JP2011145073A - X線検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1X線センサ220aと第2X線センサ220bとは、互いに水平に並んで配設される。第1X線センサ220aは、フォトダイオードで構成され、例えばSi(珪素)を含んでなる検出部223を有する。検出部223は主に可視光を検出するとともにX線210を検出する。第2X線センサ220bは、シンチレータ221およびフォトダイオード222により構成される。シンチレータ221は、検出したX線210を光に変換する変換層224を備える。フォトダイオード222は、第1X線センサ220aと同様に、Siを含んでなる検出部225を備える。
【選択図】図4
Description
一般に、解像度とS/N比とは相反する関係にあり、高解像度ほど受光線量が減少するためS/N比が低下してしまう。線質を変えるために、フィルタを使用すると、線量が低下するためS/N比も低下する。すなわち、解像度およびS/N特性のうち一方を優先すれば、他方が犠牲となる。例えば、検査現場での検査確実性および誤検査防止のためにS/N特性を優先すると、解像度が犠牲になる。その結果、微小異物を検出することが難しくなる。
上記実施形態においては、X線検査装置100がX線検査装置に相当し、X線210が透過X線に相当し、第1X線センサ220aが第1X線センサに相当し、第2X線センサ220bが第2X線センサに相当し、被検査物900が物品に相当し、検出部223が第1X線センサの検出部に相当し、変換層224が変換層に相当し、検出部225が第2X線センサの検出部に相当し、検出波長領域KR1、KR2が検出波長領域に相当し、調整部250が調整部に相当する。
なお、上記実施形態では、第1X線センサ220aの検出部223および第2X線センサ220bの検出部225の構成材料として同じSiを用いたが、これに限定されるものではなく、例えばCdTe(カドミウムテルリド)等の他の構成材料を用いてもよい。但し、本実施形態のように、Siを用いる方が低コストである。
210 X線
220 ラインセンサ
220a 第1X線センサ
220b 第2X線センサ
223 第1X線センサの検出部
224 変換層
225 第2X線センサの検出部
250 調整部
900 被検査物
KR1、KR2 検出波長領域
Claims (5)
- 物品を透過した透過X線に基づくX線画像にて物品の検査を行うX線検査装置であって、
主に可視光を検出する検出部を有する第1X線センサと、
前記透過X線を光に変換する変換層と当該変換層からの可視光を主に検出する検出部とを有する第2X線センサと、を備え、
前記第1X線センサからの検出と前記第2X線センサからの検出とを切り替えて、または、両方のX線センサからの検出に基づき物品の検査を行う、X線検査装置。 - 前記第1X線センサおよび前記第2X線センサは、互いに水平に並んで配設される、請求項1記載のX線検査装置。
- 前記第1X線センサは、前記第2X線センサの上方に配設される、請求項1記載のX線検査装置。
- 前記第1X線センサの検出部と前記第2X線センサの検出部とは同種材料により形成される、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のX線検査装置。
- 前記第1X線センサおよび前記第2X線センサは、少なくとも異なる検出波長領域を有し、
前記透過X線の波長に応じて、前記第1Xセンサおよび前記第2X線センサの検出結果の重みを調整する調整部をさらに備える、請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のX線検査装置。
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