JP5801286B2 - X線ソース及びx線生成方法 - Google Patents
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Description
a) 電子ビームと衝突した際にX線を放出するターゲットと、
b) 少なくとも2つの電子ビームソースを有し、前記ターゲットの方向に収束する電子ビームを選択的に放出する電子ビーム生成部と
を有するX線ソースである。
a)電子ビームと衝突した場合にX線を放つ(放射する)ターゲット。そのようなターゲットに相応しい設計事項及び材料自体は当業者によく知られており、例えばタングステン電極が使用される。動作中、ターゲットは通常正の電位に接続され、以下の説明においてそれは「アノード(陽極)」とも言及される。
b)少なくとも2つの電子ビームソースを備え、上記のターゲットの方向において焦点に収束する(集まる)電子ビームを選択的に放出する電子ビーム生成部。電子ビーム生成部は、方向付けられた電子ビームを生成することが可能な任意の種類の装置としてよい。具体的な実施形態については後述する。
a)電子ビーム生成部の少なくとも2つの異なる電子ビームソースから電子ビームを選択的に生成するステップ。
b)ターゲットにおいて焦点を結ぶように電子ビームの焦点を合わせるステップ。
a)電子エミッタのアレイ又は配列を有する「エミッタ装置」(電子が材料から離れて自由電子として隣接する空間(通常は真空の空間)に入ることを可能にする)。通常、電子エミッタはカソードとして機能し、適切な電場を提供し、電子放出のためのエネルギ(仕事関数)を提供する。
b)エミッタ装置から放出される電子ビームを選択的に方向付ける電極ユニット配列を有する「電極装置」。電極ユニットを利用して、動作中に適切な電位が印加され、電子エミッタからの放出は、明確に規定された適切な方向のビームに形成される。典型的には、電極ユニット及び電子エミッタは互いに1対1の関係で指定されている。
1.タングステン合金のような適切な材料の基板又は板により実現されてもよいターゲット110。ターゲットがターゲットポイントTにおいて電子ビームBに当たると、X線ビームXが放出される。動作中、ターゲット110は、通常、コントローラ150により与えられる正の電位を有する。従って以下の説明においてターゲットは「アノード」と同義的である。
2.アノード110の方向において焦点を結ぶ電子ビームB、B’を生成する電子ビームソース121を有する電子ビーム生成部120。図示の形態の場合、電子ビーム生成部は以下の2つの要素を有する:
2.1 電極装置130。電極装置は、電子ビームB、B’が通過する孔131の配列を含む導電性基板により実現されてもよい。動作中、電極装置130はコントローラ150により或る電位が与えられ、その電位は電子の所望の平行化及び/又は偏向を達成できるように選択される。電極装置は2つ以上の電極から構成されていてもよい。
2.2 エミッタ装置140。エミッタ装置は、電子エミッタ141がマトリクスパターンで配置されている表面を伴う曲面により実現される。動作中、電子エミッタ141にはコントローラ150により選択的に(すなわち、個々に又は個別に)或る電位(負の電位)が与えられ、電子エミッタに電子を放出させる。通常、一度に1つの電子エミッタ141のみが活性化又はアクティブにされる。電子エミッタ141は、特に、カーボンナノチューブ(CNT)に基づいていてもよい。
Claims (8)
- 電子ビームが衝突するとX線を放出するターゲットと、
前記ターゲットに向かう電子ビームを選択的に放出する複数の電子ビームソースを有する電子ビーム生成部と
を有し、前記電子ビーム生成部は、
2次元的な行列形式に配置された複数の電子エミッタを有する電子エミッタ装置と、
前記電子エミッタ装置から放出された電子ビームを通過させるように所定の電位に設定される孔を複数個有する電極装置と
を有し、前記複数の電子ビームソースの各々は前記電子エミッタ及び前記孔を有し、
前記複数の電子エミッタのうち第1の列に沿って並ぶ電子エミッタの位置と、前記複数の電子エミッタのうち前記第1の列に隣接する第2の列に沿って並ぶ電子エミッタの位置とは、列方向に互いにずれており、
前記第1の列に沿って並ぶ電子エミッタ及び前記第2の列に沿って並ぶ電子エミッタから放出される複数の電子ビームが、前記ターゲットにおいて1つの1次元的な軌跡を描くように、前記複数の電子エミッタ又は孔が形成される面或いは前記ターゲットの表面が湾曲している、X線ソース。 - 前記電子ビームソースにより放出された前記電子ビームが、少なくとも1つの所与のライン上にあるターゲットポイントにおいて前記ターゲットに当たる、請求項1記載のX線ソース。
- 前記ライン上で隣接するターゲットポイント同士の相互距離が、隣接する電子ビームソース同士の相互距離よりも短い、請求項2記載のX線ソース。
- 前記複数の電子エミッタがカーボンナノチューブを含む、請求項1記載のX線ソース。
- 前記孔が電子ビームを偏向させるように設計されている、請求項1のX線ソース。
- 少なくとも2つの列に属する電子エミッタから放出された電子ビームが、前記ターゲット上の同じラインにおいて焦点を結ぶ、請求項1記載のX線ソース。
- 請求項1記載のX線ソースを有するX線画像処理装置であって、CT、μCT、材料分析、手荷物検査又はトモシンセシスにおいて使用されるX線画像処理装置。
- 2次元的な行列形式に配置された複数の電子エミッタのうち選択された電子エミッタにより電子ビームを放出し、所定の電位に設定された孔を介して該電子ビームを通過させ、該電子ビームがターゲットに衝突することにより前記ターゲットがX線を放出することを、前記複数の電子エミッタの各々について行うステップを有し、
前記複数の電子エミッタのうち第1の列に沿って並ぶ電子エミッタの位置と、前記複数の電子エミッタのうち前記第1の列に隣接する第2の列に沿って並ぶ電子エミッタの位置とは、列方向に互いにずれており、
前記第1の列に沿って並ぶ電子エミッタ及び前記第2の列に沿って並ぶ電子エミッタから放出される複数の電子ビームが、前記ターゲットにおいて1つの1次元的な軌跡を描くように、前記複数の電子エミッタ又は孔が形成される面或いは前記ターゲットの表面が湾曲している、X線生成方法。
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