種類のエネルギのX線で撮像した画像の差分を求めてコントラストの高い画像を得るデュアルエネルギイメージング法による撮像に適したX線撮像装置、及び撮像方法に関する。
白色または単一波長のX線光源を用いて、X線画像を得る場合、ある部分の元素が周囲の元素と異なっても、両者のX線吸収量の違いが小さい場合には、コントラストが低下し、明確な画像を得ることが困難である。
下記の非特許文献1及び非特許文献2に、2つのエネルギ(波長)を持つX線により透過率を測定し、その差分から画像情報を得るデュアルエネルギイメージング法が開示されている。測定対象の元素のX線吸収端よりも高エネルギのX線と低エネルギのX線とを用いることにより、測定対象の元素の分布を高いコントラストで検出することができる。
M. Torikoshi等、「Features of dual-energy X-ray computed tomography」、Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A548 (2005)pp.99-105 鈴木隆司 等、「デュアルX線の発生方法と骨密度測定への応用」、東京都立産業技術研究所研究報告 第8号(2005)
M. Torikoshi等、「Features of dual-energy X-ray computed tomography」、Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A548 (2005)pp.99-105 鈴木隆司 等、「デュアルX線の発生方法と骨密度測定への応用」、東京都立産業技術研究所研究報告 第8号(2005)
従来のデュアルエネルギイメージング法では、異なるエネルギのX線を用いた2度の露光が必要である。1度目の露光による画像と2度目の露光による画像との差分から、高コントラストの画像を得るために、1度目の露光開始から2度目の露光終了までの間、被測定物の位置及び姿勢が変化しないようにしなければならない。
本発明の目的は、極短時間に、スペクトルの異なる2種類のX線で2つの画像を得ることが可能なX線撮像装置及びX線撮像方法を提供することである。
本発明の一観点によると、
受光面上に配置された複数の画素を含み、各画素が、X線を検出する少なくとも第1の領域と第2の領域とを含む受光素子と、
前記受光素子の受光面の前方に配置され、X線遮光領域内に、X線を透過させる複数の窓が形成されており、該複数の窓は、少なくとも第1窓群と第2窓群とに分類されるX線フィルタと、
前記受光素子と前記X線フィルタとの一方を他方に対して変位させる移動機構と
を有し、
前記第1窓群に属する窓のX線透過率の波長依存性と、前記第2窓群に属する窓のX線透過率の波長依存性とが相互に異なり、
前記受光素子と前記X線フィルタとを第1の位置関係にしたとき、前記画素のうち一部の第1画素群に属する画素内の第1の領域に、第1窓群に属する窓を透過したX線が入射し、第2の領域にはX線が入射せず、他の第2画素群に属する画素内の第1の領域に、第2窓群に属する窓を透過したX線が入射し、第2の領域にはX線が入射せず、
前記受光素子と前記X線フィルタとの一方を他方に対して移動させて、両者を第2の位置関係にしたとき、第1画素群に属する画素内の第1の領域にX線が入射せず、第2の領域には、第2窓群に属する窓を透過したX線が入射し、第2画素群に属する画素内の第1の領域にX線が入射せず、第2の領域には、第1窓群に属する窓を透過したX線が入射するX線撮像装置が提供される。
受光面上に配置された複数の画素を含み、各画素が、X線を検出する少なくとも第1の領域と第2の領域とを含む受光素子と、
前記受光素子の受光面の前方に配置され、X線遮光領域内に、X線を透過させる複数の窓が形成されており、該複数の窓は、少なくとも第1窓群と第2窓群とに分類されるX線フィルタと、
前記受光素子と前記X線フィルタとの一方を他方に対して変位させる移動機構と
を有し、
前記第1窓群に属する窓のX線透過率の波長依存性と、前記第2窓群に属する窓のX線透過率の波長依存性とが相互に異なり、
前記受光素子と前記X線フィルタとを第1の位置関係にしたとき、前記画素のうち一部の第1画素群に属する画素内の第1の領域に、第1窓群に属する窓を透過したX線が入射し、第2の領域にはX線が入射せず、他の第2画素群に属する画素内の第1の領域に、第2窓群に属する窓を透過したX線が入射し、第2の領域にはX線が入射せず、
前記受光素子と前記X線フィルタとの一方を他方に対して移動させて、両者を第2の位置関係にしたとき、第1画素群に属する画素内の第1の領域にX線が入射せず、第2の領域には、第2窓群に属する窓を透過したX線が入射し、第2画素群に属する画素内の第1の領域にX線が入射せず、第2の領域には、第1窓群に属する窓を透過したX線が入射するX線撮像装置が提供される。
本発明の他の観点によると、
(a)受光面上に配置された複数の画素を含み、複数の画素は、少なくとも第1の画素群と第2の画素群とに分類され、各画素が、入射X線強度に応じた画像信号を発生する少なくとも第1の領域と第2の領域とを含む受光素子の前方に、X線フィルタを配置する工程であって、該X線フィルタは、X線遮光領域と、該X線遮光領域内に形成されたX線を透過させる複数の窓を有し、該複数の窓は、少なくとも第1窓群と第2窓群とに分類される該X線フィルタを、前記第1画素群の画素内の第1の領域に、前記第1窓群に属する窓を透過したX線が入射し、第2の領域にはX線が入射せず、前記第2画素群に属する画素内の第1の領域に、前記第2窓群に属する窓を透過したX線が入射し、第2の領域には光が入射しないように該X線フィルタを配置する工程と、
(b)前記工程(a)の後に、X線を、被測定物を透過させた後に、前記X線フィルタを介して前記受光素子の受光面に入射させる工程と、
(c)前記第1画素群に属する画素内の第1の領域にX線が入射せず、第2の領域には、第2窓群に属する窓を透過したX線が入射し、第2画素群に属する画素内の第1の領域にX線が入射せず、第2の領域には、第1窓群に属する窓を透過したX線が入射するように、前記X線フィルタと受光素子との相対位置関係を変化させる工程と、
(d)前記工程(c)の後に、X線を、被測定物を透過させた後に、前記X線フィルタを介して前記受光素子の受光面に入射させる工程と、
(e)前記工程(b)で得られた画像信号と、前記工程(d)で得られた画像信号とからサブトラクション画像を生成する工程と
を有し、
前記第1の窓群に属する窓のX線透過率の波長依存性と、前記第2の窓群に属する窓のX線透過率の波長依存性とが相互に異なるX線撮像方法が提供される。
(a)受光面上に配置された複数の画素を含み、複数の画素は、少なくとも第1の画素群と第2の画素群とに分類され、各画素が、入射X線強度に応じた画像信号を発生する少なくとも第1の領域と第2の領域とを含む受光素子の前方に、X線フィルタを配置する工程であって、該X線フィルタは、X線遮光領域と、該X線遮光領域内に形成されたX線を透過させる複数の窓を有し、該複数の窓は、少なくとも第1窓群と第2窓群とに分類される該X線フィルタを、前記第1画素群の画素内の第1の領域に、前記第1窓群に属する窓を透過したX線が入射し、第2の領域にはX線が入射せず、前記第2画素群に属する画素内の第1の領域に、前記第2窓群に属する窓を透過したX線が入射し、第2の領域には光が入射しないように該X線フィルタを配置する工程と、
(b)前記工程(a)の後に、X線を、被測定物を透過させた後に、前記X線フィルタを介して前記受光素子の受光面に入射させる工程と、
(c)前記第1画素群に属する画素内の第1の領域にX線が入射せず、第2の領域には、第2窓群に属する窓を透過したX線が入射し、第2画素群に属する画素内の第1の領域にX線が入射せず、第2の領域には、第1窓群に属する窓を透過したX線が入射するように、前記X線フィルタと受光素子との相対位置関係を変化させる工程と、
(d)前記工程(c)の後に、X線を、被測定物を透過させた後に、前記X線フィルタを介して前記受光素子の受光面に入射させる工程と、
(e)前記工程(b)で得られた画像信号と、前記工程(d)で得られた画像信号とからサブトラクション画像を生成する工程と
を有し、
前記第1の窓群に属する窓のX線透過率の波長依存性と、前記第2の窓群に属する窓のX線透過率の波長依存性とが相互に異なるX線撮像方法が提供される。
本発明のさらに他の観点によると、
(a)受光面上に配置された複数の画素を含み、複数の画素は、少なくとも第1の画素群と第2の画素群とに分類され、各画素が、入射光強度に応じた画像信号を発生する少なくとも第1の領域と第2の領域とを含む受光素子の前方に、X線フィルタを配置する工程であって、該X線フィルタは、X線遮光領域と、該X線遮光領域内に形成され、X線照射によって光を発生する複数の窓を有し、該複数の窓は、少なくとも第1窓群と第2窓群とに分類される該X線フィルタを、前記第1画素群の画素内の第1の領域に、前記第1窓群に属する窓から発生した光が入射し、第2の領域には光が入射せず、前記第2画素群に属する画素内の第1の領域に、前記第2窓群に属する窓から発生した光が入射し、第2の領域には光が入射しないように該X線フィルタを配置する工程と、
(b)前記工程(a)の後に、X線を、被測定物を透過させた後に、前記X線フィルタに入射させる工程と、
(c)前記第1画素群に属する画素内の第1の領域に光が入射せず、第2の領域には、第2窓群に属する窓から発生した光が入射し、第2画素群に属する画素内の第1の領域にX線が入射せず、第2の領域には、第1窓群に属する窓から発生した光が入射するように、前記X線フィルタと受光素子との相対位置関係を変化させる工程と、
(d)前記工程(c)の後に、X線を、被測定物を透過させた後に、前記X線フィルタを介して前記受光素子の受光面に入射させる工程と、
(e)前記工程(b)で得られた画像信号と、前記工程(d)で得られた画像信号とからサブトラクション画像を生成する工程と
を有するX線撮像方法が提供される。
(a)受光面上に配置された複数の画素を含み、複数の画素は、少なくとも第1の画素群と第2の画素群とに分類され、各画素が、入射光強度に応じた画像信号を発生する少なくとも第1の領域と第2の領域とを含む受光素子の前方に、X線フィルタを配置する工程であって、該X線フィルタは、X線遮光領域と、該X線遮光領域内に形成され、X線照射によって光を発生する複数の窓を有し、該複数の窓は、少なくとも第1窓群と第2窓群とに分類される該X線フィルタを、前記第1画素群の画素内の第1の領域に、前記第1窓群に属する窓から発生した光が入射し、第2の領域には光が入射せず、前記第2画素群に属する画素内の第1の領域に、前記第2窓群に属する窓から発生した光が入射し、第2の領域には光が入射しないように該X線フィルタを配置する工程と、
(b)前記工程(a)の後に、X線を、被測定物を透過させた後に、前記X線フィルタに入射させる工程と、
(c)前記第1画素群に属する画素内の第1の領域に光が入射せず、第2の領域には、第2窓群に属する窓から発生した光が入射し、第2画素群に属する画素内の第1の領域にX線が入射せず、第2の領域には、第1窓群に属する窓から発生した光が入射するように、前記X線フィルタと受光素子との相対位置関係を変化させる工程と、
(d)前記工程(c)の後に、X線を、被測定物を透過させた後に、前記X線フィルタを介して前記受光素子の受光面に入射させる工程と、
(e)前記工程(b)で得られた画像信号と、前記工程(d)で得られた画像信号とからサブトラクション画像を生成する工程と
を有するX線撮像方法が提供される。
受光素子とフィルタとを第1の位置関係にしたときに得られる画像と、第2の位置関係にしたときに得られる画像との差分を求めることにより、異なる2種類のスペクトルを持つX線により得られた2枚の画像の差画像(サブトラクション画像)を得ることができる。第1の位置関係から第2の位置関係に変位するときに、フィルタまたは受光素子は、画素の配列周期よりも短い距離だけ移動させればよい。このため、極短い時間に、2種類の画像を取得することができる。
図1に、第1の実施例によるX線撮像装置の概略図を示す。被測定物15が試料保持台2に固定されている。X線源1が、白色または少なくとも2つの波長(エネルギ)を持つX線を被測定物15に向かって出射する。X線源1から出射され、被測定物15を透過したX線が入射する位置に、平面状の受光面を持つ受光素子8が配置されている。受光素子8の受光面の前方に、フィルタ5が配置されている。
受光素子8の受光面をxy面とし、X線の進行方向をz軸の正の向きとするxyz直交座標系を定義する。回転機構3が試料保持台2を、y軸に平行な軸を中心として回転させることができる。これにより、試料15を回転させ、種々の方向から試料15を観測することができる。移動機構6が、フィルタ5をx方向に移動させることができる。移動機構6は、例えばフィルタ5をx方向に案内するガイドレール、及び駆動力を発生する圧電アクチュエータ等により構成することができる。なお、フィルタ5を移動させる代わりに、受光素子8を移動させてもよい。
制御装置10が、X線源1及び回転機構3を制御する。さらに、制御装置10は、移動機構6に制御信号を送信し、移動機構6を制御する。移動機構6が圧電アクチュエータ含む場合には、この制御信号は、圧電アクチュエータに印加される電圧になる。受光素子8は、複数の画素を含み、これらの画素から生成された画像信号が制御装置10に送信される。制御装置10は、画像信号に基づいて、画像表示装置11に画像を表示する。
図2Aに、受光素子8の正面図を示す。受光面上にxy直交座標系が定義されている。図2Aにおいて、右向きをx軸の正の向きとし、下向きをy軸の正の向きとする。X線を検出する単位である複数の単位領域21が、x方向を行方向とし、y方向を列方向として、行列状に配置されている。x方向の配列周期をPx、y方向の配列周期をPyとする。各単位領域は、入射するX線の強度に応じた電圧の画像信号を生成する。
行方向に並ぶ2つの単位領域により1つの画素20が構成される。1つの画素20内の左側の単位領域を第1の領域21Aと呼び、右側の単位領域を第2の領域21Bと呼ぶこととする。
画素20は、x方向の配列周期がPxの2倍、y方向の配列周期がPyになるように、行列状に配置されることになる。複数の画素20は、第1画素群22Aと第2画素群22Bとに分類される。第1画素群22Aに属する画素20Aと第2画素群22Bに属する画素20Bとは、行方法(x方向)に関して交互に配置されている。例えば、第1画素群22Aは、奇数番目の列の画素20Aで構成され、第2画素群22Bは、偶数番目の列の画素20Bにより構成される。
第1画素群22Aに属する画素20Aと第2画素群22Bに属する画素20Bとに、構造上の相違はない。また、第1の領域21Aと第2の領域21Bとにも、構造上の相違はない。受光素子8は、例えばCCDやCMOSセンサ等により構成することができる。
図2Bに、フィルタ5の正面図を示す。X線を遮光する領域内に、行列状に配置された複数の窓30が設けられている。窓30はX線の一部を透過させる。複数の窓30のx方向及びy方向の配列周期は、それぞれ画素20のx方向の配列周期及びy方向の配列周期と等しい。すなわち、窓30のx方向の配列周期はPxの2倍であり、y方向の配列周期はPyである。
複数の窓30は、第1窓群31Aと第2窓群31Bとに分類される。第1窓群31Aに属する窓30Aと、第2窓群31Bに属する窓30Bとは、行方向(x方向)に関して交互に配置されている。例えば、第1窓群31Aは、奇数番目の列の窓30Aで構成され、第2窓群31Bは、偶数番目の列の窓30Bで構成される。
第1窓群31Aの窓30Aが、受光素子8の第1画素群22Aに属する画素20Aの第1の領域21Aに対向するように、受光素子8とフィルタ5とを配置すると、第2画素群22Bの第1の領域21Aに、第2窓群31Bに属する窓30Bが対向する。第1画素群22Aに属する画素20Aの第2の領域21B、及び第2画素群22Bに属する画素21Bには、フィルタ5のX線遮光領域が対向する。このときの受光素子8とフィルタ5との位置関係を、「第1の位置関係」と呼ぶこととする。
図3Aに、第1の位置関係のときの受光素子8及びフィルタ5のy軸に垂直な断面図を示す。第1窓群の窓30Aを透過したX線が第1画素群に属する画素20Aの第1の領域21Aに入射し、第2窓群の窓30Bを透過したX線が第2画素群に属する画素20Bの第1の領域21Aに入射する。第1画素群に属する画素20Aの第2の領域21B及び第2画素群に属する画素20Bの第2の領域21Bには、X線が入射しない。
フィルタ5をx軸の負の向き(図2A及び図2Bにおいて左向き)に、画素の配列周期の1/2、すなわちPxだけ移動させると、第1画素群22Aの第2の領域21Bに、第2窓群31Bに属する窓30Bが対向し、第2画素群22Bの第2の領域21Bに、第1窓群31Aに属する窓30Aが対向する状態になる。このときの受光素子8とフィルタ5との位置関係を、「第2の位置関係」と呼ぶこととする。
移動機構6が圧電アクチュエータを含む場合には、第1の位置関係のときと、第2の位置関係のときとで、圧電アクチュエータに印加する電圧の極性を反転させればよい。圧電アクチュエータに印加する電圧は、ピークツーピークで200V程度である。
図3Bに、第2の位置関係のときの受光素子8及びフィルタ5のy軸に垂直な断面図を示す。第1窓群の窓30Aを透過したX線が第2画素群に属する画素20Bの第2の領域21Bに入射し、第1窓群の窓30Aを透過したX線が第1画素群に属する画素20Aの第2の領域21Bに入射する。第1画素群に属する画素20A及び第2画素群に属する画素20Bの第1の領域21Aには、X線が入射しない。
受光素子8がCCDである場合、受光素子8とフィルタ5とが第1の位置関係になっている期間に、X線が入射していない第2の領域21Bに蓄積されている電荷の読み出しが行われる。また、受光素子8とフィルタ5とが第2の位置関係になっている期間に、X線が入射していない第1の領域21Aに蓄積されている電荷の読み出しが行われる。
第1窓群31Aに属する窓30AのX線透過率の波長依存性と、第2窓群31Bに属する窓30BのX線透過率の波長依存性とは、相互に異なる。例えば、第1窓群31Aに属する窓30Aは、厚さ20μmのCu箔で形成されており、第2窓群31Bに属する窓30Bは、厚さ70μmのAl箔で形成されている。
図4に、厚さ20μmのCu箔と、厚さ70μmのAl箔との透過率の波長依存性(X線エネルギ依存性)を示す。横軸はX線のエネルギを単位「eV」で表し、縦軸は透過率を表す。エネルギが8979eVの位置にCuの吸収端が現れている。エネルギが8979eV以下の領域で、第1窓群31Aに属する窓30Aの透過率と、第2窓群31Bに属する窓30Bの透過率とがほぼ等しくなるように、Cu箔及びAl箔の厚さが調整されている。エネルギ8979eVの位置で、Cu箔の吸収率が不連続に低下するため、エネルギ8979eV以上の領域では、第1窓群31Aに属する窓30Aの透過率が、第2の窓群31Bに属する窓30Bの透過率よりも著しく低くなる。
X線源1は、吸収端(X線エネルギ8979eV)の波長よりも短い波長域のX線と、長い波長域のX線との両方を含むX線を出射する。
第1画素群の画素20Aにおいては、図3Aに示した第1の位置関係のとき、第1の領域21Aに、Cu箔を透過したX線が入射し、図3Bに示した第2の位置関係のとき、第2の領域21Bに、Al箔を透過したX線が入射する。第2画素群の画素20Bにおいては、図3Aに示した第1の位置関係のとき、第1の領域21Aに、Al箔を透過したX線が入射し、図3Bに示した第2の位置関係のとき、第2の領域21Bに、Cu箔を透過したX線が入射する。
第1の位置関係のとき及び第2の位置関係のときに、それぞれX線照射を行うと、いずれの画素群の画素においても、第1の領域21A及び第2の領域21Bの一方にCu箔を透過したX線が入射し、他方にAl箔を透過したX線が入射する。
第1の位置関係から第2の位置関係に至るまでにフィルタ5が移動する距離は、画素20の配列周期Pxの1/2である。配列周期Pxが100μm程度である場合、圧電アクチュエータを用いてフィルタ5を移動させるのに必要な時間は、高々1msである。このため、2種類のX線を用いて、2枚の画像をほぼ同時刻に取得することが可能である。
図3Aに示した第1の位置関係のとき、すべての画素の第2の領域21BにはX線が入射しない。また、図3Bに示した第2の位置関係のとき、すべての画素の第1の領域21AにはX線が入射しない。このため、フィルタ5は、シャッタとしての機能を持つことになる。
次に、第1の実施例によるX線撮像装置を用いて、被測定物15内のCu元素の分布情報を取得する方法について説明する。
被測定物15を試料保持台2に固定し、フィルタ5と受光素子8とを、図3Aに示した第1の位置関係にする。X線源1からX線を出射させ、第1の画像情報を取得する。その後、フィルタ5を移動させて、図3Bに示した第2の位置関係にする。この状態でX線源1からX線を出射させて、第2の画像情報を取得する。これらの画像情報は、制御装置10に記憶される。
制御装置10は、第1の画像情報と第2の画像情報との差分を算出し、サブトラクション画像を生成する。サブトラクション画像は、画像表示装置11に表示される。Cu箔で構成された第1窓群の画素30Aを透過したX線により、Cu元素の有無に依存しない背景画像が得られる。Al箔で構成された第2窓群の窓30Bを透過したX線により得られる画像は、背景画像と、Cuの分布情報との両方を含む。
第1の位置関係のときに得られた画像と、第2の位置関係のときに得られた画像との差分を求めることにより、背景画像の濃淡が均一化され、Cuの分布情報を強調したコントラストの高い画像を得ることができる。
第1の位置関係のときの画像及び第2の位置関係のときの画像を取得した後、被測定物15を回転させて、同様の撮像処理を行う。
このように、Cuの分布情報を得たい場合には、第1窓群31A及び第2窓群31Bの一方の窓群の窓30を、Cu箔で構成し、他方の窓群の窓30を、Cuの吸収端波長の前後で透過率が連続的に変化する材料で形成することが好ましい。なお、Cu箔に代えて、吸収端波長がCuの吸収端波長に近い材料からなる窓を用いてもよい。
図5−1〜図5−3に、窒素(N)、酸素(O)、アルミニウム(Al)、シリコン(Si)、塩素(Cl)、鉄(Fe)、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、及びモリブデン(Mo)の質量吸収係数の波長依存性を示す。各グラフの横軸は光子エネルギを単位「eV」で表し、縦軸は質量吸収係数を単位「cm2/g」で表す。光子エネルギE(eV)と波長λ(nm)との関係は、λ=123.98/Eとなる。
材料の質量吸収係数をμ(cm2/g)、密度をρ(g/cm3)、X線の進行距離をd(cm)とすると、
I=I0×exp(−μρd)
が成立する。ここで、Iは、距離dだけ進んだ位置におけるX線の強度、I0は、d=0のときのX線の強度である。μρ(cm−1)は、その材料の線吸収係数と呼ばれる。
I=I0×exp(−μρd)
が成立する。ここで、Iは、距離dだけ進んだ位置におけるX線の強度、I0は、d=0のときのX線の強度である。μρ(cm−1)は、その材料の線吸収係数と呼ばれる。
図5−1〜図5−3に示したように、材料固有の位置に吸収端が現れている。観察すべき元素のX線吸収特性に基づいて、第1窓群31A及び第2窓群31Bの材料として、これらの材料から好ましい材料を選択することができる。
X線源1は、観察すべき元素のX線吸収端に相当する波長よりも短波長側の波長のX線、及び長波長側の波長のX線の両方を含むX線を出射する。または、X線源1は、X線吸収端の両側の波長域の光を含む連続スペクトルのX線を出射する。
第1の実施例では、図2Bに示したように、1つの列内に、同一の窓群に属する窓のみを配置したが、他の構成としてもよい。第1窓群31Aに属する窓30Aと第2窓群31Bに属する窓30Bとが、x方向に関して交互に配置されていれば、y方向に関する配置は任意である。例えば、y方向に、第1窓群31Aに属する窓30Aと第2窓群31Bに属する窓30Bとを交互に配置してもよいし、第1の窓群31Aの窓30Aが2つおきに現れるように配置してもよい。
次に、図6A及び図6Bを参照して、第2の実施例によるX線撮像装置について説明する。以下、第1の実施例によるX線撮像装置との相違点に着目して説明する。
図6Aに、受光素子8の正面図を示す。X線を検出する単位である単位領域21の配置は、第1の実施例による受光素子8のものと同一である。すなわち、第2の実施例で用いられる受光素子8は、第1の実施例で用いられる受光素子8と構造上同一である。第1の実施例では、1つの画素20が、X線を検出する2つの単位領域(第1の領域21Aと第2の領域21B)で構成されていたが、第2の実施例では、行列状に配置された単位領域21の相互に隣り合う2つの行、及び2つの列が交差する位置に配置された4つの単位領域21が1つの画素を構成する。1つの画素20内の左上、右上、左下、及び右下の単位領域を、それぞれ第1の領域21A、第2の領域21B、第3の領域21C、及び第4の領域21Dと呼ぶこととする。
画素20は、第1の実施例の場合と同様に、第1画素群22Aと第2画素群22Bとのいずれかに属する。
図6Bに、フィルタ5の正面図を示す。第1の実施例では、複数の窓30が第1の窓群の窓30Aと、第2の窓群の窓30Bとのいずれかに分類される。第2の実施例では、第1〜第4の窓群の窓30A〜30Dのいずれかに分類される。
フィルタ5と受光素子8とが第1の位置関係にあるとき、第1の窓群の窓30A及び第3の窓群の窓30Cが、それぞれ第1の画素群22Aの画素20A内の第1領域21A及び第3の領域21Cに対向し、第2の窓群の窓30B及び第4の窓群の窓30Dが、それぞれ第2の画素群22Bの画素20B内の第1の領域21A及び第3の領域21Cに対向する。各画素の第2の領域21B及び第4の領域21Dには、フィルタ5の遮光領域が対向する。
フィルタ5と受光素子8とが第2の位置関係にあるとき、第1の窓群の窓30A及び第3の窓群の窓30Cが、それぞれ第2の画素群22Bの画素20B内の第2領域21B及び第4の領域21Dに対向し、第2の窓群の窓30B及び第4の窓群の窓30Dが、それぞれ第1の画素群22Aの画素20A内の第2の領域21B及び第4の領域21Dに対向する。各画素の第1の領域21A及び第3の領域21Cには、フィルタ5の遮光領域が対向する。
第1窓群の窓30A〜第4窓群の窓30Dは、それぞれ透過率の波長依存性が異なる4種類の材料で形成されている。第2の実施例では、異なるスペクトルを持った4種類のX線による4種類の画像を、ほぼ同時に得ることができる。これら4種類の画像の任意の2つの画像からサブトラクション画像を生成することができる。
次に、図7A及び図7Bを参照して、第3の実施例によるX線撮像装置について説明する。以下、第1の実施例によるX線撮像装置との相違点に着目して説明する。
図7Aに、第1の位置関係のときの受光素子8及びフィルタ5の、y軸に垂直な断面図を示す。第1の実施例では、第1窓群の窓30A及び第2窓群の窓30Bが、相互に異なるX線透過特性を持つ材料で形成されていた。第3の実施例では、第1の窓群の窓40A及び第2の窓群の窓40Bが、X線照射によって蛍光を発生する蛍光体(シンチレータ)により形成されている。第1の窓群の窓40Aを形成する蛍光体と、第2の窓群の窓40Bを形成する蛍光体とは、感度の波長依存性が相互に異なる。
第3の実施例では、第1の実施例の受光素子8の第1の画素群の画素20A、第2の画素群の画素20B、第1の領域21A及び第2の領域21Bに代えて、第1の画素群の画素25A、第2の画素群の画素25B、第1の領域26A及び第2の領域26Bが配置されている。第1の領域26A及び第2の領域26Bは、窓40A及び40Bから発生した蛍光を検出する。
図7Aに示した第1の位置関係のときには、第1の窓群の窓40Aから発生した蛍光が、第1の画素群25Aの第1の領域26Aに入射し、第2の窓群の窓40Bから発生した蛍光が、第2の画素群25Bの第1の領域26Aに入射する。各画素の第2の領域26Bには、蛍光が入射しない。
図7Bに、第2の位置関係のときの受光素子8及びフィルタ5の断面図を示す。第2の位置関係のときには、第1の窓群の窓40Aから発生した蛍光が、第2の画素群25Bの第2の領域26Bに入射し、第2の窓群の窓40Bから発生した蛍光が、第1の画素群25Aの第2の領域26Bに入射する。各画素の第1の領域26Aには、蛍光が入射しない。
第3の実施例では、第1の窓群の窓40Aに用いられている蛍光体の感度の波長依存性と、第2の窓群の窓40Bに用いられている蛍光体の感度の波長依存性とが相互に異なるため、異なるスペクトルを持つ2種類のX線による画像を取得することができる。第1の実施例の場合と同様に、サブトラクション画像を生成することにより、コントラストの高い画像を得ることができる。
窓40A及び40Bに用いられる蛍光体として、微量のTlを含むNaI(「NaI:
Tl」と標記する。)、CsI:Tl、CsI:Na、CsI、CaF2:Eu、BaF2、CeF3、Bi4Ge3O12(BGO)、CdWO4、Gd2SiO5(GSO)、Lu2SiO5(LSO)、YAlO3:Ce(YAP:Ce)、YAG:Ce、NE−102(プラスチック)、CsF、LuAG:Ce、LiF:W、LiI:Eu、ZnS:Ag、PbWO4(PWO)等が挙げられる。
Tl」と標記する。)、CsI:Tl、CsI:Na、CsI、CaF2:Eu、BaF2、CeF3、Bi4Ge3O12(BGO)、CdWO4、Gd2SiO5(GSO)、Lu2SiO5(LSO)、YAlO3:Ce(YAP:Ce)、YAG:Ce、NE−102(プラスチック)、CsF、LuAG:Ce、LiF:W、LiI:Eu、ZnS:Ag、PbWO4(PWO)等が挙げられる。
図7A及び図7Bでは、フィルタ5と受光素子8とを近接させて配置したが、両者の間に、画像を縮小する光学系を配置してもよい。
図8Aに示すように、フィルタ5と受光素子8との間に、ファイバオプティクステーパ50を配置してもよい。フィルタ5の各窓40A、40Bから発生した蛍光は、ファイバオプティクステーパ50の各ファイバを通って受光素子8の各単位領域に入射する。
図8Bに示すように、フィルタ5と受光素子8との間に、結像光学系51を配置してもよい。結像光学系51は、フィルタ5を、受光素子8の受光面上に、所定の結像倍率で結像させる。
第1の実施例のように、X線をそのまま検出する場合には、画像の倍率を変換することは困難であるが、X線を可視光の波長域に変換することにより、画像の倍率を変換することが可能になる。
フィルタ5と受光素子8との間に、上述のような光学系を配置すると、受光素子8の受光面と、フィルタ5とを必ずしも、幾何学的な意味で平行に配置する必要はない。例えば、ファイバオプティクステーパ50の湾曲させれば、または結像光学系51に折り返しミラーを挿入すれば、受光素子8の受光面とフィルタ5との向きは任意でよい。
上記第1〜第3の実施例では、X線または蛍光を検出する単位領域が行列状に配置されている場合を説明したが、他のルールに従って規則的に配置してもよい。一例として、蜂の巣(ハニカム)状に配置することも可能である。この場合、例えば相互に隣り合う2つの正六角形の領域が1つの画素を構成する。フィルタの移動方向は、1つの画素内において2つの単位領域が並ぶ方向にすればよい。移動距離は、1つの画素内の2つの単位領域の中心間の距離に等しくすればよい。
以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
1 X線源
2 試料保持台
3 回転機構
5 フィルタ
6 移動機構
8 受光素子
10 制御装置
11 画像表示装置
15 被測定物
20 画素
20A、25A 第1画素群の画素
20B、25B 第2画素群の画素
21A、26A 第1の領域
21B、26B 第2の領域
21C 第3の領域
21D 第4の領域
22A 第1画素群
22B 第2画素群
30 窓
30A、40A 第1窓群の窓
30B、40B 第2窓群の窓
30C 第3窓群の窓
30D 第4窓群の窓
31A 第1窓群
31B 第2窓群
50 ファイバオプティクステーパ
51 結像光学系
2 試料保持台
3 回転機構
5 フィルタ
6 移動機構
8 受光素子
10 制御装置
11 画像表示装置
15 被測定物
20 画素
20A、25A 第1画素群の画素
20B、25B 第2画素群の画素
21A、26A 第1の領域
21B、26B 第2の領域
21C 第3の領域
21D 第4の領域
22A 第1画素群
22B 第2画素群
30 窓
30A、40A 第1窓群の窓
30B、40B 第2窓群の窓
30C 第3窓群の窓
30D 第4窓群の窓
31A 第1窓群
31B 第2窓群
50 ファイバオプティクステーパ
51 結像光学系
Claims (5)
- 受光面上に配置された複数の画素を含み、各画素が、X線を検出する少なくとも第1の領域と第2の領域とを含む受光素子と、
前記受光素子の受光面の前方に配置され、X線遮光領域内に、X線を透過させる複数の窓が形成されており、該複数の窓は、少なくとも第1窓群と第2窓群とに分類されるX線フィルタと、
前記受光素子と前記X線フィルタとの一方を他方に対して変位させる移動機構と
を有し、
前記第1窓群に属する窓のX線透過率の波長依存性と、前記第2窓群に属する窓のX線透過率の波長依存性とが相互に異なり、
前記受光素子と前記X線フィルタとを第1の位置関係にしたとき、前記画素のうち一部の第1画素群に属する画素内の第1の領域に、第1窓群に属する窓を透過したX線が入射し、第2の領域にはX線が入射せず、他の第2画素群に属する画素内の第1の領域に、第2窓群に属する窓を透過したX線が入射し、第2の領域にはX線が入射せず、
前記受光素子と前記X線フィルタとの一方を他方に対して移動させて、両者を第2の位置関係にしたとき、第1画素群に属する画素内の第1の領域にX線が入射せず、第2の領域には、第2窓群に属する窓を透過したX線が入射し、第2画素群に属する画素内の第1の領域にX線が入射せず、第2の領域には、第1窓群に属する窓を透過したX線が入射するX線撮像装置。 - さらに、
被測定物を保持する試料保持台と、
前記試料保持台に保持された被測定物に向けてX線を出射するX線源と、
を有し、該X線源から出射されたX線が、該試料保持台に保持された被測定物を透過した後、さらに前記フィルタの窓を透過して前記受光素子に入射し、
前記X線源から出射されるX線は、前記第1窓群及び第2窓群の一方の窓の材料のX線吸収端波長よりも短波長域のX線と、長波長域のX線との両方を含む請求項1に記載のX線撮像装置。 - 受光面上に配置された複数の画素を含み、各画素が、光を検出する少なくとも第1の領域と第2の領域とを含む受光素子と、
前記受光素子の受光面の前方に配置され、X線遮光領域内に、X線照射によって蛍光を発する複数の窓が形成されており、該窓は、少なくとも第1窓群と第2窓群とに分類されるX線フィルタと、
前記受光素子と前記X線フィルタとの一方を他方に対して、前記受光面に平行な方向に変位させる移動機構と
を有し、
前記第1窓群に属する窓の感度の波長依存性と第2窓群に属する窓の感度の波長依存性とが相互に異なり、
前記受光素子と前記X線フィルタとを第1の位置関係にしたとき、前記画素のうち一部の第1画素群の画素内の第1の領域に、前記第1窓群に属する窓から発生した光が入射し、第2の領域には光が入射せず、他の第2画素群に属する画素内の第1の領域に、前記第2窓群に属する窓から発生した光が入射し、第2の領域には光が入射せず、
前記受光素子と前記X線フィルタとの一方を他方に対して移動させて、両者を第2の位置関係にしたとき、前記第1画素群に属する画素内の第1の領域に光が入射せず、第2の領域には、前記第2窓群に属する窓から発生した光が入射し、前記第2画素群に属する画素内の第1の領域に光が入射せず、第2の領域には、前記第1窓群に属する窓から発生した光が入射するX線撮像装置。 - (a)受光面上に配置された複数の画素を含み、複数の画素は、少なくとも第1の画素群と第2の画素群とに分類され、各画素が、入射X線強度に応じた画像信号を発生する少なくとも第1の領域と第2の領域とを含む受光素子の前方に、X線フィルタを配置する工程であって、該X線フィルタは、X線遮光領域と、該X線遮光領域内に形成されたX線を透過させる複数の窓を有し、該複数の窓は、少なくとも第1窓群と第2窓群とに分類される該X線フィルタを、前記第1画素群の画素内の第1の領域に、前記第1窓群に属する窓を透過したX線が入射し、第2の領域にはX線が入射せず、前記第2画素群に属する画素内の第1の領域に、前記第2窓群に属する窓を透過したX線が入射し、第2の領域には光が入射しないように該X線フィルタを配置する工程と、
(b)前記工程(a)の後に、X線を、被測定物を透過させた後に、前記X線フィルタを介して前記受光素子の受光面に入射させる工程と、
(c)前記第1画素群に属する画素内の第1の領域にX線が入射せず、第2の領域には、第2窓群に属する窓を透過したX線が入射し、第2画素群に属する画素内の第1の領域にX線が入射せず、第2の領域には、第1窓群に属する窓を透過したX線が入射するように、前記X線フィルタと受光素子との相対位置関係を変化させる工程と、
(d)前記工程(c)の後に、X線を、被測定物を透過させた後に、前記X線フィルタを介して前記受光素子の受光面に入射させる工程と、
(e)前記工程(b)で得られた画像信号と、前記工程(d)で得られた画像信号とからサブトラクション画像を生成する工程と
を有し、
前記第1の窓群に属する窓のX線透過率の波長依存性と、前記第2の窓群に属する窓のX線透過率の波長依存性とが相互に異なるX線撮像方法。 - (a)受光面上に配置された複数の画素を含み、複数の画素は、少なくとも第1の画素群と第2の画素群とに分類され、各画素が、入射光強度に応じた画像信号を発生する少なくとも第1の領域と第2の領域とを含む受光素子の前方に、X線フィルタを配置する工程であって、該X線フィルタは、X線遮光領域と、該X線遮光領域内に形成され、X線照射によって光を発生する複数の窓を有し、該複数の窓は、少なくとも第1窓群と第2窓群とに分類される該X線フィルタを、前記第1画素群の画素内の第1の領域に、前記第1窓群に属する窓から発生した光が入射し、第2の領域には光が入射せず、前記第2画素群に属する画素内の第1の領域に、前記第2窓群に属する窓から発生した光が入射し、第2の領域には光が入射しないように該X線フィルタを配置する工程と、
(b)前記工程(a)の後に、X線を、被測定物を透過させた後に、前記X線フィルタに入射させる工程と、
(c)前記第1画素群に属する画素内の第1の領域に光が入射せず、第2の領域には、第2窓群に属する窓から発生した光が入射し、第2画素群に属する画素内の第1の領域にX線が入射せず、第2の領域には、第1窓群に属する窓から発生した光が入射するように、前記X線フィルタと受光素子との相対位置関係を変化させる工程と、
(d)前記工程(c)の後に、X線を、被測定物を透過させた後に、前記X線フィルタを介して前記受光素子の受光面に入射させる工程と、
(e)前記工程(b)で得られた画像信号と、前記工程(d)で得られた画像信号とからサブトラクション画像を生成する工程と
を有するX線撮像方法。
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Cited By (9)
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---|---|---|---|---|
JP2010286406A (ja) * | 2009-06-12 | 2010-12-24 | Sii Nanotechnology Inc | X線透過検査装置及びx線透過検査方法 |
JP2010286405A (ja) * | 2009-06-12 | 2010-12-24 | Sii Nanotechnology Inc | X線透過検査装置及びx線透過検査方法 |
JP2011145073A (ja) * | 2010-01-12 | 2011-07-28 | Ishida Co Ltd | X線検査装置 |
WO2012014706A1 (ja) * | 2010-07-27 | 2012-02-02 | 富士フイルム株式会社 | 放射線検出器及び放射線検出器の製造方法 |
JP2012026979A (ja) * | 2010-07-27 | 2012-02-09 | Fujifilm Corp | 放射線検出器及び放射線検出器の製造方法 |
JP2012032170A (ja) * | 2010-07-28 | 2012-02-16 | Fujifilm Corp | 放射線検出器及び放射線検出器の製造方法 |
WO2012168832A1 (en) * | 2011-06-06 | 2012-12-13 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Multiple focal spot x-ray radiation filtering |
JP2013156172A (ja) * | 2012-01-31 | 2013-08-15 | X-Ray Precision Inc | X線検査装置 |
WO2019031519A1 (ja) * | 2017-08-08 | 2019-02-14 | 株式会社デンソー | ヘッドアップディスプレイ |
-
2007
- 2007-07-30 JP JP2007197257A patent/JP2009028405A/ja not_active Withdrawn
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010286406A (ja) * | 2009-06-12 | 2010-12-24 | Sii Nanotechnology Inc | X線透過検査装置及びx線透過検査方法 |
JP2010286405A (ja) * | 2009-06-12 | 2010-12-24 | Sii Nanotechnology Inc | X線透過検査装置及びx線透過検査方法 |
JP2011145073A (ja) * | 2010-01-12 | 2011-07-28 | Ishida Co Ltd | X線検査装置 |
WO2012014706A1 (ja) * | 2010-07-27 | 2012-02-02 | 富士フイルム株式会社 | 放射線検出器及び放射線検出器の製造方法 |
JP2012026979A (ja) * | 2010-07-27 | 2012-02-09 | Fujifilm Corp | 放射線検出器及び放射線検出器の製造方法 |
JP2012032170A (ja) * | 2010-07-28 | 2012-02-16 | Fujifilm Corp | 放射線検出器及び放射線検出器の製造方法 |
WO2012168832A1 (en) * | 2011-06-06 | 2012-12-13 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Multiple focal spot x-ray radiation filtering |
CN103718251A (zh) * | 2011-06-06 | 2014-04-09 | 皇家飞利浦有限公司 | 多焦斑x射线射辐射滤波 |
US9424958B2 (en) | 2011-06-06 | 2016-08-23 | Koninklijke Philips N.V. | Multiple focal spot X-ray radiation filtering |
CN103718251B (zh) * | 2011-06-06 | 2016-09-21 | 皇家飞利浦有限公司 | 多焦斑x射线辐射滤波 |
RU2615151C2 (ru) * | 2011-06-06 | 2017-04-04 | Конинклейке Филипс Н.В. | Фильтрация мультифокального рентгеновского излучения |
JP2013156172A (ja) * | 2012-01-31 | 2013-08-15 | X-Ray Precision Inc | X線検査装置 |
WO2019031519A1 (ja) * | 2017-08-08 | 2019-02-14 | 株式会社デンソー | ヘッドアップディスプレイ |
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