WO2016024502A1 - Ｘ線検査装置 - Google Patents

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WO2016024502A1
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一幸 杉本
廣瀬　修
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株式会社イシダ
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Definitions

  • the present invention relates to an X-ray inspection apparatus, and more particularly to an X-ray inspection apparatus provided with two line sensors.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2012-078254.
  • an appropriate difference image is acquired from X-ray images obtained by two line sensors.
  • the attachment positions of the two line sensors are designed so that the two X-ray images can be accurately associated with each other.
  • the actual mounting position of the line sensor may deviate from the designed predetermined position. In such a case, an accurate difference image cannot be obtained even if the two acquired X-ray images are used as they are, and the inspection accuracy of the X-ray inspection apparatus decreases.
  • An object of the present invention is to provide a highly reliable X-ray inspection apparatus capable of obtaining an accurate inspection result even when a deviation occurs in the attachment position of the line sensor in an X-ray inspection apparatus including two line sensors. Is to provide.
  • the X-ray inspection apparatus includes a transport unit, an X-ray source, a first line sensor, a second line sensor, a detection unit, and a correction image generation unit.
  • the conveying means conveys the article.
  • the X-ray source irradiates the article conveyed by the conveying means with X-rays.
  • the first line sensor detects X-rays transmitted through the article in a first energy band.
  • the second line sensor detects X-rays that have passed through the article in a second energy band different from the first energy band.
  • the detection unit detects at least one of a horizontal position shift and a vertical position shift of the second line sensor with respect to the first line sensor.
  • the corrected image generation unit generates a corrected second X-ray image obtained by correcting the second X-ray image of the article obtained based on the detection result of the second line sensor based on the detection result of the detection unit.
  • a displacement of the position of the second line sensor in the horizontal direction and / or the vertical direction with respect to the first line sensor is detected, and from the detection result of the second line sensor based on the displacement. Correction of the obtained second X-ray image is performed. Therefore, an accurate inspection result can be obtained even when the line sensor mounting position is displaced. That is, here, a highly reliable X-ray inspection apparatus capable of obtaining a correct inspection result is realized regardless of the displacement of the mounting position of the second line sensor with respect to the first line sensor.
  • the X-ray inspection apparatus is the X-ray inspection apparatus according to the first aspect, and the second line sensor is disposed below the first line sensor.
  • the second energy band is an energy band higher than the first energy band.
  • the first line sensor is disposed above the second line sensor, an object (failure) through which X-rays pass before reaching the first line sensor from the X-ray source. Is less than the object through which X-rays pass through before reaching the second line sensor from the X-ray source. Therefore, the first X-ray image is clearer than the second X-ray image.
  • the first X-ray image that is clearer than the second X-ray image is used as a reference, it is easy to accurately grasp the displacement of the position of the second line sensor with respect to the first line sensor.
  • An X-ray inspection apparatus is the X-ray inspection apparatus according to the first aspect or the second aspect, wherein the detection unit applies an X-ray source to a sample having a known shape conveyed by the conveyance means.
  • the first line sensor and the second line sensor detect the X-ray that has been irradiated from the first line sensor and the X-ray that has passed through the sample, and the displacement of the position of the second line sensor with respect to the first line sensor is detected in advance.
  • the displacement of the position of the second line sensor with respect to the first line sensor can be detected more accurately by using an X-ray image of a sample having a known shape. Is possible.
  • An X-ray inspection apparatus is the X-ray inspection apparatus according to any one of the first to third aspects, wherein the detection unit is a horizontal direction of the second line sensor with respect to the first line sensor. Detect the tilt of the.
  • the corrected image generation unit generates a corrected second X-ray image by rotating the second X-ray image.
  • a corrected second X-ray image is generated by correcting the second X-ray image by image processing even when the horizontal inclination of the second line sensor relative to the first line sensor occurs (rotational shift of the horizontal position).
  • an accurate inspection result can be obtained.
  • An X-ray inspection apparatus is the X-ray inspection apparatus according to any one of the first aspect to the third aspect, wherein the detection unit conveys the second line sensor to the first line sensor. A deviation of the means toward the upstream side or downstream side in the conveyance direction is detected.
  • the corrected image generation unit generates the corrected second X-ray image by moving the second X-ray image in a direction corresponding to the upstream side or the downstream side in the transport direction.
  • a corrected second X-ray image obtained by correcting the second X-ray image by image processing is generated even when there is a deviation in the transport direction of the second line sensor relative to the first line sensor. , Accurate test results can be obtained.
  • An X-ray inspection apparatus is the X-ray inspection apparatus according to any one of the first to third aspects, wherein the detection unit is a first line of the second line sensor in plan view. A deviation in a direction orthogonal to the conveyance direction of the conveyance unit with respect to the sensor is detected.
  • the corrected image generation unit generates the corrected second X-ray image by moving the second X-ray image in a direction corresponding to a direction orthogonal to the conveyance direction.
  • a corrected second X-ray image is generated by correcting the second X-ray image by image processing even when the second line sensor is displaced in the left-right direction perpendicular to the conveyance direction with respect to the first line sensor. , Accurate test results can be obtained.
  • An X-ray inspection apparatus is the X-ray inspection apparatus according to any one of the first to third aspects, wherein the detection unit is a vertical direction of the second line sensor with respect to the first line sensor. Detect the tilt of the.
  • the corrected image generation unit generates the corrected second X-ray image by enlarging the second X-ray image on one end side in a direction corresponding to the tilt direction of the second line sensor and reducing the second X-ray image on the other end side.
  • An X-ray inspection apparatus is the X-ray inspection apparatus according to any one of the first to third aspects, wherein the detection unit is a vertical direction of the second line sensor with respect to the first line sensor. Detect the tilt of the.
  • the corrected image generation unit generates a corrected second X-ray image by enlarging or reducing the second X-ray image in a direction corresponding to the tilt direction of the second line sensor.
  • An X-ray inspection apparatus is the X-ray inspection apparatus according to any one of the first to third aspects, wherein the detection unit is a vertical direction of the second line sensor with respect to the first line sensor. Detecting the deviation.
  • the corrected image generation unit generates a corrected second X-ray image by enlarging or reducing the second X-ray image.
  • a displacement of the position of the second line sensor in the horizontal direction and / or the vertical direction with respect to the first line sensor is detected, and obtained from the detection result of the second line sensor based on the displacement.
  • the second X-ray image is corrected. Therefore, an accurate inspection result can be obtained even when the line sensor mounting position is displaced. That is, here, a highly reliable X-ray inspection apparatus capable of obtaining a correct inspection result is realized regardless of the displacement of the mounting position of the second line sensor with respect to the first line sensor.
  • FIG. 1 is a schematic view of an inspection system including an X-ray inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. It is an external appearance perspective view of the X-ray inspection apparatus of FIG. It is a simple block diagram inside the shield box of the X-ray inspection apparatus of FIG. It is an example of the graph which shows the transmitted X-ray dose detected by two line sensors with which the X-ray inspection apparatus of FIG. 2 is provided. It is a block diagram of the X-ray inspection apparatus of FIG. It is an example of the sample used when detecting the shift of the position of the 2nd line sensor to the 1st line sensor.
  • FIG. 7 is an example of a drawing in which a first image and a second image created for the sample of FIG.
  • FIG. 7 is an example of a drawing in which a first image and a second image created for the sample of FIG.
  • FIG. 7 is an example of a drawing in which a first image and a second image created for the sample of FIG.
  • FIG. 7 is an example of a drawing in which a first image and a second image created for the sample of FIG. The 1st image and 2nd image obtained when the 2nd line sensor has shifted
  • FIG. 7 is an example of a drawing in which a first image and a second image created for the sample of FIG. The first image and the second image obtained when the second line sensor is inclined in the vertical direction in the transport direction with respect to the first line sensor are shown.
  • FIG. 7 is an example of a drawing in which a first image and a second image created for the sample of FIG.
  • the 1st image and the 2nd image which are obtained when the 2nd line sensor inclines in the perpendicular direction in the direction orthogonal to the conveyance direction to the 1st line sensor are shown. It is a figure for demonstrating the direction of the shift
  • FIG. 1 is a schematic diagram of an inspection system 100 including an X-ray inspection apparatus 10 according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an external perspective view of the X-ray inspection apparatus 10 according to one embodiment of the present invention.
  • the X-ray inspection apparatus 10 is incorporated in a production line for articles P such as food.
  • the X-ray inspection apparatus 10 is an apparatus that inspects the quality of an article P by irradiating the article P that is continuously conveyed with X-rays.
  • the X-ray inspection apparatus 10 performs a foreign substance inspection for inspecting whether or not foreign matters are mixed into the article P as a quality inspection.
  • the article P is conveyed to the X-ray inspection apparatus 10 by the front conveyor 60 (see FIG. 1).
  • the foreign matter inspection of the article P is performed, and the article P is classified as a good product or a defective product.
  • the result of the foreign substance inspection of the X-ray inspection apparatus 10 is transmitted to the distribution mechanism 70 disposed on the downstream side of the X-ray inspection apparatus 10 (see FIG. 1).
  • the distribution mechanism 70 sends the article P, which is determined as a non-defective product by the X-ray inspection apparatus 10, to the line conveyor 80 (see FIG. 1).
  • the distribution mechanism 70 sends the articles P that are determined as defective products by the X-ray inspection apparatus 10 to the defective product storage conveyors 90 and 91 (see FIG. 1).
  • the X-ray inspection apparatus 10 mainly includes a shield box 11 (see FIG. 2), a conveyor unit 12 (see FIG. 3), an X-ray irradiator 13 (see FIG. 3), and a first line sensor 14 (see FIG. 3). 3), a second line sensor 15 (see FIG. 3), a touch panel display 30 (see FIG. 1), and a controller 20 (see FIG. 5).
  • the shield box 11 (see FIG. 2) is a casing of the X-ray inspection apparatus 10.
  • a conveyor unit 12 In the shield box 11, a conveyor unit 12, an X-ray irradiator 13, a first line sensor 14, a second line sensor 15, and a controller 20 are accommodated.
  • a touch panel display 30, a key slot, a power switch, and the like are arranged on the upper front portion of the shield box 11.
  • the opening 11a for carrying in / out the goods P is formed in the upstream and downstream side surfaces of the shield box 11 in the transport direction D (see FIG. 3) of the conveyor unit 12 (see FIG. 2).
  • the opening 11a is closed by a shielding nole 19 that suppresses X-ray leakage to the outside of the shield box 11 (see FIG. 2).
  • the shielding nolen 19 is made of rubber containing tungsten. The shielding nolen 19 is transported by the conveyor unit 12 when the article P or the sample S described later is carried into the shield box 11 or when the article P or the sample S is carried out of the shield box 11. It is pushed away by the article P or the sample S.
  • the conveyor unit 12 is an example of a conveying unit that conveys the article P. As shown in FIG. 2, the conveyor unit 12 is disposed so as to penetrate through the openings 11 a formed on both side surfaces of the shield box 11.
  • the conveyor unit 12 mainly includes an inverter type conveyor motor 12a (see FIG. 5), an encoder 12b (see FIG. 5), a conveyor roller 12c (see FIG. 3), and an endless belt 12d (see FIG. 3).
  • the encoder 12b is attached to the conveyor motor 12a.
  • the conveyor roller 12c is driven by the conveyor motor 12a. By driving the conveyor roller 12c, the belt 12d rotates and the article P on the belt 12d is conveyed downstream (toward the sorting mechanism 70 side).
  • the encoder 12 b detects the number of rotations of the conveyor motor 12 a and transmits the detection result to the controller 20.
  • the X-ray irradiator 13 is an example of an X-ray source.
  • the X-ray irradiator 13 irradiates the article P conveyed by the conveyor unit 12 with X-rays. As shown in FIG. 3, the X-ray irradiator 13 is disposed above the conveyor unit 12.
  • the X-ray irradiator 13 irradiates the fan-shaped irradiation range Y with X-rays toward the first line sensor 14 and the second line sensor 15 disposed below the conveyor unit 12.
  • the irradiation range Y of the X-ray irradiator 13 extends perpendicular to the transport surface of the conveyor unit 12 as shown in FIG. Further, the irradiation range Y extends in a direction orthogonal to the conveying direction D of the conveyor unit 12 (width direction of the belt 12d).
  • the first line sensor 14 and the second line sensor 15 detect X-rays irradiated from the X-ray irradiator 13 and transmitted through the article P and the belt 12d.
  • the first line sensor 14 and the second line sensor 15 are sensors that detect X-rays in different energy bands (wavelengths).
  • the first line sensor 14 detects X-rays in a low energy band (having a relatively long wavelength).
  • the second line sensor 15 detects X-rays in a high energy band (having a relatively short wavelength) different from the energy band detected by the first line sensor 14.
  • the first line sensor 14 and the second line sensor 15 are arranged side by side as shown in FIG.
  • the second line sensor 15 is disposed below the first line sensor 14.
  • X-rays in a low energy band are detected by the first line sensor 14.
  • the medium energy band X-ray in the intermediate energy band between the high energy band and the low energy band described above
  • the second line sensor 15 Is removed by a filter (not shown) arranged between the two.
  • the X-ray in the high energy band that has passed through the filter is detected by the second line sensor 15.
  • the first line sensor 14 is mainly composed of a large number of X-ray detection elements 14a (see FIG. 3).
  • the second line sensor 15 is mainly composed of a large number of X-ray detection elements 15a (see FIG. 3).
  • the first line sensor 14 and the second line sensor 15 are installed at predetermined designed positions so that the X-ray detection elements 14a and 15a are horizontally oriented in a direction perpendicular to the transport direction D of the conveyor unit 12. Designed to be installed on a straight line.
  • the first line sensor 14 and the second line sensor 15 may be installed at a position shifted in a horizontal direction and / or a vertical direction from a predetermined position during assembly.
  • the direction in which the X-ray detection elements 14a and 15a are arranged may be inclined from the direction orthogonal to the transport direction D of the conveyor unit 12 or may not be horizontal. Even if the X-ray detection elements 14a and 15a are arranged in a direction orthogonal to the transport direction D and horizontally aligned on a straight line, the first line sensor 14 and the second line sensor 15 are originally installed.
  • the X-ray detection elements 14a and 15a may be shifted in the conveyance direction D of the article P, in the direction orthogonal to the conveyance direction D, or in the vertical direction (up and down direction).
  • the first and second line sensors 14 and 15 detect the X-ray dose (transmitted X-ray dose) transmitted through the article P and the belt 12d with respect to the X-rays in the respective energy bands, and X-rays based on the transmitted X-ray dose. Outputs a transmitted signal.
  • the first and second line sensors 14 and 15 output an X-ray transmission signal corresponding to the intensity of the transmitted X-ray.
  • the intensity of the transmitted X-ray depends on the magnitude of the transmitted X-ray dose.
  • the brightness (luminance) of an image generated by a first X-ray image generation unit 22a of the controller 20, which will be described later, is determined based on an X-ray transmission signal output from the first line sensor 14.
  • the brightness (luminance) of an image generated by a second X-ray image generation unit 22b of the controller 20 to be described later is determined based on an X-ray transmission signal output from the second line sensor 15.
  • FIG. 4 is a graph showing an example of transmitted X-ray dose (detection amount) detected by the X-ray detection element 14a of the first line sensor 14 and the X-ray detection element 15a of the second line sensor 15. Since there are two line sensors 14 and 15 having different X-ray energy bands to be detected, a graph of the detection result of the first line sensor 14 (solid line G1) and a graph of the detection result of the second line sensor 15 (broken line) G2) is obtained (see FIG. 4). The horizontal axis of the graph of FIG. 4 corresponds to the position of each X-ray detection element 14a, 15a.
  • the horizontal axis of the graph corresponds to the distance in the direction orthogonal to the conveyance direction D of the conveyor unit 12 (the width direction of the belt 12d).
  • the vertical axis of the graph indicates the transmitted X-ray dose (detection amount) detected by the X-ray detection elements 14a and 15a.
  • the transmission images (first X-ray image and second X-ray image) generated by the first X-ray image generation unit 22a and the second X-ray image generation unit 22b
  • a portion where the transmitted X-ray dose is large is displayed brightly and a portion where the transmitted X-ray dose is small. It appears dark. That is, the brightness (brightness) of the transmission image generated by the first X-ray image generation unit 22a and the second X-ray image generation unit 22b corresponds to the transmitted X-ray dose.
  • the first line sensor 14 also functions as a sensor for detecting the timing when the article P passes through the X-ray irradiation range Y (see FIG. 3). Specifically, when the article P conveyed by the conveyor unit 12 comes to an upper position (irradiation range Y) of the first line sensor 14, any of the X-ray detection elements 14a of the first line sensor 14 is predetermined. An X-ray transmission signal (first signal) indicating a voltage below the threshold is output. Further, when the article P finishes passing through the irradiation range Y, all the X-ray detection elements 14a of the first line sensor 14 output an X-ray transmission signal (second signal) indicating a voltage exceeding a predetermined threshold. The presence or absence of the article P in the irradiation range Y is detected by inputting the first signal and the second signal to the controller 20 described later.
  • the touch panel display 30 is a liquid crystal display having a touch panel function.
  • the touch panel display 30 is electrically connected to the controller 20 and exchanges signals with the controller 20.
  • the touch panel display 30 functions as a display unit and an input unit.
  • the touch panel display 30 displays, for example, an X-ray image, a result of foreign object inspection, and the like.
  • the touch panel display 30 receives various settings and various information input by the operator.
  • the controller 20 controls the operation of each part of the X-ray inspection apparatus 10. Further, the controller 20 performs a foreign substance inspection based on the detection result of the X-ray transmission amount of the first and second line sensors 14 and 15.
  • the controller 20 is mainly composed of a CPU (Central Processing Unit), ROM (Read Only Memory), RAM (Random Access Memory), HDD (Hard Disk Drive), and the like.
  • CPU Central Processing Unit
  • ROM Read Only Memory
  • RAM Random Access Memory
  • HDD Hard Disk Drive
  • the controller 20 has a storage unit 21 and a control unit 22 as shown in FIG.
  • the controller 20 includes a display control circuit, a key input circuit, a communication port, and the like (not shown).
  • the display control circuit is a circuit that controls data display on the touch panel display 30.
  • the key input circuit is a circuit that captures key input data input by an operator via the touch panel of the touch panel display 30.
  • the communication port enables connection to a printer, an external device such as the distribution mechanism 70, and a network such as a LAN.
  • the controller 20 is electrically connected to the conveyor motor 12a, the encoder 12b, the X-ray irradiator 13, the first line sensor 14, the second line sensor 15, and the touch panel display 30 (see FIG. 5).
  • the controller 20 acquires data related to the rotation speed of the conveyor motor 12a from the encoder 12b, and grasps the moving distance and moving speed of the article P based on the data.
  • the storage unit 21 is mainly composed of ROM, RAM, HDD, and the like, and controls various programs executed by the control unit 22 and each unit of the X-ray inspection apparatus 10. Various settings and various information are stored. As shown in FIG. 5, the storage unit 21 includes a brightness adjustment type storage area 21a and a correction parameter storage area 21b.
  • the brightness adjustment formula storage area 21a stores the brightness adjustment formula.
  • the brightness adjustment formula is information used by the determination unit 22e of the control unit 22 described later to adjust the luminance of each pixel of the second X-ray image or the corrected second X-ray image described later.
  • the first line sensor 14 and the second line sensor 15 detect X-rays transmitted through the article P that does not contain foreign matters, and a first X-ray image and a corrected second X-ray image (described later) based on the detection result.
  • the second corrected X-ray image (or the second X-ray image), and the corrected second X-ray image (or the second X-ray image) is adjusted based on the X-rays that have passed through the same part of the article P.
  • the brightness of the pixels of the obtained first X-ray image and the corrected second X-ray image (or the second X-ray image) after the brightness adjustment are determined to match.
  • the brightness adjustment formula is stored in the brightness adjustment formula storage area 21a in advance for each type of the article P, for example.
  • the present invention is not limited to this, and the brightness adjustment formula may be input from the touch panel display 30, for example.
  • the brightness adjustment formula is obtained by obtaining the first X-ray image and the corrected second X-ray image (or the second X-ray image) for the article P that is known not to contain a foreign object, for example, at the time of a test run, and thereby the control unit 22. May be generated.
  • the correction parameter storage area 21b stores correction parameters calculated by the calculation unit 22cb of the correction parameter generation unit 22c described later.
  • the correction parameter is a parameter used by the corrected image generation unit 22d described later to generate a corrected second X-ray image obtained by correcting the second X-ray image of the article P obtained based on the detection result of the second line sensor 15. is there.
  • the control unit 22 is mainly configured by a CPU, and controls the operation of each unit of the X-ray inspection apparatus 10 by executing a program stored in the storage unit 21. In addition, the control unit 22 executes a program stored in the storage unit 21 to perform a foreign object inspection based on the detection results of the X-ray transmission amounts of the first line sensor 14 and the second line sensor 15.
  • the control unit 22 mainly includes a first X-ray image generation unit 22a, a second X-ray image generation unit 22b, a correction parameter generation unit 22c, a correction image generation unit 22d, and a determination unit 22e as functional units (see FIG. 5). .
  • the first X-ray image generation unit 22a generates a transmission image based on the transmitted X-ray dose of the X-ray in the low energy band detected by the first line sensor 14. A first X-ray image (low energy X-ray image) is generated.
  • the first X-ray image generation unit 22a finely transmits an X-ray transmission signal corresponding to the intensity of the X-ray transmitted through the article P or the like, which is output from each X-ray detection element 14a of the first line sensor 14.
  • a first X-ray image is generated based on the acquired X-ray transmission signal acquired at time intervals.
  • the first X-ray image generation unit 22a generates the first X-ray based on the X-ray transmission signal output from each X-ray detection element 14a when the article P passes through the X-ray irradiation range Y (see FIG. 3). Generate an image.
  • the first X-ray image generation unit 22a generates a first X-ray image by connecting data for each fine time interval related to the X-ray intensity obtained from each X-ray detection element 14a in a matrix in time series. Whether or not the article P is present in the X-ray irradiation range Y is determined by the signal output from the first line sensor 14 as described above.
  • the first X-ray image generated by the first X-ray image generation unit 22a a portion with a large amount of transmitted X-ray detected by the X-ray detection element 14a is displayed brightly (lightly and with high brightness), and a portion with a small amount of transmitted X-ray is dark ( Dark and low brightness).
  • the first X-ray image is, for example, an image having 256 gradations.
  • the second X-ray image generation unit 22b generates a transmission image based on the transmission X-ray dose of X-rays in the high energy band detected by the second line sensor 15. A second X-ray image (high energy X-ray image) is generated.
  • the second X-ray image generation unit 22b differs from the first X-ray image generation unit 22a in that an X-ray image is generated based on an X-ray transmission signal output from each X-ray detection element 15a of the second line sensor 15. .
  • the second X-ray image generation unit 22b generates an image obtained by further reducing the X-ray image generated based on the X-ray transmission signal output from the X-ray detection element 15a at a predetermined magnification as the second X-ray image. The point is different from the first X-ray image generation unit 22a.
  • the second X-ray image generation unit 22b performs such processing for the following reason.
  • a process for obtaining a difference image between the first X-ray image and the second X-ray image (including a corrected second X-ray image obtained by correcting the second X-ray image) is performed. For this reason, it is preferable to match the sizes of the first X-ray image and the second X-ray image.
  • the second line sensor 15 is installed below the first line sensor 14. In the X-ray inspection apparatus 10, X-rays are irradiated from the X-ray irradiator 13 to the fan-shaped irradiation range Y.
  • the second X-ray image generation unit 22b is designed to attach the first line sensor 14 and the second line sensor 15 to the X-ray image generated based on the X-ray transmission signal output from the X-ray detection element 15a. A process of reducing at a predetermined magnification calculated based on the predetermined position is performed.
  • the X-ray image reduction processing at a predetermined magnification performed by the second X-ray image generation unit 22b is based on the premise that the first line sensor 14 and the second line sensor 15 are arranged at designed predetermined positions. It is processing.
  • the correction of the second X-ray image generation of the corrected second X-ray image, which is performed in order to cope with the fact that the line sensors 14 and 15 are mounted out of position, will be described later.
  • the correction parameter generation unit 22c detects a shift in the horizontal and vertical positions of the second line sensor 15 with respect to the first line sensor 14, and the second line sensor
  • the correction image generation unit 22d generates a correction parameter for generating a corrected second X-ray image in accordance with the 15 position shift.
  • the corrected second X-ray image is the first X-ray based on the X-ray that has passed through a certain part of the article P in order for the determination unit 22e described later to perform a difference process between the first X-ray image and the second X-ray image.
  • This is an image obtained by performing a correction process on the second X-ray image so that the pixel of the image and the pixel of the X-ray image based on the X-ray that has passed through the same part of the article P overlap.
  • the correction parameter generation unit 22c includes a detection unit 22ca and a calculation unit 22cb as sub function units.
  • the detecting unit 22ca detects a shift of the position of the second line sensor 15 in the horizontal direction and the vertical direction with respect to the first line sensor 14.
  • the calculation unit 22cb is used by the correction image generation unit 22d to generate a corrected second X-ray image when the detection unit 22ca detects a displacement of the position of the second line sensor 15 with respect to the first line sensor 14. A correction parameter is calculated.
  • the corrected image generating unit 22d obtains the second X-ray of the article P obtained based on the detection result of the second line sensor 15 based on the detection result of the detecting unit 22ca.
  • a corrected second X-ray image obtained by correcting the image is generated.
  • the correction image generation unit 22d detects the correction parameter stored in the correction parameter storage area 21b when the detection unit 22ca detects a shift of the position of the second line sensor 15 with respect to the first line sensor 14. Is used to generate a corrected second X-ray image obtained by correcting the second X-ray image of the article P.
  • the generation process of the corrected second X-ray image by the corrected image generation unit 22d will be described later.
  • the determining unit 22e includes a first X-ray image generated by the first X-ray image generating unit 22a and a second X-ray image generated by the second X-ray image generating unit 22b, or Based on the corrected second X-ray image generated by the corrected image generation unit 22d, the presence or absence of foreign matter in the article P is determined.
  • the determination unit 22e determines whether foreign matter is mixed in the article P as follows.
  • the determination unit 22e uses the second X-ray image when the corrected second X-ray image is not generated, and uses the corrected second X-ray image when the corrected second X-ray image is generated. I do. In the following description, a case where the determination unit 22e uses the corrected second X-ray image will be described as an example. When the determination unit 22e uses the second X-ray image, the corrected second X-ray image described below may be read as the second X-ray image.
  • the determination unit 22e performs a process of adjusting the brightness of the corrected second X-ray image using the brightness adjustment formula stored in the brightness adjustment formula storage area 21a.
  • the determination unit 22e generates a difference image based on the luminance difference of each pixel between the first X-ray image and the corrected second X-ray image whose luminance has been adjusted.
  • the brightness adjustment formula generates the first X-ray image and the corrected second X-ray image based on the X-rays transmitted through the article P that does not include foreign matters, and the brightness adjustment formula is used to adjust the brightness of the corrected second X-ray image.
  • the determination unit 22e uses this to determine whether foreign matter is mixed into the article P based on the difference image.
  • the determination result (result of the foreign substance inspection) by the determination unit 22e is output to the touch panel display 30. Further, the determination result by the determination unit 22e is transmitted to the distribution mechanism 70.
  • the processing by the correction parameter generation unit 22c is executed, for example, when the X-ray inspection apparatus 10 is installed or during a trial operation, and the correction parameter generation unit 22c detects in advance a displacement of the second line sensor 15 with respect to the first line sensor 14. To do.
  • the correction parameter generation unit 22c is operated by the operator on the touch panel display 30 to detect a correction parameter generation command (detection of displacement of the second line sensor 15 relative to the first line sensor 14). It is executed when a command is input.
  • the sample S is transported by the conveyor unit 12 instead of the article P.
  • Sample S has a known shape.
  • the sample S is a flat plate formed in a rectangular shape in plan view and having a constant thickness (see FIG. 6).
  • the sample S conveyed by the conveyor unit 12 is irradiated with X-rays from the X-ray irradiator 13.
  • the correction parameter generation unit 22c detects a displacement of the position of the second line sensor 15 with respect to the first line sensor 14 based on the result of detection of the X-rays transmitted through the sample S by the first line sensor 14 and the second line sensor 15. To do.
  • the correction parameter generation unit 22 c uses the first X-ray image generated based on the X-ray transmission X-ray amount in the low energy band detected by the first line sensor 14, and the second line sensor 15. A shift of the second line sensor 15 with respect to the first line sensor 14 is detected based on the second X-ray image generated based on the detected transmitted X-ray dose of the X-ray in the high energy band.
  • the correction parameter generation unit 22c causes the correction image generation unit 22d to generate a corrected second X-ray image according to the displacement of the position. Generate correction parameters to use.
  • the first image C1 and the second image C2 are used for detection of displacement of the position of the second line sensor 15 relative to the first line sensor 14 and generation of correction parameters (see FIGS. 7 to 12). ).
  • the first image C1 is an image obtained by binarizing the first X-ray image of the sample S with a predetermined threshold so as to be classified into a pixel in which the sample S exists and a pixel in the background portion.
  • an area where the pixel where the sample S exists is called a first area A1 (see FIGS. 7 to 12).
  • the second image C2 is an image obtained by binarizing the second X-ray image of the sample S with a predetermined threshold so that the second X-ray image of the sample S is classified into a pixel in which the sample S exists and a background portion pixel.
  • a region where the pixel in which the sample S exists in the second image C2 is referred to as a second region A2 (see FIGS. 7 to 12).
  • FIGS. 7 to 12 are examples of drawings in which the first image C1 and the second image C2 created for the sample S are drawn in an overlapping manner.
  • the first image C1 and the second image C2 are the first region A1, the second region A2, and the second region A2 when there is no displacement of the position of the second line sensor 15 with respect to the first line sensor 14.
  • the alternate long and two short dashes line indicates the edge of the first image C1 and the second image C2
  • the area surrounded by the solid line indicates the first area A1
  • the area surrounded by the broken line indicates the second area A2. Is shown.
  • the transport direction D of the conveyor unit 12 is a direction corresponding to the transport direction of the sample S (the transport direction D of the conveyor unit 12).
  • the direction opposite to the direction D ′ is the rear
  • the direction D ′ is the direction
  • the right side is called the right side
  • the left side when facing the direction D ′ is called the left side (see FIGS. 7 to 12).
  • the case where the first line sensor 14 is installed at a designed predetermined position will be described as an example.
  • the rectangular sample S will be described as an example in which the long side is placed on the belt 12d in such a posture that the long side extends along the transport direction D of the conveyor unit 12.
  • the present invention is not limited to this, and the sample S may be placed on the belt 12d in an arbitrary posture.
  • the detection unit 22ca detects the displacement of the horizontal and vertical positions of the second line sensor with respect to the first line sensor 14 for the following six patterns (a) to (f).
  • the calculation unit 22cb calculates a correction parameter when the detection unit 22ca detects a shift in the position of the second line sensor 15.
  • the detection unit 22ca detects that the second line sensor 15 is displaced in the vertical direction with respect to the first line sensor 14 when the sizes of the first area A1 and the second area A2 are different. Specifically, the detection unit 22ca, for example, the value of the ratio of the left end length L21 of the second region A2 to the left end length L11 of the first region A1 and the rear end length L12 of the first region A1.
  • the second line sensor 15 is displaced in the vertical direction with respect to the first line sensor 14 when the ratio of the length L22 of the rear end of the second area A2 to the second area A2 is the same value other than 1. Is detected (see FIG. 7).
  • region A2 is grasped
  • the calculation unit 22cb can detect the first region A1 by enlarging or reducing the second region A2. Is calculated as the enlargement / reduction ratio K. Specifically, for example, the calculation unit 22cb calculates a value obtained by dividing L11 by L21 as the enlargement / reduction ratio K (see FIG. 7). The calculated scaling factor K is stored in the correction parameter storage area 21b as a correction parameter.
  • the detection unit 22ca detects the horizontal inclination of the second line sensor 15 relative to the first line sensor 14 (horizontal position rotation deviation) and the positional deviation of the second line sensor 15.
  • the calculation of the correction parameter by the calculation unit 22cb when the error is detected will be described with reference to FIG.
  • the horizontal inclination of the second line sensor 15 with respect to the first line sensor 14 means a rotational shift in the direction of arrow b in FIG. 13C.
  • the detection unit 22ca detects the horizontal inclination of the second line sensor 15 with respect to the first line sensor 14 based on the inclination of the second area A2 with respect to the first area A1. Specifically, the detection unit 22ca performs the horizontal direction of the second line sensor 15 with respect to the first line sensor 14 based on the inclination of the left end line H21 of the second area A2 with respect to the left end line H11 of the first area A1. Detect the tilt of the.
  • the detection unit 22ca since the left end line H11 of the first area A1 extends in parallel to the direction D ′ as shown in FIG. 8, the detection unit 22ca includes the direction D ′ and the left end line H21 of the second area A2. It is determined whether or not they are parallel, and if they are not parallel, the horizontal inclination of the second line sensor 15 relative to the first line sensor 14 is detected.
  • the calculating unit 22cb calculates the angle of the inclination of the second area A2 with respect to the first area A1 when the detecting part 22ca detects the horizontal inclination of the second line sensor 15 with respect to the first line sensor 14. Specifically, the calculation unit 22cb calculates, for example, the angle ⁇ of the left end line H21 of the second region A2 with respect to the direction D ′ as a correction parameter (see FIG. 8).
  • the angle ⁇ is expressed as a positive value when the leftmost line H21 of the second region A2 is tilted counterclockwise with respect to the direction D ′, and the angle ⁇ is negative when tilted clockwise. Represented by the value of.
  • the calculated angle ⁇ is stored in the correction parameter storage area 21b as a correction parameter.
  • the detection unit 22ca detects a shift of the second line sensor 15 to the upstream side or the downstream side in the transport direction D with respect to the first line sensor 14 based on a shift in the front-rear direction of the second area A2 with respect to the first area A1. . Specifically, the detection unit 22ca detects the first line sensor 15 when the position of the rear end line H12 of the first area A1 does not match the position of the rear end line H22 of the second area A2. A positional shift to the upstream or downstream side in the transport direction D with respect to the line sensor 14 is detected (see FIG. 9).
  • the calculation unit 22cb detects the shift of the position of the second line sensor 15 to the upstream side or the downstream side in the transport direction D with respect to the first line sensor 14, and the first region A1 of the second region A2 is detected.
  • the amount of positional deviation with respect to is calculated. Specifically, for example, the calculation unit 22cb calculates a distance B1 between the position of the rear end line H12 of the first area A1 and the position of the rear end line H22 of the second area A2 (see FIG. 9). .
  • the calculation unit 22cb shifts the distance B1 to a positive value and backward. If it is, the value of the distance B1 is expressed as a negative value.
  • the calculated distance B1 is stored in the correction parameter storage area 21b as a correction parameter.
  • the detection unit 22ca detects a shift in the direction perpendicular to the conveyance direction D of the second line sensor 15 with respect to the first line sensor 14 in plan view, based on the shift in the left-right direction of the second area A2 with respect to the first area A1. To do. Specifically, the detection unit 22ca detects the position of the second line sensor 15 in a plan view when the position of the left end line H11 of the first area A1 does not match the position of the left end line H21 of the second area A2. The shift of the position in the direction orthogonal to the conveyance direction D with respect to the first line sensor 14 is detected (see FIG. 10).
  • the calculation unit 22cb The size of the positional deviation with respect to one area A1 is calculated. Specifically, for example, the calculation unit 22cb calculates a distance B2 between the position of the leftmost line H11 in the first area A1 and the position of the leftmost line H21 in the second area A2. When the left end line H21 of the second area A2 is shifted to the left side with respect to the left end line H11 of the first area A1, the calculation unit 22cb has a positive value for the distance B2 and is shifted to the right side. Represents the value of the distance B2 as a negative value. The calculated distance B2 is stored in the correction parameter storage area 21b as a correction parameter.
  • the detection unit 22ca detects the vertical inclination of the second line sensor 15 with respect to the first line sensor 14 along the conveyance direction D based on the enlargement / reduction of the second area A2 with respect to the first area A1 in the direction D ′. To do. Specifically, the detector 22ca detects the ratio of the left end length L21 of the second area A2 to the left end length L11 of the first area A1 and the first end length L12 of the first area A1. When the ratio value of the rear end length L22 of the two areas A2 is not the same, the detection unit 22ca detects a vertical inclination along the transport direction D of the second line sensor 15 with respect to the first line sensor 14. (See FIG. 11).
  • the calculation unit 22cb determines the expansion / contraction magnification M in the front-rear direction of the second image C2 when the detection unit 22ca detects a vertical inclination of the second line sensor 15 with respect to the first line sensor 14 along the conveyance direction D. To do. Specifically, the calculation unit 22cb calculates the ratio (L11 / L21) of the left end length L11 of the first area A1 to the left end length L21 of the second area A2 as the enlargement / reduction ratio M (FIG. 11). reference). The calculated scaling factor M is stored in the correction parameter storage area 21b as a correction parameter.
  • the detection unit 22ca is in the transport direction D of the second line sensor 15 with respect to the first line sensor 14. Detects vertical tilt along the orthogonal direction. Specifically, the detection unit 22ca has a ratio value of the left end length L11 of the first area A1 to the left end length L21 of the second area A2, and a second value of the right end length L13 of the first area A1.
  • the detection unit 22ca is a direction orthogonal to the transport direction D of the second line sensor 15 with respect to the first line sensor 14 (See FIG. 12).
  • the calculation unit 22cb detects the front-rear direction of the left end of the second image C2.
  • the enlargement / reduction magnification N1 and the enlargement / reduction magnification N2 in the front-rear direction of the right end of the second image C2 are determined.
  • the calculation unit 22cb calculates the value of L11 / L21 and the value of L13 / L21 based on the ratio value and the information indicating where the left end and the right end of the second area A2 exist in the second image C2.
  • the enlargement / reduction magnification N1 at the left end of the second image C2 and the enlargement / reduction magnification N2 at the right end of the second image C2 are calculated so that the value of L23 matches.
  • the calculation unit 22cb determines that the partial longitudinal scaling factor of the second image C2 continuously changes from the scaling factor N1 to the scaling factor N2 from the left end to the right end along the left-right direction.
  • the scaling factors N1 and N2 are calculated so that the two ratio values (L11 / L21 and L13 / L23) match.
  • the enlargement / reduction magnification N1 and the enlargement / reduction magnification N2 are determined so that the central portion in the left-right direction of the second image C2 is neither enlarged nor reduced.
  • the corrected image generation unit 22d generates a corrected second X-ray image obtained by correcting the second X-ray image E of the article P based on the detection result of the detection unit 22ca of the correction parameter generation unit 22c. Specifically, the correction image generation unit 22d is calculated when the detection unit 22ca detects a shift of the position of the second line sensor 15 with respect to the first line sensor 14 and the correction parameter is calculated by the calculation unit 22cb. A corrected second X-ray image obtained by correcting the second X-ray image E of the article P is generated using the correction parameters (stored in the correction parameter storage area 21b).
  • the corrected image generation unit 22d generates a corrected second X-ray image as shown in (a) to (f) below using the correction parameters stored in the correction parameter storage area 21b.
  • the correction image generation unit 22d corrects the second X-ray image E by enlarging or reducing the second X-ray image E at the enlargement / reduction ratio K stored in the correction parameter storage area 21b. A second X-ray image is generated.
  • the correction image generation unit 22d rotates the second X-ray image E clockwise by the angle ⁇ stored in the correction parameter storage area 21b (the angle ⁇ is If the value is negative, it is rotated counterclockwise) to generate a corrected second X-ray image.
  • the corrected image generation unit 22d moves the second X-ray image E backward by the distance B1 stored in the correction parameter storage area 21b.
  • a corrected second X-ray image is generated (see FIG. 14).
  • the corrected image generation unit 22d outputs the second X-ray image E upstream of the direction D ′′ corresponding to the upstream or downstream side of the transport direction D by the distance B1 stored in the correction parameter storage area 21b.
  • the corrected second X-ray image is generated by moving it downstream (see FIG. 14).
  • the correction image generation unit 22d moves the second X-ray image E to the right by the distance B2 stored in the correction parameter storage area 21b.
  • a corrected second X-ray image is generated (see FIG. 14).
  • the corrected image generation unit 22d sets the second X-ray image E in the direction orthogonal to the direction D ′′ corresponding to the direction orthogonal to the transport direction D by the distance B2 stored in the correction parameter storage area 21b. By moving it, a corrected second X-ray image is generated (see FIG. 14).
  • the corrected image generation unit 22d converts the second X-ray image E to the second X-ray based on the scaling factor M stored in the correction parameter storage area 21b.
  • the line image E is enlarged / reduced by the enlargement / reduction ratio M in the front-rear direction to generate a corrected second X-ray image. That is, the corrected image generation unit 22d enlarges or reduces the second X-ray image E in the direction D ′′ corresponding to the tilt direction (conveyance direction D) of the second line sensor 15, thereby generating the corrected second X-ray image.
  • Generate see FIG. 14).
  • the correction image generation unit 22d converts the second X-ray image E into the enlargement / reduction magnification N1 and the enlargement / reduction stored in the correction parameter storage area 21b. Based on the magnification N2, the left end of the second X-ray image is enlarged / reduced in the front-rear direction by the enlargement / reduction magnification N1, and the right end of the second X-ray image E is reduced / enlarged in the front-rear direction by the enlargement / reduction magnification N2.
  • the corrected image generation unit 22d continuously changes from the enlargement / reduction ratio N1 to the enlargement / reduction ratio N2 from the left end to the right end of the second X-ray image at an intermediate portion between the left end and the right end of the second X-ray image.
  • the image is enlarged / reduced in the front-rear direction at the enlargement / reduction ratio determined as described above.
  • the corrected image generation unit 22d enlarges / reduces the second X-ray image enlarged / reduced in the front-rear direction by the enlargement / reduction ratio N3 in the left-right direction based on the enlargement / reduction ratio N3 stored in the correction parameter storage area 21b. Then, a corrected second X-ray image is generated.
  • the corrected image generation unit 22d enlarges the second X-ray image on one end side in the direction orthogonal to the direction D ′′ corresponding to the inclination direction of the second line sensor 15 (direction orthogonal to the transport direction D). Then, the corrected second X-ray image is generated by reducing on the other end side (see FIG. 14). Further, the corrected image generation unit 22d enlarges or reduces the second X-ray image in a direction orthogonal to the direction D ′′ corresponding to the inclination direction of the second line sensor 15 (direction orthogonal to the transport direction D). Thus, a corrected second X-ray image is generated (see FIG. 14).
  • the X-ray inspection apparatus 10 includes a conveyor unit 12 as a transport unit, an X-ray irradiator 13 as an X-ray source, a first line sensor 14, a second line sensor 15, and a detection unit 22ca. And a corrected image generation unit 22d.
  • the conveyor unit 12 conveys the article P.
  • the X-ray irradiator 13 irradiates the article P conveyed by the conveyor unit 12 with X-rays.
  • the first line sensor 14 detects X-rays transmitted through the article P in a low energy band.
  • the second line sensor 15 detects X-rays transmitted through the article P in a high energy band different from the low energy band.
  • the detection unit 22ca detects a shift of the position of the second line sensor 15 in the horizontal direction and the vertical direction with respect to the first line sensor 14.
  • the corrected image generation unit 22d generates a corrected second X-ray image obtained by correcting the second X-ray image of the article P obtained based on the detection result of the second line sensor 15 based on the detection result of the detection unit 22ca.
  • the second line sensor 15 is disposed below the first line sensor 14.
  • the high energy band as the second energy band is a higher energy band than the low energy band as the first energy band.
  • the first line sensor 14 is disposed above the second line sensor 15, an object (obstacle) through which X-rays pass before reaching the first line sensor 14 from the X-ray irradiator 13.
  • the number of X-rays transmitted from the X-ray irradiator 13 to the second line sensor 15 is smaller than that of an object that passes through. Therefore, the first X-ray image is clearer than the second X-ray image.
  • the first X-ray image that is clearer than the second X-ray image is used as a reference, it is easy to accurately grasp the positional deviation of the second line sensor 15 with respect to the first line sensor 14.
  • the detection unit 22ca irradiates the sample S having a known shape conveyed by the conveyor unit 12 with X-rays from the X-ray irradiator 13 and transmits the sample S. Based on the result detected by the first line sensor 14 and the second line sensor 15, the positional deviation of the second line sensor 15 relative to the first line sensor 14 is detected in advance.
  • the detection unit 22ca detects the horizontal inclination of the second line sensor 15 with respect to the first line sensor 14.
  • the corrected image generation unit 22d generates a corrected second X-ray image by rotating the second X-ray image.
  • An image can be generated to obtain an accurate inspection result.
  • the detection unit 22ca detects a shift of the second line sensor 15 toward the upstream side or the downstream side in the transport direction D of the conveyor unit 12 with respect to the first line sensor 14.
  • the corrected image generation unit 22d generates the corrected second X-ray image by moving the second X-ray image in a direction corresponding to the upstream side or the downstream side in the transport direction D (upstream side or downstream side in the direction D ′′). To do.
  • the corrected second X-ray image obtained by correcting the second X-ray image by image processing also when the upstream line or the downstream side in the transport direction D of the second line sensor 15 with respect to the first line sensor 14 occurs. It is possible to generate an accurate test result.
  • the detection unit 22ca detects a shift in a direction orthogonal to the transport direction D of the conveyor unit 12 with respect to the first line sensor 14 of the second line sensor 15 in plan view.
  • the corrected image generation unit 22d generates the corrected second X-ray image by moving the second X-ray image in a direction (direction orthogonal to the direction D '') corresponding to the direction orthogonal to the transport direction D.
  • the detection unit 22ca detects the inclination of the second line sensor 15 with respect to the first line sensor 14 in the vertical direction.
  • the corrected image generation unit 22d enlarges the second X-ray image on one end side in a direction corresponding to the tilt direction of the second line sensor 15 (direction orthogonal to the direction D ′′) and reduces the second X-ray image on the other end side. Then, a corrected second X-ray image is generated.
  • the detection unit 22ca detects the inclination of the second line sensor 15 with respect to the first line sensor 14 in the vertical direction.
  • the correction image generation unit 22d enlarges or reduces the second X-ray image in a direction (direction D ′′ or a direction orthogonal to the direction D ′′) corresponding to the tilt direction of the second line sensor 15. A corrected second X-ray image is generated.
  • the detection unit 22ca detects a vertical shift of the second line sensor 15 with respect to the first line sensor 14.
  • the corrected image generation unit 22d generates a corrected second X-ray image by enlarging or reducing the second X-ray image.
  • the second line sensor 15 has a shift in any position of the patterns (a) to (f) described in (3-1) with respect to the first line sensor 14.
  • the detection unit 22ca performs combined detection of the positional deviations of the patterns (a) to (f), thereby combining the second line sensor 15 with respect to the first line sensor 14 ((a) to (f)). It is possible to detect a positional shift (a combination of a plurality of patterns).
  • the corrected image generation unit 22d performs the second generation process for the first line sensor 14 by combining the generation processes of the corrected second X-ray images of the patterns (a) to (f) described in (3-2). A corrected second X-ray image can be generated in accordance with the composite positional shift of the line sensor 15.
  • the detection unit 22ca detects the positional deviation of the six types of second line sensors 15 with respect to the first line sensor 14 in the patterns (a) to (f) described in (3-1).
  • the present invention is not limited to this.
  • the detection unit 22ca detects only a part of the positional deviations of the patterns (a) to (f). It may be.
  • the second X-ray image generation unit 22b executes a process of reducing the X-ray image generated based on the X-ray transmission signal output from the X-ray detection element 15a at a predetermined magnification. It does not have to be.
  • the detection unit 22ca detects a displacement of the position of the second line sensor 15 with respect to the first line sensor 14, and the corrected image generation unit 22d generates a corrected second X-ray image obtained by correcting the second X-ray image.
  • the present invention is not limited to this.
  • the detection unit 22ca detects a displacement of the position of the first line sensor 14 with respect to the second line sensor 15, and the corrected image generation unit 22d is configured to generate a corrected first X-ray image obtained by correcting the first X-ray image. May be.
  • the second line sensor 15 Since the second line sensor 15 is disposed below the first line sensor 14, the second X-ray image is more difficult to obtain a clear image than the first X-ray image. Therefore, for example, even when a shift of the position of the first line sensor 14 with respect to the second line sensor 15 is detected, the same configuration as that of the above embodiment may be used for the detection unit 22ca. If the displacement of the position of the second line sensor 15 relative to the first line sensor 14 is detected, it is possible to simultaneously detect the displacement of the position of the first line sensor 14 relative to the second line sensor 15.
  • the displacement of the position of the second line sensor 15 with respect to the first line sensor 14 can be detected particularly accurately. it can.
  • the displacement of the position of the second line sensor 15 with respect to the first line sensor 14 is detected in advance using the sample S, but the present invention is not limited to this.
  • the displacement of the position of the second line sensor 15 with respect to the first line sensor 14 may be detected using the article P to be inspected.
  • the article P is not a shape suitable for detecting the displacement of the position of the second line sensor 15 such as a circular shape in a plan view or a complicated shape
  • the sample P is used in advance. It is preferable that a displacement of the position of the second line sensor 15 is detected.
  • the X-ray inspection apparatus 10 performs foreign matter inspection of the article P.
  • the type of inspection is not limited to foreign matter inspection, and performs various inspections using the corrected second X-ray image. I just need it.
  • the X-ray inspection apparatus of the present invention is useful as a highly reliable X-ray inspection apparatus capable of obtaining an accurate inspection result even when the mounting positions of the two line sensors are displaced.

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Abstract

２つのラインセンサを備えるＸ線検査装置において、ラインセンサの取り付け位置にズレが生じた場合にも、正確な検査結果を得ることが可能な信頼性の高いＸ線検査装置を提供する。Ｘ線検査装置（１０）は、物品を搬送するコンベアユニット、Ｘ線照射器（１３）、第１ラインセンサ（１４）、第２ラインセンサ（１５）、検知部（２２ｃａ）、および補正画像生成部（２２ｄ）を備える。Ｘ線照射器は、コンベアユニットにより搬送される物品にＸ線を照射する。第１ラインセンサは、物品を透過したＸ線を低エネルギー帯で検出する。第２ラインセンサは、物品を透過したＸ線を、高エネルギー帯で検出する。検知部は、第１ラインセンサに対する、第２ラインセンサの水平方向および垂直方向の位置のズレを検知する。補正画像生成部は、検知部の検知結果に基づいて、第２ラインセンサの検出結果に基づいて得られた物品の第２Ｘ線画像を補正した補正第２Ｘ線画像を生成する。

Description

Ｘ線検査装置
　本発明は、Ｘ線検査装置、特には２つのラインセンサを備えたＸ線検査装置に関する。
　２つのラインセンサを備え、各ラインセンサでエネルギー帯の異なるＸ線画像を取得し、取得した２つのＸ線画像の差分画像を用いて、各種検査を行うＸ線検査装置が知られている（例えば、特許文献１（特開２０１２－０７８２５４号公報））。
　このようなＸ線検査装置では、２つのラインセンサにより得られるＸ線画像から適切な差分画像を取得するため、言い換えれば２つのラインセンサの検出結果から得られた２つのＸ線画像において、検査対象物の同じ位置を透過したＸ線の検出結果に基づく画素同士を差分処理するため、２つのＸ線画像を正確に対応付け可能なように、２つのラインセンサの取り付け位置が設計される。
　しかし、ラインセンサの取り付けに高い精度が求められるため、ラインセンサの実際の取り付け位置が、設計された所定位置からずれてしまう場合がある。このような場合には、取得した２つのＸ線画像をそのまま利用しても正確な差分画像を得ることができず、Ｘ線検査装置の検査精度が低下する。
　このような問題を防ぐためには、Ｘ線検査装置の組立工程を厳しく管理するという対応が考えられる。しかし、組立工程を厳しく管理すれば、ラインセンサの取り付け位置のズレの発生は抑制できるが、組立工程の厳しい管理が要求されることで、組立工数の増大等の問題が発生しうる。
　本発明の課題は、２つのラインセンサを備えるＸ線検査装置において、ラインセンサの取り付け位置にズレが生じた場合にも、正確な検査結果を得ることが可能な信頼性の高いＸ線検査装置を提供することにある。
　本発明の第１観点に係るＸ線検査装置は、搬送手段と、Ｘ線源と、第１ラインセンサと、第２ラインセンサと、検知部と、補正画像生成部と、を備える。搬送手段は、物品を搬送する。Ｘ線源は、搬送手段により搬送される物品にＸ線を照射する。第１ラインセンサは、物品を透過したＸ線を第１のエネルギー帯で検出する。第２ラインセンサは、物品を透過したＸ線を、第１のエネルギー帯とは異なる第２のエネルギー帯で検出する。検知部は、第１ラインセンサに対する、第２ラインセンサの水平方向および垂直方向の位置のズレの少なくとも一方を検知する。補正画像生成部は、検知部の検知結果に基づいて、第２ラインセンサの検出結果に基づいて得られた物品の第２Ｘ線画像を補正した補正第２Ｘ線画像を生成する。
　第１観点に係るＸ線検査装置では、第１ラインセンサに対する第２ラインセンサの水平方向、および／又は、垂直方向の位置のズレが検知され、ズレに基づいて第２ラインセンサの検出結果から得られる第２Ｘ線画像の補正が行われる。そのため、ラインセンサの取り付け位置にズレが生じた場合にも、正確な検査結果を得ることができる。つまり、ここでは、第１ラインセンサに対する第２ラインセンサの取り付け位置のズレによらず、正しい検査結果を得ることが可能な信頼性の高いＸ線検査装置が実現される。
　本発明の第２観点に係るＸ線検査装置は、第１観点に係るＸ線検査装置であって、第２ラインセンサは、第１ラインセンサの下方に配置される。第２のエネルギー帯は、第１のエネルギー帯よりも高いエネルギー帯である。
　第２観点に係るＸ線検査装置では、第１ラインセンサは、第２ラインセンサの上方に配置されるため、Ｘ線源から第１ラインセンサに到達するまでにＸ線が透過する物体（障害物）が、Ｘ線源から第２ラインセンサに到達するまでにＸ線が透過する物体に比べて少ない。そのため、第１Ｘ線画像は、第２Ｘ線画像に比べてクリアな画像となる。ここでは、第２Ｘ線画像に比べてクリアな第１Ｘ線画像が基準に用いられるため、第１ラインセンサに対する第２ラインセンサの位置のズレを正確に把握することが容易である。
　本発明の第３観点に係るＸ線検査装置は、第１観点又は第２観点に係るＸ線検査装置であって、検知部は、搬送手段により搬送される既知の形状のサンプルにＸ線源からＸ線を照射し、サンプルを透過したＸ線を第１ラインセンサおよび第２ラインセンサが検出した結果に基づき、第１ラインセンサに対する、第２ラインセンサの位置のズレを予め検知する。
　第３観点に係るＸ線検査装置では、第１ラインセンサに対する第２ラインセンサの位置のズレを、既知の形状のサンプルのＸ線画像を用いて検知することで、より正確に検知することが可能である。
　本発明の第４観点に係るＸ線検査装置は、第１観点から第３観点のいずれかに係るＸ線検査装置であって、検知部は、第２ラインセンサの第１ラインセンサに対する水平方向の傾きを検知する。補正画像生成部は、第２Ｘ線画像を回転させることで補正第２Ｘ線画像を生成する。
　ここでは、第１ラインセンサに対する第２ラインセンサの水平方向の傾き（水平方向の位置の回転ズレ）が生じた場合にも、第２Ｘ線画像を画像処理により補正した補正第２Ｘ線画像を生成して、正確な検査結果を得ることができる。
　本発明の第５観点に係るＸ線検査装置は、第１観点から第３観点のいずれかに係るＸ線検査装置であって、検知部は、第２ラインセンサの第１ラインセンサに対する、搬送手段の搬送方向の上流側又は下流側へのズレを検知する。補正画像生成部は、第２Ｘ線画像を搬送方向の上流側又は下流側に対応する方向に移動させることで、補正第２Ｘ線画像を生成する。
　ここでは、第１ラインセンサに対する第２ラインセンサの搬送方向の上流側又は下流側へのズレが生じた場合にも、第２Ｘ線画像を画像処理により補正した補正第２Ｘ線画像を生成して、正確な検査結果を得ることができる。
　本発明の第６観点に係るＸ線検査装置は、第１観点から第３観点のいずれかに係るＸ線検査装置であって、検知部は、平面視における、第２ラインセンサの第１ラインセンサに対する、搬送手段の搬送方向に直交する方向のズレを検知する。補正画像生成部は、第２Ｘ線画像を搬送方向に直交する方向に対応する方向に移動させることで、補正第２Ｘ線画像を生成する。
　ここでは、第１ラインセンサに対する第２ラインセンサの、搬送方向に垂直な左右方向へのズレが生じた場合にも、第２Ｘ線画像を画像処理により補正した補正第２Ｘ線画像を生成して、正確な検査結果を得ることができる。
　本発明の第７観点に係るＸ線検査装置は、第１観点から第３観点のいずれかに係るＸ線検査装置であって、検知部は、第２ラインセンサの第１ラインセンサに対する垂直方向の傾きを検知する。補正画像生成部は、第２Ｘ線画像を、第２ラインセンサの傾き方向に対応する方向における一端側で拡大させ、他端側で縮小させることで、補正第２Ｘ線画像を生成する。
　ここでは、第１ラインセンサに対して第２ラインセンサが垂直方向に傾いた場合にも、第２Ｘ線画像を画像処理により補正した補正第２Ｘ線画像を生成して、正確な検査結果を得ることができる。
　本発明の第８観点に係るＸ線検査装置は、第１観点から第３観点のいずれかに係るＸ線検査装置であって、検知部は、第２ラインセンサの第１ラインセンサに対する垂直方向の傾きを検知する。補正画像生成部は、第２Ｘ線画像を、第２ラインセンサの傾き方向に対応する方向に拡大又は縮小させることで、補正第２Ｘ線画像を生成する。
　ここでは、第１ラインセンサに対して第２ラインセンサが垂直方向に傾いた場合にも、第２Ｘ線画像を画像処理により補正した補正第２Ｘ線画像を生成して、正確な検査結果を得ることができる。
　本発明の第９観点に係るＸ線検査装置は、第１観点から第３観点のいずれかに係るＸ線検査装置であって、検知部は、第２ラインセンサの第１ラインセンサに対する垂直方向のズレを検知する。補正画像生成部は、第２Ｘ線画像を、拡大又は縮小することで補正第２Ｘ線画像を生成する。
　ここでは、第１ラインセンサに対して第２ラインセンサが上下方向に位置ズレした場合にも、第２Ｘ線画像を画像処理により補正した補正第２Ｘ線画像を生成して、正確な検査結果を得ることができる。
　本発明に係るＸ線検査装置では、第１ラインセンサに対する第２ラインセンサの水平方向、および／又は、垂直方向の位置のズレが検知され、ズレに基づいて第２ラインセンサの検出結果から得られる第２Ｘ線画像の補正が行われる。そのため、ラインセンサの取り付け位置にズレが生じた場合にも、正確な検査結果を得ることができる。つまり、ここでは、第１ラインセンサに対する第２ラインセンサの取り付け位置のズレによらず、正しい検査結果を得ることが可能な信頼性の高いＸ線検査装置が実現される。
本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置を含む検査システムの概略図である。 図１のＸ線検査装置の外観斜視図である。 図２のＸ線検査装置のシールドボックス内部の簡易構成図である。 図２のＸ線検査装置が備える２つのラインセンサによって検出される透過Ｘ線量を示すグラフの一例である。 図２のＸ線検査装置のブロック図である。 第１ラインセンサに対する第２ラインセンサの位置のズレを検知する際に用いるサンプルの一例である。 図６のサンプルに対して作成された第１画像および第２画像を、重ねて描画した図の一例である。第２ラインセンサが、第１ラインセンサに対して垂直方向にずれている場合に得られる、第１画像および第２画像を示している。 図６のサンプルに対して作成された第１画像および第２画像を、重ねて描画した図の一例である。第２ラインセンサが、第１ラインセンサに対して水平方向に傾いている場合に得られる、第１画像および第２画像を示している。 図６のサンプルに対して作成された第１画像および第２画像を、重ねて描画した図の一例である。第２ラインセンサが、第１ラインセンサに対して搬送方向にずれている場合に得られる、第１画像および第２画像を示している。 図６のサンプルに対して作成された第１画像および第２画像を、重ねて描画した図の一例である。第２ラインセンサが、第１ラインセンサに対して、搬送方向に直交する方向にずれている場合に得られる、第１画像および第２画像を示している。 図６のサンプルに対して作成された第１画像および第２画像を、重ねて描画した図の一例である。第２ラインセンサが、第１ラインセンサに対して、搬送方向において垂直方向に傾いている場合に得られる、第１画像および第２画像を示している。 図６のサンプルに対して作成された第１画像および第２画像を、重ねて描画した図の一例である。第２ラインセンサが、第１ラインセンサに対して、搬送方向に直交する方向において垂直方向に傾いている場合に得られる、第１画像および第２画像を示している。 第２ラインセンサの第１ラインセンサに対するずれの方向を説明するための図である。第１および第２ラインセンサを側方から見た図である。図中の矢印Ｄは、コンベアユニットの搬送方向を示す。 第２ラインセンサの第１ラインセンサに対するずれの方向を説明するための図である。第１および第２ラインセンサを搬送方向下流側から見た図である。 第２ラインセンサの第１ラインセンサに対するずれの方向を説明するための図である。第１および第２ラインセンサを上方から見た図である。図中の矢印Ｄは、コンベアユニットの搬送方向を示す。 補正第２Ｘ線画像の生成処理についての説明中で使用する方向について説明するための図である。
　以下、図面を参照して、本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置１０について説明する。なお、以下の実施形態は、本発明の具体例であって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
　（１）全体概要
　図１は、本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置１０を含む検査システム１００の概略図である。図２は、本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置１０の外観斜視図である。
　Ｘ線検査装置１０は、食品などの物品Ｐの生産ラインに組み込まれる。Ｘ線検査装置１０は、連続的に搬送されてくる物品Ｐに対してＸ線を照射することにより、物品Ｐの品質検査を行う装置である。特に、Ｘ線検査装置１０は、品質検査として、物品Ｐへの異物混入の有無を検査する異物検査を行う。
　検査システム１００において、物品Ｐは、前段コンベア６０によってＸ線検査装置１０まで運ばれてくる（図１参照）。Ｘ線検査装置１０では、物品Ｐの異物検査が行われ、物品Ｐが良品又は不良品に区分される。Ｘ線検査装置１０の異物検査の結果は、Ｘ線検査装置１０の下流側に配置されている振分機構７０へと送信される（図１参照）。振分機構７０は、Ｘ線検査装置１０において良品と判断された物品Ｐをラインコンベア８０へと送る（図１参照）。また、振分機構７０は、Ｘ線検査装置１０において不良品と判断された物品Ｐを不良品貯留コンベア９０，９１へと送る（図１参照）。
　（２）詳細説明
　Ｘ線検査装置１０は、主として、シールドボックス１１（図２参照）、コンベアユニット１２（図３参照）、Ｘ線照射器１３（図３参照）、第１ラインセンサ１４（図３参照）、第２ラインセンサ１５（図３参照）、タッチパネル式ディスプレイ３０（図１参照）、およびコントローラ２０（図５参照）を備える。
　（２－１）シールドボックス
　シールドボックス１１（図２参照）は、Ｘ線検査装置１０のケーシングである。シールドボックス１１の中には、コンベアユニット１２、Ｘ線照射器１３、第１ラインセンサ１４、第２ラインセンサ１５、およびコントローラ２０が収容される。また、シールドボックス１１の正面上部には、タッチパネル式ディスプレイ３０や、キーの差し込み口や電源スイッチ等が配置されている。
　シールドボックス１１の、コンベアユニット１２の搬送方向Ｄ（図３参照）の上流側および下流側の側面には、物品Ｐを搬出入するための開口１１ａが形成されている（図２参照）。開口１１ａは、シールドボックス１１の外部へのＸ線の漏洩を抑制する遮蔽ノレン１９により塞がれている（図２参照）。遮蔽ノレン１９は、タングステンを含有するゴム製である。遮蔽ノレン１９は、物品Ｐや、後述するサンプルＳがシールドボックス１１の内部に搬入される時、又は、物品ＰやサンプルＳがシールドボックス１１の外部に搬出される時に、コンベアユニット１２により搬送される物品ＰやサンプルＳによって押しのけられる。
　（２－２）コンベアユニット
　コンベアユニット１２は、物品Ｐを搬送する搬送手段の一例である。コンベアユニット１２は、図２に示すように、シールドボックス１１の両側面に形成された開口１１ａを貫通するように配置されている。
　コンベアユニット１２は、主として、インバータ式のコンベアモータ１２ａ（図５参照）と、エンコーダ１２ｂ（図５参照）と、コンベアローラ１２ｃ（図３参照）と、無端状のベルト１２ｄ（図３参照）と、を有する。エンコーダ１２ｂは、コンベアモータ１２ａに装着されている。コンベアローラ１２ｃは、コンベアモータ１２ａによって駆動される。コンベアローラ１２ｃが駆動されることで、ベルト１２ｄが回転し、ベルト１２ｄ上の物品Ｐが下流に（振分機構７０側に向かって）搬送される。後述するコントローラ２０は、コンベアユニット１２の搬送速度が、オペレータによりタッチパネル式ディスプレイ３０に入力された設定速度になるように、コンベアモータ１２ａをインバータ制御により細かく制御する。エンコーダ１２ｂは、コンベアモータ１２ａの回転数を検出し、検出結果をコントローラ２０に送信する。
　（２－３）Ｘ線照射器
　Ｘ線照射器１３は、Ｘ線源の一例である。Ｘ線照射器１３は、コンベアユニット１２により搬送される物品ＰにＸ線を照射する。Ｘ線照射器１３は、図３に示すように、コンベアユニット１２の上方に配置されている。Ｘ線照射器１３は、コンベアユニット１２の下方に配置される第１ラインセンサ１４および第２ラインセンサ１５に向けて、扇状の照射範囲ＹにＸ線を照射する。Ｘ線照射器１３の照射範囲Ｙは、図３に示すように、コンベアユニット１２の搬送面に対して垂直に延びる。また、照射範囲Ｙは、コンベアユニット１２の搬送方向Ｄに直交する方向（ベルト１２ｄの幅方向）に広がる。
　（２－４）ラインセンサ
　第１ラインセンサ１４および第２ラインセンサ１５は、Ｘ線照射器１３から照射され、物品Ｐやベルト１２ｄを透過したＸ線を検出する。第１ラインセンサ１４および第２ラインセンサ１５は、それぞれ異なるエネルギー帯（波長）のＸ線を検出するセンサである。第１ラインセンサ１４は、低エネルギー帯の（波長の比較的長い）Ｘ線を検出する。第２ラインセンサ１５は、第１ラインセンサ１４の検出するエネルギー帯とは異なる、高エネルギー帯の（波長の比較的短い）Ｘ線を検出する。
　第１ラインセンサ１４および第２ラインセンサ１５は、図３のように、上下に並べて配置されている。第２ラインセンサ１５は、第１ラインセンサ１４の下方に配置される。Ｘ線照射器１３から照射されるＸ線のうち、低エネルギー帯のＸ線は第１ラインセンサ１４で検出される。第１ラインセンサ１４を突き抜けたＸ線のうち、中エネルギー帯（上述した高エネルギー帯と低エネルギー帯との中間のエネルギー帯のＸ線）は、第１ラインセンサ１４と第２ラインセンサ１５との間に配置された図示されないフィルタにより除去される。フィルタを通過した高エネルギー帯のＸ線は、第２ラインセンサ１５で検出される。
　第１ラインセンサ１４は、主として、多数のＸ線検出素子１４ａから構成されている（図３参照）。第２ラインセンサ１５は、主として、多数のＸ線検出素子１５ａから構成されている（図３参照）。第１ラインセンサ１４および第２ラインセンサ１５は、設計された所定位置に設置されることで、Ｘ線検出素子１４ａ，１５ａが、コンベアユニット１２の搬送方向Ｄに直交する向きに、水平に、直線上に設置されるよう設計されている。
　ただし、第１ラインセンサ１４および第２ラインセンサ１５は、組立時に、所定位置から、水平方向、および／又は、垂直方向にずれた位置に設置される場合がある。その結果、Ｘ線検出素子１４ａ，１５ａが並ぶ向きが、コンベアユニット１２の搬送方向Ｄに直交する向きから傾いたり、水平でなくなったりする場合がある。また、Ｘ線検出素子１４ａ，１５ａが、搬送方向Ｄに直交する向きに、かつ、水平に直線上に並ぶように配置されていても、第１ラインセンサ１４および第２ラインセンサ１５が本来設置されるべき所定位置からずれて設置された結果、Ｘ線検出素子１４ａ，１５ａが物品Ｐの搬送方向Ｄ、搬送方向Ｄに直交する方向、又は、垂直方向（上下方向）にずれる場合がある。
　第１および第２ラインセンサ１４，１５は、それぞれが対象とするエネルギー帯のＸ線について、物品Ｐやベルト１２ｄを透過したＸ線量（透過Ｘ線量）を検出し、透過Ｘ線量に基づくＸ線透過信号を出力する。言い換えれば、第１および第２ラインセンサ１４，１５は、透過したＸ線の強度に応じたＸ線透過信号を出力する。透過したＸ線の強度は、透過Ｘ線量の大小に依存する。後述するコントローラ２０の第１Ｘ線画像生成部２２ａが生成する画像の明るさ（輝度）は、第１ラインセンサ１４の出力するＸ線透過信号に基づいて決定される。後述するコントローラ２０の第２Ｘ線画像生成部２２ｂが生成する画像の明るさ（輝度）は、第２ラインセンサ１５の出力するＸ線透過信号に基づいて決定される。
　図４は、第１ラインセンサ１４のＸ線検出素子１４ａおよび第２ラインセンサ１５のＸ線検出素子１５ａによって検出される透過Ｘ線量（検出量）の例を示すグラフである。検出するＸ線のエネルギー帯の異なる２台のラインセンサ１４，１５があることで、第１ラインセンサ１４の検出結果のグラフ（実線Ｇ１）と、第２ラインセンサ１５の検出結果のグラフ（破線Ｇ２）と、が得られる（図４参照）。なお、図４のグラフの横軸は、各Ｘ線検出素子１４ａ，１５ａの位置に対応する。つまり、グラフの横軸は、コンベアユニット１２の搬送方向Ｄに直交する方向（ベルト１２ｄの幅方向）の距離に対応する。グラフの縦軸は、Ｘ線検出素子１４ａ，１５ａで検出された透過Ｘ線量（検出量）を示す。
　第１Ｘ線画像生成部２２ａおよび第２Ｘ線画像生成部２２ｂにより生成される透過画像（第１Ｘ線画像および第２Ｘ線画像）では、透過Ｘ線量の多いところが明るく表示され、透過Ｘ線量が少ないところが暗く表示される。すなわち、第１Ｘ線画像生成部２２ａおよび第２Ｘ線画像生成部２２ｂにより生成される透過画像の明暗（輝度）は、透過Ｘ線量に対応する。
　なお、第１ラインセンサ１４は、物品ＰがＸ線の照射範囲Ｙ（図３参照）を通過するタイミングを検知するためのセンサとしても機能する。具体的には、コンベアユニット１２で搬送される物品Ｐが第１ラインセンサ１４の上方位置（照射範囲Ｙ）に来たとき、第１ラインセンサ１４のＸ線検出素子１４ａのいずれかが所定の閾値以下の電圧を示すＸ線透過信号（第１信号）を出力する。また、物品Ｐが照射範囲Ｙを通過し終えると、第１ラインセンサ１４の全てのＸ線検出素子１４ａは、所定の閾値を上回る電圧を示すＸ線透過信号（第２信号）を出力する。第１信号および第２信号が後述のコントローラ２０に入力されることにより、照射範囲Ｙにおける物品Ｐの有無が検出される。
　（２－５）タッチパネル式ディスプレイ
　タッチパネル式ディスプレイ３０は、タッチパネル機能を有する液晶ディスプレイである。タッチパネル式ディスプレイ３０は、コントローラ２０と電気的に接続されており、コントローラ２０と信号の授受を行う。
　タッチパネル式ディスプレイ３０は、表示部および入力部として機能する。タッチパネル式ディスプレイ３０には、例えば、Ｘ線画像や異物検査の結果等を表示する。また、タッチパネル式ディスプレイ３０は、オペレータによる各種設定や各種情報の入力を受け付ける。
　（２－６）コントローラ
　コントローラ２０は、Ｘ線検査装置１０の各部の動作を制御する。また、コントローラ２０は、第１および第２ラインセンサ１４，１５のＸ線透過量の検出結果に基づいて異物検査を行う。
　コントローラ２０は、主として、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）等によって構成されている。
　コントローラ２０は、図５に示すように、記憶部２１および制御部２２を有する。また、コントローラ２０は、図示しない表示制御回路、キー入力回路、通信ポート等を有する。表示制御回路は、タッチパネル式ディスプレイ３０のデータ表示を制御する回路である。キー入力回路は、タッチパネル式ディスプレイ３０のタッチパネルを介してオペレータにより入力されたキー入力データを取り込む回路である。通信ポートは、プリンタや、振分機構７０等の外部機器やＬＡＮ等のネットワークとの接続を可能にする。
　コントローラ２０は、コンベアモータ１２ａ、エンコーダ１２ｂ、Ｘ線照射器１３、第１ラインセンサ１４、第２ラインセンサ１５、およびタッチパネル式ディスプレイ３０に電気的に接続されている（図５参照）。コントローラ２０は、エンコーダ１２ｂからコンベアモータ１２ａの回転数に関するデータを取得し、当該データに基づき、物品Ｐの移動距離や移動速度を把握する。
　（２－６－１）記憶部
　記憶部２１は、主に、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤＤ等によって構成され、制御部２２により実行される各種プログラムや、Ｘ線検査装置１０の各部を制御するための各種設定や各種情報を記憶する。記憶部２１には、図５のように、輝度調整式記憶領域２１ａ、補正パラメータ記憶領域２１ｂが含まれる。
　（２－６－１－１）輝度調整式記憶領域
　輝度調整式記憶領域２１ａには輝度調整式が記憶される。輝度調整式は、後述する制御部２２の判定部２２ｅが、後述する第２Ｘ線画像又は補正第２Ｘ線画像の各画素の輝度を調整するために用いる情報である。輝度調整式は、異物を含まない物品Ｐを透過したＸ線を第１ラインセンサ１４および第２ラインセンサ１５で検出し、検出結果に基づいて後述する第１Ｘ線画像と補正第２Ｘ線画像（又は第２Ｘ線画像）とを生成し、更に補正第２Ｘ線画像（又は第２Ｘ線画像）については輝度調整式で輝度を調整した場合に、物品Ｐの同一箇所を通過したＸ線に基づいて得られる第１Ｘ線画像および輝度調整後の補正第２Ｘ線画像（又は第２Ｘ線画像）の画素の輝度が一致するように決定されている。輝度調整式は、例えば、物品Ｐの種類毎に、予め輝度調整式記憶領域２１ａに記憶されている。ただし、これに限定されるものではなく、輝度調整式は、例えば、タッチパネル式ディスプレイ３０から入力されてもよい。また、輝度調整式は、例えば、試運転時等に異物を含まないことが分かっている物品Ｐについて第１Ｘ線画像および補正第２Ｘ線画像（又は第２Ｘ線画像）を得ることで、制御部２２により生成されてもよい。
　（２－６－１－２）補正パラメータ記憶領域
　補正パラメータ記憶領域２１ｂには、後述する補正パラメータ生成部２２ｃの算出部２２ｃｂが算出した補正パラメータが記憶される。補正パラメータは、後述する補正画像生成部２２ｄが、第２ラインセンサ１５の検出結果に基づいて得られた物品Ｐの第２Ｘ線画像を補正した補正第２Ｘ線画像を生成するために用いるパラメータである。
　（２－６－２）制御部
　制御部２２は、主にＣＰＵによって構成され、記憶部２１に記憶されたプログラムを実行することにより、Ｘ線検査装置１０の各部の動作を制御する。また、制御部２２は、記憶部２１に記憶されたプログラムを実行することにより、第１ラインセンサ１４および第２ラインセンサ１５のＸ線透過量の検出結果に基づき異物検査を行う。
　制御部２２は、機能部として、第１Ｘ線画像生成部２２ａ、第２Ｘ線画像生成部２２ｂ、補正パラメータ生成部２２ｃ、補正画像生成部２２ｄ、および判定部２２ｅを主に有する（図５参照）。
　（２－６－２－１）第１Ｘ線画像生成部
　第１Ｘ線画像生成部２２ａは、第１ラインセンサ１４によって検出された低エネルギー帯のＸ線の透過Ｘ線量に基づいて、透過画像として第１Ｘ線画像（低エネルギーＸ線画像）を生成する。
　具体的には、第１Ｘ線画像生成部２２ａは、第１ラインセンサ１４の各Ｘ線検出素子１４ａから出力される、物品Ｐ等を透過したＸ線の強度に応じたＸ線透過信号を細かい時間間隔で取得し、取得したＸ線透過信号に基づいて第１Ｘ線画像を生成する。特に、第１Ｘ線画像生成部２２ａは、Ｘ線の照射範囲Ｙ（図３参照）を物品Ｐが通過する際に各Ｘ線検出素子１４ａから出力されるＸ線透過信号に基づいて第１Ｘ線画像を生成する。第１Ｘ線画像生成部２２ａは、各Ｘ線検出素子１４ａから得られるＸ線の強度に関する細かい時間間隔毎のデータをマトリクス状に時系列につなぎ合わせて第１Ｘ線画像を生成する。なお、Ｘ線の照射範囲Ｙに物品Ｐが存在するか否かは、前述のように第１ラインセンサ１４が出力する信号により判断される。
　第１Ｘ線画像生成部２２ａにより生成される第１Ｘ線画像では、Ｘ線検出素子１４ａが検出した透過Ｘ線量の多いところが明るく（淡く、輝度が大きく）表示され、透過Ｘ線量が少ないところが暗く（濃く、輝度が小さく）表示される。第１Ｘ線画像は、例えば２５６階調の画像である。
　（２－６－２－２）第２Ｘ線画像生成部
　第２Ｘ線画像生成部２２ｂは、第２ラインセンサ１５によって検出された高エネルギー帯のＸ線の透過Ｘ線量に基づいて、透過画像として第２Ｘ線画像（高エネルギーＸ線画像）を生成する。
　第２Ｘ線画像生成部２２ｂは、第２ラインセンサ１５の各Ｘ線検出素子１５ａから出力されるＸ線透過信号に基づいてＸ線画像を生成する点が、第１Ｘ線画像生成部２２ａと異なる。
　また、第２Ｘ線画像生成部２２ｂは、Ｘ線検出素子１５ａから出力されるＸ線透過信号に基づいて生成されたＸ線画像を、更に所定倍率で縮小した画像を第２Ｘ線画像として生成する点が、第１Ｘ線画像生成部２２ａと異なる。第２Ｘ線画像生成部２２ｂがこのような処理が行うのは、以下の理由である。
　後述する判定部２２ｅでは、第１Ｘ線画像と第２Ｘ線画像（第２Ｘ線画像を補正した補正第２Ｘ線画像を含む）との差分画像を得る処理が行われる。そのため、第１Ｘ線画像と第２Ｘ線画像とのサイズを一致させることが好ましい。ところで、Ｘ線検査装置１０では、第２ラインセンサ１５は、第１ラインセンサ１４の下方に設置されている。また、Ｘ線検査装置１０では、Ｘ線照射器１３から扇状の照射範囲ＹにＸ線が照射される。そのため、第１ラインセンサ１４よりも下方でＸ線を検出する第２ラインセンサ１５の検出結果を用いて得られるＸ線画像は、第１Ｘ線画像より大きくなる。そこで、第２Ｘ線画像生成部２２ｂは、Ｘ線検出素子１５ａから出力されるＸ線透過信号に基づいて生成されたＸ線画像を、第１ラインセンサ１４および第２ラインセンサ１５を取り付ける設計された所定位置に基づいて算出される所定倍率で縮小する処理を行う。
　なお、第２Ｘ線画像生成部２２ｂが実行するＸ線画像の所定倍率での縮小処理は、第１ラインセンサ１４および第２ラインセンサ１５が設計された所定位置に配置されることを前提とした処理である。ラインセンサ１４，１５が所定位置からずれて取り付けられたことに対処するために行われる、第２Ｘ線画像の補正（補正第２Ｘ線画像の生成）については後述する。
　（２－６－２－３）補正パラメータ生成部
　補正パラメータ生成部２２ｃは、第１ラインセンサ１４に対する、第２ラインセンサ１５の水平方向および垂直方向の位置のズレを検知し、第２ラインセンサ１５の位置のズレに応じて、補正画像生成部２２ｄが補正第２Ｘ線画像を生成するための補正パラメータを生成する。なお、補正第２Ｘ線画像は、後述する判定部２２ｅが、第１Ｘ線画像と第２Ｘ線画像との差分処理を実行するために、物品Ｐのある部分を通過したＸ線に基づく第１Ｘ線画像の画素と、物品Ｐの同一部分を通過したＸ線に基づくＸ線画像の画素とが重なり合うように、第２Ｘ線画像に補正処理を行った画像である。
　補正パラメータ生成部２２ｃは、サブ機能部として、検知部２２ｃａと、算出部２２ｃｂと、を有する。
　検知部２２ｃａは、第１ラインセンサ１４に対する、第２ラインセンサ１５の水平方向および垂直方向の位置のズレを検知する。
　算出部２２ｃｂは、検知部２２ｃａにより、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の位置のズレが検知された場合に、補正画像生成部２２ｄが補正第２Ｘ線画像を生成するために使用する補正パラメータを算出する。
　検知部２２ｃａおよび算出部２２ｃｂが実行する処理については後述する。
　（２－６－２－４）補正画像生成部
　補正画像生成部２２ｄは、検知部２２ｃａの検知結果に基づいて、第２ラインセンサ１５の検出結果に基づいて得られた物品Ｐの第２Ｘ線画像を補正した補正第２Ｘ線画像を生成する。具体的には、補正画像生成部２２ｄは、検知部２２ｃａが第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の位置のズレを検知している場合に、補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶された補正パラメータを用いて、物品Ｐの第２Ｘ線画像を補正した補正第２Ｘ線画像を生成する。
　補正画像生成部２２ｄによる補正第２Ｘ線画像の生成処理ついては後述する。
　（２－６－２－５）判定部
　判定部２２ｅは、第１Ｘ線画像生成部２２ａにより生成された第１Ｘ線画像と、第２Ｘ線画像生成部２２ｂにより生成された第２Ｘ線画像、又は、補正画像生成部２２ｄにより生成された補正第２Ｘ線画像と、に基づき、物品Ｐへの異物混入の有無を判断する。
　具体的には、判定部２２ｅは、以下のようにして物品Ｐへの異物混入の有無を判定する。
　なお、判定部２２ｅは、補正第２Ｘ線画像が生成されていない場合には第２Ｘ線画像を、補正第２Ｘ線画像が生成されている場合には補正第２Ｘ線画像を用いて以下の処理を行う。以下の説明では、判定部２２ｅが補正第２Ｘ線画像を用いる場合を例に説明する。判定部２２ｅが第２Ｘ線画像を用いる場合については、以下の説明の補正第２Ｘ線画像を、第２Ｘ線画像と読み替えればよい。
　まず、判定部２２ｅは、補正第２Ｘ線画像の輝度を、輝度調整式記憶領域２１ａに記憶された輝度調整式により調整する処理を行う。次に、判定部２２ｅは、第１Ｘ線画像と、輝度が調整された補正第２Ｘ線画像と、の各画素の輝度の差異に基づき、差分画像を生成する。輝度調整式は、上述したように、異物を含まない物品Ｐを透過したＸ線に基づいて第１Ｘ線画像と補正第２Ｘ線画像とを生成し、補正第２Ｘ線画像の輝度を輝度調整式で調整した場合に、物品Ｐの同一箇所を通過したＸ線に基づいて得られる第１Ｘ線画像および輝度調整後の補正第２Ｘ線画像の画素の輝度が一致するように決定されている。そのため、物品Ｐに異物が混入していないとすれば、第１Ｘ線画像の各画素の値と、これに対応する輝度調整後の補正第２Ｘ線画像の画素の値とが、ほぼ一致する。一方、物品Ｐに異物が混入している場合には、異物と物品Ｐとの特性の違いにより、第１Ｘ線画像の各画素の値と、これに対応する輝度調整後の補正第２Ｘ線画像の画素の値と、の間に差が生じる。判定部２２ｅは、これを利用して、差分画像に基づいて物品Ｐへの異物の混入を判定する。判定部２２ｅによる判定結果（異物検査の結果）は、タッチパネル式ディスプレイ３０に出力される。また、判定部２２ｅによる判定結果は、振分機構７０に送信される。
　（３）コントローラが実行する処理
　ここでは、コントローラ２０が実行する処理、特に、補正パラメータ生成部２２ｃによる処理と、補正画像生成部２２ｄによる処理とについて説明する。
　（３－１）補正パラメータ生成部による処理
　補正パラメータ生成部２２ｃによる処理について説明する。
　補正パラメータ生成部２２ｃによる処理は、例えば、Ｘ線検査装置１０の設置時や試運転時に実行され、補正パラメータ生成部２２ｃは、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の位置のズレを予め検知する。補正パラメータ生成部２２ｃは、Ｘ線検査装置１０の設置時等に、オペレータにより、タッチパネル式ディスプレイ３０に、補正パラメータの生成指令（第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の位置のズレの検知指令）が入力された時に実行される。
　補正パラメータの算出時には、物品Ｐの代わりに、サンプルＳが、コンベアユニット１２により搬送される。サンプルＳは既知の形状である。例えば、サンプルＳは、平面視において長方形状に形成され、厚みが一定の平板である（図６参照）。コンベアユニット１２により搬送されるサンプルＳには、Ｘ線照射器１３からＸ線が照射される。補正パラメータ生成部２２ｃは、サンプルＳを透過したＸ線を第１ラインセンサ１４および第２ラインセンサ１５が検出した結果に基づき、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の位置のズレを検知する。より具合的には、補正パラメータ生成部２２ｃは、第１ラインセンサ１４によって検出された低エネルギー帯のＸ線の透過Ｘ線量に基づいて生成される第１Ｘ線画像と、第２ラインセンサ１５によって検出された高エネルギー帯のＸ線の透過Ｘ線量に基づいて生成される第２Ｘ線画像と、に基づき、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５のズレを検知する。補正パラメータ生成部２２ｃは、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の位置のズレが検知されると、位置のズレに応じて補正画像生成部２２ｄが補正第２Ｘ線画像を生成するために使用する補正パラメータを生成する。
　以下に補正パラメータ生成部２２ｃの検知部２２ｃａおよび算出部２２ｃｂが、どのように処理を行うかを具体的に説明する。
　ここでは、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の位置のズレの検知、および、補正パラメータの生成に、第１画像Ｃ１と、第２画像Ｃ２と、を用いる（図７～図１２参照）。第１画像Ｃ１は、サンプルＳの第１Ｘ線画像を、サンプルＳの存在する画素と、背景部分の画素とに分類されるように、所定の閾値で二値化した画像である。第１画像Ｃ１の中でサンプルＳの存在する画素が存在する領域を第１領域Ａ１と呼ぶ（図７～図１２参照）。第２画像Ｃ２は、サンプルＳの第２Ｘ線画像を、サンプルＳの存在する画素と、背景部分の画素とに分類されるように、所定の閾値で二値化した画像である。第２画像Ｃ２の中でサンプルＳの存在する画素が存在する領域を第２領域Ａ２と呼ぶ（図７～図１２参照）。
　図７～図１２は、サンプルＳに対して作成された第１画像Ｃ１および第２画像Ｃ２を、重ねて描画した図の例である。図７～図１２では、第１画像Ｃ１と第２画像Ｃ２とは、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の位置のズレがない場合に、第１領域Ａ１と、第２領域Ａ２と、が丁度重なるように配置されている。図７～図１２中では、二点鎖線は第１画像Ｃ１および第２画像Ｃ２の縁部を示し、実線で囲んだ領域は第１領域Ａ１を示し、破線で囲んだ領域は第２領域Ａ２を示している。
　図７～図１２中の方向Ｄ’は、サンプルＳの搬送方向（コンベアユニット１２の搬送方向Ｄ）と対応した方向である。以下の説明では、第１画像Ｃ１および第２画像Ｃ２内の方向を説明するため、方向Ｄ’の向かう方向を前方、方向Ｄ’とは反対に向かう方向を後方、方向Ｄ’を向いた時の右側を右方、方向Ｄ’を向いた時の左側を左方と呼ぶ（図７～図１２参照）。
　ここでは、第１ラインセンサ１４は設計された所定位置に設置されている場合を例に説明を行う。また、ここでは、矩形状のサンプルＳは、長辺がコンベアユニット１２の搬送方向Ｄに沿って延びるような姿勢でベルト１２ｄ上に戴置される場合を例に説明を行う。ただし、これに限定されるものではなく、サンプルＳは、任意の姿勢でベルト１２ｄ上に戴置されればよい。
　検知部２２ｃａは、以下の（ａ）～（ｆ）の６つのパターンについて、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサの水平方向および垂直方向の位置のズレを検知する。算出部２２ｃｂは、検知部２２ｃａが第２ラインセンサ１５の位置のズレを検知すると、補正パラメータを算出する。
　（ａ）垂直方向の位置のズレ
　検知部２２ｃａによる、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する垂直方向（上下方向）の位置のズレ（図１３Ａの矢印ａ方向のズレ）の検知と、第２ラインセンサ１５の位置のズレが検知された場合の算出部２２ｃｂによる補正パラメータの算出について図７を用いて説明する。
　検知部２２ｃａは、第１領域Ａ１と第２領域Ａ２との大きさが異なる場合に、第２ラインセンサ１５が、第１ラインセンサ１４に対して垂直方向にずれていると検知する。具体的には、検知部２２ｃａは、例えば、第１領域Ａ１の左端の長さＬ１１に対する第２領域Ａ２の左端の長さＬ２１の比の値と、第１領域Ａ１の後端の長さＬ１２に対する第２領域Ａ２の後端の長さＬ２２の比の値と、が１ではない同じ値である場合に、第２ラインセンサ１５が、第１ラインセンサ１４に対して垂直方向にずれていると検知する（図７参照）。なお、第１領域Ａ１および第２領域Ａ２の端部は、例えば、第１領域Ａ１および第２領域Ａ２のエッジ検出処理を行うことで把握される。
　算出部２２ｃｂは、検知部２２ｃａが第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する垂直方向の位置のズレを検知した場合に、第２領域Ａ２をどれだけ拡大又は縮小すれば、第１領域Ａ１の大きさと一致するかを拡縮倍率Ｋとして算出する。具体的には、例えば、算出部２２ｃｂは、上記のＬ１１をＬ２１で除した値を拡縮倍率Ｋとして算出する（図７参照）。算出された拡縮倍率Ｋは、補正パラメータとして補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶される。
　（ｂ）水平方向の傾き
　検知部２２ｃａによる、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する水平方向の傾き（水平方向の位置の回転ズレ）の検知と、第２ラインセンサ１５の位置のズレが検知された場合の算出部２２ｃｂによる補正パラメータの算出について図８を用いて説明する。第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する水平方向の傾きとは、図１３Ｃの矢印ｂ方向の回転ズレを意味する。
　検知部２２ｃａは、第１領域Ａ１に対する第２領域Ａ２の傾きに基づいて、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する水平方向の傾きを検知する。具体的には、検知部２２ｃａは、第１領域Ａ１の左端のラインＨ１１に対する、第２領域Ａ２の左端のラインＨ２１の傾きに基づいて、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する水平方向の傾きを検知する。ここでは、第１領域Ａ１の左端のラインＨ１１は図８のように方向Ｄ’に平行に延びているので、検知部２２ｃａは、方向Ｄ’と、第２領域Ａ２の左端のラインＨ２１とが平行であるか否かを判断し、両者が平行でなければ、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する水平方向の傾きを検知する。
　算出部２２ｃｂは、検知部２２ｃａが第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する水平方向の傾きを検知した場合に、第２領域Ａ２の第１領域Ａ１に対する傾きの角度を算出する。具体的には、算出部２２ｃｂは、例えば、方向Ｄ’に対する第２領域Ａ２の左端のラインＨ２１の角度θを補正パラメータとして算出する（図８参照）。ここでは、第２領域Ａ２の左端のラインＨ２１が、方向Ｄ’に対して反時計方向に傾いている場合に角度θを正の値で表し、時計方向に傾いている場合に角度θを負の値で表す。算出された角度θは、補正パラメータとして補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶される。
　（ｃ）搬送方向の位置のズレ
　検知部２２ｃａによる、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄの上流側又は下流側への位置のズレ（図１３Ａの矢印ｃ方向のズレ）の検知と、第２ラインセンサ１５の位置のズレが検知された場合の算出部２２ｃｂによる補正パラメータの算出について図９を用いて説明する。
　検知部２２ｃａは、第１領域Ａ１に対する第２領域Ａ２の前後方向のズレに基づいて、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄの上流側又は下流側へのズレを検知する。具体的には、検知部２２ｃａは、第１領域Ａ１の後端のラインＨ１２の位置と、第２領域Ａ２の後端のラインＨ２２の位置が一致しない場合に、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄの上流側又は下流側への位置のズレを検知する（図９参照）。
　算出部２２ｃｂは、検知部２２ｃａが第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄの上流側又は下流側への位置のズレを検知した場合に、第２領域Ａ２の第１領域Ａ１に対する位置のズレの大きさを算出する。具体的には、算出部２２ｃｂは、例えば、第１領域Ａ１の後端のラインＨ１２の位置と、第２領域Ａ２の後端のラインＨ２２の位置との距離Ｂ１を算出する（図９参照）。算出部２２ｃｂは、第２領域Ａ２の後端のラインＨ２２が第１領域Ａ１の後端のラインＨ１２に対して前方にずれている場合は距離Ｂ１の値を正の値で、後方にずれている場合は距離Ｂ１の値を負の値で表す。算出された距離Ｂ１は、補正パラメータとして補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶される。
　（ｄ）搬送方向に直交する方向の位置のズレ
　検知部２２ｃａによる、平面視における、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄに直交する方向への位置のズレ（図１３Ｂの矢印ｄ方向のズレ）の検知と、第２ラインセンサ１５の位置のズレが検知された場合の算出部２２ｃｂによる補正パラメータの算出について図１０を用いて説明する。
　検知部２２ｃａは、第１領域Ａ１に対する第２領域Ａ２の左右方向のズレに基づいて、平面視における、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄに直交する方向のズレを検知する。具体的には、検知部２２ｃａは、第１領域Ａ１の左端のラインＨ１１の位置と、第２領域Ａ２の左端のラインＨ２１の位置が一致しない場合に、平面視における、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄに直交する方向の位置のズレを検知する（図１０参照）。
　算出部２２ｃｂは、検知部２２ｃａが、平面視における、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄに直交する方向への位置のズレを検知した場合に、第２領域Ａ２の第１領域Ａ１に対する位置のズレの大きさを算出する。具体的には、算出部２２ｃｂは、例えば、第１領域Ａ１の左端のラインＨ１１の位置と、第２領域Ａ２の左端のラインＨ２１の位置との距離Ｂ２を算出する。算出部２２ｃｂは、第２領域Ａ２の左端のラインＨ２１が第１領域Ａ１の左端のラインＨ１１に対して左側にずれている場合は距離Ｂ２の値を正の値で、右側にずれている場合は距離Ｂ２の値を負の値で表す。算出された距離Ｂ２は、補正パラメータとして補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶される。
　（ｅ）搬送方向に沿った垂直方向の傾き
　検知部２２ｃａによる、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄに沿った垂直方向の傾き（垂直方向の位置の回転ズレ）の検知と、第２ラインセンサ１５の位置のズレが検知された場合の算出部２２ｃｂによる補正パラメータの算出について図１１を用いて説明する。第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄに沿った垂直方向の傾きとは、図１３Ａの矢印ｅ方向の回転ズレを意味する。
　検知部２２ｃａは、方向Ｄ’における第２領域Ａ２の第１領域Ａ１に対する拡大／縮小に基づいて、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄに沿った垂直方向の傾きを検知する。具体的には、検知部２２ｃａは、第１領域Ａ１の左端の長さＬ１１に対する第２領域Ａ２の左端の長さＬ２１の比の値と、第１領域Ａ１の後端の長さＬ１２に対する第２領域Ａ２の後端の長さＬ２２の比の値とが同一でない場合に、検知部２２ｃａは、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄに沿った垂直方向の傾きを検知する（図１１参照）。
　算出部２２ｃｂは、検知部２２ｃａが第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄに沿った垂直方向の傾きを検知した場合に、第２画像Ｃ２の前後方向の拡縮倍率Ｍを決定する。具体的には、算出部２２ｃｂは、第１領域Ａ１の左端の長さＬ１１の第２領域Ａ２の左端の長さＬ２１に対する比の値（Ｌ１１／Ｌ２１）を拡縮倍率Ｍとして算出する（図１１参照）。算出された拡縮倍率Ｍは、補正パラメータとして補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶される。
　（ｆ）垂直方向の搬送方向に直交する方向に沿った傾き
　検知部２２ｃａによる、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する、搬送方向Ｄに直交する方向に沿った垂直方向の傾き（垂直方向の位置の回転ズレ）の検知と、第２ラインセンサ１５の位置のズレが検知された場合の算出部２２ｃｂによる補正パラメータの算出について図１２を用いて説明する。第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する、搬送方向Ｄに直交する方向に沿った垂直方向の傾きとは、図１３Ｂの矢印ｆ方向の回転ズレを意味する。
　検知部２２ｃａは、方向Ｄ’に直交する方向に沿った第２領域Ａ２の第１領域Ａ１に対する拡大／縮小の状態に基づいて、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄに直交する方向に沿った垂直方向の傾きを検知する。具体的には、検知部２２ｃａは、第１領域Ａ１の左端の長さＬ１１の第２領域Ａ２の左端の長さＬ２１に対する比の値と、第１領域Ａ１の右端の長さＬ１３の第２領域Ａ２の右端の長さＬ２３に対する比の値とを比較し、これらの値が同一でない場合に、検知部２２ｃａは、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄに直交する方向に沿った垂直方向の傾きを検知する（図１２参照）。
　算出部２２ｃｂは、検知部２２ｃａが第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄに直交する方向に沿った垂直方向の傾きを検知した場合に、第２画像Ｃ２の左端の前後方向への拡縮倍率Ｎ１と、第２画像Ｃ２の右端の前後方向への拡縮倍率Ｎ２とを決定する。算出部２２ｃｂは、まず、第１領域Ａ１の左端の長さＬ１１の第２領域Ａ２の左端の長さＬ２１に対する比の値（＝Ｌ１１／Ｌ２１）と、第１領域Ａ１の右端の長さＬ１３の第２領域Ａ２の右端の長さＬ２３に対する比の値（＝Ｌ１３／Ｌ２３）と、を算出する（図１２参照）。算出部２２ｃｂは、これらの比の値と、第２画像Ｃ２の中で第２領域Ａ２の左端および右端がどの位置に存在するかという情報と、を基に、Ｌ１１／Ｌ２１の値とＬ１３／Ｌ２３の値とが一致するように、第２画像Ｃ２の左端の拡縮倍率Ｎ１と、第２画像Ｃ２の右端の拡縮倍率Ｎ２とを算出する。つまり、算出部２２ｃｂは、第２画像Ｃ２の部分的な前後方向の拡縮倍率が、左右方向に沿って、左端から右端に向かって拡縮倍率Ｎ１から拡縮倍率Ｎ２に連続的に変化するように決定され、これが適用される場合に、２つの比の値（Ｌ１１／Ｌ２１およびＬ１３／Ｌ２３）が一致するように、拡縮倍率Ｎ１，Ｎ２を算出する。なお、第２画像Ｃ２の左右方向の中心部分は拡大も縮小もしないように、拡縮倍率Ｎ１および拡縮倍率Ｎ２は決定される。また、算出部２２ｃｂは、検知部２２ｃａが第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する搬送方向Ｄに直交する方向に沿った垂直方向の傾きを検知した場合に、第２画像Ｃ２の左右方向の拡縮倍率Ｎ３を決定する。具体的には、算出部２２ｃｂは、第１領域Ａ１の左端のラインＨ１１と右端のラインＨ１３との距離Ｌ１５の、第２領域Ａ２の左端のラインＨ２１と右端のラインＨ２３との距離Ｌ２５に対する比の値を拡縮倍率Ｎ３（＝Ｌ１５／Ｌ２５）として算出する（図１１参照）。算出された拡縮倍率Ｎ１、拡縮倍率Ｎ２、および拡縮倍率Ｎ３は、補正パラメータとして補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶される。
　（３－２）補正第２Ｘ線画像の生成処理
　以下に、補正画像生成部２２ｄによる補正第２Ｘ線画像の生成処理について説明する。なお、ここでは、図１４に示した方向を用いて以下の説明を行う。図１４に示した第２Ｘ線画像Ｅにおいて、方向Ｄ’’は、物品Ｐの搬送方向（コンベアユニット１２の搬送方向Ｄ）と対応した方向である。以下の説明では、第２Ｘ線画像Ｅにおける方向を示すために、方向Ｄ’’の向かう方向を前方、方向Ｄ’’とは反対に向かう方向を後方、方向Ｄ’’を向いた時の右側を右方、方向Ｄ’’を向いた時の左側を左方と呼ぶ（図１４参照）。
　補正画像生成部２２ｄは、補正パラメータ生成部２２ｃの検知部２２ｃａの検知結果に基づいて、物品Ｐの第２Ｘ線画像Ｅを補正した、補正第２Ｘ線画像を生成する。具体的には、補正画像生成部２２ｄは、検知部２２ｃａが第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の位置のズレを検知し、算出部２２ｃｂにより補正パラメータが算出されている場合に、算出された（補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶された）補正パラメータを用いて、物品Ｐの第２Ｘ線画像Ｅを補正した補正第２Ｘ線画像を生成する。
　より具体的には、補正画像生成部２２ｄは、補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶された補正パラメータを用いて、以下の（ａ）～（ｆ）のように補正第２Ｘ線画像を生成する。
　（ａ）垂直方向の位置のズレが検知されている場合
　補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像Ｅを、補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶された拡縮倍率Ｋで拡大又は縮小することで、補正第２Ｘ線画像を生成する。
　（ｂ）水平方向の傾きが検知されている場合
　補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像Ｅを、補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶された角度θだけ時計方向に回転させることで（角度θが負の値なら反時計方向に回転させることで）、補正第２Ｘ線画像を生成する。
　（ｃ）搬送方向の上流側又は下流側への位置のズレが検知されている場合
　補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像Ｅを、補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶された距離Ｂ１だけ後方に移動させることで（距離Ｂ１が負の値なら前方に移動させることで）、補正第２Ｘ線画像を生成する（図１４参照）。言い換えれば、補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像Ｅを、補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶された距離Ｂ１だけ、搬送方向Ｄの上流側又は下流側に対応する、方向Ｄ''の上流側又は下流側に移動させることで、補正第２Ｘ線画像を生成する（図１４参照）。
　（ｄ）搬送方向に直交する方向の位置のズレが検知されている場合
　補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像Ｅを、補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶された距離Ｂ２だけ右方に移動させることで（距離Ｂ２が負の値なら左方）に移動させることで）、補正第２Ｘ線画像を生成する（図１４参照）。言い換えれば、補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像Ｅを、補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶された距離Ｂ２だけ、搬送方向Ｄに直交する方向に対応する、方向Ｄ''に直交する方向に移動させることで、補正第２Ｘ線画像を生成する（図１４参照）。
　（ｅ）搬送方向に沿った垂直方向の傾きが検知されている場合
　補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像Ｅを、補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶された拡縮倍率Ｍに基づいて、第２Ｘ線画像Ｅを前後方向に拡縮倍率Ｍだけ拡大／縮小し、補正第２Ｘ線画像を生成する。つまり、補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像Ｅを、第２ラインセンサ１５の傾き方向（搬送方向Ｄ）に対応する方向Ｄ''に拡大又は縮小させることで、補正第２Ｘ線画像を生成する（図１４参照）。
　（ｆ）搬送方向に直交する方向に沿った垂直方向の傾きが検知されている場合
　補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像Ｅを、補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶された拡縮倍率Ｎ１および拡縮倍率Ｎ２に基づいて、第２Ｘ線画像の左端を前後方向に拡縮倍率Ｎ１だけ拡大／縮小し、第２Ｘ線画像Ｅの右端を前後方向に拡縮倍率Ｎ２だけ縮小／拡大する。なお、補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像の左端と右端との間の中間部分については、第２Ｘ線画像の左端から右端に向かって拡縮倍率Ｎ１から拡縮倍率Ｎ２に連続的に変化するように決定された拡縮倍率で、前後方向に拡大／縮小する。さらに、補正画像生成部２２ｄは、前後方向に拡大／縮小させた第２Ｘ線画像を、補正パラメータ記憶領域２１ｂに記憶された拡縮倍率Ｎ３に基づいて、左右方向に拡縮倍率Ｎ３だけ拡大／縮小し、補正第２Ｘ線画像を生成する。つまり、補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像を、第２ラインセンサ１５の傾き方向（搬送方向Ｄに直交する方向）に対応する、方向Ｄ''に直交する方向における一端側で拡大させ、他端側で縮小させることで、補正第２Ｘ線画像を生成する（図１４参照）。また、補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像を、第２ラインセンサ１５の傾き方向（搬送方向Ｄに直交する方向）に対応する、方向Ｄ''に直交する方向に拡大又は縮小させることで、補正第２Ｘ線画像を生成する（図１４参照）。
　（４）特徴
　（４－１）
　上記実施形態に係るＸ線検査装置１０は、搬送手段としてのコンベアユニット１２と、Ｘ線源としてのＸ線照射器１３と、第１ラインセンサ１４と、第２ラインセンサ１５と、検知部２２ｃａと、補正画像生成部２２ｄと、を備える。コンベアユニット１２は、物品Ｐを搬送する。Ｘ線照射器１３は、コンベアユニット１２により搬送される物品ＰにＸ線を照射する。第１ラインセンサ１４は、物品Ｐを透過したＸ線を低エネルギー帯で検出する。第２ラインセンサ１５は、物品Ｐを透過したＸ線を、低エネルギー帯とは異なる高エネルギー帯で検出する。検知部２２ｃａは、第１ラインセンサ１４に対する、第２ラインセンサ１５の水平方向および垂直方向の位置のズレを検知する。補正画像生成部２２ｄは、検知部２２ｃａの検知結果に基づいて、第２ラインセンサ１５の検出結果に基づいて得られた物品Ｐの第２Ｘ線画像を補正した補正第２Ｘ線画像を生成する。
　ここでは、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の水平方向および垂直方向の位置のズレが検知され、ズレに基づいて第２ラインセンサ１５の検出結果から得られる第２Ｘ線画像の補正が行われる。そのため、ラインセンサ１４、１５の取り付け位置にズレが生じた場合にも、正確な検査結果を得ることができる。つまり、ここでは、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の取り付け位置のズレによらず、正しい検査結果を得ることが可能な信頼性の高いＸ線検査装置１０が実現される。
　（４－２）
　上記実施形態に係るＸ線検査装置１０では、第２ラインセンサ１５は、第１ラインセンサ１４の下方に配置される。第２のエネルギー帯としての高エネルギー帯は、第１のエネルギー帯としての低エネルギー帯よりも高いエネルギー帯である。
　ここでは、第１ラインセンサ１４は、第２ラインセンサ１５の上方に配置されるため、Ｘ線照射器１３から第１ラインセンサ１４に到達するまでにＸ線が透過する物体（障害物）が、Ｘ線照射器１３から第２ラインセンサ１５に到達するまでにＸ線が透過する物体に比べて少ない。そのため、第１Ｘ線画像は、第２Ｘ線画像に比べてクリアな画像となる。ここでは、第２Ｘ線画像に比べてクリアな第１Ｘ線画像が基準に用いられるため、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の位置のズレを正確に把握することが容易である。
　（４－３）
　上記実施形態に係るＸ線検査装置１０では、検知部２２ｃａは、コンベアユニット１２により搬送される既知の形状のサンプルＳにＸ線照射器１３からＸ線を照射し、サンプルＳを透過したＸ線を第１ラインセンサ１４および第２ラインセンサ１５が検出した結果に基づき、第１ラインセンサ１４に対する、第２ラインセンサ１５の位置のズレを予め検知する。
　ここでは、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の位置のズレを、既知の形状のサンプルＳのＸ線画像を用いて検知することで、より正確に検知することが可能である。
　（４－４）
　上記実施形態に係るＸ線検査装置１０では、検知部２２ｃａは、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する水平方向の傾きを検知する。補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像を回転させることで補正第２Ｘ線画像を生成する。
　ここでは、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の水平方向の傾き（水平方向の位置の回転ズレ）が生じた場合にも、第２Ｘ線画像を画像処理により補正しした補正第２Ｘ線画像を生成して、正確な検査結果を得ることができる。
　（４－５）
　上記実施形態に係るＸ線検査装置１０では、検知部２２ｃａは、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する、コンベアユニット１２の搬送方向Ｄの上流側又は下流側へのズレを検知する。補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像を搬送方向Ｄの上流側又は下流側に対応する方向（方向Ｄ’’の上流側又は下流側）に移動させることで、補正第２Ｘ線画像を生成する。
　ここでは、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の搬送方向Ｄの上流側又は下流側へのズレが生じた場合にも、第２Ｘ線画像を画像処理により補正した補正第２Ｘ線画像を生成して、正確な検査結果を得ることができる。
　（４－６）
　上記実施形態に係るＸ線検査装置１０では、検知部２２ｃａは、平面視における、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する、コンベアユニット１２の搬送方向Ｄに直交する方向のズレを検知する。補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像を搬送方向Ｄ直交する方向に対応する方向（方向Ｄ’’に直交する方向）に移動させることで、補正第２Ｘ線画像を生成する。
　ここでは、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の、搬送方向Ｄに直交する方向へのズレが生じた場合にも、第２Ｘ線画像を画像処理により補正した補正第２Ｘ線画像を生成して、正確な検査結果を得ることができる。
　（４－７）
　上記実施形態に係るＸ線検査装置１０では、検知部２２ｃａは、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する垂直方向の傾きを検知する。補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像を、第２ラインセンサ１５の傾き方向に対応する方向（方向Ｄ’’と直交する方向）における一端側で拡大させ、他端側で縮小させることで、補正第２Ｘ線画像を生成する。
　ここでは、第１ラインセンサ１４に対して第２ラインセンサ１５が垂直方向に傾いた場合にも、第２Ｘ線画像を画像処理により補正した補正第２Ｘ線画像を生成して、正確な検査結果を得ることができる。
　（４－８）
　上記実施形態に係るＸ線検査装置１０では、検知部２２ｃａは、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する垂直方向の傾きを検知する。補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像を、第２ラインセンサ１５の傾き方向に対応する方向（方向Ｄ’’、又は、方向Ｄ’’と直交する方向）に拡大又は縮小させることで、補正第２Ｘ線画像を生成する。
　ここでは、第１ラインセンサ１４に対して第２ラインセンサ１５が垂直方向に傾いた場合にも、第２Ｘ線画像を画像処理により補正した補正第２Ｘ線画像を生成して、正確な検査結果を得ることができる。
　（４－９）
　上記実施形態に係るＸ線検査装置１０では、検知部２２ｃａは、第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する垂直方向のズレを検知する。補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像を、拡大又は縮小することで補正第２Ｘ線画像を生成する。
　ここでは、第１ラインセンサ１４に対して第２ラインセンサ１５が上下方向に位置ズレした場合にも、第２Ｘ線画像を画像処理により補正した補正第２Ｘ線画像を生成して、正確な検査結果を得ることができる。
　（５）変形例
　以下に、上記実施形態の変形例を示す。以下の変形例は、互いに矛盾しない範囲で、他の変形例と組み合わされてもよい。
　（５－１）変形例Ａ
　上記実施形態では、第２ラインセンサ１５が、第１ラインセンサ１４に対して、（３－１）で説明した（ａ）～（ｆ）のパターンのいずれかの位置のズレを有している場合を例に説明したが、これに限定されるものではない。検知部２２ｃａは、（ａ）～（ｆ）のパターンの位置のズレの検知を組み合わせて行うことで、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の複合的な（（ａ）～（ｆ）のパターンが複数組み合わさった）位置のズレを検知することができる。また、補正画像生成部２２ｄは、（３－２）で説明した（ａ）～（ｆ）のパターンの補正第２Ｘ線画像の生成処理を組み合わせて行うことで、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の複合的な位置のズレに応じて、補正第２Ｘ線画像を生成することができる。
　（５－２）変形例Ｂ
　上記実施形態では、検知部２２ｃａは、（３－１）で説明した（ａ）～（ｆ）のパターンの、６種類の第２ラインセンサ１５の第１ラインセンサ１４に対する位置のズレを検知するが、これに限定されるものではない。例えば、ある種類の位置のズレが発生しにくいことが判明している場合には、検知部２２ｃａは、（ａ）～（ｆ）のパターンの位置のズレのうち、一部だけを検知するものであってもよい。
　（５－３）変形例Ｃ
　上記実施形態では、第１ラインセンサ１４と第２ラインセンサ１５とは、上下に並べて配置されるが、これに限定されるものではない。Ｘ線検査装置は、第１ラインセンサおよび第２ラインセンサがコンベアユニット１２の搬送方向Ｄに並べて水平位置に配置されてもよい。
　なお、この場合には、第２Ｘ線画像生成部２２ｂは、Ｘ線検出素子１５ａから出力されるＸ線透過信号に基づいて生成されたＸ線画像を所定倍率で縮小する、という処理を実行しなくてもよい。
　（５－４）変形例Ｄ
　上記実施形態では、検知部２２ｃａは、第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の位置のズレを検知し、補正画像生成部２２ｄは、第２Ｘ線画像を補正した補正第２Ｘ線画像を生成するが、これに限定されるものではない。検知部２２ｃａは、第２ラインセンサ１５に対する第１ラインセンサ１４の位置のズレを検知し、補正画像生成部２２ｄは、第１Ｘ線画像を補正した補正第１Ｘ線画像を生成するように構成されてもよい。
　なお、第２ラインセンサ１５は、第１ラインセンサ１４の下方に配置されるため、第２Ｘ線画像は、第１Ｘ線画像に比べてクリアな画像が得られにくい。そこで、例えば、第２ラインセンサ１５に対する第１ラインセンサ１４の位置のズレを検知する場合であっても、検知部２２ｃａには、上記実施形態と同様の構成が用いられてもよい。第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の位置のズレを検知すれば、同時に、第２ラインセンサ１５に対する第１ラインセンサ１４の位置のズレを検知することが可能である。
　（５－５）変形例Ｅ
　上記実施形態では、サンプルＳとして平面視において矩形状の平板が用いられるが、サンプルＳの形状は、これに限定されるものではない。サンプルＳの形状は、平面視において、三角形状や楕円形状等であってもよい。
　ただし、長さの異なる辺を有し、辺が直角に交わる矩形状のサンプルＳを用いることで、第１ラインセンサ１４に対する、第２ラインセンサ１５の位置のズレを特に精度良く検知することができる。
　（５－６）変形例Ｆ
　上記実施形態では、サンプルＳを用いて予め第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の位置のズレが検知されるが、これに限定されるものではない。例えば、検査対象である物品Ｐを用いて第１ラインセンサ１４に対する第２ラインセンサ１５の位置のズレが検知されてもよい。ただし、物品Ｐが、平面視において円形形状である場合や、複雑な形状である場合等、第２ラインセンサ１５の位置のズレの検知に適した形状でない場合には、サンプルＳを用いて予め第２ラインセンサ１５の位置のズレが検知されることが好ましい。
　（５－７）変形例Ｇ
　上記実施形態では、Ｘ線検査装置１０は物品Ｐの異物検査を行うが、検査の種類は異物検査に限定されるものではなく、補正第２Ｘ線画像を利用して各種検査を実行するものであればよい。
　（５－８）変形例Ｈ
　上記実施形態で示した検知部２２ｃａによる第２ラインセンサ１５の位置のズレの検知方法や、算出部２２ｃｂによる補正パラメータの算出方法は例示であって、これに限定されるものではない。検知部２２ｃａは、第１領域Ａ１と第２領域Ａ２とが重ならない場合に、第１ラインセンサ１４に対して第２ラインセンサ１５の位置のズレがあると検知し、算出部２２ｃｂは、第２領域Ａ２が第１領域Ａ１に丁度重なるように補正パラメータを算出するよう構成されればよい。
　（５－９）変形例Ｉ
　上記実施形態では、検知部２２ｃａの処理の説明を、第１ラインセンサ１４は設計された位置に設置されていると仮定して説明を行ったが、第１ラインセンサ１４が設計された位置からずれている場合にも同様の処理を実行可能である。つまり、検知部２２ｃａは、第１領域Ａ１と第２領域Ａ２とが重ならない場合に、第１ラインセンサ１４に対して第２ラインセンサ１５の位置のズレがあると検知し、算出部２２ｃｂは、第２領域Ａ２が第１領域Ａ１に丁度重なるように補正パラメータを算出するよう構成されればよい。
　本発明のＸ線検査装置は、２つのラインセンサの取り付け位置にズレが生じた場合にも、正確な検査結果を得ることが可能な信頼性の高いＸ線検査装置として有用である。
１０　Ｘ線検査装置
１２　コンベアユニット（搬送手段）
１３　Ｘ線照射器（Ｘ線源）
１４　第１ラインセンサ
１５　第２ラインセンサ
２２ｃａ　検知部
２２ｄ　補正画像生成部
Ｄ　搬送方向
Ｐ　物品
Ｓ　サンプル
特開２０１２－０７８２５４号公報

Claims (9)

  1. 　物品を搬送する搬送手段と、
    　前記搬送手段により搬送される前記物品にＸ線を照射するＸ線源と、
    　前記物品を透過したＸ線を第１のエネルギー帯で検出する第１ラインセンサと、
    　前記物品を透過したＸ線を、前記第１のエネルギー帯とは異なる第２のエネルギー帯で検出する第２ラインセンサと、
    　前記第１ラインセンサに対する、前記第２ラインセンサの水平方向および垂直方向の位置のズレの少なくとも一方を検知する検知部と、
    　前記検知部の検知結果に基づいて、前記第２ラインセンサの検出結果に基づいて得られた前記物品の第２Ｘ線画像を補正した補正第２Ｘ線画像を生成する補正画像生成部と、
    を備える、Ｘ線検査装置。
  2. 　前記第２ラインセンサは、前記第１ラインセンサの下方に配置され、前記第２のエネルギー帯は、前記第１のエネルギー帯よりも高いエネルギー帯である、
    請求項１に記載のＸ線検査装置。
  3. 　前記検知部は、前記搬送手段により搬送される既知の形状のサンプルに前記Ｘ線源からＸ線を照射し、前記サンプルを透過したＸ線を前記第１ラインセンサおよび前記第２ラインセンサが検出した結果に基づき、前記第１ラインセンサに対する、前記第２ラインセンサの位置のズレを予め検知する、
    請求項１又は２に記載のＸ線検査装置。
  4. 　前記検知部は、前記第２ラインセンサの前記第１ラインセンサに対する水平方向の傾きを検知し、
    　前記補正画像生成部は、前記第２Ｘ線画像を回転させることで前記補正第２Ｘ線画像を生成する、
    請求項１から３のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
  5. 　前記検知部は、前記第２ラインセンサの前記第１ラインセンサに対する、前記搬送手段の搬送方向の上流側又は下流側へのズレを検知し、
    　前記補正画像生成部は、前記第２Ｘ線画像を前記搬送方向の上流側又は下流側に対応する方向に移動させることで、前記補正第２Ｘ線画像を生成する、
    請求項１から３のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
  6. 　前記検知部は、平面視における、前記第２ラインセンサの前記第１ラインセンサに対する、前記搬送手段の搬送方向に直交する方向のズレを検知し、
    　前記補正画像生成部は、前記第２Ｘ線画像を前記搬送方向に直交する方向に対応する方向に移動させることで、前記補正第２Ｘ線画像を生成する、
    請求項１から３のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
  7. 　前記検知部は、前記第２ラインセンサの前記第１ラインセンサに対する垂直方向の傾きを検知し、
    　前記補正画像生成部は、前記第２Ｘ線画像を、前記第２ラインセンサの傾き方向に対応する方向における一端側で拡大させ、他端側で縮小させることで、前記補正第２Ｘ線画像を生成する、
    請求項１から３のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
  8. 　前記検知部は、前記第２ラインセンサの前記第１ラインセンサに対する垂直方向の傾きを検知し、
    　前記補正画像生成部は、前記第２Ｘ線画像を、前記第２ラインセンサの傾き方向に対応する方向に拡大又は縮小させることで、前記補正第２Ｘ線画像を生成する、
    請求項１から３のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
  9. 　前記検知部は、前記第２ラインセンサの前記第１ラインセンサに対する垂直方向のズレを検知し、
    　前記補正画像生成部は、前記第２Ｘ線画像を、拡大又は縮小することで前記補正第２Ｘ線画像を生成する、
    請求項１から３のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
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