WO2007037121A1

WO2007037121A1 - 放射線像撮像装置および放射線像撮像装置の撮像方法

Info

Publication number: WO2007037121A1
Application number: PCT/JP2006/318111
Authority: WO
Inventors: Satoshi Masuda; Naoki Masazumi
Original assignee: Konica Minolta Medical & Graphic, Inc.
Priority date: 2005-09-29
Filing date: 2006-09-13
Publication date: 2007-04-05
Also published as: JPWO2007037121A1; US20070210257A1

Abstract

　本発明は、撮像動作を行う検出素子の一部によりフォトタイマー機能を実現するとともにその検出素子出力も画像データとして使用可能とするパッシブ方式の放射線像撮像装置を提供する。放射線照射時において、全検出素子Ｇ11～Ｇ1nのフォトダイオードにおいて、光電変換動作が行われる。このとき、放射線計測を行うために使用する検出素子のＴＦＴをＯＮとすることで、出力回路群１３の各出力回路と接続して、放射線計測を行うために使用する検出素子で光電変換動作して得られた電荷を出力回路に保持する。この出力回路に保持した電荷を、所定間隔毎に出力して、放射線量が所定の指標値以上となったか否かを確認する。

Description

明細書

放射線像撮像装置および放射線像撮像装置の撮像方法

技術分野

[0001] 本発明は、医療診断機器、非破壊検査機器等に用いられる放射線を電荷として検出する放射線像撮像装置に関するもので、特に、入射された放射線を電荷に変換し、放射線量に応じた電荷を発生する変換素子の出力を増幅せずに直接出力するパッシブ方式による放射線像撮像装置および放射線像撮像装置の撮像方法に関する背景技術

[0002] 近年、医療画像診断や非破壊検査等の放射線により取得した画像を利用する領域では、フィルムレス化とネットワーク化に伴い、取得画像のデジタルィ匕が急速に進められており、この実現方法の一つとして被検体を透過した放射線を直接検出しデジタル情報として扱うことのできるフラットパネルディテクター（Flat Panel Detecto r:FPD)を利用した撮影方法が提案されている。この FPDは、光源である X線がレンズで集光されないため、被検体を等倍で読み取る必要があり、大面積で構成されることとなる。図 17に、 FPDを利用した放射線撮影システムの一例を示す。

[0003] 図 17に示すように、被検体 900を撮影するための撮影室 901には、 X線を放射する X線管 904と、受信した X線を電荷に変換する FPD903を備える放射線像撮像装置が備えられている。又、別室 902には取得した画像を閲覧、保存、加工するためのコンピュータ 905が設置されている。そして、 X線管 904から X線が放射されると、 FP D903が披験体 900を透過した X線を感知して、感知した X線信号を電荷に変換する。この電荷がデジタルデータとして無線もしくは有線でコンピュータ 905に送られ、別室 902に待機する利用者が撮像データを瞬時に確認できる。

[0004] 又、このコンピュータ 905に接続されたプリンター 906から撮像データを出力することができるとともに、 PACS (Picture Archiving andCommunication System) システム 907が導入された医療施設であれば、この PACSのサーバに当該撮像データをアップロードすることによって、披験体 900の X線撮像データを離れた場所から閲覧することができる。尚、 PACSは近年導入されている医療画像の保存 '伝送'検索の通信システムであり、最近では施設内だけでなぐ施設間で医療画像の伝送'検索ができる構成のものも存在する。

[0005] ところで、上述の FPDは、図 18の概略的なブロック図に示すような構成となる。この図 18に示す FPD903は、センサ受像面の大きさのガラス基板 913にマトリクス状に多数のスイッチング素子及び電荷蓄積素子を備えており、これらが集合してパネル 9 12を構成している。そして、この内の一組のスイッチング素子 915及び電荷蓄積素子 916とによって、検出素子 914が構成される。尚、このスイッチング素子としてァモルファスシリコン (_a Si)等で構成される薄膜トランジスタ（Thin Film Trasistor:TF T)が用いられている。

[0006] 又、パネル 912の上面には、 X線を電荷に変換する X線変換層 911が設けられている。この X線変換層 911によって変換された電荷が、電荷蓄積素子 916に蓄積される。縦横に配置されるゲートライン 917によって指定された検出素子のスイッチング素子 915がオン状態に制御されることで、このスイッチング素子 915を介して出力される電荷が電荷転送ライン 918を通じて読み出される。尚、図 18中の X線変換層 91 1を構成する構成要素によって、検知された X線を電荷に変換する過程の異なる直接変換方式と間接変換方式の 2種類が存在する。

[0007] 直接変換方式では、図 19 (a)のように、 X線変換層 911としてアモルファスセレン (a

Se) 921力禾 IJ用される。このアモルファスセレン 921は、感知した X線の強弱に応じて一定量の電子と正孔を生成する性質を有しており、これによつて X線が直接電荷に変換される。又、このアモルファスセレン 921には 3000V程度の直流バイアス電圧が印加されており、この印加されるバイアスの極性に従って電荷が検出素子電極に移動して、電荷蓄積素子 916に蓄積される。そして、スイッチング素子 915によってスィツチング制御されることでこの蓄積された電荷が後段回路に読み出される。

[0008] 一方、間接変換方式では、図 19 (b)のように、 X線変換層 911として、蛍光体 925 及び光電変換素子 926が利用される。この光電変換素子 926には、 5〜： LOV程度の直流バイアスが印加されている。又、蛍光体 925は、感知した X線の強弱に応じて一定量の光を生成する性質を有しており、この生成された光を光電変換素子 926が受光することで、受光した光量に応じて一定量の電荷が生成され、この生成された電荷が電荷蓄積素子 916に蓄積されて、スイッチング素子 915によってスイッチング制御されることでこの蓄積された電荷が後段回路に読み出される構成である。このとき、光電変換素子 926としてフォトダイオードを用いる場合は、通常、フォトダイオードが電荷蓄積素子 916を兼ねる。尚、入射された X線が可視光に変換される現象をシンチレーシヨンと呼び、このシンチレーシヨンを発生させるために設けられる蛍光体 925はシンチレータとも呼ばれる。

[0009] このような構成の FPDを備える放射線像撮像装置は、被検体 900に対する X線の被爆量を最小限に抑えるとともに、良質な画像を得るために電荷蓄積素子 916での蓄電量を十分とするように、 X線の照射が行われる必要がある。そのため、 X線照射時の透過 X線量を測定し、良質な画像を形成するために必要な積算 X線照射量を確認すると、 X線照射を停止させる X線フォトタイマー機能が備えられる（特許文献 1参照)。この特許文献 1に記載の放射線撮像装置では、光電変換素子に蓄積された電荷を蓄積したままの状態で出力を行う非破壊読み出し動作を行うことで、信号出力後も電荷を保持することができるとされている。そのため、この蓄積された電荷より得られる信号に基づいて透過 X線量を確認して X線照射を停止させることができるとされている。

特許文献 1：特許第 3548507号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0010] し力しながら、特許文献 1に記載の構成では、非破壊読み出し動作を行うために、ソースフォロワ回路のように増幅動作を行う素子又は回路を、各検出素子の出力部に設けたアクティブ方式となっている。そのため、この増幅動作を行うために設置される素子の特性にバラツキが各検出素子にある場合、各検出素子の出力特性にもバラツキが生じて、固定パターンノイズ (FPN)として現れる。この FPNは撮像エリアが大きくなるにつれ大きくなる傾向があり、大面積撮像が必要な放射線像撮像装置には不向きである。又、 TFTは閾値電圧がシフトするなどの問題があり、アナログ的特性が安定してヽな、ため、 TFTを用いて広撮像エリアに必要な画素数のアクティブ方式のセンサを実現することは極めて困難である。

[0011] このような問題を鑑みて、本発明は、撮像動作を行う検出素子の一部によりフォトタイマ一機能を実現するとともにその検出素子出力も画像データとして使用可能とするノッシブ方式の放射線像撮像装置を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

[0012] 1.放射線源から入射した放射線を電気信号に変換し放射線量に応じた電荷を発生する変換素子と該変換素子に接続されたスィッチを有し、マトリクス状に配置された複数の検出素子と、

前記検出素子の前記スィッチと接続されており、マトリクス配置における列毎に配置された複数の電荷転送ラインと、

該電荷転送ラインからの電荷を一時的に保持して、電荷に対応した電気信号を出力する出力回路と、

前記複数の検出素子の中から少なくとも一つの検出素子を、照射される放射線量を測定するための第 1検出素子として選択し、

放射線の照射期間、前記第 1検出素子を含む前記検出素子全ての前記変換素子で同時に変換動作を行い、且つ、この照射期間に、前記第 1検出素子のスィッチを ON 状態として前記電荷転送ラインを通して、前記出力回路に前記第 1検出素子の変換素子で発生した電荷を蓄積させ、照射期間に応じて蓄積された電荷に相当する電気信号を定期的に読み出すように制御する制御手段を有することを特徴とする放射線像撮像装置。

[0013] 2.前記制御部が、複数の検出素子を前記第 1検出素子として選択することを特徴とする前記 1に記載の放射線像撮像装置。

[0014] 3.前記制御部が、前記複数の第 1検出素子からの前記電気信号の信号値を加算平均した値に基づ、て、放射線量の測定を行うことを特徴とする前記 2に記載の放射線像撮像装置。

[0015] 4.前記制御部が、前記複数の第 1検出素子からの前記電気信号の信号値の最大値に基づ、て、放射線量の測定を行うことを特徴とする前記 2に記載の放射線像撮像装置。 [0016] 5.前記第 1検出素子を含む前記検出素子全てから、入射された放射線に基づく画像データを出力することを特徴とする前記 1乃至 4のいずれか 1項に記載の放射線像撮像装置。

[0017] 6.前記出力回路が、

前記電荷転送ラインそれぞれと接続されて前記検出素子からの電荷を保持する電荷保持部と、

前記電荷保持部をリセットするリセット部と、

を備え、

放射線照射前に、前記制御部が、前記リセット部による前記電荷保持部のリセットと、前記検出素子全ての前記スィッチを ONとすることによる前記変換素子のリセットとを行うことを特徴とする前記 1乃至 5のいずれか 1項に記載の放射線像撮像装置。

[0018] 7.前記複数の第 1検出素子が、マトリクス配置の複数行にわたって配置される複数の検出素子であることを特徴とする前記 1乃至 6のいずれかに記載の放射線像撮像装置。

[0019] 8.前記出力回路が、各行それぞれに対して設けられた複数の出力回路力なることを特徴とする前記 7に記載の放射線像撮像装置。

[0020] 9.前記制御部が、前記第 1検出素子を、撮影を行う度に選択することを特徴とする前記 1乃至 8のいずれか 1項に記載の放射線像撮像装置。

[0021] 10.前記制御部が、撮影前に微弱な放射線又は可視光を照射することで、被検体に対する撮影範囲を確認して、前記第 1検出素子の選択を行うことを特徴とする前記

9に記載の放射線像撮像装置。

[0022] 11.前記制御部が撮影前に微弱な放射線又は可視光を照射することで、被検体に対する撮影範囲を確認して、放射線の照射範囲を設定することを特徴とする前記

1乃至 10のいずれか 1項に記載の放射線像撮像装置。

[0023] 12.前記出力回路が、

前記電荷転送ラインに反転入力端子が接続され、非反転入力端子に基準電圧が与えられるオペアンプと、

該オペアンプの反転入力端子と出力端子との間に接続された容量素子と、を備えることを特徴とする前記 1乃至 11のいずれカゝ 1項に記載の放射線像撮像装置

[0024] 13.前記出力回路が電荷量を電圧に変換する電荷'電圧変換部を有することを特徴とする前記 1乃至 12のいずれか 1項に記載の放射線像撮像装置。

[0025] 14.前記制御手段は前記電気信号の信号値に基づいて前記放射線源の放射線照射を停止させることを特徴とする前記 1乃至 13のいずれか 1項に記載の放射線像撮像装置。

[0026] 15.入射された放射線を電気信号に変換し放射線量に応じた電荷を発生する変換素子と該変換素子に接続されたスィッチを有し、マトリクス状に配置された複数の検出素子と、

前記複数の検出素子、前記複数の電荷転送ラインと前記出力回路とを制御する制御部とを有する放射線像撮像装置における放射線像撮像装置の撮像方法であって前記複数の検出素子の中から少なくとも一つの検出素子を、照射される放射線量を測定するための第 1検出素子として選択し、

放射線の照射期間、前記第 1検出素子を含む前記検出素子全ての前記変換素子で同時に変換動作を行い、且つ、この照射期間に、前記第 1検出素子のスィッチを ON 状態として前記出力回路に前記第 1検出素子の変換素子が発生した電荷を蓄積させ、

照射期間に応じて蓄積された電荷に相当する電気信号を定期的に読み出すことを特徴とする放射線像撮像装置の撮像方法。

[0027] 16.複数の検出素子を前記第 1検出素子として選択することを特徴とする前記 15 に記載の放射線像撮像装置の撮像方法。

[0028] 17.前記複数の第 1検出素子からの前記電気信号の信号値を加算平均した値に基づいて、放射線量の測定を行うことを特徴とする前記 16に記載の放射線像撮像装置の撮像方法。

[0029] 18.前記複数の第 1検出素子からの前記電気信号の信号値の最大値に基づいて、放射線量の測定を行うことを特徴とする前記 16に記載の放射線像撮像装置の撮像方法。

[0030] 19.前記第 1検出素子を含む前記検出素子全てから、入射された放射線に基づく画像データを出力することを特徴とする前記 15乃至 18のいずれか 1項に記載の放射線像撮像装置の撮像方法。

[0031] 20.前記第 1検出素子を、撮影を行う度に選択することを特徴とする前記 15乃至 1

8のいずれか 1項に記載の放射線像撮像装置の撮像方法。

[0032] 21.前記電気信号の信号値に基づいて、前記放射線源の放射線照射を停止する工程を含むことを特徴とする前記 15乃至 20のいずれか 1項に記載の放射線像撮像装置の撮像方法。

発明の効果

[0033] 本発明によると、放射線量を測定するための第 1検出素子を、放射線撮像を行うための検出素子から選択し、この第 1検出素子で変換動作を行うことで得られた電荷を出力回路に保持することで、検出素子力もの電荷を増幅する必要がない構成とすることができる。そのため、ソースフォロワ回路のような増幅動作を行う素子又は回路を必要とせず、固定パターンノイズの発生を防ぐことができる。又、特別な出力回路を別途設けることなくフォトタイマー機能を実現することができ、装置構成を簡素化することができる。更に、第 1検出素子の出力も画像データとして利用できるため、解像度の劣化を招くことがない。

図面の簡単な説明

[0034] [図 1]本発明の各実施形態における放射線像撮像装置の内部構成を示すブロック図である。

[図 2]第 1の実施形態の放射線像撮像装置における FPDの内部構成を示す概略ブロック図である。

[図 3]図 2の FPDにおける検出素子や出力回路の構成を示す回路図である。圆 4]一検出素子を上面から見たときのレイアウト図である。

[図 5]図 4の検出素子の A— Bで切断した断面図である。

[図 6]図 2の FPDの撮像動作の第 1例における各信号と出力される画像データの関係を示すタイミングチャートである。

[図 7]図 6の動作例による動作を行う FPDにおける、 X線量計測のための検出素子の並ぶ行と、画像データを出力する行毎の順番との関係を示す図である。

[図 8]図 2に記載の FPDの撮像動作の第 2例における各信号と出力される画像データの関係を示すタイミングチャートである。

[図 9]図 8の動作例による動作を行う FPDにおける、 X線量計測のための検出素子の並ぶ行と、画像データを出力する行毎の順番との関係を示す図である。

[図 10]図 2に記載の FPDの撮像動作の第 3例における各信号と出力される画像データの関係を示すタイミングチャートである。

[図 11]図 10の動作例による動作を行う FPDにおける、 X線量計測のための検出素子の並ぶ行と、画像データを出力する行毎の順番との関係を示す図である。

圆 12]可視光を照射して被検体の位置と大きさを確認するときの状態を示す図である圆 13]第 2の実施形態の放射線像撮像装置における FPDの内部構成を示す概略ブロック図である。

[図 14]図 13の FPDにおける、 X線量計測のための検出素子の並ぶ行と、画像データを出力する行毎の順番との関係を示す図である。

[図 15]第 3の実施形態の FPDにおける、 X線量計測のための検出素子の並ぶ行と、画像データを出力する行毎の順番との関係を示す図である。

[図 16]第 3の実施形態の FPDの撮像動作における各信号と出力される画像データの関係を示すタイミングチャートである。

[図 17]FPDによる X線撮影システムの概念図である。

[図 18]FPDの構成を示す概念ブロック図である。

圆 19]直接変換方式と間接変換方式を比較するためのブロック図である。

符号の説明、 la FPD

信号処理部

メモリ部

入出力 IZF

制御部

00 X線管

01 放射線像撮像装置02 コンピュータ

1 センサ部

2 垂直走査回路

3 出力回路群

3 一 1〜13— n 出力回路

マノレチプレクサ

5 AZD変換回路

タイミングジェネレータ7 ノィァスライン

- — 1〜18— m 行選択ライン - - l〜19—n 電荷転送ラインリセットライン

フォトダイオード

1 TFT

オペアンプ

キャパシタ

リセット部

透明電極膜

, 42 コンタクト

ソース領域

ドレイン領域 45 チャネル領域

発明を実施するための最良の形態

[0036] 本発明を図示の実施の形態に基づいて説明するが、本発明は該実施の形態に限られない。

<放射線像撮像装置の構成 >

まず、本発明の各実施形態で共通となる放射線像撮像装置の構成について、図面を参照して説明する。図 1は、放射線像撮像装置の内部構成を示すブロック図である

[0037] 図 1に示す放射線像撮像装置 101は、外部の放射線源となる X線管 100より放射される X線が入射される FPD1と、 FPD1に入射された X線に基づく画像データを処理する信号処理部 2と、信号処理部 2で処理された画像データを記憶するメモリ部 3と、メモリ部 3で保持された画像データが与えられて外部のコンピュータ 102に出力する入出力インターフェース (IZF) 4と、信号処理部 2で処理された画像データが与えられて放射線像撮像装置 101の動作を制御するとともに FPD1及び信号処理部 2及び入出力 IZF4の動作制御を行う制御部 5と、備える。

[0038] このような構成の放射線像撮像装置 101によると、 X線管 100より X線が放射されると、 FPD1において、入射される X線を電荷に変換する。この電荷は、撮影が終了して、信号処理部 2に出力されるまで保持される。この放射線像撮像装置 101では、 F PD1の一部の検出素子を X線量検出用のセンサとして使用する。この X線検出用の検出素子が発生した電荷は、撮影時において、 FPD内部（具体的には出力回路）に保持された状態で、その電荷に対応する電気信号値を信号処理部に定期的に出力される。信号処理部 2において、この検出素子から出力される電気信号値に基づいて放射される X線量を確認する。そして、放射された X線量を表す信号が制御部 5〖こ与えられると、この信号により放射された X線量が所定の指標値以上となった力否かが確認され、所定の指標値以上であることを確認すると、 X線管 100に対して X線の放射を停止するように指示する。その後、 FPD1の全検出素子で取得された電気信号値が画像データとして出力されて、信号処理部 2に与えられると、メモリ部 3を用いて演算処理を行う。この演算処理された画像データは、メモリ部 3に格納されるとともに、入出力 IZF4よりコンピュータ 102に出力される。

[0039] 以下の各実施形態における放射線像撮像装置は、図 1の構成を共通の構成として備えている。よって、以下の各実施形態では、その放射線像撮像装置の FPDの構成及び動作にっ、て説明する。

《第 1の実施形態》

本発明の第 1の実施形態について、図面を参照して説明する。図 2は、本実施形態の放射線像撮像装置における FPDの内部構成を示す概略ブロック図である。

[0040] FPD1は、図 2に示すように、フォトダイオード PDと薄膜トランジスタ Tを備え、そしてマトリクス上に配置された検出素子 Gl l〜Gmnを有するセンサ部 11と、データ出力時にセンサ部 11の各検出素子 Gl l〜Gmnを垂直方向に走査する垂直走査回路 1 2と、センサ部 11の各検出素子 Gl l〜Gmnから出力される電荷を行毎に保持する出力回路群 13と、出力回路群 13で保持された電荷を列毎のシリアルな電気信号に変換するマルチプレクサ 14と、マルチプレクサ 14から与えられる電気信号をデジタルデータとなる画像データに変換する AZD変換回路 15と、垂直走査回路 12、出力回路群 13、マルチプレクサ 14、及び AZD変換回路 15それぞれの動作タイミングを指定するタイミングジェネレータ 16と、を備える。

[0041] この FPD1は、検出素子 Gl l〜Gmnそれぞれに直流電圧 VDDを印加するバイァスライン 17と、垂直走査回路 12から各行毎に与える信号 φ Vl〜 φ Vmをセンサ部 1 1における各行の検出素子に与えるために行毎に設けられた行選択ライン 18— 1〜 18— mと、センサ部 11における検出素子力もの電荷を列毎に出力回路群 13に出力するために列毎に設けられた電荷転送ライン 19— l〜19—nと、タイミングジエネレータ 16よりセンサ部 11の出力回路群 13をリセットするリセット信号 <i) RSTを出力回路群 13に与えるリセットライン 20と、を備える。尚、タイミングジェネレータ 16と、垂直走査回路 12、マルチプレクサ 14、及び AZD変換回路 15との間や、マルチプレクサ 14と AZD変換回路 15との間にも、信号をやりとりするための信号ラインが接続されるが、その詳細な説明は省略する。

[0042] 又、出力回路群 13には、各列の電荷転送ライン 19— l〜19—nと接続された出力回路 13— 1〜13— nを備える。この出力回路 13— 1〜13— n及び検出素子 Gl l〜 Gmnの構成について、図面を参照して詳細に説明する。尚、以下では、 a行 b列の検出素子 Gabを代表して、その構成について説明する。即ち、図 3には、検出素子 Gab と出力回路 13— の回路構成を示す。

[0043] 検出素子 Gabは、図 3に示すように、バイアスライン 17と接続されて直流電圧 VDD が力ソードに印加されるフォトダイオード 30と、フォトダイオード 30のアノードにドレイン電極が接続されるとともに電荷転送ライン 19— bにソース電極が接続された TFT3 1と、を備える。そして、 TFT31のゲート電極は、行選択ライン 18— aが接続され、垂直走査回路 12からの信号 φ Vaが与えられる。フォトダイオード 30は本発明の変換素子、 TFT31は本発明のスィッチである。

[0044] 出力回路 13— bは、オペアンプとキャパシタとにより構成されるいわゆるチャージセンシングアンプを備えている。詳しくは、電荷転送ライン 19— bに反転入力端子が接続されるとともに非反転入力端子に基準電圧 VREFが印加されるオペアンプ 32と、ォぺアンプ 32の反転入力端子と出力端子との間に並列に接続されたキャパシタ 33及びリセット部 34と、を備える。そして、オペアンプ 32の出力端子がマルチプレクサ 14 の入力側に接続されるとともに、タイミングジェネレータ 16からリセットライン 20を通じて与えられる信号 0 RSTによって、リセット部 34の ONZOFFが制御される。このように構成されるチャージセンシングアンプは、電荷をキャパシタ 33に保持することで積分機能を具備した読み出し回路であり、キャパシタ 33がリセットされない限り、電荷に対応した電気信号を読み出しても電荷は保持されると!/ヽぅ特性を備える。キャパシタ 3 3は本発明の電荷保持部である。

[0045] このように、検出素子 Gl l〜Gmn及び出力回路 13— 1〜13— nが構成されるとき、検出素子 Gl l〜Gmn及び出力回路 13— 1〜13— nのリセット動作を行う場合、タイミングジェネレータ 16からハイとなる信号 0 RSTが与えられて、出力回路 13— 1〜 13— nそれぞれのリセット部 34が ONとされると同時に、垂直走査回路 12から信号 φ Vl〜 φ Vmが与えられて、検出素子 Gl l〜Gmnそれぞれの TFT31が ONとされる

[0046] このとき、リセット部 34が ONとなるため、オペアンプ 32の出力端子と反転入力端子とが接続されて、キャパシタ 33に蓄積された電荷が放電される。又、 TFT31が ONとなるため、フォトダイオード 30のアノード力 TFT31とリセット部 34を介してオペアンプ 34の出力端子と電気的に接続され、フォトダイオード 30のアノードに蓄積された電荷が放電される。よって、フォトダイオード 30のアノード及びキャパシタ 33がリセットされる。

[0047] そして、 X線が放射されて撮像動作が行われるときは、信号 φ RSTがローとされて、リセット部 34が OFFとされる。このとき、検出素子 Gab力 X線量を計測するためのデータを出力する検出素子とされている場合、信号 φ ν&がハイとされて、 TFT31が Ο Νとされる。これにより、フォトダイオード 30が光電変換されて得られた光電荷がフォトダイオード 30のアノード力もキャパシタ 33に流れ込むため、キャパシタ 33に蓄積される。このとき、オペアンプ 32の反転入力端子の電圧が、オペアンプ 32の非反転入力端子に印加された電圧 VREFと略等しい値で一定となるため、キャパシタ 33に蓄積された電荷に基づいて、オペアンプ 32の出力端子の電圧値が変更する。このオペアンプ 32の出力端子の電圧値がマルチプレクサ 14に与えられる。

[0048] 一方、検出素子 Gab力 X線量計測のための検出素子でなぐ通常の撮像動作を行う検出素子である場合、信号 φ ν&がローとされて、 TFT31が OFFとされる。これにより、フォトダイオード 30が光電変換されて得られた光電荷がフォトダイオード 30のアノードに蓄積されることとなる。そして、検出素子 Gabの信号読み出し時において、信号 φ Vaがハイとされて TFT31が ONとされることで、フォトダイオード 30のアノードに蓄積された電荷がキャパシタ 33に蓄積され、オペアンプ 32の出力端子の電圧値が変更し、このオペアンプ 32の出力端子の電圧値がマルチプレクサ 14に与えられる

[0049] 又、検出素子 Gabは、図 4の上面図及び図 5の断面図に示されるような構成とされる。まず、フォトダイオード 30及び TFT31との配置関係について、図 4の上面図を参照して説明する。縦に配線された電荷転送ライン 19— l〜19—nとなる信号配線 19 と、横に配線された行選択ライン 18— l〜18—mとなるゲート配線 18とによって囲まれた領域に、フォトダイオード 30が形成される。このフォトダイオード 30は、一方の信号配線 19側の 2隅が削られた T字形状に配置される。そして、図 4中の上下に隣接したフォトダイオード 30の削られた隅と信号配線 19で囲まれた領域に、そのゲート電極がゲート配線 18上に配置されるように TFT31が形成される。

[0050] このように、フォトダイオード 30及び TFT31が形成されると、フォトダイオード 30の表面に、インジゥムースズ酸ィ匕物で構成される ITO膜のような透明電極膜 40が形成され、そして、 TFT31と信号線 9との間の領域を縦にバイアスライン 17が配線される。このバイアスライン 17は透明電極膜 40の表面上に配線され、コンタクト 41で透明電極膜 40と接続されることでフォトダイオード 30と電気的に接続される。

[0051] 又、 TFT31のソース電極となるソース領域 43が信号配線 19とコンタクト 42で電気的に接続される。更に、 TFT31は、そのドレイン電極となるドレイン領域 44がフォトダィオード 30と積層部分で電気的に接続され、ソース領域 43とドレイン領域 44との間にチャネル領域 45が形成され、このチャネル領域 45がゲート配線 18の真上に設置される。即ち、その積層構造においてチャネル領域 45の下に形成されるゲート電極となるゲート領域が、ゲート配線 18の表面上に形成される。

[0052] このように形成されるフォトダイオード 30及び TFT31は、図 5の断面図のような積層構造となる。 1検出素子を構成するフォトダイオード 30及び TFT31の積層構造について、図 5の断面図を参照して説明する。尚、図 5は、図 4中のライン A— Bで切断したときの断面図である。

[0053] 図 5に示すように、ガラス基板 50表面上に配線されるゲート配線 18と電気的に接続されるように、ゲート配線 18の表面上にゲート電極層 51が形成され、このゲート電極層 51及びガラス基板 50の表面を覆う絶縁層 52が形成される。又、絶縁層 52の表面には、ゲート電極層 51の真上にチャネル領域 45となるチャネル層 53が形成され、チャネル層 53の一部を除く表面と絶縁膜 52の表面とにエッチングストップ層 54が形成される。そして、信号配線 19に近い側のエッチングストップ層 54は、チャネル層 53の縁から信号配線 19まで形成され、その表面にソース電極層 55が形成され、信号配線 19と遠い側のエッチングストップ層 54は、チャネル層 53の縁からフォトダイオード 3 0を形成する領域まで形成され、その表面にドレイン電極層 56が形成される。又、ソース電極層 55の表面にコンタクト 42が形成され、このコンタクト 42を通じて信号配線 19と電気的に接続される。このようにして、 TFT31が形成される。

[0054] 一方、フォトダイオード 30を形成する領域では、ドレイン電極層 56の表面上に、 p型アモルファスシリコン層 57と i型アモルファスシリコン層 58と n型アモルファスシリコン層 59とが、順番に積層されて、 pin型フォトダイオードとなるフォトダイオード 30が形成される。又、 n型アモルファスシリコン層 59の表面上には、光を透過させるとともに低抵抗となる透明電極膜 40が形成され、この透明電極膜 40の表面の一部にコンタタト 41が形成され、このコンタクト 41を通じてバイアスライン 17と電気的に接続される。このように形成されるフォトダイオード 30及び TFT31の表面に、層間絶縁膜 60を形成することで、フォトダイオード 30及び TFT31を構成する各層の電気的な接続を禁止する。そして、この層間絶縁膜 60の表面に、バイアスライン 17及び信号配線 19 を配線する。

[0055] 又、バイアスライン 17及び信号配線 19が配線された層間絶縁膜 60の表面上には、ガラス基板 50上面に形成される積層膜による凹凸を平坦化させるための保護膜層 61が積層される。この保護膜層 61は、ガラス基板 50上部の積層部分の平坦ィ匕を行うとともに、検出素子 Gabを構成するフォトダイオード 30及び TFT31を保護する役目も備えており、例えばスピンコート技術を用いて感光性のポリイミドゃアクリル系榭脂等を塗布することで形成される。そして、この保護膜層 61の表面上には例えばヨウ化セシウム（Csl)が蒸着されてシンチレータ層 62が形成される。このシンチレータ層 62 は、入射された放射線を可視光に変換する機能を備える。このようにすることで、間接変換方式となる FPD1を構成することができる。尚、本例では、間接変換方式となる FPDを例に挙げて説明するが、直接変換方式となる FPDを用いても構わない。

[0056] (l) FPDにおける撮像動作の第 1例

上述のように構成される FPD1による撮像動作の第 1例にっ、て、図面を参照して説明する。図 6は、 FPD1における各信号と出力される画像データの関係を示すタイミングチャートである。又、図 7は、 X線量計測のための検出素子の並ぶ行と、画像データを出力する行毎の順番との関係を示す図である。尚、図 7に示すように、 s行目の検出素子 Gsl〜Gsnからの電荷に基づく画像データ力 X線量計測に使用されるものとする。

[0057] まず、検出素子 Gl l〜Gmnそれぞれのフォトダイオード 30のアノード及び出力回路 13— l〜13—nそれぞれのキャパシタ 33をリセットするために、垂直走査回路 12 からの信号 φ Vl〜 φ Vmとタイミングジェネレータ 16からの信号 φ RSTを同時にハィとする（タイミング A)。これにより、検出素子 Gl l〜Gmnそれぞれの TFT31のゲート電極にハイとなる信号 φνΐ〜φνπιが与えられて ONとなるとともに、出力回路 13 1〜13—nそれぞれのリセット部 34にハイとなる信号 φ RSTが与えられて ONとなる。これにより、検出素子 Gl l〜Gmnそれぞれのフォトダイオード 30のアノード及び出力回路 13— 1〜 13— nそれぞれのキャパシタ 33のリセット動作が開始する。

[0058] そして、所定時間経過して、検出素子 Gl l〜Gmnそれぞれのフォトダイオード 30 のアノード及び出力回路 13— l〜13—nそれぞれのキャパシタ 33のリセットが十分な状態になると、 X線計測用の検出素子 Gsl〜Gsnに与える信号 φ Vs以外の信号 Vl~ Vs- l, () Vs+ l〜(i) Vmをローとするとともに、出力回路 13— 1〜13— nに与える信号 φ RSTをローとする（タイミングお。尚、信号 φ Vsは、ハイのままとし、検出素子 Gsl〜Gsn内の TFT31が ONのままとされる。この時刻以降、撮像可能状態となる。その後、オペレータの操作を受けて X線照射を開始する。具体的には、制御部 5からハイのパルス信号となる X線制御信号 φ Xが無線もしくは有線で X線管 10 0に与えられることで、 X線管 100より X線照射が開始する（タイミング C)。

[0059] このようにして、 X線管 100からの X線照射が行われると、検出素子 Gl l〜Gmnに X線が照射されるため、フォトダイオード 30によって光電変換動作が行われて入射された X線量に応じた光電荷が生成される。そして、ノ、ィとなる信号 () Vsが与えられる検出素子 Gsl〜Gsnは、 TFT31が ONとされて電荷転送ライン 19— 1〜19— nを介して出力回路 13— 1〜13— nと電気的に接続されるため、検出素子 Gsl〜Gsnそれぞれのフォトダイオード 30で発生した光電荷が、出力回路 13— 1〜 13— nそれぞれのキャパシタ 33に蓄積される。又、ローとなる信号 φ Vl〜Vs— 1, φ Vs+ 1〜 φ Vm が与えられる検出素子 Gl l〜G (s l) n、 0 (5 + 1) 1〜011111は、丁？丁31が0??とされて出力回路 13— l〜13—nと電気的に切断された状態であるため、検出素子 G 11〜G (S— l) n、 G (S + l) l〜Gmnそれぞれのフォトダイオード 30のアノードに光電荷が蓄積される。

[0060] この X線照射時において、所定の間隔 T毎に、タイミングジェネレータ 16がマルチプレクサ 14及び AZD変換回路 15を駆動させる。よって、所定間隔 T毎に出力回路 13— l〜13—nのオペアンプ 32に現れる電荷がマルチプレクサ 14に入力され、検出素子毎のシリアルな電荷に変換された後、 AZD変換回路 15でデジタルデータとなる画像データに変換される。即ち、出力回路 13— 1〜13— nのキャパシタ 33に蓄積された電荷量に応じた電圧値となる電荷がマルチプレクサ 14に与えられ、出力回路 13— 1, 13- 2, · ··, 13— nの順番に電荷が AZD変換回路 15に出力されて、デジタルデータである画像データに変換される。

[0061] この画像データは、検出素子 Gsl〜Gsnそれぞれに入射された X線量を表す検出素子 Gsl〜Gsnそれぞれの画像データがシリアルに並んだデータである。そして、この検出素子 Gs 1〜Gsnそれぞれの画像データが信号処理部 2に出力されると、画像データの加算平均化処理を行うことによって、放射される X線量を表す実効出力値を取得する。そして、取得した実効出力値が制御部 5に与えられ、所定の指標値以上となったカゝ否かが確認される。

[0062] このようにして、検出素子 Gsl〜Gsnそれぞれに入射された X線量を表す画像データが出力されるが、出力回路 13— 1〜13— nのキャパシタ 33及び検出素子 Gsl〜G snそれぞれのフォトダイオード 30がリセットされることがなぐ電荷が蓄積されたままである。そのため、所定間隔 T毎にマルチプレクサ 14を駆動させるたびに、タイミング C で X線放射が開始されて力ゝらの X線量を表す光電荷による電荷がマルチプレクサ 14 に与えられることとなる。よって、時間間隔 T毎に、タイミング Cで X線放射が開始されて力もの X線量を、信号処理部 2で確認することができる。

[0063] そして、マルチプレクサ 14及び AZD変換回路 15が所定間隔 T毎に複数回動作している間に、制御部 5において、検出素子 Gsl〜Gsnそれぞれの画像データによる実効出力値が所定の指標値以上となることが確認される。よって、 X線放射が開始されてカゝらの X線量が画像出力するのに十分な X線量であることが確認されるため、制御部 5が、 X線管 100に対して X線の放射を停止するように指示する。このとき、制御部 5は、 FPD1のタイミングジェネレータ 16に対して、 X線量の測定動作から信号読み出し動作に切り換えるように指示する。

[0064] そして、制御部 5からノ、ィのパルス信号となる X線制御信号 φ Xが X線管 100に与えられることで、 X線管 100より X線照射が停止した後（タイミング D)、 FPD1の検出素子 Gl l〜Gmnで撮像されて得られた画像データの読み出しが開始する。この FP D1の画像データの読み出す行の順番が、図 7に示す順番となる。まず、垂直走査回路 12から行選択信号 18— sを介して検出素子 Gsl〜Gsnに与えられる信号 φ ν3がローとする（タイミング E)。このようにして、検出素子 Gsl〜Gsnそれぞれの TFT31を OFFとするとともに、キャパシタ 33に光電荷を蓄積させた状態とした後、タイミングジエネレータ 16によってマルチプレクサ 14及び AZD変換回路 15を ONとし、検出素子 Gsl〜Gsnそれぞれの画像データを信号処理部 2に出力する。

[0065] その後、ハイとなるパルス信号 φ RSTをタイミングジェネレータ 16からリセットライン 20を介して出力回路 13— l〜13—nに与えることにより、出力回路 13— 1〜13— n のキャパシタ 33をリセットする（タイミング F)。そして、信号 0 RSTをローとした後、ノヽィとなるパルス信号 φ Vs+ 1を垂直走査回路 12から行選択信号 18— (s+ 1)を介して検出素子 G (s+ 1) 1〜G (s + 1) nに与えることで、検出素子 G (s+ 1) 1〜G (s + 1 ) nにおいて、 TFT31を ONとしてフォトダイオード 30に蓄積された光電荷を電荷転送ライン 19— 1〜19— nそれぞれに導出する (タイミング G)。これにより、出力回路 1 3— 1〜13— nそれぞれのキャパシタ 33には、検出素子 G (s+ 1) l〜G (s + l) nそれぞれのフォトダイオード 30に蓄積された光電荷が蓄積される。この信号 φ Vs+ 1がローとなると、マルチプレクサ 14及び AZD変換回路 15を ONとし、検出素子 G (s + 1) 1〜G (s+ 1) nそれぞれの画像データを信号処理部 2に出力する（タイミング H)。

[0066] このようにして s + 1行目の検出素子 G (s + 1) 1〜G (s+ 1) nそれぞれの画像データが出力されると、ハイとなる信号 φ RST, φ Vs + 2が順番に、タイミングジエネレータ 16及び垂直走査回路 12から出力されることで、出力回路 13— l〜13—nそれぞれのキャパシタ 33がリセットされた後、検出素子 G (s + 2) 1〜G (s + 2) nそれぞれのフォトダイオード 30に蓄積された光電荷が出力回路 13— 1〜 13— nそれぞれのキヤパシタ 33に蓄積される。そして、 s + 2行目の検出素子 G (s + 2) l〜G (s + 2) nそれぞれの画像データが信号処理部 2に出力される。

[0067] その後、同様にして、タイミングジェネレータ 16からの信号 φ RSTと垂直走査回路 12からの信号 φ Vs + 3〜 φ Vmと力ハイとなるパルス信号として交互に出力され、図 7のように、 s + 3行目〜m行目の検出素子 G (s + 3) l〜Gmnが行毎に動作し、検出素子0 (3 + 3) 1〜011111の画像データが信号処理部2に出カされる。そして、 m行目の検出素子 Gml〜Gmnの画像データが出力されると、タイミングジェネレータ 16 からの信号 φ RSTと垂直走査回路 12からの信号 φ Vl〜 φ Vs— 1とが、ハイとなるパルス信号として交互に出力され、図 7のように、 1行目〜 s—l行目の検出素子 G11 〜G (S 1) nが行毎に動作し、検出素子 Gl 1〜G (S 1) nの画像データが信号処理部 2に出力される。

[0068] このように、本例では、 s行目の検出素子 Gsl〜Gsnそれぞれの画像データにより放射される X線量が測定され、 X線量が所定の指標値以上となったとき、まず、検出素子 Gsl〜Gmnに対して、 s行目から順番に m行目まで行毎に画像データの読み出し動作を行う。そして、 m行目の検出素子 Gml〜Gmnの画像データの読み出しを行つた後、検出素子 G11〜G (S l) nに対して、 1行目から順番に s—l行目まで行毎に画像データの読み出し動作を行う。

[0069] (2) FPDにおける撮像動作の第 2例

上述のように構成される FPD1による撮像動作の第 2例にっ、て、図面を参照して説明する。図 8は、 FPD1における各信号と出力される画像データの関係を示すタイミングチャートである。又、図 9は、 X線量計測のための検出素子の並ぶ行と、画像データを出力する行毎の順番との関係を示す図である。

[0070] 本例においても、上述の第 1例と同様、まず、信号 () RST, φ Vl〜 φ Vmを同時にハイとして、検出素子 Gl l〜Gmnのフォトダイオード 30と出力回路 13— 1〜13— n のキャパシタ 33をリセットした後、信号 () Vs以外の信号をローとするとともに、制御部 5より X線制御信号 φ Xが X線管 100に与えられて、 X線管 100による X線照射が開始される（タイミング A〜C)。そして、 X線管 100からの X線照射が行われている間、所定の間隔 T毎に、マルチプレクサ 14及び AZD変換回路 15を駆動させて、検出素子 Gs 1〜Gsnそれぞれに入射された X線量を表す画像データを信号処理部 2に出力し、制御部 5において、検出素子 Gsl〜Gsnそれぞれの画像データによる実効出力値が所定の指標値以上である力否かが確認される。

[0071] このように、 X線照射時に検出素子 Gsl〜Gsnそれぞれの画像データにより X線量が確認され、検出素子 Gsl〜Gsnそれぞれの画像データによる実効出力値が所定の指標値以上となることを制御部 5が確認すると、第 1例と同様、制御部 5より X線制御信号 φ Xが X線管 100に与えられて、 X線管 100による X線照射が停止された後、検出素子 Gsl〜Gsnに与えられる信号 φ Vsをローとし (タイミング D, E)、検出素子 Gsl〜Gsnそれぞれの画像データを信号処理部 2に出力する。

[0072] その後、ハイとなるパルス信号 φ RSTをタイミングジェネレータ 16からリセットライン 20を介して出力回路 13— l〜13—nに与えることにより、出力回路 13— 1〜13— n のキャパシタ 33をリセットすると (タイミング F)、第 1例と異なり、ハイとなるパルス信号 φ VIを垂直走査回路 12から行選択信号 18— 1を介して検出素子 Gl l〜Glnに与える（タイミング G)。これ〖こより、検出素子 Gl l〜Glnにおいて、 TFT31を ONとしてフォトダイオード 30に蓄積された光電荷を電荷転送ライン 19— l〜19—nそれぞれに導出して、出力回路 13— l〜13—nそれぞれのキャパシタ 33に蓄積する。この信号 φ VIをローとした後、マルチプレクサ 14及び AZD変換回路 15を ONとし、検出素子 G 11〜G Inそれぞれの画像データを信号処理部 2に出力する（タイミング H)。

[0073] その後、同様にして、タイミングジェネレータ 16からの信号 φ RSTと垂直走査回路 12からの信号 φ V2〜 φ Vs— 1とが、ハイとなるパルス信号として交互に出力され、図 9のように、 2行目〜s— 1行目の検出素子 G21〜G (s- 1) nが行毎に動作し、検出素子021〜0 (3—1) 11の画像データが信号処理部2に出カされる。そして、 s—l 行目の検出素子 G (s- 1) 1〜G (s— l) nの画像データが出力されると、タイミングジエネレータ 16からの信号 φ RSTと垂直走査回路 12からの信号 φ Vs + 1〜 φ Vmと 1S ハイとなるパルス信号として交互に出力され、図 9のように、 3+ 1行目〜111行目の検出素子 G (s + 1) l〜Gmnが行毎に動作し、検出素子 G (s+ 1) l〜Gmnの画像データが信号処理部 2に出力される。

[0074] このように、本例では、 s行目の検出素子 Gsl〜Gsnそれぞれの画像データにより放射される X線量が測定され、 X線量が所定の指標値以上となったとき、まず、 s行目の検出素子 Gsl〜Gsn画像データの読み出し動作を行った後、検出素子 Gl 1〜G ( s— l) nに対して、 1行目から順番に s— 1行目まで行毎に画像データの読み出し動作を行う。そして、 3—1行目の検出素子0 (3—1) 1〜0 (3—1) 11の画像データの読み出しを行った後、検出素子0 (3 + 1) 1〜011111に対して、 s+ 1行目から順番に m行まで行毎に画像データの読み出し動作を行う。

[0075] (3) FPDにおける撮像動作の第 3例

上述のように構成される FPD1による撮像動作の第 3例にっ、て、図面を参照して説明する。図 10は、 FPD1における各信号と出力される画像データの関係を示すタイミングチャートである。又、図 11は、 X線量計測のための検出素子の並ぶ行と、画像データを出力する行毎の順番との関係を示す図である。

[0076] 本例においても、上述の第 2例と同様、まず、信号 () RST, φ Vl〜 φ Vmを同時にハイとして、検出素子 Gl l〜Gmnのフォトダイオード 30と出力回路 13— 1〜13— n のキャパシタ 33をリセットした後、信号 () Vs以外の信号をローとするとともに、制御部 5より X線制御信号 φ Xが X線管 100に与えられて、 X線管 100による X線照射が開始される（タイミング A〜C)。そして、 X線管 100からの X線照射が行われている間、所定の間隔 T毎に、マルチプレクサ 14及び AZD変換回路 15を駆動させて、検出素子 Gs 1〜Gsnそれぞれに入射された X線量を表す画像データを信号処理部 2に出力し、制御部 5において、検出素子 Gsl〜Gsnそれぞれの画像データによる実効出力値が所定の指標値以上である力否かが確認される。

[0077] このように、 X線照射時に検出素子 Gsl〜Gsnそれぞれの画像データにより X線量が確認され、検出素子 Gsl〜Gsnそれぞれの画像データによる実効出力値が所定の指標値以上となることを制御部 5が確認すると、第 1例と同様、制御部 5より X線制御信号 φ Xが X線管 100に与えられて、 X線管 100による X線照射が停止される（タイミング D)。このとき、第 2例と異なり、この X線照射の停止と同時に、検出素子 Gsl〜 Gsnに与えられる信号 φ Vsをローとする。

[0078] その後、ハイとなるパルス信号 φ RSTをタイミングジェネレータ 16からリセットライン 20を介して出力回路 13— l〜13—nに与えることにより、出力回路 13— 1〜13— n のキャパシタ 33をリセットした後（タイミング F)、ノ、ィとなるパルス信号 φ VIを垂直走查回路 12から行選択信号 18— 1を介して検出素子 Gl l〜Glnに与える（タイミング G)。これにより、検出素子 Gl l〜Glnそれぞれの画像データを信号処理部 2に出力する（タイミング H)。

[0079] その後、同様にして、タイミングジェネレータ 16からの信号 φ RSTと垂直走査回路 12からの信号 φ V2〜 φ Vs— 1とが、ハイとなるパルス信号として交互に出力され、図 11のように、 2行目〜s— 1行目の検出素子 G21〜G (s-1) nが行毎に動作し、検出素子021〜0(3—1)11の画像データが信号処理部2に出カされる。そして、 s—l 行目の検出素子 G (s-1) 1〜G (S-1) nの画像データが出力されると、タイミングジエネレータ 16からの信号 φ RSTと垂直走査回路 12からの信号 φ Vs + 1〜 φ Vmと力ハイとなるパルス信号として交互に出力され、図 11のように、 3+1行目〜111行目の検出素子 G (s+ 1) l〜Gmnが行毎に動作し、検出素子 G (s+ 1) l〜Gmnの画像データが信号処理部 2に出力される。

[0080] このように、本例では、 s行目の検出素子 Gsl〜Gsnそれぞれの画像データにより放射される X線量が測定され、 X線量が所定の指標値以上となったとき、第 2例と異なり、 s行目の検出素子 Gsl〜Gsnの画像データの読み出し動作を行うことなぐまず、検出素子 Gll〜G(s— l)nに対して、 1行目から順番に s—l行目まで行毎に画像データの読み出し動作を行う。そして、 s— 1行目の検出素子 G(s— l)l〜G(s— 1) nの画像データの読み出しを行った後、検出素子 G(s + 1) l〜Gmnに対して、 s+1 行目から順番に m行目まで行毎に画像データの読み出し動作を行う。

[0081] 尚、本例においては、第 2例のように、画像データの読み出しが、 s行目の検出素子 Gsl〜Gsnによる X線量の測定後、 1行目の検出素子 Gll〜Glnより順番に、 s行目の検出素子 Gsl〜Gsn以外の検出素子 Gll〜G(s— l)n, G(s+1) l〜Gmnの画像データを出力するものとしたが、第 1例と同様に、 s + 1行目の検出素子 G (s + 1) 1 〜G(s + l)nの画像データより順番に、検出素子 Gll〜G(s— l)n、 G(s+1)1〜G mnの画像データを出力するものとしても構わない。このとき、検出素子 G(s + 1) 1〜 Gmnに対して 1行毎の読み出し動作を行った後、又、検出素子011〜0(3— 1)11に対して 1行毎の読み出し動作を行うこととなる。

[0082] 又、本例において、画像データの読み出しを行うことのない X線量測定用の s行目の検出素子 Gsl〜Gsnの画像データについては、信号処理部 2において、隣接する s-1, s + 1行目それぞれの検出素子 G(s— l)l〜G(s— l)n, G(s+l)l〜G(s + l)nの画像データに基づく補間処理を行うことで、生成されるものとしても構わない。

[0083] 更に、第 1例及び第 2例のように、 X線量測定用の s行目の検出素子 Gsl〜Gsnも含む全検出素子 Gl l〜Gmnの画像データを読み出す場合、 X線量測定用の s行目の検出素子 Gsl〜Gsnの画像データについて破棄するものとしても構わない。このとき、 s行目の検出素子 Gsl〜Gsnの画像データについて、隣接する s— 1, s + 1行目それぞれの検出素子 G (s— 1) 1〜G (s— 1) n, G (s+ 1) 1〜G (s + 1) nの画像データに基づく補間処理を行うことで、生成されるものとしても構わない。

[0084] 尚、放射線像撮像装置 101におヽて、 FPD1が撮影動作を行うとき、 X線量を測定するための s行目の検出素子 Gsl〜Gsnについて、固定されるものとしても構わないし、撮影毎に別の行に切り換えるものとしても構わない。撮影毎に別の行に切り換える場合、被検体に応じて、最適となる行を設定し、設定した行の検出素子によって X 線量を測定するように指定する。

[0085] 又、 X線量を測定するための s行目の検出素子 Gsl〜Gsnを切り換えるとき、被検体を FPD1の前に固定した状態で微弱な X線又は可視光を照射し、 FPD1における撮影エリアに対する被検体の位置と大きさを確認することで、 X線量を測定するための s行目の検出素子 Gsl〜Gsnを設定するようにしても構わな、。

[0086] 即ち、微弱な X線やフォトダイオード 30に対して感度を有する可視光を照射して被検体の位置と大きさを確認する場合は、実際に 1フレームの画像を FPD1により撮影する。そして、撮影して得られた画像データの値が所定値以下となる検出素子が連続する位置を被検体が配置された位置として認識し、センサ部 11を構成する検出素子 Gl l〜Gmnに対する被検体の位置と大きさを確認する。そして、確認したセンサ部 11の検出素子 Gl l〜Gmnに対する被検体の位置と大きさに基づ、て、 X線量を測定するために最適となる s行目の検出素子 Gsl〜Gsnを設定する。

[0087] 又、可視光を照射して被検体の位置と大きさを確認する場合は、図 12のように、 FP D1の表面上に投影される影 200により、センサ部 11を構成する検出素子 Gl 1〜G mnに対する被検体の位置と大きさを確認する。このとき、 FPD1の表面には、センサ部 11の検出素子 G 11〜Gmnの各行の位置を表す大まかな目安となる印が記されており、この印と影 200との関係によって、センサ部 11の検出素子 Gl l〜Gmnに対する被検体の位置と大きさが確認される。そして、確認したセンサ部 11の検出素子 G1 l〜Gmnに対する被検体の位置と大きさに基づいて、 X線量を測定するために最適となる s行目の検出素子 Gsl〜Gsnを設定する。

[0088] このように、被検体を FPD1の前に固定した状態で微弱な X線又は可視光を照射し、 FPD1における撮影エリアに対する被検体の位置と大きさを確認する場合、確認した被検体の位置と大きさにより、 X線を照射する範囲を設定するものとしても構わない

[0089] 又、上述の s行目の検出素子 Gsl〜Gsn全てを、 X線量を測定するための検出素子として用いるものとしたが、 1行分の検出素子全てを X線量測定用の検出素子とする必要はなぐ s行目の検出素子 Gsl〜Gsnの内の複数検出素子を使用するものとしても構わない。更に、信号処理部 2において、 s行目の検出素子 Gsl〜Gsnの画像データの加算平均化処理を行うことによって、放射される X線量を表す実効出力値を取得するものとした力 s行目の検出素子 Gsl〜Gsnの画像データの最大出力値を検出し、この最大出力値を放射される X線量を表す実効出力値とするものとしても構わない。

《第 2の実施形態》

本発明の第 2の実施形態について、図面を参照して説明する。図 13は、本実施形態の放射線像撮像装置における FPDの内部構成を示す概略ブロック図である。尚、図 13に示す FPDの備える検出素子及び出力回路の構成については、第 1の実施形態と同様、図 3のような構成となる。

[0090] 本実施形態の放射線像撮像装置における FPDlaは、図 13に示すように、 m行 n列の検出素子 Gxl l〜Gxmnを備えるセンサ部 l lxと、 m行 n列の検出素子 Gyl l〜G ymnを備えるセンサ部 l lyと、センサ部 11の各検出素子 Gxl l〜Gxmnから出力される電荷を行毎に保持する出力回路 13x— l〜13x— nによる出力回路群 13xと、センサ部 11の各検出素子 Gyl l〜Gymnから出力される電荷を行毎に保持する出力回路 13y— l〜13y— nによる出力回路群 13yと、垂直走査回路 12と、マルチプレクサ 14と、 AZD変換回路 15と、タイミングジェネレータ 16と、を備える。このとき、センサ部 l lxの l〜n列の各検出素子と、センサ部 l lyの l〜n列の各検出素子とが、同一列に配置されるように、検出素子 Gxl l〜Gxmn, Gyl l〜Gymnが構成される。

[0091] この FPDlaは、検出素子 Gxl l〜Gxmn, Gvl l〜Gymnそれぞれに直流電圧 V DDを印加するバイアスライン 17と、垂直走査回路 12から各行毎に与える信号 φ VI 〜 φ Vmをセンサ部 l lx, l lyそれぞれにおける各行の検出素子に与えるためにセンサ部 l lx, l lyの同一行毎に設けられた行選択ライン 18— l〜18—mと、センサ部 l lx, l lyそれぞれにおける検出素子からの電荷を列毎に出力回路群 13x, 13y それぞれに出力するために列毎に設けられた電荷転送ライン 19x— l〜19x— n, 1 9y— l〜19y— nと、タイミングジェネレータ 16よりセンサ部 l lx, l lyの全検出素子及び出力回路群 13x, 13yをリセットするリセット信号 <i) RSTを出力回路群 13x, 13y に与えるリセットライン 20と、を備える。

[0092] このように各ラインが配線されるとき、行選択ライン 18— k (kは、 l≤k≤mの整数）に対して、検出素子 Gxkl〜Gxkn, Gykl〜Gyknが接続され、信号 φ Vkが垂直走查回路 12より与えられる。信号 φ Vkが与えられて、検出素子 Gxkl〜Gxkn, Gykl 〜Gyknの画像データが出力されるとき、検出素子 Gxkl〜Gxkn, Gykl〜Gyknそれぞれで蓄積された光電荷が、出力回路 13x— l〜13x— n, 13y— l〜13y— nそれぞれに蓄積される。そして、出力回路 13x— l〜13x— n, 13y— l〜13y— nそれぞれの電荷がマルチプレクサ 14に与えられた後、 1検出素子毎に電荷が AZD変換回路 15に与えられて、デジタルデータとなる画像データとして信号処理部 2に出力される。尚、タイミングジェネレータ 16と、垂直走査回路 12、マルチプレクサ 14、及び A ZD変換回路 15との間や、マルチプレクサ 14と AZD変換回路 15との間にも、信号をやりとりするための信号ラインが接続されるが、その詳細な説明は省略する。

[0093] この FPDlaにおいて、センサ部 l lx, l lyそれぞれの s行目の検出素子 Gxsl〜G xsn, Gysl〜Gysnを、 X線照射時の X線量測定用の検出素子とするとき、第 1の実施形態における第 1〜第 3例と同様の動作を行うことで、 X線量測定を行った撮影動作を行うことができる。このとき、例えば、第 1例のように動作させるとき、第 1の実施形態と同様、信号 φ RST, φ Vl〜 φ Vnの関係が、図 6のタイミングチャートのような状態になる。よって、 X線量計測のための検出素子の並ぶ行と、画像データを出力する行毎の順番との関係が図 14に示すようになる。

[0094] 即ち、図 14に示すように、センサ部 l lx, l lyそれぞれの s行目の検出素子 Gxsl 〜Gxsn, Gysl〜Gysnの画像データにより X線量が測定され、所定の指標値以上となったことが確認されると、センサ部 l lx, l lyそれぞれの s行目〜 m行目の検出素子 Gxsl〜Gxmn, Gysl〜Gymnの画像データの読み出し動作が s行目力順番に 1行毎に行われる。そして、センサ部 l lx, l lyそれぞれの m行目の検出素子 Gxml 〜Gxmn, Gyml〜Gymnの画像データが出力されると、次に、センサ部 l lx, l ly それぞれの 1行目〜 s—l行目の検出素子 Gxl l〜Gx (s— l) n, Gyl l〜Gy(s—l) nの画像データの読み出し動作が 1行目力順番に 1行毎に行われる。

[0095] このように動作するとき、 s行目の検出素子 Gxsl〜Gxsn, Gysl〜Gysnの画像データが出力されて X線量の測定が行われているとき、信号処理部 2では、 s行目の検出素子 Gxs 1〜Gxsn, Gys 1〜Gysnの画像データの加算平均化処理を行うことによつて、放射される X線量を表す実効出力値を取得する。この放射される X線量を表す実効出力値については、 s行目の検出素子 Gxsl〜Gxsn, Gysl〜Gysnの画像データの最大値としても構わな、。

[0096] 尚、本実施形態においては、センサ部をセンサ部 l lx, l lyに 2分割し、 2行分の X 線量測定用の検出素子 Gxsl〜Gxsn, Gysl〜Gysnを設けるものとした力出力回路 13x— l〜13x— n, 13y— l〜13y— nそれぞれに接続される電荷転送ライン 19x — l〜19x— n, 19y— l〜19y— nと接続される検出素子の行が交互に配置されるものとしても構わない。又、 2行分の X線量測定用の検出素子に限らず、 3行以上の X 行分 (Xは、 3以上の整数)の X線量測定用の検出素子が設けられるものとしても構わない。このとき、 X行分の X線量測定用の検出素子それぞれと接続される n個の出力回路による出力回路群を X群設置する。

[0097] 又、本実施形態において、第 3例のように、 X線量測定用の s行目の検出素子 Gxsl 〜Gxsn, Gysl〜Gysnの画像データの読み出しを行うことのない動作を行う場合、第 1の実施形態と同様、信号処理部 2において、隣接する s— l, s + 1行目それぞれの検出素子 Gx (s—l) l〜Gx (s—l) n, Gx (s+ 1) l〜Gx (s + 1) nの画像データに基づく補間処理を行うことで、検出素子 Gxsl〜Gxsnの画像データが生成され、又、隣接する s— l, 3+ 1行目それぞれの検出素子0 (3— 1) 1〜0 (3— 1) 11, Gy(s + 1) l〜Gy(s+ l) nの画像データに基づく補間処理を行うことで、検出素子 Gysl〜G ysnの画像データが生成されるものとしても構わな、。 [0098] 更に、第 1例及び第 2例のように、 X線量測定用の s行目の検出素子 Gxsl〜Gxsn , Gysl〜Gysnも含む全検出素子 Gxl l〜Gxmn, Gyl l〜Gymnの画像データを読み出す場合において、 X線量測定用の s行目の検出素子 Gxsl〜Gxsn, Gysl〜 Gysnの画像データについて破棄するものとしても構わない。このとき、 s行目の検出素子 Gxsl〜Gxsn, Gysl〜Gysnそれぞれの画像データについて、隣接する s—l の検出素子0 （5—1) 1〜0 （5—1) 11, 0 （5—1) 1〜07 (5—1) !1と5 + 1行目それぞれの検出素子0 （5+ 1) 1〜0 （5 + 1) 11, Gy(s+ l) l〜Gy(s + l) nの画像データに基づく補間処理を行うことで、生成されるものとしても構わない。

《第 3の実施形態》

本発明の第 3の実施形態について、図面を参照して説明する。図 15は、本実施形態の放射線像撮像装置における X線量計測のための検出素子の並ぶ行と、画像データを出力する行毎の順番との関係を示す図である。尚、本実施形態の放射線像撮像装置における FPDの構成、及び、おの FPDの備える検出素子及び出力回路の構成については、第 1の実施形態と同様、図 2及び図 3のような構成となる。

[0099] 本実施形態では、図 15に示すように、第 1の実施形態と異なり、 X線照射時の X線量測定用の検出素子を s行目の検出素子 Gsl〜Gsnだけでなぐ t行目の検出素子 Gtl〜Gtnも X線量測定用の検出素子とする。即ち、 X線照射時における X線量測定 1S s行目及び t行目それぞれの検出素子 Gsl〜Gsn, Gtl〜Gtnからの画像データによって行われ、出力回路 13— 1〜13— nそれぞれには、 2検出素子分の電荷がキャパシタ 33に保持されることとなり、信号処理部 2には、 2検出素子分の画像データが加算された画像データが出力される。

[0100] よって、本実施形態の放射線像撮像装置の FPD1における撮像動作が、図 16のタイミングチャートに従った動作となる。尚、この撮像動作は、第 1の実施形態の第 3例と類似した動作となる。即ち、まず、信号 φ RST, φ Vl〜 φ Vnをノヽィとして、検出素子 Gl l〜Gmnのフォトダイオード 30及び出力回路 13— 1〜13— nのキャパシタ 33 をリセットした後（タイミング A)、信号 φ Vs, φ Vt以外の信号をローとして、検出素子 Gsl〜Gsn, Gtl〜Gtn以外の検出素子の TFT31を OFFとする（タイミング: B)。その後、制御部 5より X線制御信号 φ Χが X線管 100に与えられて、 X線管 100による X 線照射が開始される (タイミング c)。

[0101] そして、 X線管 100からの X線照射が行われている間、所定の間隔 T毎に、マルチプレクサ 14及び AZD変換回路 15を駆動させて、 s行目及び t行目それぞれの検出素子 Gsl〜Gsn, Gtl〜Gtnそれぞれに入射された X線量を表す画像データを信号処理部 2に出力し、制御部 5において、検出素子 Gsl〜Gsn, Gtl〜Gtnそれぞれの画像データによる実効出力値が所定の指標値以上であるか否かが確認される。尚、出力回路 13— l〜13—nそれぞれのキャパシタ 33には、 2検出素子分の電荷が蓄積されることとなり、 2検出素子分の電荷が出力されるため、出力回路 13— 1〜13— nそれぞれ力もの出力値が飽和する可能性がある。そのため、出力回路 13— 1〜13 —nそれぞれのゲインを、第 1及び第 2の実施形態と比べて下げることが好ましい。

[0102] このように、 X線照射時に検出素子 Gsl〜Gsnそれぞれの画像データにより X線量が確認され、検出素子 Gsl〜Gsn, Gtl〜Gtnそれぞれの画像データによる実効出力値が所定の指標値以上となることを制御部 5が確認すると、制御部 5より X線制御信号 φ Xが X線管 100に与えられて、 X線管 100による X線照射が停止される（タイミング D)。このとき、信号処理部 2では、 s, t行目の検出素子 Gsl〜Gsn, Gtl〜Gtn の画像データの加算平均化処理を行うことによって、放射される X線量を表す実効出力値を取得する。この放射される X線量を表す実効出力値については、各列の 2検出素子分の画像データにおける最大値としても構わない。又、この X線照射の停止と同時に、検出素子 Gsl〜Gsn, Gtl〜Gtnに与えられる信号 φ Vsをローとする。

[0103] その後、ハイとなるパルス信号 φ RSTをタイミングジェネレータ 16からリセットライン 20を介して出力回路 13— l〜13—nに与えることにより、出力回路 13— 1〜13— n のキャパシタ 33をリセットした後（タイミング F)、ノ、ィとなるパルス信号 φ VIを垂直走查回路 12から行選択信号 18— 1を介して検出素子 Gl l〜Glnに与える（タイミング G)。これにより、検出素子 Gl l〜Glnそれぞれの画像データを信号処理部 2に出力する（タイミング H)。

[0104] その後、同様にして、タイミングジェネレータ 16からの信号 φ RSTと垂直走査回路 12からの信号 φ V2〜 φ Vs— 1とが、ハイとなるパルス信号として交互に出力され、図 15のように、 2行目〜s— 1行目の検出素子 G21〜G (s— l) nが行毎に動作し、検出素子021〜0 (3—1) 11の画像データが信号処理部2に出カされる。そして、 s—l 行目の検出素子 G (s— 1) 1〜G (s l) nの画像データが出力されると、タイミングジエネレータ 16からの信号 φ RSTと垂直走査回路 12からの信号 φ Vs + 1〜 φ Vt- 1 と力ハイとなるパルス信号として交互に出力され、図 15のように、 3+ 1行目〜1; 1 行目の検出素子 G (s+ 1) 1〜G (t— 1) nが行毎に動作し、検出素子 G (s + 1) 1〜G (t l) nの画像データが信号処理部 2に出力される。又、 t 1行目の検出素子 G (t - 1) l〜G (t—l) nの画像データが出力されると、タイミングジェネレータ 16からの信号 φ RSTと垂直走査回路 12からの信号 φ Vt+ 1〜 φ Vmとが、ハイとなるパルス信号として交互に出力され、図 15のように、 t+ 1行目〜m行目の検出素子 G (t+ 1) 1 〜Gmnが行毎に動作し、検出素子 G (t+ 1) l〜Gmnの画像データが信号処理部 2 に出力される。

[0105] このように、本実施形態では、 s行目及び t行目の検出素子 Gsl〜Gsn, Gtl〜Gtn それぞれの 2検出素子分ずつの画像データにより放射される X線量が測定され、 X線量が所定の指標値以上となったとき、検出素子 Gsl〜Gsn, Gtl〜Gtnの画像データの読み出し動作を行うことなぐまず、検出素子 Gl l〜G (s— l) nに対して、 1行目力も順番に s l行目まで行毎に画像データの読み出し動作を行う。そして、検出素子 G (s + 1) 1〜G (t- 1) nに対して、 s+ 1行目力順番に t— 1行目まで行毎に画像データの読み出し動作を行った後、検出素子0 + 1) 1〜011111に対して、 t+ 1行目から順番に m行目まで行毎に画像データの読み出し動作を行う。

[0106] 尚、本実施形態において、検出素子 Gsl〜Gsn, Gtl〜Gtnそれぞれの 2検出素子分ずつの画像データにより放射される X線量が測定された後、 1行目カゝら順番に画像データの出力が行われるものとした力検出素子 Gsl〜Gsn, Gtl〜Gtn以外の検出素子に対して、 s + 1行目又は t+ 1行目力順番に画像データの出力が行われるものとしても構わない。又、第 1の実施形態の第 1例及び第 2例の動作のように、検出素子 Gsl〜Gsn, Gtl〜Gtnそれぞれの 2検出素子分ずつの画像データにより放射される X線量が測定された後、検出素子 Gl l〜Gmn全ての画像データを出力した後、検出素子 Gsl〜Gsn, Gtl〜Gtnの画像データを破棄するものとしても構わない。 [0107] 又、本例において、 X線量測定用の s行目の検出素子 Gsl〜Gsnの画像データについては、信号処理部 2において、隣接する s—l, s+ 1行目それぞれの検出素子 G (s— 1) 1〜G (s- l) n, G (s + 1) 1〜G (s+ 1) nの画像データに基づく補間処理を行うことで、生成されるとともに、 X線量測定用の t行目の検出素子 Gtl〜Gtnの画像データについては、信号処理部 2において、隣接する t 1, t+ 1行目それぞれの検出素子 G (t— 1) 1〜G (t— 1) n, G (t+ 1) 1〜G (t+ 1) nの画像データに基づく補間処理を行うことで、生成されるものとしても構わない。

[0108] 更に、第 2及び第 3の実施形態の放射線像撮像装置において、第 1の実施形態と同様、 FPDが撮影動作を行うとき、 X線量を測定するための検出素子の位置について、固定されるものとしても構わないし、撮影毎に別の行に切り換えるものとしても構わない。撮影毎に別の行に切り換える場合、被検体に応じて、最適となる行を設定し、設定した行の検出素子によって X線量を測定するように指定する。

[0109] 又、 X線量を測定するための s行目の検出素子 Gsl〜Gsnを切り換えるとき、被検体を FPD1の前に固定した状態で微弱な X線又は可視光を照射し、 FPD1における撮影エリアに対する被検体の位置と大きさを確認することで、 X線量を測定するための s行目の検出素子 Gsl〜Gsnを設定するようにしても構わな、。

[0110] 又、第 1〜第 3の実施形態の放射線像撮像装置において、各検出素子のリセットを全検出素子同時に一度だけ行うものとしたが、行毎に複数回のリセットを行うものとしても構わない。即ち、信号 φ RSTをノヽィとしている間に、信号 φ Vl〜 φ Vnを順番にハイとするものとしても構わな、。

[0111] なお、本発明の放射線像撮像装置は、放射線によって披検物を撮影し、取得された画像を用いて分析を行う医療診断機器、非破壊検査機器等の画像分析装置に好適に利用され得る。

Claims

請求の範囲

[1] 放射線源から入射した放射線を電気信号に変換し放射線量に応じた電荷を発生する変換素子と該変換素子に接続されたスィッチを有し、マトリクス状に配置された複数の検出素子と、

[2] 前記制御部が、複数の検出素子を前記第 1検出素子として選択することを特徴とする請求の範囲第 1項に記載の放射線像撮像装置。

[3] 前記制御部が、前記複数の第 1検出素子からの前記電気信号の信号値を加算平均した値に基づ、て、放射線量の測定を行うことを特徴とする請求の範囲第 2項に記載の放射線像撮像装置。

[4] 前記制御部が、前記複数の第 1検出素子からの前記電気信号の信号値の最大値に基づ、て、放射線量の測定を行うことを特徴とする請求の範囲第 2項に記載の放射線像撮像装置。

[5] 前記第 1検出素子を含む前記検出素子全てから、入射された放射線に基づく画像データを出力することを特徴とする請求の範囲第 1項乃至第 4項のいずれか 1項に記載の放射線像撮像装置。

[6] 前記出力回路が、前記電荷転送ラインそれぞれと接続されて前記検出素子からの電荷を保持する電荷保持部と、

前記電荷保持部をリセットするリセット部と、

を備え、

放射線照射前に、前記制御部が、前記リセット部による前記電荷保持部のリセットと、前記検出素子全ての前記スィッチを ONとすることによる前記変換素子のリセットとを行うことを特徴とする請求の範囲第 1項乃至第 5項のいずれ力 1項に記載の放射線像撮像装置。

[7] 前記複数の第 1検出素子が、マトリクス配置の複数行にわたって配置される複数の検出素子であることを特徴とする請求の範囲第 1項乃至第 6項のいずれ力 1項に記載の放射線像撮像装置。

[8] 前記出力回路が、各行それぞれに対して設けられた複数の出力回路力なることを特徴とする請求の範囲第 7項に記載の放射線像撮像装置。

[9] 前記制御部が、前記第 1検出素子を、撮影を行う度に選択することを特徴とする請求の範囲第 1項乃至第 8項のいずれか 1項に記載の放射線像撮像装置。

[10] 前記制御部が、撮影前に微弱な放射線又は可視光を照射することで、被検体に対する撮影範囲を確認して、前記第 1検出素子の選択を行うことを特徴とする請求の範囲第 9項に記載の放射線像撮像装置。

[11] 前記制御部が撮影前に微弱な放射線又は可視光を照射することで、被検体に対する撮影範囲を確認して、放射線の照射範囲を設定することを特徴とする請求の範囲第 1項乃至第 10項のいずれか 1項に記載の放射線像撮像装置。

[12] 前記出力回路が、

該オペアンプの反転入力端子と出力端子との間に接続された容量素子と、を備えることを特徴とする請求の範囲第 1項乃至第 11項のいずれか 1項に記載の放射線像撮像装置。

[13] 前記出力回路が、電荷量を電圧に変換する電荷'電圧変換部を有することを特徴とする請求の範囲第 1項乃至第 12項のいずれか 1項に記載の放射線像撮像装置。

[14] 前記制御手段、は前記電気信号の信号値に基づ！ヽて前記放射線源の放射線照射を停止させることを特徴とする請求の範囲第 1項乃至第 13項のいずれか 1項に記載の放射線像撮像装置。

[15] 入射された放射線を電気信号に変換し放射線量に応じた電荷を発生する変換素子と該変換素子に接続されたスィッチを有し、マトリクス状に配置された複数の検出素子と、

[16] 複数の検出素子を前記第 1検出素子として選択することを特徴とする請求の範囲第

15項に記載の放射線像撮像装置の撮像方法。

[17] 前記複数の第 1検出素子からの前記電気信号の信号値を加算平均した値に基づいて、放射線量の測定を行うことを特徴とする請求の範囲第 16項に記載の放射線像撮像装置の撮像方法。

[18] 前記複数の第 1検出素子からの前記電気信号の信号値の最大値に基づいて、放射線量の測定を行うことを特徴とする請求の範囲第 16項に記載の放射線像撮像装置の撮像方法。

[19] 前記第 1検出素子を含む前記検出素子全てから、入射された放射線に基づく画像データを出力することを特徴とする請求の範囲第 15項乃至第 18項のいずれ力 1項に記載の放射線像撮像装置の撮像方法。

[20] 前記第 1検出素子を、撮影を行う度に選択することを特徴とする請求の範囲第 15項乃至第 18項のいずれか 1項に記載の放射線像撮像装置の撮像方法。

[21] 前記電気信号の信号値に基づ！ヽて、前記放射線源の放射線照射を停止する工程を含むことを特徴とする請求の範囲第 15項乃至第 20項のいずれか 1項に記載の放射線像撮像装置の撮像方法。