JP2004157076A - X線検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】X線検査装置において、被検体の載置される位置の違いによって生じる透過画像の誤差を無くし、より精度が高く、かつ迅速に対象物の欠陥のサイズや位置を把握することを目的とする。
【解決手段】本発明にかかるX線検査装置は、被検体にX線を照射する照射手段と、被検体を透過したX線を検出する検出素子が、所定間隔に遮蔽壁を介して複数配置された検出手段と、検出手段で検出するX線情報をもとに、前記被検体の透過画像を生成する生成手段とを備えるX線検査装置であって、前記検出素子の配置方向に被検体と検出手段とを相対的に所定間隔変位させる変位手段を備え、前記生成手段は、複数の変位位置で検出したX線情報を合成することで、透過画像を生成する。
【選択図】 図1
【解決手段】本発明にかかるX線検査装置は、被検体にX線を照射する照射手段と、被検体を透過したX線を検出する検出素子が、所定間隔に遮蔽壁を介して複数配置された検出手段と、検出手段で検出するX線情報をもとに、前記被検体の透過画像を生成する生成手段とを備えるX線検査装置であって、前記検出素子の配置方向に被検体と検出手段とを相対的に所定間隔変位させる変位手段を備え、前記生成手段は、複数の変位位置で検出したX線情報を合成することで、透過画像を生成する。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、X線検査装置、特に、被検体にX線を透過することで、被検体の透過画像を生成するX線検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、鋳造品の欠陥等を発見するための試験として、X線を用いた被破壊検査試験が実施される。この種の用途に用いられるX線検査試験では、図6に示すように、対象物1をベルトコンベア5上に載置し、矢印10の方向に移動させながら、X線管などのX線源2からX線3を照射させる。そして、対象物1を透過したX線3を、X線検出器4で検出し、その検出されたX線量を元に透過画像を生成する。このようにして得られた透過画像をもとに、対象物の欠陥の有無を検査する。
【0003】
X線検出器は、一般に、図2に示すように、ライン状に検出素子21を配置することで構成されている。このように検出素子をライン状に配置すると、検出素子21に入力されたX線が、検出素子内部で散乱し、隣接した別の検出素子に散乱X線が入力されてしまう場合がある。したがって、この散乱X線を除去するために、各検出素子間にタングステンなどの重金属の遮断材22を用いて遮断するのが一般的である。
【0004】
【特許文献1】
特開平6−265485
【特許文献2】
特開平6−317544
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように遮断材を挿み各検出素子を配置したX線検出器を用いて透過画像を作成すると、例えば、対象物に対して、図7の(a−1)の位置と(b−1)の位置とでX線をそれぞれ透過した場合に得られる透過画像は、(a−2)や(b−2)のように異なる透過画像が生成されてしまう。これは、検出素子間の遮断材部分のデータが欠落していることから生じるものである。
【0006】
このように、従来のX線検出器では、対象物の載置する位置によって、対象物に存在する欠陥の位置やサイズに誤差が生じる場合がある。
【0007】
また、図8(X線検査装置の正面図)に示すように、従来のX線検出器では、検出素子が一直線上に配置されているため、検出器の中心部分にある検出素子と、検出器の両端部分にある検出素子とで、X線源1からの距離が異なる。したがって、検出素子の位置によって分解能が変化し、透過画像が歪んだ画像になってしまう。
【0008】
しかし、鋳造品などの微細な欠陥を検知し、鋳型の調整等を行う場合、欠陥のサイズや位置をできるだけ正確に把握する必要がある。したがって、上記のように、対象物の載置される位置によって、画像が異なったり、微細な欠陥が透過画像に現れないとなると問題になる。
【0009】
このような問題を避けるために、対象物をX線源に近づけ拡大撮像させ対応する場合もある。しかし、この場合、対象物を部分的にしか撮影することができないため、対象物全体での位置関係の把握が難しいという問題があった。
【0010】
本発明は、上記の点を鑑みてなされたものであり、X線検査装置において生成される対象物の透過像の精度を上げ、より正確に、かつ迅速に対象物の欠陥のサイズや位置を把握することができるX線検査装置を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明にかかるX線検査装置は、被検体にX線を照射する照射手段と、被検体を透過したX線を検出する検出素子が、所定間隔に遮蔽壁を介して複数配置された検出手段と、検出手段で検出するX線情報をもとに、前記被検体の透過画像を生成する生成手段とを備えるX線検査装置であって、前記検出素子の配置方向に被検体と検出手段とを相対的に所定間隔変位させる変位手段を備え、前記生成手段は、複数の変位位置で検出したX線情報を合成することで、透過画像を生成することを特徴とする。
【0012】
このように構成された本発明によれば、変位手段のよって、被検体と検出手段とを相対的に所定間隔変位させ、得られた複数の透過画像を合成することで、一度目のX線照射でX線検出器に入力されなかった透過X線を検出することができるため、より精度の高い透過画像を得ることができる。よって、より正確に、かつ迅速に対象物の欠陥のサイズや位置を把握することができる。
【0013】
本発明の好適な態様では、X線検査装置は、さらに、前記配置方向と垂直な方向に、被検体と検出手段とを相対的に移動させる移動手段を備え、前記生成手段は、移動手段で、被検体と検出手段とを相対的に移動させながら、順次検出するX線情報をもとに、前記被検体の透過画像を生成する手段であって、複数の変位位置での前記透過画像を合成する手段であることを特徴とする。
【0014】
このように構成された本発明よれば、移動手段によって被検体と検出手段とを相対的に移動させながら、X線を照射できるため、対象物が大きい場合にも対象物全体の透過画像を得ることができる。
【0015】
本発明の別の好適な態様では、前記各検出素子は、前記X線照射手段を中心に円弧状に配置されていることを特徴とする。
【0016】
このように構成された本発明によれば、検出素子が円弧状に並べられているため、検出器の中心部分にある検出素子と、検出器の両端部分にある検出素子での分解能が変化し、透過画像が歪んでしまうことを防止することができる。
【0017】
これにより、対象物の中心部分と両端部分との透過画像精度のバラツキを抑えることができ、さらに正確に欠陥の位置やサイズを求めることができる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態(以下、実施形態という)を、図面に従って説明する。
【0019】
図1は、実施形態におけるX線透過装置の構成を示す斜視図である。
【0020】
対象物1は、移動手段であるベルトコンベア5の上に載置され、図示しないコンベア駆動部によってX軸の方向に移動しつつ、X線の照射手段であるX線光源2によって、X線が照射される。そして、ベルトコンベア5を介して、Y軸と平行に配置され、X線の検出手段であるX線検出器4に対象物1を透過したX線が入力される。入力されたX線の透過量を測定し、図示しない透過画像の生成手段によって、透過画像を生成することができる。
【0021】
X線検出器4は、図2のように、検出素子21と遮断材22とが交互に配置されて構成されている。ここで、下記の説明が容易になるように、検出素子21の幅を0.5mm、遮断材22を1.0mmと設定する。また、X線検出器4は、図示しない変位手段である駆動源によって、所定条件に従い図1のY軸方向に駆動することができる。
【0022】
ここで、実施形態における透過画像の生成ステップを説明する。
【0023】
まず、ベルトコンベア5の上に対象物1を載置し、コンベア駆動部6を駆動させながら、対象物1にX線を照射させる。そして、対象物1を透過したX線をX線検出器4で検出し、透過画像を生成する。生成された透過画像の例を図3(a)に示す。
【0024】
続いて、X線検出器を、Y軸方向に0.75mm移動させる。その後、対象物1に再度X線照射させる。ここで、対象物1は、検査前の位置に戻した後、照射させてもいいし、ベルトコンベア5を逆回転させ、照射させてもよい。この結果得られた透過画像の例を図4(b)に示す。そして、得られた2つの透過画像を合成して、最終的に検査に使用する透過画像(c)を得る。
【0025】
このように、一度対象物にX線を照射させた後、Y軸方向にX線検出器4をずらして再度X線を照射させることで、一度目にX線検出器に入力されなかった透過X線を検出することができるため、より精度の高い透過画像を得ることができる。よって、より正確に、かつ迅速に対象物の欠陥のサイズや位置を把握することができる。
【0026】
ちなみに、透過画像の寸法は、ベルトコンベア5の移動距離などから算出することが可能であるため、得られた透過画像から、欠陥の位置とサイズも算出することができる。
【0027】
また、対象物としては、X線が透過できるすべての材料や部品に対して適応が可能であるが、例えば、自動車のエンジン部品やシャーシ部品に適用することが考えられる。
【0028】
エンジン部品などの鋳造品を検査対象とした場合、同じ位置およびサイズの欠陥が複数の鋳造品において発見されれば、鋳型の欠陥の可能性が高いとして、その欠陥の位置やサイズを元に鋳型の欠陥を容易に発見することができる。
【0029】
また、対象物の欠陥のサイズや位置を精度良く求められるため、欠陥として検知する対象物の場所の範囲とサイズを予め定めておき、その条件を満たした場合には、対象物を欠陥品として検知するようにしてもよい。
【0030】
さらに、上記の例では、X線検出器をY軸方向に一度だけずらして2度の測定により、透過画像を生成したが、例えば、上記の例で言えば、Y軸方向に0.5mmずつ2回ずらし、合計3つの透過画像を合成することで、さらに精度のよい透過画像を生成してもよい。
【0031】
加えて、さらに積算効果でのコンストラストを上げたければ、例えば、X線検出器を0.1mmずつずらして、それぞれの透過画像を合成してもよい。
【0032】
また、上記の例では、検出素子と遮断材の間隔を1.0mmとしたが、もちろん検出素子の幅や遮断材の幅に合わせて、自由にY軸方向の変位距離を変化させ、遮断材によるデータ欠落を補正することができる。
【0033】
さらに、上記実施形態では、X線検出器を所定間隔ずらすことで、複数の透過画像を得て合成する例を示したが、ベルトコンベアのほうをずらしても同様の効果を得ることができる。のみならず、図4に示すように、複数のX線検出器をX軸方向およびY軸方向に所定間隔ずらして配置し、それぞれのX線検出器から得られる透過画像を合成するとしてもよい。
【0034】
また、図5に示すように、検出素子をX線源を中心に円弧状に並べた検出器を用いてもよい。
【0035】
このように、検出素子を円弧状に並べることで、検出器の中心部分にある検出素子と、検出器の両端部分にある検出素子での分解能が変化し、透過画像が歪んでしまうことを防止することができる。
【0036】
これにより、対象物の中心部分と両端部分との透過画像精度のバラツキを抑えることができ、さらに正確に欠陥の位置やサイズを求めることができる。
【0037】
この場合、X線検出器をずらす際に、X線光源も同一間隔Y軸方向にずらすことで、より歪みの少ない透過画像を得るようにしてもよい。
【0038】
【発明の効果】
以上のように、本発明にかかるX線検査装置によれば、X線検出器を所定間隔ずらして得られた複数の透過画像を合成することで、対象物の載置する位置によって、対象物に存在する欠陥の位置やサイズに誤差が生じることを抑えることができる。
【0039】
さらに、検出素子を円弧状に並べることで、検出器の中心部分にある検出素子と、検出器の両端部分にある検出素子での分解能が変化し、透過画像が歪んでしまうことを防止することができる。
【0040】
したがって、本発明によれば、X線検査装置において生成される対象物の透過像の精度を上げ、より正確に、かつ迅速に対象物の欠陥のサイズや位置を把握することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る実施形態におけるX線検査装置の斜視図である。
【図2】X線検出器の一例である。
【図3】本発明にかかる実施形態における透過画像生成イメージ図である。
【図4】本発明に係る別の実施形態におけるZ線検査装置の斜視図である。
【図5】本発明に係るさらに別の実施形態におけるX線検査装置の正面図である。
【図6】従来のX線検査装置の側面図である。
【図7】従来のX線検査装置によって生成された透過画像のイメージ図である。
【図8】従来のX線検査装置の正面図である。
【符号の説明】
1 対象物、2 X線源、3 X線、4 X線検出器、5 ベルトコンベア、21 検出素子、22 遮断材。
【発明の属する技術分野】
本発明は、X線検査装置、特に、被検体にX線を透過することで、被検体の透過画像を生成するX線検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、鋳造品の欠陥等を発見するための試験として、X線を用いた被破壊検査試験が実施される。この種の用途に用いられるX線検査試験では、図6に示すように、対象物1をベルトコンベア5上に載置し、矢印10の方向に移動させながら、X線管などのX線源2からX線3を照射させる。そして、対象物1を透過したX線3を、X線検出器4で検出し、その検出されたX線量を元に透過画像を生成する。このようにして得られた透過画像をもとに、対象物の欠陥の有無を検査する。
【0003】
X線検出器は、一般に、図2に示すように、ライン状に検出素子21を配置することで構成されている。このように検出素子をライン状に配置すると、検出素子21に入力されたX線が、検出素子内部で散乱し、隣接した別の検出素子に散乱X線が入力されてしまう場合がある。したがって、この散乱X線を除去するために、各検出素子間にタングステンなどの重金属の遮断材22を用いて遮断するのが一般的である。
【0004】
【特許文献1】
特開平6−265485
【特許文献2】
特開平6−317544
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように遮断材を挿み各検出素子を配置したX線検出器を用いて透過画像を作成すると、例えば、対象物に対して、図7の(a−1)の位置と(b−1)の位置とでX線をそれぞれ透過した場合に得られる透過画像は、(a−2)や(b−2)のように異なる透過画像が生成されてしまう。これは、検出素子間の遮断材部分のデータが欠落していることから生じるものである。
【0006】
このように、従来のX線検出器では、対象物の載置する位置によって、対象物に存在する欠陥の位置やサイズに誤差が生じる場合がある。
【0007】
また、図8(X線検査装置の正面図)に示すように、従来のX線検出器では、検出素子が一直線上に配置されているため、検出器の中心部分にある検出素子と、検出器の両端部分にある検出素子とで、X線源1からの距離が異なる。したがって、検出素子の位置によって分解能が変化し、透過画像が歪んだ画像になってしまう。
【0008】
しかし、鋳造品などの微細な欠陥を検知し、鋳型の調整等を行う場合、欠陥のサイズや位置をできるだけ正確に把握する必要がある。したがって、上記のように、対象物の載置される位置によって、画像が異なったり、微細な欠陥が透過画像に現れないとなると問題になる。
【0009】
このような問題を避けるために、対象物をX線源に近づけ拡大撮像させ対応する場合もある。しかし、この場合、対象物を部分的にしか撮影することができないため、対象物全体での位置関係の把握が難しいという問題があった。
【0010】
本発明は、上記の点を鑑みてなされたものであり、X線検査装置において生成される対象物の透過像の精度を上げ、より正確に、かつ迅速に対象物の欠陥のサイズや位置を把握することができるX線検査装置を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明にかかるX線検査装置は、被検体にX線を照射する照射手段と、被検体を透過したX線を検出する検出素子が、所定間隔に遮蔽壁を介して複数配置された検出手段と、検出手段で検出するX線情報をもとに、前記被検体の透過画像を生成する生成手段とを備えるX線検査装置であって、前記検出素子の配置方向に被検体と検出手段とを相対的に所定間隔変位させる変位手段を備え、前記生成手段は、複数の変位位置で検出したX線情報を合成することで、透過画像を生成することを特徴とする。
【0012】
このように構成された本発明によれば、変位手段のよって、被検体と検出手段とを相対的に所定間隔変位させ、得られた複数の透過画像を合成することで、一度目のX線照射でX線検出器に入力されなかった透過X線を検出することができるため、より精度の高い透過画像を得ることができる。よって、より正確に、かつ迅速に対象物の欠陥のサイズや位置を把握することができる。
【0013】
本発明の好適な態様では、X線検査装置は、さらに、前記配置方向と垂直な方向に、被検体と検出手段とを相対的に移動させる移動手段を備え、前記生成手段は、移動手段で、被検体と検出手段とを相対的に移動させながら、順次検出するX線情報をもとに、前記被検体の透過画像を生成する手段であって、複数の変位位置での前記透過画像を合成する手段であることを特徴とする。
【0014】
このように構成された本発明よれば、移動手段によって被検体と検出手段とを相対的に移動させながら、X線を照射できるため、対象物が大きい場合にも対象物全体の透過画像を得ることができる。
【0015】
本発明の別の好適な態様では、前記各検出素子は、前記X線照射手段を中心に円弧状に配置されていることを特徴とする。
【0016】
このように構成された本発明によれば、検出素子が円弧状に並べられているため、検出器の中心部分にある検出素子と、検出器の両端部分にある検出素子での分解能が変化し、透過画像が歪んでしまうことを防止することができる。
【0017】
これにより、対象物の中心部分と両端部分との透過画像精度のバラツキを抑えることができ、さらに正確に欠陥の位置やサイズを求めることができる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態(以下、実施形態という)を、図面に従って説明する。
【0019】
図1は、実施形態におけるX線透過装置の構成を示す斜視図である。
【0020】
対象物1は、移動手段であるベルトコンベア5の上に載置され、図示しないコンベア駆動部によってX軸の方向に移動しつつ、X線の照射手段であるX線光源2によって、X線が照射される。そして、ベルトコンベア5を介して、Y軸と平行に配置され、X線の検出手段であるX線検出器4に対象物1を透過したX線が入力される。入力されたX線の透過量を測定し、図示しない透過画像の生成手段によって、透過画像を生成することができる。
【0021】
X線検出器4は、図2のように、検出素子21と遮断材22とが交互に配置されて構成されている。ここで、下記の説明が容易になるように、検出素子21の幅を0.5mm、遮断材22を1.0mmと設定する。また、X線検出器4は、図示しない変位手段である駆動源によって、所定条件に従い図1のY軸方向に駆動することができる。
【0022】
ここで、実施形態における透過画像の生成ステップを説明する。
【0023】
まず、ベルトコンベア5の上に対象物1を載置し、コンベア駆動部6を駆動させながら、対象物1にX線を照射させる。そして、対象物1を透過したX線をX線検出器4で検出し、透過画像を生成する。生成された透過画像の例を図3(a)に示す。
【0024】
続いて、X線検出器を、Y軸方向に0.75mm移動させる。その後、対象物1に再度X線照射させる。ここで、対象物1は、検査前の位置に戻した後、照射させてもいいし、ベルトコンベア5を逆回転させ、照射させてもよい。この結果得られた透過画像の例を図4(b)に示す。そして、得られた2つの透過画像を合成して、最終的に検査に使用する透過画像(c)を得る。
【0025】
このように、一度対象物にX線を照射させた後、Y軸方向にX線検出器4をずらして再度X線を照射させることで、一度目にX線検出器に入力されなかった透過X線を検出することができるため、より精度の高い透過画像を得ることができる。よって、より正確に、かつ迅速に対象物の欠陥のサイズや位置を把握することができる。
【0026】
ちなみに、透過画像の寸法は、ベルトコンベア5の移動距離などから算出することが可能であるため、得られた透過画像から、欠陥の位置とサイズも算出することができる。
【0027】
また、対象物としては、X線が透過できるすべての材料や部品に対して適応が可能であるが、例えば、自動車のエンジン部品やシャーシ部品に適用することが考えられる。
【0028】
エンジン部品などの鋳造品を検査対象とした場合、同じ位置およびサイズの欠陥が複数の鋳造品において発見されれば、鋳型の欠陥の可能性が高いとして、その欠陥の位置やサイズを元に鋳型の欠陥を容易に発見することができる。
【0029】
また、対象物の欠陥のサイズや位置を精度良く求められるため、欠陥として検知する対象物の場所の範囲とサイズを予め定めておき、その条件を満たした場合には、対象物を欠陥品として検知するようにしてもよい。
【0030】
さらに、上記の例では、X線検出器をY軸方向に一度だけずらして2度の測定により、透過画像を生成したが、例えば、上記の例で言えば、Y軸方向に0.5mmずつ2回ずらし、合計3つの透過画像を合成することで、さらに精度のよい透過画像を生成してもよい。
【0031】
加えて、さらに積算効果でのコンストラストを上げたければ、例えば、X線検出器を0.1mmずつずらして、それぞれの透過画像を合成してもよい。
【0032】
また、上記の例では、検出素子と遮断材の間隔を1.0mmとしたが、もちろん検出素子の幅や遮断材の幅に合わせて、自由にY軸方向の変位距離を変化させ、遮断材によるデータ欠落を補正することができる。
【0033】
さらに、上記実施形態では、X線検出器を所定間隔ずらすことで、複数の透過画像を得て合成する例を示したが、ベルトコンベアのほうをずらしても同様の効果を得ることができる。のみならず、図4に示すように、複数のX線検出器をX軸方向およびY軸方向に所定間隔ずらして配置し、それぞれのX線検出器から得られる透過画像を合成するとしてもよい。
【0034】
また、図5に示すように、検出素子をX線源を中心に円弧状に並べた検出器を用いてもよい。
【0035】
このように、検出素子を円弧状に並べることで、検出器の中心部分にある検出素子と、検出器の両端部分にある検出素子での分解能が変化し、透過画像が歪んでしまうことを防止することができる。
【0036】
これにより、対象物の中心部分と両端部分との透過画像精度のバラツキを抑えることができ、さらに正確に欠陥の位置やサイズを求めることができる。
【0037】
この場合、X線検出器をずらす際に、X線光源も同一間隔Y軸方向にずらすことで、より歪みの少ない透過画像を得るようにしてもよい。
【0038】
【発明の効果】
以上のように、本発明にかかるX線検査装置によれば、X線検出器を所定間隔ずらして得られた複数の透過画像を合成することで、対象物の載置する位置によって、対象物に存在する欠陥の位置やサイズに誤差が生じることを抑えることができる。
【0039】
さらに、検出素子を円弧状に並べることで、検出器の中心部分にある検出素子と、検出器の両端部分にある検出素子での分解能が変化し、透過画像が歪んでしまうことを防止することができる。
【0040】
したがって、本発明によれば、X線検査装置において生成される対象物の透過像の精度を上げ、より正確に、かつ迅速に対象物の欠陥のサイズや位置を把握することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る実施形態におけるX線検査装置の斜視図である。
【図2】X線検出器の一例である。
【図3】本発明にかかる実施形態における透過画像生成イメージ図である。
【図4】本発明に係る別の実施形態におけるZ線検査装置の斜視図である。
【図5】本発明に係るさらに別の実施形態におけるX線検査装置の正面図である。
【図6】従来のX線検査装置の側面図である。
【図7】従来のX線検査装置によって生成された透過画像のイメージ図である。
【図8】従来のX線検査装置の正面図である。
【符号の説明】
1 対象物、2 X線源、3 X線、4 X線検出器、5 ベルトコンベア、21 検出素子、22 遮断材。
Claims (3)
- 被検体にX線を照射する照射手段と、
被検体を透過したX線を検出する検出素子が、所定間隔に遮蔽壁を介して複数配置された検出手段と、
検出手段で検出するX線情報をもとに、前記被検体の透過画像を生成する生成手段と、
を備えるX線検査装置であって、
前記検出素子の配置方向に被検体と検出手段とを相対的に所定間隔変位させる変位手段を備え、
前記生成手段は、複数の変位位置で検出したX線情報を合成することで、透過画像を生成することを特徴とするX線検査装置。 - 請求項1に記載のX線検査装置において、
前記配置方向と垂直な方向に、被検体と検出手段とを相対的に移動させる移動手段を備え、
前記生成手段は、移動手段で、被検体と検出手段とを相対的に移動させながら、順次検出するX線情報をもとに、前記被検体の透過画像を生成する手段であって、複数の変位位置での前記透過画像を合成する手段であることを特徴とするX線検査装置。 - 請求項1または2に記載のX線検査装置において、
前記各検出素子は、前記X線照射手段を中心に円弧状に配置されていることを特徴とするX線検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002325060A JP2004157076A (ja) | 2002-11-08 | 2002-11-08 | X線検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002325060A JP2004157076A (ja) | 2002-11-08 | 2002-11-08 | X線検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004157076A true JP2004157076A (ja) | 2004-06-03 |
Family
ID=32804410
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2002325060A Pending JP2004157076A (ja) | 2002-11-08 | 2002-11-08 | X線検査装置 |
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- 2002-11-08 JP JP2002325060A patent/JP2004157076A/ja active Pending
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