JP5833327B2 - X線管及びx線分析装置 - Google Patents
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Description
本発明に係るX線管は、電子ビームの衝突によりX線を放出するアノードターゲットと、アノードターゲットに対向する位置に配置され、電子ビームを放出する複数のカソード電極と、電子ビームの照射方向を制御する電子光学系と、アノードターゲットとカソード電極と電子光学系とを収容する外囲器と、当該外囲器の内壁に前記アノードターゲットを囲むように設けられた半球形電極と、を有する。これにより、アノードターゲットへの電子ビームの照射量を増大することができる。また、これにより、電子ビームがアノードターゲットに向かって照射されるための電界をカソード電極とアノードターゲットの間に形成することができる。よって、電子ビームがアノードターゲットに集中的に照射される。
2…電子ビーム
3…アノード電極
4…アノードターゲット
5…X線
6…窓
8…溝部
9、10…内壁電極
11…引出電極
12…凹部
13…突出部
14、15…外囲器
16…電流源
17…電圧源
21…等電位線
31…衝突した電子
41…X線照射部
42…コリメータ
43…X線
44…試料台
45…試料
46…蛍光X線
47…検出部
48…処理部
49…表示部
61…カーボンナノチューブアレイ
Claims (9)
- 電子ビームの衝突によりX線を放出するアノードターゲットと、
前記アノードターゲットに対向する位置に配置され、前記電子ビームを放出する複数のカソード電極と、
前記電子ビームの照射方向を制御する電子光学系と、
前記アノードターゲットと前記カソード電極と前記電子光学系とを収容する外囲器と、
当該外囲器の内壁に前記アノードターゲットを囲むように設けられた半球形電極と、
を有するX線管。 - 前記電子光学系は、前記電子ビームの照射方向が前記半球形電極の面に略垂直になるよう制御する請求項1記載のX線管。
- 前記電子光学系は、前記半球形電極と略平行な面を有する引出電極を備える請求項1又は2に記載のX線管。
- 前記アノードターゲットは、前記X線を放出する方向に凹部を有する請求項1から3のいずれか一つに記載のX線管。
- 前記外囲器の内壁に、前記アノードターゲットに向かって突出した突出部を有する請求項1から4のいずれか一つに記載のX線管。
- 前記突出部は、前記半球形電極の端部に配置された請求項5に記載のX線管。
- 前記カソード電極は、前記外囲器の一部に設けられた溝部に設置された請求項1から6のいずれか一つに記載のX線管。
- 電子ビームの衝突によりX線を放出するアノードターゲットと、
前記アノードターゲットに対向する位置に配置され、前記電子ビームを放出する複数のカーボンナノチューブからなるカソード電極と、
前記アノードターゲットを収容するとともに前記カソード電極が設けられた外囲器と、を有し、
当該外囲器は前記アノードターゲットを囲む閉鎖系の半球形部分と円筒形部分とを含み、前記カソード電極が前記半球形部分の内壁に沿って取り付けられた内壁電極を構成し、前記カーボンナノチューブを前記アノードターゲットに向けて配向するように配置したことを特徴とするX線管。 - 請求項1から8のいずれか一つに記載のX線管と、
試料を載置する試料台と、
前記試料への前記X線の照射量を制限するコリメータと、
前記試料から放出された蛍光X線を検出する検出器と、を有するX線分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012204156A JP2012204156A (ja) | 2012-10-22 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP5833327B2 (ja) |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60214528A (ja) * | 1984-04-11 | 1985-10-26 | Canon Inc | X線発生装置 |
JP3996821B2 (ja) * | 2002-03-27 | 2007-10-24 | 株式会社堀場製作所 | X線分析装置 |
JP2007311195A (ja) * | 2006-05-18 | 2007-11-29 | Hamamatsu Photonics Kk | X線管 |
JP2010021012A (ja) * | 2008-07-10 | 2010-01-28 | Toshiba Corp | 回転陽極型x線管装置 |
CN102422364B (zh) * | 2009-05-12 | 2015-08-05 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 具有多个电子发射器的x射线源 |
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2011
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Publication number | Publication date |
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JP2012204156A (ja) | 2012-10-22 |
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